CN115399072A - 利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统 - Google Patents
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Abstract
根据本发明的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统包括：真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。
Description
技术领域
本发明涉及利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，更详细地，通过将开/关控制系统应用于原本无独立开/关控制装置的VUV除静电装置，从而通过开/关控制装置调节除静电所需的照射时间以防止VUV导致的有机物固化的系统。
背景技术
最近，随着LCD、OLED显示装置、半导体技术进一步精密化，如沉积工序或真空腔室内工序等在减压真空环境下进行或在处置惰性气体等特殊环境下进行的工序也呈大幅增加趋势，在这种情况下，在不同于大气压环境的上述特殊环境下，X射线辐射式装置因除静电性能低而难以使用，而电晕放电式装置存在高压放电导致的溅射现象、离子平衡调整导致的不便等问题，因而难以应用。
因此，日本的滨松公司提出了一种可利用真空紫外线而在特殊环境下应用的除静电装置(JP 2816037，带电物体的中和装置)。所述技术的特征在于，包括可收纳晶片的壳体、惰性气体导入装置、中和电荷发生装置和减压装置，以便在晶片移送到减压的外壳内之前向预处理外壳内注入惰性气体，利用排气泵进行减压后照射紫外线，从而可以执行除电。所述技术包括了用于在特殊环境下除电的基础性构成，但未公开中和电荷发生装置的详细作用结构等。
因此，特别是正在开发一种连接于真空或惰性气体腔室以照射真空紫外线，从而执行除电功能的利用真空紫外线的除静电装置。
但是，这种以往的利用真空紫外线的除静电装置为灯丝(Filament)型，从而灯丝存在需要预热时间才能释放热电子的问题，这种问题导致无法对普通的利用真空紫外线的除静电装置进行开/关控制，即使可以控制，也需要预热时间(例：25秒±5秒)以上，存在难以进行实时开/关控制的问题，因此存在工序所需时间增加的问题，另外，当使利用真空紫外线的除静电装置连续点亮使用时，由于除静电装置过度运转，存在有机物因真空紫外线而发生固化的问题。
发明内容
技术问题
本发明目的是要解决如上所述问题，提供一种利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，通过开/关控制装置应用于封入了惰性气体的密闭型结构的灯，所述灯为在发光工艺上不存在灯丝，借助于外部电极而无需预热时间便可发光的结构，从而可以通过开/关控制装置，最小限度地应用除静电所需的照射时间，防止VUV导致的有机物固化。
本发明的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本发明技术领域的技术人员可以从以下记载明确理解的。
技术方案
为了达成所述目的，本发明的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统包括：真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。
另外，其特征在于，所述除静电装置包括VUV灯，通过所述VUV灯来照射真空紫外线(VUV)。
另外，其特征在于，所述VUV灯是内部无灯丝、封入了无需预热时间便能够将气体作为光源进行发光的惰性气体的密闭型结构的灯。
另外，其特征在于，所述控制模块能够通过一个控制模块对多个除静电装置进行控制，根据被带电体的移动而依次控制所述多个除静电装置的开/关。
另外，其特征在于，所述控制模块能够通过一个控制模块对在多个真空腔室中形成的一个以上除静电装置同时分别进行控制。
发明效果
根据本发明的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，通过将开/关控制装置应用于VUV除静电装置，从而能够实时进行控制，由于可调整VUV除静电装置照射时间，因而可以最大限度减少非必要操作时间，以延长VUV除静电装置的寿命，通过缩短LCD、OLED显示装置、半导体制造工序时间，从而可以获得提高制品收率的效果。
另外，由于将除静电所需的真空紫外线照射时间设置为最短时间，因而具有抑制因VUV除静电装置而可能发生的有机物固化的效果。
附图说明
图1是本发明实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的简要构成图。
图2是本发明另一实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的构成图。
图3是本发明又一实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的构成图。
图4是本发明实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的简要顺序图。
附图标记说明：
100：真空腔室
200：除静电装置
300：传感器模块
400：控制模块
10：被带电体。
具体实施方式
参照下文中与附图一起详细说明的实施例，本发明的优点及特征以及实现其的方法将显而易见。但是，本发明不限定于以下公开的实施例，可以以互不相同的多样形态体现，不过，本实施例提供用于使本发明的公开更完整，向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知发明的范畴，本发明只由权利要求项的范畴所定义。
下面参照附图，详细描述实施本发明所需的具体内容。与附图无关，相同的构件标记指称相同的构成要素，“及/或”包括提及的各个项目及一个以上的所有组合。
虽然为了叙述多样构成要素而使用了“第一”“第二”等术语，但这些构成要素当然不由这些术语所限定。这些术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素。因此，下面提及的第一构成要素在本发明的技术思想内当然也可以是第二构成要素。
本说明书中使用的术语用于描述实施例，不是要限制本发明。在本说明书中，只要在语句中未特别提及，单数型也包括复数型。说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“包括的(comprising)”，不排除在提及的构成要素之外存在或添加一个以上的其他构成要素。
如果没有不同的定义，本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可以用作本发明所属技术领域的技术人员可以共同理解的意义。另外，一般使用的字典中定义的术语，只要未明确地特别定义，不得过于或过度地解释。
下面参照附图，详细描述本发明的优选实施例。
首先参照图1进行描述，本发明实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统整体上包括真空腔室100、除静电装置400、传感器模块200、控制模块300。
因此，其要旨在于，在真空腔室100内部，通过传感器模块200掌握被带电体10的位置，将感测信号传递给控制模块300，通过控制模块300实时控制除静电装置400的开/关。
更具体地进行描述，首先，真空腔室100是随着显示装置和半导体技术进一步精密化，制造工序中的沉积工序或腔室内工序等减压真空环境或处置惰性气体等特殊环境的真空沉积设备内部，所述真空腔室100内部填充以包括氩气(Ar)、氦气(He)、氖气(Ne)等的惰性气体。
另外，所述真空腔室100在一侧形成有供被带电体10进入的入口(未示出)。因此，使得被带电体10自动通过所述入口而进入。
然后，传感器模块200用于感测进入感测范围内的被带电体10，安装于所述真空腔室100内部，如果感测到被带电体10，则生成感测信号。
所述传感器模块200为可感测物体的非接触式传感器，感测被带电体10周边的电磁场变动，或包括离子平衡检测装置，可变更应用多样传感器。
然后，控制模块300配置于所述真空腔室100外部，从所述传感器模块200接收对被带电体10的所述感测信号，可控制除静电装置的开/关。
然后，除静电装置400配置于所述真空腔室100内部，由所述控制模块300控制开/关，发挥向被带电体10的上部照射真空紫外线(VUV，Vacuum Ultra Violet)光以中和所述被带电体10的静电的作用。
所述除静电装置400包括VUV灯(Lamp)，通过所述VUV灯向被带电体10照射真空紫外线。
其中，所述VUV灯可以是在内部无灯丝、封入了无需预热时间便能够将气体作为光源进行发光的惰性气体的密闭型结构的灯。
其中，对所述灯进行更具体说明，所述灯作为在发光工艺上不包含灯丝(Filament)的结构，由于在外部(惰性气体)存在电极，因而是灯无需预热时间便可发光的结构。
另外，所述除静电装置400在所述真空腔室100内部使用，因而在减压或惰性气体环境下，包含软X射线(Soft X-Ray)的X射线辐射式不适合。所述X射线辐射式在减压或惰性气体环境下吸收光子的气体分子或原子的量极少，离子生成极少，存在除静电能力显著低下的问题。因此，最推荐真空紫外线(VUV)照射方式。
即，被带电体10进入后，所述传感器模块200感测到进入的所述被带电体10而生成感测信号并传递给所述控制模块300，所述控制模块300接收到所述感测信号后，将所述除静电装置400控制为开启(On)状态，所述除静电装置400在进入真空紫外线照射范围内时照射真空紫外线(VUV)以去除静电。除静电完成后，在所述控制模块300的控制下，所述除静电装置400被控制为关闭(Off)状态，可以最大限度减小所述除静电装置400不必要的运转(On状态)。
另外，所述控制模块300在所述除静电装置400被控制为开启(On)状态时，可以针对开启(On)状态具有延迟时间(Delay time)，所述除静电装置400与所述延迟时间相应地运转。其中，管理员可以调节所述延迟时间。
举例进行描述，如果将所述延迟时间设置为10秒，则所述传感器模块200感测到被带电体10后，所述除静电装置400在所述被带电体10进入照射范围内时，照射真空紫外线10秒后，所述除静电装置400停止运转。
因此，管理员可以通过调节开/关时间的延迟时间(Delay time)来防止所述除静电装置400的除电性能下降和不必要的运转，可以导出关于防止因此而可能发生的负面效应(例：有机物固化)的最佳条件。
另外，所述控制模块300能够通过一个控制模块300对多个所述除静电装置400进行控制，可以随着被带电体10的移动而依次控制所述多个除静电装置400的开/关。
参照图2进行描述，图2是本发明另一实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的构成图，多个除静电装置400连接于一个控制模块300。
多个除静电装置400依次罗列时，将第一个除静电装置定义为第一除静电装置400a，将第二个除静电装置定义为第二除静电装置400b，将第n个除静电装置定义为第n除静电装置400n进行描述。
首先，被带电体10进入后，传感器模块200感测到进入的被带电体10而生成感测信号并传递给控制模块300，所述控制模块300接收所述感测信号后，将第一除静电装置400a控制为开启(On)状态，在进入真空紫外线照射范围内时，所述第一除静电装置400a照射真空紫外线以去除静电。
除静电完成后，在所述控制模块300的控制下，所述第一除静电装置400a被控制为关闭(Off)状态，所述被带电体10进行移动，所述被带电体10进入第二除静电装置400b照射范围时，所述控制模块300将第二除静电装置400b控制为开启(On)状态后，如果真空紫外线照射结束，则再次将所述第二除静电装置400b控制为关闭(Off)状态，依次控制所述过程直至第n除静电装置400n，即第n个。
其中，多个除静电装置400也可以以既定延迟时间(Delay time)为间隔依次被控制开/关。
另外，所述控制模块300可以通过一个控制模块300分别对在多个真空腔室100中形成的一个以上除静电装置同时控制开/关。
参照图3进行描述，图3是本发明又一实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的构成图，在多个真空腔室100中形成的各个传感器模块200及一个以上的除静电装置400，即多个除静电装置400连接于一个控制模块300。
以下针对多个真空腔室100，定义为第一真空腔室100a、第二真空腔室100b、第三真空腔室100c，为了便于描述，在限定为3个真空腔室100的情况下进行描述。
因此，以所述第一真空腔室100a、第二真空腔室100b、第三真空腔室100c的各个传感器模块200感测各个被带电体10的感测信号为基础，所述控制模块300可以分别对在多个真空腔室100中形成的一个以上除静电装置400同时进行开/关控制。
下面参照图4，对具有如上所述构成的本发明实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的开/关控制方法进行描述。
首先，第一步骤S10：在真空腔室100内部，需要除静电的被带电体10向除静电装置400所在方向进入。
第二步骤S20：正在进入的被带电体10进入传感器模块200感测范围内后，所述传感器模块200感测到所述被带电体10，生成感测信号并传输给控制模块300。
第三步骤S30：所述控制模块300接收所述感测信号，所述被带电体10进入所述除静电装置400照射范围内后，将所述除静电装置400控制为开启(On)状态，向所述被带电体10照射真空紫外线(VUV)。
此时，针对所述除静电装置400的运转时间具有延迟时间(Delay time)，与延迟时间相应，所述除静电装置400向所述被带电体10照射真空紫外线。
第四步骤S40：超过所述延迟时间后，所述控制模块300将所述除静电装置400控制为关闭(Off)状态，反复执行第一步骤至第四步骤的过程。
因此，通过所述传感器模块200，可以掌握被带电体10的位置，通过所述感测信号，可以实时控制所述除静电装置400的开/关(On/Off)。
在包括如上构成的本发明实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统中，所述除静电装置400包括在内部封入惰性气体的密闭型结构的灯而构成，从而可以由所述控制模块300进行开/关(On/Off)控制。
以往可产生200nm以下短波长的普通VUV灯(Lamp)由于其寿命短，只有2000小时以下，存在维护管理费用增加的问题。因此，为了延长运转时间而需要控制开/关(On/Off)，迄今商用化并在售的普通重氢VUV灯无法进行开/关控制，即使可以控制，也需要25±5秒以上的预热时间，无法实现真正的实时开/关控制。
普通重氢VUV灯为灯丝(Filament)型，灯丝为了释放热电子而需要预热时间(约25秒)。这是因为，为了保持性能恒定或提高性能，在灯丝型灯中必须包括灯丝。
但是，本发明实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统包括如上所述的构成，可以实时进行开/关(On/Off)控制，另外，可以调整照射时间，具有可根据制品而设置最佳应用时间的效果。
以上参照附图描述了本发明的实施例，但本发明所属技术领域的技术人员可以理解，本发明在不变更其技术思想或必需特征的情况下，可以以其他具体形态实施。因此，以上记述的实施例在所有方面应理解为只是示例而非限定。
Claims (5)
1.一种利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，包括：
真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；
传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；
控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及
除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。
2.根据权利要求1所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述除静电装置包括VUV灯，通过所述VUV灯来照射真空紫外线(VUV)。
3.根据权利要求2所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述VUV灯是内部无灯丝、封入了无需预热时间便能够将气体作为光源进行发光的惰性气体的密闭型结构的灯。
4.根据权利要求1所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述控制模块能够通过一个控制模块对多个除静电装置进行控制，根据被带电体的移动而依次控制所述多个除静电装置的开/关。
5.根据权利要求1所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述控制模块能够通过一个控制模块对在多个真空腔室中形成的一个以上除静电装置同时分别进行开/关控制。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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