JPH09300664A - カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置及びプリント方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高効率高スループットでカラーフィルタを製造
できるようなカラーフィルタの製造方法を提供。 【解決手段】走査方向Ｘと略直交する方向に複数のイン
ク吐出ノズル２０５を有するインクジェットヘッド２０
４が基板上を相対的に走査しながらインクを吐出し、各
画素を着色することによりカラーフィルタを製造する方
法であって、インクジェットヘッド２０４の吐出ノズル
２０５のピッチ間隔をａ、画素の走査方向Ｘと直交する
Ｙ方向のピッチ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏ
ｓθ（ｎは正の整数）の関係を満たす角度θだけ、イン
クジェットヘッド２０４を走査方向Ｘと直交するＹ方向
に対して傾けて走査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドにより基板に向けてインクを吐出して、各画素を着
色することによりカラーフィルタを製造するためのカラ
ーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ
及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。

【０００３】最も多く用いられている第１の方法が染色
法である。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料であ
る水溶性高分子材料を塗布し、これをフオトリソグラフ
ィー工程により所望の形状にパターニングした後、得ら
れたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを
得る。これを３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成する。

【０００４】第２の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って代わりつつある。この方法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得る。更にこの工程を
３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層
を形成する。

【０００５】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。

【０００６】第４の方法としては印刷法がある。この方
法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。

【０００７】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用できな
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成できない。

【０００８】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット
方式で光透過性の基板上に吐出し、各インクを乾燥させ
て着色画素部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行
うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコス
トダウン効果を得ることが出来る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記インク
ジェット法に用いられる印字ヘッドについては、複数の
ノズルを兼ね備えたマルチノズルヘッドを用いることが
望ましいが、従来マルチノズルのノズルピッチと画素の
ピッチを一致させることが難しいという問題点があっ
た。また、マルチノズルでカラーフィルタを着色する場
合、使用しているノズルのうち１本でも吐出状態が異常
になれば、ヘッド全体を交換しなければならないという
問題があった。

【００１０】従って本発明の目的は、インクジェット方
式によりカラーフィルタを形成する場合に高効率高スル
ープットでカラーフィルタを製造できるようなカラーフ
ィルタの製造方法及び製造装置及びこれらの製造方法及
び製造装置により製造されたカラーフィルタ及び表示装
置及び表示装置を備えた装置を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し目
的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタの
製造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のインク
吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相
対的に走査しながらインクを吐出し、各画素を着色する
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、前
記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間隔
をａ、前記画素の前記走査方向と直交する方向のピッチ
間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正の
整数）の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェット
ヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して傾けて走
査することを特徴としている。

【００１２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、複数のインクジェットヘッドを用
い、該複数のインクジェットヘッドを一括して前記角度
θだけ傾けて走査することにより前記基板を着色するこ
とを特徴としている。

【００１３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記複数のインクジェットヘッドを
前記吐出ノズルの並び方向に個別に微動させて、前記吐
出ノズルの位置と前記画素の位置を位置合わせすること
を特徴としている。

【００１４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記正の整数ｎを２以上に設定し、
使用中の吐出ノズルの少なくとも１つに不具合が生じた
ときに、前記インクジェットヘッドを、前記吐出ノズル
の並び方向に前記吐出ノズルのピッチ間隔ａの整数倍だ
けずらすことを特徴としている。

【００１５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。

【００１６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐
出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対
的に走査しながらインクを吐出し、各画素を着色するこ
とによりカラーフィルタを製造する装置であって、前記
インクジェットヘッドを支持する支持体と、該支持体に
設けられ、前記インクジェットヘッドの前記走査方向に
直交する方向に対する角度を調整するための角度調整手
段とを具備することを特徴としている。

【００１７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記支持体は、複数のインクジェッ
トヘッドを支持可能であり、前記角度調整手段は、前記
複数のインクジェットヘッドの角度を一括して調整可能
であることを特徴としている。

【００１８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記支持体に設けられ、前記インク
ジェットヘッドを前記インク吐出ノズルの並び方向に位
置調整するための位置調整手段を更に具備することを特
徴としている。

【００１９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記支持体は、複数のインクジェッ
トヘッドを支持可能であり、前記位置調整手段は、前記
複数のインクジェットヘッドの位置を個別に調整可能で
あることを特徴としている。

【００２０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。

【００２１】また、本発明に係わるカラーフィルタは、
走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを
有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査し
ながらインクを吐出し、各画素を着色することにより製
造されるカラーフィルタであって、前記インクジェット
ヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間隔をａ、前記画素の
前記走査方向と直交する方向のピッチ間隔をｂとしたと
きに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正の整数）の関係を満
たす角度θだけ、前記インクジェットヘッドを前記走査
方向と直交する方向に対して傾けて走査し、着色された
ことを特徴としている。

【００２２】また、本発明に係わる表示装置は、走査方
向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有する
インクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながら
インクを吐出し、各画素を着色することにより製造され
るカラーフィルタを備える表示装置であって、前記イン
クジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間隔をａ、
前記画素の前記走査方向と直交する方向のピッチ間隔を
ｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正の整数）
の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェットヘッド
を前記走査方向と直交する方向に対して傾けて走査し、
着色されたカラーフィルタと、光量を可変とする光量可
変手段とを一体に備えることを特徴としている。

【００２３】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノ
ズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に
走査しながらインクを吐出し、各画素を着色することに
より製造されるカラーフィルタを有する、表示装置を備
えた装置であって、前記インクジェットヘッドの前記吐
出ノズルのピッチ間隔をａ、前記画素の前記走査方向と
直交する方向のピッチ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ
・ｃｏｓθ（ｎは正の整数）の関係を満たす角度θだ
け、前記インクジェットヘッドを前記走査方向と直交す
る方向に対して傾けて走査し、着色されたカラーフィル
タと、光量を可変とする光量可変手段とを一体に備える
表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号
供給手段とを具備することを特徴としている。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明するのである
が、その前に本実施形態の概要について説明しておく。

【００２５】本実施形態は、インクジェット方式による
カラーフィルタの製造装置に関するもので、複数本のノ
ズルを持つマルチノズルタイプのインクジェットヘッド
を複数本用いたヘッドマウントを用いたものである。

【００２６】上記ヘッドマウントは、複数本のヘッドの
取り付け角度を同時に変える機構と、ヘッド個別に副走
査方向に位置を調整できる機構を持っている。

【００２７】インクジェット法でカラーフィルタの画素
を着色する場合、基本的には、一定の間隔（ピッチ）で
複数個のノズルを有するマルチヘッドを用いて、画素ピ
ッチに合うノズルを使用して主走査方向に着色して、次
に副走査方向にヘッドまたは基板を移動させて、続いて
主走査方向の着色を繰り返す。

【００２８】本実施形態のマルチノズルのインクジェッ
トヘッドの場合、ノズルのピッチの方が画素のピッチよ
り細かいため、何本かおきのノズルを使用して描画する
ことになる。また、画素のピッチとノズルのピッチの倍
数が合わない場合は、インクジェットヘッドの角度を主
走査方向に垂直ではなくある角度をつけて画素のピッチ
に合わせるようにセットする。

【００２９】この際、同じノズルピッチをもつ複数個の
ヘッドを同時に回転させる機構を設けることにより画素
ピッチとインクジェットヘッドの使用ノズルのピッチを
同時に効率良く合わせることが可能となる。

【００３０】また、各個別のインクジェットヘッドを副
走査方向に微動できる機構を設けることにより、複数の
ヘッドのノズル位置を、カラーフィルタの画素の所望の
位置に合わせることが可能となる。複数のヘッドをＲ、
Ｇ、Ｂそれぞれの３色用のヘッドにすれば、３色同時着
色ができるようになり、カラーフィルタ製造の効率が上
がる。

【００３１】さらに、使用ノズルのうち１本でも不良が
発生したら、上記の微動機構によりヘッドを副走査方向
にずらせば、別のノズルの組み合わせで着色が可能とな
り、ヘッド交換の頻度を減らすことができるようにな
る。

【００３２】以下、一実施形態のカラーフィルタの製造
装置の具体的な構成について説明する。

【００３３】図１はカラーフィルタの製造装置の一実施
形態の構成を示す概略図である。

【００３４】図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,
Ｇ（緑）,Ｂ（青）の各インクジェットヘッドを内蔵し
たヘッドマウント、５８はカラーフィルタ製造装置９０
の全体動作を制御するコントローラ、５９はコントロー
ラの表示部であるところのティーチングペンダント（パ
ーソナルコンピュータ）、６０はティーチングペンダン
ト５９の操作部であるところのキーボードを示してい
る。なお、この実施形態では、インクジェットヘッドに
対してカラーフィルタ基板側を移動させて、走査を行う
ようにしているが、インクジェットヘッド側を基板に対
して移動させる構成としてもよい。

【００３５】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。

【００３６】５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は生産情報等を
記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内への
インクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィ
ルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制御す
るステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続さ
れ、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置
を示している。

【００３７】次に、図３は、ヘッドマウント５５の内部
構成を示した斜視図であり、図４は図３を上側から見た
平面図である。

【００３８】図３及び図４において、２０４ａ,２０４
ｂ,２０４ｃはそれぞれマルチノズルのインクジェット
ヘッドであり、通常はＲ（赤）用ヘッド２０４ａ、Ｇ
（緑）用ヘッド２０４ｂ、Ｂ（青）用ヘッド２０４ｃの
３本のインクジェットヘッドを装着できるようになって
いる。２０５はノズル（ノズルはインクジェットヘッド
の下面にあるので、実際は図４では見えないが説明の便
宜上実線で示してある）であり、複数のノズルがヘッド
の長手方向に同一ピッチで並んでいる。インクジェット
ヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃは、その一端部をホ
ルダ２０８ａ,２０８ｂ,２０８ｃに夫々支持されてお
り、これらのホルダはヘッドマウント５５に固定された
回転軸２０６ａ,２０６ｂ,２０６ｃを中心にヘッドマウ
ント５５に対して水平面内で回動可能に支持されてい
る。また、インクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２
０４ｃは、その他端部をホルダ２１０ａ,２１０ｂ,２１
０ｃに支持されており、これらのホルダはスライド部材
２１４に対して回転軸２１２ａ,２１２ｂ,２１２ｃを中
心に水平面内で回動可能に支持されている。スライド部
材２１６は、ヘッドマウント５５に対してＸ方向及びＹ
方向に移動可能に支持されており、バネ２１６により矢
印Ａ方向に付勢されている。ヘッドマウント５５のバネ
２１６と反対側の位置には、微動ネジ２１８が設けられ
ており、この微動ネジ２１８を回転させることにより、
スライド部材２１６がＸ方向に移動される。これによ
り、３つのインクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２
０４ｃを図４に破線で示す位置に対して（Ｙ軸に対し
て）任意の角度θだけ同時に傾けることができ、走査方
向に対する傾きが調整される。また、ホルダ２１０ａ,
２１０ｂ,２１０ｃ内には圧縮バネ２２０ａ,２２０ｂ,
２２０ｃが設けられており、インクジェットヘッド２０
４ａ,２０４ｂ,２０４ｃを図中右方向に付勢している。
一方、ホルダ２０８ａ,２０８ｂ,２０８ｃには、圧縮バ
ネ２２０ａ,２２０ｂ,２２０ｃに対向して微動ネジ２２
２ａ,２２２ｂ,２２２ｃが設けられており、この微動ネ
ジを回転させることにより、各インクジェットヘッドを
矢印Ｂ方向に位置調整することができる。

【００３９】なお、主走査方向Ｘと、各ヘッドの回転軸
２０６ａ,２０６ｂ,２０６ｃを結ぶ直線が同一方向にな
るようにヘッドマウント５５を装置にセットすると、調
整のとき便利である。

【００４０】実際のカラーフィルタの着色時には、ヘッ
ド回転軸２０６ａ,２０６ｂ,２０６ｃを中心として、複
数のヘッドを同時に回転させて、所望のノズル（着色用
のノズル）のピッチと画素のピッチを合わせるようにヘ
ッドの角度θを調整する。このとき、ノズルピッチをａ
（μｍ）とし、画素ピッチをｂ（μｍ）とすると、ｂ＝
ｎａ・ｃｏｓθ（但し、ｎは正の整数）を満たすような
角度θだけヘッドを傾ける。次に、微調整ネジ２２２
ａ,２２２ｂ,２２２ｃを調整して、ノズルの位置をＲ,
Ｇ,Βのそれぞれの画素パターンの位置に合わせ込む。

【００４１】次に、図５は、ヘッドマウント５５に配置
されるインクジェットヘッドの構造を示す図である。図
３及び図４においては、インクジェットヘッドはＲ,Ｇ,
Ｂの３色に対応して３個設けられているが、これらの３
個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図５にはこれ
らの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表して示して
いる。

【００４２】図５において、インクジェットヘッド２０
４ａは、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が
形成された基板であるヒータボード１０４と、このヒー
タボード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概
略構成されている。天板１０６には、複数の吐出口（ノ
ズル）１０８が形成されており、吐出口１０８の後方に
は、この吐出口１０８に連通するトンネル状の液路１１
０が形成されている。各液路１１０は、隔壁１１２によ
り隣の液路と隔絶されている。各液路１１０は、その後
方において１つのインク液室１１４に共通に接続されて
おり、インク液室１１４には、インク供給口１１６を介
してインクが供給され、このインクはインク液室１１４
から夫々の液路１１０に供給される。

【００４３】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図５の様な状態に組み立てられる。
図５においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図５の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクに膜沸騰が生じて気泡を
形成し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０
８から押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２
に加える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御
することにより気泡の大きさを調整することが可能であ
り、吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコント
ロールすることができる。

【００４４】図６は、このようにヒータに加える電力を
変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するた
めの図である。

【００４５】この実施形態では、インクの吐出量を調整
するために、ヒータ１０２に２種類の定電圧パルスを印
加する様になされている。２つのパルスとは、図４に示
す様にプレヒートパルスとメインヒートパルス（以下、
単にヒートパルスという）である。プレヒートパルス
は、実際にインクを吐出するに先立ってインクを所定温
度に暖めるためのパルスであり、インクを吐出するため
に必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも短い値に設定されて
いる。従って、このプレヒートパルスによりインクが吐
出されることはない。プレヒートパルスをヒータ１０２
に加えるのは、インクの初期温度を、一定の温度にまで
上昇させておくことにより、後に一定のヒートパルスを
印加したときのインク吐出量を常に一定にするためであ
る。また、逆にプレヒートパルスの長さを調節すること
により、予めインクの温度を調節しておき、同じヒート
パルスが印加された場合でも、インクの吐出量を異なら
せることも可能である。また、ヒートパルスの印加に先
立ってインクを暖めておくことにより、ヒートパルスを
印加した時のインク吐出の時間的な立ち上がりを早めて
応答性を良くする働きも持っている。

【００４６】一方、ヒートパルスは、実際にインクを吐
出させるためのパルスであり、上記のインクを吐出する
ために必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも長く設定されて
いる。ヒータ１０２が発生するエネルギーは、ヒートパ
ルスの幅（印加時間）に比例するものであるため、この
ヒートパルスの幅を調節することにより、ヒータ１０２
の特性のばらつきを調整することが可能である。

【００４７】なお、プレヒートパルスとヒートパルスと
の間隔を調整して、プレヒートパルスによる熱の拡散状
態を制御することによってもインクの吐出量を調整する
ことが可能となる。

【００４８】上記の説明から分かる様に、インクの吐出
量は、プレヒートパルスとヒートパルスの印加時間を調
節することによって制御することも可能であるし、また
プレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を調節する
ことによっても可能である。従って、プレヒートパルス
及びヒートパルスの印加時間やプレヒートパルスとヒー
トパルスの印加間隔を必要に応じて調整することによ
り、インクの吐出量やインクの吐出の印加パルスに対す
る応答性を自在に調節することが可能となる。

【００４９】次に、このインクの吐出量の調整について
具体的に説明する。

【００５０】例えば、図６に示す様に吐出口（ノズル）
１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃが、同じエネルギーを加
えた時のインクの吐出量が異なっている場合について説
明する。詳しくは、一定温度で、一定エネルギーを印加
したときに、ノズル１０８ａのインク吐出量が３６ｐｌ
（ピコリットル）、ノズル１０８ｂのインク吐出量が４
０ｐｌ、ノズル１０８ｃのインク吐出量が４０ｐｌであ
り、ノズル１０８ａに対応するヒータ１０２ａ及びノズ
ル１０８ｂに対応するヒータ１０２ｂの抵抗値が２００
Ω、ノズル１０８ｃに対応するヒータ１０２ｃの抵抗値
が２１０Ωであるものとする。そして、それぞれのノズ
ル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃの吐出量を全て４０ｐ
ｌに合わせたいものとする。

【００５１】それぞれのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１
０８ｃの吐出量を同じ量に調整するためには、プレヒー
トパルスとヒートパルスの幅を調整すれば良いのである
が、このプレヒートパルスとヒートパルスの幅の組み合
わせには種々のものが考えられる。ここでは、ヒートパ
ルスにより発生するエネルギーの量を３つのノズルで同
じになる様に設定し、吐出量の調整は、プレヒートパル
スの幅を調整することにより行なうものとする。

【００５２】まず、ノズル１０８ａのヒータ１０２ａと
ノズル１０８ｂのヒータ１０２ｂの抵抗値は同じ２００
Ωであるので、ヒートパルスにより発生するエネルギー
を同じにするには、ヒータ１０２ａ，１０２ｂに同じ幅
の電圧パルスを印加すればよい。ここでは、電圧パルス
の幅を前述したｔ5 よりも長いｔ3 に設定する。一方、
ノズル１０８ａと１０８ｂとは、同じエネルギーを加え
た時の吐出量が、３６ｐｌと４０ｐｌと異なるため、ノ
ズル１０８ａの吐出量を多くするために、ヒータ１０２
ａには、ヒータ１０２ｂのプレヒートパルスの幅ｔ1 よ
りも長いｔ2 のプレヒートパルスを加える。このように
すれば、ノズル１０８ａと１０８ｂの吐出量を同じ４０
ｐｌにそろえることができる。

【００５３】一方、ノズル１０８ｃのヒータ１０２ｃの
抵抗値は、他の２つのヒータ１０２ａ，１０２ｂの抵抗
値よりも高い２１０Ωであるため、ヒータ１０２ｃか
ら、他の２つのヒータと同じエネルギーを発生させるた
めには、ヒートパルスの幅を長くする必要がある。その
ため、ここでは、ヒートパルスの幅を前述したｔ3 より
も長いｔ4 に設定している。また、プレヒートパルスの
幅に関しては、一定エネルギーを加えた時のノズル１０
８ｂと１０８ｃの吐出量が同じであるため、ヒータ１０
２ｂと同じにすればよく、ｔ1 の幅のプレヒートパルス
を加える。

【００５４】以上の様にして、抵抗値と一定エネルギー
を加えた時のインク吐出量の異なる３つのノズル１０８
ａ，１０８ｂ，１０８ｃから同じ量のインクを吐出させ
ることができる。また、同じ手法により、インクの吐出
量を意識的に異ならせることも可能である。なお、プレ
ヒートパルスを利用するのは、ノズルごとの吐出のバラ
つきを低減するためである。

【００５５】次に、図７はカラーフィルタの製造工程を
示した図である。図７を参照してカラーフィルタ５４の
製造工程を説明する。

【００５６】図７（ａ）は、光透過部９と遮光部１０を
構成するブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を
示す。まず、ブラックマトリクス２の形成された基板１
上に、それ自身はインク受容性に乏しいが、ある条件下
（例えば光照射、または光照射と加熱）で親インク化さ
れると共に、ある条件下で硬化する特性を有する樹脂組
成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂組
成物層３を形成する（図７（ｂ））。樹脂組成物層３の
形成には、スピンコート、ロールコート、バーコート、
スプレーコート、ディップコート等の塗布方法を用いる
ことができ、特に限定されるものではない。

【００５７】次に、フォトマスク４を使用して光透過部
９上の樹脂層に予めパターン露光を行うことにより樹脂
層を一部親インク化させて（図７（ｃ））、樹脂組成物
層３に親インク化された部分６と親インク化されていな
い部分５を形成する（図７（ｄ））。また、インクジェ
ットヘッドが基板上を相対的に複数回走査しながらイン
クを吐出する際、インクジェットヘッドを固定して基板
を移動させることにより相対的走査を行う場合と、基板
を固定してインクジェットヘッドを移動させることによ
り相対的走査を行う場合のいずれも可能である。

【００５８】その後インクジェット方式によりＲ
（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色インクを樹脂組成物
層３に吐出して一度に着色し（図７（ｅ））、必要に応
じてインクの乾燥を行う。インクジェット方式として
は、熱エネルギーによる方式あるいは機械エネルギーに
よる方式が挙げられるが、いずれの方式も好適に用いる
ことができる。使用するインクとしては、インクジェッ
ト用として用いることができるものであれば特に限られ
るものではなく、インクの着色剤としては、各種染料あ
るいは顔料のなかから、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素に要求され
る透過スペクトルに適合したものが適宜選択される。ま
た、液状インク、ソリッドインク共に使用可能である。
なお、インクジェットヘッドから吐出されるインクは樹
脂組成物層３に付着される時点で滴状になっていてもよ
いが、インクジェットヘッドから滴状に分離せず、柱状
の形態で付着することが好ましい。

【００５９】次いで、光照射または光照射と加熱処理を
行って着色された樹脂組成物層３を硬化させ、必要に応
じて保護層８を形成する（図７（ｆ））。この樹脂組成
物層３を硬化させるには先の親インク化処理における条
件とは異なる条件、例えば光照射における露光量を大き
くするか、加熱条件を厳しくするか、もしくは光照射と
加熱処理を併用する等の方法が採用できる。

【００６０】なお、硬化可能な樹脂組成物としては、あ
る条件下でインク受容性を有し、且つ光照射または光照
射と加熱の少なくとも一方の処理により硬化し得るもの
であればいずれも使用可能であり、樹脂としては例えば
アクリル系樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロ
キシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロー
ス、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース等
のセルロース誘導体あるいはその変性物等が挙げられ
る。

【００６１】これらの樹脂を光あるいは光と熱により架
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。尚、架橋反応をより進行さ
せるために光照射の後に熱処理を施しても良い。

【００６２】これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐
熱性、耐水性に優れており、後工程における高温あるい
は洗浄工程に十分耐え得るものである。

【００６３】また、本例においては、インク受容層（樹
脂組成物層）を使用した例を示してあるが、基板にブラ
ックマトリックスが形成されている場合でも同様に作成
可能であるし、樹脂層を用いないで、ブラックマトリッ
クスまたは、電極の間に直接インクをインクジェット方
式で、射ち込んでも良い。

【００６４】インクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,
２０４ｃのノズルの位置としては、同一平面上に一定間
隔で複数個並んでいることが望ましいが、その並び方
は、図８に示すような一直線状でもよいし、図９に示す
ような千鳥状でもよい。ヘッドは、ノズルが副走査方向
に対して一定の間隔になるように、所定角度だけ傾けて
ヘッドマウント５５にセットすれば良い。目的のカラー
フィルタの画素のパターンのピッチに合わせるように複
数のヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃを微動ネジ２１
８により同時に回転させることにより、ノズル２０５の
間隔の整数倍のピッチと、画素のピッチを合わせるよう
に、ヘッドマウント５５を調整することができる。

【００６５】さらに、複数のヘッド２０４ａ,２０４ｂ,
２０４ｃのノズルが所望の着色したい画素上にくるよう
に、微動ネジ２２２ａ,２２２ｂ,２２２ｃにより副走査
方向（ノズルの並んだ方向）に微動させて調整すること
により、多くのノズルを使用して着色することができる
ようになる。

【００６６】また、図８（ａ）に示すように、使用中に
あるノズルが不良（例えばインクの吐出量が少なくなる
とか、不吐出になるとか）になった場合、そのヘッドを
副走査方向（ノズルの並んだ方向）にノズルの間隔の整
数倍の距離をずらすことにより、ヘッドを交換しなくて
もさらに使用することが可能となる（図８（ｂ））。

【００６７】このようにして、基板上に樹脂層を有し、
その樹脂層が異なる色で着色された複数の着色部と非着
色部を有するカラーフィルタが製造される。

【００６８】図１０及び図１１は上記のカラーフィルタ
を組み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す
断面図である。

【００６９】カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフ
ィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物
１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の
一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリクス状に形
成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素電
極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラー
フィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極（共
通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリクス
２は、通常カラーフィルター基板１側に形成されるが
（図１０参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレ
イタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側
に形成される（図１１参照）。さらに、両基板の面内に
は配向膜１９が形成されており、これをラビング処理す
ることにより液晶分子を一定方向に配列させることがで
きる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１
１,２２が接着されており、液晶化合物１８は、これら
のガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。
また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板
（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液
晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャ
ッターとして機能させることにより表示を行うこのよう
な液晶表示装置を情報処理装置に適用した場合の例を図
１２乃至図１４を参照して説明する。

【００７０】図１２は上記の液晶表示装置をワードプロ
セッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、
複写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した
場合の概略構成を示すブロック図である。

【００７１】図中、１８０１は装置全体の制御を行う制
御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポ
ートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力した
り、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を
行っている。１８０２はディスプレイ部で、この表示画
面には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ１８
０７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８
０３はディスプレイ部１８０２上に設けられた透明な感
圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧する
ことにより、ディスプレイ部１８０２上での項目入力や
座標位置入力等を行うことができる。

【００７２】１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ
変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気
信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。
プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。

【００７３】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。

【００７４】１８０８はイメージリーダ部１８０７で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（Ｆ
ＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース機能
を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能
等の各種電話機能を有する電話部である。

【００７５】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外
部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含む
メモリ部である。

【００７６】１８１１は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。

【００７７】１８１２はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置１８１２には文書情報や音楽あるいは音声情報、
ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。

【００７８】図１３は図１２に示す情報処理装置の模式
的概観図である。

【００７９】図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利
用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや
図形情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ
１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押
圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことが
できる。１９０２は装置が電話機として機能するときに
使用されているハンドセットである。キーボード１９０
３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、
各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。ま
た、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４
等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２
へのフロッピーディスクの挿入口である。

【００８０】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。

【００８１】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１
８０６に画像として出力される。

【００８２】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。

【００８３】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８
０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１
８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０
１により所定のプログラムに従って送信処理された後、
ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信され
る。

【００８４】なお、上述した情報処理装置は図１４に示
すようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体
型としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高め
ることが可能となる。同図において、図１３と同一機能
を有する部分には、対応する符号を付す。

【００８５】次に、図３及び図４に示したようなヘッド
の角度及び位置の調整機構を有する着色装置によりカラ
ーフィルタを着色した具体例について説明する。

【００８６】

【第１の実施例】ブラックマトリクスを設けた青板ガラ
ス基板上に、ＭＭＡ（メチルメタクリレート）とＮ−Ｎ
ＡＭ（ｎ−メチロールアクリルアミド）の等量混合した
共重合体を、エチルセロソルブに溶解させ粘度を調整し
たものに光開始剤を２％混合したものを用い、ロールコ
ーターで１μｍの膜厚に塗布して、インク受容層のパタ
ーン形成を行った。その後、１２０℃で２分間乾燥させ
たところ、パターン寸法は８０μｍとなり、ブラックマ
トリクス上の隙間は約１０μｍとなっていた。

【００８７】使用したインクジェットヘッドは、２５６
本のノズルが４００ｄｐｉ（６３．５μｍ間隔）で一直
線状に並んだものを使用した。Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれ１本
づつ３本のヘッドをヘッドマウントに装着し、ヘッド取
付け角度θを約１９．１°に調整した。次に、ノズル並
び方向に微調整を行い、ノズルが４本おきに２４０μｍ
ピッチで並ぶように、また、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれのヘッ
ドの使用ノズルが８０μｍずつずれるように各ヘッドの
位置設定を行った。

【００８８】このヘッドマウントを装着したインクジェ
ット製造装置を用いて、前記インク受容層を設けた透明
基板上にインクジェット方式によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの３
色からなる所定のパターンを形成した。

【００８９】このようにして作成した液晶用カラーフィ
ルタを光学顕微鏡によって観察したところ、色ムラ、白
ヌケ等のないカラーフィルタが得られた。しかも、１ノ
ズルずつ３色で着色した場合よりも、６０倍以上も着色
時間が短縮された。また、インクジェット製造装置への
ヘッドの装着時間は、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれのインクジェ
ットヘッドを独立にセットする場合よりも著しく短縮さ
れた。

【００９０】

【第２の実施例】第１の実施例と同様に１５インチサイ
ズ（１２８０×１０２４画素）のカラーフィルタを２０
枚作成したところ、Ｒのヘッドの一部のインク吐出量が
少なくなってきた（２８ｎｇ→２５ｎｇ）。そこで、図
８（ｂ）に示したように、そのＲヘッドをノズル並び方
向に６３．５μｍずらしてさらに描画を続けたところ、
フィルタの濃度にわずかの差が見られたが、カラーフィ
ルタ特性としては問題のないものが得られた。ヘッドの
アライメント調整時間も３分以内で完了し、いちいちヘ
ッドを交換する場合と比べて著しく生産性が向上した。

【００９１】

【第３の実施例】第２の実施例で作成したカラーフィル
タを用いて、図１０に示す液晶パネルを作成し、駆動し
たところ、高精度なカラー表示が可能であった。また、
ノズルを変えた時のつぎ目等は肉眼では確認できないレ
ベルの液晶パネルが作成できた。

【００９２】

【第４の実施例】第１の実施例と同様に光開始剤入りの
インク受容層を用い、１１０μｍのパターンが繰り返さ
れているパターン形成を行った。この時撥インク性の隙
間は１５μｍとなっていた。

【００９３】第１の実施例と同様のヘッドマウントを用
いて、ヘッド取付け角度を約３０°に変更することによ
り、ノズル６本おきに使用し、４２本のラインを同時に
着色することができた。これを繰り返すことにより、２
１インチのカラーフィルタを９０秒で着色することが可
能となった。また、１５インチ用のヘッド位置と２１イ
ンチ用のヘッド位置に変更するのに約５分の時間ロスで
調整することが可能となった。

【００９４】

【第５の実施例】インクジェットヘッドに３６０ｄｐｉ
の密度で２６００本のノズルを有するヘッドを用いて同
様な仕組みのヘッドマウントに装置して１５インチのカ
ラーフィルタを着色した。このとき、ヘッド取付け角度
を約３１．７°に設定し、各色６４０ノズルを使用し
て、着色したところ、１５インチ用カラーフィルタが基
板を２回スキャンするのみ（アライメントを含めて２０
秒）で製造することが可能となった。

【００９５】

【第６の実施例】図９に示したような、ノズルがちどり
状に配列されたヘッド（６００ｄｐｉ）を用いても同様
にヘッドの角度を調整することにより、第１の実施例と
同様にインクジェット方式によりカラーフィルタを製造
することができる。

【００９６】この実施例では、ヘッド取付け角度θを２
７．６°に設定して４本おきにノズルを使用することに
より、１０インチの高性能カラーフィルタを作成するこ
とができた。

【００９７】なお、本発明は、その趣旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。

【００９８】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。

【００９９】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【０１００】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【０１０１】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。

【０１０２】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。

【０１０３】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。

【０１０４】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。

【０１０５】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、あるいはインクジェット方式では
インク自体を３０°Ｃ以上７０°Ｃ以下の範囲内で温度
調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように
温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付
与時にインクが液状をなすものであればよい。

【０１０６】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。

【０１０７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば複
数のヘッドを同時に回転させて角度を調整し、ノズル並
び方向に各ヘッド個別に微調して移動させることより、
多品種のカラーフィルタを同じカラーフィルタ製造装置
で高速に製造することが可能になった。

【０１０８】また、ヘッド内の使用ノズルが一部不良に
なってもヘッド交換をしないで、ノズル並び方向に移動
させるだけで着色の継続ができるため、生産性が著しく
向上する。

【０１０９】さらに、インクジェット方式のもつ解像度
や精度に微細パターン化されたフォトリソグラフィーの
解像度、精度が加味され、高解像度のカラーフィルタパ
ターンを得ることができる。

【０１１０】これにより、種々のカラーデバイス構成に
本発明のカラーフィルタを用いた場合でも、デバイスの
機能、形成工程に影響を及ぼすこともなく、諸特性に優
れたカラーデバイスを生産性良く形成することができ
る。

【０１１１】

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成
を示す概略図である。

【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。

【図３】ヘッドマウントの内部構成を示す斜視図であ
る。

【図４】図３を上方から見た平面図である。

【図５】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。

【図６】ヒータに加える電力を変化させてインクの吐出
量を制御する方法を説明するための図である。

【図７】カラーフィルタの製造工程を示した図である。

【図８】インクジェットヘッドのノズルに不良が発生し
た場合の対処方法を示す図である。

【図９】ノズルが千鳥状に並んだヘッドを使用した例を
示した図である。

【図１０】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカ
ラー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。

【図１１】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカ
ラー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。

【図１２】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【図１３】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【図１４】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【符号の説明】

５２ ＸＹθステージ ５３ ガラス基板 ５４ カラーフィルタ ５５ ヘッドマウント ５８ コントローラ ５９ ティーチングペンダント ６０ キーボード

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走査方向と略直交する方向に複数のイン
   ク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を
   相対的に走査しながらインクを吐出し、各画素を着色す
   ることによりカラーフィルタを製造する方法であって、 前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間
   隔をａ、前記画素の前記走査方向と直交する方向のピッ
   チ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正
   の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェッ
   トヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して傾けて
   走査することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】 複数のインクジェットヘッドを用い、該
   複数のインクジェットヘッドを一括して前記角度θだけ
   傾けて走査することにより前記基板を着色することを特
   徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】 前記複数のインクジェットヘッドを前記
   吐出ノズルの並び方向に個別に微動させて、前記吐出ノ
   ズルの位置と前記画素の位置を位置合わせすることを特
   徴とする請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
4. 【請求項４】 前記正の整数ｎを２以上に設定し、使用
   中の吐出ノズルの少なくとも１つに不具合が生じたとき
   に、前記インクジェットヘッドを、前記吐出ノズルの並
   び方向に前記吐出ノズルのピッチ間隔ａの整数倍だけず
   らすことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ
   の製造方法。
5. 【請求項５】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
   ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
   クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
   発生体を備えていることを特徴とする請求項１に記載の
   カラーフィルタの製造方法。
6. 【請求項６】 走査方向と略直交する方向に複数のイン
   ク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を
   相対的に走査しながらインクを吐出し、各画素を着色す
   ることによりカラーフィルタを製造する装置であって、 前記インクジェットヘッドを支持する支持体と、 該支持体に設けられ、前記インクジェットヘッドの前記
   走査方向に直交する方向に対する角度を調整するための
   角度調整手段とを具備することを特徴とするカラーフィ
   ルタの製造装置。
7. 【請求項７】 前記支持体は、複数のインクジェットヘ
   ッドを支持可能であり、前記角度調整手段は、前記複数
   のインクジェットヘッドの角度を一括して調整可能であ
   ることを特徴とする請求項６に記載のカラーフィルタの
   製造装置。
8. 【請求項８】 前記支持体に設けられ、前記インクジェ
   ットヘッドを前記インク吐出ノズルの並び方向に位置調
   整するための位置調整手段を更に具備することを特徴と
   する請求項６に記載のカラーフィルタの製造装置。
9. 【請求項９】 前記支持体は、複数のインクジェットヘ
   ッドを支持可能であり、前記位置調整手段は、前記複数
   のインクジェットヘッドの位置を個別に調整可能である
   ことを特徴とする請求項８に記載のカラーフィルタの製
   造装置。
10. 【請求項１０】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項６に記載
    のカラーフィルタの製造装置。
11. 【請求項１１】 走査方向と略直交する方向に複数のイ
    ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上
    を相対的に走査しながらインクを吐出し、各画素を着色
    することにより製造されるカラーフィルタであって、 前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間
    隔をａ、前記画素の前記走査方向と直交する方向のピッ
    チ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正
    の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェッ
    トヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して傾けて
    走査し、着色されたことを特徴とするカラーフィルタ。
12. 【請求項１２】 走査方向と略直交する方向に複数のイ
    ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上
    を相対的に走査しながらインクを吐出し、各画素を着色
    することにより製造されるカラーフィルタを備える表示
    装置であって、 前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間
    隔をａ、前記画素の前記走査方向と直交する方向のピッ
    チ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正
    の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェッ
    トヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して傾けて
    走査し、着色されたカラーフィルタと、 光量を可変とする光量可変手段とを一体に備えることを
    特徴とする表示装置。
13. 【請求項１３】 走査方向と略直交する方向に複数のイ
    ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上
    を相対的に走査しながらインクを吐出し、各画素を着色
    することにより製造されるカラーフィルタを有する、表
    示装置を備えた装置であって、 前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間
    隔をａ、前記画素の前記走査方向と直交する方向のピッ
    チ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正
    の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェッ
    トヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して傾けて
    走査し、着色されたカラーフィルタと、光量を可変とす
    る光量可変手段とを一体に備える表示装置と、 該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを
    具備することを特徴とする、表示装置を備えた装置。