KR20210119203A - 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템은 내부가 불활성가스로 충진되고, 일측에 피대전체가 진입하는 입구가 형성된 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 감지 범위 내에 들어오는 피대전체를 감지하는 센서모듈, 상기 진공 챔버 외부에 배치되며, 상기 센서모듈로부터 피대전체에 대한 감지 신호를 전달받아 정전기제거장치를 온오프 제어가 가능하고, 정전기제거장치의 조사 시간을 조절할 수 있는 제어모듈 및 상기 진공 챔버 내부에 배치되어 상기 제어모듈에 의해 온오프 제어되며, 피대전체의 상부에 진공자외선 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기제거장치를 포함한다.

Description

진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템 {On-off control system of ionizer using VUV}

본 발명은 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 별도의 온오프 제어 장치가 없던 VUV 제전장치에 온오프 제어 장치를 적용함으로써, 온오프 제어 장치를 통해 정전기 제거에 소요되는 조사 시간을 조절하여 VUV에 의한 유기물 경화를 방지하는 시스템에 관한 것이다.

최근 들어, LCD, OLED Display, 반도체 기술이 더욱 정밀화됨에 따라 증착 공정이나 진공 챔버 내 공정과 같이 감압 진공환경에서 진행되거나 불활성가스를 취급하는 등 특수한 환경에서 진행되는 공정도 크게 증가하고 있는 추세인데, 이 경우 엑스선 방사식 장치의 경우에는 대기압 하에서와는 달리 상술한 특수한 환경에서는 정전기 제거 성능이 낮아 활용하기 어렵고, 코로나 방전식 장치는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 문제점이 있어 적용이 어렵다.

이에 일본의 하마마쯔 회사에서는 진공 자외선을 이용하여 특수한 환경에서 적용 가능한 정전기 제거 장치를 제안(JP 2816037, 대전물체의 중화장치)하였다. 상기 기술은 웨이퍼가 감압된 하우징으로 이송되기 이전에 전처리 하우징 내에 불활성 가스를 주입하고 배기 펌프를 이용해 감압시킨 후 자외선을 투광함으로써 제전을 수행할 수 있도록, 웨이퍼 수납이 가능한 케이스와, 불활성 가스 도입 수단, 중화 전하 발생 수단 및 감압 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 기술은 특수한 환경에서의 제전을 위한 기초적 구성을 포함하였으나, 중화 전하 발생 수단의 상세 적용 구조 등은 개시되지 않았다.

따라서, 특히 진공 또는 불활성가스 챔버에 연결되어 진공 자외선을 조사함으로써 제전 기능을 수행하는 진공 자외선을 이용한 정전기제거장치가 개발되고 있다.

하지만, 이러한 종래의 진공 자외선을 이용한 정전기제거장치는 필라멘트(Filament) 타입으로써, 필라멘트는 열전자를 방출하기 위해 예열시간이 필요한 문제점이 있으며, 이러한 문제점은 일반적인 진공 자외선을 이용한 정전기제거장치를 온오프 제어할 수 없으며, 제어 가능하더라도 예열시간(예:25초±5초) 이상 걸려 실시간 온오프 제어가 어려운 문제점이 있었으며, 그에 따라 공정 소요 시간이 늘어나는 문제점이 존재하였으며, 또한, 진공 자외선을 이용한 정전기제거장치를 연속적으로 점등시켜 사용 시, 정전기제거장치의 필요이상의 작동으로 인해 진공자외선에 의하여 유기물 경화가 발생하는 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허 제10-2065347호 (2020.01.07.)

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 하는 것으로, 발광 프로세스 상에 필라멘트가 존재하지 않고, 외부 전극에 의해 예열시간 없이 램프가 발광할 수 있는 구조인 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 램프를 이용한 VUV 제전장치에 온오프 제어 장치를 적용함으로써, 온오프 제어 장치를 통해 정전기 제거에 소요되는 조사 시간을 최소한으로 적용하여 VUV에 의한 유기물 경화를 방지할 수 있는 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템은 내부가 불활성가스로 충진되고, 일측에 피대전체가 진입하는 입구된 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 감지 범위 내에 들어오는 피대전체를 감지하는 센서모듈, 상기 진공 챔버 외부에 배치되며, 상기 센서모듈로부터 피대전체에 대한 감지 신호를 전달받아 정전기제거장치를 온오프 제어가 가능하고, 정전기제거장치의 조사 시간을 조절할 수 있는 제어모듈 및 상기 진공 챔버 내부에 배치되어 상기 제어모듈에 의해 온오프 제어되며, 피대전체의 상부에 진공자외선 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기제거장치를 포함한다.

또한, 상기 정전기제거장치는 VUV 램프를 포함하며, 상기 VUV 램프를 통해 진공자외선(VUV)을 조사하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 VUV 램프는 내부에 필라멘트가 없고 예열시간이 필요 없이 기체를 광원으로 발광할 수 있는 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 램프인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제어모듈은 하나의 제어모듈로 복수 개의 정전기제거장치에 대해 제어가 가능하며, 피대전체의 이동에 따라 상기 복수 개의 정전기제거장치를 순차적으로 온오프 제어하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제어모듈은 하나의 제어모듈로 다수의 진공 챔버에 형성된 한 개 이상의 정전기제거장치 각각에 대해 동시에 제어 가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템은 VUV 제전장치에 온오프 제어 장치를 적용함으로써, 실시간 제어가 가능해지고, VUV 제전장치의 조사 시간을 조정 가능함에 불필요한 동작시간을 최소화하여 VUV 제전장치의 수명을 연장시킬 수 있으며, LCD, OLED Display, 반도체 제조 공정 시간을 줄임으로서, 제품 수율의 향상 효과를 얻을 수 있다.

또한, 정전기 제거를 위한 진공자외선 조사 시간을 최소 시간으로 설정 가능함에 따라, VUV 제전장치에 의해 발생할 수 있는 유기물 경화 억제효과가 있다.

도 1은 본 발명에 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명에 다른 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템의 구성도이다.
도 3은 본 발명에 또 다른 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템의 구성도이다.
도 4는 본 발명에 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템의 개략적인 순서도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

아래 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 상세히 설명한다. 도면에 관계없이 동일한 부재번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템은, 먼저, 도 1을 참조하여 설명하자면, 전체적으로, 진공 챔버(100), 정전기제거장치(400), 센서모듈(200), 제어모듈(300)을 포함한다.

따라서, 진공 챔버(100) 내부에서 센서모듈(200)을 통해 피대전체(10)의 위치를 파악하고, 감지신호를 제어모듈(300)로 전달하여, 제어모듈(300)을 통하여 정전기제거장치(400)를 실시간으로 온오프 제어하는 것을 요지로 한다.

좀 더 구체적으로 설명하자면, 먼저, 진공 챔버(100)는 디스플레이 및 반도체 기술이 더욱 정밀화됨에 따라 제조공정 중 증착 공정이나 챔버 내 공정과 같이 감압 진공환경이나 불활성가스를 취급하는 등 특수한 환경의 진공증착설비 내부로써, 상기 진공 챔버(100) 내부가 아르곤(Ar), 헬륨(He), 네온(Ne) 등을 포함하는 비활성가스로 충진된다.

또한, 상기 진공 챔버(100)는 일측에 피대전체(10)가 진입하는 입구(미도시)가 형성된다. 따라서, 피대전체가(10) 자동으로 상기 입구를 통해 진입하게 된다.

다음, 센서모듈(200)은 감지 범위 내에 들어오는 피대전체(10)를 감지하기 위한 것으로, 상기 진공 챔버(100) 내부에 설치되어, 피대전체(10)를 감지하게 되면 감지 신호를 생성한다.

상기 센서모듈(200)은 물체를 감지 할 수 있는 비접촉형 센서로써, 피대전체(10) 주변의 전자기장 변동을 감지하거나, 이온밸런스 검출 수단을 포함하여 다양한 센서로 변경하여 적용가능하다.

다음, 제어모듈(300)은 상기 진공 챔버(100) 외부에 배치되며, 상기 센서모듈(200)로부터 피대전체(10)에 대한 상기 감지 신호를 전달받아, 정전기제거장치를 온오프 제어가 가능하다.

다음, 정전기제거장치(400)는 상기 진공 챔버(100) 내부에 배치되어 상기 제어모듈(300)에 의해 온오프 제어되며, 피대전체(10)의 상부에 진공자외선(VUV, Vacuum Ultra Violet) 광을 조사하여 상기 피대전체(10)의 정전기를 중화시키는 역할을 한다.

상기 정전기제거장치(400)는 VUV 램프(Lamp)를 포함하며, 상기 VUV 램프를 통해 진공자외선을 피대전체(10)에 조사한다.

여기서, 상기 VUV 램프는 내부에 필라멘트가 없고, 예열시간이 필요 없이 기체를 광원으로 발광할 수 있는 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 램프가 될 수 있다.

여기서, 상기 램프에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하자면, 상기 램프는 빛을 내는 프로세스 상에 필라멘트(Filament)를 포함하지 않는 구조로써, 외부(비활성가스)에 전극이 존재하기 때문에 예열시간이 필요 없이 램프가 발광할 수 있는 구조이다.

또한, 상기 정전기제거장치(400)는 상기 진공 챔버(100) 내부에서 사용하기 때문에, 감압 또는 비활성가스 환경에서는 연X선(Soft X-Ray)을 포함하는 X선방사식은 부적합하다. 상기 X선방사식은 감압 또는 비활성가스 환경에서 광자를 흡수하는 가스분자 또는 원자의 양이 극히 적어 이온생성이 극히 감소하여 정전기제거능력이 현저히 저하하는 문제점이 있다. 따라서, 진공자외선(VUV)조사식이 가장 바람직하다.

즉, 피대전체(10)가 진입하게 되면, 상기 센서모듈(200)이 진입하는 상기 피대전체(10)를 감지하여, 감지신호를 생성하여 상기 제어모듈(300)로 전달하며, 상기 제어모듈(300)은 상기 감지신호를 전달받으면 상기 정전기제거장치(400)를 온(On)상태로 제어하여 상기 정전기제거장치(400)가 진공자외선(VUV)을 진공자외선 조사범위 내에 진입 시 조사하여 정전기를 제거하게 된다. 정전기 제거가 완료되면 상기 제어모듈(300)의 제어에 의해 상기 정전기제거장치(400)는 오프(Off)상태로 제어하여, 상기 정전기제거장치(400)의 불필요한 동작(On 상태)을 최소화할 수 있다.

또한, 상기 제어모듈(300)은 상기 정전기제거장치(400)가 온(On)상태로 제어 시 온(On)상태에 대한 지연시간(Delay time)을 가지게 되고, 상기 지연시간만큼 상기 정전기제거장치(400)가 동작하게 된다. 여기서, 관리자는 상기 지연시간을 조절이 가능하다.

일례를 들어 설명하자면, 상기 지연시간을 10초로 설정하게 되면 상기 센서모듈(200)이 피대전체(10)를 감지하게 되면 상기 정전기제거장치(400)는 조사범위 내에 상기 피대전체(10)가 진입 시 10초 동안 진공자외선을 조사하고 상기 정전기제거장치(400)는 동작을 멈추게 된다.

따라서, 관리자는 온오프 시간의 지연시간(Delay time)의 조절을 통해 상기 정전기제거장치(400)의 제전성능 및 불필요한 동작을 방지할 수 있으며, 이로 인해 발생할 수 있는 역기능(예: 유기물 경화) 방지에 대한 최적의 조건을 도출해 낼 수 있다.

또한, 상기 제어모듈(300)은 하나의 제어모듈(300)로 복수 개의 상기 정전기제거장치(400)에 대해 제어가 가능하며, 피대전체(10)의 이동에 따라 상기 복수 개의 정전기제거장치(400)를 순차적으로 온오프 제어한다.

도 2을 참조하여 설명하자면, 도 2는 본 발명에 다른 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템의 구성도로서, 복수 개의 정전기제거장치(400)가 하나의 제어모듈(300)에 연결된다.

복수 개의 정전기제거장치(400)가 순차적으로 나열되어 있는 경우, 첫 번째 정전기제거장치를 제1 정전기제거장치(400a), 두 번째 정전기제거장치를 제2 정전기제거장치(400b), n번째 정전기제거장치를 제n 정전기제거장치(400n)라고 정의하여 설명한다.

먼저, 피대전체(10)가 진입하게 되면, 센서모듈(200)이 진입하는 피대전체(10)를 감지하여, 감지신호를 생성하여 제어모듈(300)로 전달하며, 상기 제어모듈(300)은 상기 감지신호를 전달받으면 제1 정전기제거장치(400a)를 온(On)상태로 제어하여 상기 제1 정전기제거장치(400a)가 진공자외선을 진공자외선 조사 범위 내에 진입 시 조사하여 정전기를 제거한다.

정전기 제거가 완료되면 상기 제어모듈(300)의 제어에 의해 상기 제1 정전기제거장치(400a)는 오프(Off)상태로 제어하고, 상기 피대전체(10)가 이동하고, 상기 피대전체(10)가 제2 정전기제거장치(400b) 조사 범위 내에 진입 시, 상기 제어모듈(300)은 제2 정전기제거장치(400b)를 온(On)상태로 제어한 뒤, 진공자외선 조사가 끝나면 다시 상기 제2 정전기제거장치(400b)를 오프(Off)상태로 제어하여, 제n 정전기제거장치(400n), 즉 n번째까지 상기 과정을 순차적으로 온오프제어하게 된다.

여기서, 복수 개의 정전기제거장치(400)는 일정 지연시간(Delay time)을 간격으로 순차적으로 온오프 제어될 수도 있다.

또한, 상기 제어모듈(300)은 하나의 제어모듈(300)로 다수의 진공 챔버(100)에 형성된 한 개 이상의 정전기제거장치 각각에 대해 동시에 온오프 제어가 가능하다.

도 3을 참조하여 설명하자면, 도 3은 본 발명에 또 다른 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템의 구성도로써, 다수의 진공 챔버(100)에 형성된 각각의 센서모듈(200) 및 한 개 이상의 정전기제거장치(400), 즉 복수 개의 정전기제거장치(400)가 하나의 제어모듈(300)에 연결된다.

이하에서는 다수의 진공 챔버(100)에 대해서 제1 진공 챔버(100a), 제2 진공 챔버(100b), 제3 진공 챔버(100c)라고 정의하며, 간략한 설명을 위해 3개의 진공 챔버(100)로 한정된 상황에서 설명한다.

따라서, 상기 제1 진공 챔버(100a), 제2 진공 챔버(100b), 제3 진공 챔버(100c)의 각각의 센서모듈(200)이 각각의 피대전체(10)를 감지한 감지 신호를 기초로 상기 제어모듈(300)은 다수의 진공 챔버(100)에 형성된 한 개 이상의 정전기제거장치(400)각각에 대해 동시에 온오프 제어가 가능하다.

다음에선, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템의 온오프 제어방법에 대해 하기에서, 도 4를 참조하여, 설명하고자 한다.

먼저, 제1단계(S10) : 진공 챔버(100) 내부에서 정전기 제거가 필요한 피대전체(10)가 정전기제거장치(400) 위치하는 방향으로 진입하게 된다.

제2단계(S20) : 진입중인 피대전체(10)가 센서모듈(200) 감지범위 내로 진입하게 되면, 상기 센서모듈(200)은 상기 피대전체(10)를 감지하고, 감지신호를 생성하여 제어모듈(300)로 전송한다.

제3단계(S30) : 상기 제어모듈(300)은 상기 감지신호를 전달받아 상기 피대전체(10)가 상기 정전기제거장치(400) 조사범위 내로 진입하게 되면, 상기 정전기제거장치(400)를 온(On)상태로 제어하여 진공자외선(VUV)을 상기 피대전체(10)에 조사하게 된다.

이때, 상기 정전기제거장치(400)의 동작시간에 대해 지연시간(Delay time)을 가지게 되고, 지연시간만큼 상기 정전기제거장치(400)가 상기 피대전체(10)에 진공자외선을 조사하게 된다.

제4단계(S40) : 상기 지연시간이 초과하면 상기 제어모듈(300)은 상기 정전기제거장치(400)를 오프(Off) 상태로 제어하게 되고, 제1단계부터 제4단계까지의 과정을 반복 수행하게 된다.

따라서, 상기 센서모듈(200)을 통해 피대전체(10)의 위치를 파악할 수 있고, 상기 감지신호를 통해 실시간으로 상기 정전기제거장치(400)가 실시간으로 온오프(On/Off) 제어가 가능하다.

상기와 같은 구성을 포함하는 본 발명의 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템은 상기 정전기제거장치(400)가 내부에 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 램프를 포함하여 이루어짐으로써, 상기 제어모듈(300)에 의해 온오프(On/Off) 제어가 가능하다.

종래의 200nm이하의 단파장을 발생시킬 수 있는 일반적인 VUV 램프(Lamp)는 그 수명이 2,000시간 이하로 수명시간이 짧아 유지관리 비용이 증가하는 문제점이 있다. 따라서, 작동 시간을 연장하기 위해 온오프(On/Off)제어가 필요했으며, 현재까지 상용화되어 판매 중인 일반적인 중수소 VUV 램프는 온오프 제어할 수 없으며, 제어가 가능할지라도 25±5초 이상 예열시간이 걸려 실질적인 실시간 온오프제어가 불가능했다.

일반적인 중수소 VUV 램프는 필라멘트(Filament) 타입으로 필라멘트는 열전자를 방출하기 위해서는 예열시간(약 25sec)이 필요하다. 성능을 일정하게 유지하거나 늘리기 위해서는 필라멘트 타입의 램프에는 필라멘트는 필수적으로 들어가는 사양이기 때문이다.

하지만, 본 발명의 실시예에 따른 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템은 상술한 바와 같은 구성을 포함하여 실시간 온오프(On/Off) 제어가 가능하며, 또한, 조사 시간 조정이 가능하여 제품의 따라 최적의 적용 시간 설정이 가능해지는 효과가 있다.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야 한다.

100: 진공 챔버
200: 정전기제거장치
300: 센서모듈
400: 제어모듈
10: 피대전체

Claims (5)

1. 내부가 불활성가스로 충진되고, 일측에 피대전체가 진입하는 입구가 형성된 진공 챔버;
   상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 감지 범위 내에 들어오는 피대전체를 감지하는 센서모듈;
   상기 진공 챔버 외부에 배치되며, 상기 센서모듈로부터 피대전체에 대한 감지 신호를 전달받아 정전기제거장치를 온오프 제어가 가능하고, 정전기제거장치의 조사 시간을 조절할 수 있는 제어모듈; 및
   상기 진공 챔버 내부에 배치되어 상기 제어모듈에 의해 온오프 제어되며, 피대전체의 상부에 진공자외선 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기제거장치;를 포함하는 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 정전기제거장치는 VUV 램프를 포함하며, 상기 VUV 램프를 통해 진공자외선(VUV)을 조사하는 것을 특징으로 하는 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 VUV 램프는 내부에 필라멘트가 없고 예열시간이 필요 없이 기체를 광원으로 발광할 수 있는 불활성 기체가 봉입된 밀폐형 구조의 램프인 것을 특징으로 하는 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 제어모듈은 하나의 제어모듈로 복수 개의 정전기제거장치에 대해 제어가 가능하며, 피대전체의 이동에 따라 상기 복수 개의 정전기제거장치를 순차적으로 온오프 제어하는 것을 특징으로 하는 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 제어모듈은 하나의 제어모듈로 다수의 진공 챔버에 형성된 한 개 이상의 정전기제거장치 각각에 대해 동시에 온오프 제어 가능한 것을 특징으로 하는 진공자외선을 이용한 정전기제거장치의 온오프 제어 시스템.

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