KR20210125422A - 전기적 접속 장치 및 검사 방법 - Google Patents

전기적 접속 장치 및 검사 방법 Download PDF

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Abstract

피검사체에 소정의 가압으로 프로브가 접촉하는 전기적 접속 장치 및 검사 방법을 제공한다.
전기적 접속 장치는, 프로브 헤드와, 프로브 헤드가 유지하는 측정용 프로브 및 확인용 프로브를 구비한다. 프로브 헤드는, 프로브 헤드에서 선단이 노출된 상태로 측정용 프로브 및 확인용 프로브를 유지하고, 프로브 헤드에서 노출된 부분의 선단까지의 길이는, 측정용 프로브보다도 확인용 프로브 쪽이 짧다.

Description

전기적 접속 장치 및 검사 방법{ELECTRICAL CONNECTING DEVICE AND INSPECTION METHOD}
본 발명은, 피검사체의 전기적 특성의 측정에 사용하는 전기적 접속 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
반도체 집적 회로 등의 피검사체의 전기적 특성을 웨이퍼로부터 분리하지 않은 상태에서 측정하기 위해, 피검사체에 접촉시키는 프로브를 갖는 전기적 접속 장치를 사용한다. 전기적 접속 장치는, 예를 들어, 프로브를 유지(保持)하는 프로브 헤드를 배선 기판에 장착한 구성을 갖는다(특허문헌 1 참조). 프로브의 기단이 배선 기판에 접속하여 피검사체의 측정시에 프로브의 선단이 피검사체에 접촉한다.
피검사체의 측정에서는, 프로브와 피검사체가 전기적으로 접속한다. 이를 위해, 프로브를 강하게 피검사체에 밀어붙이도록 프로브에 오버 드라이브(OD)가 작용한다. OD에 의해 프로브가 피검사체에 소정의 가압(押壓)으로 접촉하도록 일정한 오버 드라이브 양을 전기적 접속 장치에 설정한다. 이하에서, 설정하는 오버 드라이브 양을 「Program Over Drive(POD)」라고 한다.
일본 특허공개공보 제2013-138157호
설정한 POD에 의해 프로브에 실제로 작용하는 오버 드라이브 양(이하에 있어서, 「Actual Over Drive(AOD)」라 한다)을 확인하는 것이, 프로브와 피검사체와의 전기적인 접속을 확보하기 위해 유효하다. POD와 AOD의 관계를 정확하게 파악하지 않으면, 프로브가 피검사체에 소정의 가압으로 접촉하지 못할 가능성이 있다.
본 발명은, 피검사체에 소정의 가압으로 프로브가 접촉하는 전기적 접속 장치 및 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 프로브 헤드와, 프로브 헤드가 유지하는 측정용 프로브 및 확인용 프로브를 구비하는 전기적 접속 장치가 제공된다. 프로브 헤드에서 노출된 부분의 선단까지의 길이인 선단 길이는, 측정용 프로브보다도 확인용 프로브 쪽이 짧다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 선단 길이가 측정용 프로브보다도 짧은 확인용 프로브가 검사용 기판에 접촉할 때까지 프로브 헤드와 검사용 기판의 간격을 좁게 하여, 측정용 프로브에 작용시킨 오버 드라이브 양을 기록하는 검사 방법이 제공된다.
본 발명에 따르면, 피검사체에 소정의 가압으로 프로브가 접촉하는 전기적 접속 장치 및 검사 방법을 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 2는, 측정용 프로브와 확인용 프로브의 배치 관계를 나타내는 모식적인 평면도이고,
도 3은, 측정용 프로브와 확인용 프로브의 다른 배치 관계를 나타내는 모식적인 평면도이고,
도 4는, 본 발명의 실시형태에 따른 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이고,
도 5는, 본 발명의 실시형태에 따른 검사 방법을 설명하기 위한 모식도이고(예 1),
도 6은, 본 발명의 실시형태에 따른 검사 방법을 설명하기 위한 모식도이고 (예 2),
도 7은, 확인용 프로브와 검사용 기판의 전기적 접속을 검출하는 전기 회로이고,
도 8에 있어서, (a)~(d)는 단차 구조를 갖는 확인용 프로브의 예를 나타내는 모식도이고,
도 9는, 본 발명의 실시형태의 변형 예에 따른 전기적 접속 장치의 구성을 나태는 모식도이다.
이어서, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태를 설명한다. 다음의 도면의 기재에 있어서, 동일 또는 유사한 부분에는 동일 또는 유사의 부호를 붙인다. 다만, 도면은 모식적인 것이며, 각 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 것에 유의해야 한다. 또한, 도면 상호간에 있어서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되어 있는 것은 물론이다. 다음에 나타내는 실시형태는, 본 발명의 기술적 사상을 구체화하기 위한 장치나 방법을 예시하는 것으로서, 본 발명의 실시형태는, 구성 부품의 재질, 형상, 구조, 배치 등을 하기 것에 특정하는 것이 아니다.
도 1에 나타내는 본 발명의 실시형태에 따른 전기적 접속 장치(1)는, 반도체 기판(3)에 형성한 피검사체(도시생략)의 전기적 특성의 측정에 사용한다. 전기적 접속 장치(1)는, 반도체 기판(3)에 대향해서 배치한 프로브 헤드(20)와, 프로브 헤드(20)가 유지하는 측정용 프로브(11) 및 확인용 프로브(12)를 구비한다.
프로브 헤드(20)는, 프로브 헤드(20)에서 선단이 노출된 상태로 피검사체의 측정에 사용하는 프로브(11)를 유지한다. 피검사체의 측정시에, 측정용 프로브(11)의 선단이 피검사체의 측정용 패드에 접촉한다.
또한, 프로브 헤드(20)는, 프로브 헤드(20)에서 선단이 노출된 상태로 확인용 프로브(12)를 유지한다. 프로브 헤드에서 노출된 부분의 선단까지의 길이(이하에서 「선단길이」라 함)가, 측정용 프로브(11)보다도 확인용 프로브(12) 쪽이 짧다. 도 1에 있어서, 측정용 프로브(11)와 확인용 프로브(12)의 선단 길이의 차이를 T1으로 나타내었다.
측정용 프로브(11)는, 피검사체의 측정시에 OD가 작용해서 검사용 패드에 소정의 가압으로 접촉한다. 예를 들면, 측정용 프로브(11)는, 피검사체에 접촉했을 때에 좌굴(座屈)해서 OD가 작용하도록 탄성 변형한다. 혹은 측정용 프로브(11)는, 스프링부를 가져 축방향으로 자유롭게 신축한다. 스프링부를 갖는 프로브는, 측면에 나선형의 절입을 스프링부로서 형성한 프로브나, 포고핀 등과 같이 스프링을 내장한 프로브 등이다.
측정용 프로브(11)는, 프로브 헤드(20)를 관통한다. 전기적 접속 장치(1)는 측정용 랜드(31)를 갖는 배선 기판(30)을 구비하고, 측정용 프로브(11)의 프로브 헤드(20)에서 노출하는 기단이 측정용 랜드(31)에 접속한다. 측정용 랜드(31)는, 배선 기판(30)에 배치한 측정용 접속 단자(33)와, 배선 기판(30)에 형성된 배선 패턴(도시생략)에 의해 전기적으로 접속한다. 예를 들면, 배선 기판(30)의 한쪽의 주면(主面)에 측정용 랜드(31)를 배치하고, 다른 쪽의 주면에 측정용 접속 단자(33)를 배치한다. 측정용 접속 단자(33)는, 테스터 등의 검사 장치(도시생략)와 전기적으로 접속한다. 전기적 접속 장치(1)를 통해서, 검사 장치와 피검사체의 사이에서 전기 신호가 전파한다. 예를 들면, 배선 기판(30) 및 측정용 프로브(11)를 경유해서 측정 장치에서 전기 신호가 피검사체에 송신되고, 피검사체에서 출력된 전기 신호가 측정 장치로 송신된다.
확인용 프로브(12)는, 측정용 프로브(11)와 마찬가지로 프로브 헤드(20)를 관통한다. 확인용 프로브(12)의 프로브 헤드(20)에서 노출하는 기단이, 배선 기판 (30)에 배치된 확인용 랜드(32)에 맞닿는다. 확인용 랜드(32)는, 배선 기판(30)에 형성된 배선 패턴(도시생략)에 의해 배선 기판(30)에 배치한 확인용 접속 단자(34)와 전기적으로 접속한다.
프로브 헤드(20)가 측정용 프로브(11)을 유지하는 영역은, 프로브 헤드(20)의 피검사체와 대향하는 영역이다. 프로브 헤드(20)가 측정용 프로브(11)를 유지하는 영역을, 이하에서 「측정용 프로브 에어리어」라 칭한다.
도 2에, 측정용 프로브(11)와 확인용 프로브(12)의 배치 장소의 예를 나타낸다. 도 2는, AOD의 확인에 사용하는 검사용 기판(2)에, 프로브 헤드(20)를 평면에서 보아 겹쳐서 표시하고 있다. 다만, 도 2에서는, 측정용 프로브(11)와 확인용 프로브(12)를 제외하고, 프로브 헤드(20)를 투과해서 검사용 기판(2)의 주면를 표시한다. 도 2에 있어서, 확인용 프로브(12)의 위치를 검은 동그라미로 나타내고, 측정용 프로브(11)의 위치를 이중 동그라미로 나타내고 있다(이하에서 동일).
검사용 기판(2)은, 검사 칩 영역(200)과, 검사 칩 영역(200)의 양측에 배치한 인접 칩 영역(201)을 갖는다. 도 2에서는, 프로브 헤드(20)의 측정용 프로브 에어리어(21)와 검사 칩 영역(200)을 평면에서 보아 겹쳐서 표시하고 있다. 검사 칩 영역(200)과 인접 칩 영역(201)의 주면에, 검사용 패드(210)를 배치하고 있다. 검사 칩 영역(200)과 인접 칩 영역(201)의 주면에서의 검사용 패드(210)의 배치는, 피검사체에서의 측정용 패드의 배치와 동일하다. 도 2에서, 검사용 패드(210)의 위치를 흰색 동그라미로 나타내고 있다.
프로브 헤드(20)의 측정용 프로브(11) 및 확인용 프로브(12)의 위치는, 검사 용 기판(2)의 검사용 패드(210)의 위치와 대향한다. 따라서, 측정용 프로브 에어리어(21)에서, 측정용 프로브(11)의 위치와 검사 칩 영역(200)의 검사용 패드(210)의 위치는, 평면에서 보아 일치한다.
도 2에 나타낸 예에서는, 확인용 프로브(12)를, 인접 칩 영역(201)의 검사용 패드(210)와 대향하는 위치에 배치하고 있다. 즉, 평면에서 보아 측정용 프로브 에어리어(21)의 외측에서, 프로브 헤드(20)가 확인용 프로브(12)를 유지한다.
또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 측정용 프로브 에어리어(21)에 가까운 영역에 확인용 프로브(12)를 배치하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 상세하게 후술하는 확인용 프로브(12)를 이용한 검사에 의해 취득하는 POD와 AOD의 관계를, 측정시에 피검사체와 접촉하는 측정용 프로브(11)에 근접한 위치에서 확인할 수 있다.
또한, 측정용 프로브 에어리어(21)의 외측이 아니고, 예를 들면 도 3에 나타내는 바와 같이, 측정용 프로브 에어리어(21)에 확인용 프로브(12)를 배치해도 좋다. 즉, 측정용 프로브 에어리어(21)에 있어서 측정용 프로브(11)와 확인용 프로브 (12)가 혼재해도 좋다. 이에 따라, 피검사체의 측정에 있어서의 POD와 AOD의 관계를 보다 확실하게 확인할 수 있다.
측정용 프로브(11)와 확인용 프로브(12)의 선단 길이의 차이(T1)는, 측정용 프로브(11)를 피검사체에 접촉시키는 가압에 따라서 설정한다. 즉, 확인용 프로브 (12)의 선단이 검사용 패드에 접촉할 때, 측정용 프로브(11)와 확인용 프로브(12)의 선단 길이의 차이(T1)에 따른 AOD가 측정용 프로브(11)에 작용한다. 전기적 접속 장치(1)에 따르면, 이하에 설명하는 바와 같이, 설정된 POD에 의해 피검사체에 소정의 가압으로 측정용 프로브(11)을 접촉시키는 AOD를 확인할 수 있다. 아래에 도 4의 흐름도를 참조해서, POD와 AOD의 관계를 확인하기 위한 전기적 접속 장치(1)를 이용한 검사 방법을 설명한다.
먼저, 도 4의 단계 S10에 있어서, 검사용 패드(210)를 형성한 검사용 기판(2)을 준비한다.
단계 S20에 있어서, 전기적 접속 장치(1)와 검사용 기판(2)의 간격을 서서히 좁게 한다. 이때, 도 5에 나타내는 바와 같이, 먼저 측정용 프로브(11)의 선단이 검사용 기판(2)의 검사용 패드(210)와 접촉한다.
이어서, 단계 S30에 있어서, 한층 더 프로브 헤드(20)와 검사용 기판(2)의 간격을 점차 좁게 해서 도 6에 나타내는 바와 같이 확인용 프로브(12)의 선단을 검사용 기판(2)의 검사용 패드(210)에 접촉시킨다. 확인용 프로브(12)의 기단이 확인용 랜드(32)에 맞닿아 있기 때문에 확인용 프로브(12)에 응력이 걸린다. 이때, 측정용 프로브(11)에 작용하는 OD의 POD를 서서히 증대시킨다. 측정용 프로브(11)와 확인용 프로브(12)의 선단 길이의 차이는, 확인하고 싶은 AOD에 대응해서 설정한다. 따라서, 확인용 프로브(12)의 선단이 검사용 패드(210)와 접촉한 상태에서는, 소정의 가압으로 측정용 프로브(11)가 피검사체와 접촉하는 AOD로, 측정용 프로브(11)에 OD가 작용하고 있다. 측정용 프로브(11)는, 스프링부가 축 방향으로 신축하거나, 탄성 변형하거나 해서 피검사체와 접촉한다.
단계 S40에 있어서, 확인용 프로브(12)와 검사용 패드(210)의 접촉을 검출한 상태에서의 POD를 기록한다. 기록한 POD를 「설정 오버 드라이브 양」이라고도 칭한다.
그 후, 단계 S50에 있어서, 피검사체의 측정시에 확인용 프로브(12)의 선단이 반도체 기판(3)과 접촉하지 않도록, 확인용 프로브(12)의 선단 길이를 짧게 가공하는 처리(이하에 있어서 「선단 처리」라고 함)를 수행한다. 선단 처리에서는, 확인용 프로브(12)의 선단을 절단하거나 절곡하거나 한다.
이상에 설명한 검사 방법에 의해 취득한 설정 오버 드라이브 양은, 전기적 접속 장치(1)에 따른 측정 대상인 피검사체의 측정에 사용한다. 예를 들어, 설정 오버 드라이브 양을, 전기적 접속 장치(1)의 POD의 사양으로 한다.
상기에 설명한 검사 방법에 따르면, 소정의 가압으로 측정용 프로브(11)가 피검사체에 접촉하는 AOD를 확인해서, 이 AOD에 대응하는 POD를 취득할 수 있다. 즉, POD를 조정하면서 AOD를 확인함에 따라 소정의 가압이 얻어지는 POD를 취득할 수 있다.
상기의 단계 S30에서의 확인용 프로브(12)의 선단과 검사용 패드(210)의 접촉의 검출에는, 여러 가지 방법을 사용할 수 있다. 예를 들면, 확인용 프로브(12)의 선단이 접촉함으로 인해 생기는, 검사용 패드(210)의 표면의 상흔을 확인한다.
혹은, 확인용 프로브(12)와 검사용 기판(2) 사이의 전기적인 접속을 검출함으로써 확인용 프로브(12)의 선단과 검사용 패드(210)의 접촉을 검출할 수도 있다. 예를 들면, 도 7에 나타내는 바와 같이, 확인용 프로브(12)를 통해서 확인용 랜드(32)와 검사용 패드(210)가 접속하면, 확인용 접속 단자(34)와 전기적으로 접속하는 측정 장치에 의해, 확인용 프로브와 검사용 패드의 접촉을 확인할 수 있다. 즉, 측정 장치는, 확인용 프로브(12)를 통해서 확인용 랜드(32)와 검사용 패드 (210) 사이를 흐르는 전류(I)를 모니터해서 확인용 프로브(12)와 검사용 패드 (210)의 접촉을 확인한다.
또한, 설정 오버 드라이브 양을 정확하게 검출하기 위해, 검사용 패드(210)와의 접촉으로 변형되기 어려운 확인용 프로브(12)를 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 측정용 프로브(11)보다도 강성이 높은 확인용 프로브(12)를 사용한다.
또한, 단계 S50에서의 확인용 프로브(12)의 선단 처리를 용이하게 하기 위해, 프로브 헤드(20)에서 노출된 부분에 있어서 지름이 변화하는 단차 구조를 갖는 확인용 프로브(12)를 사용하는 것이 바람직하다. 단차 구조는, 예를 들면 측면이 중심방향으로 패인 구조이다. 단차 구조의 확인용 프로브(12)에서는, 단차 구조의 부분에서 확인용 프로브(12)를 쉽게 절단 혹은 절곡할 수 있다.
도 8(a)~도 8(d)에, 주변보다도 지름이 좁은 단차 구조를 갖는 확인용 프로브(12)의 예를 나타낸다. 도 8(a)에 나타낸 확인용 프로브(12)의 단차 구조는, 지름이 변화하는 위치에서 선단을 향해 지름이 일정한 스트레이트 형상이다. 도 8 (b)~도 8(c)에 나타낸 확인용 프로브(12)의 단차 구조는, 지름이 변화하는 위치에서 선단을 향해 지름이 점차로 굵어지는 테이퍼 형상이다. 도 8(b)에 나타낸 확인용 프로브(12)는 선단이 원추형상이고, 도 8(c)에 나타낸 확인용 프로브(12)는 선단이 평탄하다.
도 8(a)에 나타내는 바와 같이 단차 구조를 스트레이트 형상으로 함으로써 확인용 프로브(12)의 가공이 용이하다. 또한, 도 8(b)~도 8(c)에 나타내는 바와 같이 단차 구조를 테이퍼 형상으로 함으로써, 단차 구조의 부분에서의 절단이나 절곡이 용이하다. 혹은, 도 8(d)에 나타내는 바와 같이 확인용 프로브(12)의 지름을 부분적으로 가늘게 한 형상을 단차 구조에 채용해도 좋다.
확인용 프로브(12)의 선단을 절단하거나 절곡하거나 하는 것이 용이하다면, 어떠한 형태의 단차 구조를 확인용 프로브(12)에 채용해도 좋다. 다만, 단차 구조는, 확인용 프로브(12)에 OD를 작용시켰을 때에 휘거나 하지 않을 정도의 강도를 가진다.
또한, 도 2에 나타낸 바와 같이 측정용 프로브 에어리어(21)의 외측에 확인 용 프로브(12)를 배치한 경우에는, 확인용 프로브(12)의 선단 처리에 의해 확인용 프로브(12)의 선단과 피검사체의 접촉을 방지한다. 한편, 도 3에 나타낸 바와 같이 측정용 프로브 에어리어(21)에 확인용 프로브(12)를 배치한 경우에는, 확인용 프로브(12)를 측정용 프로브(11)로 교체한 후, 전기적 접속 장치(1)를 이용한 피검사체의 측정을 실시한다.
이상 설명한 바와 같이, 전기적 접속 장치(1)에 따르면, 설정한 POD에 있어서의 AOD를 쉽게 확인할 수 있다. 따라서, 소정의 가압으로 측정용 프로브(11)를 피검사체에 접촉시키는 POD를 설정하여, 피검사체의 측정을 정밀하게 행할 수 있다.
그리고 또한, 전기적 접속 장치(1)에 따른 검사 방법에서는, 확인용 프로브(12)를 준비하는 것만으로 AOD를 확인할 수 있다. 따라서, 측정 공정수나 부재(部材)의 증대를 줄일 수 있다. 또한, 전기적 접속 장치(1)에 의한 검사 방법에 따르면, AOD를 직접 확인할 수 있다. 따라서, AOD의 확인 결과의 신뢰성이 높다. 또한, 바늘 자국의 확인 등을 통해 AOD의 확인 방법을 심플하게 할 수 있다.
AOD와 POD의 관계를 정확하게 확인하지 않으면, 측정용 프로브(11)가 피검사 체에 적절한 가압으로 접촉하지 않을 가능성이 있다. 예를 들면, 프로브 헤드(20)나 배선 기판(30)에 굴곡이나 왜곡이 생겨 있으며, 피검사체에 대향해서 전기적 접속 장치(1)를 배치했을 때에, 피검사체의 측정용 패드와의 거리가 측정용 프로브(11)에 따라 다르다. 따라서, AOD가 작은 영역이나 AOD가 큰 영역이 생긴다.
그러나, 전기적 접속 장치(1)에 의해 AOD를 확인한 POD를 설정함으로써 측정용 프로브(11)와의 거리가 상대적으로 넓은 측정용 패드에서의 가압의 부족이나, 측정용 프로브(11)와의 거리가 상대적으로 좁은 측정용 패드에서의 과잉의 가압을줄일 수 있다.
전기적 접속 장치(1)에 있어서, 확인용 프로브(12)의 배치 장소나 개수는 임의로 설정 가능하다. 예를 들면, POD와 AOD의 차가 크면 예측되는 위치와 차가 작은 것으로 예측되는 위치에 확인용 프로브(12)를 배치한다. 이렇게 해서 AOD를 확인함으로써 가압의 부족이나 과잉을 줄일 수 있다. 확인용 프로브(12)의 배치 장소나 개수가 증가할수록 POD와 AOD의 차이의 면내 분포의 정보를 정밀하게 취득할 수 있다.
<변형 예>
POD와 AOD의 관계를 확인하기 위해, 도 9에 나타내는 바와 같이, 선단 길이가 서로 다른 복수의 확인용 프로브(12)를 준비해도 좋다. 도 9에 나타낸 예에서는, 프로브 헤드(20)가, 선단 길이가 다른 제1 확인용 프로브(121)~제6 확인용 프로브(126)를 유지한다. 제1 확인용 프로브(121)~제6 확인용 프로브(126)의 기단은, 배선 기판(30)의 확인용 랜드(321)~(326)에 각각 맞닿는다. 확인용 랜드(321)~(326)는, 배선 기판(30)에 형성한 배선 패턴에 의해 배선 기판(30)에 배치한 확인용 접속 단자(341)~(346)와 전기적으로 접속한다.
측정용 프로브(11)와의 선단의 길이의 차이에 관해서, 예를 들면, 제1 확인 용 프로브(121)의 선단 길이의 차 T1=25μm, 제2 확인용 프로브(122)의 선단 길이의 차 T2=50μm, 제3 확인용 프로브(123)의 선단 길이의 차 T3=75μm이다. 또한, 제4 확인용 프로브(124)의 선단 길이의 차 T4=100μm, 제5 확인용 프로브(125)의 선단 길이의 차 T5=125μm, 제6 확인용 프로브(126)의 선단 길이의 차 T6=150μm이다.
도 9에 나타낸 전기적 접속 장치(1)와 검사용 기판(2)의 간격을 점차 좁게 함에 따라 제1 확인용 프로브(121)에서 제6 확인용 프로브(126)의 순으로 검사용 기판(2)과 접촉한다. 제1 확인용 프로브(121)~제6 확인용 프로브(126) 각각에 관해서 검사용 기판(2)과의 접촉을 검출한 타이밍에서의 POD를 기록함으로써 POD와 AOD의 관계를 확인할 수 있다.
상기와 같이 해서 얻어진 POD와 AOD의 관계에 따라 원하는 AOD가 얻어지는 POD를 선택할 수 있다. 그래서, 선택한 PODD로 설정한 측정에 의해, 소정의 가압으로 측정용 프로브(11)가 피검사체에 접촉하는 측정을 실시할 수 있다.
(그 밖의 실시형태)
상기와 같이 본 발명은 실시 형태에 따라 기재하였는데, 이 개시의 일부를 이루는 논술 및 도면은 본 발명을 한정하는 것이라고 이해해서는 안 된다. 이 개시로부터 당업자에게는 다양한 대체 실시 형태, 실시 예 및 운용 기술이 명확해질 것이다. 즉, 본 발명은 여기서는 기재하고 있지 않은 다양한 실시 형태 등을 포함하는 것은 물론이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 상기의 설명으로부터 타당한 특허청구의 범위에 관한 발명 특정 사항에 의해서만 정해지는 것이다.
1; 전기적 접속 장치
2; 검사용 기판
11; 측정용 프로브
12; 확인용 프로브
20; 프로브 헤드
21; 측정용 프로브 에어리어
30; 배선 기판
31; 측정용 랜드
210; 검사용 패드

Claims (11)

  1. 프로브 헤드와,
    상기 프로브 헤드에서 선단이 노출된 상태로 상기 프로브 헤드가 유지(保持)하는, 피검사체의 측정에 사용하는 측정용 프로브와,
    상기 프로브 헤드에서 선단이 노출된 상태로 상기 프로브 헤드가 유지하고, 상기 프로브 헤드에서 노출된 부분의 선단까지의 길이인 선단 길이가 상기 측정용 프로브보다도 짧은 확인용 프로브를,
    구비하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정용 프로브와 상기 확인용 프로브의 상기 선단 길이의 차이가, 상기 측정용 프로브를 상기 피검사체에 접촉시키는 가압에 따라서 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 확인용 프로브가, 상기 프로브 헤드에서 노출된 부분에 있어서 지름이 변화하는 단차 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 선단 길이가 서로 다른 복수의 상기 확인용 프로브를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    평면에서 보아, 상기 측정용 프로브를 유지하는 영역의 외측에서, 상기 프로브 헤드가 상기 확인용 프로브를 유지하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프로브 헤드의 상기 측정용 프로브를 유지하는 영역에 있어서 상기 측정용 프로브와 상기 확인용 프로브가 혼재하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.
  7. 선단을 각각 노출한 상태로 측정용 프로브와 확인용 프로브를 유지하는 프로브 헤드이며, 상기 프로브 헤드에서 노출된 부분의 선단까지의 길이인 선단 길이가 상기 측정용 프로브보다도 상기 확인용 프로브 쪽이 짧은 상기 프로브 헤드를 준비하는 단계와,
    상기 프로브 헤드와 검사용 기판의 간격을 좁게 해서, 상기 검사용 기판에 상기 확인용 프로브의 선단을 접촉시키는 단계와,
    상기 확인용 프로브의 선단이 상기 검사용 기판에 접촉한 상태에 있어서 상기 측정용 프로브에 작용시킨 오버 드라이브 양을 기록하는 단계를,
    포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 측정용 프로브와 상기 확인용 프로브의 상기 선단 길이의 차이를, 상기 측정용 프로브를 피검사체에 접촉시키는 가압에 따라서 설정하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 확인용 프로브와 상기 검사용 기판과의 전기적인 접속을 검출함으로써, 상기 확인용 프로브와 상기 검사용 기판의 접촉을 검출하는 것을 특징으로 하는 검사 방법 .
  10. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 확인용 프로브의 선단이 상기 검사용 기판에 접촉한 후에, 상기 확인용 프로브의 상기 선단 길이를 짧게 가공하는 선단 처리를 행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 프로브 헤드에서 노출된 부분에 있어서 지름이 변화하는 단차 구조를 갖는 상기 확인용 프로브를 사용하고,
    상기 선단 처리에 있어서, 상기 단차 구조의 부분에서 상기 확인용 프로브의 선단을 절단 혹은 절곡하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
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