KR20220039821A - 기판 반송 로봇, 기판 반송 시스템 및 기판 반송 방법 - Google Patents

기판 반송 로봇, 기판 반송 시스템 및 기판 반송 방법 Download PDF

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KR20220039821A
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wall portion
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준이치 마츠오카
이오리 쿠라타
토모카즈 아리타
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카와사키 주코교 카부시키 카이샤
카와사키 로보틱스 (유에스에이), 인코포레이티드
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Abstract

기판 반송 로봇(20)이, 반송실(1) 내에 설치되는 기대(21)와, 수평면 내에서 회동하는 복수의 링크(24 - 26)를 구비하고, 기대에 연결되는 암(23)과, 암의 선단부에 연직의 핸드축(LH) 둘레로 회전 가능하게 연결되고, 기판(90)을 지지하는 제1 핸드(31) 및 제2 핸드(32)와, 제어 장치(40)를 구비한다. 제어 장치는, 제1 핸드를 반송실로부터 반송실과 개구를 통해 연통된 수용실 내로 진입시켜서, 수용실 내의 재치부와 제1 핸드 사이에서 기판을 이재하는 제1 이재 처리와, 제1 핸드를 수용실로부터 반송실로 퇴출시키는 퇴출 처리와, 제2 핸드를 반송실로부터 수용실 내로 진입시켜서, 재치부와 제2 핸드 사이에서 기판을 이재하는 제2 이재 처리를 실행한다. 퇴출 처리에서, 핸드축이, 제1 핸드의 기준 위치(P31)와 비교하여, 개구(15)의 중심선(C15)으로부터 멀어져 간다.

Description

기판 반송 로봇, 기판 반송 시스템 및 기판 반송 방법
본 발명은 기판 반송 로봇, 기판 반송 시스템 및 기판 반송 방법에 관한 것이다. 상세하게는, 본 발명은 반송실 내에서 기판을 반송하고, 또한, 반송실과 개구를 통해 연통된 수용실 내의 재치(載置)부와 핸드 사이에서 기판을 이재(移載)하는 기판 반송 로봇에 관한 것이다. 특히, 본 개시는 기판을 지지하는 제1 및 제2 핸드를 구비하는 기판 반송 로봇에 관한 것이다. 본 발명은 기판 반송 로봇을 구비한 기판 반송 시스템, 및 기판 반송 로봇으로 기판을 반송하는 방법에 관한 것이다.
특허문헌은, 반송실 내에서 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 반송하는 기판 반송 로봇을 개시하고 있다. 이러한 기판 반송 로봇은 수평 다관절형의 암과, 기판을 지지하는 1 또는 2개의 핸드를 구비한다. 핸드를 수용실로부터 반송실로 퇴출시킬 때, 핸드 및 그 회전 중심이 수용실의 개구에 수직한 방향으로 곧게 이동한다. 핸드의 퇴출 후, 당해 핸드를 반송실 내에서 이동시키거나, 다른 핸드를 수용실에 진입시키거나 하기 때문에, 1 또는 2개의 핸드를 회동시킬 필요가 있다. 회동 중에 핸드가 반송실을 구획하는 벽과 간섭하는 것을 방지하기 위해서, 퇴출 후 회동 전에 암을 복잡하게 동작시키면, 스루풋(throughput)이 저하된다.
일본특허공개공보 특개2011-228627호
본 발명은 기판 반송 로봇의 스루풋 향상을 목적으로 한다.
본 개시의 일 측면에 따른 기판 반송 로봇은, 반송실 내에 설치되는 기대(基台)와, 수평면 내에서 회동하는 복수의 링크를 구비하고, 상기 기대에 연결되는 암과, 상기 암의 선단부에 연직의 핸드축 둘레로 회전 가능하게 연결되고, 기판을 지지하는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제어 장치를 구비한다. 상기 제어 장치는, 상기 제1 핸드를 상기 반송실로부터 상기 반송실과 개구를 통해 연통된 수용실 내로 진입시켜서, 상기 수용실 내에서 상기 기판을 재치하는 재치부와 상기 제1 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제1 이재 처리와, 상기 제1 핸드를 상기 수용실로부터 상기 반송실로 퇴출시키는 퇴출 처리와, 상기 제2 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제2 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제2 이재 처리를 실행하도록 구성되어 있다. 상기 퇴출 처리에서, 상기 제어 장치는, 상기 핸드축이, 상기 제1 핸드의 기준 위치와 비교하여, 상기 개구에 수직인 상기 개구의 중심선으로부터 멀어져 가도록, 상기 암 및 상기 제1 핸드의 동작을 제어하도록 구성되어 있다.
상기 구성에 의하면, 제1 핸드의 퇴출 중, 당해 핸드는 개구의 중심선에 가까운 상태를 유지한다. 따라서, 당해 핸드가 수용실의 내면 또는 개구의 가장자리와 간섭하는 것을 억제할 수 있다. 한편, 핸드축은 개구의 중심선으로부터 멀어져 간다. 반송실을 구획하는 벽 중, 중심선의 연장 방향으로 연장되는 벽으로부터, 핸드축이 크게 멀어진다. 따라서, 퇴출 후, 제1 핸드 및 제2 핸드는 당해 벽과 간섭하지 않고 핸드축 둘레로 회전할 수 있다. 퇴출 후의 암의 동작을 생략 또는 간략화할 수 있고, 퇴출 처리로부터 제2 이재 처리로 신속하게 이행할 수 있다. 따라서, 기판 반송 로봇의 스루풋이 향상된다.
본 개시의 일 측면에 따른 기판 반송 시스템은, 기판이 반송되는 반송실과, 상기 반송실과 개구를 통해 연통하는 수용실을 형성하고, 상기 수용실 내에 상기 기판을 재치하는 재치부를 구비하는 수용실 형성부와, 본 발명의 일 측면에 따른 기판 반송 로봇을 구비한다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판 반송 방법은, 기판 반송 로봇으로 기판을 반송하는 방법으로서, 상기 기판 반송 로봇이, 반송실 내에 설치되는 기대와, 수평면 내에서 회전하는 복수의 링크를 구비하고, 상기 기대에 연결되는 암과, 상기 암의 선단부에 연직의 핸드축 둘레로 회전 가능하게 연결되고, 기판을 지지하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 구비한다. 상기 방법이, 상기 제1 핸드를 상기 반송실로부터 상기 반송실과 개구를 통해 연통된 수용실 내로 진입시켜서, 상기 수용실 내에서 상기 기판을 재치하는 재치부와 상기 제1 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제1 이재 공정과, 상기 핸드축이, 상기 제1 핸드의 기준 위치와 비교하여, 상기 개구에 수직인 상기 개구의 중심선으로부터 멀어져 가도록 하여, 상기 제1 핸드를 상기 수용실로부터 상기 반송실로 퇴출시키는 퇴출 공정과, 상기 제2 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제2 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제2 이재 공정을 구비한다.
도 1은 실시예에 따른 기판 반송 시스템을 도시하는 평면도이다.
도 2는 실시예에 따른 제1 및 제2 핸드를 도시하는 평면도이다.
도 3은 실시예에 따른 기판 반송 로봇을 도시하는 블록도이다.
도 4는 실시예에 따른 기판 반송 방법의 일례를 도시하는 플로우 차트이다.
도 5는 실시예에 따른 퇴출 처리를 도시하는 평면도이다.
도 6은 실시예에 따른 퇴출 처리를 도시하는 개념도이다.
도 7은 참고예에 따른 퇴출 처리를 도시하는 평면도이다.
이하, 도면을 참조하면서 실시예를 설명한다. 설명의 편의상, 도 1의 상하 방향을 수평인 「제1 방향」의 일례로서 「전후 방향(X)」으로 칭하는 경우가 있다. 도 1의 좌우 방향을, 제1 방향에 수직이고 또한 수평인 「제2 방향」의 일례로서 「좌우 방향(Y)」으로 칭하는 경우가 있다.
도 1은 실시예에 따른 기판 반송 시스템(100)을 도시하는 평면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 반송 시스템(100)은, 반송실(1)과, 반송실(1)과 연통하는 복수의 수용실(2 - 4)을 형성하는 수용실 형성부(5 - 7)와, 반송실(1) 내에 설치된 기판 반송 로봇(20)을 구비하고 있다.
기판 반송 로봇(20)은 반송실(1) 내에서 기판(90)을 반송한다. 기판(90)은, 예를 들어, 원반 형상의 반도체 웨이퍼이고, 반송실(1) 및 수용실(2 - 4)은 클린화된다. 수용실(2 - 4)은 수용실 형성부(5 - 7)에 의해 형성되고, 기판(90)을 수용한다. 「수용실」은 기판(90)을 수용하여 보관하기 위한 공간이라도 좋고, 기판(90)을 수용하여 기판(90)에 처리를 실시하기 위한 또는 처리를 준비하기 위한 공간이라도 좋다. 보관 목적의 경우, 수용실 형성부로서 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 예시할 수 있다. 처리 목적의 경우, 수용실 형성부는 세정 처리, 성막 처리, 리소그래피 처리, 불순물 주입 처리, 열 처리 또는 평탄화 처리와 같은 기판 공정의 각종 처리를 수행하는 처리 장치이다. 참조 부호 8은 반송실(1) 내에 설치되어, 기판(90)의 정렬을 수행하는 얼라이너이다.
반송실(1)은, 일례로서, 평면에서 볼 때 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 기판 반송 시스템(100)은, 반송실(1)을 구획하는 벽으로서, 전벽부(11), 후벽부(12), 제1 측벽부(13) 및 제2 측벽부(14)를 구비하고 있다. 전벽부(11) 및 후벽부(12)는 서로 전후 방향(X)으로 떨어지고, 각각 좌우 방향(Y)으로 연장된다. 제1 측벽부(13) 및 제2 측벽부(14)는 서로 좌우 방향(Y)으로 떨어지고, 각각 전후 방향(X)으로 연장된다. 제1 측벽부(13)는 전벽부(11)와 후벽부(12)의 일단끼리를 연결하고, 제2 측벽부(14)는 전벽부(11)와 후벽부(12)의 타단끼리를 연결한다.
수용실 형성부(5 - 7)는 반송실(1)을 구획하는 벽(11 - 14)의 외면에 장착되어 있다. 수용실(2 - 4)은, 벽(11 - 14)에 형성된 개구를 통해서, 반송실(1)과 연통한다. 본 실시예에서는, 전벽부(11)에 4개의 수용실 형성부(7)가 설치되고, 후벽부(12)에 2개의 수용실 형성부(6)가 설치되며, 제1 측벽부(13)에 1개의 수용실 형성부(5)가 설치되고, 제2 측벽부(14)에 1개의 수용실 형성부(5)가 설치되며, 각각의 벽(11 - 14)에 수용실 형성부의 개수에 대응하는 1 이상의 개구가 형성되어 있다. 전벽부(11)에 설치된 수용실 형성부(7)는 FOUP라도 좋다. FOUP의 개수는 4개 외에, 2개, 3개 또는 5개 이상이라도 좋다. 후벽부(12)에 설치된 수용실 형성부(6)의 개수도, 1 이상이라면 좋고, 적절히 변경 가능하다.
제1 측벽부(13) 및 제2 측벽부(14)에는, 동종 동형상의 수용실 형성부(5)가 설치되어 있다. 수용실 형성부(5)의 수용실(2) 각각은, 대응하는 측벽부(13, 14)에 형성된 개구(15)를 통해서, 반송실(1)과 연통한다. 평면에서 볼 때, 제1 측벽부(13)의 개구(15)의 중심선(C15)은, 제2 측벽부(14)의 개구(15)의 중심선(C15)과 동축 형상이고, 좌우 방향(Y)으로 연장된다. 중심선(C15)에 수직한 수평 방향은, 「제1 방향」으로서의 전후 방향(X)이다. 본 실시예에서는, 개구(15)의 중심선(C15)이, 전후 방향(X)에서 전벽부(11)와 후벽부(12)의 중앙부를 통과하고, 반송실(1)의 중심선도 겸하고 있다.
상세한 도시는 생략하지만, 수용실 형성부(5)는, 수용실(2) 내에서, 복수의 기판(90)을 상하 방향으로 나열된 상태로 수용할 수 있다. 이를 위해서, 수용실 형성부(5)는 상하 방향으로 나열된 복수의 재치부를 구비한다. 예를 들어, 각각의 재치부는, 수용실(2) 내에서 상하 방향으로 동일 위치에 있고 또한 둘레 방향으로 떨어져 배치되는 복수의 손톱으로 구성된다. 기판(90)의 가장자리부가 재치부를 구성하는 복수의 손톱에 재치됨으로써, 1장의 기판(90)이 1개의 재치부에 지지된다. 다른 수용실(3, 4) 각각에도 1 이상의 재치부가 설치되어 있다. 재치부의 구성은 특별히 한정되지 않는다.
기판 반송 로봇(20)은, 기대(21)와, 승강축(22)과, 암(23)과, 제1 핸드(31)와, 제2 핸드(32)를 구비하고 있다. 기대(21)는 반송실(1) 내에 설치된다. 승강축(22)은 기대(21)로부터 상방으로 연장된다. 암(23)은 복수의 링크(24 - 26)를 구비하고, 승강축(22)을 통해 기대(21)에 연결된다. 본 실시예에서는, 일례로서, 링크(24 - 26)의 개수가 3이다. 기단 링크(24)의 기단부가 승강축(22)에 제1 암축(L1) 둘레로 회전 가능하게 연결된다. 중간 링크(25)의 기단부가 회전기단 링크(24)의 선단부 제2 암축(L2) 둘레로 회전 가능하게 연결된다. 선단 링크(26)의 기단부가 중간 링크 (25)의 선단부에 제3 암축(L3) 둘레로 회전 가능하게 연결된다. 기단 링크(24)의 기단부 및 선단 링크(26)의 선단부는, 암(23) 전체의 기단부 및 선단부를 각각 구성한다. 2개의 핸드(31, 32)는, 암(23)의 선단부에, 핸드축(LH) 둘레로 회전 가능하게 연결되어 있다.
기판 반송 로봇(20) 또는 그 암(23)은 수평 다관절형이다. 암축(L1 - L3) 및 핸드축(LH)은 연직으로 지향되고, 링크(24 - 26) 및 핸드(31, 32)가 수평면 내에서 회동한다. 2개의 핸드(31, 32)의 회전축은 동축 형상이지만, 2개의 핸드(31, 32)는 서로 독립적으로 회전 가능하다. 2개의 핸드(31, 32)는, 선단 링크(26) 상에서 상하로 적층되어 있으므로, 회전각에 관계없이 서로 간섭하지 않는다.
전벽부(11) 및 후벽부(12)는 제1 및 제2 측벽부(13, 14) 보다 길다. 반송실(1)은, 좌우 방향(Y)으로 상대적으로 길고, 전후 방향(X)으로 상대적으로 짧다. 전벽부(11) 및 후벽부(12)가 반송실(1)의 길이 방향으로 연장되는 한 쌍의 장변 벽이고, 측벽부(13, 14)가 반송실(1)의 짧은 방향으로 연장되는 한 쌍의 단변 벽이다. 전벽부(11)와 후벽부(12) 사이의 거리는, 800 mm 이하, 700 mm 이하, 600 mm 이하 또는 550 mm 이하이다. 전벽부(11)의 수용실 형성부(7)가 FOUP인 경우, 전벽부(11)에는 FOUP를 개폐하기 위한 FOUP 오프너가 설치된다. 이 경우, 후벽부(12)와 FOUP 오프너 사이의 거리의 최소값은 800 mm 이하, 700 mm 이하, 600 mm 이하 또는 550 mm 이하라도 좋다. 후벽부(12)와 FOUP 오프너 사이의 거리는 FOUP 오프너의 동작 중에 변화하는 경우가 있다.
기대(21)는, 반송실(1) 내에서 좌우 방향(Y)에서 중앙부에 배치되어 있다. 기대(21)는, 반송실(1) 내에서 개구(15)(및 반송실(1))의 중심선(C15)을 기준으로 하여, 전후 방향(X)의 일방에 편재하고 있다. 본 실시예에서는, 일례로서, 기대(21)는 후방으로 편재하여, 후벽부(12)에 근접하고 있다. 다시 말해서, 승강축(22), 제1 암축(L1) 및 암(23)의 기단부가, 중심선(C15)을 기준으로 전후 방향(X)의 일방으로 편재되어 있다. 평면에서 볼 때, 기단 링크(24)의 일부와 제1 암축(L1) 사이의 거리가 후벽부(12) 중 제1 암축(L1)에 가장 가까운 점과 제1 암축(L1) 사이의 거리 보다 큰 정도로, 기대(21)가 전벽부(11) 및 후벽부(12)의 일방 근처(본 예에서는, 후벽부(12) 근처)에 배치되어 있다. 또한, 암(23)을 구성하는 각각의 링크(24 - 26) 및 기판(90)을 유지한 상태에서의 핸드(31, 32)의 길이(길이 방향 치수)는, 전벽부(11)와 후벽부(12) 사이의 거리보다 짧은 반면, 어느 수용실(2 - 4)에도 핸드(31, 32)를 진입시킬 수 있을 정도로 충분히 길다. 이에 따라서, 반송실(1)이 전후 방향(X)으로 단척이더라도, 링크(24 - 26)를 전벽부(11) 혹은 후벽부(12)와 간섭시키지 않는 범위에서 각각의 링크(24 - 26)를 최대한 길게 할 수 있어서, 핸드(31, 32)의 가동 범위가 좌우 방향(Y)으로 넓어진다.
도 2는 제1 및 제2 핸드(31, 32)를 도시하는 평면도이다. 제1 핸드(31)는 기부(33) 및 기판 유지부(34)를 구비한다. 기부(33)는 중공의 케이싱에 의해 형성되어 있다. 기부(33)의 기단부가, 핸드축(LH) 둘레로 회전 가능하게 암(23)에 연결된다. 기판 유지부(34)는 기부(33)의 선단부에 결합된다. 기판 유지부(34)는 선단측이 두 갈래로 나뉘어진 Y 형상으로 형성된 박판이다. 기판 유지부(34)는 선대칭으로 형성되어 있다. 그 대칭축은 제1 핸드(31)의 중심선(C31)을 형성하고, 핸드축(LH)을 통과한다. 기판(90)은 기판 유지부(34) 상에 재치된 상태에서 제1 핸드(31)에 유지된다.
기판(90)이 제1 핸드(31)에 유지되면, 이상적으로는 기판(90)의 중심이 제1 핸드(31)의 중심선(C31) 상에 위치하게 된다. 이하에서는, 제1 핸드(31)에서의 유지 시에 기판(90)의 중심이 위치한다고 상정되는 중심선(C31) 상의 위치를, 제1 핸드(31)의 「기준 위치(P31)」라고 한다. 제2 핸드(32)도 제1 핸드(31)와 마찬가지로 구성되어 있다. 참조 부호 C32는 제2 핸드(32)의 중심선이다. 참조 부호 P32(도 1 참조)는 제2 핸드(32)의 기준 위치이다.
도 3은 기판 반송 로봇(20)을 도시하는 블록도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 반송 로봇(20)은 제어 장치(40)를 구비한다. 제어 장치(40)는, 기판(90)을 반송하는 작업의 실행에 관한 프로그램을 격납한 메모리와, 메모리에 기억되어 있는 프로그램을 실행하는 CPU와, 당해 프로그램의 실행에 의해 제어되는 각종 액추에이터와 접속되는 인터페이스를 구비하고 있다.
각종 액추에이터에는, 핸드(31, 32) 각각에 설치된 2개의 유지 액추에이터(38)가 포함된다. 각각의 유지 액츄에이터(38)는, 대응하는 핸드(31, 32)에 재치된 기판(90)을 유지하거나 또는 해방한다. 나아가, 각종 액추에이터에는, 승강 액추에이터(41)와, 제1 - 제3 암 액추에이터(42 - 44)와, 제1 및 제2 핸드 액추에이터(46, 47)가 포함된다. 승강 액추에이터(41)는 승강축(22)을 동작시켜 암(23) 및 핸드(31, 32)를 기대(21)에 대하여 승강시킨다. 제1 암 액추에이터(42)는 기단 링크(24)를 승강축(22) 및 기대(21)에 대해 제1 암축(L1) 둘레로 회전시킨다. 제2 암 액츄에이터(43)는 중간 링크(25)를 기단 링크(24)에 대해 제2 암축(L2) 둘레로 회전시킨다. 제3 암 액추에이터(44)는 선단 링크(26)를 중간 링크(25)에 대해 제3 암축(L3) 둘레로 회전시킨다. 제1 핸드 액츄에이터(46)는 제1 핸드(31)를 암(23)에 대해 핸드축(LH) 둘레로 회전시킨다. 제2 핸드 액추에이터(47)는 제2 핸드(32)를 암(23)에 대해 핸드축(LH) 둘레로 회전시킨다. 이들 액추에이터(41 - 44, 46, 47)에 의해, 암(23) 및 핸드(31, 32)의 위치 및 자세가 변하여, 핸드(31, 32)가 이동한다. 액추에이터(41 - 44, 46, 47)는, 일례로서, 전기 모터이다. 승강 액추에이터(41)는 실린더라도 좋다.
도 4는 제어 장치(40)에 의해 실행되는 기판 반송 방법의 일례를 도시하는 플로우 차트이다. 여기에서는, 기판 반송 방법으로서, 다음의 공정 (1) - (6)으로 이루어지는 일련의 반송 처리를 예시한다. 즉, 공정 (1): 제1 핸드(31)를 반송실(1)로부터 제1 측벽부(13)에 설치된 수용실 형성부(5)의 수용실(2) 내로 진입시키고, 공정 (2): 제1 핸드(31)와 수용실(2) 내의 재치부와의 사이에서 기판(90)을 이재하고, 공정 (3): 제1 핸드(31)를 수용실(2)로부터 반송실(1)로 퇴출시키고, 공정 (4): 제2 핸드(32)를 반송실(1)로부터 동일한 수용실(2)에 진입시키고, 공정 (5): 제2 핸드(32)와 수용실(2) 내의 재치부 사이에서 기판(90)을 이재하고, 공정 (6): 제2 핸드(32)를 수용실(2)로부터 반송실(1)로 퇴출시킨다. 본 실시예에서는, 공정 (3) 직후에 공정 (4)를 수행하고, 공정 (3)과 공정 (4) 사이에, 제1 핸드(31) 또는 제2 핸드(32)를 제1 측벽부(13)의 수용실(2)과는 다른 수용실에 대하여 진입/퇴출시키는 처리를 끼우지 않는 것으로 한다.
공정(2)에 관하여, 제1 핸드(31)와 재치부 사이의 이재란, 동작 (a): 제1 핸드(31)에 유지되어 있는 기판(90)을 수용실(2) 내에서 해방하고, 해방된 기판(90)을 어느 재치부에 배치하여, 제1 핸드(31)를 비운 상태로 하는 동작과, 동작 (b): 어느 재치부에 재치되어 있는 기판(90)을 제1 핸드(31)에 재치하고, 당해 재치부를 비운 상태로 하여, 제1 핸드(31)로 기판(90)을 유지하는 동작 중 어느 일방의 동작을 수행하는 것을 말한다. 공정 (5)에 관해서, 제2 핸드(32)와 재치부 사이의 이재도 이것과 마찬가지이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제어 장치(40)는, 기판 반송 방법의 일례로서, 제1 이재 처리(S1), 퇴출 처리(S2), 제2 이재 처리(S3) 및 퇴출 처리(S4)를 순서대로 실행하도록 구성되어 있다. 제1 이재 처리(S1)가 상기 공정 (1) 및 공정 (2)에 대응하고, 퇴출 처리(S2)가 상기 공정 (3)에 대응하며, 제2 이재 처리(S3)가 상기 공정 (4) 및 공정 (5)에 대응하고, 퇴출 처리(S4)가 상기 공정 (6)에 대응한다.
제1 이재 처리(S1)는 진입 준비 처리(S11), 진입 처리(S12) 및 이재 처리(S13)를 포함하고, 이들 처리(S11 - S13)가 순서대로 실행된다.
진입 준비 처리(S11)에서는, 제1 핸드(31)를 수용실(2)에 진입시키기 쉽고, 또한, 제2 핸드(32)가 반송실(1)을 구획하는 벽(11 - 14)과 간섭하지 않도록, 핸드(31, 32)의 회전 위치를 조정한다. 이러한 조정을 위해서, 핸드 액추에이터(46, 47)의 동작이 제어된다. 추가적으로, 제1 핸드(31)의 높이를 조정하기 위해, 승강 액추에이터(41)의 동작을 제어하여도 좋다. 진입 처리(S12)에서는, 제1 핸드(31)를 반송실(1)로부터 개구(15)를 통하여 수용실(2) 내로 진입시킨다. 제1 핸드(31)의 이동을 위해서, 적어도 암 액추에이터(42 - 44)의 동작이 제어된다. 추가적으로 제1 핸드 액추에이터(46)의 동작이 제어되어도 좋다. 이재 처리(S13)에서는, 제1 핸드(31)와 재치부 사이에서 기판(90)을 이재한다. 이재를 위해서, 제1 핸드(31)의 유지 액추에이터(38) 및 승강 액추에이터(41)의 동작이 제어된다.
도 5는 퇴출 처리(S2)의 개시 시점으로부터 종료 시점까지의 7개의 시점에서 제1 핸드(31) 및 제2 핸드(32)를 평면에서 볼 때를 도시하고 있다. 원형 플롯 마크는 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)를 나타내고, 삼각형 플롯 마크는 제2 핸드(32)의 기준 위치(P32)를 나타내며, 크로스형 플롯 마크는 핸드축(LH)을 나타내고 있다. 도 6은 퇴출 처리(S2)의 개시 시점 및 종료 시점의 2개의 시점에서의 기준 위치(P31, P32) 및 핸드축(LH)를 도시하고 있다. 핸드(31, 32), 중심선(C31, C32), 기준 위치(P31, P32), 제1 핸드(31)와 제2 핸드(32)가 이루는 각도(α), 및 핸드축(LH)에 관하여, 참조 부호에 부기되는 첨자 (s)는 퇴출 처리(S2)의 개시 시점을 나타내고, 첨자 (e)는 퇴출 처리(S2)의 종료 시점을 나타낸다. 여기서, 핸드(31, 32)가 이루는 각도(α)는, 전형적으로는, 중심선(C31, C32)이 이루는 각도이다. 참조 부호 T31은 퇴출 처리(S2)에서 기준 위치(P31)의 궤적이고, 참조 부호 T32는 퇴출 처리(S2)에서 기준 위치(P32)의 궤적이며, 참조 부호 TLH는 퇴출 처리(S2)에서 핸드축(LH)의 궤적이다. 본 실시예에서는, 3개의 궤적(T31, T32, TLH)이 모두 직선으로 도시되어 있지만, 이것은 단지 일례이고, 1 이상의 궤적의 전부 또는 일부가 곡선이라도 좋다. 참조 부호 D31은 퇴출 처리(S2)에서 기준 위치(P31)의 제1 방향(X)의 이동량이고, 참조 부호 DLH는 퇴출 처리(S2)에서 핸드축(LH)의 제1 방향(X)의 이동량이다. 여기서, 본 실시예에서는, 퇴출 처리(S2)의 실행 중, 제어 장치(40)는 승강축(22)을 구동하지 않도록 구성되고, 암(23) 및 핸드(31, 32)는 상하 방향으로 이동하지 않는 것으로 한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 퇴출 처리(S2)의 개시 시점에서는, 제1 핸드(31(s))의 기판 유지부(34)가 수용실(2) 내에 위치한다. 제1 핸드(31(s))의 기부(33), 핸드축(LH(s)) 및 제2 핸드(32(s))의 전체가 반송실(1) 내에 위치한다. 각도(α(s))는, 제1 이재 처리(S1)의 진입 준비 처리(S11)를 실행한 결과로서, 제2 핸드(32)를 후벽부(12) 또는 제1 측벽부(13)와 간섭시키지 않기 위해 큰 값으로 되어 있다. 기준 위치(P31(s))는 개구(15)의 중심선(C15) 상에 위치한다. 핸드 샤프트(LH(s))는 개구(15)의 중심선(C15)으로부터 약간 전후 방향(X) 중 일방(전방)으로 떨어져 있다. 중심선(C31(s))은 약간 전후 방향(X)으로 기울면서 좌우 방향(Y)으로 연장되어 있고, 중심선(C15, C31(s))이 이루는 각도는 작다. 따라서, 제1 핸드(31)가 수용실(2) 및 개구(15)의 가장자리와 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
퇴출 처리(S2)의 실행 중에, 제어 장치(40)는, 핸드축(LH)이 제1 핸드(31)(더 상세하게는, 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31))와 비교하여, 개구(15)의 중심선(C15)으로부터 전후 방향(X)으로 멀어져 가도록, 암(23) 및 제1 핸드(31)의 동작을 제어한다. 핸드축(LH)의 위치 또는 궤적(TLH)은 링크(24 - 26)의 자세에 의해 제어된다. 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)의 위치 또는 궤적(T31)은 제1 핸드(31)의 자세(핸드축(LH) 둘레의 회전각)에 의해 제어된다. 퇴출 처리(S2)의 개시 시점에서, 이미 핸드축(LH(s))은 기준 위치(P31(s))에 대하여 개구(15)의 중심선(C15)으로부터의 이격량이 크다(기준 위치(P31(s))의 이격량은 제로). 그리고, 이동량(DLH)이 이동량(D31) 보다 크다. 그 결과로, 종료 시점에서, 핸드축(LH(e))은 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31(e)) 보다 중심선(C15)으로부터 전후 방향(X)으로 크게 떨어져 있다. 핸드축(LH(e))으로부터 후벽부(12)까지의 거리는 핸드축(LH(e))으로부터 제2 핸드(32)의 선단까지의 거리보다 길다. 따라서, 제2 핸드(32)가 회전해도 후벽부(12)와 간섭하지 않는다(원호(R) 참조).
본 실시예에서는, 베이스(21)가 중심선(C15)으로부터 전후 방향(X)의 일방(도 1 및 5의 상방)으로 떨어져 있다. 또한, 암(23)이 3개의 링크(24 - 26)를 구비하고, 3개의 링크(24 - 26)를 접어서 핸드축(LH)을 반송실(1)의 좌우 방향(Y)의 중앙부에 가깝게 한 상태에서, 핸드축(LH)은 중심선(C15)으로부터 전후 방향(X)의 타방(도 1 및 5의 하방)에 위치한다. 퇴출 처리(S2)의 실행 중, 제어 장치(40)는 핸드축(LH)이 좌우 방향(Y)에서 개구(15)로부터 원위 측의 방향(도 1 및 5의 우측)으로 이동하면서 전후 방향(X)의 당해 타방으로 이동하도록, 암(23)의 동작을 제어하도록 구성되어 있다. 이에 따라서, 핸드축(LH)은 개구(15)의 중심선(C15)으로부터 전후 방향(X)으로 이격되어, 후벽부(12)로부터 멀어지고 전벽부(11)에 접근한다.
제1 핸드(31)의 자세가 변경되지 않으면, 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)는 핸드축(LH)과 평행 이동한다. 본 실시예에서는, 퇴출 처리(S2)의 실행 중, 제어 장치(40)가, 기준 위치(P31)의 전후 방향(X)으로의 이동량이 핸드축(LH)의 전후 방향(X)으로의 이동량보다 작아지도록, 제1 핸드(31)의 동작을 제어하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 핸드축(LH)을 상기와 같이 이동시키면서, 제1 핸드(31)의 선단부를 전후 방향(X)의 상기 일방(핸드축(LH)의 이동 방향과 역방향, 즉 도 1 및 5의 상방)을 향하도록 한 회전 방향(도 1 및 도 5의 시계 방향)으로, 제1 핸드(31)를 회전시킨다.
제2 핸드(32)의 기준 위치(P32)의 위치 또는 궤적(T32)은 제2 핸드(32)의 자세(핸드축(LH) 둘레의 회전각)에 의해 제어된다. 만약 제2 핸드(32)의 자세가 변경되지 않으면, 제2 핸드(32)의 기준 위치(P32)는 핸드축(LH)과 평행 이동한다. 본 실시예에서는, 퇴출 처리(S2)의 실행 중, 제어 장치(40)가, 제1 핸드(31)와 제2 핸드(32) 사이의 각도(α)가 작아지도록, 제2 핸드(32)의 동작을 제어하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 핸드축(LH) 및 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)를 상기와 같이 이동시키면서, 제2 핸드(32)를 제1 핸드(31)에 가깝게 하는 회전 방향(도 1 및 5의 반시계 방향)으로, 제2 핸드(32)를 회전시킨다. 여기서, 제2 핸드(32)는 제1 핸드(31)와 동일한 회전 방향으로 회전하더라도, 그 회전각이 제1 핸드(31)보다 작으면, 종료 시점의 각도(α(e))는 개시 시점의 각도(α(s)) 보다 작아진다. 본 실시예에서는, 제1 핸드(31)와 제2 핸드(32)를 서로 마주보는 방향으로 회전시키기 때문에, 개시 시점의 각도(α(s))와 종료 시점의 각도(α(e))의 차가 커지고, 종료 시점의 각도(α(e))가 작아진다.
도 4로 돌아가, 퇴출 처리(S2가 완료되면, 제2 이재 처리(S3)가 실행된다. 제2 이재 처리(S3)에서도, 제1 이재 처리(S1)와 마찬가지로, 진입 준비 처리(S31), 진입 처리(S32) 및 이재 처리(S33)가 순차적으로 실행된다.
진입 준비 처리(S31)에서는, 제2 핸드(32)를 수용실(2)에 진입시키기 쉽고, 또한 제1 핸드(31)가 반송실(1)을 구획하는 벽(11 - 14)과 간섭하지 않도록, 제1 핸드(31) 및 제2 핸드(32)의 회전 위치 및 높이를 조정한다. 이러한 조정을 위해, 제1 핸드 액추에이터(46), 제2 핸드 액추에이터(47) 및 승강 액추에이터(41)의 동작이 제어된다. 진입 준비 처리(S31)에서, 퇴출 처리(S2)의 종료 시점에서의 핸드축(LH)에 대한 제1 핸드(31)의 자세와 같아질 때까지, 제2 핸드(32)를 회전시킨다. 또한, 퇴출 처리(S2)의 종료 시점에서의 핸드축(LH)에 대한 제2 핸드(32)의 자세와 같아질 때까지 제1 핸드(31)를 회전시킨다.
도 7은 참고예에 따른 퇴출 처리를 도시하는 평면도이다. 참고예를 참조하여, 본 실시예에 따른 퇴출 처리(S2) 및 그 후의 진입 준비 처리(S31) 및 진입 처리(S32)에 대해서 설명한다. 참고예에서, 반송실(1), 수용실(2) 및 기판 반송 로봇(20)은, 본 실시예와 동일하다. 퇴출 처리의 개시 시점에서 암(23) 및 핸드(31, 32)의 자세는, 본 실시예와 동일하다. 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)의 궤적(T31)은 본 실시예와 동일하다. 한편, 퇴출 처리의 실행 중, 제1 핸드(31)도 제2 핸드(32)도 핸드축(LH) 둘레로 회전하지 않는다. 따라서, 핸드축(LH) 및 기준 위치(P32)의 궤적(TLH', T32')은 기준 위치(P31)의 궤적(T31)과 평행하고, 핸드축(LH) 및 2개의 기준 위치(P31, P32)는 평행 이동한다. 퇴출 처리 중의 핸드축(LH)의 전후 방향(X)에서의 이동량은, 기준 위치(P31)의 이동량과 동일하다. 퇴출 처리 전후에서 제1 핸드(31)와 제2 핸드(32) 사이의 각도가 변하지 않는다.
이 경우, 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)가, 본 실시예의 퇴출 처리(S2)의 종료 시점에서의 기준 위치(P31(e))와 동일한 위치까지 이동한 시점에서, 핸드축(LH'(e)) 및 기준 위치(P32'(e))는 후벽부(12)로부터 충분히 멀어지지 않는다. 따라서, 제2 핸드(32)가 회전하면, 도 7에 원호(R')로 도시된 바와 같이, 제2 핸드(32)는 후벽부(12)와 간섭한다. 여기서, 원호(R')의 중심은 핸드축(LH'(e))이고, 원호(R')의 반경은, 당해 중심으로부터 제2 핸드(32)의 중심선과 제2 핸드(32) 상의 기판(90)의 가장자리와의 원위 측의 교점까지의 거리이며, 원호(R')는 제2 핸드(32) 상의 기판(90)의 궤적을 나타낸다. 간섭을 피하기 위해서는, 핸드축(LH)을 전벽부(11)에 가깝게 이동시키지 않으면 안된다. 여기서, 도 7에 도시된 참조 부호 LH(e)는, 도 5에 도시된 본 실시예에 따른 퇴출 처리(S2)의 종료 시점에서 핸드축(LH)의 위치이다. 여기까지 핸드축(LH)을 이동시키면, 제2 핸드(32)를 후벽부(12)와 간섭시키지 않고 회전시킬 수 있다. 참고예에서는, 제1 핸드(31)를 수용실(2)로부터 퇴출시킨 후, 핸드축(LH)을 전후 방향(X)으로 이동시키는 공정을 필요로 하고, 그만큼 기판 반송 로봇(20)의 스루풋이 저하된다.
이에 반해서, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는, 제1 핸드(31)를 수용실(2)로부터 퇴출시키는 동안에, 핸드축(LH)이 개구(15)의 중심선(C15)으로부터 멀어져 가도록 이동시켜서, 핸드축(LH)을 전벽부(11)에 가깝게 하여 후벽부(12)로부터 멀리한다. 따라서, 퇴출 처리(S2)가 완료된 후, 제2 핸드(32)가 개구(15)에 가까워지도록 회전시켜도, 도 5에 원호(R)로 도시된 바와 같이, 제2 핸드(32)가 후벽부(12)와 간섭하는 것을 억제할 수 있다. 여기서, 원호(R)의 중심은 핸드축(LH(e))이고, 원호(R)의 반경은 당해 중심으로부터 제2 핸드(32)의 중심선과 제2 핸드(32) 상의 기판(90)의 가장자리와의 원위 측의 교점까지의 거리이고, 원호(R)는 제2 핸드(32) 상의 기판(90)의 궤적을 나타낸다. 핸드축(LH(e))은 당해 반경과 동일한 거리 또는 그보다 약간 큰 거리만큼, 후벽부(12)로부터 떨어져 있다. 참고예와 대비하여, 제1 핸드(31)의 퇴출 개시로부터 제2 핸드(32)의 회전 개시까지 필요한 핸드축(LH)의 이동 거리 및 시간을 단축할 수 있어서, 스루풋을 개선할 수 있다. 핸드축(LH)이 중심선(C15)로부터 멀어지는 한편, 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)는 중심선(C15)을 따라 이동한다. 이 때문에, 제1 핸드(31) 및 만약 있다면 그에 유지되어 있는 기판(90)이 수용실(2)의 내면이나 개구(15)의 둘레와 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
퇴출 처리(S2)의 실행 중에, 제1 핸드(31)와 제2 핸드(32) 사이의 각도(α)가 작아지므로, 진입 준비 처리(S31)에서 필요한 제2 핸드(32)의 회전량이 작아진다. 다시 말해서, 퇴출 처리(S2)의 실행 중에도 실질적인 진입 준비가 앞서 행해지고 있다. 그만큼, 퇴출 처리(S2)의 완료 후에 실행되는 진입 준비 처리(S31)의 소요 시간을 단축할 수 있다.
진입 준비 처리(S31)에서는, 제1 핸드(31)를 회전시킨다. 제2 핸드(32)와 마찬가지로, 제1 핸드(31)가 후벽부(12)와 간섭하는 것도 억제할 수 있다. 본 실시예에서, 제1 핸드(31)는 퇴출 처리(S2)의 종료 시점에서 제2 핸드(32)의 자세와 동일한 자세가 되도록 회전한다. 진입 준비 처리(S31)에서 제1 핸드(31)의 회전량(회전각 절대값)과 제2 핸드(32)의 회전량(회전각 절대값)이 동일하고, 2개의 핸드(31, 32)의 회전을 동시에 개시하여도 동일 속도이면 동시에 종료할 수 있고, 진입 준비 처리(S31)에서는 일방의 핸드가 타방의 핸드의 회전 종료를 대기하도록 하는 낭비 시간이 없다. 또한, 진입 준비 처리(S31)에서는, 승강 액추에이터(41)를 동작시켜서, 제2 핸드(32)의 높이를 조정하여도 좋다.
진입 처리(S32)의 실행 중, 제어 장치(40)는, 핸드축(LH) 및 기준 위치(P31, P32)가 퇴출 처리(S2)와 동일한 궤적을 따라서 퇴출 처리(S2)와 역방향으로 이동하도록, 암(23) 및 핸드(31, 32)의 동작을 제어한다. 제2 핸드(32)의 기준 위치(P32)는 퇴출 처리(S2)에서 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)의 궤적(T31)(도 6 참조)을 따라서, 기준 위치(P31)와는 반대 방향으로 이동한다. 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)는, 퇴출 처리(S2)에서 제2 핸드(32)의 기준 위치(P32)의 궤적(T32)(도 6 참조)을 따라서, 기준 위치(P32)와는 역방향으로 이동한다. 이에 따라서, 진입 처리(S32)에서도, 핸드축(LH)의 이동 거리 및 이동 시간을 단축할 수 있어서, 스루풋을 개선할 수 있다. 제1 핸드(31)와 제2 핸드(32) 사이의 각도(α)는 넓어져 가서, 제2 핸드(32)가 수용실(2)에 진입할 때에 제1 핸드(31)가 후벽부(12)와 간섭하는 것을 억제할 수 있다. 진입 준비 처리(S31)에서는, 제1 핸드(31)는 회전하지만, 진입 처리(S32)의 종료 시점에서 필요한 위치까지 회전시키지 않고, 그 도중에 회전을 정지한다. 진입 처리(S32) 중에 나머지의 회전을 계속하고, 그에 따라서 간섭 방지에 충분한 위치까지 제1 핸드(31)가 회전한다. 다시 말해서, 진입 처리(S32)의 실행 중에도, 진입 준비 처리(S31)에서 남은 진입 준비를 계속하고 있다. 이에 따라서, 상기한 낭비 시간을 생략하고, 진입 준비 처리(S31)의 소요 시간을 단축할 수 있다.
제2 핸드(32)를 대상으로 하는 퇴출 처리(S4)는 제1 핸드(31)를 대상으로 하는 퇴출 처리(S2)와 동일하여도 좋고, 상이하여도 좋다. 제1 핸드(31)를 대상으로 하는 진입 처리(S12)는, 제2 핸드(32)를 대상으로 하는 진입 처리(S32)와 동일하여도 좋고, 상이하여도 좋다.
실시예에 대하여 설명했지만, 상기 구성은 일례이며, 본 개시의 범위 내에서 변경, 추가 및/또는 삭제 가능하다. 암(23)을 구성하는 링크의 개수는 3에 한정되지 않고, 2 또는 4 이상이라도 좋다. 제1 측벽부(13)를 통하여 반송실(1)과 연속하는 수용실(2)에 대한 핸드(31, 32)의 진입/퇴출을 예시하였지만, 그 외의 벽, 특히 제2 측벽부(14)를 통해 연속하는 수용실(2)에 대한 핸드(31, 32)의 진입/퇴출에도 적용할 수 있다. 기준 위치(P31, P32)는 상기 예에 한정되지 않는다. 제1 핸드(31)의 기준 위치(P31)는 핸드축(LH) 보다 선단 측의 임의의 위치로 설정할 수 있다. 제2 핸드(32)의 기준 위치(P32)에 대해서도 마찬가지이다. 기대(21)가 전후 방향(X)의 일방(후방)에 편재하고, 퇴출 처리(S2)에서 핸드축(LH)을 기대(21)와는 반대 측이 되는 전후 방향(X)의 타방(전방)으로 이동시켰지만, 퇴출 처리(S2)에 의해 핸드축(LH)을 기대(21)와 동일한 측으로 이동시켜도 좋다.

Claims (8)

  1. 반송실 내에 설치되는 기대와,
    수평면 내에서 회동하는 복수의 링크를 구비하고, 상기 기대에 연결되는 암과,
    상기 암의 선단부에 연직의 핸드축 둘레로 회전 가능하게 연결되고, 기판을 지지하는 제1 핸드 및 제2 핸드와,
    제어 장치를 구비하고,
    상기 제어 장치는,
    상기 제1 핸드를 상기 반송실로부터 상기 반송실과 개구를 통해 연통된 수용실 내로 진입시켜서, 상기 수용실 내에서 상기 기판을 재치하는 재치부와 상기 제1 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제1 이재 처리와,
    상기 제1 핸드를 상기 수용실로부터 상기 반송실로 퇴출시키는 퇴출 처리와,
    상기 제2 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제2 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제2 이재 처리를 실행하도록 구성되고,
    상기 퇴출 처리에서, 상기 제어 장치는, 상기 핸드축이, 상기 제1 핸드의 기준 위치와 비교하여, 상기 개구에 수직인 상기 개구의 중심선으로부터 멀어져 가도록, 상기 암 및 상기 제1 핸드의 동작을 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송실이, 상기 중심선의 연장 방향으로 연장되는 전벽부 및 후벽부와, 상기 전벽부와 상기 후벽부를 연결하는 측벽부에 의해 형성되고, 상기 개구는 상기 측벽부에 개방되고,
    상기 퇴출 처리에서, 상기 제어 장치는, 상기 핸드축을 상기 연장 방향으로 이동시키면서 상기 전벽부 및 상기 후벽부의 일방에 가까워지도록 하여, 상기 암 및 상기 제1 핸드의 동작을 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 전벽부 및 상기 후벽부가 상기 측벽부 보다 긴 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 퇴출 처리에서, 상기 제어 장치는, 상기 제1 핸드와 상기 제2 핸드 사이의 각도가 작아지도록, 상기 제2 핸드의 동작을 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 기판 반송 로봇과,
    상기 반송실과,
    상기 수용실을 형성하고, 상기 수용실 내에 상기 재치부를 구비하는 수용실 형성부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 기판 반송 로봇으로 기판을 반송하는 방법으로서,
    상기 제1 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제1 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제1 이재 공정과,
    상기 핸드축이, 상기 제1 핸드의 기준 위치와 비교하여, 상기 개구에 수직인 상기 개구의 중심선으로부터 멀어져 가도록 하여, 상기 제1 핸드를 상기 수용실로부터 상기 반송실로 퇴출시키는 퇴출 공정과,
    상기 제2 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제2 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제2 이재 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  7. 기판이 반송되는 반송실과,
    상기 반송실과 개구를 통해 연통하는 수용실을 형성하고, 상기 수용실 내에 상기 기판을 재치하는 재치부를 구비하는 수용실 형성부와,
    기판 반송 로봇을 구비하고,
    상기 기판 반송 로봇이,
    상기 반송실 내에 설치되는 기대와,
    수평면 내에서 회동하는 복수의 링크를 구비하고, 상기 기대에 연결되는 암과,
    상기 암의 선단부에 연직의 핸드축 둘레로 회전 가능하게 연결되고, 기판을 지지하는 제1 핸드 및 제2 핸드와,
    제어 장치를 구비하고,
    상기 제어 장치는,
    상기 제1 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제1 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제1 이재 처리와,
    상기 제1 핸드를 상기 수용실로부터 상기 반송실로 퇴출시키는 퇴출 처리와,
    상기 제2 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제2 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제2 이재 처리를 실행하도록 구성되고,
    상기 퇴출 처리에서, 상기 제어 장치는, 상기 핸드축이, 상기 제1 핸드의 기준 위치와 비교하여, 상기 개구에 수직인 상기 개구의 중심선으로부터 멀어져 가도록, 상기 암 및 상기 제1 핸드의 동작을 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  8. 기판 반송 로봇으로 기판을 반송하는 방법으로서,
    상기 기판 반송 로봇이,
    반송실 내에 설치되는 기대와,
    수평면 내에서 회동하는 복수의 링크를 구비하고, 상기 기대에 연결되는 암과,
    상기 암의 선단부에 연직의 핸드축 둘레로 회전 가능하게 연결되고, 기판을 지지하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 구비하고,
    상기 방법이,
    상기 제1 핸드를 상기 반송실로부터 상기 반송실과 개구를 통해 연통된 수용실 내로 진입시키고, 상기 수용실 내에서 상기 기판을 재치하는 재치부와 상기 제1 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제1 이재 공정과,
    상기 핸드축이, 상기 제1 핸드의 기준 위치와 비교하여, 상기 개구에 수직인 상기 개구의 중심선으로부터 멀어져 가도록 하여, 상기 제1 핸드를 상기 수용실로부터 상기 반송실로 퇴출시키는 퇴출 공정과,
    상기 제2 핸드를 상기 반송실로부터 상기 수용실 내로 진입시켜서, 상기 재치부와 상기 제2 핸드 사이에서 상기 기판을 이재하는 제2 이재 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
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