KR20210123779A - 얼라인 장치와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템, 이를 이용한 얼라인 방법 - Google Patents

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Abstract

얼라인 장치와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템, 이를 이용한 얼라인 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 얼라인 장치는, 기판을 지지하고, 상기 기판을 제1 방향으로 이송 가능한 스테이지 유닛에 탑재되어 상방을 촬상 가능한 제1 카메라 모듈; 헤드 브릿지에 지지되어 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 이동 가능하고 상기 기판 상에 잉크를 제팅하는 노즐이 형성된 헤드를 가지는 헤드 유닛에 탑재되어 상기 스테이지 유닛과 대면하여 하방으로 촬상 가능한 제2 카메라 모듈을 포함하고, 상기 제1 카메라 모듈은 상기 제2 카메라 모듈과 동축화하여 한 쌍의 얼라인 표지로 제공될 수 있다.

Description

얼라인 장치와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템, 이를 이용한 얼라인 방법{ALIGN APPARATUS AND INKJET PRINTING SYSTEM HAVING THE SAME, ALIGN MEOTHD USING THE SAME}
본 발명은 얼라인 장치와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템, 이를 이용한 디스플레이 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 공정 전 기판의 위치 조정이 가능한 얼라인 장치와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템, 이를 이용한 디스플레이 제조 방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치에는 발광 방식에 따라 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD)와 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display, OLED display), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 마이크로 발광 표시 장치(Micro-LED) 등이 있다.
디스플레이 장치는 서로 다른 기판들로 이루어지고, 디스플레이 장치를 제조하기 위해 수많은 제조 공정을 거친다. 기판 상에 전극 등의 일정한 패턴을 형성하거나 화소를 구성하는 유기 발광 소자를 형성하기 위해, 잉크젯 프린팅 시스템으로 잉크 액적을 제팅하여 패터닝한다.
잉크젯 프린팅 방식에 의한 패턴 형성시 잉크젯 프린팅 시스템에 의해 기판 상 정확한 위치에 잉크를 제팅하는 것이 중요하다. 이를 위해 각각의 잉크젯 프린팅 시스템을 구성하는 각 구성부품이 정확한 위치에 설치하기 위해 핀과 포지셔너(positioned) 등의 정밀 유닛을 이용해 잉크젯 프린팅 시스템을 조립하고 있다.
종래에는 헤드 브릿지에 탑재된 기판 비전 카메라로 기판의 위치를 촬상, 얼라인해 잉크를 제팅하고, 다시 기판 비전 카메라로 기판에 착탄된 잉크를 측정해 얼라인 오프셋(align offset)이나 헤드 브릿지 상의 헤드 설치 위치를 조정하는 순서로 얼라인을 하였다. 이러한 얼라인 공정은 빈번한 미세 조정 작업을 필요로 하고, 수회 반복 측정에 의하여만 얼라인이 이뤄지는 문제점이 있었다.
또한 종래 얼라인 공정을 이용할 경우, 잉크젯 프린팅 시스템에 일정한 사용연한이 있는 부속품의 교환시 동일한 얼라인 공정을 반복해서 거쳐야 해 제조 공정 시간을 배로 증가시키는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 스테이지와 기판, 노즐을 정확히 정렬하여 노즐에서 제팅된 잉크가 기판의 정확한 위치에 착탄될 수 있도록 한 얼라인 장치와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템, 이를 이용한 얼라인 방법에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 얼라인 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치는, 기판을 지지하고, 상기 기판을 제1 방향으로 이송 가능한 스테이지 유닛에 탑재되어 상방을 촬상 가능한 제1 카메라 모듈; 헤드 브릿지에 지지되어 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 이동 가능하고 상기 기판 상에 잉크를 제팅하는 노즐이 형성된 헤드를 가지는 헤드 유닛에 탑재되어 상기 스테이지 유닛과 대면하여 하방으로 촬상 가능한 제2 카메라 모듈을 포함하고, 상기 제1 카메라 모듈은 상기 제2 카메라 모듈과 동축화하여 한 쌍의 얼라인 표지로 제공될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 카메라 모듈은, 제1 카메라; 및 상기 제1 카메라를 상기 제2 방향으로 직선 왕복 운동 시키는 직선이동부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 헤드 유닛은, 상기 헤드 브릿지의 일단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지의 회전 중심이 되는 메인 힌지축; 및 상기 헤드 브릿지의 타단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지가 상기 메인 힌지축을 중심으로 회동 가능하게 힌지 결합되는 서브 힌지축을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 서브 힌지축을 상기 제2 방향으로 직선 운동시키는 직선이동부재; 및 상기 메인 힌지축을 회전 중심으로 하여, 상기 서브 힌지축을 회전 운동시키는 회전부재를 더 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 잉크젯 프린팅 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 시스템은, 기판을 지지하고, 상기 기판을 제1 방향으로 이송 가능한 스테이지 유닛; 헤드 브릿지에 지지되어 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 이동 가능하고, 상기 기판 상에 잉크를 제팅하는 노즐이 형성된 헤드를 가지는 헤드 유닛; 및 얼라인 기준을 생성하고, 상기 스테이지 유닛과 상기 헤드 브릿지를 이동시켜 상기 기판과 얼라인 시키는 얼라인 장치를 포함하고, 상기 헤드 유닛은, 상기 헤드 브릿지의 일단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지의 회전 중심이 되는 메인 힌지축; 및 상기 헤드 브릿지의 타단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지가 상기 메인 힌지축을 중심으로 회동 가능하게 힌지 결합되는 서브 힌지축을 포함하고, 상기 얼라인 장치는, 상기 스테이지 유닛에 탑재되어 상방을 촬상 가능한 제1 카메라 모듈; 상기 헤드 유닛에 탑재되어 상기 스테이지 유닛과 대면하여 하방을 촬상 가능한 제2 카메라 모듈; 및 상기 서브 힌지축을 상기 제2 방향으로 직선 운동시키는 직선이동부재와 상기 메인 힌지축을 회전 중심으로 하여, 상기 서브 힌지축을 회전운동시키는 회전부재를 가지는 얼라인 모듈을 포함하고, 상기 제1 카메라 모듈은 상기 제2 카메라 모듈과 동축화하여 한 쌍의 얼라인 표지로 제공될 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 얼라인 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 방법은, 일 실시예에 따르면, 제2 방향으로 헤드가 이동하며 기판에 잉크를 제팅하는 잉크젯 제팅 전, 기판의 얼라인 방법에 있어서, 얼라인 정보를 산출 후 헤드의 위치 조정에 의한 얼라인을 조정하는 얼라인 단계를 포함하고, 상기 얼라인 단계는, 제1 카메라 모듈을 기판 상에 얼라인시켜, 기판 얼라인 정보를 산출하는 얼라인 정보 산출 단계; 및 제1 카메라 모듈을 이용해 헤드의 노즐을 스캔 후, 얼라인 정보 산출 정보에 따라 직선이동부재와 회전부재에 의해 헤드의 위치를 조정하는 얼라인 조정 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 얼라인 정보 산출 단계에서는, 스테이지에 탑재된 제1 카메라 모듈을 헤드에 탑재된 제2 카메라 모듈과 동축 상에 위치시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 얼라인 유닛에 의해 제1 방향과 제2 방향으로 스테이지와 기판, 노즐을 정렬함으로써, 기판에 착탄되는 잉크의 위치 정합성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발며의 일 실시예에 따르면, 스테이지 유닛 상에 제1 카메라 모듈을 탑재해 노즐을 기준으로 얼라인 위치 조정을 할 수 있어, 얼라인 정확도를 높일 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제1 카메라 모듈을 제2 카메라 모듈과 동축화하여 위치 정렬이 가능해, 제1 카메라 모듈과 제2 카메라 모듈이 얼라인 표지로 활용해 구성 부품을 간소화하고 얼라인 정확도를 향상시킨 이점이 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 제1 카메라 모듈과 직선 이동 부재, 회전 부재에 의해 조정 정확성을 향상시킴으로써, 기판의 주행축에 대한 직각도, 기판의 노즐에 대한 평형도를 정확하게 구현할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 제1 카메라 모듈을 기준으로 스테이지와 기판, 노즐을 얼라인하므로, 얼라인 장치를 비롯한 잉크젯 프린팅 시스템 전체의 위치 정합성을 필요로 하지 없고, 또한 잉크젯 프린팅 시스템의 구동시 진동, 마모 등에 의한 위치 틀어짐이 발생하더라도 제1 카메라 모듈을 기준으로 다시 스테이지와 기판, 노즐을 얼라인하면 되므로 얼라인을 용이하게 한 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시에 따른 잉크젯 프린팅 시스템을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지와 기판의 얼라인 동작 상태를 모식적으로 보여주는 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 카메라 모듈을 보여주는 도면이고, 도 3b는 도 3a의 하면에 놓이는 스테이지와 제1 카메라 모듈을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3b의 스테이지와 제1 카메라 모듈을 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛의 얼라인 동작 상태를 모식적으로 보여주는 도면이다.
도 6a와 도 6b는 도 5에서 헤드와 노즐을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛을 보여주는 도면이다.
도 8은 도 7에서 메인 힌지축과 서브 힌지축을 보여주는 도면이다.
도 9a 또는 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛의 동작 전후를 모식적으로 보여주는 도면이다.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛의 얼라인 동작 상태를 모식적으로 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 방법을 보여주는 순서도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 방법을 보여주는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시에 따른 잉크젯 프린팅 시스템(10)을 보여주는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지(110)와 기판(S)의 얼라인 동작 상태를 모식적으로 보여주는 도면이고, 도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 카메라 모듈(330)을 보여주는 도면이고, 도 3b는 도 3a의 하면에 놓이는 스테이지(110)와 제1 카메라 모듈(310, 320)을 보여주는 도면이고, 도 4는 도 3b의 스테이지(110)와 제1 카메라 모듈(310, 320)을 보여주는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛(200)의 얼라인 동작 상태를 모식적으로 보여주는 도면이고, 도 6a와 도 6b는 도 5에서 헤드(220)와 노즐(221)을 보여주는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛(200)을 보여주는 도면이고, 도 8은 도 7에서 메인 힌지축(230)과 서브 힌지축(240)을 보여주는 도면이고, 도 9a 또는 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛(220)의 동작 전후를 모식적으로 보여주는 도면이며, 도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛(220)의 얼라인 동작 상태를 모식적으로 보여주는 도면이다.
제1 방향은, XYZ 직교좌표계 상에서 X축 방향을 의미한다. 제2 방향은, 제1 방향에 직교하는 방향을 의미하며, 구체적으로 Y축 방향을 의미할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치(300)와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템(10)을 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 10c에 도시된 대로 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 시스템(10)은, 스테이지 유닛(100)과 헤드 유닛(200), 얼라인 장치(300)를 포함할 수 있다. 잉크젯 프린팅 시스템(10)은, 기판 얼라인 영역(Area 1)과 잉크 제팅 영역(Area 2)으로 구획될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 5를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 유닛(100)은, 기판(S)을 지지하고, 기판(S)을 제1 방향으로 이송시킬 수 있다.
스테이지 유닛(100)은, 스테이지(110)와 주행축(120)을 포함할 수 있다.
스테이지(110)는, 기판(S)이 얹혀질 수 있다. 보다 구체적으로, 스테이지(110) 상에 척이 놓여지고, 기판(S)은, 척에 의해 진공 흡기 또는 정전력에 의해 지지 고정될 수 있다.
주행축(120)은, 스테이지 이송수단의 이동 경로를 제공할 수 있다. 주행축(120)은, 제1 방향과 나란하게 마련될 수 있다. 스테이지 이송수단은, 주행축(120)을 따라 제1 방향으로 스테이지(110)를 이동시킬 수 있다. 주행축(120)은, 스테이지(110)를, 기판 얼라인 영역(Area 1)과 잉크 제팅 영역(Area 2)으로 위치 이동시킬 수 있다.
주행축(120)은, 갠트리(gantry) 구조를 가질 수 있다.
기판(S)은, 스테이지(110) 상에 놓여, 주행축(110)을 따라 이동할 수 있다. 기판(S)은, LCD와 OLED, PDP 패널과 같은 표시 패널, 터치 패널 중 어느 하나이거나, 이들을 적층 결합한 복수 층으로 이루어진 패널일 수 있다. 또한 기판(S)은, 경성 패널뿐만 아니라, 구부리거나(bending) 접거나(folding), 마는(rolling) 것이 가능한 유연한 소재의 플렉서블 패널을 포함할 수 있다.
다시 도 1과 도 5 내지 도 10c를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 유닛(200)은, 잉크 액적을 제팅해 기판(S)의 임의 위치에 일정한 두께와 형상의 패턴 등으로 형성할 수 있다. 헤드 유닛(200)은, 잉크 제팅 영역(Area 2)에 마련될 수 있다. 헤드 유닛(200)은, 스테이지 유닛(100)의 상방에 마련될 수 있다. 헤드 유닛(200)은, 헤드 브릿지(210)와 헤드(220)를 포함하고, 메인 힌지축(230)과 서브 힌지축(240)을 더 포함할 수 있다.
도 1과 도 2에 도시된 대로 헤드 브릿지(210)는, 헤드(220)를 지지할 수 있다. 헤드 브릿지(210)는 제2 방향으로 헤드(220)를 이동시킬 수 있다. 일 실시예에 따르면 헤드 브릿지(210)는, 석정반일 수 있다.
도 1과 도 2에 도시된 대로 헤드(220)는, 헤드 브릿지(210)에 지지된 채로, 제2 방향으로 이동 가능할 수 있다. 즉, 헤드(220)는, 주행축(120)에 직교되는 방향으로 이동 가능할 수 있다. 헤드(220)는, 리니어 모터와 LM 가이드를 포함할 수 있다.
리니어 모터는, 헤드(220)의 이동 구동력을 제공할 수 있다. LM 가이드는, LM 레일을 따라 직선 왕복운동이 가능하다. LM 레일은, 제2 방향으로 마련될 수 있다. 헤드(220)는, LM 가이드의 일단에 탑재될 수 있다. 이로써 기판(S)은, 주행축(120)을 따라 제1 방향으로 이동하고, 헤드(220)는, 헤드 브릿지(210)를 따라 제2 방향으로 이동할 수 있다.
도 6b에 도시된 대로 헤드(220)는, 복수개의 노즐(221)이 형성될 수 있다. 복수개의 노즐(221)은, 제2 방향을 따라 일정 간격으로 헤드(220)의 하면 상에 나란히 형성될 수 있다. 노즐(221)은, 잉크 액적(droplet)을 제팅하여 기판(S) 상에 착탄시킬 수 있다.
도 7 내지 도 10c에 도시된 대로 메인 힌지축(230)과 서브 힌지축(240)은, 한 쌍으로 마련되어 헤드 브릿지(210)를 비롯한 노즐(221)의 위치 틀어짐을 바로잡을 수 있다. 메인 힌지축(230)과 서브 힌지축(240)은, 헤드 브릿지(210)의 양끝 단을 지지할 수 있다. 헤드 브릿지(210)는, 메인 힌지축(230)과 서브 힌지축(240)에 의해 주행축(110) 양단에 결합 지지될 수 있다.
메인 힌지축(230)은, 헤드 브릿지(210)의 일단부를 지지할 수 있다. 메인 힌지축(230)은, 헤드 브릿지(210)의 회전 중심으로 제공되도록 힌지 결합될 수 있다. 메인 힌지축(230)은, 회전부재(231)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 회전부재(231)는, 크로스 롤러 링일 수 있다.
서브 힌지축(240)은, 메인 힌지축(230)에 대응되어 헤드 브릿지(210)의 타단부를 지지할 수 있다. 서브 힌지축(240)은, 헤드 브릿지(210)가 메인 힌지축(230)을 중심으로 회동 가능하게 힌지 결합될 수 있다. 즉, 메인 힌지축(230)은, 위치 고정되어 회전 운동하며, 서브 힌지축(240)은 헤드 브릿지(230)의 위치 이동을 가이드하며 직선 운동 및 회전 운동이 가능하도록 헤드 브릿지(210)와 힌지 결합될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 5를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치(300)는, 스테이지(110)와 기판(S), 헤드(220)의 위치를 측정해 얼라인 기준을 생성하고, 스테이지(110)와 기판(S), 헤드 브릿지(210), 메인 힌지축(230), 서브 힌지축(240)을 이동시켜 기판(S)의 주행축에 대한 직각도, 기판(S)의 노즐(221)에 대한 평형도를 향상시킬 수 있다. 즉 얼라인 장치(300)는, 제1 카메라 모듈(310, 320)과 제2 카메라 모듈(330)로 얼라인 정보를 산출하고, 각 구성 상 직선이동부재와 회전부재에 의해 각 위치 틀어짐을 정정하여 얼라인 시킬 수 있다.
얼라인 장치(300)는, 후술할 제1 카메라 모듈(310, 320)과 제2 카메라 모듈(330)을 구성하는 복수의 카메라가 노즐(221)과 기판(S)을 선택적으로 또는 동시에 촬영할 수 있다. 얼라인 장치(300)는, 복수의 카메라(310, 330)를 상호 얼라인 표지로 사용하여 얼라인 위치 편차에 따른 얼라인 위치 정합성을 구현해 공정 불량을 최소화할 수 있다.
얼라인 장치(300)는, 제1 카메라 모듈(310, 320)과 제2 카메라 모듈(330)을 포함하고, 직선이동부재(340)와 회전부재(350)를 더 포함할 수 있다. 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 위치 이동하여 제2 카메라 모듈(330)과 상호 대향하도록 마련될 수 있다. 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 제2 카메라 모듈(330)을 촬상하고, 제2 카메라 모듈(330)은, 제1 카메라 모듈(310, 320)을 촬상할 수 있다.
도 5 내지 도 6b를 참조하면 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 상방을 향한 채로 기판 얼라인 영역(Area 1)과 잉크 제팅 영역(Area 2)을 위치 이동할 수 있다. 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 제2 카메라 모듈(330)과 스테이지(110), 기판(S), 노즐(221)의 얼라인하기 위한 기준 위치를 제공할 수 있다.
제1 카메라 모듈(310, 320)은, 스테이지 유닛(100) 상에 탑재되어 헤드(220)에 형성된 노즐(221)의 노즐 촬상 이미지를 생성하고 또한, 얼라인 표지를 제공할 수 있다. 또한 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 후술할 제2 카메라 모듈(330)과 수직 방향에서 동축화하여 한 쌍의 얼라인 표지로 제공될 수 있다.
제1 카메라 모듈(310, 320)은, 스테이지 유닛(100)에 탑재될 수 있다. 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 기판(S)과 간섭을 일으키지 않는 스테이지(110)의 일단부에 지지 마련될 수 있다. 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 상방을 촬상하도록 제1 카메라(310)가 상면을 향할 수 있다. 제1 카메라 모듈(310, 320)은, 제1 카메라(310)와 직선이동부재(320)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면 제1 카메라(310)는, 제2 방향으로 나란하게 놓인 노즐(221)에 대향하도록 위치 이동할 수 있다. 제1 카메라(310)는, 노즐 뷰 카메라(nozzle view carema)일 수 있다. 제1 카메라(310)는, 스테이지(110) 상에서 마련되고, 적어도 어느 하나가 구비될 수 있다. 일 실시예에 따른 제1 카메라(310)는, 헤드 유닛(200)의 헤드 수에 대응되는 개수로 마련될 수 있다.
제1 카메라(310)는, 레이저를 이용해 임의 위치에 정확하게 설치될 수 있다. 제1 카메라(310)는, 노즐 스캔을 위해 후술할 직선이동부재(320)에 의해 제2 방향으로 위치 이동할 수 있다.
직선이동부재(320)는, 제1 카메라(310)를 제2 방향으로 직선 왕복 운동시킬 수 있다. 일 실시예에 따르면 직선이동부재(320)는, 리니어 모터와 LM 가이드를 포함할 수 있다. 리니어 모터는, 제1 카메라(310)의 이동 구동력을 제공할 수 있다. LM 가이드는, LM 레일을 따라 직선 왕복운동이 가능하다. LM 레일은, 제2 방향으로 마련될 수 있다. 제1 카메라(310)는, LM 가이드의 일단에 탑재될 수 있다.
제1 카메라(310)는, 주행축(120)을 따라 스테이지 이송수단에 의해 잉크 제팅 영역(Area 2)의 헤드 유닛(200) 하면에 마련될 수 있다. 제1 카메라(310)는, 직선이동부재(320)에 의해 제2 방향으로 이동하며 노즐(221)의 위치 정합성 여부를 확인할 수 있다.
제1 카메라(310)는, 리니어 모터의 구동력에 의해, LM 가이드 상에 탑재되어, LM 레일을 따라 제2 방향으로 위치 이동할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3a를 참조하면 제2 카메라 모듈(330)은, 헤드 유닛(200) 상에 탑재되어 기판(S)의 기판 촬상 이미지를 생성하고 또한, 얼라인 표지로 제공될 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, 헤드 유닛(200)의 제팅 전 기판 정렬을 위한 기준 좌표로 제공될 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, 제2 방향으로 이송 가능한 제1 카메라 모듈(310, 320)과 달리, 위치 고정되어, 제1 카메라(310)를 위치 정렬 기준으로 위치 정합시킬 수 있다.
제2 카메라 모듈(330)은, 잉크 제팅 영역(Area 2)에 마련될 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, 헤드 유닛(200)에 탑재될 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, 제2 방향으로 주행하는 헤드(220)와 간섭을 일으키지 않도록 헤드 브릿지(210)의 일단부에 고정 마련될 수 있다.
제2 카메라 모듈(330)은, 스테이지 유닛(100)에 대면할 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, LM 레일, 즉 제1 카메라 모듈(310, 320)의 이동 동선의 동축 상에 마련될 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, 하방을 촬상하도록 제2 카메라(330)가 하면을 향할 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, 제1 카메라 모듈(310, 320)과 달리, 고정되어 이동되지 않을 수 있다. 제2 카메라 모듈(330)은, 제2 카메라(330)를 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면 기판 얼라인 영역(Area 1) 상에서 직선이동부재와 회전부재는, 스테이지(110)와 기판(S)을 수평 방향에서 위치 변이할 수 있다. 스테이지(110)는, 기판(S)을 비롯한 척을 회전 이동시키거나 직선 이동시켜 위치 조정이 가능하다.
직선이동부재는, 기판(S)을 비롯한 척을 제1 방향 또는 제2 방향으로 직선 운동시킬 수 있다. 척은, 주행축에 의해 제1 방향으로 직선 운동이 가능하고, 직선이동부재에 의해 제2 방향으로 직선운동할 수 있다.
일 실시예에 따르면 직선이동부재는, 리니어 모터와 LM 가이드를 포함할 수 있다. 리니어 모터는, 척의 제2 방향으로의 이동 구동력을 제공할 수 있다. LM 가이드는, LM 레일을 따라 직선 왕복운동이 가능하다. LM 레일은, 제2 방향으로 마련될 수 있다. 척은, LM 가이드 상면에 탑재될 수 있다.
회전부재는, 스테이지를 회전 중심으로 하여 척을 회전운동시킬 수 있다. 척은, 회전부재에 의해 일정 각도 변이가 가능할 수 있다.
일 실시예에 따르면 회전부재는, 힌지축의 외주연에 마련된 크로스 롤러 링일 수 있다. 다른 실시예에 따르면 회전부재는, 힌지축의 외주연에 마련된 베어링일 수 있다.
도 5와 도 7을 참조하면 직선이동부재(340)와 회전부재(350)는, 메인 힌지축(230)을 회전에 의해 수평 방향에서 위치 변이시킬 수 있고, 서브 힌지축(240)을 직선이동 및 회전에 의해 수평 방향에서 위치 변이시킬 수 있다.
즉 서브 힌지축(240)은, 직선이동부재(340)와 회전부재(350)에 의해 수평 방향으로 위치 변이할 수 있다.
직선이동부재(340)는, 서브 힌지축(240)을 제1 방향 또는 제2 방향으로 직선 운동시킬 수 있다. 서브 힌지축(240)은, 주행축(120)에 의해 제1 방향으로 직선 운동하고, 직선이동부재(340)에 의해 제2 방향으로 직선 운동할 수 있다.
일 실시예에 따르면 직선이동부재(340)는, 리니어 모터와 LM 가이드를 포함할 수 있다. 리니어 모터는, 서브 힌지축(240)의 제2 방향으로의 이동 구동력을 제공할 수 있다. LM 가이드는, LM 레일을 따라 직선 왕복운동이 가능하다. LM 레일은, 제2 방향으로 마련될 수 있다. 서브 힌지축(240)은, LM 가이드의 일단에 탑재될 수 있다.
회전부재(350)는, 메인 힌지축(230)을 회전 중심으로 축 회전시키고 서브 힌지축(240) 또한 위치 이동 중 축 회전시킬 수 있다. 서브 힌지축(240)은, 회전부재(350)에 의해 제1 방향에 대한 일정 각도 변이가 가능할 수 있다.
일 실시예에 따르면 회전부재(350)는, 메인 힌지축(230)과 서브 힌지축(240) 각각의 외주연에 마련된 크로스 롤러 링일 수 있다. 다른 실시예에 따르면 회전부재(350)는, 메인 힌지축(230)과 서브 힌지축(240) 각각의 외주연에 마련된 베어링일 수 있다.
위와 같은 구성요소를 갖는 본 발명의 얼라인 장치(300)를 이용한 얼라인 방법의 동작 과정을 살펴보기로 한다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 방법을 보여주는 순서도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 방법을 보여주는 순서도이다.
도 11과 도 12를 참조하면 얼라인 방법은, 잉크젯 제팅 전 기판 준비 단계(S00)와 얼라인 단계(S10)을 포함하고, 잉크젯 제팅단계(S20)를 포함할 수 있다.
아래에서는 얼라인 방법의 각 단계는 시계열에 따라 설명하기로 한다.
기판 준비 단계(S00)에서는, 기판을 스테이지 상에 준비할 수 있다. 기판 준비 단계(S00)에서는, 스테이지 상의 척이 기판을 지지 고정할 수 있다.
얼라인 단계(S10)는, 얼라인 정보 산출 단계(S11)와 얼라인 조정 단계(S12)를 포함할 수 있다.
얼라인 정보 산출 단계(S11)에서는, 제1 카메라 모듈로 제2 카메라 얼라인 정보와 기판 얼라인 정보, 노즐 얼라인 정보를 각각 산출할 수 있다.
얼라인 정보 산출 단계(S11)에서는, 제1 카메라 모듈을 기판 얼라인 영역(Area 1) 상에 마련되도록 주행축을 따라 위치 이동시킬 수 있다. 얼라인 정보 산출 단계(S11)에서는, 제2 카메라 모듈 각각과 나란하게 제1 카메라 모듈을 위치시키고, 제2 카메라 모듈 얼라인 정보를 산출할 수 있다. 얼라인 정보 산출 단계(S11)에서는, 스테이지에 탑재된 제1 카메라 모듈을 헤드에 탑재된 제2 카메라 모듈과 자동 또는 반자동으로 동축 상에 위치시킬 수 있다.
얼라인 정보 산출 단계(S11)에서는, 제2 카메라 모듈이 기판의 특정 지점을 촬상해, 기판 얼라인 정보를 산출할 수 있다.
또한 얼라인 정보 산출 단계(S11)에서는, 제1 카메라 모듈을 잉크 제팅 영역(Area 2) 상에 마련되도록 주행축을 따라 위치 이동시킬 수 있다. 얼라인 정보 산출 단계(S11)에서는, 헤드와 나란하게 제1 카메라 모듈을 위치시키고, 노즐 얼라인 정보를 산출할 수 있다. 도 10a에 도시된 대로 제2 카메라 모듈이 노즐 얼라인 정보를 토대로 메인 힌지축과 서브 힌지축의 위치좌표를 산출할 수 있다.
제1 카메라 모듈은, 기판 얼라인 정보와 노즐 얼라인 정보를 독립적으로 획득할 수 있다. 이의 선후 관계는 존재하지 아니한다. 다만 기판 얼라인 정보는, 제2 카메라 얼라인 정보를 기반으로 생성될 수 있다.
얼라인 조정 단계(S12)에서는, 제1 카메라 모듈을 이용해 헤드의 노즐을 스캔 후, 제2 카메라 얼라인 정보와 기판 얼라인 정보, 노즐 얼라인 정보 등과 같은 얼라인 정보 산출 정보에 따라 스테이지 유닛과 헤드 유닛 상에 각각 마련된 직선이동부재와 회전부재에 의해 기판과 헤드의 위치를 조정할 수 있다.
보다 구체적으로 얼라인 조정 단계에서 동작관계를 살펴보면 아래와 같다.
기판을 비롯한 척은, 기판 얼라인 정보를 토대로 얼라인 조정될 수 있다. 기판을 비롯한 척은, 스테이지 이송 수단에 의해 주행축을 따라 제1 방향으로 이동할 수 있다. 기판을 비롯한 척은, 리니어 모터에 의해 LM 가이드 상에서 제2 방향으로 이동할 수 있다. 이 경우, 제1 방향과 제2 방향의 위치 변화는 임의로 선후가 변경될 수 있다. 또한 기판을 비롯한 척은, 회전부재에 의해 스테이지의 중앙부를 회전 중심으로 하여 임의 각도로 회전하여, XY 직교좌표계 상에서 (Ax, Ay)로 위치 변경될 수 있다.
다시 도 9a와 도 9b, 도 10b, 도 10c를 참조하면 노즐은, 노즐 얼라인 정보를 토대로 얼라인 조정될 수 있다. 헤드 브릿지는, 제2 방향으로 기판에 정합되도록 얼라인 조정되어야 한다. 헤드 브릿지는 메인 힌지축과 서브 힌지축에 양단이 고정되어 지지 고정될 수 있다. 위치 틀어짐만큼 노즐 얼라인 정보를 토대로 X방향과 Y방향으로 위치 헤드 브릿지의 위치 틀어짐을 바로잡을 수 있다.
도 10b에 도시된 대로 헤드 브릿지의 일단부에 위치한 메인 힌지축은 회전부재에 의해 동축상에서 A1 지점에서 회전할 수 있다. 도 10c에 도시된 대로 헤드 브릿지의 타단부에 위치한 서브 힌지축은 직선이동부재에 의해 제1 방향과 제2 방향으로 직선운동하여 A2에서 A2'로 이동하며, 회전부재에 의해 A2' 지점에서 회전할 수 있다.
헤드 브릿지는, 메인 힌지축과 서브 힌지축에 일단 고정되어 메인 힌지축의 회전과 서브 힌지축의 직선이동 및 회전에 의해 노즐의 얼라인 위치로 정렬시킬 수 있다. 헤드 브릿지는, 리니어 모터에 의해 LM 가이드 상에서 제2 방향으로 이동할 수 있다. 이 경우, 직선운동부재에 의한 제1 방향과 제2 방향의 위치 변화는 임의로 선후가 변경될 수 있다. 서브 힌지축이 메인 힌지축을 회전 중심으로 하여 임의 각도로 회전하여, XY 직교좌표계 상에서 (Ax, Ay)로 위치 변경될 수 있다.
잉크젯 제팅 단계(S20)에서는, 기판을 헤드에 대향하도록 제2 방향과 직교하는 제1 방향으로 이송 후 제2 방향으로 헤드가 이동하며 기판에 잉크를 제팅할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 잉크젯 프린팅 시스템
100 : 스테이지 유닛 110 : 스테이지
120 : 주행축
200 : 헤드 유닛 210 : 헤드 브릿지
220 : 헤드 221 : 노즐
230 : 메인 힌지축 240 : 서브 힌지축
300 : 얼라인 장치 310 : 제1 카메라
320 : 직선이동부재 330 : 제2 카메라
340 : 직선이동부재 350 : 회전부재
S : 기판
Area 1 : 기판 얼라인 영역 Area 2 : 잉크 제팅 영역

Claims (7)

  1. 기판을 지지하고, 상기 기판을 제1 방향으로 이송 가능한 스테이지 유닛에 탑재되어 상방을 촬상 가능한 제1 카메라 모듈;
    헤드 브릿지에 지지되어 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 이동 가능하고 상기 기판 상에 잉크를 제팅하는 노즐이 형성된 헤드를 가지는 헤드 유닛에 탑재되어 상기 스테이지 유닛과 대면하여 하방으로 촬상 가능한 제2 카메라 모듈을 포함하고,
    상기 제1 카메라 모듈은 상기 제2 카메라 모듈과 동축화하여 한 쌍의 얼라인 표지로 제공되는, 얼라인 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 카메라 모듈은,
    제1 카메라; 및
    상기 제1 카메라를 상기 제2 방향으로 직선 왕복 운동 시키는 직선이동부재를 포함하는, 얼라인 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 헤드 유닛은,
    상기 헤드 브릿지의 일단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지의 회전 중심이 되는 메인 힌지축; 및
    상기 헤드 브릿지의 타단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지가 상기 메인 힌지축을 중심으로 회동 가능하게 힌지 결합되는 서브 힌지축을 포함하는, 얼라인 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 서브 힌지축을 상기 제2 방향으로 직선 운동시키는 직선이동부재; 및
    상기 메인 힌지축을 회전 중심으로 하여, 상기 서브 힌지축을 회전 운동시키는 회전부재를 더 포함하는, 얼라인 장치.

  5. 기판을 지지하고, 상기 기판을 제1 방향으로 이송 가능한 스테이지 유닛;
    헤드 브릿지에 지지되어 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 이동 가능하고, 상기 기판 상에 잉크를 제팅하는 노즐이 형성된 헤드를 가지는 헤드 유닛; 및
    얼라인 기준을 생성하고, 상기 스테이지 유닛과 상기 헤드 브릿지를 이동시켜 상기 기판과 얼라인 시키는 얼라인 장치를 포함하고,
    상기 헤드 유닛은,
    상기 헤드 브릿지의 일단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지의 회전 중심이 되는 메인 힌지축; 및
    상기 헤드 브릿지의 타단부를 지지하고, 상기 헤드 브릿지가 상기 메인 힌지축을 중심으로 회동 가능하게 힌지 결합되는 서브 힌지축을 포함하고,
    상기 얼라인 장치는,
    상기 스테이지 유닛에 탑재되어 상방을 촬상 가능한 제1 카메라 모듈;
    상기 헤드 유닛에 탑재되어 상기 스테이지 유닛과 대면하여 하방을 촬상 가능한 제2 카메라 모듈; 및
    상기 서브 힌지축을 상기 제2 방향으로 직선 운동시키는 직선이동부재와 상기 메인 힌지축을 회전 중심으로 하여, 상기 서브 힌지축을 회전운동시키는 회전부재를 가지는 얼라인 모듈을 포함하고,
    상기 제1 카메라 모듈은 상기 제2 카메라 모듈과 동축화하여 한 쌍의 얼라인 표지로 제공되는, 잉크젯 프린팅 시스템.
  6. 제2 방향으로 헤드가 이동하며 기판에 잉크를 제팅하는 잉크젯 제팅 전, 기판의 얼라인 방법에 있어서,
    얼라인 정보를 산출 후 헤드의 위치 조정에 의한 얼라인을 조정하는 얼라인 단계를 포함하고,
    상기 얼라인 단계는,
    제1 카메라 모듈을 기판 상에 얼라인시켜, 기판 얼라인 정보를 산출하는 얼라인 정보 산출 단계; 및
    제1 카메라 모듈을 이용해 헤드의 노즐을 스캔 후, 얼라인 정보 산출 정보에 따라 직선이동부재와 회전부재에 의해 헤드의 위치를 조정하는 얼라인 조정 단계를 포함하는, 얼라인 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 얼라인 정보 산출 단계에서는,
    스테이지에 탑재된 제1 카메라 모듈을 헤드에 탑재된 제2 카메라 모듈과 동축 상에 위치시키는, 얼라인 방법.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09300664A (ja) * 1996-05-15 1997-11-25 Canon Inc カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置及びプリント方法
JP2004066771A (ja) * 2002-08-09 2004-03-04 Canon Inc 記録装置におけるアライメント機構
JP2009095690A (ja) * 2007-10-12 2009-05-07 Hitachi Plant Technologies Ltd インクジェットヘッド装置
KR20110059120A (ko) * 2009-11-27 2011-06-02 세메스 주식회사 처리액 토출 장치 및 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100335276C (zh) * 2004-01-16 2007-09-05 铼宝科技股份有限公司 有机发光面板的喷墨印刷装置
KR100717271B1 (ko) * 2005-11-07 2007-05-15 삼성전자주식회사 얼라인 장치 및 그 방법
CN202931412U (zh) * 2012-11-22 2013-05-08 三星电子株式会社 铰链装置及具备该铰链装置的便携式终端
KR101707278B1 (ko) * 2013-02-25 2017-02-15 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 및 얼라이먼트 장치 및 얼라이먼트 방법
CN205445236U (zh) * 2016-01-07 2016-08-10 福建西河卫浴科技有限公司 一种可调式铰链

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09300664A (ja) * 1996-05-15 1997-11-25 Canon Inc カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置及びプリント方法
JP2004066771A (ja) * 2002-08-09 2004-03-04 Canon Inc 記録装置におけるアライメント機構
JP2009095690A (ja) * 2007-10-12 2009-05-07 Hitachi Plant Technologies Ltd インクジェットヘッド装置
KR20110059120A (ko) * 2009-11-27 2011-06-02 세메스 주식회사 처리액 토출 장치 및 방법

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