KR20220018043A - 출하 검사 장치, 이것을 갖는 포장 장치 및 포장 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 다수매의 웨이퍼를 수용한 용기의 상태를 특정하여 출하 시 품질을 보다 확실한 것으로 할 수 있는 출하 검사 장치를 제공한다. 포장 장치는, 복수의 웨이퍼를 소정의 간격을 두고 수용 가능하게 구성된 용기(B)를 홀딩하여 이 용기(B)를 포장 봉투에 삽입하는 기구를 갖는다. 또, 포장 봉투에 삽입하기 전의 용기(B)의 바깥쪽에서 이 용기(B)에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 광원(30), 광원(30)과는 다른 방향에서 용기(B)에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 광원(31), 각 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 검지하는 수광부(35, 36)를 갖는다. 또, 수광부(35, 36)에 의한 검지 결과에 의거하여 용기(B) 웨이퍼 재적 상태의 특정을 제어하는 제어부(20)를 갖는다.

Description

출하 검사 장치, 이것을 갖는 포장 장치 및 포장 시스템

본 발명은, 예를 들면 다수매(多數枚)의 반도체 웨이퍼가 수용된 용기의 출하 검사를 행하기 위한 장치, 이것을 갖는 포장 장치, 포장 시스템의 기술에 관한 것이다.

수송 중에서의 손상 및 오염 등을 방지하기 위해, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등의 기판(이하, 웨이퍼라고 칭하는 경우도 있다)을 반송(搬送)하는 경우, 우선, 당해 기판을 용기에 넣고, 이 용기를 추가로 플라스틱제 등의 포장 봉투에 수납하여, 봉투 입구를 실링(封止)한 후에 반송된다.

기판 반송을 위한 포장 작업을 사람 손에 의해 행하는 경우에는, 우선, 포장 봉투의 봉투 입구로부터 수용 용기를 삽입하고, 포장 봉투 내를 탈기하기 위한 진공관(Vacuum tube)을 포장 봉투 내에 삽입하여 탈기하고, 개구부를 소정의 형태로 접어 넣은 후에 시일 부위를 열 시일기에 장착하여 융착 시일한다.

이와 같은 포장 공정의 전부를 수작업으로 행하는 경우, 포장에 상당한 시간을 필요로 할 뿐만 아니라, 시일면에 「주름」이 발생하기 쉽고, 그 결과, 밀봉 상태의 악화로 수송 중에 기판이 오염되어 버린다는 문제가 있다.

이와 같은 문제에 대해, 특허문헌 1에 개시된 용기 포장 장치는, 용기의 포장 공정을 간략화하고, 또한, 시일 부분의 주름을 방지한다는 것이다. 구체적으로는, 포장 봉투에 거싯(gusset) 타입의 봉투를 이용하고, 용기 포장 장치에 배설(配設)되어 있는 측면 상부 고정 수단과, 측면 하부 고정 수단에 의해, 포장 봉투의 개구부가 확실히 열린 상태에서 위치 결정한다. 또한, 측면 접음 수단에 의해, 포장 봉투의 양측면부 중앙의 내측으로의 접음부의 접음선을 외측에서 눌러 접고, 그 후, 개구부를 실링한다는 것이다. 이것에 의해, 접는 위치가 올바른 위치에서 일정하게 되기 때문에 확실히 개구부를 실링할 수 있게 되어, 시일 품질의 불균일을 억제할 수 있다는 것이다.

일본국 특개2011-195164호 공보

그러나, 특허문헌 1에 개시된 용기 포장 장치에서는, 측면 상부 고정 수단과 측면 하부 고정 수단에 의해 열린 포장 봉투의 개구부로부터 용기를 삽입한다. 예를 들면, 동일 용기를 다중 포장할 때에는, 미포장 상태의 용기의 투영 면적보다도 기(旣)포장 봉투가 존재하는 부분만큼 당해 개구부에 대한 당해 용기의 투영 면적이 커진다. 그 때문에, 용기 등의 포장 대상물을 포장 봉투에 삽입할 때에, 당해 포장 대상물이 개구부(봉투 입구)에 접촉해 버려 「봉투 벗어남」 등의 트러블을 유발해 버린다는 문제가 남는다.

또, 봉투 입구에 포장 대상물이 접촉함으로써 발생하는 「봉투 어긋남」에 의해, 접음부를 접을 때에, 포장 봉투의 상면측의 접음 개소(箇所)와 하면측의 접음 개소에 어긋남이 발생해 버리는 경우가 있다. 그 결과, 후공정(後工程)에 있어서 개구부를 실링했을 때의 시일면에 「주름」이 발생해 버려, 시일 품질(밀봉성)이 저하되어 버리는 경우가 있다.

또, 기판을 용기에 넣는 공정은 자동화되어 있는 경우가 많고, 다수매의 웨이퍼가 정확하게 용기에 수용되어 있는 것으로 하여 봉투 입구를 실링해 출하된다. 그러나, 그중에는 웨이퍼 재적수가 부족한 경우, 하나의 웨이퍼의 수용 개소에 복수의 웨이퍼가 수용되어 버린 경우 등도 있기 때문에, 가령 시일면에 「주름」이 발생하고 있지 않아도 출하는 할 수 없게 된다. 또, 차광성의 포장 봉투가 사용되는 경우에는 포장 후의 용기 상태나 웨이퍼 수납 상태의 확인이 불가능하게 된다.

또, 종래의 웨이퍼 수납 상태의 자동 검사는 용기의 뚜껑을 다시 개봉하고 나서 실시할 필요가 있어, 출하 직전의 뚜껑 재개봉에 의한 용기 내부·웨이퍼 오염 발생의 우려때문에 자동 검사를 행하는 것이 곤란했다.

그 때문에, 출하 시 품질을 보다 확실한 것으로 하기 위해 다수매의 웨이퍼가 올바르게 용기에 수용되어 있는 것이나 시일면에 「주름」이 생기지 않은 것 등을 용이하게 파악하여 그 에비던스(evidence)를 얻을 수 없다는 과제가 남는다.

본 발명은, 다수매의 웨이퍼를 수용한 용기의 상태를 특정하여 출하 시 품질을 보다 확실한 것으로 할 수 있는 출하 검사 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다. 또, 이 출하 검사 장치를 갖는 포장 장치 및 포장 시스템을 제공한다.

본 발명은, 복수의 웨이퍼를 소정의 간격을 두고 수용 가능하게 구성된 용기를 홀딩하여 당해 용기를 포장 봉투에 삽입하는 기구를 갖는 포장 장치로서, 상기 용기의 바깥쪽에서, 당해 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 1 광원과, 상기 제 1 광원과는 다른 방향에서 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 2 광원과, 상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 검지하는 수광(受光) 수단과, 상기 수광 수단에 의한 검지 결과에 의거하여 상기 용기의 웨이퍼 재적 상태의 특정을 제어하는 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 또, 상기 용기를 포장하기 위한 포장 봉투를 포장 장치까지 반송하는 반송 장치와, 당해 용기의 포장을 행하는 당해 포장 장치를 포함하는 포장 시스템으로서, 상기 포장 장치는, 복수의 웨이퍼를 소정의 간격을 두고 수용 가능하게 구성된 용기를 홀딩하여 당해 용기를 포장 봉투에 삽입하는 기구와, 상기 용기의 바깥쪽에서, 당해 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 1 광원과, 상기 제 1 광원과는 다른 방향에서 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 2 광원과, 상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 검지하는 수광 수단과, 상기 수광 수단에 의한 검지 결과에 의거하여 상기 용기의 웨이퍼 재적 상태의 특정을 제어하는 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 또, 복수의 웨이퍼를 소정의 간격을 두고 수용 가능하게 구성된 용기의 웨이퍼 재적 상태를 특정하는 재적 검사 장치로서, 상기 용기의 바깥쪽에서, 당해 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 1 광원과, 상기 제 1 광원과는 다른 방향에서 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 2 광원과, 상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 검지하는 수광 수단과, 상기 수광 수단에 의한 검지 결과에 의거하여 상기 용기의 웨이퍼 재적 상태의 특정을 제어하는 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 또, 포장 봉투의 실링 상태를 검지하는 실링 상태 검사 장치로서, 상기 포장 봉투에 웨이퍼가 수용된 용기가 삽입된 후에 접혀진 봉투 입구의 소정 부위를 융착 시일하여 실링된 당해 봉투 입구의 실링 개소의 상태를 검지하는 검지 수단을 갖고, 상기 검지 수단은, 상기 실링 개소로부터 소정의 거리 떨어진 개소에서 상기 포장 봉투의 두께를 검지하고 그 검지 결과에 의거하여 상기 실링 개소의 상태를 특정하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 다수매의 웨이퍼를 수용한 용기의 상태를 특정하여 출하 시 품질을 보다 확실한 것으로 할 수 있다.

도 1은, 본 실시형태에 관한 포장 시스템의 전체 구성의 일례를 나타내는 개략 평면도이다.
도 2의 (a), (b)는, 포장 스테이지에 있어서, 거싯 봉투의 봉투 입구를 열 때의 각 구성의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 3의 (a), (b)는, 포장 스테이지에 있어서, 거싯 봉투의 봉투 입구를 정형할 때의 각 구성의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4의 (a), (b)는, 포장 스테이지에 있어서, 수용 용기를 거싯 봉투에 삽입할 때의 각 구성의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5의 (a), (b)는, 포장 스테이지에 있어서, 봉투 입구를 접을 때의 각 구성의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은, 포장 스테이지에 있어서, 접혀진 봉투 입구를 실링할 때의 각 구성의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 7의 (a), (b)는, 용기에 수용된 웨이퍼의 상태의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8은, 웨이퍼 재적 검지 기구의 구성의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는, 도 8과는 다른, 웨이퍼 재적 검지 기구의 구성의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 10의 (a), (b), (c)는, 용기의 위쪽에서 육안으로 보았을 때의 웨이퍼의 상태의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 11의 (a), (b)는, 용기(B)의 외관과 선상(線狀) 반사광을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 실링 상태 검지 기구에 의한 실링 개소의 상태 검지를 설명하기 위한 도면이다.
도 13은, 실링 상태 검지 기구의 구성의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는, 포장 장치의 주된 제어 순서의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시의 형태예를 설명한다.

또한, 웨이퍼를 넣은 수용 용기의 포장에 이용하는 포장 봉투로서, 거싯 봉투를 이용하는 경우를 예로 들어 설명한다. 거싯 봉투란, 예를 들면 차용(茶用) 포장 봉투와 같이 「바대(거싯부)」가 되는 측면을 갖는 봉투이다. 구체적으로는, 일단에 봉투 입구가 형성되고, 거싯부인 대향하는 2개의 측면(대향 2측면)의 중앙에 안쪽 접힘하는 접음선이 설치되어 있고, 이 접음선을 기준으로 대향 2측면을 V자형으로 접는 것이 가능한 봉투이다.

거싯부인 측면과 다른 측면과의 2면 접합 부위에서는, 당해 2면 접합 부위로부터 바깥쪽으로 돌출한 접착대(接着帶)가 형성된다. 이 접착대는, 예를 들면 「귀(耳, 가장자리)」라고도 불리고 있다.

또한, 거싯 봉투는, 다른 소재를 조합한 2층 구조 또는 3층 구조의 것이 있다. 또, 그 소재는, 예를 들면 폴리아미드계 수지, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌 또는 알루미늄 등의 금속이 증착된 합성 수지 등이 채용되고 있다.

그러나, 대량 생산되는 거싯 봉투는, 예를 들면 각 면을 재단·접합할 때의 오차에 의한 치수의 불균일, 생산 시, 보관 시 또는 사용 시의 온습도 변화에 의한 신축(예를 들면, 흡습한 폴리에틸렌 수지의 신장 및 다층 필름에서의 각 층의 신장율의 차이에 의한 휨) 등이 있다. 그 때문에, 수용 용기를 포장할 때의 거싯 봉투(P)의 컨디션(봉투의 상태)은 반드시 일정하지는 않다. 또, 일반적으로 이런 종류의 소재는 신전성(伸展性)이 부족해, 형상 변화시킬 때에 어느 정도 정밀한 위치 관리를 행하여, 변화 전후의 위치 재현성을 확보하지 않으면 주름지기 쉬운 성질을 갖는다.

도 1은, 본 실시형태에 관한 포장 시스템의 전체 구성의 일례를 나타내는 개략 평면도이다.

도 1에 나타내는 포장 시스템(S)은, 기판이 넣어진 용기(B)를 거싯 봉투(P)에 삽입하고, 그 후 봉투 입구를 시일(실링)하는 밀봉 공정이 행하여지는 포장 스테이지(S1), 운반 아암(arm)(10)에 의해 거싯 봉투(P)를 향해 용기(B)를 홀딩·반송하는 공정이 행하여지는 반송 스테이지(S2), 반송 전의 용기(B)를 보관하는 용기 보관 스테이지(S3), 다수매의 거싯 봉투(P)를 보관하는 봉투 보관 스테이지(S4)를 포함하여 구성된다. 또한, 제어부(20)는, 포장 시스템(S)에 배비(配備)된 각 구성 기기를 제어하는, 일종의 컴퓨터이다.

도 1에 나타내는 운반 아암(10)은, 용기 보관 스테이지(S3)에 보관되어 있는 용기(B)를 홀딩하고, 홀딩한 용기(B)를 포장 스테이지(S1)를 향해 반송한다. 그리고, 운반 아암(10)은, 거싯 봉투(P)의 봉투 입구로 홀딩하고 있는 용기(B)를 삽입한다. 또, 용기(B)를 삽입한 후에 그 홀딩를 해제하고, 반송 스테이지(S2)로 퇴피한다.

도 1에 나타내는 거싯 봉투(P)는, 봉투 보관 스테이지(S4)에 있어서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 접혀진 상태로 보관되어 있다. 거싯 봉투(P)의 후단(F)은 미리 실링되어 있고, 거싯부에는 내측을 향해 접어 넣기 위한 접음선(G)이 설치되어 있다. 그리고, 거싯부인 측면과 상면 및 하면 각각의 2면 접합부에는, 접착대(D)(2면 접합 부위)가 형성되어 있다. 접착대(D)는, 접혀진 상태의 거싯 봉투(P)의 상면측과 하면측 각각 한 쌍씩 형성되어 있다. 즉, 거싯 봉투(P)에는 합계 4개의 접착대(D)가 형성되어 있다.

도 1에 나타내는 포장 스테이지(S1)에는, 도시하지 않는 클램프 구동 기구에 접속된 복수의 클램프(C), 도시하지 않는 마우스피스 구동 기구에 접속된 마우스피스(M), 거싯 봉투(P)의 상면측, 하면측 쌍방의 소정 부위를 흡착하는 도시하지 않는 흡착 기구가 주로 배비된다.

포장 스테이지(S1)에서는, 봉투 보관 스테이지(S4)로부터 당해 포장 스테이지(S1)의 소정 위치까지 반송되어 온 거싯 봉투(P)의 봉투 입구가 열리고, 반송 스테이지(S2)로부터 반송되어 온 용기(B)가 그 내부에 삽입된다. 구체적으로는, 상면측의 접착대(D)를 협지(挾持)한 복수의 클램프(C)에 의해 거싯 봉투(P)의 봉투 입구가 열리고, 이 봉투 입구가 마우스피스(M)에 의해 용기(B)의 투영 형상(삽입 방향의 단면 형상)에 맞는 형상으로 정형된다.

그 후, 도 1에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 거싯형 봉투(P) 후단부(F)의 위치까지 용기(B)가 삽입되고 나서 봉투 입구가 접히고, 접혀진 봉투 입구가 실링된다. 즉, 클램프(C)는, 봉투 입구를 개폐하는 개폐 수단으로서 기능한다. 이러한 동작의 상세에 대해서는 후술한다.

도 1에 나타내는 반송 스테이지(S2)에는, 전술한 운반 아암(10)이 주로 배비된다. 운반 아암(10)은, 용기 보관 스테이지(S3)에 보관되어 있는 용기(B)를 홀딩하기 위한 도시하지 않는 홀딩 기구, 당해 운반 아암(10)의 방향을 변화시키거나, 홀딩한 용기(B)를 포장 스테이지(S1)를 향해 반송하거나 하기 위한 도시하지 않는 반송 기구에 접속된다.

도 1에 나타내는 용기 보관 스테이지(S3)에는, 보관하는 용기(B)를, 공정의 진척 상황에 따라 순차적으로, 운반 아암(10)에 의한 홀딩이 가능한 위치까지 반송하기 위한 도시하지 않는 용기 반송 기구(예를 들면, 벨트 컨베이어)가 주로 배비된다.

또한, 포장 대상물인 용기(B)는, 예를 들면 다수매의 기판을 넣은 용기이거나, 또는 웨이퍼 등을 수용하기 전의 빈 상태의 용기 등이다. 또, 이중 포장 등의 하나의 용기가 복수회에 걸쳐 포장되는 경우에서는, 이미 포장되어 있는 용기가 포장 대상물이 된다. 또, 이하의 설명에 있어서, 이러한 포장 대상물을 워크라고 칭하는 경우도 있다.

도 1에 나타내는 봉투 보관 스테이지(S4)에는, 보관하는 거싯 봉투(P)를, 공정의 진척에 따라 순차적으로, 포장 스테이지(S1)의 소정 위치까지 반송하기 위한 도시하지 않는 봉투 반송 기구가 주로 배비된다. 거싯 봉투(P)는, 도시하지 않는 봉투 저류부로부터 1장씩 꺼내어져, 봉투 반송 기구 상에 놓여진다. 그 후 거싯 봉투(P)는 위치 결정되고, 봉투 반송 기구에 배비된 흡착 기구에 의해 흡착 고정되어, 봉투 반송 기구가 봉투 보관 스테이지(S4)로부터 포장 스테이지(S1) 내의 소정 위치까지 가로 이동하여 반송된다. 이와 같이, 봉투 보관 스테이지(S4)는, 거싯 봉투(P)를 봉투 저류부로부터 꺼내어, 포장 스테이지(S1)까지 반송하는 반송 장치로서 기능하는 스테이지이다.

이와 같이, 포장 시스템(S)은, 4개의 스테이지를 포함하여 구성된다. 또한, 포장 스테이지(S1)와 반송 스테이지(S2)의 각 구성, 즉 클램프(C), 마우스피스(M), 운반 아암(10)을 포함한 단체(單體)의 포장 장치로서 구성할 수도 있다. 또, 이 포장 장치는 후술하는 웨이퍼 재적 검지 기구(300)(제 1 출하 검사 장치), 실링 상태 검지 기구(500)(제 2 출하 검사 장치)를 포함하여 구성된다.

이하, 포장 장치의 클램프(C), 마우스피스(M) 각각의 구성 및 그 동작에 대해서 설명한다.

도 2는, 포장 스테이지(S1)에 있어서, 거싯 봉투(P)의 봉투 입구를 열기까지의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 1에서 나타낸 복수의 클램프(C)를, 도 2 이후에 있어서는 각각의 클램프마다 부호를 붙여 그 상세한 구성 및 동작을 설명한다. 또, 거싯 봉투(P)의 접착대(D)를 합계 16개의 클램프(C)에 의해 협지하는 경우를 일례로 들어 설명을 진행한다.

＜접착대 클램프 전의 준비 동작＞

포장 스테이지(S1)에 배비된 도시하지 않는 흡착 기구는, 포장 스테이지(S1)의 소정 위치로 반송된 거싯 봉투(P)의 상면 및 하면 쌍방의 소정 부위에, 예를 들면 흡착 패드를 꽉 눌러 각각의 면의 흡착을 개시한다. 그 후, 도시하지 않는 흡착 기구는, 상면을 흡착하고 있는 흡착 패드를 상방향을 향해 이동시킨다. 이것에 의해, 거싯 봉투(P)의 거싯부가 열린 상태, 즉 상면측의 접착대(D)와 하면측의 접착대(D)가 조금 떨어진 상태(예를 들면, 20[mm] 정도 띄운 상태)로 할 수 있다. 이 동작은, 후술하는 접착대(D)의 클램프 동작을 원활하게 행하기 위한 준비 동작이다.

＜접착대 클램프 동작＞

도 2(a)에 나타내는 클램프(L1U, L2U, L3U, L4U, L1L, L2L, L3L, L4L, R1U, R2U, R3U, R4U, R1L, R2L, R3L, R4L)는, 도 1에 나타내는 복수의 클램프(C)를 개별적으로 특정한 것이다.

도 2(a)를 정면에서 보아, 거싯 봉투(P)의 상면 좌측의 접착대(D)는, 클램프 L1U, L2U, L3U, L4U에 의해 협지된다. 마찬가지로, 도 2(a)를 정면에서 보아, 상면 우측의 접착대(D)는, 클램프 R1U, R2U, R3U, R4U에 의해 협지된다. 이와 같이, 클램프 L1U, L2U, L3U, L4U, R1U, R2U, R3U, R4U는, 상면측의 접착대(D)를 협지하는 제 1 클램프군으로서 기능한다.

도 2(a)를 정면에서 보아, 하면 좌측의 접착대(D)는, 클램프 L1L, L2L, L3L, L4L에 의해 협지된다. 마찬가지로, 도 2(a)를 정면에서 보아, 하면 우측의 접착대(D)는, 클램프 R1L, R2L, R3L, R4L에 의해 협지된다. 이와 같이, 클램프 L1L, L2L, L3L, L4L, R1L, R2L, R3L, R4L은, 하면측의 접착대(D)를 협지하는 제 2 클램프군으로서 기능한다.

또, 각 클램프 각각의 형상은, 후공정에 있어서 상하에 위치하는 각 클램프 각각이 접근하기 위해 박형(薄型) 형상으로 형성된다. 각 클램프는, 예를 들면 강도 확보의 관점에서 모재에는 금속제의 박판이 이용되고, 소정의 압력으로 접착대(D)를 협지할 수 있도록 당해 접착대(D)와 접하는 접면에는 합성고무 등의 코팅을 실시하여 형성된다.

또한, 각 클램프는, 각각 독립하여 도시하지 않는 클램프 구동 기구에 접속되어 있고, 당해 클램프의 동작, 예를 들면 상하 좌우의 이동 또는 이동의 정지, 클램프의 개시 또는 그 해제는, 미리 포장 시스템(S)이 접수한 설정 정보에 의거하여 제어부(20)가 개별적으로 제어한다.

또, 접착대(D)를 협지하는 각 클램프의 배치 위치는, 예를 들면 용기(B)의 사이즈, 후공정에서 행하는 봉투 입구의 접어 넣음, 또는 당해 봉투 입구를 실링하기 위한 시일 공정 등, 동작을 고려한 다음 결정한 정보가 설정 정보에 기록되어 있다. 구체적으로는, 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 클램프 L1L, L1U, R1L, R1U 각각은, 대응하는 접착대(D)의 봉투 입구측 단부를 협지하도록 그 배치 위치가 설정되어 있다.

또, 클램프 L3U와 L4U, 클램프 L3L과 L4L, 클램프 R3U와 R4U, 클램프 R3L과 R4L 각각의 배치 간격은, 용기(B)의 삽입 방향 길이(안길이)에 의거하여 설정된다(후술하는 도 4 참조). 즉, 클램프 L3U, L3L, R3U, R3L 각각은, 거싯 봉투(P)에 삽입된 용기(B)의 봉투 입구측의 측면이 위치하는 개소에서 접착대(D)를 협지하도록 설정된다. 또, 클램프 L4U, L4L, R4U, R4L 각각은, 거싯 봉투(P)에 삽입된 용기(B)의 후단(F)측의 측면이 위치하는 개소에서 접착대(D)를 협지하도록 설정된다.

또, 클램프 L2U와 L3U, 클램프 L2L과 L3L, 클램프 R2U와 R3U, 클램프 R2L과 R3L 각각의 배치 간격은, 클램프 L3U, L3L, R3U, R3L을 기준으로 하여, 도 2(b)에 나타내는 거싯부의 폭: W의 대략 1/2의 거리만큼 떨어진 위치에 클램프 L2U, L2L, R2U, R2L 각각이 배치되도록 설정된다.

또한, 클램프 L1U, L2U, R1U, R2U를 네 모퉁이로 하는 거싯 봉투(P)의 장방형의 면을 상측 시일면이라고 칭한다. 또, 클램프 L1L, L2L, R1L, R2L을 네 모퉁이로 하는 거싯 봉투(P)의 장방형의 면을 하측 시일면이라고 칭한다. 또한, 상측 시일면과 하측 시일면에는, 봉투 입구를 실링할 때에 시일되는 부위를 포함하는 면이 된다.

＜봉투 입구의 개구 동작＞

거싯 봉투(P)의 봉투 입구의 개구는, 거싯 봉투(P)의 하면측의 접착대(D)를 협지하고 있는 클램프 L1L에서 L4L, R1L에서 R4L은 고정해 두고, 상면 좌측의 접착대(D)를 협지하는 클램프(클램프 L1U, L2U, L3U, L4U), 및 상면 우측의 접착대(D)를 협지하는 클램프(클램프 R1U, R2U, R3U, R4U) 각각을 위쪽을 향해 소정의 거리만큼 이동시켜 행한다. 소정의 거리란, 예를 들면 거싯부의 폭: W와 동일한 길이의 거리이다. 이것에 의해, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 거싯 봉투(P)의 봉투 입구가 열린다.

또, 거싯 봉투(P)의 하면은, 클램프 L1L에서 L4L, R1L에서 R4L에 의해 당해 하면 전체에 걸쳐 고정되어 있다. 따라서, 클램프 L1U에서 L4U, 클램프 R1U에서 R4U를 이동시킴으로써, 개구 동작에 필요한 장력(인장력)이 봉투 전체에 작용하여, 봉투 입구를 충분한 넓이로까지 개구시킬 수 있다. 도 2(b)에서는, 일례로서 봉투 입구가 장방형의 형상으로 열린 모습을 나타내고 있다. 봉투 입구가 열리는 동시에, 접음선(G)이 설치된 거싯부가 접혀진 상태(도 2(a))에서, 펴진 상태(도 2(b))가 된다.

또한, 거싯 봉투(P)의 상면측의 접착대(D)를 협지하는 각 클램프를 고정하고, 하면측의 접착대(D)를 협지하는 각 클램프를 하방향으로 이동시켜 봉투 입구를 열도록 구성할 수도 있다. 즉, 한쪽을 상반되는 방향으로 이동시킴으로써, 봉투 입구가 열리도록 구성할 수도 있다.

도 3은, 포장 스테이지(S1)에 있어서, 거싯 봉투(P)의 봉투 입구를 정형하는 동작을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 1에서 나타낸 복수의 마우스피스(M)를, 도 3 이후에 있어서는 당해 마우스피스(M)를 구성하는 개개의 파츠(parts)마다 부호를 붙여 그 구성의 상세를 설명한다.

＜마우스피스(M)의 구성예＞

포장 스테이지(S1)에 배비된 마우스피스(M)는, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 주로 4개의 부품(부재)을 포함하여 구성된다. 구체적으로는, 도면 정면에서 보아 봉투 입구의 좌상측을 정형하기 위한 정형 부품(정형 부재)(11a), 우상측을 정형하기 위한 정형 부품(11b), 좌하측을 정형하기 위한 정형 부품(11c), 우하측을 정형하기 위한 정형 부품(11d)을 포함하여 구성된다.

도 3(a)를 정면에서 보아, 봉투 입구를 구성하는 4변 중 상변은, 정형 부품 11a와 11b에 의해 정형된다. 마찬가지로, 도 3(a)를 정면에서 보아, 봉투 입구를 구성하는 4변 중 하변은, 정형 부품 11c와 11d에 의해 정형된다. 도 3(a)를 정면에서 보아, 봉투 입구를 구성하는 4변 중 좌변은, 정형 부품 11a와 11c에 의해 정형된다. 도 3(a)를 정면에서 보아, 봉투 입구를 구성하는 4변 중 우변은, 정형 부품 11b와 11d에 의해 정형된다. 이와 같이, 마우스피스(M)의 각 정형 부품은, 정형 수단으로서 기능한다.

용기(B)를 거싯 봉투(P)에 삽입할 때에 당해 용기(B)의 외면과 대향하는 각 정형 부품(11a에서 11d)의 내측면은, 용기(B)의 삽입 시의 접촉이 회피되는 형상으로 형성된다. 예를 들면, 정형 부품 11a, 11b는, 삽입 방향에서의 용기(B)의 단면 형상에 맞추어, 봉투 입구의 좌상측 및 우상측의 모서리부를 직각으로 정형하는 형상으로 형성된다. 또, 정형 부품 11c, 11d는, 삽입 방향에서의 용기(B)의 단면 형상에 맞추어, 봉투 입구의 좌하측 및 우하측의 모서리부를 완만한 곡선을 그리는 테이퍼상으로 정형하는 형상으로 형성된다.

또, 각 정형 부품(11a에서 11d)의 사이즈는, 봉투 입구의 임의의 한 변의 길이보다도, 그 임의의 한 변을 정형하는 2개의 정형 부품을 합친 길이가 작아지는 것과 같은 사이즈로 구성된다(예를 들면, 봉투 입구 상변의 길이＝폭보다, 11a와 11b의 폭의 합계 쪽이 작아지도록 구성된다). 이와 같은 사이즈로 각 정형 부품을 형성함으로써, 각 정형 부품으로 이루어지는 마우스피스(M)를 봉투 입구의 중앙에 집합시킨 상태에서 삽입하는 것이 가능해지므로, 열린 봉투 입구로부터 원활하게 삽입할 수 있다.

또, 포장 스테이지(S1)에는, 마우스피스(M)에 더하여, 추가로, 봉투 입구 하변을 보호하기 위한 봉투 입구 하변 보호판(11e)이 배비되어 있다. 봉투 입구 하변 보호판(11e)은, 마우스피스(M)에 의해 봉투 입구가 정형된 후에, 도시하지 않는 구동 기구로부터의 구동력이 전달되어, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 봉투 입구의 하변을 덮도록 회전·장착된다. 이 봉투 입구 하변 보호판(11e) 및 마우스피스(M)에 의해, 거싯 봉투(P)의 컨디션에 관계없이, 직접 봉투 입구의 하변에 용기(B)가 걸려 버리는 것을 방지할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면 거싯 봉투(P)의 봉투 입구에 내측 또는 외측으로 향하는 「휨」이 발생하고 있는 경우라도 대처할 수 있다.

또, 봉투 입구 하변 보호판(11e)에 의해, 거싯 봉투(P)를 소정의 압압력(押壓力)으로 포장 스테이지(S1)에 꽉 누르도록 구성할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면 거싯 봉투(P)의 내벽에 접하는 봉투 입구 하변 보호판(11e)의 압압면에, 합성고무 등의 코팅을 실시하거나, 당해 거싯 봉투(P)를 사이에 끼운 포장 스테이지(S1)측에 합성고무 등의 코팅을 실시하거나 한다. 이것에 의해, 용기(B)를 삽입할 때의 기준면(하측 기준면)이 형성되기 때문에, 당해 용기(B)의 원활한 삽입이 가능해진다. 또한, 보다 확실히 「봉투 벗어남」 또는 「봉투 어긋남」 등의 트러블의 발생을 방지할 수도 있다.

또한, 각 정형 부품은, 도시하지 않는 마우스피스 구동 기구에 접속되어 있고, 당해 정형 부품의 동작, 예를 들면 상하 좌우 방향의 이동 또는 이동의 정지는, 미리 포장 시스템(S)이 접수한 설정 정보에 의거하여 제어부(20)가 개별적으로 제어한다. 또, 제어부(20)는, 봉투 입구 하변 보호판(11e)의 동작, 예를 들면 회전 개시 또는 그 정지, 정회전 또는 역회전을 설정 정보에 의거하여 제어한다. 또, 마우스피스(M)의 각 정형 부품과 봉투 입구 하변 보호판(11e)을 포함하여 이루어지는 정형 수단으로서 기능하도록 구성할 수도 있다.

＜봉투 입구의 정형 동작＞

마우스피스(M)는, 봉투 입구에 삽입되기 전에는, 당해 봉투 입구의 사이즈보다도 작은 사이즈가 되도록 각 정형 부품(11a에서 11d)이 봉투 입구의 중심 부근에 집합한 상태에서 소정 위치(예를 들면, 도 3(a)에 나타내는 봉투 입구 앞)에 배치된다. 마우스피스(M)는, 이 상태에서 봉투 입구로부터 삽입된다. 그리고, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 봉투 입구의 네 모퉁이 방향을 향해 각 정형 부품이 이동하여 당해 봉투 입구의 형상을 정형한다. 즉, 각 정형 부품은, 봉투 입구의 중심 위치에서 각각 다른 방사 방향을 향해 이동함으로써, 봉투 입구의 형상이 강제적으로 정형된다.

또, 마우스피스(M)(정형 부품 11a, 11b, 11c, 11d) 및 봉투 입구 하변 보호판(11e)은, 삽입 시에 용기(B)(다중 포장 시는 용기(B)를 내포하는 포장 봉투)가 직접 봉투 입구에 접촉되어 버리는 것을 방지한다. 그 때문에, 예를 들면, 이중 포장 시의 2회째의 포장에서의 「봉투 벗어남」의 발생을 방지할 수 있다.

봉투 입구의 정형 형상을 결정하는 각 정형 부품의 이동 정지 위치는, 각 마우스피스 구동 기구에 배비된 도시하지 않는 장력 센서에 의한 봉투 입구에 작용하는 인장력의 검지 결과에 의거하여, 소정의 기준치를 초과한 인장력이 확보된 위치에서 정지하도록 제어된다.

상기한 바와 같이, 거싯 봉투(P)의 컨디션은 반드시 일정하지는 않다. 장력 센서의 검지 결과에 의거하여 각 정형 부품의 이동 제어를 함으로써, 예를 들면, 거싯 봉투(P)의 사이즈 오차(불균일)가 있었던 경우에 있어서도, 봉투 입구 주변의 인장력을 확보할 수 있다. 즉, 마우스피스(M)가 봉투 입구를 정형할 때에 부여하는 인장력에 의해, 각 정형 부품의 외측면과 거싯 봉투(P)의 내벽과의 사이에 마찰력이 발생한다. 이 마찰력에 의해 봉투 입구를 내면에서 강고하게 홀딩하여, 용기(B)를 삽입할 때의 당해 용기(B)의 외면과 거싯 봉투(P)의 내벽과의 접촉 마찰에 기인하는 「봉투 벗어남」의 발생을 방지할 수 있다.

또한, 각 정형 부품의 이동의 제어는, 인장력의 검지 결과에 의거한 제어로 한정하는 것은 아니며, 예를 들면 위치에 의한 제어를 행해도 된다.

도 4는, 포장 스테이지(S1)에 있어서, 용기(B)를 거싯 봉투(P)에 삽입하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.

도 4(a)는, 운반 아암(10)(도시하지 않음)에 홀딩된 용기(B)가 마우스피스(M)(정형 부품 11a, 11b, 11c, 11d) 및 봉투 입구 하변 보호판(11e)에 의해 정형된 봉투 입구로부터 삽입되는 모습을 모식적으로 나타내고 있다.

이와 같이, 마우스피스(M)(정형 부품 11a, 11b, 11c, 11d) 및 봉투 입구 하변 보호판(11e)에 의해 거싯 봉투(P)의 봉투 입구가 홀딩 및 보호된 상태에서, 용기(B)가 삽입된다. 그 때문에, 용기(B)가 직접 봉투 입구에 걸림으로써 발생하는 「봉투 벗어남」 등의 중대 트러블의 발생 빈도를 비약적으로 경감할 수 있다.

도 4(b)는, 용기(B)를 봉투 안까지 삽입한 후에 그 홀딩를 해제한 운반 아암(10)이 반송 스테이지(S2)로 퇴피하고, 그 후, 마우스피스(M) 및 봉투 입구 하변 보호판(11e)에 의한 봉투 입구의 정형이 해제되는 모습을 모식적으로 나타내고 있다.

봉투 입구의 정형을 해제할 때의 마우스피스(M)는, 봉투 입구의 개구 사이즈보다도 작은 사이즈가 되도록 각 정형 부품(11a에서 11d)이 중심 부근에 집합한 상태가 된 후에, 당해 봉투 입구로부터 퇴피하도록 동작한다. 또, 봉투 입구 하변 보호판(11e)은, 봉투 입구의 하변을 덮을 때와는 역방향으로 회전하여 장착 상태를 해제하도록 동작한다. 이와 같이, 마우스피스(M) 및 봉투 입구 하변 보호판(11e)의 동작을 제어함으로써 봉투 입구의 정형 상태를 해제한다.

＜봉투 입구의 접음 동작＞

도 5는, 포장 스테이지(S1)에서의 봉투 입구의 접음 동작을 설명하기 위한 도면이다. 봉투 입구의 접음은, 도 5(a)에 나타내는 접음판 12a, 접음판 12b, 클램프 L1U, L2U, L1L, L2L, R1U, R2U, R1L, R2L가 동작하여 행한다.

도 5(a)에 나타내는 접음판(12a, 12b)는, 포장 스테이지(S1)에 배비되어 있고, 봉투 입구를 접을 때의 접음선(G)의 접어 넣음을 행한다. 접음판(12a, 12b) 각각은, 도시하지 않는 접음판 구동 기구와 접속되어 있고, 이들은 측면 접음 수단으로서 기능한다.

접음판 12a는, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 좌측의 접음선(G)의 외측에 맞닿고, 또한, 당해 접음판 12a의 이동 방향 단부(선단부)가 클램프 L2U와 클램프 L2L을 잇는 직선상에 도달할 때까지 대기 위치로부터 이동(수용 용기 삽입 방향으로 전진)한다. 그 후, 접음판 12a는, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 후술하는 각 클램프의 접음 동작과 연동하여 당해 접음선(G)을 접어 넣는 동작을 개시한다.

접음판 12b는, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 우측의 접음선(G)의 외측에 맞닿고, 또한, 당해 접음판 12b의 이동 방향 단부(선단부)가 클램프 R2U와 클램프 R2L을 잇는 직선상에 도달할 때까지 대기 위치로부터 이동(수용 용기 삽입 방향으로 전진)한다. 그 후, 접음판 12b는, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 후술하는 각 클램프의 접음 동작과 연동하여 당해 접음선(G)을 접어 넣는 동작을 개시한다.

봉투 입구를 접을 때의 클램프 L1U, L2U, R1U, R2U의 동작은, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 이들을 네 모퉁이로 하는 상측 시일면이 느슨해지지 않도록 소정의 인장력으로 장가(張架)된 상태(주름이 생기지 않는 상태)를 유지하면서 일체적으로 이동한다. 즉, 본 실시형태의 포장 시스템(S)에서는, 수평 상태를 유지한 채로 상측 시일면이 용기(B)의 봉투 입구측의 측면 중심을 향해 이동하도록 클램프 L1U, L2U, R1U, R2U 각각의 동작이 제어된다.

또, 클램프 L1L, L2L, R1L, R2L의 동작은, 이들을 네 모퉁이로 하는 하측 시일면이 느슨해지지 않도록 소정의 인장력으로 장가된 상태를 유지하면서 일체적으로 이동한다. 즉, 포장 시스템(S)에서는, 수평 상태를 유지한 채로 하측 시일면이 용기(B)의 봉투 입구측의 측면 중심을 향해 이동하도록 클램프 L1L, L2L, R1L, R2L 각각의 동작이 제어된다. 또한, 각각의 면에 부여하는 인장력은, 거싯 봉투(P)의 사이즈, 두께 등을 고려하여 설정된다.

이하, 대표하여 봉투 입구를 접을 때의 상측 시일면의 클램프 L1U, L2U와 하측 시일면의 클램프 R1L, R2L의 동작을 예로 들어 상세하게 설명한다.

클램프 L2U는, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 클램프 L3U를 지점(支點)으로 하여 원호상의 궤도를 그리고, 당해 클램프 L3U에 대해 수평으로 위치한 상태에서 수직으로 위치하는 상태가 될 때까지 이동한다. 또, 도 2에서 이미 설명한 바와 같이, 클램프 L2U와 클램프 L3U 사이의 거리는, 거싯부의 폭: W의 대략 1/2의 거리이다. 또, 수평 상태를 유지한 채로 상측 시일면이 이동하도록 클램프 L1U 및 클램프 L2U의 동작이 제어된다.

그 때문에, 클램프 L1U 및 클램프 L2U의 이동에 수반하여, 상측 시일면은, 수평 상태를 유지한 채로 용기(B)의 봉투 입구측의 측면에 가까워지면서, 또한, 접음선(G)의 위치까지 하강하도록 이동한다. 또한, 클램프 R1U는 클램프 L1U와, 클램프 R2U는 클램프 L2U와 마찬가지의 동작을 행하도록 제어된다.

클램프 R2L은, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 클램프 R3L을 지점으로 하여 원호상의 궤도를 그리고, 당해 클램프 R3L에 대해 수평으로 위치한 상태에서 수직으로 위치하는 상태가 될 때까지 이동한다. 또, 도 2에서 이미 설명한 바와 같이, 클램프 R2L과 클램프 R3L 사이의 거리는, 거싯부의 폭: W의 1/2의 거리이다. 또, 수평 상태를 유지한 채로 하측 시일면이 이동하도록 클램프 R1L 및 클램프 R2L의 동작이 제어된다. 그 때문에, 클램프 R1L 및 클램프 R2L의 이동에 수반하여, 하측 시일면은, 수평 상태를 유지한 채로 용기(B)의 봉투 입구측의 측면에 가까워지면서, 또한, 접음선(G)의 위치까지 상승하도록 이동한다. 또한, 클램프 L1L은 클램프 R1L과, 클램프 L2L은 클램프 R2L과 동일한 동작을 행하도록 제어된다.

즉, 포장 시스템(S)에 있어서는, 클램프 L1U와 클램프 L1L, 클램프 L2U와 클램프 L2L, 클램프 R1U와 클램프 R1L, 클램프 R2U와 클램프 R2L을 상호 근접시킴으로써 봉투 입구가 접혀진다.

또, 예를 들면 클램프 L1U(또는 클램프 L2U, R1U, R2U)와 클램프 L1L(또는 클램프 L2L, R1L, R2L) 사이의 거리가, 예를 들면 10[mm] 이하에 근접한 경우에 당해 접기가 완료된 것으로 한다. 클램프 L1U와 클램프 L1L과의 거리는, 도시하지 않는 위치 센서에 의해 검지할 수 있다. 그 외, 접음 완료의 검지는, 접음선(G)의 접어 넣음을 행하는 접음판 12a, 접음판 12b의 이동의 정지를 접음판 구동 기구가 검지함으로써 행할 수도 있다.

또한, 접음판(12a, 12b) 각각은, 봉투 입구의 접어 넣음 완료를 계기로 봉투 입구로부터 빼내어져, 대기 위치까지 이동하도록 제어한다. 또, 도시하지 않는 탈기 기구에 의해 거싯 봉투(P) 내의 공기를 탈기하면서 봉투 입구를 접도록 구성할 수도 있다. 이 경우에는, 봉투 입구의 접음 개시 시에, 예를 들면 탈기 기구에 접속된 탈기 노즐을 봉투 입구로부터 삽입하고, 접음 완료 후, 소정량의 탈기 동작을 행한 후에 당해 탈기 노즐을 봉투 입구로부터 빼내도록 제어한다.

＜봉투 입구의 실링 동작＞

도 6은, 포장 스테이지(S1)에 있어서, 봉투 입구를 실링하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.

도 6에 나타내는 상(上)시일대(13a), 하(下)시일대(13b)는, 포장 스테이지(S1)에 배비되어 있고, 거싯 봉투(P)의 시일면을 상하 방향에서 사이에 끼고 가열함으로써 봉투 입구의 실링을 행한다. 상시일대(13a), 하시일대(13b) 각각은, 도시하지 않는 시일대 구동 기구에 접속되어 있다. 또, 상시일대(13a), 하시일대(13b) 각각이 시일면에 맞닿는 부위에는, 당해 시일면을 가열하기 위한 발열부(H)가 설치되어 있다.

상시일대(13a)는, 대기 위치인 상측 시일면의 위쪽에서 당해 상측 시일면을 향해 하강하도록 이동한다. 하시일대(13b)는, 대기 위치인 하측 시일면의 아래쪽에서 당해 하측 시일면을 향해 상승하도록 이동한다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 상시일대(13a), 하시일대(13b)는, 상측 시일면과 하측 시일면을 위쪽 및 아래쪽에서 소정의 압력을 가하면서 소정의 시간만큼 가열하여 경화시켜 융착 시일한다. 시일면 상에서 융착 시일하는 면적, 가열 시간, 가열 온도 등은, 거싯 봉투(P)의 두께, 소재의 재질 등에 따라 적절히 설정한다. 융착 시일의 완료 후, 상시일대(13a), 하시일대(13b)는, 대기 위치로 퇴피하도록 동작한다.

이와 같은 일련의 포장 공정에서의 문제 발생을 방지하는 것에 더하여, 다수매의 웨이퍼를 수용한 용기의 상태를 포장 전에 검사하는 등을 하여 출하 시 품질을 보다 확실한 것으로 하기 위한 구성에 대해서 이하 설명한다.

전술한 바와 같이 본 실시형태에 관한 포장 장치는, 웨이퍼 재적 검지 기구(300), 실링 상태 검지 기구(500)를 포함하여 구성된다. 또한, 웨이퍼 재적 검지 기구(300)는 포장 장치에 나중에 추가할 수 있는 단독 가동 가능한 단체 유닛(장치)으로서 구성할 수도 있다.

도 7은, 용기(B)에 수용된 웨이퍼의 상태의 일례를 나타내는 도면이다.

도 7(a)는, 용기(B)의 외관을 나타내고 있고, 도 7(b)는, 다수매의 웨이퍼를 수용한 용기(B)의 개략 종단면도이다.

도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 다수매의 웨이퍼 각각은 소정의 간격을 두고 용기(B)에 수용된다. 용기(B)는, 인접하는 웨이퍼가 상호 접촉하지 않도록 하기 위해, 예를 들면 그 내벽에 웨이퍼의 두께에 따른 가이드 홈(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 이 가이드 홈은, 용기(B)에 웨이퍼를 삽입할 때, 또는 꺼낼 때에 당해 웨이퍼의 표면에 불필요한 압력 등이 가해지지 않도록 소정의 클리어런스를 설치하여 형성된다. 이와 같이 하여, 도 7(a), (b)에 나타내는 것과 같은 상태로 웨이퍼가 용기(B)에 수용된다.

그러나, 포장 공정의 전공정(前工程) 에 있어서, 용기(B)에 수용되어야 하는 웨이퍼의 재적수가 부족한 경우, 하나의 웨이퍼의 수용 개소에 복수의 웨이퍼가 수용되어 버린 경우 등이 발생하는 일도 있다. 또, 인접하는 가이드 홈에 걸쳐서 웨이퍼가 비스듬히 수용되어 버리는 일도 있다. 이와 같은 수용 상태에서는 설령 높은 시일 품질(밀봉성)로 실링되었다 하더라도 출하할 수는 없는 것이 된다.

또, 포장품이 로트 단위로 관리되고 있는 경우, 하나라도 불량품이 발생했을 때에는 그 로트 전부가 재검사 등의 대상이 되어 버리기 때문에, 출하 시 품질을 보다 확실한 것으로 하는 것이 필요하게 된다.

도 8, 도 9는, 본 실시형태에 관한 포장 장치가 갖는 웨이퍼 재적 검지 기구(300)의 구성의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 웨이퍼 재적 검지 기구(300)는, 제 1 출하 검사 장치인 재적 검사 장치로서 기능하는 것이다.

포장 장치가 갖는 웨이퍼 재적 검지 기구(300)는, 용기(B)를 향해 광을 조사하는 광원 30(제 1 광원), 광원 31(제 2 광원), 각 광원을 홀딩하는 프레임(30a, 31a), 광원(30, 31)으로부터 출사된 광의 반사광을 수광하는 수광부(35, 36), 베이스(40)를 포함하여 구성된다.

또한, 웨이퍼 재적 검지 기구(300)는, 구동부(도시하지 않음)로부터의 구동력에 의해 용기(B)와 평행하게 이동할 수 있다. 또, 웨이퍼 재적 검지 기구(300)의 이동의 개시, 또는 그 정지는 제어부(20)에 의해 제어된다. 또, 제어부(20)는, 수광부(35, 36)에 의한 검지 결과에 의거하여 용기(B)에 수용되어 있는 웨이퍼의 수용 상태를 특정하는 것을 제어한다.

도 10은, 용기의 위쪽에서 육안으로 보았을 때의 웨이퍼의 상태의 일례를 설명하기 위한 도면이다.

도 10(a)는, 1단의 슬롯에 1장씩 웨이퍼가 수납되어 있는 상태이고, 용기(B)에 정상적으로 웨이퍼가 수용되어 있다. 도 10(b)는, 1단의 슬롯에 복수매의 웨이퍼가 수납되어 있는 상태(더블 슬롯이라고 칭하는 경우도 있다)이며, 부정한 수용 상태의 일례이다. 도 10(c)는, 1장의 웨이퍼가 복수의 슬롯에 걸쳐서 수납되어 있는 상태(크로스 슬롯이라고 칭하는 경우도 있다)이며, 부정한 수용 상태의 일례이다.

또, 도 11은, 용기(B)의 외관(도 11(a))과, 후술하는 선상 반사광(도 11(b))을 설명하기 위한 도면이다.

웨이퍼의 수용 상태가 정상적인 수용 상태인지, 또는 부정한 수용 상태인지의 판별은, 예를 들면 도 10에 나타내는 점선 사각의 영역 X, Y에서의 반사광의 검지 결과에 의거한 다음 웨이퍼의 수용 상태를 특정한다.

또, 수광부(35, 36)는, 선상의 반사광(선상 반사광)을 수광하도록 구성할 수 있다. 선상 반사광에 의거하여 행하는 수용 상태의 특정은, 예를 들면 점상의 반사광에 의거하여 행하는 수용 상태의 특정에 비해 높은 정밀도로 특정하는 것이 가능하게 된다.

예를 들면, 웨이퍼의 수용 상태의 특정을 영역 X, Y에서의 반사광의 검지 결과에 의거하여 행하는 경우, 도 10에 나타내는 영역 X와 영역 Y의 매칭(좌우 매칭)이나 피치 체크를 행하여 더블 슬롯이나 크로스 슬롯의 유무를 검지한다. 그 때문에, 수용 상태의 특정은, 선상 반사광에 의거하여 행하는 경우 쪽이 점상의 반사광에 의거하여 행하는 경우에 비해 높은 정밀도로 특정할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관한 웨이퍼 재적 검지 기구(300)는, 검출 대상물(웨이퍼)의 단면(두께면)은 곡면 가공되어 있고, 그곳에 조명을 비춤으로써 되돌아오는 선상의 반사광을 웨이퍼 검출에 이용하고 있다. 검출 대상면이 3차원 곡면이기 때문에, 촬상 장치와 조명의 위치 관계에 따라서는 선상의 반사광을 잘 검출할 수 없는 경우가 있기 때문에, 촬상 장치의 스캔 동작에 추종하는 보조 조명을 추가하고, 조명 조건, 나아가서는 반사광의 안정화의 향상을 도모하는 것과 같은 구성으로 해도 된다.

또한, 예를 들면 복수의 용기(B)의 체크를 연속적으로 행하는 경우, 용기(B)의 일부의 슬롯에 웨이퍼가 수납되어 있는 등 용기 단위로 웨이퍼의 수용 상태가 다른 경우가 있다. 그 때문에, 미리 용기(B)에 어떻게 수용되어 있는지를 나타내는 정보(어느 슬롯에 웨이퍼를 수납하고 있는지를 나타내는 정보)를 각각의 용기(B)를 일의(一意)로 특정하는 정보와 관련지어 기억해 두고, 이러한 정보와 반사광의 검지 결과를 비교함으로써 웨이퍼의 수용 상태가 정상인 수용 상태인지, 또는 부정한 수용 상태인지를 판별하도록 구성해도 된다.

도 12는, 본 실시형태에 관한 포장 장치가 갖는 실링 상태 검지 기구에 의한 실링 개소의 상태 검지를 설명하기 위한 도면이다. 또, 도 13은, 실링 상태 검지 기구(500)의 구성의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 실링 상태 검지 기구(500)는, 제 2 출하 검사 장치인 실링 상태 검사 장치로서 기능하는 것이다. 도 12, 도 13을 이용하여 실링 상태 검지 기구의 동작에 대해서 설명한다.

포장 장치가 갖는 실링 상태 검지 기구(500)는, 롤러(50, 51), 가이드(50a, 51a), 센서(52)를 포함하여 구성된다.

또한, 실링 상태 검지 기구(500)는, 구동부(도시하지 않음)로부터의 구동력에 의해 봉투 입구를 롤러(50, 51)로 협지하는 동작, 봉투 입구를 따라 이동하는 동작, 봉투 입구의 협지를 해제하여 당해 봉투 입구로부터 이탈하는 동작 등을 행한다. 또, 이러한 동작은 제어부(20)에 의해 제어된다.

실링 상태 검지 기구(500)에 의한 실링 상태의 확인에서는, 시일면에 주름이 발생하고 있는 경우에는 당해 시일면의 근방에서 「수축」이나 「구겨짐」 등이 생기는 것에 주목한 검지를 행하는 것이며, 시일면인 실링 개소(도 12 참조)의 근방의 두께를 스캔하여 검출하도록 구성된다.

또한, 도 11에서는 봉투 입구측의 실링 개소 근방의 두께를 검출하는 예를 들고 있지만, 이것과는 반대측의 실링 개소 근방의 두께를 검출하도록 해도 된다.

도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 실링 상태 검지 기구(500)가 갖는 롤러(50, 51)에 의해 봉투 입구가 협지된다. 또, 롤러 50은 실링 개소의 근방의 두께를 검출하도록 형성되어 있고, 도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 롤러 51과 비교하여 상대적으로 길이가 짧아지도록 형성된다.

롤러 50은 가이드 50a를 개재하여 센서(52)에 접속되고, 롤러 51은 가이드 51a를 개재하여 센서(52)에 접속된다.

센서(52)는, 롤러 51의 위치를 기준으로 하여 롤러 50의 상하동(上下動)을 검출함으로써 봉투 입구측의 실링 개소(시일면) 근방의 두께를 검출할 수 있다. 또, 도 13(b)에 나타내는 바와 같이 롤러(50, 51)를 봉투 입구를 따라 수평으로 이동시킴으로써 봉투 입구측의 실링 개소(시일면) 근방의 두께의 변화를 검출할 수 있다.

예를 들면 웨이퍼를 넣은 수용 용기의 포장에 이용하는 포장 봉투로서, 거싯 봉투를 이용하는 경우에는, 거싯 봉투의 봉투 입구를 접은 후에 시일(실링)이 실시된다. 그 때문에, 실링 개소(시일면)의 두께는 시트 2장분의 두께의 개소와 시트 4장분의 개소가 생기게 된다(도 13(b) 참조).

또한, 실링 개소가 아니라 실링 개소 근방을 스캔하여 검출하고 있는 이유로는, 시일 시공 시의 전열선에 의한 가열(융착) 시에, 상하시일대에 소정의 압력을 부여하여 시일면을 가압하여, 시트끼리의 밀착성을 향상시키는 동작을 행한다. 그 때문에, 가령 약간의 주름이 있었다고 해도 가압에 의해 눌러 찌부러뜨려 버려, 주름 부분과 정상 부분의 두께의 차이가 미소해져, 실링 개소를 스캔한 경우에는 검출이 매우 엄격해진다는 점을 들 수 있다.

그 점에서, 실링 개소 근방을 스캔하는 경우에서는, 실링 개소의 주름이 가압으로 눌러 찌부러져 버리는 것에 반해, 시일 시공 시에 가압에 의한 성형(주름 찌부러뜨림) 작용을 받지 않는다. 그 때문에, 시일 시에 존재하고 있었던 주름이 그대로, 또는 증폭되어 시트의 굴곡(불룩함)으로서 남게 된다. 이 굴곡(불룩함)을 검출하는 쪽이 주름 발생부와 정상부의 시트 합계 두께의 차로서 여실히 나타나기 때문에, 실링 상태 검지 기구(500)에서는 실링 개소 자체가 아니라 그 근방을 계측하도록 구성된다.

또, 전술한 바와 같이 봉투 입구는 가열되어 시일면이 융착해 경화되어 실링(융착 시일)된다. 그 때문에, 거싯 봉투(P)의 두께, 소재의 재질 등에 따라 시일면 상에서 융착 시일하는 면적, 가열 시간, 가열 온도 등은 적절히 설정되지만, 장치의 주변 환경의 변화나 거싯 봉투(P)의 불균일 등에 따라 시일면의 표면 상태가 변화하는 경우도 있다. 또, 가열에 의해 경화되어 있는 경우도 있고, 이 점에서도 실링 개소 자체의 두께의 변화를 검출하는 경우에는 복잡한 구성을 필요로 하게 되어 버리게 된다.

이것에 대해, 실링 상태 검지 기구(500)에서는 전술한 바와 같이, 실링 개소(시일면) 근방에서 생긴 「수축」이나 「구겨짐」의 유무를 두께의 변화로서 검출하도록 구성된다. 그 때문에, 상기한 바와 같은 융착 시일에 수반하는 변화에 의한 영향을 받는 경우가 적어지게 됨으로써, 상대적으로 간단한 구성으로, 또한, 실링 개소(시일면)에 주름이 발생하고 있는지 아닌지의 검출 정밀도도 높이는 것이 가능해진다. 이와 같이 하여 시일 품질(밀봉성) 확인을 행할 수 있다.

이와 같이 본 실시형태에 관한 포장 장치(포장 시스템)에서는, 봉투 입구와 용기(B)와의 간섭(접촉)에 의한 「봉투 벗어남」 등의 트러블의 발생을 미연에 방지할 수 있다. 또, 마우스피스(M)가 봉투 입구를 정형할 때에 부여하는 인장력에 의해, 거싯 봉투(P)를 홀딩하기 위해 필요한 각 정형 부품의 외측면과 거싯 봉투(P)의 내벽과의 마찰력을 확보할 수 있다.

이것에 의해, 워크를 삽입할 때의 당해 워크의 외면과 거싯 봉투(P)의 내벽과의 접촉, 마찰에 기인하는 「봉투 벗어남」 등의 중대 트러블의 발생 빈도를 비약적으로 저감할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관한 포장 장치(포장 시스템)에서는, 봉투 입구의 접음은, 상측 시일면과 하측 시일면 각각의 면이 느슨해지지 않도록 편 상태(주름이 생기지 않는 상태)를 유지하면서 각 클램프가 이동함으로써 행하여진다.

이것에 의해, 융착 시일할 때의 시일 품질(밀봉성)의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 봉투 입구의 접음에서는, 워크를 수납한 거싯 봉투(P)가 끌려가는 일 없이, 당해 봉투 입구가 접혀진다. 그 때문에, 불필요한 텐션이 거싯 봉투(P)에 가해지는 일이 없어져, 보다 확실히 상측 시일면과 하측 시일면 각각의 면이 느슨해지지 않도록 편 상태를 유지할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관한 포장 장치(포장 시스템)에서는, 출하 시 품질을 보다 확실한 것으로 하기 위한 구성으로서, 웨이퍼 재적 검지 기구(300), 실링 상태 검지 기구(500)를 갖고 있고, 이러한 기구에 의한 검지 결과에 의거하여 출하품이 정상품인 것을 나타내는 에비던스를 얻는 것이 가능해진다.

그 후, 융착 시일 완료 후의 시일면(봉투 여분 길이 부위)은, 도시하지 않는 봉투 정리(整袋) 수단이 하방향으로 접어 구부러져 봉투가 정리되어 고정된다. 이와 같이 하여, 일련의 포장 동작이 완료된다.

＜포장 처리의 제어 순서＞

다음으로, 포장 시스템(S)에서의 포장 처리 순서에 대해서 설명한다. 도 14는, 포장 처리 방법을 실행할 때의 제어부(20)에 의한 주요 제어 순서의 설명도이다.

제어부(20)는, 포장 시스템(S)의 오퍼레이터에 의한 개시 지시의 입력 접수를 계기로 제어를 개시한다.

제어부(20)는, 소정의 초기 처리 후, 봉투 보관 스테이지(S4)로부터 포장 스테이지(S1)로 거싯 봉투(P)를 반송한다. 또, 용기 보관 스테이지(S3)에 보관되어 있는 워크(용기(B))를 운반 아암(10)이 홀딩하고, 웨이퍼 재적 검지 기구(300)를 개재하여, 용기(B)에 수용되어 있는 웨이퍼의 수용 상태를 특정한다. 제어부(20)는, 용기(B)에 수용되어 있는 웨이퍼가 정상 상태일 때에는, 그 후 용기(B)를 반송 스테이지(S2)까지 반송한다. 또한, 수용 상태가 부정한 경우, 예를 들면 용기(B)에 수용되어야 하는 웨이퍼의 재적수가 부족한 경우, 하나의 웨이퍼의 수용 개소에 복수의 웨이퍼가 수용되어 버린 경우 등은 오퍼레이터에게 이상을 통지한다.

제어부(20)는, 이들 일련의 전처리가 종료되었는지 아닌지를 판별한다(S101).

전처리가 종료되었다고 판별한 경우(S101: Yes), 제어부(20)는, 도시하지 않는 클램프 구동 기구에 지시를 내려, 각 클램프(L1U에서 L4U, L1L에서 L4L, R1U에서 R4U, R1L에서 R4L) 각각을 소정의 배치 위치로 이동시키고, 접착대(D)의 협지(클램프)를 개시시킨다(S102). 또, 그렇지 않은 경우(S101: No), 제어부(20)는, 전처리가 종료될 때까지 다음 처리로의 이행을 대기한다.

제어부(20)는, 거싯 봉투(P)의 봉투 입구를 열기(개구) 위해, 도시하지 않는 클램프 구동 기구에 지시를 내려, 당해 거싯 봉투(P)의 상면측의 접착대(D)를 협지하는 클램프(L1U, L2U, L3U, L4U, R1U, R2U, R3U, R4U)를 위쪽으로 이동시킨다(S103). 봉투 입구가 열린 것을 도시하지 않는 센서에 의해 검지한 경우(S103: Yes), 제어부(20)는, 도시하지 않는 마우스피스 구동 기구에 지시를 내려, 마우스피스(M)를 봉투 입구로부터 삽입시킨다(S104). 또, 그렇지 않은 경우(S103: No), 스텝 S103의 처리로 되돌아온다.

또한, 봉투 입구가 열린 것의 검지는, 예를 들면 클램프(L1U, L2U, L3U, L4U, R1U, R2U, R3U, R4U) 각각이 위쪽의 소정 위치까지 이동한 것을 검지하는 위치 센서, 또는 접혀진 상태의 거싯부가 봉투 입구의 개구에 수반하여 평면이 된 것을 검지하는 근접 센서 등을 이용하여 검지할 수 있다.

제어부(20)는, 도시하지 않는 마우스피스 구동 기구에 지시를 내려, 마우스피스(M)를 구성하는 각 정형 부품(정형 부품 11a에서 11d) 및 봉투 입구 하변 보호판(11e)에 의해 봉투 입구를 정형시킨다(S105). 제어부(20)는, 도시하지 않는 장력 센서의 검지 결과에 의거하여 봉투 입구의 정형이 완료되었다고 판별한 경우(S105: Yes), 도시하지 않는 반송 기구에 지시를 내려, 운반 아암(10)이 홀딩하는 워크(용기(B))를 거싯 봉투(P) 내의 소정 위치까지 삽입시킨다(S106). 또, 그렇지 않은 경우(S105: No), 스텝 S105의 처리로 되돌아온다.

제어부(20)는, 워크 삽입 완료의 검지를 계기로, 도시하지 않는 반송 기구에 지시를 내려, 운반 아암(10)의 워크 홀딩의 해제 및 반송 스테이지(S2)로 퇴피시킨 후에, 도시하지 않는 마우스피스 구동 기구에 지시를 내려, 마우스피스(M)를 봉투 입구로부터 이탈시킨다(S107). 또한, 워크 삽입 완료의 검지는, 예를 들면 운반 아암(10)이 소정 위치까지 이동한 것을 검지하는 위치 센서 등을 이용하여 검지할 수 있다.

제어부(20)는, 도시하지 않는 접음판 구동 기구에 지시를 내려, 접음판(12a, 12b)를 접어 넣어 개시 위치까지 이동시킨다(S108). 제어부(20)는, 도시하지 않는 클램프 구동 기구, 도시하지 않는 접음판 구동 기구에 지시를 내려, 각 클램프 및 접음판(12a, 12b)에 의한 봉투 입구의 접음을 개시시킨다(S109). 제어부(20)는, 봉투 입구의 접음이 완료되었는지 아닌지를 판별한다(S110).

봉투 입구의 접음이 완료되었다고 판별한 경우(S110: Yes), 제어부(20)는, 도시하지 않는 접음판 구동 기구에 지시를 내려, 접음판(12a, 12b)을 봉투 입구로부터 이탈시킨다(S111). 또, 그렇지 않은 경우(S110: No), 스텝 S110의 처리로 되아온다.

제어부(20)는, 도시하지 않는 시일대 구동 기구에 지시를 내려, 상시일대(13a), 하시일대(13b)를 시일 개시 위치까지 이동시키고, 그 후 융착 시일(시일 처리)을 개시시킨다(S112). 또한, 융착 시일이 완료되었을 때, 제어부(20)는, 도시하지 않는 시일대 구동 기구에 지시를 내려, 상시일대(13a), 하시일대(13b)를 대기 위치까지 이동시킨다.

제어부(20)는, 실링 상태 검지 기구(500)를 개재하여, 실링 개소(시일면)의 상태를 검지한다. 또한, 시일 품질(밀봉성)의 확인은, 예를 들면 소정의 역치를 넘는 두께 변화가 검출된 경우에는 밀봉성이 불충분한 가능성이 있다고 하여 오퍼레이터에게 이상을 통지한다.

제어부(20)는, 일련의 시일 처리가 완료된 경우(S113: Yes), 도시하지 않는 클램프 구동 기구에 지시를 내려, 각 클램프에 의한 접착대(D)의 협지를 해제시킨다(S114). 이와 같이 하여 일련의 처리가 종료된다.

이와 같이, 본 실시형태에 관한 포장 장치(포장 시스템)에서는, 웨이퍼 재적 검지 기구(300), 실링 상태 검지 기구(500)를 갖고 있고, 이와 같은 기구에 의한 검지 결과에 의거하여 출하품이 정상품인 것을 나타내는 에비던스를 얻는 것이 가능해진다.

또한, 웨이퍼 재적 검지 기구(300), 실링 상태 검지 기구(500)를 갖는 경우는 물론, 어느 한쪽을 구비한 포장 장치(포장 시스템)여도, 출하품이 정상품인 것을 나타내는 에비던스를 얻을 수 있다. 또, 웨이퍼 재적 검지 기구(300), 실링 상태 검지 기구(500)는, 이미 운용하고 있는 포장 장치(포장 시스템)에 웨이퍼 재적 검지 기구(300), 실링 상태 검지 기구(500) 등을 배설하는 것이 가능한 출하 검사 장치로서 구성할 수도 있다.

웨이퍼 재적 검지 기구(300)에서는 복수의 광원과 복수의 수광기를 갖고, 용기 형상에 따라 광원·수광기를 구분하여 사용하도록 구성되는 것을 하나의 특징으로 한다. 예를 들면, 용기의 제조자·품번에 따라 다수의 배리에이션이 있는 용기 형상에 대해 대응하는 것이 가능해진다. 또, 단일 조합의 광원·수광기를 사용한 경우에 대응할 수 없는 용기 표면의 반사(헐레이션, halation) 방지나 불투명 부품의 존재에도 대응할 수 있다.

또, 거의 투명한 외관을 갖는 용기라고 해도, 용기 내외면에 존재하는 흠집·이물이나 용기 제조 공정상에서 발생하는 사출 성형 금형의 분할선 등이 존재한다. 이들이 웨이퍼 재적 검지에 이용되는 선상 반사광의 검출에 대해 큰 외란(外亂)이 되어 버리므로, 오검지율이 높아져 실용에 견딜 수 없었기 때문에, 용기 외부로부터의 자동 검사를 행하는 것이 곤란했다.

웨이퍼 재적 검지 기구(300)에서는, 조명·수광기 배치 및 스캔 동작의 궁리에 의해 외란이 되는 이물·흠집·분할선의 영향을 최소화하여, 웨이퍼 재적 검지를 실용 레벨로 신뢰성을 끌어올릴 수 있다.

상기 설명한 실시형태는, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위한 것이며, 본 발명의 범위가 이들 예로 한정되는 것은 아니다.

10: 운반 아암 11e: 봉투 입구 하변 보호판
12a, 12b: 접음판 13a, 13b: 시일대
20: 제어부 30, 31, 60, 61, 70, 71: 광원
30a, 31a: 프레임 35, 36: 수광부
40: 베이스 50, 51: 롤러
50a, 51a: 가이드 52: 센서
300: 웨이퍼 재적 검지 기구(검지 장치)
500: 실링 상태 검지 기구 B: 수용 용기
C(L1U, L2U, L3U, L4U, L1L, L2L, L3L, L4L, R1U, R2U, R3U, R4U, R1L, R2L, R3L, R4L): 클램프
D: 접착대 G: 접음선
F: 후단부 M(11a, 11b, 11c, 11d): 마우스피스
P: 거싯 봉투 S: 포장 시스템
S1: 포장 스테이지 S2: 반송 스테이지
S3: 용기 보관 스테이지 S4: 봉투 보관 스테이지

Claims (9)

1. 복수의 웨이퍼를 소정의 간격을 두고 수용 가능하게 구성된 용기를 홀딩하여 상기 용기를 포장 봉투에 삽입하는 기구를 갖는 포장 장치로서,
   상기 용기의 바깥쪽에서, 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 1 광원과,
   상기 제 1 광원과는 다른 방향에서 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 2 광원과,
   상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 검지하는 수광 수단과,
   상기 수광 수단에 의한 검지 결과에 의거하여 상기 용기의 웨이퍼 재적 상태의 특정을 제어하는 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 포장 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 수광 수단은, 상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 선상(線狀) 반사광으로서 검지하는 것을 특징으로 하는, 포장 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 포장 봉투에 상기 용기가 삽입된 후에 접혀진 봉투 입구의 소정 부위를 융착 시일하여 상기 봉투 입구를 실링(封止)하는 실링 수단과,
   상기 실링 수단에 의해 실링된 실링 개소(箇所)의 상태를 검지하는 검지 수단을 갖고,
   상기 검지 수단은, 상기 실링 개소로부터 소정의 거리 떨어진 개소에서 상기 포장 봉투의 두께의 검지 결과에 의거하여 상기 실링 개소의 상태를 특정하는 것을 특징으로 하는, 포장 장치.
4. 상기 용기를 포장하기 위한 포장 봉투를 포장 장치까지 반송하는 반송 장치와, 상기 용기의 포장을 행하는 상기 포장 장치를 포함하는 포장 시스템으로서,
   상기 포장 장치는,
   복수의 웨이퍼를 소정의 간격을 두고 수용 가능하게 구성된 용기를 홀딩하여 상기 용기를 포장 봉투에 삽입하는 기구와,
   상기 용기의 바깥쪽에서, 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 1 광원과,
   상기 제 1 광원과는 다른 방향에서 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 2 광원과,
   상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 검지하는 수광 수단과,
   상기 수광 수단에 의한 검지 결과에 의거하여 상기 용기의 웨이퍼 재적 상태의 특정을 제어하는 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 포장 시스템.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 수광 수단은, 상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 선상 반사광으로서 검지하는 것을 특징으로 하는, 포장 시스템.
6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
   상기 포장 봉투에 상기 용기가 삽입된 후에 접혀진 봉투 입구의 소정 부위를 융착 시일하여 상기 봉투 입구를 실링하는 실링 수단과,
   상기 실링 수단에 의해 실링된 실링 개소의 상태를 검지하는 검지 수단을 갖고,
   상기 검지 수단은, 상기 실링 개소로부터 소정의 거리 떨어진 개소에서 상기 포장 봉투의 두께를 검지하고 그 검지 결과에 의거하여 상기 실링 개소의 상태를 특정하는 것을 특징으로 하는, 포장 시스템.
7. 복수의 웨이퍼를 소정의 간격을 두고 수용 가능하게 구성된 용기의 웨이퍼 재적 상태를 특정하는 재적 검사 장치로서,
   상기 용기의 바깥쪽에서, 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 1 광원과,
   상기 제 1 광원과는 다른 방향에서 상기 용기에 수용된 웨이퍼의 측면을 향해 광을 조사하는 제 2 광원과,
   상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 검지하는 수광 수단과,
   상기 수광 수단에 의한 검지 결과에 의거하여 상기 용기의 웨이퍼 재적 상태의 특정을 제어하는 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 재적 검사 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 수광 수단은, 상기 제 1, 제 2 광원으로부터 조사된 광의 반사광을 선상 반사광으로서 검지하는 것을 특징으로 하는, 재적 검사 장치.
9. 포장 봉투의 실링 상태를 검지하는 실링 상태 검사 장치로서,
   상기 포장 봉투에 웨이퍼가 수용된 용기가 삽입된 후에 접혀진 봉투 입구의 소정 부위를 융착 시일하여 실링된 상기 봉투 입구의 실링 개소의 상태를 검지하는 검지 수단을 갖고,
   상기 검지 수단은, 상기 실링 개소로부터 소정의 거리 떨어진 개소에서 상기 포장 봉투의 두께를 검지하고 그 검지 결과에 의거하여 상기 실링 개소의 상태를 특정하는 것을 특징으로 하는, 실링 상태 검사 장치.

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