KR20140021890A

KR20140021890A - 도전 검사용 프로브 모듈 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR20140021890A
Application number: KR1020120088340A
Authority: KR
Inventors: 김명규; 조한서; 김현준
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2012-08-13
Filing date: 2012-08-13
Publication date: 2014-02-21

Abstract

본 발명에 따른 도전 검사용 프로브 모듈은, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 일면에 다수로 구비되는 다수의 장착부와, 상기 장착부의 단부에 장착되는 프로브 핀 및 상기 장착부 및 장착플레이트를 통해 상기 프로브 핀을 외부의 검사장치와 전기적으로 연결시키는 커넥터를 포함하고, 상기 다수의 장착부는 서로 상이한 단차로 형성된다.

Description

도전 검사용 프로브 모듈 및 그 제조방법{PROVE MODULE FOR ELECTRICAL INSPECTION AND METHOD OF MANUFATURING THE SAME}

본 발명은 도전 검사용 프로브 모듈 및 그 제조방법에 관한 것이다.

전자기기가 다기능화 됨에 따라 POP(Package On Package), MCP(Muti-Chip Package) 기술이 개발되고 보편화되고 있다.

이러한 기술로 인해 패키지 기판(PCB)의 경우 반도체 칩, 또 다른 패키지(Package) 기판, 수동소자 등이 구비되는(Attach)되는 I/O단자의 형태가 다양해지고 있다.

아울러, 전기검사에서는 모든 I/O 단자와 1:1 매칭이 되는 프로브 핀(Probe pin)이 I/O단자에 접촉(Contact)되어 Open/Short 불량 여부를 판정하게 된다.

여기서, 전기검사는 한 회로 또는 인접 회로간의 시작과 끝 단자를 프로브 핀으로 접촉하여 전기적인 신호를 주고, Open 및 Short를 판별한다.(Open : 연결되어야 할 회로가 끊어져 정상적으로 신호 전송이 안되는 불량, Short : 연결되지 말아야 할 회로가 연결되어 신호 전송이 이뤄지는 불량)

또한, 모든 I/O 단자는 형태 및 그 길이가 다르다.(다양한 I/O단자 형태 : Round bump, Flat bump, Bare pad, Solder Ball 등) 그러나, 일본 공개특허 1999-326377호에 기재된 바와 같이 일반적인 프로브 핀이 장착된 전기검사 장치는 길이가 일정하다.

이에 따라, 한 제품 내(內)에 다양한 길이의 I/O단자가 존재할 경우, 지그(Jig) 외부로 프로브 핀의 돌출량이 같으므로, 프로브 핀이 접촉될 때, I/O단자에 미(未) 접촉되어 불량을 발생시키거나, 프로브 핀이 I/O단자를 과도하게 누름으로써 I/O단자의 손상을 초래하는 문제가 있다.

일본 공개특허 1999-326377호

본 발명의 하나의 관점은 피검사물에 형성된 단차에 대응되는 구조의 프로브 모듈을 형성시킨 도전 검사용 프로브 모듈 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른의 관점은 동일 길이의 프로브 핀을 사용할 수 있도록 프로브 핀이 장착되는 부분에 단차를 형성시킨 도전 검사용 프로브 모듈 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈은, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 일면에 구비되는 다수의 장착부와, 상기 장착부의 단부에 장착되는 프로브 핀 및 상기 장착부 및 장착플레이트를 통해 상기 프로브 핀을 외부의 검사장치와 전기적으로 연결시키는 커넥터를 포함하고, 상기 다수의 장착부는 서로 상이한 단차로 형성될 수 있다.

또한, 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈에서, 상기 다수의 장착부는 각각 하나 이상의 장착 플레이트로 이루어질 수 있다.

또한, 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈에서, 상기 다수의 장착부는 상기 장착부를 이루는 상기 장착 플레이트의 수가 각각 서로 상이하게 이루어질 수 있다.

또한, 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈에서, 상기 프로브 핀은 상기 베이스 플레이트의 일면 중 상기 장착부가 장착되지 않은 부분에 더 장착되어 상기 커넥터와 연결될 수 있다.

또한, 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈에서, 상기 프로브 핀은 동일한 길이로 형성될 수 있다.

또한, 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈에서, 상기 커넥터는 와이어(Wire)로 이루어질 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법은, 베이스 플레이트에 형성된 다수의 베이스 홀에 커넥터를 선택적으로 삽입하는 커넥터 설치 단계와, 상기 베이스 플레이트의 일면에 하나 이상의 장착홀이 형성된 다수의 장착부를 상기 베이스 홀과 상기 장착홀이 각각 연결되도록 장착하고, 상기 커넥터가 삽입되지 않은 상기 베이스 홀과 연결되는 상기 장착홀에 커넥터를 선택적으로 더 삽입하는 장착부 장착 단계 및 상기 베이스 홀 및 상기 장착홀에 삽입된 상기 커넥터의 단부와 연결되도록 프로브 핀을 상기 장착부에 장착하는 프로브 핀 장착 단계를 포함하고, 상기 장착부 장착 단계는 상기 다수의 장착부를 서로 상이한 단차로 형성할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법에서, 상기 커넥터 설치 단계는 상기 베이스 홀에 삽입되어 상기 베이스 플레이트의 일면 외측으로 돌출된 상기 커넥터의 돌출 부분을 절단하는 커넥터 절단 단계를 더 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법에서, 상기 장착부 장착 단계는 상기 장착홀에 삽입되어 상기 장착부의 일면 외측으로 돌출된 상기 커넥터의 돌출 부분을 절단하는 커넥터 추가 절단 단계를 더 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법에서, 상기 장착부 장착 단계는 상기 다수의 장착부를 장착홀이 형성된 하나 이상의 장착 플레이트로 형성시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법에서, 상기 장착부 장착 단계는 상기 다수의 장착부를 형성하는 상기 장착 플레이트의 수가 각각 서로 상이하도록 상기 장착부를 형성할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법에서, 상기 장착부 장착 단계는 상기 장착부에 하나 이상의 장착 플레이트가 결합될때 마다, 상기 커넥터가 삽입되지 않은 상기 장착홀에 커넥터를 선택적으로 더 삽입한 후 장착 플레이트의 단부면과 일치되도록 상기 커넥터의 단부를 절단하는 과정을 반복할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법에서, 상기 프로브 핀 장착 단계는 길이가 동일한 상기 프로브 핀을 상기 장착부에 장착할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법에서, 상기 커넥터는 와이어(Wire)로 이루어질 수 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명은 피검사물에 형성된 단차에 대응되도록 프로브 모듈의 구조를 형성하여, 프로브 모듈을 통한 전기검사시 프로브 모듈에 장착된 프로브 핀에 의해 피검사물이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 프로브 핀이 장착되는 부분에 단차를 형성시켜 동일 길이의 프로브 핀을 사용할 수 있고, 프로브 핀의 교체 및 관리가 편리할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈을 나타낸 개념도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈을 나타낸 분리사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈을 나타낸 사용상태도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법을 나타낸 순서도.
도 5 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법을 공정순서대로 나타낸 사시도이다.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "제1", "제2", "일면", "타면" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.

이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈을 나타낸 개념도.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈(100)은 베이스 플레이트(20)와, 장착부(30,40)와, 프로브 핀(50) 및 커넥터(10)를 포함한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈을 나타낸 분리사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈을 나타낸 사용상태도이다.

이하에서, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예인 도전 검사용 프로브 모듈(100)에 대해 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 베이스 플레이트(20)는 다수의 베이스 홀(base hole)(21)이 형성되어 프로브 핀(50)과 연결되는 커넥터(10)가 삽입된다.

장착부(30,40)는 베이스 플레이트(20)의 일면에 다수로 구비된다. 또한, 장착부(30,40)는 장착홀(31a,41a,42a)이 형성되어 베이스 플레이트(20)의 베이스 홀(21)과 대응되도록 베이스 플레이트(20)에 부착된다.

또한, 장착부(30,40)는 하나 이상의 장착 플레이트(31,41,42)로 이루어질 수 있다. 여기서, 장착부(30,40)가 다수의 장착 플레이트(31,41,42)로 이루어지면, 다수의 장착 플레이트(31,41,42)는 다수의 층을 이루며 상호 부착된다. 이때, 다수의 장착부(30,40)는 상호 간에 단차를 형성하도록, 다수의 장착부(30,40)에 구비된 장착 플레이트(31,41,42)의 수는 각각 서로 상이하게 이루어질 수 있다.

프로브 핀(50)은 장착부(30,40)의 단부에 장착된다. 또한, 프로브 핀(50)은 장착부(30,40)의 단부 뿐만 아니라 베이스 플레이트(20)의 일면 중에서 장착부(30,40)가 구비되지 않은 부분에 장착될 수 있다. 여기서, 장착부(30,40) 및 베이스 플레이트(20)에 장착되는 프로브 핀(50)은 동일한 길이로 형성될 수 있다.

커넥터(10)는 외부의 장착부(30,40) 및 장착 플레이트(31,41,42)를 통해 프로브 핀(50)과 외부의 전기검사장치를 전기적으로 연결한다.

또한, 커넥터(10)는 베이스 플레이트(20)의 베이스 홀(21) 및 장착부(30,40)의 장착홀(31a,41a,42a)에 삽입되어 단부가 프로브 핀(50)의 단부와 접촉된다.

그리고, 커넥터(10)는 도전성 와이어(Wire)로 이루어질 수 있지만 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈(100)은 피검사물(S)의 단차에 대응되도록 프로브 핀(50)이 장착되는 장착부(30,40)에 단차를 형성시켜 전기검사시 피검사물(S)의 파손을 방지할 수 있고, 동일한 길이의 프로브 핀(50)을 프로브 모듈(100)에 장착할 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법을 나타낸 순서도이다.

도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법은, 커넥터 설치 단계(S10)와, 장착부 장착 단계(S20) 및 프로브 핀 장착단계(S30)를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법은 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈(100)에 대한 제조방법에 관한 것으로서, 동일한 구성에 대하여는 동일한 도면 부호를 기재하기로 하고, 중복되는 설명은 가급적 생략하기로 한다.

이하에서, 도 4 내지 도 11을 참조하여, 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법인 본 발명의 일 실시예에 대해 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 5 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법을 공정순서대로 나타낸 사시도이다.

먼저, 도 4 및 도 5를 참고하면, 커넥터 설치 단계(S10)는 상기 베이스 플레이트(20)의 베이스 홀(21)에 외부의 전기 검사장치와 연결되는 커넥터(10)를 선택적으로 삽입한다.

여기서, 커넥터(10)는 도전성 와이어(Wire)로 이루어질 수 있지만 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.

이때, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법의 커넥터 설치 단계(S10)는 베이스 플레이트(20)의 베이스 홀(21)에 삽입된 커넥터(10)의 일측이 베이스 홀(21)을 통해 베이스 플레이트(20)의 일면 외측으로 돌출되면, 돌출된 부분을 절단하는 커넥터 절단 단계를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 베이스 플레이트(20)의 단부면과 커넥터(10)의 단부면은 동일 평면상에 위치될 수 있다. 이때, 베이스 플레이트(20)의 단부면과 커넥터(10)의 단부면은 수평방향으로 서로 일치될 수 있지만, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 베이스 플레이트(20)의 단부면 보다 커넥터(10)의 단부면이 베이스 플레이트(20)의 베이스 홀(21)의 내측(도 6에서의 상측)에 위치될 수 있다.

도 7 및 도 9를 참조하면, 장착부 장착 단계(S20)는 다수의 베이스 홀(21)이 형성된 베이스 플레이트(20)의 일면에 장착홀(31a,41a,42a)이 형성된 다수의 장착부(30,40)를 베이스 홀(21)과 장착홀(31a,41a,42a)이 상호 대응되도록 장착한다. 그리고, 커넥터 설치 단계(S10)를 통해 커넥터(10)가 삽입되지 않은 베이스 플레이트(20)의 베이스 홀(21)과 연결되는 장착부(30,40)의 장착홀(31a,41a,42a)에 커넥터(10)는 선택적으로 삽입한다.

이때, 도 8 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법의 장착부 장착 단계(S20)는 베이스 플레이트(20)의 장착홀(31a,41a,42a)에 삽입된 커넥터(10)의 일측이 장착홀(31a,41a,42a)을 통해 베이스 플레이트(20)의 일면 외측으로 돌출되면, 돌출된 부분을 절단하는 추가 커넥터 절단 단계를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 장착부(30,40)의 단부면과 커넥터(10)의 단부면은 동일 평면상에 위치될 수 있지만 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.

또한, 장착부 장착 단계(S20)는 하나 이상의 장착 플레이트(31,41,42)가 하나 이상을 층을 이루며 장착부(30,40)를 형성한다. 이때, 장착 플레이트(31,41,42)의 수가 다수의 장착부(30,40) 간에 서로 상이하도록 상기 장착부(30,40)를 형성하여 다수의 장착부(30,40) 간에 단차를 형성시킨다.

아울러, 장착부 장착 단계(S20)는 장착부(30,40)에 하나 이상의 장착 플레이트(31,41,42)가 결합될때 마다, 커넥터(10)가 삽입되지 않은 장착홀(31a,41a,42a)에 커넥터(10)를 선택적으로 삽입한 후 장착 플레이트(31,41,42)의 단부면과 일치되도록 커넥터(10)의 단부를 절단하는 과정을 반복할 수 있다.

도 11을 참고하면, 프로브 핀 장착단계(S30)는 베이스 플레이트(20)의 베이스 홀(21) 및 장착부(30,40)의 장착홀(31a,41a,42a)에 삽입된 커넥터(10)의 단부와 연결되도록 프로부 핀을 장착부(30,40) 및 베이스 플레이트(20)에 장착한다. 여기서, 장착부(30,40) 및 베이스 플레이트(20)에 장착되는 프로브 핀(50)은 동일한 길이로 형성될 수 있다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 도전 검사용 프로브 모듈 및 그 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.

또한, 본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.

100 : 프로브 모듈 10 : 커넥터
20 : 베이스 플레이트 21 : 베이스 홀
30,40: 장착부 31,41,42: 장착 플레이트
31a,41a,42a: 장착홀 50 : 프로브 핀

Claims

베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 일면에 구비되는 다수의 장착부;
상기 장착부의 단부에 장착되는 프로브 핀; 및
상기 장착부 및 장착플레이트를 통해 상기 프로브 핀을 외부의 검사장치와 전기적으로 연결시키는 커넥터를 포함하고,
상기 다수의 장착부는 서로 상이한 단차로 형성되는 도전 검사용 프로브 모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 다수의 장착부는
각각 하나 이상의 장착 플레이트로 이루어지는 도전 검사용 프로브 모듈.
청구항 2에 있어서,
상기 다수의 장착부는
상기 장착부를 이루는 상기 장착 플레이트의 수가 각각 서로 상이하게 이루어지는 도전 검사용 프로브 모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 프로브 핀은
상기 베이스 플레이트의 일면 중 상기 장착부가 장착되지 않은 부분에 더 장착되어 상기 커넥터와 연결되는 도전 검사용 프로브 모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 프로브 핀은 동일한 길이로 형성되는 도전 검사용 프로브 모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 커넥터는 와이어(Wire)로 이루어지는 도전 검사용 프로브 모듈.
베이스 플레이트에 형성된 다수의 베이스 홀에 커넥터를 선택적으로 삽입하는 커넥터 설치 단계;
상기 베이스 플레이트의 일면에 하나 이상의 장착홀이 형성된 다수의 장착부를 상기 베이스 홀과 상기 장착홀이 각각 연결되도록 장착하고, 상기 커넥터가 삽입되지 않은 상기 베이스 홀과 연결되는 상기 장착홀에 커넥터를 선택적으로 더 삽입하는 장착부 장착 단계; 및
상기 베이스 홀 및 상기 장착홀에 삽입된 상기 커넥터의 단부와 연결되도록 프로브 핀을 상기 장착부에 장착하는 프로브 핀 장착 단계를 포함하고,
상기 장착부 장착 단계는 상기 다수의 장착부를 서로 상이한 단차로 형성하는 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법.
청구항 6에 있어서,
상기 커넥터 설치 단계는
상기 베이스 홀에 삽입되어 상기 베이스 플레이트의 일면 외측으로 돌출된 상기 커넥터의 돌출 부분을 절단하는 커넥터 절단 단계를 더 포함하는 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법.
청구항 6에 있어서,
상기 장착부 장착 단계는
상기 장착홀에 삽입되어 상기 장착부의 일면 외측으로 돌출된 상기 커넥터의 돌출 부분을 절단하는 커넥터 추가 절단 단계를 더 포함하는 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법.
청구항 6에 있어서,
상기 장착부 장착 단계는
상기 다수의 장착부를 장착홀이 형성된 하나 이상의 장착 플레이트로 형성시키는 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법.
청구항 9에 있어서,
상기 장착부 장착 단계는
상기 다수의 장착부를 형성하는 상기 장착 플레이트의 수가 각각 서로 상이하도록 상기 장착부를 형성하는 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법.
청구항 9에 있어서,
상기 장착부 장착 단계는
상기 장착부에 하나 이상의 상기 장착 플레이트가 결합될때 마다, 상기 커넥터가 삽입되지 않은 상기 장착홀에 커넥터를 선택적으로 더 삽입한 후, 상기 장착 플레이트의 단부면과 일치되도록 상기 커넥터의 단부를 절단하는 과정을 반복하는 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법.
청구항 6에 있어서,
상기 프로브 핀 장착 단계는
길이가 동일한 상기 프로브 핀을 상기 장착부에 장착하는 도전 검사용 프로브 모듈 제조방법.
청구항 6에 있어서,
상기 커넥터는 와이어(Wire)로 이루어지는 도전 검사용 프로브 모듈.