JP6842985B2 - 電気的接続装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図20に示した変形例では、プローブヘッド20に形成された測定用穴200と連続するように、測定用の貫通穴300が配線基板30に形成されている。図20に示した電気的接続装置1によれば、測定用穴200及び貫通穴300での測定によって配線基板30の上面の状態を測定できる。これにより、配線基板30にベンディングが発生している場合に、ベンディング発生箇所やベンディングの大きさを確認できる。このため、プローブ10と配線基板30との接点不良を抑制するように、プローブヘッド20と配線基板30の間隔を調整することができる。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
2…被検査体
10…プローブ
20…プローブヘッド
30…配線基板
40…間隔調整手段
50…プリント基板
60…補強板
70…平行調整用ブロック
80…固定リング
200…測定用穴
201…第1主面
202…第2主面
Claims (14)
- 被検査体の電気的特性の測定に使用される電気的接続装置であって、
配線基板と、
前記被検査体に対向する第1主面と前記配線基板に対向する第2主面を有し、前記第1主面から前記第2主面まで貫通する測定用穴が形成されたプローブヘッドと、
前記プローブヘッドに保持され、基端部が前記配線基板に接続するプローブと、
前記測定用穴での測定により得られる間隔情報を用いた前記配線基板と前記プローブヘッドの間隔の調整を行う間隔調整手段と
を備えることを特徴とする電気的接続装置。 - 前記間隔情報が、前記測定用穴を介して測定される、前記プローブヘッドの前記第2主面から前記配線基板までの距離であることを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記間隔調整手段が、前記配線基板を貫通し、下端が前記プローブヘッドの前記第2主面に接続する柱体であり、
前記間隔調整手段の前記配線基板と前記プローブヘッドとの間に露出した部分の長さを調整することによって、前記配線基板と前記プローブヘッドの間隔の調整を行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気的接続装置。 - 前記配線基板の上方に配置された補強板を更に備え、
前記間隔調整手段が前記補強板を貫通し、前記間隔調整手段の上端が前記補強板の上面に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の電気的接続装置。 - 前記間隔調整手段を、前記配線基板と前記プローブヘッドの前記第2主面との間に露出した部分の長さの異なる新たな前記間隔調整手段と交換することにより、前記配線基板と前記プローブヘッドの間隔の調整を行うことを特徴とする請求項3又は4に記載の電気的接続装置。
- 前記第2主面の前記間隔調整手段を接続された位置の周囲に前記測定用穴が形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブヘッドの前記第2主面の全面に亘って複数の前記間隔調整手段が配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記測定用穴の前記第1主面でのサイズが前記第2主面でのサイズよりも大きいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブが前記プローブヘッドと前記配線基板との間で弾性変形した状態で前記プローブヘッドに保持され、前記プローブと前記配線基板との接触点にプリロードがかかっていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記測定用穴と連続する貫通穴が前記配線基板に形成されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 被検査体の電気的特性の測定に使用される電気的接続装置の製造方法であって、
第1主面から第2主面まで貫通する測定用穴が形成されたプローブヘッドを準備するステップと、
前記第1主面が前記被検査体に対向し、前記第2主面が配線基板に対向するように、前記配線基板に前記プローブヘッドを取り付けるステップと、
前記測定用穴を介した測定により、前記プローブヘッドの前記第2主面から前記配線基板までの距離の情報である間隔情報を取得するステップと、
前記間隔情報を用いて前記配線基板と前記プローブヘッドの間隔の調整を行うステップと
を含むことを特徴とする電気的接続装置の製造方法。 - 前記配線基板を貫通して下端が前記プローブヘッドの前記第2主面に接続する柱体の間隔調整手段の、前記配線基板と前記プローブヘッドとの間に露出した部分の長さを調整することによって、前記配線基板と前記プローブヘッドの間隔の調整を行うことを特徴とする請求項11に記載の電気的接続装置の製造方法。
- 前記間隔調整手段を前記配線基板の厚み方向の長さが異なる新たな前記間隔調整手段と交換することにより、前記間隔調整手段の前記配線基板と前記プローブヘッドとの間に露出した部分の長さを変更して、前記配線基板と前記プローブヘッドの間隔の調整を行うことを特徴とする請求項12に記載の電気的接続装置の製造方法。
- 複数の前記間隔調整手段を前記第2主面に離間して接続させ、前記間隔調整手段それぞれの周囲に前記測定用穴を形成することを特徴とする請求項12又は13に記載の電気的接続装置の製造方法。
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