CN113715033A - 搬运装置、搬运方法以及搬运系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。

Description

搬运装置、搬运方法以及搬运系统
技术领域
公开的实施方式涉及搬运装置、搬运方法以及搬运系统。
背景技术
以往，已知有一种搬运装置，其将具有对基板进行搬运的手部的机器人配置于减压氛围的搬运室内，相对于设置于搬运室的侧壁的处理室搬运基板。
例如，提出了一种基板处理装置，其利用移动式机器人相对于设置于搬运室的侧壁的多个处理室搬运基板，其中，所述移动式机器人借助利用线性马达进行的驱动在搬运室内移动(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-028179号公报
然而，在上述的现有技术中，存在因将机器人设为移动式而导致的成本的增加、因移动机构的复杂化而导致的可用性降低的担忧。若可用性降低，则结果是基板的搬运效率降低，因此，从提高处理前的基板及处理后的基板的搬运效率的观点出发，存在改善的余地。
发明内容
实施方式的一个方式的目的在于，提供能够提高基板的搬运效率的搬运装置、搬运方法以及搬运系统。
实施方式的一个方式所涉及的搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与所述第一机器人以及所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人与所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
实施方式的一个方式所涉及的搬运方法包括提供搬运装置的步骤，所述搬运装置具备第一机器人、第二机器人和移动式缓冲器，所述搬运方法让所述第一机器人以及所述第二机器人与移动式缓冲器进行基板的交接。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与所述第一机器人以及所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人与所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
实施方式的一个方式所涉及的搬运系统具备搬运室、第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与所述第一机器人以及所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人与所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
实施方式的一个方式所涉及的搬运装置具备第一机器人、第二机器人、移动式缓冲器以及控制器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与所述第一机器人以及所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人与所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。控制器通过使所述第一机器人以及所述第二机器人的动作与所述移动式缓冲器的移动协作而在所述移动式缓冲器与所述处理室之间进行所述基板的交接。
发明效果
根据实施方式的一个方式，能够提供能够提高基板的搬运效率的搬运装置、搬运方法以及搬运系统。
附图说明
图1是表示实施方式所涉及的搬运系统的概要的俯视示意图。
图2是表示搬运室中的搬运装置的配置例的俯视示意图。
图3A是机器人和移动式缓冲器的侧视示意图。
图3B是移动式缓冲器的侧视示意图。
图3C是移动式缓冲器的俯视示意图。
图4是表示搬运室中的搬运装置的变形例的俯视示意图。
图5A是变形例所涉及的搬运装置的侧视示意图。
图5B是变形例所涉及的移动式缓冲器的侧视示意图。
图5C是变形例所涉及的移动式缓冲器的俯视示意图。
图6是搬运室的俯视示意图。
图7是在轨道的延伸方向上延长的搬运室的俯视示意图。
图8A是表示机器人的结构例之一的俯视示意图。
图8B是表示机器人的结构例之二的俯视示意图。
图8C是表示机器人的结构例之三的俯视示意图。
图8D是表示机器人的结构例之四的俯视示意图。
图9是表示搬运装置的结构的框图。
图10是表示搬运装置所执行的处理顺序的流程图。
图11是配置有双臂机器人的搬运室的俯视示意图。
标号说明
1 搬运系统
5 搬运装置
10 机器人
11 第一臂
12 第二臂
13 手部
15 升降机构
10g1 第一机器人
10g2 第二机器人
10A RθZ机器人
10B 多自由度机器人
10C 双臂机器人
20 控制器
21 控制部
21a 取得部
21b 动作控制部
22 存储部
22a 示教信息
100 搬运室
100c 上壁
100ci 上表面
100f 地板
100fi 地板面
100sw 侧壁
100sw1 第一侧壁
100sw2 第二侧壁
100sw3 第三侧壁
100sw4 第四侧壁
110 移动式缓冲器
111 保持组件
111a 支承部
111b 保持部(缓冲器)
112 驱动组件(移动件)
115 罩
120 轨道
120a 固定件
120b 引导件
AH1 第一旋转轴线
AH2 第二旋转轴线
AH3 第三旋转轴线
AV 升降轴线
B 基础部
CL 中心线
CW 基板中心
F 凸缘
LL 装载锁定室
ML 移动路径
PC 处理室
PCg1 第一处理室组
PCg2 第二处理室组
PCg4 第四处理室组
W 基板
具体实施方式
以下，参照附图，对本申请所公开的搬运装置、搬运方法以及搬运系统的实施方式进行详细说明。此外，本发明并不受以下所示的实施方式限定。
另外，在以下所示的实施方式中，使用“正交”、“水平”、“铅垂”、“平行”、或者“对称”这样的表述，但不需要严格地满足这些状态。即，上述的各表述允许制造精度、设置精度、处理精度、检测精度等的偏差。
首先，使用图1对实施方式所涉及的搬运系统1的概要进行说明。图1是表示实施方式所涉及的搬运系统1的概要的俯视示意图。另外，图1相当于从上方观察搬运系统1的示意图。
另外，在图1中，为了容易理解说明，示出了将铅垂向上设为正方向的Z轴、将沿着设有多个处理室PC的搬运室100的侧壁100sw的方向设为X轴、将侧壁100sw的法线方向设为Y轴的三维直角坐标系。该直角坐标系有时也在以下的说明中使用的其他附图中示出。另外，在图1中，示出了相当于处理室PC的正面的中心线CL。中心线CL相当于侧壁100sw的法线中的、通过处理室PC中的基板W(参照虚线的圆)的中心的线(在图1中，沿着Y轴的线)。
如图1所示，在搬运室100的外侧，在侧壁100sw设置有在减压氛围下对基板W进行处理的多个处理室PC。作为处理室PC对基板W进行的处理，有CVD(Chemical VaporDeposition：化学气相沉积)等成膜处理、蚀刻处理等。另外，通常有时将减压氛围的环境称为“真空”。另外，图1所示的处理室PC中的双重线的边对应于能够开闭的开口。
搬运室100与处理室PC同样地，室内为减压氛围，在室内配置有多个机器人10和移动式缓冲器110，通过两者协作来搬运基板W。机器人10是向处理室PC放入基板W、或从处理室PC取出基板W这样的进行基板W的交接的基板搬运机构，例如是水平多关节机器人(SCARA机器人)。
机器人10是固定于搬运室100的室内的“固定式机器人”，与在搬运室100的室内行驶或移动的“移动式机器人”不同。另外，机器人10沿着搬运室100的侧壁100sw设置有多个。这样，机器人10不在搬运室100内移动，因此对机器人10的供电容易，有助于搬运室100的清洁化。
在搬运室100的侧壁100sw，沿水平方向排列设置有多个处理室PC。在此，将设置于第一侧壁100sw1的多个处理室PC称为第一处理室组PCg1，将设置于与第一侧壁100sw1对置的第二侧壁100sw2的多个处理室PC称为第二处理室组PCg2。另外，将沿着第一侧壁100sw1处的处理室PC的排列方向设置的多个机器人10称为第一机器人10g1，将沿着第二侧壁100sw2处的处理室PC的排列方向设置的多个机器人10称为第二机器人10g2。
移动式缓冲器110是暂时保持基板W的缓冲器，沿着侧壁100sw处的多个处理室PC的排列方向(图1中与X轴平行的方向)移动(参照图1的水平方向D1)。例如，移动式缓冲器110悬吊于轨道120，该轨道120被固定于搬运室100的上表面并沿水平方向D1延伸，移动式缓冲器110沿着移动路径ML移动。在此，移动式缓冲器110被线性马达等非接触驱动。另外，图1所示的侧壁100sw在俯视时呈直线状，因此，水平方向D1、移动路径ML也成为直线。
即，第一机器人10g1、第二机器人10g2以及移动式缓冲器110沿着图1所示的Y轴以第一侧壁100sw1、第一机器人10g1、移动式缓冲器110、第二机器人10g2以及第二侧壁100sw2的顺序配置。这样，在能够与第一机器人10g1以及第二机器人10g2进行基板W的交接的位置配置移动式缓冲器110，因此，即使第一机器人10g1或者第二机器人10g2中的任一个停止，也能够继续进行基板W的搬运，因此，能够提高基板搬运的可用性。
各机器人10通过与移动式缓冲器110的移动协作而在移动式缓冲器110与处理室PC之间进行基板W的交接。具体而言，机器人10将基板W从搬运室100向处理室PC搬出的情况下，保持有处理前的基板W的移动式缓冲器110向机器人10的附近移动。机器人10从移动式缓冲器110取得处理前的基板W，并将取得的处理前的基板W向处理室PC搬出。
另外，机器人10将基板W从处理室PC向搬运室100搬入的情况下，空的(未保持基板W的)移动式缓冲器110向机器人10的附近移动。机器人10从处理室PC取出处理后的基板W，并将取出的处理后的基板W交给移动式缓冲器110。
另外，如图1所示，在将多个机器人10分别配置于处理室PC的正面的情况下，优选移动式缓冲器110也能够停止在处理室PC的正面。由此，能够使在处理室PC与机器人10之间进行基板W的交接时的基板W的移动距离最小化，能够提高搬运效率。另外，由于能够简化机器人10的动作，因此机器人10的结构也被简化，能够实现低成本化。
这样，通过将缓冲器设为移动式缓冲器110，与将机器人10设为移动式的情况相比，能够使移动对象轻量化，能够简化移动机构。由此，移动机构的运转率提高，因此，能够提高基板W的搬运的可用性，能够提高基板W的搬运效率。
近年来，各处理室PC中的对于基板W的处理时间存在因形成于基板W的半导体的多层化等而变长的倾向，有对增加每1个搬运室100的处理室PC的数量而提高每单位时间的基板W的处理张数的需求。
因此，如图1所示的搬运系统1那样，通过提高搬运室100中的基板W的搬运效率，能够满足该需求。另外，通过将机器人10设为固定式，能够实现搬运室100的低高度化，能够削减搬运室100的容积。由此，能够削减搬运室100的运用成本。
另外，在图1中，仅示出搬运室100的一部分，但关于搬运室100整体中的处理室PC、机器人10、移动式缓冲器110等的配置例，使用图2等在后面叙述。另外，关于机器人10、移动式缓冲器110的结构例，使用图3A等在后面叙述。
然而，图1所示的机器人10也能够进入与搬运室100中的基板W的出入口相当的装载锁定室(load lock)，但在搬运室100的上表面形状、装载锁定室、处理室PC的配置中存在各种变形。另外，在机器人内置型的装载锁定室的情况下，如果内置机器人能够与移动式缓冲器110之间进行基板W的交接，则图1所示的机器人10不需要能够进入装载锁定室。另外，如图1所示，有时将包括机器人10和移动式缓冲器110的装置称为搬运装置5。
接着，使用图2对搬运室100中的搬运装置5的配置例进行说明。图2是表示搬运室100中的搬运装置5的配置例的俯视示意图。另外，图2所示的搬运室100的上表面形状为正方形，但也可以是沿着X轴的边或沿着Y轴的边中的任一个较长的矩形形状。
如图2所示，在第一侧壁100sw1及第二侧壁100sw2的对置的位置，分别设置有各2个处理室PC。另外，机器人10分别配置于各处理室PC的开口的正面。
具体而言，关于第一机器人10g1，在第一处理室组PCg1中的处理室PC11的正面配置机器人10-1，在处理室PC12的正面配置机器人10-2。另外，关于第二机器人10g2，在第二处理室组PCg2中的处理室PC21的正面配置机器人10-3，在处理室PC22的正面配置机器人10-4。
另外，轨道120在被第一机器人10g1与第二机器人10g2夹着的中间位置处沿着水平方向D1延伸。进而，移动式缓冲器110在沿着轨道120的延伸方向的移动路径ML上移动。在此，也可以将移动式缓冲器110和轨道120统称为移动式缓冲器110。另外，关于移动式缓冲器110及轨道120的结构，使用图3A在后面叙述。另外，如果移动式缓冲器110的移动路径ML是图2所示的位置，则轨道120的位置也可以是其他位置。例如，轨道120也可以位于第一机器人10g1或第二机器人10g2的上方。
这样，在与第一处理室组PCg1中的各处理室PC的搬入搬出口对置的位置处设置有与处理室PC相同个数的第一机器人10g1，各个机器人10在所面对的处理室PC与移动式缓冲器110之间进行基板W的交接。在与第二处理室组PCg2中的各处理室PC的搬入搬出口对置的位置处设置有与处理室PC相同个数的第二机器人10g2，各个机器人10在所面对的处理室PC与移动式缓冲器110之间进行基板W的交接。
另外，在图2中示出了第一处理室组PCg1和第二处理室组PCg2中的处理室PC的数量分别为2个、第一机器人10g1和第二机器人10g2中的机器人10的数量也为相同数量即2个的情况。但是，不限于此，也可以使第一处理室组PCg1和第二处理室组PCg2中的处理室PC的数量与第一机器人10g1和第二机器人10g2中的机器人10的数量为3个以上。
另外，如图2所示，在第三侧壁100sw3以及第四侧壁100sw4的对置的位置分别设置有2个装载锁定室LL和2个处理室PC。另外，机器人10分别配置于各装载锁定室LL或者各处理室PC的开口的正面。在此，装载锁定室LL能够使内压在减压氛围与大气压氛围之间变动，相当于减压氛围的搬运室100中的基板W的出入口。另外，将设置于第四侧壁100sw4的多个处理室PC称为第四处理室组PCg4。
具体而言，关于第一机器人10g1，在装载锁定室LL1的正面配置机器人10-1，在第四处理室组PCg4中的处理室PC31的正面配置机器人10-2。另外，关于第二机器人10g2，在装载锁定室LL2的正面配置机器人10-3，在第四处理室组PCg4中的处理室PC32的正面配置机器人10-4。
如图2所示，经由装载锁定室LL1向搬运室100搬入搬出的基板W由与移动式缓冲器110协作动作的第一机器人10g1向各处理室PC搬运。另外，经由装载锁定室LL2搬入搬出搬运室100的基板W由与移动式缓冲器110协作动作的第二机器人10g2向各处理室PC搬运。即，根据图2所示的机器人10以及移动式缓冲器110(参照图1所示的搬运装置5)，能够使基板W的搬运路径为2个系统，因此能够提高基板搬运的可用性。
另外，如图2所示，最接近第三侧壁100sw3的机器人10即机器人10-1及机器人10-3相对于装载锁定室LL也搬运基板W。由此，不需要在装载锁定室LL的室内设置内置机器人，能够实现装载锁定室LL的小型化。另外，也可以将第三侧壁100sw3的装载锁定室LL设为1个，机器人10-1以及机器人10-3中的一方进入装载锁定室LL。
另外，如图2所示，最接近第四侧壁100sw4的机器人10即机器人10-2及机器人10-4相对于第四处理室组PCg4也搬运基板W。由此，能够进一步并行地进行基板W的处理，能够提高搬运室100中的基板处理的处理能力。另外，也可以将第四侧壁100sw4的处理室PC设为1个，机器人10-2以及机器人10-4中的一方进入第四侧壁100sw4的处理室PC。
另外，如图2所示，轨道120以移动式缓冲器110能够与搬运室100的室内的所有机器人10交接基板W的位置以及长度进行设置。由此，所有机器人10(机器人10-1～10-4)能够与移动式缓冲器110协作来进行基板W的搬运。
另外，如图2所示，轨道120为1个，移动式缓冲器110与轨道120的两侧的机器人10进行基板W的交接。由此，能够减小搬运室100的占用面积，能够实现搬运室100的容积的小型化。
接着，使用图3A～图3C对图2所示的机器人10以及移动式缓冲器110的结构例进行说明。图3A是机器人10和移动式缓冲器110的侧视示意图，图3B是移动式缓冲器110的侧视示意图，图3C是移动式缓冲器110的俯视示意图。另外，图3A相当于从X轴正方向侧观察图2所示的机器人10以及移动式缓冲器110的侧视示意图，图3B相当于从Y轴负方向侧观察移动式缓冲器110的侧视示意图。另外，图3C相当于从上表面侧(Z轴正方向侧)观察移动式缓冲器110的俯视示意图。
如图3A所示，移动式缓冲器110从搬运室100的上壁100c的上表面100ci悬吊。另外，第一机器人10g1以及第二机器人10g2固定于搬运室100的地板100f的地板面100fi。另外，移动式缓冲器110与第一机器人10g1以及第二机器人10g2双方进行基板W的交接。这样，通过将移动式缓冲器110设为吊顶式，与设为落地式的情况相比，不易发生与机器人10的干涉。
另外，在搬运室100的上壁100c设置有将室内的气体向室外排出的排出机构。通过在上壁100c设置排出机构，即使在随着移动式缓冲器110的移动而产生颗粒的情况下，也能够防止颗粒的扩散，或者立即向室外排出。
另外，如图3A所示，移动式缓冲器110为多层式，第一机器人10g1以及第二机器人10g2相对于移动式缓冲器110的各层进行基板W的交接。这样，通过将移动式缓冲器110设为多层式，能够保持多个基板W，因此能够实现基板搬运的效率化。
首先，对机器人10的结构例进行说明。如图3A所示，机器人10具备第一臂11、第二臂12、手部13、升降机构15、凸缘F以及基础部B。
另外，机器人10的基础部B贯通搬运室100中的地板100f而向搬运室100外突出。另外，凸缘F利用作为地板100f的上表面的地板面100fi支承机器人10，并且保持搬运室100的气密性。这样，通过使机器人10的基础部B从搬运室100突出，能够削减搬运室100的容积。另外，能够容易地进行搬运室100从室外向机器人10的供电、维护等的进入。
升降机构15将第一臂11的基端侧支承为能够绕第一旋转轴线AH1旋转，并且沿着升降轴线AV升降。另外，也可以使升降机构15自身绕第一旋转轴线AH1旋转。第一臂11利用末端部支承第二臂12的基端部使其能够绕第二旋转轴线AH2旋转。第二臂12利用末端部支承手部13的基端部使其能够绕第三旋转轴线AH3旋转。手部13例如如图1、图2所示，具有末端侧被分成两股的叉部，在上表面侧对基板W进行支承。另外，手部13将多个基板W保持为多层，例如，也可以设置多个同轴且分别回转的手部13。
在此，相当于水平臂的第一臂11、第二臂12以及手部13也可以绕第一旋转轴线AH1、第二旋转轴线AH2以及第三旋转轴线AH3分别独立地回转。另外，也可以是，第二臂12以及手部13从动于第一臂11绕第一旋转轴线AH1的回转而回转。
分别独立地回转的情况下的驱动源(致动器)为3个，从动回转的情况下的驱动源为1个或2个。另外，机器人10需要用于升降机构15的升降的另一个驱动源。在此，机器人10的轴结构有变化，详细而言，使用图8A、图8B、图8C以及图8D在后面叙述。
接着，对移动式缓冲器110的结构例进行说明。移动式缓冲器110具备对基板W进行保持的保持组件111和驱动组件112。在此，图3A所示的驱动组件112与动磁式线性马达中的移动件对应。
因此，以下，也有时将“驱动组件112”称为“移动件112”。在此，线性马达并不限于动磁方式，也可以为感应式(induction)。在本实施方式中，对动磁方式、即移动件112包含永磁体的情况进行说明，但移动件112也可以由通过感应电流流动而移动的材料形成。
另外，轨道120具备与线性马达中的固定件对应的固定件120a和引导件120b。另外，在本实施方式中，对通过线性马达的驱动力使移动式缓冲器110相对于轨道120移动的情况进行说明，但可以是接触式，也可以是磁悬浮式、空气悬浮式等非接触式。引导件120b是引导水平面等面内的直线运动、曲线运动的支承部件。在图3A所示的情况下，引导件120b对移动式缓冲器110沿着X轴的方向的直线移动进行引导。
这样，移动式缓冲器110的驱动组件112被轨道120所包含的固定件120a非接触驱动。例如，固定件120a是通过用树脂等对绕组进行模制并利用膜状的金属覆盖模制件的表面而形成的。该金属膜也被称为壳，将由树脂等产生的气体封入内部。
通过将移动式缓冲器110设为动磁式的非接触驱动，有助于搬运室100的清洁化。另外，由于能够经由搬运室100的上壁100c进行对固定件120a的供电，因此在这一点上也能够有助于搬运室100的清洁化。
接着，对移动式缓冲器110的形状进一步详细地进行说明。如图3A所示，移动式缓冲器110具备防止颗粒扩散用的罩115。罩115沿着轨道120延伸，并且在轨道120的一个侧面侧(在图3A中为Y轴负方向侧)被悬臂支承在搬运室100的上表面100ci，通过轨道120的下表面侧沿着另一个侧面(在图3A中为Y轴正方向侧的侧面)向上方弯曲。通过设置罩115，即使在从轨道120产生了颗粒的情况下，也能够防止颗粒向搬运室100的室内扩散。
另外，如图3A所示，移动式缓冲器110中的保持组件111具备支承缓冲器的支承部111a和相当于缓冲器的保持部111b。支承部111a朝向轨道120的上述另一个侧面(在图3A中为Y轴正方向侧的侧面)延伸，并且以避开罩115向上方弯曲的部分的方式弯曲，在轨道120的下方支承缓冲器(保持部111b)。
具体而言，支承部111a以避开罩115向上方弯曲的部分的方式向上方延伸，并沿着搬运室100的上表面100ci延伸，沿着罩115向上方弯曲的部分向下方延伸，向接近轨道120的方向进一步延伸，在轨道120的下方支承保持部111b。这样，通过将支承缓冲器的支承部111a形成为所谓的迷宫结构，能够缩小与罩115、搬运室100的上表面100ci之间的间隙，因此能够进一步防止颗粒的扩散。
在此，移动式缓冲器110能够与第一机器人10g1以及第二机器人10g2双方进行基板W的交接。例如，第二机器人10g2能够取得由第一机器人10g1载置于移动式缓冲器110的基板W。另外，在图3A中，示出了移动式缓冲器110具备4层缓冲器(保持部111b)的情况，但缓冲器的层数可以是1层以上的任意的层数。
如图3A所示，在基板W由移动式缓冲器110保持的情况下，机器人10在将手部13插入到移动式缓冲器110中的各层之间之后，通过使手部13上升而以舀起的方式接收基板W。相反，在基板W由手部13保持的情况下，机器人10在使手部13进入到移动式缓冲器110中的各层之间之后，通过使手部13下降而将基板W交给移动式缓冲器110。
接着，使用图3B对从第二机器人10g2观察图3A所示的保持组件111的情况进行说明。另外，在图3B中，为了容易理解说明，省略了图3A所示的固定件120a、移动件112、罩115的记载。
如图3B所示，轨道120沿着X轴延伸。另外，移动式缓冲器110的保持组件111在图1等所示的水平方向D1上相对于轨道120移动。保持组件111的支承部111a支承多组对置的保持部111b，一对保持部111b的间隔比手部13的宽度大。因此，即使保持基板W而插入到移动式缓冲器110中的手部13下降，也不会与其他层的保持部111b发生干涉。
第一机器人10g1以及第二机器人10g2通过使手部13在沿着Y轴的方向移动、或者在沿着Z轴的方向升降，能够与移动式缓冲器110的各层进行基板W的交接。另外，移动式缓冲器110能够沿水平方向D1滑动而向各机器人10的正面移动。因此，各机器人10在使手部13升降之后，使其在沿着Y轴的方向移动，由此能够与移动式缓冲器110的各层进行基板W的交接。
接着，使用图3C对从上方观察图3B所示的保持组件111的情况进行说明。另外，在图3C中，省略移动件112、罩115的记载。另外，在图3C中，一并示出了设置于保持部111b的上表面侧的吸盘。吸盘以支承基板W的外周部分的方式设置有多个。另外，在图3C中示出了4个吸盘，但并不限定个数。
如图3C所示，一对保持部111b支承于俯视观察时为H型的形状的支承部111a。而且，一对保持部111b分别保持1个基板W。另外，在图3C中，仅看到相当于最上层的保持部111b，第二层以后的保持部111b隐藏于背后。
第一机器人10g1从Y轴正方向侧进入保持组件111，第二机器人10g2从Y轴负方向侧进入保持组件111。移动式缓冲器110能够沿水平方向D1滑动而向各机器人10的正面移动。因此，各机器人10通过使手部13在沿着Y轴的方向上移动，能够与移动式缓冲器110进行基板W的交接。
接着，使用图4～图5C对图2所示的移动式缓冲器110及轨道120设置2组的情况进行说明。图4是变形例的搬运装置5的侧视示意图，图5A是变形例的搬运装置5的侧视示意图，图5B是变形例的移动式缓冲器110的侧视示意图。另外，图5C是变形例的移动式缓冲器110的俯视示意图。另外，图4与图2对应，图5A与图3A对应，图5B与图3B对应，图5C与图3C对应。另外，以下，对使用图2、图3A、图3B以及图3C已经说明的内容进行省略，或者仅限于简单的说明。
图4所示的搬运系统1在以排列2个轨道120的方式设置2组移动式缓冲器110及轨道120这一点上与图2所示的搬运系统1不同。如图4所示，将靠近第一侧壁100sw1的移动式缓冲器110及轨道120记载为移动式缓冲器110-1及轨道120-1。另外，将靠近第二侧壁100sw2的移动式缓冲器110及轨道120记载为移动式缓冲器110-2及轨道120-2。
在此，移动式缓冲器110-1能够与第一机器人10g1进行基板W的交接，移动式缓冲器110-2能够与第二机器人10g2进行基板W的交接。另外，移动式缓冲器110-1以及移动式缓冲器110-2能够分别独立地移动。因此，在图4所示的搬运系统1中，能够将搬运室100中的搬运装置5(参照图1)在第一侧壁100sw1侧和第二侧壁100sw2侧完全分离为2个系统，因此能够进一步提高基板搬运的可用性。
具体而言，第一机器人10g1与装载锁定室LL1、处理室PC11、处理室PC12、处理室PC31以及移动式缓冲器110-1进行基板W的交接。另外，第二机器人10g2与装载锁定室LL2、处理室PC21、处理室PC22、处理室PC32以及移动式缓冲器110-2进行基板W的交接。另外，图2所示的搬运系统1由于轨道120为1个即可，因此与图4所示的搬运系统1相比，更容易减小搬运室100的占用面积。
图5A所示的移动式缓冲器110及轨道120在背靠背配置2组图3A所示的移动式缓冲器110及轨道120这一点上，与图3A所示的移动式缓冲器110及轨道120不同。另外，将第一机器人10g1侧的移动式缓冲器110及轨道120记载为移动式缓冲器110-1及轨道120-1。另外，将第二机器人10g2侧的移动式缓冲器110及轨道120记载为移动式缓冲器110-2及轨道120-2。
在此，罩115由移动式缓冲器110-1和移动式缓冲器110-2共用。即，将图3A所示的罩115形成为背靠背一体化的形状。另外，也可以将罩115分离为移动式缓冲器110-1用和移动式缓冲器110-2用而分别固定于上壁100c。
移动式缓冲器110-1和移动式缓冲器110-2能够分别独立地在沿着X轴的方向上移动。因此，移动式缓冲器110-1能够分别向第一机器人10g1中的各机器人10的正面移动。另外，移动式缓冲器110-2能够分别向第二机器人10g2中的各机器人10的正面移动。
在图5B中，示出了移动式缓冲器110-1和移动式缓冲器110-2沿着水平方向D1分别移动到不同的位置的状态。在此，第一机器人10g1与移动式缓冲器110-1之间进行基板W的交接。另外，第二机器人10g2与移动式缓冲器110-2之间进行基板W的交接。
在图5C中，示出了移动式缓冲器110-1和移动式缓冲器110-2移动到相同的X坐标的状态。第一机器人10g1从Y轴正方向侧进入移动式缓冲器110-1，第二机器人10g2从Y轴负方向侧进入移动式缓冲器110-2。
接着，使用图6对搬运室100的上壁100c进行说明。图6是搬运室100的俯视示意图。如图6所示，在上壁100c设置有在轨道120的延伸方向(沿着X轴的方向)上较长的贯通孔100ch。并且，在下表面侧固定有轨道120的盖体120B以堵塞贯通孔100ch的方式被固定。这样，轨道120能够从搬运室100的室外安装于搬运室100。
接着，使用图7对具有在轨道120的延伸方向上延长的搬运室100的搬运系统1进行说明。图7是在轨道120的延伸方向上延长的搬运室100的俯视示意图。另外，图7示出如下情况：将图4所示的第一侧壁100sw1及第二侧壁100sw2在轨道120的延伸方向上形成为2倍的长度，将第一处理室组PCg1及第二处理室组PCg2的处理室PC的数量设为2倍即各4个，将机器人10的台数设为2倍即8台。另外，也可以将第一侧壁100sw1及第二侧壁100sw2以如下方式延长：使第一处理室组PCg1及第二处理室组PCg2的处理室PC的数量与机器人10的台数大于2倍。
另外，在图7中示出了图4所示的轨道120将2个的搬运系统1沿轨道120的延伸方向延长的情况，但也可以是图2所示的轨道120将1个的搬运系统1沿轨道120的延伸方向延长。
如图7所示，第一机器人10g1在装载锁定室LL1、第一处理室组PCg1的各处理室PC、第四处理室组PCg4的处理室PC31以及移动式缓冲器110-1之间进行基板W的交接。另外，第二机器人10g2在装载锁定室LL2、第二处理室组PCg2的各处理室PC、第四处理室组PCg4的处理室PC32以及移动式缓冲器110-2之间进行基板W的交接。
这样，即使在将搬运室100沿着轨道120的延伸方向延长的情况下，也能够在2个系统的搬运处理系统中分别搬运基板W。因此，即使在第一机器人10g1、第二机器人10g2、移动式缓冲器110-1以及移动式缓冲器110-2中的任一个停止的情况下，也能够继续进行基板处理，能够提高基板处理的可用性。另外，通过沿着轨道120的延伸方向延长搬运室100，能够增加处理室PC的数量，因此能够提高每1个搬运室100的处理能力。
接着，使用图8A～图8D说明机器人10的结构例。图8A、图8B、图8C以及图8D是表示机器人10的结构例之一、之二、之三以及之四的俯视示意图。
图8A所示的机器人10是RθZ机器人10A，其是在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向上具有2个自由度的3自由度机器人。另外，在图8A中，将升降轴线AV和第一旋转轴线AH1同轴表示，但也可以不是同轴。作为水平臂的第一臂11、第二臂12以及手部13以在保持手部13的姿势的状态下基板中心CW向第一旋转轴线AH1的放射方向移动的方式进行协调动作。
即，通过使第一臂11绕第一旋转轴线AH1回转的驱动力和传递机构，第二臂12绕第二旋转轴线AH2从动地回转，手部13绕第三旋转轴线AH3从动地回转。另外，作为传递机构，有带、齿轮、连杆机构等。另外，“基板中心CW”是指手部13在正规位置保持基板W的情况下的基板W的中心位置。
这样，RθZ机器人10A在通过第一旋转轴线AH1、第三旋转轴线AH3以及基板中心CW的直线的角度θ保持为恒定的状态下，使从第一旋转轴线AH1到基板中心CW的距离r变化。在此，角度θ可以为任意的角度。这样，RθZ机器人10A是在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向上具有2个自由度的3自由度机器人10。另外，以下，有时将RθZ机器人10A简称为“RθZ机器人”。
通过将RθZ机器人10A用作机器人10，与将机器人10设为4自由度以上的情况相比，能够实现机器人10的低成本化。另外，在使用RθZ机器人10A作为机器人10的情况下，RθZ机器人10A配置于处理室PC、装载锁定室LL的正面。换言之，通过将机器人10配置于处理室PC、装载锁定室LL的正面，能够将机器人10设为3自由度的RθZ机器人。
图8B所示的机器人10是多自由度机器人10B，其是在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向具有3个自由度以上的4自由度以上的机器人。另外，在图8B中，将升降轴线AV和第一旋转轴线AH1同轴表示，但也可以不是同轴。作为水平臂的第一臂11、第二臂12以及手部13与图8A所示的RθZ机器人10A不同，绕第一旋转轴线AH1、第二旋转轴线AH2以及第三旋转轴线AH3分别独立地回转。
这样，多自由度机器人10B在水平方向上具有至少1个冗余轴，因此能够使基板中心CW在任意的路径上移动。因此，在使用多自由度机器人10B作为机器人10的情况下，多自由度机器人10B不需要配置于处理室PC、装载锁定室LL的正面。换言之，即使不将机器人10配置于处理室PC、装载锁定室LL的正面，也能够对多个处理室PC、多个装载锁定室LL进行基板W的交接。
即，若机器人10中包含多自由度机器人10B，则能够使第一机器人10g1(参照图1)的个数比第一处理室组PCg1(参照图1)中的处理室PC的数量少，或者使第二机器人10g2(参照图1)的个数比第二处理室组PCg2(参照图1)中的处理室PC的数量少。
图8C所示的机器人10是将图8A所示的RθZ机器人10A的水平臂设为双臂的双臂机器人10C。即，双臂机器人10C在水平方向上以2自由度的臂为双臂，而且，在铅垂方向上具有1个自由度。
具体而言，2个第一臂11的基端侧由基座P支承，基座P沿着升降轴线AV升降，并且绕旋转轴线AH0旋转。另外，在图8C中示出了将图8A所示的RθZ机器人10A的水平臂设为双臂的情况，但也可以将图8B所示的多自由度机器人10B的水平臂设为双臂。
在此，双臂中的各臂的手部13在沿Z轴的方向观察时重叠。各臂在将通过旋转轴线AH0、第三旋转轴线AH3以及基板中心CW的直线的角度θ保持为恒定的状态下，使从旋转轴线AH0到基板中心CW的距离r变化。另外，也可以使图8C所示的双臂中的各臂的上下关系相反。
图8D所示的双臂机器人10D是图8C所示的双臂机器人10C的变形例。图8D所示的双臂机器人10D在将升降轴线AV与双臂中的2个第一旋转轴线AH1设为同轴这一点、以及省略了基座P这一点与图8C所示的双臂机器人10C不同。
在此，双臂中的各臂在将通过第一旋转轴线AH1、第三旋转轴线AH3以及基板中心CW的直线的角度θ保持为恒定的状态下，使从旋转轴线AH0到基板中心CW的距离r变化。这样，通过将2个第一旋转轴线AH1设为同轴，并省略基座P，能够实现双臂机器人10D的紧凑化，能够降低搬运室100的容积。另外，也可以使图8D所示的双臂中的各臂的上下关系相反。
接着，使用图9对图1所示的搬运装置5的结构进行说明。图9是表示搬运装置5的结构的框图。如图9所示，搬运装置5具备机器人10、移动式缓冲器110以及控制器20。另外，机器人10以及移动式缓冲器110与控制器20连接。另外，装载锁定室LL以及处理室PC也与控制器20连接，能够进行信息的交换。
控制器20具备控制部21和存储部22。控制部21具备取得部21a和动作控制部21b。存储部22存储示教信息22a。另外，在图9中，为了简化说明，示出了1台控制器20，但也可以使用多台控制器20。在该情况下，也可以设置汇集各控制器的上位的控制器。例如，也可以将连接机器人10的控制器和连接移动式缓冲器110的控制器分体设置，并设置汇集各控制器的上位的控制器。
这里，控制器20例如包括具有CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)、HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)、输入输出端口等的计算机、各种电路。计算机的CPU例如通过读出并执行存储于ROM的程序来作为控制部21的取得部21a以及动作控制部21b发挥功能。
另外，取得部21a以及动作控制部21b中的至少任意一个或者全部也可以由ASIC(Application Specific Integrated Circuit：专用集成电路)或FPGA(FieldProgrammable Gate Array：现场可编程门阵列)等硬件构成。
另外，存储部22例如与RAM、HDD对应。RAM、HDD能够存储示教信息22a。另外，控制器20也可以经由通过有线或无线的网络连接的其他计算机、可移动型记录介质来取得上述的程序、各种信息。并且，如上所述，也可以将控制器20构成为多台相互能够通信的装置，也可以构成为能够与上位或者下位的装置进行通信的阶层式的装置。
控制部21从装载锁定室LL或处理室PC取得进入请求等触发信息，并且进行机器人10和移动式缓冲器110的动作控制。此外，在控制器20由多台构成的情况下，控制部21也可以一并进行取得多个控制器20间的同步的处理。
取得部21a从装载锁定室LL或处理室PC取得进入请求等触发信息。然后，取得部21a基于取得的信息，决定机器人10以及移动式缓冲器110的动作定时、动作内容，并将决定的动作定时、动作内容通知给动作控制部21b。
例如，取得部21a取得从外部向装载锁定室LL搬入基板W的定时，并基于取得的定时指示动作控制部21b以使机器人10以及移动式缓冲器110协调动作。另外，取得部21a从处理室PC取得对基板W的处理完成的定时，并基于取得的定时指示动作控制部21b以使机器人10以及移动式缓冲器110协调动作。
动作控制部21b基于来自取得部21a的指示以及示教信息22a使机器人10以及移动式缓冲器110动作。另外，动作控制部21b使用作为机器人10以及移动式缓冲器110的动力源的旋转式马达、线性马达等致动器中的编码器值来进行反馈控制等，从而提高机器人10以及移动式缓冲器110的动作精度。
示教信息22a是在向机器人10以及移动式缓冲器110示教动作的示教阶段生成的、包含规定机器人等的动作路径的程序的信息。另外，如图2等所示，在将各机器人配置于线对称等规则的位置的情况下，能够共用示教数据或反转利用示教数据。因此，根据搬运装置5，能够抑制包含该示教数据的示教信息22a的生成的工夫和成本。
接着，使用图10对图1所示的搬运装置5所执行的处理顺序的一个例子进行说明。图10是表示搬运装置5所执行的处理顺序的流程图。另外，在以下所示的流程图中，对移动式缓冲器110已经保持处理前的基板W并与机器人10协作而在与处理室PC之间进行基板W的更换的情况进行说明。
如图10所示，当控制器20的取得部21a取得处理室PC中对基板W的处理完成的通知时(步骤S101)，由控制器20的动作控制部21b进行动作控制的机器人10将处理后的基板W从处理室PC向搬运室100搬入(步骤S102)。
另外，由控制器20的动作控制部21b进行动作控制的移动式缓冲器110为了接收处理后的基板W而向机器人10的附近移动(步骤S103)。另外，在机器人10配置于处理室PC的正面的情况下，优选移动式缓冲器110向处理室PC的正面(机器人10的正面)移动。
当机器人10将从处理室PC搬入到搬运室100的处理后的基板W载置于移动式缓冲器110时(步骤S104)，机器人10使手部13(参照图3A)向移动式缓冲器110的其他层(保持处理前的基板W的层)移动。然后，当机器人10从移动式缓冲器110取得处理前的基板W时(步骤S105)，移动式缓冲器110向退避位置移动(步骤S106)。另外，退避位置只要是避免与向处理室PC进入的机器人10干涉的位置即可。
然后，机器人10将从移动式缓冲器110接收到的处理前的基板W从搬运室100向处理室PC搬出(步骤S107)，结束处理。
另外，在图10中，为了容易理解说明，示出了串行地执行各处理的情况，但也可以在不发生机器人10与移动式缓冲器110的干涉的范围内并行地进行各处理。另外，在图10中，例示了与处理室PC的基板W的交接，但对于与装载锁定室LL的基板W的交接也能够以同样的顺序进行。另外，也可以并行地执行与装载锁定室LL的基板W的交接和与处理室PC的基板W的交接。
接着，使用图11对将配置于图2所示搬运室100的各机器人10设为双臂机器人的情况进行说明。图11是配置有双臂机器人的搬运室100的俯视示意图。另外，在图11中，对与图2相同的结构标注相同的标号，并省略已经说明的事项的说明，或者仅限于简单的说明。
如图11所示，各机器人10是图8D所示的双臂机器人10D。双臂机器人10D能够对各装载锁定室LL、各处理室PC以及移动式缓冲器110进行2张基板W的交接。
例如，机器人10-1、机器人10-4能够利用双臂中的一个臂从装载锁定室LL取得基板W，并且利用另一个臂将基板W交给装载锁定室LL。另外，各机器人10能够利用双臂中的一个臂从处理室PC取得处理后的基板W，并且利用另一个臂将处理前的基板W交给处理室PC。另外，各机器人10能够利用双臂中的一个臂从移动式缓冲器110取得基板W，并且利用另一个臂将基板W交给移动式缓冲器110。
另外，在图11中，示出了将4台机器人10全部设为双臂机器人10D的情况，但也可以将4台中的至少1台设为双臂机器人10D，其他设为单臂机器人。另外，也可以将向装载锁定室LL进入的机器人10-1以及机器人10-3设为双臂机器人10D，将机器人10-2以及机器人10-4设为单臂机器人。
如上所述，实施方式所涉及搬运装置5具备第一机器人10g1、第二机器人10g2以及移动式缓冲器110。第一机器人10g1固定于搬运室100的室内，是相对于第一处理室组PCg1搬运基板W的机器人10，所述第一处理室组PCg1是在搬运室100的第一侧壁100sw1沿水平方向排列多个处理室PC而成的。第二机器人10g2固定于搬运室100的室内，是相对于与第一侧壁100sw1对置的第二侧壁100sw2的第二处理室组PCg2搬运基板W的机器人10。移动式缓冲器110能够与第一机器人10g1和第二机器人10g2进行基板W的交接，在第一机器人10g1与第二机器人10g2之间沿着在处理室PC的排列方向上延伸的轨道120进行移动。
这样，在搬运装置中，将机器人设为固定式，将作为基板的载置场所的缓冲器设为移动式，通过机器人以及移动式缓冲器的协作动作来进行基板的搬运，因此能够使移动对象轻量化。由此，能够简化移动机构，移动机构的运转率提高，因此能够提高基板的搬运的可用性。因此，能够提高基板的搬运效率。
另外，在上述的实施方式中，主要对将移动式缓冲器设为悬吊式的情况进行了说明，但也可以将移动式缓冲器设为落地式。
本领域技术人员能够容易地导出进一步的效果、变形例。因此，本发明的更广泛的方式并不限定于以上所示且记述的特定的详细和代表性的实施方式。因此，能够在不脱离由所附的权利要求书及其等同物定义的总括的发明的概念的精神或范围的情况下进行各种变更。

Claims (17)

1.一种搬运装置，其特征在于，
所述搬运装置具有：
第一机器人，其固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；
第二机器人，其固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；以及
移动式缓冲器，其能够与所述第一机器人和所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人和所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
在与所述第一处理室组中的各处理室的搬入搬出口对置的位置处设置有与所述处理室相同个数的所述第一机器人，各个机器人在所面对的所述处理室与所述移动式缓冲器之间进行所述基板的交接，
在与所述第二处理室组中的各处理室的搬入搬出口对置的位置处设置有与所述处理室相同个数的所述第二机器人，各个机器人在所面对的所述处理室与所述移动式缓冲器之间进行所述基板的交接。
3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，
所述第一机器人和所述第二机器人是在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向上具有2个自由度的3自由度机器人。
4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
所述第一机器人设置有比所述第一处理室组中的所述处理室的数量少的个数，在多个所述处理室与所述移动式缓冲器之间交接所述基板，
所述第二机器人设置有比所述第二处理室组中的所述处理室的数量少的个数，在多个所述处理室与所述移动式缓冲器之间交接所述基板。
5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，
所述第一机器人以及所述第二机器人是在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向上具有3个自由度以上的4自由度以上的机器人。
6.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，
所述搬运室在俯视时呈矩形状，在第三侧壁设置有装载锁定室，
对于所述第一机器人以及所述第二机器人中的至少一方，最接近所述第三侧壁的机器人相对于所述装载锁定室也搬运所述基板。
7.根据权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，
所述搬运室具备第四处理室组，该第四处理室组是在与所述第三侧壁对置的第四侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的，
对于所述第一机器人以及所述第二机器人中的至少一方，最接近所述第四侧壁的机器人相对于所述第四处理室组的所述处理室也搬运所述基板。
8.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
所述移动式缓冲器悬吊在固定于所述搬运室的上表面的所述轨道上，
所述第一机器人以及所述第二机器人固定在所述搬运室的地板面上。
9.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
所述轨道以所述移动式缓冲器能够与所述搬运室的室内的所有所述机器人交接所述基板的位置以及长度进行设置。
10.根据权利要求9所述的搬运装置，其特征在于，
所述移动式缓冲器是多层式的，
所述第一机器人以及所述第二机器人相对于所述移动式缓冲器的各层进行所述基板的交接。
11.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
所述轨道为1个，
所述移动式缓冲器与所述轨道两侧的所述机器人进行所述基板的交接。
12.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
所述搬运装置具备罩，所述罩沿着所述轨道延伸，并且在所述轨道的一个侧面侧悬臂支承于所述搬运室的顶面，通过所述轨道的下表面侧并沿着另一个侧面向上方弯曲。
13.根据权利要求12所述的搬运装置，其特征在于，
所述移动式缓冲器具备支承部，所述支承部朝向所述轨道的所述另一个侧面延伸，并且以避开所述罩的向上方弯曲的部分的方式弯曲，在所述轨道的下方支承缓冲器。
14.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
所述搬运室以如下方式延伸：分别设置有2个所述处理室并对置的所述第一侧壁和所述第二侧壁与4个所述机器人的组沿着所述轨道的延伸方向重复2组以上。
15.一种搬运方法，其特征在于，
所述搬运方法包括提供搬运装置的步骤，所述搬运装置具备第一机器人、第二机器人和移动式缓冲器，所述搬运方法让所述第一机器人和所述第二机器人与所述移动式缓冲器进行基板的交接，其中，
所述第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运所述基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的，
所述第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的，
所述移动式缓冲器能够与所述第一机器人和所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人和所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
16.一种搬运系统，其特征在于，
所述搬运系统具备：
搬运室；
第一机器人，其固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；
第二机器人，其固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；以及
移动式缓冲器，其能够与所述第一机器人和所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人和所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
17.一种搬运装置，其特征在于，
所述搬运装置具备：
第一机器人，其固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；
第二机器人，其固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；
移动式缓冲器，其能够与所述第一机器人和所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人和所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动；以及
控制器，其通过使所述第一机器人以及所述第二机器人的动作与所述移动式缓冲器的移动协作而在所述移动式缓冲器与所述处理室之间进行所述基板的交接。
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