KR20210144590A - 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템 - Google Patents

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KR20210144590A
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

본 발명은 기판의 반송 효율을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 반송 장치는, 제1 로봇과, 제2 로봇과, 이동식 버퍼를 구비한다. 제1 로봇은, 반송실의 실내에 고정되고, 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇이다. 제2 로봇은, 반송실의 실내에 고정되고, 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇이다. 이동식 버퍼는, 제1 로봇 및 제2 로봇과 기판을 주고받는 것이 가능하고, 제1 로봇과 제2 로봇 사이를 처리실의 배열 방향으로 연신(延伸)하는 궤도를 따라 이동한다.

Description

반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템{CONVEYANCE APPARATUS, CONVEYANCE METHOD AND CONVEYANCE SYSTEM}
개시된 실시형태는, 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템에 관한 것이다.
종래, 기판을 반송하는 핸드를 갖는 로봇을 감압 분위기화된 반송실 내에 배치하여, 반송실의 측벽에 설치된 처리실에 대해 기판을 반송하는 반송 장치가 알려져 있다.
예컨대, 반송실의 측벽에 설치된 복수의 처리실에 대해, 리니어 모터에 의한 구동에 의해 반송실 내를 이동하는 이동식 로봇으로 기판을 반송하는 기판 처리 장치가 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2008-028179호 공보
그러나, 상기한 종래 기술에는, 로봇을 이동식으로 하는 것에 의한 비용의 증가나, 이동 기구의 복잡화에 의한 가용성의 저하가 우려된다. 가용성이 저하되면 결과적으로 기판의 반송 효율이 저하되어 버리기 때문에, 처리 전의 기판 및 처리 후의 기판의 반송 효율을 향상시키는 관점에서는 개선의 여지가 있다.
실시형태의 일 양태는, 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
실시형태의 일 양태에 따른 반송 장치는, 제1 로봇과, 제2 로봇과, 이동식 버퍼를 구비한다. 제1 로봇은, 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇이다. 제2 로봇은, 상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇이다. 이동식 버퍼는, 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신(延伸)하는 궤도를 따라 이동한다.
실시형태의 일 양태에 따른 반송 방법은, 제1 로봇과, 제2 로봇과, 이동식 버퍼를 이용하여, 이동식 버퍼와 기판을 주고받는 것을 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇에 행하게 한다. 제1 로봇은, 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇이다. 제2 로봇은, 상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇이다. 이동식 버퍼는, 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신하는 궤도를 따라 이동한다.
실시형태의 일 양태에 따른 반송 시스템은, 반송실과, 제1 로봇과, 제2 로봇과, 이동식 버퍼를 구비한다. 제1 로봇은, 상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇이다. 제2 로봇은, 상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇이다. 이동식 버퍼는, 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신하는 궤도를 따라 이동한다.
실시형태의 일 양태에 따른 반송 장치는, 제1 로봇과, 제2 로봇과, 이동식 버퍼와, 컨트롤러를 구비한다. 제1 로봇은, 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇이다. 제2 로봇은, 상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇이다. 이동식 버퍼는, 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신하는 궤도를 따라 이동한다. 컨트롤러는, 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇의 동작과 상기 이동식 버퍼의 이동을 연계시킴으로써 상기 이동식 버퍼와 상기 처리실 사이에서 상기 기판을 주고받는 것을 행하게 한다.
실시형태의 일 양태에 의하면, 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템을 제공할 수 있다.
도 1은 실시형태에 따른 반송 시스템의 개요를 도시한 상면 모식도이다.
도 2는 반송실에서의 반송 장치의 배치예를 도시한 상면 모식도이다.
도 3a는 로봇 및 이동식 버퍼의 측면 모식도이다.
도 3b는 이동식 버퍼의 측면 모식도이다.
도 3c는 이동식 버퍼의 상면 모식도이다.
도 4는 반송실에서의 반송 장치의 변형예를 도시한 상면 모식도이다.
도 5a는 변형예에 따른 반송 장치의 측면 모식도이다.
도 5b는 변형예에 따른 이동식 버퍼의 측면 모식도이다.
도 5c는 변형예에 따른 이동식 버퍼의 상면 모식도이다.
도 6은 반송실의 상면 모식도이다.
도 7은 궤도의 연신 방향으로 연장된 반송실의 상면 모식도이다.
도 8a는 로봇의 구성예 그 1을 도시한 상면 모식도이다.
도 8b는 로봇의 구성예 그 2를 도시한 상면 모식도이다.
도 8c는 로봇의 구성예 그 3을 도시한 상면 모식도이다.
도 8d는 로봇의 구성예 그 4를 도시한 상면 모식도이다.
도 9는 반송 장치의 구성을 도시한 블록도이다.
도 10은 반송 장치가 실행하는 처리 순서를 도시한 흐름도이다.
도 11은 양팔 로봇을 배치한 반송실의 상면 모식도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원이 개시하는 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템의 실시형태를 상세히 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
또한, 이하에 나타내는 실시형태에서는, 「직교」, 「수평」, 「연직」, 「평행」, 혹은 「대칭」과 같은 표현을 이용하지만, 엄밀히 이들의 상태를 만족시키는 것을 요하지 않는다. 즉, 상기한 각 표현은, 제조 정밀도, 설치 정밀도, 처리 정밀도, 검출 정밀도 등의 어긋남을 허용하는 것으로 한다.
먼저, 실시형태에 따른 반송 시스템(1)의 개요에 대해 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 실시형태에 따른 반송 시스템(1)의 개요를 도시한 상면 모식도이다. 또한, 도 1은 반송 시스템(1)을 상방에서 본 모식도에 상당한다.
또한, 도 1에는, 설명을 알기 쉽게 하기 위해서, 연직 상향을 정방향으로 하는 Z축, 복수의 처리실(PC)이 설치되는 반송실(100)의 측벽(100sw)을 따른 방향을 X축, 측벽(100sw)의 법선 방향을 Y축으로 하는 3차원의 직교 좌표계를 도시하고 있다. 이러한 직교 좌표계는, 이하의 설명에서 이용하는 다른 도면에서도 도시하는 경우가 있다. 또한, 도 1에서는, 처리실(PC)의 정면에 상당하는 중심선(CL)을 도시하고 있다. 중심선(CL)은, 측벽(100sw)의 법선 중, 처리실(PC)에서의 기판(W)(파선의 원 참조)의 중심을 통과하는 선(도 1에서는, Y축을 따르는 선)에 상당한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 반송실(100)의 외측에는, 감압 분위기에서 기판(W)에 대한 처리를 행하는 복수의 처리실(PC)이 측벽(100sw)에 설치되어 있다. 처리실(PC)이 기판(W)에 대해 행하는 처리로서는, CVD(Chemical Vapor Deposition) 등의 성막(成膜) 처리나, 에칭 처리 등이 있다. 또한, 일반적으로 감압 분위기의 환경을 「진공」이라고 부르는 경우도 있다. 또한, 도 1에 도시된 처리실(PC)에서의 2중선의 변은, 개폐 가능한 개구에 대응한다.
반송실(100)은, 처리실(PC)과 마찬가지로 실내가 감압 분위기이고, 실내에는 복수의 로봇(10)과, 이동식 버퍼(110)가 배치되며, 양자가 협동함으로써 기판(W)을 반송한다. 로봇(10)은, 처리실(PC)에 기판(W)을 넣거나 처리실(PC)로부터 기판(W)을 취출한다고 하는 기판(W)을 주고받는 것을 행하는 기판 반송 기구이고, 예컨대 수평 다관절 로봇(스칼라 로봇)이다.
로봇(10)은, 반송실(100)의 실내에 고정되는 「고정식 로봇」이고, 반송실(100)의 실내를 주행하거나 이동하거나 하는 「이동식 로봇」과는 상이하다. 또한, 로봇(10)은, 반송실(100)의 측벽(100sw)을 따라 복수 설치된다. 이와 같이, 로봇(10)은, 반송실(100) 내를 이동하지 않기 때문에, 로봇(10)에 대한 급전이 용이하고, 반송실(100)의 클린화에 기여한다.
반송실(100)의 측벽(100sw)에는, 복수의 처리실(PC)이 수평 방향으로 나란히 설치된다. 여기서, 제1 측벽(100sw1)에 설치되는 복수의 처리실(PC)을 제1 처리실군(PCg1)이라고, 제1 측벽(100sw1)에 대향하는 제2 측벽(100sw2)에 설치되는 복수의 처리실(PC)을 제2 처리실군(PCg2)이라고 각각 부르는 것으로 한다. 또한, 제1 측벽(100sw1)에서의 처리실(PC)의 배열 방향을 따라 설치되는 복수의 로봇(10)을 제1 로봇(10g1)이라고, 제2 측벽(100sw2)에서의 처리실(PC)의 배열 방향을 따라 설치되는 복수의 로봇(10)을 제2 로봇(10g2)이라고 각각 부르는 것으로 한다.
이동식 버퍼(110)는, 기판(W)을 일시적으로 유지하는 버퍼이고, 측벽(100sw)에서의 복수의 처리실(PC)의 배열 방향(도 1에서는 X축과 평행한 방향)을 따라 이동한다[도 1의 수평 방향(D1) 참조]. 예컨대, 이동식 버퍼(110)는, 반송실(100)의 상면에 고정되어 수평 방향(D1)을 따라 연신하는 궤도(120)에 매달려, 이동 경로(ML)를 따라 이동한다. 여기서, 이동식 버퍼(110)는, 리니어 모터 등에 의해 비접촉 구동된다. 또한, 도 1에 도시된 측벽(100sw)은 상면에서 보아 직선형이기 때문에, 수평 방향(D1)이나 이동 경로(ML)도 직선이 된다.
즉, 제1 로봇(10g1), 제2 로봇(10g2) 및 이동식 버퍼(110)는, 도 1에 도시된 Y축을 따라, 제1 측벽(100sw1), 제1 로봇(10g1), 이동식 버퍼(110), 제2 로봇(10g2) 및 제2 측벽(100sw2)의 순서로 배치된다. 이와 같이, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)과 기판(W)을 주고받는 것이 가능한 위치에 이동식 버퍼(110)가 배치되기 때문에, 제1 로봇(10g1) 또는 제2 로봇(10g2) 중 어느 하나가 만일 정지했다고 해도, 기판(W)의 반송을 계속할 수 있으므로, 기판 반송의 가용성의 향상이 가능해진다.
각 로봇(10)은, 이동식 버퍼(110)의 이동과 연계함으로써 이동식 버퍼(110)와 처리실(PC) 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 구체적으로는, 로봇(10)이 기판(W)을 반송실(100)로부터 처리실(PC)에 반출하는 경우에는, 처리 전의 기판(W)을 유지한 이동식 버퍼(110)가 로봇(10)의 근방으로 이동한다. 로봇(10)은, 이동식 버퍼(110)로부터 처리 전의 기판(W)을 취득하고, 취득한 처리 전의 기판(W)을 처리실(PC)에 반출한다.
또한, 로봇(10)이 기판(W)을 처리실(PC)로부터 반송실(100)에 반입하는 경우에는, 빈[기판(W)을 유지하고 있지 않음] 이동식 버퍼(110)가 로봇(10)의 근방으로 이동한다. 로봇(10)은, 처리실(PC)로부터 처리 후의 기판(W)을 취출하고, 취출한 처리 후의 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 건네준다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 로봇(10)을 각각 처리실(PC)의 정면에 배치하는 경우에는, 이동식 버퍼(110)도 처리실(PC)의 정면에 정지 가능한 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 처리실(PC)과 로봇(10) 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행할 때의 기판(W)의 이동 거리를 최소화할 수 있고, 반송 효율을 높일 수 있다. 또한, 로봇(10)의 동작을 간략화할 수 있기 때문에, 로봇(10)의 구성도 단순화되어, 저비용화를 도모하는 것이 가능해진다.
이와 같이, 버퍼를 이동식 버퍼(110)로 함으로써, 로봇(10)을 이동식으로 하는 경우에 비해 이동 대상을 경량화할 수 있고, 이동 기구를 간소화하는 것이 가능해진다. 이에 의해, 이동 기구의 가동률이 향상되기 때문에 기판(W)의 반송의 가용성을 높일 수 있고, 기판(W)의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
최근, 각 처리실(PC)에서의 기판(W)에 대한 처리 시간은, 기판(W)에 형성되는 반도체의 다층화 등에 의해 길어지는 경향이 있고, 하나의 반송실(100)당의 처리실(PC)의 수를 늘려 단위 시간당의 기판(W)의 처리 매수를 향상시키는 것에 대한 니즈가 있다.
따라서, 도 1에 도시된 반송 시스템(1)과 같이, 반송실(100)에서의 기판(W)의 반송 효율을 향상시킴으로써, 이러한 요망에 부응할 수 있다. 또한, 로봇(10)을 고정식으로 함으로써, 반송실(100)의 저배화(低背化)를 도모할 수 있고, 반송실(100)의 용적을 삭감할 수 있다. 이에 의해, 반송실(100)의 운용 비용을 삭감하는 것이 가능해진다.
또한, 도 1에서는, 반송실(100)의 일부만을 도시하였으나, 반송실(100) 전체에서의 처리실(PC), 로봇(10), 이동식 버퍼(110) 등의 배치예에 대해서는, 도 2 등을 이용하여 후술한다. 또한, 로봇(10), 이동식 버퍼(110)의 구성예에 대해서는, 도 3a 등을 이용하여 후술한다.
그런데, 도 1에 도시된 로봇(10)은, 반송실(100)에서의 기판(W)의 출입구에 상당하는 로드록실에도 액세스 가능하지만, 반송실(100)의 상면 형상, 로드록실이나 처리실(PC)의 배치에는 여러 가지 배리에이션이 존재한다. 또한, 로봇 내장형의 로드록실의 경우, 내장 로봇이 이동식 버퍼(110)와의 사이에서 기판(W)을 주고받는 것이 가능하면, 도 1에 도시된 로봇(10)은, 로드록실에 액세스 가능한 것을 요하지 않는다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 로봇(10)과, 이동식 버퍼(110)를 포함하는 장치를 반송 장치(5)라고 부르는 경우가 있다.
다음으로, 반송실(100)에서의 반송 장치(5)의 배치예에 대해 도 2를 이용하여 설명한다. 도 2는 반송실(100)에서의 반송 장치(5)의 배치예를 도시한 상면 모식도이다. 또한, 도 2에 도시된 반송실(100)의 상면 형상은 정사각형 형상이지만, X축을 따르는 변 또는 Y축을 따르는 변 중 어느 하나가 긴 직사각형 형상이어도 좋다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 측벽(100sw1) 및 제2 측벽(100sw2)의 대향하는 위치에는, 각각 2개씩의 처리실(PC)이 설치된다. 또한, 로봇(10)은, 각 처리실(PC)에서의 개구의 정면에 각각 배치된다.
구체적으로는, 제1 로봇(10g1)에 대해서는, 제1 처리실군(PCg1)에서의 처리실(PC11)의 정면에 로봇(10-1)이, 처리실(PC12)의 정면에 로봇(10-2)이, 각각 배치된다. 또한, 제2 로봇(10g2)에 대해서는, 제2 처리실군(PCg2)에서의 처리실(PC21)의 정면에 로봇(10-3)이, 처리실(PC22)의 정면에 로봇(10-4)이, 각각 배치된다.
또한, 궤도(120)는, 제1 로봇(10g1)과 제2 로봇(10g2)에 끼워지는 중간 위치를 수평 방향(D1)을 따라 연신한다. 그리고, 이동식 버퍼(110)는, 궤도(120)의 연신 방향을 따르는 이동 경로(ML)를 이동한다. 여기서, 이동식 버퍼(110)와 궤도(120)를 통합하여 이동식 버퍼(110)라고 부르는 것으로 해도 좋다. 또한, 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)의 구성에 대해서는 도 3a를 이용하여 후술한다. 또한, 이동식 버퍼(110)의 이동 경로(ML)가 도 2에 도시된 위치이면, 궤도(120)의 위치는 다른 위치여도 좋다. 예컨대, 궤도(120)가 제1 로봇(10g1)이나 제2 로봇(10g2)의 상방에 있어도 좋다.
이와 같이, 제1 로봇(10g1)은, 제1 처리실군(PCg1)에서의 각 처리실(PC)의 반입 반출구에 대향하는 위치에 처리실(PC)과 동일한 개수가 설치되고, 각각의 로봇(10)이 대향하는 처리실(PC)과 이동식 버퍼(110) 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 제2 로봇(10g2)은, 제2 처리실군(PCg2)에서의 각 처리실(PC)의 반입 반출구에 대향하는 위치에 처리실(PC)과 동일한 개수가 설치되고, 각각의 로봇(10)이 대향하는 처리실(PC)과 이동식 버퍼(110) 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행한다.
또한, 도 2에는, 제1 처리실군(PCg1) 및 제2 처리실군(PCg2)에서의 처리실(PC)의 수가 각각 2개이고, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)에서의 로봇(10)의 수도 같은 수의 2개인 경우를 도시하였다. 그러나, 이것에 한하지 않고, 제1 처리실군(PCg1) 및 제2 처리실군(PCg2)에서의 처리실(PC)의 수와, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)에서의 로봇(10)의 수를, 3개 이상으로 하는 것으로 해도 좋다.
그런데, 도 2에 도시된 바와 같이, 제3 측벽(100sw3) 및 제4 측벽(100sw4)의 대향하는 위치에는, 2개의 로드록실(LL)과 2개의 처리실(PC)이 각각 설치된다. 또한, 로봇(10)은, 각 로드록실(LL) 혹은 각 처리실(PC)에서의 개구의 정면에 각각 배치된다. 여기서, 로드록실(LL)은, 감압 분위기와 대기압 분위기 사이에서 내압을 변동 가능하고, 감압 분위기의 반송실(100)에서의 기판(W)의 출입구에 상당한다. 또한, 제4 측벽(100sw4)에 설치되는 복수의 처리실(PC)을 제4 처리실군(PCg4)이라고 부르는 것으로 한다.
구체적으로는, 제1 로봇(10g1)에 대해서는, 로드록실(LL1)의 정면에 로봇(10-1)이, 제4 처리실군(PCg4)에서의 처리실(PC31)의 정면에 로봇(10-2)이, 각각 배치된다. 또한, 제2 로봇(10g2)에 대해서는, 로드록실(LL2)의 정면에 로봇(10-3)이, 제4 처리실군(PCg4)에서의 처리실(PC32)의 정면에 로봇(10-4)이, 각각 배치된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 로드록실(LL1)을 경유하여 반송실(100)에 반입 및 반출되는 기판(W)은, 이동식 버퍼(110)와 연계하여 동작하는 제1 로봇(10g1)에 의해 각 처리실(PC)에 반송된다. 또한, 로드록실(LL2)을 경유하여 반송실(100)에 반입 및 반출되는 기판(W)은, 이동식 버퍼(110)와 연계하여 동작하는 제2 로봇(10g2)에 의해 각 처리실(PC)에 반송된다. 즉, 도 2에 도시된 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)[도 1에 도시된 반송 장치(5) 참조]에 의하면, 기판(W)의 반송 경로를 2계통으로 할 수 있기 때문에, 기판 반송의 가용성을 높이는 것이 가능해진다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 제3 측벽(100sw3)에 가장 가까운 로봇(10)인 로봇(10-1) 및 로봇(10-3)이 로드록실(LL)에 대해서도 기판(W)을 반송하는 것으로 하였다. 이와 같이 함으로써, 로드록실(LL)의 실내에 내장 로봇을 설치하는 것이 불필요해져, 로드록실(LL)의 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 제3 측벽(100sw3)의 로드록실(LL)을 하나로 하고, 로봇(10-1) 및 로봇(10-3)의 한쪽이 로드록실(LL)에 액세스하는 것으로 해도 좋다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 제4 측벽(100sw4)에 가장 가까운 로봇(10)인 로봇(10-2) 및 로봇(10-4)이 제4 처리실군(PCg4)에 대해서도 기판(W)을 반송하는 것으로 하였다. 이와 같이 함으로써, 기판(W)의 처리를 또한 병행하여 행하는 것이 가능해져, 반송실(100)에서의 기판 처리의 스루풋을 높일 수 있다. 또한, 제4 측벽(100sw4)의 처리실(PC)을 하나로 하고, 로봇(10-2) 및 로봇(10-4)의 한쪽이 제4 측벽(100sw4)의 처리실(PC)에 액세스하는 것으로 해도 좋다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 궤도(120)는, 이동식 버퍼(110)가 반송실(100)에서의 실내의 모든 로봇(10)과 기판(W)을 주고받는 것이 가능한 위치 및 길이로 설치된다. 이와 같이 함으로써, 모든 로봇(10)[로봇(10-1~4)]이 이동식 버퍼(110)와 연계하여 기판(W)의 반송을 행할 수 있다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 궤도(120)는 하나이고, 이동식 버퍼(110)는, 궤도(120)의 양측의 로봇(10)과 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 이와 같이 함으로써, 반송실(100)의 풋프린트를 작게 할 수 있고, 반송실(100)의 용적의 소형화를 도모하는 것이 가능해진다.
다음으로, 도 2에 도시된 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 구성예에 대해 도 3a 내지 도 3c를 이용하여 설명한다. 도 3a는 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 측면 모식도이고, 도 3b는 이동식 버퍼(110)의 측면 모식도이며, 도 3c는 이동식 버퍼(110)의 상면 모식도이다. 또한, 도 3a는 도 2에 도시된 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)를 X축 정방향측에서 본 측면 모식도에 상당하고, 도 3b는 이동식 버퍼(110)를 Y축 부방향측에서 본 측면 모식도에 상당한다. 또한, 도 3c는 이동식 버퍼(110)를 상면측(Z축 정방향측)에서 본 상면 모식도에 상당한다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 이동식 버퍼(110)는, 반송실(100)에서의 상벽(100c)의 상면(100ci)으로부터 매달린다. 또한, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)은, 반송실(100)에서의 바닥벽(100f)의 바닥면(100fi)에 고정된다. 또한, 이동식 버퍼(110)는, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)의 양방과 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)를 천장 매달기식으로 함으로써, 바닥 배치식으로 하는 경우에 비해 로봇(10)과의 간섭이 발생하기 어렵다.
또한, 반송실(100)의 상벽(100c)에는 실내의 기체를 실외로 배출하는 배출 기구가 설치된다. 상벽(100c)에 배출 기구를 설치함으로써, 만일, 이동식 버퍼(110)의 이동에 따라 파티클이 발생한 경우여도, 파티클의 확산을 방지하거나, 즉시 실외로 배출하거나 하는 것이 가능해진다.
또한, 도 3a에 도시된 바와 같이, 이동식 버퍼(110)는, 다단식이고, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)은, 이동식 버퍼(110)의 각 단에 대해 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)를 다단식으로 함으로써, 복수의 기판(W)의 유지가 가능해지기 때문에, 기판 반송의 효율화를 도모할 수 있다.
먼저, 로봇(10)의 구성예에 대해 설명한다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 로봇(10)은, 제1 아암(11)과, 제2 아암(12)과, 핸드(13)와, 승강 기구(15)와, 플랜지(F)와, 베이스부(B)를 구비한다.
또한, 로봇(10)의 베이스부(B)는, 반송실(100)에서의 바닥벽(100f)을 관통하여 반송실(100) 밖으로 돌출되어 있다. 또한, 플랜지(F)는, 바닥벽(100f)의 상면인 바닥면(100fi)으로 로봇(10)을 지지하고, 반송실(100)의 기밀성을 유지한다. 이와 같이, 로봇(10)의 베이스부(B)를 반송실(100)로부터 돌출시킴으로써, 반송실(100)의 용적을 삭감할 수 있다. 또한, 반송실(100)의 실외로부터의 로봇(10)에의 급전이나, 메인터넌스 등의 액세스를 용이하게 행할 수 있다.
승강 기구(15)는, 제1 아암(11)의 기단측을 제1 회전축(AH1) 주위로 회전 가능하게 지지하고, 승강축(AV)을 따라 승강한다. 또한, 승강 기구(15) 자체를 제1 회전축(AH1) 주위로 회전시키는 것으로 해도 좋다. 제1 아암(11)은, 제2 아암(12)의 기단부를 제2 회전축(AH2) 주위로 회전 가능하게 선단부에서 지지한다. 제2 아암(12)은, 핸드(13)의 기단부를 제3 회전축(AH3) 주위로 회전 가능하게 선단부에서 지지한다. 핸드(13)는, 예컨대 도 1이나 도 2에 도시된 바와 같이, 선단측이 두 갈래로 갈라진 포크부를 갖고 있고, 상면측에서 기판(W)을 지지한다. 또한, 핸드(13)가 복수의 기판(W)을 다단으로 유지하는 것으로 해도 좋고, 예컨대 동축으로 각각 선회하는 핸드(13)를 복수 설치하는 것으로 해도 좋다.
여기서, 수평 아암에 상당하는 제1 아암(11), 제2 아암(12) 및 핸드(13)는, 제1 회전축(AH1), 제2 회전축(AH2) 및 제3 회전축(AH3) 주위로 각각 독립적으로 선회하는 것으로 해도 좋다. 또한, 제1 회전축(AH1) 주위의 제1 아암(11)의 선회에 종동하여 제2 아암(12) 및 핸드(13)가 선회하는 것으로 해도 좋다.
각각 독립적으로 선회하는 경우의 구동원(액추에이터)은 3개이고, 종동하여 선회하는 경우의 구동원은 하나 또는 2개가 된다. 또한, 로봇(10)은, 승강 기구(15)의 승강용으로 또 하나의 구동원을 요한다. 여기서, 로봇(10)의 축 구성에는 배리에이션이 있으나, 상세한 것에 대해서는, 도 8a, 도 8b, 도 8c 및 도 8d를 이용하여 후술한다.
다음으로, 이동식 버퍼(110)의 구성예에 대해 설명한다. 이동식 버퍼(110)는, 기판(W)을 유지하는 유지 모듈(111)과, 구동 모듈(112)을 구비한다. 여기서, 도 3a에 도시된 구동 모듈(112)은, 무빙 마그넷 방식의 리니어 모터에서의 이동자(移動子)에 대응한다.
이 때문에, 이하에서는, 「구동 모듈(112)」을 「이동자(112)」라고 부르는 경우도 있다. 여기서, 리니어 모터는, 무빙 마그넷 방식에 한하지 않고, 인덕션식(유전식)으로 하는 것으로 해도 좋다. 본 실시형태에서는, 무빙 마그넷 방식, 즉 이동자(112)가 영구자석을 포함하는 경우에 대해 설명하지만, 이동자(112)를, 유전 전류가 흐름으로써 이동하는 소재로 형성하는 것으로 해도 좋다.
또한, 궤도(120)는, 리니어 모터에서의 고정자에 대응하는 고정자(120a)와, 가이드(120b)를 구비한다. 또한, 본 실시형태에서는, 리니어 모터에 의한 구동력에 의해 이동식 버퍼(110)가 궤도(120)에 대해 이동하는 경우에 대해 설명하지만, 접촉식이어도 좋고, 자기 부상식이나 에어 부상식 등의 비접촉식이어도 좋다. 가이드(120b)는, 수평면 등의 면내에서의 직선 운동이나 곡선 운동을 안내하는 지지 부재이다. 도 3a에 도시된 경우, 가이드(120b)는, 이동식 버퍼(110)에 대해 X축을 따르는 방향의 직선 이동을 안내한다.
이와 같이, 이동식 버퍼(110)의 구동 모듈(112)은, 궤도(120)에 포함되는 고정자(120a)에 의해 비접촉 구동된다. 예컨대, 고정자(120a)는, 권선을 수지 등으로 몰드하고, 몰드의 표면을 막형의 금속으로 덮음으로써 형성된다. 이러한 금속막은 캔이라고도 불리며, 수지 등으로부터 발생하는 가스를 내부에 가둔다.
이동식 버퍼(110)를 무빙 마그넷 방식의 비접촉 구동으로 함으로써 반송실(100)의 클린화에 기여한다. 또한, 고정자(120a)에의 급전을, 반송실(100)의 상벽(100c) 경유로 행할 수 있기 때문에, 이 점에서도 반송실(100)의 클린화에 기여할 수 있다.
다음으로, 이동식 버퍼(110)의 형상에 대해 더욱 상세히 설명한다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 이동식 버퍼(110)는, 파티클 확산 방지용의 커버(115)를 구비한다. 커버(115)는, 궤도(120)를 따라 연신하고, 궤도(120)에서의 한쪽의 측면측(도 3a에서는 Y축 부방향측)에서 반송실(100)에서의 상면(100ci)에 캔틸레버되며, 궤도(120)의 하면측을 통과하여 다른쪽의 측면(도 3a에서는 Y축 정방향측의 측면)을 따라 상방으로 굴곡된다. 커버(115)를 설치함으로써, 궤도(120)로부터 만일 파티클이 발생한 경우여도, 파티클이 반송실(100)의 실내로 확산되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 3a에 도시된 바와 같이, 이동식 버퍼(110)에서의 유지 모듈(111)은, 버퍼를 지지하는 지지부(111a)와, 버퍼에 상당하는 유지부(111b)를 구비한다. 지지부(111a)는, 궤도(120)에서의 상기한 다른쪽의 측면(도 3a에서는 Y축 정방향측의 측면)을 향해 연신하고, 커버(115)가 상방으로 굴곡된 부분을 피하도록 굴곡하여 궤도(120)의 하방에서 버퍼[유지부(111b)]를 지지한다.
구체적으로는, 지지부(111a)는, 커버(115)가 상방으로 굴곡된 부분을 피하도록 상방으로 연신하고, 반송실(100)의 상면(100ci)을 따라 연신하며, 커버(115)가 상방으로 굴곡된 부분을 따라 하방으로 연신하고, 궤도(120)에 근접하는 방향으로 더욱 연신하여 궤도(120)의 하방에서 유지부(111b)를 지지한다. 이와 같이, 버퍼를 지지하는 지지부(111a)를 이른바 래버린스(labyrinth) 구조로 함으로써, 커버(115)나, 반송실(100)의 상면(100ci)과의 간극을 좁힐 수 있기 때문에, 또한 파티클의 확산을 방지할 수 있다.
여기서, 이동식 버퍼(110)는, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)의 양방과 기판(W)을 주고받는 것이 가능하다. 예컨대, 제1 로봇(10g1)이 이동식 버퍼(110)에 배치한 기판(W)을 제2 로봇(10g2)이 취득할 수 있다. 또한, 도 3a에는, 이동식 버퍼(110)가 4단의 버퍼[유지부(111b)]를 구비하는 경우를 도시하였으나, 버퍼의 단수는, 1단 이상의 임의의 단수로 해도 좋다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 기판(W)이 이동식 버퍼(110)에 의해 유지되어 있는 경우에는, 로봇(10)은, 핸드(13)를 이동식 버퍼(110)에서의 각 단 사이에 삽입한 후, 핸드(13)를 상승시킴으로써 기판(W)을 떠 올리도록 수취한다. 반대로, 기판(W)이 핸드(13)에 의해 유지되어 있는 경우에는, 로봇(10)은, 핸드(13)를 이동식 버퍼(110)에서의 각 단 사이에 침입시킨 후, 핸드(13)를 하강시킴으로써 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 건네준다.
다음으로, 도 3a에 도시된 유지 모듈(111)을 제2 로봇(10g2)으로부터 본 경우에 대해 도 3b를 이용하여 설명한다. 또한, 도 3b에서는, 설명을 알기 쉽게 하기 위해서, 도 3a에 도시된 고정자(120a)나, 이동자(112), 커버(115)의 기재를 생략하고 있다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 궤도(120)는 X축을 따라 연신한다. 또한, 이동식 버퍼(110)의 유지 모듈(111)은, 도 1 등에 도시된 수평 방향(D1)으로 궤도(120)에 대해 이동한다. 유지 모듈(111)의 지지부(111a)는, 대향하는 유지부(111b)를 복수 세트 지지하고 있고, 한 쌍의 유지부(111b)의 간격은, 핸드(13)의 폭보다 크다. 따라서, 기판(W)을 유지하여 이동식 버퍼(110)에 삽입된 핸드(13)가 하강해도 다른 단의 유지부(111b)에는 간섭하지 않는다.
제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)은, 핸드(13)를 Y축을 따르는 방향으로 이동시키거나, Z축을 따르는 방향으로 승강시키거나 함으로써, 이동식 버퍼(110)의 각 단과 기판(W)을 주고받는 것을 행할 수 있다. 또한, 이동식 버퍼(110)는, 수평 방향(D1)으로 슬라이드하여 각 로봇(10)의 정면으로 이동할 수 있다. 따라서, 각 로봇(10)은, 핸드(13)를 승강시킨 후에, Y축을 따르는 방향으로 이동시킴으로써, 이동식 버퍼(110)의 각 단과 기판(W)을 주고받는 것을 행할 수 있다.
다음으로, 도 3b에 도시된 유지 모듈(111)을 상방에서 본 경우에 대해 도 3c를 이용하여 설명한다. 또한, 도 3c에서는, 이동자(112), 커버(115)의 기재를 생략하고 있다. 또한, 도 3c에서는, 유지부(111b)의 상면측에 설치되는 패드를 아울러 도시하고 있다. 패드는 기판(W)의 외주 부분을 지지하도록 복수 설치된다. 또한, 도 3c에서는 4개의 패드를 도시하고 있으나 개수를 한정하는 것은 아니다.
도 3c에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 유지부(111b)는, 상면에서 보아 H형의 형상의 지지부(111a)에 지지된다. 그리고, 한 쌍의 유지부(111b)는, 하나의 기판(W)을 각각 유지한다. 또한, 도 3c에서는, 최상단에 상당하는 유지부(111b)만이 보이고 있고, 2단째 이후의 유지부(111b)는 배후에 숨어 있다.
제1 로봇(10g1)은 Y축 정방향측으로부터, 제2 로봇(10g2)은 Y축 부방향측으로부터 유지 모듈(111)에 각각 액세스한다. 이동식 버퍼(110)는, 수평 방향(D1)으로 슬라이드하여 각 로봇(10)의 정면으로 이동할 수 있다. 따라서, 각 로봇(10)은, 핸드(13)를 Y축을 따르는 방향으로 이동시킴으로써, 이동식 버퍼(110)와 기판(W)을 주고받는 것을 행할 수 있다.
다음으로, 도 2에 도시된 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)를 2세트 설치하는 경우에 대해, 도 4 내지 도 5c를 이용하여 설명한다. 도 4는 변형예에 따른 반송 장치(5)의 측면 모식도이고, 도 5a는 변형예에 따른 반송 장치(5)의 측면 모식도이며, 도 5b는 변형예에 따른 이동식 버퍼(110)의 측면 모식도이다. 또한, 도 5c는 변형예에 따른 이동식 버퍼(110)의 상면 모식도이다. 또한, 도 4는 도 2에, 도 5a는 도 3a에, 도 5b는 도 3b에, 도 5c는 도 3c에, 각각 대응한다. 또한, 이하에서는, 도 2, 도 3a, 도 3b 및 도 3c를 이용하여 이미 설명한 내용에 대해서는 생략하거나, 간단한 설명에 그치는 것으로 한다.
도 4에 도시된 반송 시스템(1)은, 궤도(120)를 2개 배열하도록, 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)를 2세트 설치한 점에서, 도 2에 도시된 반송 시스템(1)과는 상이하다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 측벽(100sw1)에 가까운 쪽의 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)를, 이동식 버퍼(110-1) 및 궤도(120-1)라고 기재한다. 또한, 제2 측벽(100sw2)에 가까운 쪽의 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)를, 이동식 버퍼(110-2) 및 궤도(120-2)라고 기재한다.
여기서, 이동식 버퍼(110-1)는, 제1 로봇(10g1)과 기판(W)을 주고받는 것이 가능하고, 이동식 버퍼(110-2)는, 제2 로봇(10g2)과 기판(W)을 주고받는 것이 가능하다. 또한, 이동식 버퍼(110-1) 및 이동식 버퍼(110-2)는, 각각 독립적으로 이동하는 것이 가능하다. 따라서, 도 4에 도시된 반송 시스템(1)에서는, 반송실(100)에서의 반송 장치(5)(도 1 참조)를, 제1 측벽(100sw1)측과 제2 측벽(100sw2)측으로, 완전히 2계통으로 분리할 수 있기 때문에, 기판 반송의 가용성을 더욱 높일 수 있다.
구체적으로는, 제1 로봇(10g1)은, 로드록실(LL1), 처리실(PC11), 처리실(PC12), 처리실(PC31) 및 이동식 버퍼(110-1)와 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 또한, 제2 로봇(10g2)은, 로드록실(LL2), 처리실(PC21), 처리실(PC22), 처리실(PC32) 및 이동식 버퍼(110-2)와 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 또한, 도 2에 도시된 반송 시스템(1)은, 궤도(120)가 하나로 끝나기 때문에, 도 4에 도시된 반송 시스템(1)보다 반송실(100)의 풋프린트를 작게 하기 쉽다.
도 5a에 도시된 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)는, 도 3a에 도시된 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)를 등을 맞대어 2세트 배치하고 있는 점에서, 도 3a에 도시된 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)와는 상이하다. 또한, 제1 로봇(10g1)측의 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)를, 이동식 버퍼(110-1) 및 궤도(120-1)와 같이 기재한다. 또한, 제2 로봇(10g2)측의 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)를, 이동식 버퍼(110-2) 및 궤도(120-2)와 같이 기재한다.
여기서, 커버(115)는, 이동식 버퍼(110-1)와 이동식 버퍼(110-2)에서 공용하고 있다. 즉, 도 3a에 도시된 커버(115)를 등을 맞대어 일체화한 형상으로 하고 있다. 또한, 커버(115)를, 이동식 버퍼(110-1)용과, 이동식 버퍼(110-2)용으로 분리하여 각각 상벽(100c)에 고정하는 것으로 해도 좋다.
이동식 버퍼(110-1)와, 이동식 버퍼(110-2)는, 각각 독립적으로 X축을 따르는 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 이동식 버퍼(110-1)는, 제1 로봇(10g1)에서의 각 로봇(10)의 정면으로 각각 이동하는 것이 가능하다. 또한, 이동식 버퍼(110-2)는, 제2 로봇(10g2)에서의 각 로봇(10)의 정면으로 각각 이동하는 것이 가능하다.
도 5b에서는, 이동식 버퍼(110-1)와 이동식 버퍼(110-2)가, 수평 방향(D1)을 따라 각각 상이한 위치로 이동한 상태를 도시하고 있다. 여기서, 제1 로봇(10g1)은 이동식 버퍼(110-1)와의 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 또한, 제2 로봇(10g2)은 이동식 버퍼(110-2)와의 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행한다.
도 5c에서는, 이동식 버퍼(110-1)와 이동식 버퍼(110-2)가 동일한 X 좌표로 이동한 상태를 도시하고 있다. 제1 로봇(10g1)은 Y축 정방향측으로부터 이동식 버퍼(110-1)에 액세스하고, 제2 로봇(10g2)은 Y축 부방향측으로부터 이동식 버퍼(110-2)에 액세스한다.
다음으로, 반송실(100)의 상벽(100c)에 대해 도 6을 이용하여 설명한다. 도 6은 반송실(100)의 상면 모식도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상벽(100c)에는, 궤도(120)의 연신 방향(X축을 따르는 방향)으로 긴 관통 구멍(100ch)이 형성된다. 그리고, 하면측에 궤도(120)가 고정된 덮개(120B)가, 관통 구멍(100ch)을 막도록 고정된다. 이와 같이, 궤도(120)는, 반송실(100)의 실외로부터 반송실(100)에 부착할 수 있다.
다음으로, 궤도(120)의 연신 방향으로 연장된 반송실(100)을 갖는 반송 시스템(1)에 대해 도 7을 이용하여 설명한다. 도 7은 궤도(120)의 연신 방향으로 연장된 반송실(100)의 상면 모식도이다. 또한, 도 7은 도 4에 도시된 제1 측벽(100sw1) 및 제2 측벽(100sw2)을 궤도(120)의 연신 방향으로 2배의 길이로 하여 제1 처리실군(PCg1) 및 제2 처리실군(PCg2)의 처리실(PC)의 수를 2배의 각 4개로 하고, 로봇(10)의 대수를 2배의 8대로 한 경우를 도시하고 있다. 또한, 제1 처리실군(PCg1) 및 제2 처리실군(PCg2)의 처리실(PC)의 수와, 로봇(10)의 대수를 2배보다 커지도록 제1 측벽(100sw1) 및 제2 측벽(100sw2)을 연장하는 것으로 해도 좋다.
또한, 도 7에는, 도 4에 도시된 궤도(120)가 2개인 반송 시스템(1)을 궤도(120)의 연신 방향으로 연장한 경우를 도시하였으나, 도 2에 도시된 궤도(120)가 하나인 반송 시스템(1)을 궤도(120)의 연신 방향으로 연장하는 것으로 해도 좋다.
도 7에 도시된 바와 같이, 제1 로봇(10g1)은 로드록실(LL1), 제1 처리실군(PCg1)의 각 처리실(PC), 제4 처리실군(PCg4)의 처리실(PC31) 및 이동식 버퍼(110-1)와의 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행한다. 또한, 제2 로봇(10g2)은 로드록실(LL2), 제2 처리실군(PCg2)의 각 처리실(PC), 제4 처리실군(PCg4)의 처리실(PC32) 및 이동식 버퍼(110-2)와의 사이에서 기판(W)을 주고받는 것을 행한다.
이와 같이, 반송실(100)을 궤도(120)의 연신 방향을 따라 연장한 경우여도, 2계통의 반송 처리계에서, 각각 기판(W)을 반송할 수 있다. 따라서, 제1 로봇(10g1), 제2 로봇(10g2), 이동식 버퍼(110-1) 및 이동식 버퍼(110-2) 중 어느 하나가 정지한 경우여도 기판 처리를 계속할 수 있고, 기판 처리의 가용성을 높이는 것이 가능해진다. 또한, 궤도(120)의 연신 방향을 따라 반송실(100)을 연장함으로써, 처리실(PC)의 수를 늘릴 수 있기 때문에, 하나의 반송실(100)당의 처리 능력을 향상시킬 수 있다.
다음으로, 로봇(10)의 구성예에 대해, 도 8a 내지 도 8d를 이용하여 설명한다. 도 8a, 도 8b, 도 8c 및 도 8d는 로봇(10)의 구성예 그 1, 그 2, 그 3 및 그 4를 도시한 상면 모식도이다.
도 8a에 도시된 로봇(10)은, 연직 방향으로 1자유도이고 수평 방향으로 2자유도의 3자유도의 로봇인 RθZ 로봇(10A)이다. 또한, 도 8a에서는, 승강축(AV)과, 제1 회전축(AH1)을 동축으로서 도시하고 있으나, 동축이 아니어도 좋다. 수평 아암인 제1 아암(11), 제2 아암(12) 및 핸드(13)는, 핸드(13)의 자세를 유지한 채로 기판 중심(CW)이 제1 회전축(AH1)의 방사 방향으로 이동하도록 협조 동작한다.
즉, 제1 아암(11)을 제1 회전축(AH1) 주위로 선회시키는 구동력과 전달 기구에 의해, 제2 아암(12)은 제2 회전축(AH2) 주위로, 핸드(13)는 제3 회전축(AH3) 주위로, 각각 종동하여 선회한다. 또한, 전달 기구로서는, 벨트, 기어, 링크 기구 등이 있다. 또한, 「기판 중심(CW)」이란, 핸드(13)가 정규 위치에서 기판(W)을 유지한 경우의 기판(W)의 중심 위치를 가리킨다.
이와 같이, RθZ 로봇(10A)은, 제1 회전축(AH1), 제3 회전축(AH3) 및 기판 중심(CW)을 통과하는 직선의 각도(θ)를 일정하게 유지한 채로, 제1 회전축(AH1)으로부터 기판 중심(CW)까지의 거리(r)를 변화시킨다. 여기서, 각도(θ)는, 임의의 각도로 할 수 있다. 이와 같이, RθZ 로봇(10A)은, 연직 방향으로 1자유도이고 수평 방향으로 2자유도의 3자유도의 로봇(10)이다. 또한, 이하에서는, RθZ 로봇(10A)을 간단히 「RθZ 로봇」이라고 부르는 경우가 있다.
RθZ 로봇(10A)을 로봇(10)으로서 이용함으로써, 로봇(10)을 4자유도 이상으로 하는 경우보다, 로봇(10)의 저비용화를 도모할 수 있다. 또한, 로봇(10)으로서 RθZ 로봇(10A)을 이용하는 경우에는, RθZ 로봇(10A)은, 처리실(PC)이나 로드록실(LL)의 정면에 배치된다. 바꿔 말하면, 로봇(10)을 처리실(PC)이나 로드록실(LL)의 정면에 배치함으로써, 로봇(10)을 3자유도의 RθZ 로봇으로 할 수 있다.
도 8b에 도시된 로봇(10)은, 연직 방향으로 1자유도이고 수평 방향으로 3자유도 이상의 4자유도 이상의 로봇인 다자유도 로봇(10B)이다. 또한, 도 8b에서는, 승강축(AV)과, 제1 회전축(AH1)을 동축으로서 도시하고 있으나, 동축이 아니어도 좋다. 수평 아암인 제1 아암(11), 제2 아암(12) 및 핸드(13)는, 도 8a에 도시된 RθZ 로봇(10A)과는 달리, 제1 회전축(AH1), 제2 회전축(AH2) 및 제3 회전축(AH3) 주위로 각각 독립적으로 선회한다.
이와 같이, 다자유도 로봇(10B)은, 수평 방향에 대해 적어도 하나의 용장축을 갖고 있으므로, 기판 중심(CW)을 임의의 경로로 이동시킬 수 있다. 따라서, 로봇(10)으로서 다자유도 로봇(10B)을 이용하는 경우에는, 다자유도 로봇(10B)은, 처리실(PC)이나 로드록실(LL)의 정면에 배치되는 것을 요하지 않는다. 바꿔 말하면, 로봇(10)을 처리실(PC)이나 로드록실(LL)의 정면에 배치하지 않아도, 복수의 처리실(PC)이나 복수의 로드록실(LL)에 대해 기판(W)을 주고받는 것을 행할 수 있다.
즉, 다자유도 로봇(10B)을 로봇(10)에 포함시키는 것으로 하면, 제1 로봇(10g1)(도 1 참조)의 개수를 제1 처리실군(PCg1)(도 1 참조)에서의 처리실(PC)의 수보다 적게 하거나, 제2 로봇(10g2)(도 1 참조)의 개수를 제2 처리실군(PCg2)(도 1 참조)에서의 처리실(PC)의 수보다 적게 하거나 할 수 있다.
도 8c에 도시된 로봇(10)은, 도 8a에 도시된 RθZ 로봇(10A)의 수평 아암을 양팔로 하는 양팔 로봇(10C)이다. 즉, 양팔 로봇(10C)은, 수평 방향으로 2자유도의 아암을 양팔로 하고, 또한 연직 방향으로 1자유도를 갖는다.
구체적으로는, 2개의 제1 아암(11)의 기단측은 대좌(P)에 의해 지지되고, 대좌(P)는, 승강축(AV)을 따라 승강하며, 회전축(AH0) 주위로 회전한다. 또한, 도 8c에는, 도 8a에 도시된 RθZ 로봇(10A)의 수평 아암을 양팔로 하는 경우를 도시하였으나, 도 8b에 도시된 다자유도 로봇(10B)의 수평 아암을 양팔로 하는 것으로 해도 좋다.
여기서, 양팔에서의 각 팔의 핸드(13)는, Z축을 따르는 방향에서 보아 겹쳐 있다. 각 팔은, 회전축(AH0), 제3 회전축(AH3) 및 기판 중심(CW)을 통과하는 직선의 각도(θ)를 일정하게 유지한 채로, 회전축(AH0)으로부터 기판 중심(CW)까지의 거리(r)를 변화시킨다. 또한, 도 8c에 도시된 양팔에서의 각 팔의 상하 관계를 반대로 하는 것으로 해도 좋다.
도 8d에 도시된 양팔 로봇(10D)은, 도 8c에 도시된 양팔 로봇(10C)의 변형예이다. 도 8d에 도시된 양팔 로봇(10D)은, 승강축(AV)과, 양팔에서의 2개의 제1 회전축(AH1)을 동축으로 한 점, 대좌(P)를 생략한 점에서, 도 8c에 도시된 양팔 로봇(10C)과는 상이하다.
여기서, 양팔에서의 각 팔은, 제1 회전축(AH1), 제3 회전축(AH3) 및 기판 중심(CW)을 통과하는 직선의 각도(θ)를 일정하게 유지한 채로, 회전축(AH0)으로부터 기판 중심(CW)까지의 거리(r)를 변화시킨다. 이와 같이, 2개의 제1 회전축(AH1)을 동축으로 하고, 대좌(P)를 생략함으로써, 양팔 로봇(10D)의 컴팩트화를 도모할 수 있고, 반송실(100)의 용적을 저감하는 것이 가능해진다. 또한, 도 8d에 도시된 양팔에서의 각 팔의 상하 관계를 반대로 하는 것으로 해도 좋다.
다음으로, 도 1에 도시된 반송 장치(5)의 구성에 대해 도 9를 이용하여 설명한다. 도 9는 반송 장치(5)의 구성을 도시한 블록도이다. 도 9에 도시된 바와 같이, 반송 장치(5)는 로봇(10)과, 이동식 버퍼(110)와, 컨트롤러(20)를 구비한다. 또한, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)는 컨트롤러(20)에 접속되어 있다. 또한, 로드록실(LL) 및 처리실(PC)도 컨트롤러(20)에 접속되어 있어 정보의 교환이 가능하다.
컨트롤러(20)는 제어부(21)와, 기억부(22)를 구비한다. 제어부(21)는 취득부(21a)와, 동작 제어부(21b)를 구비한다. 기억부(22)는 교시 정보(22a)를 기억한다. 또한, 도 9에는, 설명을 간략화하기 위해서, 1대의 컨트롤러(20)를 도시하였으나, 복수 대의 컨트롤러(20)를 이용하는 것으로 해도 좋다. 이 경우, 각 컨트롤러를 통괄하는 상위의 컨트롤러를 설치하는 것으로 해도 좋다. 예컨대, 로봇(10)이 접속되는 컨트롤러와, 이동식 버퍼(110)가 접속되는 컨트롤러를 별체(別體)로 하고, 각 컨트롤러를 통괄하는 상위의 컨트롤러를 설치하는 것으로 해도 좋다.
여기서, 컨트롤러(20)는, 예컨대 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory), HDD(Hard Disk Drive), 입출력 포트 등을 갖는 컴퓨터나 각종의 회로를 포함한다. 컴퓨터의 CPU는, 예컨대 ROM에 기억된 프로그램을 판독하여 실행함으로써, 제어부(21)의 취득부(21a) 및 동작 제어부(21b)로서 기능한다.
또한, 취득부(21a) 및 동작 제어부(21b) 중 적어도 어느 하나 또는 전부를 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)나 FPGA(Field Programmable Gate Array) 등의 하드웨어로 구성할 수도 있다.
또한, 기억부(22)는, 예컨대 RAM이나 HDD에 대응한다. RAM이나 HDD는, 교시 정보(22a)를 기억할 수 있다. 또한, 컨트롤러(20)는, 유선이나 무선의 네트워크로 접속된 다른 컴퓨터나 가반형(可搬型) 기록 매체를 통해 상기한 프로그램이나 각종 정보를 취득하는 것으로 해도 좋다. 또한, 상기한 바와 같이, 컨트롤러(20)를 복수 대의 상호 통신 가능한 장치로서 구성해도 좋고, 상위 또는 하위의 장치와 통신 가능한 계층식의 장치로서 구성해도 좋다.
제어부(21)는, 로드록실(LL)이나 처리실(PC)로부터 액세스 요구 등의 트리거 정보를 취득하고, 로봇(10)과, 이동식 버퍼(110)의 동작 제어를 행한다. 또한, 컨트롤러(20)가 복수 대로 구성되는 경우에는, 제어부(21)는, 복수의 컨트롤러(20) 사이의 동기를 취하는 처리를 아울러 행하는 것으로 해도 좋다.
취득부(21a)는, 로드록실(LL)이나 처리실(PC)로부터 액세스 요구 등의 트리거 정보를 취득한다. 그리고, 취득부(21a)는, 취득한 정보에 기초하여, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 동작 타이밍이나 동작 내용을 결정하고, 결정된 동작 타이밍이나 동작 내용을 동작 제어부(21b)에 통지한다.
예컨대, 취득부(21a)는, 로드록실(LL)에 외부로부터 기판(W)이 반입된 타이밍을 취득하고, 취득된 타이밍에 기초하여 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)를 협조 동작시키도록 동작 제어부(21b)에 지시한다. 또한, 취득부(21a)는, 기판(W)에 대한 처리가 완료되는 타이밍을 처리실(PC)로부터 취득하고, 취득된 타이밍에 기초하여 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)를 협조 동작시키도록 동작 제어부(21b)에 지시한다.
동작 제어부(21b)는, 취득부(21a)로부터의 지시 및 교시 정보(22a)에 기초하여 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)를 동작시킨다. 또한, 동작 제어부(21b)는, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 동력원인 회전식 모터나 리니어 모터 등의 액추에이터에서의 인코더값을 이용하면서 피드백 제어를 행하는 등 하여 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 동작 정밀도를 향상시킨다.
교시 정보(22a)는, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)에 동작을 교시하는 티칭 단계에서 작성되고, 로봇 등의 동작 경로를 규정하는 프로그램을 포함한 정보이다. 또한, 도 2 등에 도시된 바와 같이, 선대칭 등의 규칙적인 위치에 각 로봇을 배치하는 경우에는, 교시 데이터를 공용하거나, 반전 이용하거나 하는 것이 가능해진다. 따라서, 반송 장치(5)에 의하면, 이러한 교시 데이터를 포함한 교시 정보(22a)의 생성의 수고와 비용을 억제할 수 있다.
다음으로, 도 1에 도시된 반송 장치(5)가 실행하는 처리 순서의 일례에 대해 도 10을 이용하여 설명한다. 도 10은 반송 장치(5)가 실행하는 처리 순서를 도시한 흐름도이다. 또한, 이하에 도시된 흐름도에서는, 이동식 버퍼(110)가 처리 전의 기판(W)을 이미 유지하고 있고, 로봇(10)과 협동함으로써, 처리실(PC)과의 사이에서 기판(W)의 교체를 행하는 경우에 대해 설명한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 컨트롤러(20)의 취득부(21a)가 처리실(PC)에서의 기판(W)에 대한 처리의 완료 통지를 취득하면(단계 S101), 컨트롤러(20)의 동작 제어부(21b)에 의해 동작 제어되는 로봇(10)이 처리 후의 기판(W)을 처리실(PC)로부터 반송실(100)에 반입한다(단계 S102).
또한, 컨트롤러(20)의 동작 제어부(21b)에 의해 동작 제어되는 이동식 버퍼(110)가 처리 후의 기판(W)의 수취를 위해서, 로봇(10)의 근방으로 이동한다(단계 S103). 또한, 로봇(10)이 처리실(PC)의 정면에 배치되는 경우에는, 이동식 버퍼(110)는 처리실(PC)의 정면[로봇(10)의 정면]으로 이동하는 것이 바람직하다.
로봇(10)이 처리실(PC)로부터 반송실(100)에 반입한 처리 후의 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 배치하면(단계 S104), 로봇(10)은, 핸드(13)(도 3a 참조)를 이동식 버퍼(110)의 다른 단[처리 전의 기판(W)을 유지하는 단]으로 이동시킨다. 그리고, 로봇(10)이 처리 전의 기판(W)을 이동식 버퍼(110)로부터 취득하면(단계 S105), 이동식 버퍼(110)가 퇴피 위치로 이동한다(단계 S106). 또한, 퇴피 위치란, 처리실(PC)에 액세스하는 로봇(10)과의 간섭을 피하는 위치이면 족하다.
그리고, 로봇(10)이 이동식 버퍼(110)로부터 수취한 처리 전의 기판(W)을 반송실(100)로부터 처리실(PC)에 반출하고(단계 S107), 처리를 종료한다.
또한, 도 10에서는, 설명을 알기 쉽게 하기 위해서, 각 처리가 직렬적으로 실행되는 경우를 도시하였으나, 로봇(10)과 이동식 버퍼(110)의 간섭이 발생하지 않는 범위에서, 각 처리를 병렬적으로 행하는 것으로 해도 좋다. 또한, 도 10에서는, 처리실(PC)과 기판(W)을 주고받는 것을 예시하였으나, 로드록실(LL)과 기판(W)을 주고받는 것에 대해서도 동일한 순서로 행할 수 있다. 또한, 로드록실(LL)과 기판(W)을 주고받는 것과, 처리실(PC)과 기판(W)을 주고받는 것을 병행하여 실행하는 것으로 해도 좋다.
다음으로, 도 2에 도시된 반송실(100)에 배치되는 각 로봇(10)을 양팔 로봇으로 한 경우에 대해 도 11을 이용하여 설명한다. 도 11은 양팔 로봇을 배치한 반송실(100)의 상면 모식도이다. 또한, 도 11에서는, 도 2와 공통되는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 이미 설명한 사항의 설명을 생략하거나, 간단한 설명에 그치는 것으로 한다.
도 11에 도시된 바와 같이, 각 로봇(10)은, 도 8d에 도시된 양팔 로봇(10D)이다. 양팔 로봇(10D)은, 각 로드록실(LL), 각 처리실(PC), 및 이동식 버퍼(110)에 대해 2장의 기판(W)을 주고받는 것이 가능해진다.
예컨대, 로봇(10-1)이나 로봇(10-4)은, 양팔에서의 한쪽 팔로 로드록실(LL)로부터 기판(W)을 취득하고, 다른쪽 팔로 로드록실(LL)에 기판(W)을 건네줄 수 있다. 또한, 각 로봇(10)은, 양팔에서의 한쪽 팔로 처리실(PC)로부터 처리 후의 기판(W)을 취득하고, 다른쪽 팔로 처리실(PC)에 처리 전의 기판(W)을 건네줄 수 있다. 또한, 각 로봇(10)은, 양팔에서의 한쪽 팔로 이동식 버퍼(110)로부터 기판(W)을 취득하고, 다른쪽 팔로 이동식 버퍼(110)에 기판(W)을 건네줄 수 있다.
또한, 도 11에서는, 4대의 로봇(10) 전부를 양팔 로봇(10D)으로 하는 경우에 대해 도시하였으나, 4대 중 적어도 1대를 양팔 로봇(10D)으로 하고, 그 외는 단팔 로봇으로 하는 것으로 해도 좋다. 또한, 로드록실(LL)에 액세스하는 로봇(10-1) 및 로봇(10-3)을 양팔 로봇(10D)으로 하고, 로봇(10-2) 및 로봇(10-4)을 단팔 로봇으로 하는 것으로 해도 좋다.
전술해 온 바와 같이, 실시형태에 따른 반송 장치(5)는 제1 로봇(10g1)과, 제2 로봇(10g2)과, 이동식 버퍼(110)를 구비한다. 제1 로봇(10g1)은, 반송실(100)의 실내에 고정되고, 반송실(100)의 제1 측벽(100sw1)에 복수의 처리실(PC)이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군(PCg1)에 대해 기판(W)을 반송하는 로봇(10)이다. 제2 로봇(10g2)은, 반송실(100)의 실내에 고정되고, 제1 측벽(100sw1)에 대향하는 제2 측벽(100sw2)의 제2 처리실군(PCg2)에 대해 기판(W)을 반송하는 로봇(10)이다. 이동식 버퍼(110)는, 제1 로봇(10g1) 및 제2 로봇(10g2)과 기판(W)을 주고받는 것이 가능하고, 제1 로봇(10g1)과 제2 로봇(10g2) 사이를 처리실(PC)의 배열 방향으로 연신하는 궤도(120)를 따라 이동한다.
이와 같이, 반송 장치에서는, 로봇을 고정식, 기판의 배치 장소인 버퍼를 이동식으로 하고, 로봇 및 이동식 버퍼의 연계 동작에 의해 기판의 반송을 행하는 것으로 했기 때문에, 이동 대상을 경량화할 수 있다. 이에 의해, 이동 기구를 간소화하는 것이 가능해져 이동 기구의 가동률이 향상되기 때문에, 기판의 반송의 가용성을 높일 수 있다. 따라서, 기판의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 이동식 버퍼를 천장 매달기식으로 하는 경우에 대해 주로 설명하였으나, 이동식 버퍼를 바닥 배치식으로 하는 것으로 해도 좋다.
한층 더한 효과나 변형예는, 당업자에 의해 용이하게 도출될 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 보다 광범위한 양태는, 이상과 같이 나타내고 또한 기술한 특정한 상세 및 대표적인 실시형태에 한정되는 것이 아니다. 따라서, 첨부된 청구의 범위 및 그 균등물에 의해 정의되는 총괄적인 발명의 개념의 정신 또는 범위에서 일탈하지 않고, 여러 가지 변경이 가능하다.
1: 반송 시스템 5: 반송 장치
10: 로봇 11: 제1 아암
12: 제2 아암 13: 핸드
15: 승강 기구 10g1: 제1 로봇
10g2: 제2 로봇 10A: RθZ 로봇
10B: 다자유도 로봇 10C: 양팔 로봇
20: 컨트롤러 21: 제어부
21a: 취득부 21b: 동작 제어부
22: 기억부 22a: 교시 정보
100: 반송실 100c: 상벽
100ci: 상면 100f: 바닥벽
100fi: 바닥면 100sw: 측벽
100sw1: 제1 측벽 100sw2: 제2 측벽
100sw3: 제3 측벽 100sw4: 제4 측벽
110: 이동식 버퍼 111: 유지 모듈
111a: 지지부 111b: 유지부(버퍼)
112: 구동 모듈(이동자) 115: 커버
120: 궤도 120a: 고정자
120b: 가이드 AH1: 제1 회전축
AH2: 제2 회전축 AH3: 제3 회전축
AV: 승강축 B: 베이스부
CL: 중심선 CW: 기판 중심
F: 플랜지 LL: 로드록실
ML: 이동 경로 PC: 처리실
PCg1: 제1 처리실군 PCg2: 제2 처리실군
PCg4: 제4 처리실군 W: 기판

Claims (17)

  1. 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇인 제1 로봇과,
    상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇인 제2 로봇과,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신(延伸)하는 궤도를 따라 이동하는 이동식 버퍼
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 로봇은, 상기 제1 처리실군에서의 각 처리실의 반입 반출구에 대향하는 위치에 상기 처리실과 동일한 개수가 설치되고, 각각의 로봇이 대향하는 상기 처리실과 상기 이동식 버퍼 사이에서 상기 기판을 주고받는 것을 행하며,
    상기 제2 로봇은, 상기 제2 처리실군에서의 각 처리실의 반입 반출구에 대향하는 위치에 상기 처리실과 동일한 개수가 설치되고, 각각의 로봇이 대향하는 상기 처리실과 상기 이동식 버퍼 사이에서 상기 기판을 주고받는 것을 행하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇은, 연직 방향으로 1자유도이고 수평 방향으로 2자유도의 3자유도의 로봇인 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 로봇은, 상기 제1 처리실군에서의 상기 처리실의 수보다 적은 개수가 설치되고, 복수의 상기 처리실과 상기 이동식 버퍼 사이에서 상기 기판을 주고받으며,
    상기 제2 로봇은, 상기 제2 처리실군에서의 상기 처리실의 수보다 적은 개수가 설치되고, 복수의 상기 처리실과 상기 이동식 버퍼 사이에서 상기 기판을 주고받는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇은, 연직 방향으로 1자유도이고 수평 방향으로 3자유도 이상의 4자유도 이상의 로봇인 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 반송실은, 평면도에서 보아 직사각형 형상이고, 제3 측벽에 로드록실이 설치되며,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇 중 적어도 한쪽은, 상기 제3 측벽에 가장 가까운 로봇이 상기 로드록실에 대해서도 상기 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 반송실은, 상기 제3 측벽에 대향하는 제4 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제4 처리실군을 구비하고,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇 중 적어도 한쪽은, 상기 제4 측벽에 가장 가까운 로봇이 상기 제4 처리실군의 상기 처리실에 대해서도 상기 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 이동식 버퍼는, 상기 반송실의 상면에 고정되는 상기 궤도에 매달리고,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇은, 상기 반송실의 바닥면에 고정되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 궤도는, 상기 이동식 버퍼가 상기 반송실에서의 실내의 모든 상기 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능한 위치 및 길이로 설치되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 이동식 버퍼는 다단식이고,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇은, 상기 이동식 버퍼의 각 단에 대해 상기 기판을 주고받는 것을 행하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 궤도는 하나이고,
    상기 이동식 버퍼는, 상기 궤도의 양측의 상기 로봇과 상기 기판을 주고받는 것을 행하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 궤도를 따라 연신하고, 상기 궤도에서의 한쪽의 측면측에서 상기 반송실의 상면에 캔틸레버되며, 상기 궤도의 하면측을 통과하여 다른쪽의 측면을 따라 상방으로 굴곡되는 커버를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 이동식 버퍼는, 상기 궤도에서의 상기 다른쪽의 측면을 향해 연신하고, 상기 커버에서의 상방으로 굴곡된 부분을 피하도록 굴곡하여 상기 궤도의 하방에서 버퍼를 지지하는 지지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 반송실은, 2개의 상기 처리실이 각각 설치되어 대향하는 상기 제1 측벽 및 상기 제2 측벽, 4개의 상기 로봇과의 세트를 상기 궤도의 연신 방향을 따라 2세트 이상 반복하도록 연신되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  15. 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇인 제1 로봇과,
    상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇인 제2 로봇과,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신하는 궤도를 따라 이동하는 이동식 버퍼
    를 구비하는 반송 장치를 제공하는 것과,
    상기 이동식 버퍼와 상기 기판을 주고받는 것을 상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇에 행하게 하는 것
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 방법.
  16. 반송실과,
    상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇인 제1 로봇과,
    상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇인 제2 로봇과,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신하는 궤도를 따라 이동하는 이동식 버퍼
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  17. 반송실의 실내에 고정되고, 상기 반송실의 제1 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제1 처리실군에 대해 기판을 반송하는 로봇인 제1 로봇과,
    상기 반송실의 실내에 고정되고, 상기 제1 측벽에 대향하는 제2 측벽에 복수의 처리실이 수평 방향으로 배열된 제2 처리실군에 대해 상기 기판을 반송하는 로봇인 제2 로봇과,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇과 상기 기판을 주고받는 것이 가능하고, 상기 제1 로봇과 상기 제2 로봇 사이를 상기 처리실의 배열 방향으로 연신하는 궤도를 따라 이동하는 이동식 버퍼와,
    상기 제1 로봇 및 상기 제2 로봇의 동작과 상기 이동식 버퍼의 이동을 연계시킴으로써 상기 이동식 버퍼와 상기 처리실 사이에서 상기 기판을 주고받는 것을 행하게 하는 컨트롤러
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
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