KR102065347B1 - 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 일방으로 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되도록 일 측이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부; 상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부; 상기 상부 하우징의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버와 결합되는 챔버 체결부;를 포함하여, 상기 헤드부가 상기 소켓부로부터 탈착 가능하게 결합되도록 한 것을 특징으로 한다.

Description

진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치{VUV Ionizer}
본 발명은 진공 자외선(VUV)을 이용한 정전기 제거 장치에 관한 것으로, 특히 진공 또는 불활성가스 챔버에 연결되어 진공 자외선을 조사함으로써 제전 기능을 수행하는 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 있어서, 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하고 교체 용이성을 증대시켜 산업상 이용 시 효율성 및 편의성을 극대화한 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD, 반도체 등의 제조 공정에서는 LCD나 반도체 웨이퍼에 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의하여 소자가 훼손되는 등의 문제점을 미연에 방지하기 위하여 정전기 제거 장치를 설치하는데, 일반 대기압 하에서는 코로나 방전식 장치 또는 엑스선 방사식 장치를 적용하여 주위 공기 및 가스 분자를 이온화해 제전대상 물체의 정전기를 제거할 수 있다.
한편, 최근들어 LCD, 반도체 기술이 더욱 정밀화됨에 따라 증착 공정이나 진공 챔버 내 공정과 같이 감압 진공 환경에서 진행되거나 불활성가스를 취급하는 등 특수한 환경에서 진행되는 공정도 크게 증가하고 있는 추세인데, 이 경우 엑스선 방사식 장치의 경우에는 대기압 하에서와는 달리 상술한 특수한 환경에서는 정전기 제거 성능이 낮아 활용하기 어렵고, 코로나 방전식 장치는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 문제점이 있어 적용이 어렵다.
이에 일본의 하마마쯔 회사에서는 진공 자외선을 이용하여 특수한 환경에서 적용 가능한 정전기 제거 장치를 제안(JP 2816037, 대전물체의 중화장치)하였다. 상기 기술은 웨이퍼가 감압된 하우징으로 이송되기 이전에 전처리 하우징 내에 불활성 가스를 주입하고 배기 펌프를 이용해 감압시킨 후 자외선을 투광함으로써 제전을 수행할 수 있도록, 웨이퍼 수납이 가능한 케이스와, 불활성 가스 도입 수단, 중화 전하 발생 수단 및 감압 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 기술은 특수한 환경에서의 제전을 위한 기초적 구성을 포함하였으나, 중화 전하 발생 수단의 상세 적용 구조 등은 개시되지 않았다.
따라서, 특히 진공 또는 불활성가스 챔버에 연결되어 진공 자외선을 조사함으로써 제전 기능을 수행하는 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 있어서 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하고 교체 용이성을 증대시켜 산업상 이용 시 효율성 및 편의성을 극대화하는 실용화된 기술의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명은 기본적으로 진공 또는 불활성가스 챔버에 연결되어 진공 자외선을 조사함으로써 제전 기능을 수행하는 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 있어서, 소모품인 VUV 램프만을 작업자가 간편하게 교체할 수 있도록 하는 것을 주요 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은, 일반적으로 유리재로 형성되는 VUV 램프를 효율적으로 보호하는 구조로, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치가 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하여 내구성을 높이는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 일방으로 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되도록 일 측이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부; 상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부; 상기 상부 하우징의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버와 결합되는 챔버 체결부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 VUV 램프가 Angle type으로 형성된 경우에 보다 효율적인 구조로 구현하기 위하여, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 외관을 이루는 유리재의 측면 일 측에서 외방을 향해 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되는 부위를 포함하는 일 측면이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부; 상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되되 상기 상부 하우징의 개방된 일 측면과 접하는 측면이 개방된 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부; 상기 상부 하우징과 상기 하부 하우징의 개방된 일 측면을 동시에 커버하는 것으로 상부 일 측에 조사부 관통공을 형성한 하우징 커버와, 상기 조사부를 둘러싸는 관 형상으로 일 단이 상기 조사부 관통공과 결합되고 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버와 연결되는 조사부 커버관을 포함하는 챔버 체결부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버 체결부와 상기 조사부 간 이격 공간의 양 단에는, 상기 진공 챔버와 상기 상부 하우징 내부를 밀폐 구획하는 두 개의 밀폐링이 구비되는 것을 특징으로 한다.
더불어, 상기 두 개의 밀폐링에 의해 구획된 상기 이격 공간의 양 단 사이에 기밀용 충전액이 주입되어 형성된 몰딩부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
추가적으로, 상기 헤드부는, 일 단이 상기 VUV 램프에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 상부 하우징의 하부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 하나인 제1 접속부를 추가로 포함하고, 상기 소켓부는, 일 단이 상기 커넥터에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 하부 하우징의 상부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 다른 하나로 상기 제1 접속부와 전기적 및 기계적으로 결합되는 제2 접속부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
추가적으로, 상기 헤드부는, 상부가 상기 VUV 램프의 하부와 고정 결합되고, 하부는 상기 상부 하우징의 내주면과 맞닿도록 확장되되 수직 방향으로 관통된 제1 나사공을 복수 개 구비한 플랜지를 포함하고, 상기 상부 하우징은, 내벽 일 측에서 내부를 향해 돌출되어 상기 제1 나사공과 연통되는 제2 나사공을 복수 개 구비하여, 상기 제1 나사공과 상기 제2 나사공을 관통하는 체결 수단을 매개로 상기 플랜지와 고정 연결된 상기 VUV 램프와 상기 상부 하우징이 고정 결합되는 것을 특징으로 한다.
마지막으로, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 상기 VUV 램프의 잔여 수명 시간을 카운팅하는 타이머와, 상기 VUV 램프의 온도 변화를 감지하는 온도 센서, 상기 VUV 램프의 크랙과 필라멘트의 두께 중 하나 이상을 감지하는 이미지 센서, 상기 VUV 램프에서 조사되는 진공 자외선의 광도를 감지하는 제1 광 센서, 상기 VUV 램프의 파장 이상을 감지하는 제2 광센서 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 소모품인 VUV 램프가 포함된 헤드부를 소켓부로부터 용이하게 교체시킬 수 있어 작업 효율성 및 경제성을 향상시킨다. 또한, 일반적으로 유리재로 형성되는 VUV 램프를 효율적으로 보호하는 구조로 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치가 챔버와 체결되는 부위의 밀폐력을 강화하여 내구성이 향상되는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 전체적인 모습을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 헤드부와 소켓부를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 분해 사시도.
도 4는 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 측단면도.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. 각 도면의 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 전체적인 모습을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 헤드부와 소켓부를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 분해 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 전체적인 구성을 설명하면, 상기 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는 기본적으로 VUV(진공 자외선) 램프(120)와 이를 수용하는 상부 하우징(110)을 포함하는 헤드부(100);와, 상기 상부 하우징(110)과 일체로 형성되거나, 또는 선택적으로 조립 결합되는 것으로 하부 하우징(310)과 커넥터(320) 및 팬(330)을 포함하는 소켓부(300); 및 상기 헤드부(100)의 일 측으로부터 연장되어 광 조사를 가이드하되 연장 끝단은 진공 또는 불활성가스 챔버와 연결되는 챔버 체결부(200);를 포함한다. 특히, 조립 결합 가능토록 형성되는 경우, 헤드부(100)가 상기 소켓부(300)로부터 탈착 가능하게 결합되어, 상기 소켓부(300)는 공정 내 고정 시설물 등에 결합되거나 매립되는 형태로 고정설치된 상태에서 소모품인 상기 VUV 램프(120)가 포함된 상기 헤드부(100)만을 간편하게 교체할 수 있도록 함으로써 작업 편의성, 활용성 및 경제성을 극대화할 수 있다.
각 구성에 대해 보다 상세히 설명하면, 상기 헤드부(100)는 VUV 램프(120)와 상부 하우징(110)을 기본적으로 포함하고, 추가적으로 VUV 램프(120)와 상기 상부 하우징(110) 간 연결을 매개하는 플랜지(130)를 구비할 수 있다.
상기 VUV 램프(120)는, 내부에 진공 자외선을 방사시키는 필라멘트를 포함한 구성요소들을 내장한 전구 형상의 유리재로, 방사된 진공 자외선의 조사 방향을 가이드하여 조사 효율을 높이는 조사부(121)를 포함한다. 상기 조사부(121)의 형상은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 VUV 램프(120)의 외관을 이루는 원통형 유리재의 측면 일 측에서 외방으로 수직 연장된 관으로 형성되어 전체적인 VUV 램프(120)의 형상이 '┫'와 유사한 Angle type(또는 long-nose projecting type)으로 형성할 수 있으며, 다른 실시예(미도시)로서 원통형 유리재의 상면에서 상방을 향해 연장되도록 형성한 Straight 타입인 것도 가능하다. 본 발명의 상부 하우징(110) 및 챔버 체결부(200)의 세부 형상 및 구성은 상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 형성된 방향 및 모양에 따라 변형 적용될 수 있으며, 이에 대한 실시예는 각 구성별로 상세히 후술하기로 한다.
상기 VUV 램프(120)는 외부에 마련된 전압 발생 장치와 전기적으로 연결되어 기능하는 바, 상기 헤드부(100)는 상기 VUV 램프(120)에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 상부 하우징(110)의 하부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 하나인 제1 접속부(미도시)를 포함한다. 상기 제1 접속부는 하부 하우징(310)에 배치된 제2 접속부와 소켓 접속 방식으로 전기적, 기계적으로 탈착 가능한 구조로, 상기 헤드부(100)를 소켓부(300)로부터 결합 및 분리하는 과정에서 작업자에 의해 탈착된다.
플랜지(130)는, 상기 VUV 램프(120)가 상부 하우징(110)과 체결 수단을 매개로 결합될 수 있도록 매개하는 것으로, 상부에는 상기 VUV 램프(120)의 하부가 수용될 수 있는 공간이 마련되어 상기 VUV 램프(120)의 하부와 고정 결합되고, 하부는 상부 하우징(110)의 내주면과 맞닿도록 수평 방향으로 확장 연장되되, 확장된 부위에는 수직 방향으로 관통 형성된 제1 나사공(130A)을 복수 개 구비한다.
상부 하우징(110)은, 기본적으로 내부에 상기 VUV 램프(120)를 수용하여 파손되기 쉬운 VUV 램프(120)를 커버하여 보호하고 상기 VUV 램프(120)로부터 방사되는 진공 자외선이 상기 조사부(121) 이외의 방향으로 방사되는 것을 차폐하는 역할을 수행하며, 특히 상기 VUV 램프(120)를 내부에 수용한 상태에서 소켓부(300)와 조립 결합될 수 있는 구조로 마련됨으로써 상기 헤드부(100)가 필요에 따라 용이하게 교체될 수 있도록 하는 것이다.
이를 위하여 상기 상부 하우징(110)은 상기 VUV 램프(120)보다 큰 직경을 갖는 원통 형상으로 형성되되, 상기 조사부(121)가 외부로 돌출될 수 있도록 상기 조사부(121)가 배치되는 부위와 대응되는 일 측이 개방되고, 상기 소켓부(300)와 연결되는 하부도 개방되도록 형성된다. 상기 상부 하우징(110)의 하부가 개방됨에 따라 상기 소켓부(300)와 조립된 상태에서도 상기 상부 하우징(110)의 내부 공간이 상기 하부 하우징(310)의 내부 공간과 연통되어 상기 VUV 램프(120)의 방열을 위한 공기 흐름이 원활할 수 있도록 한다.
상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 도시된 도 1 내지 도 3을 참조하여 상기 상부 하우징(110)의 일 실시예를 설명하면, 상기 상부 하우징(110)은 내부에 수용된 VUV 램프(120)의 측부로 돌출된 상기 조사부(121)가 상기 상부 하우징(110)의 외부로 돌출될 수 있도록, 상기 조사부(121) 돌출 부위를 포함하는 일 측면이 개방되도록 형성될 수 있다. 즉, 내부에 상기 VUV 램프(120)를 수용한 상태에서 상기 조사부(121)가 배치되는 일 측면이 개방되고, 상술한 바와 같이 소켓부(300)와 연결되는 하부면도 개방되도록 형성된다.
추가적으로, 상기 상부 하우징(110)에는 상기 플랜지(130)와 체결 수단을 매개로 결합될 수 있도록, 하부 내벽 일 측에서 내측으로 돌출되어 상기 제1 나사공(130A)과 연통되는 제2 나사공(110A)이 복수 개 마련될 수 있다. 상기 제2 나사공(110A)은 적어도 둘 이상 형성되어야할 것이며 서로 동일 간격으로 이격되도록 형성되어 상기 플랜지(130)와 보다 안정적으로 결합될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
소켓부(300)는 상기 헤드부(100)가 탈착될 수 있는 구조로 마련된 것으로, 하부 하우징(310)과, 커넥터(320), 팬(330)을 포함한다.
하부 하우징(310)은, 상부 및 하부가 개방된 원통 형상으로, 상단 부위는 상기 상부 하우징(110)의 하단 부위와 탈착 가능하게 결합된다. 이의 결합 구조는 도면에 도시된 바와 같이 상기 하부 하우징(310)의 상단과 상기 상부 하우징(110)의 하단 부위가 서로 암수 결합 방식으로 맞물릴 수 있는 단턱을 형성하고, 별도의 나사 등을 매개로 더욱 견고히 결합 고정시키도록 할 수 있으며 그 외 다른 공지의 기계적 결합 방식을 적용하여도 무방함은 물론이다.
추가적으로 상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 도시된 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 하부 하우징(310)은 상기 상부 하우징(110)과 결합 시 더욱 견고한 결합력이 제공될 수 있도록 하기 위하여, 상기 상부 하우징(110)의 개방된 일 측면과 접하는 측면이 개방되도록 할 수 있다. 즉, 상부 하우징(110)과 하부 하우징(310)의 개방된 측면이 연결되도록 설계함으로써 후술할 챔버 체결부(200)와 상기 하부 하우징(310)도 결합될 수 있도록 함으로써 구조적으로 더욱 견고하게 결합될 수 있도록 할 수 있다. 이의 작용은 챔버 체결부(200)의 상세 구성 설명 시 추가로 설명하기로 한다.
커넥터(320)는, 상기 하부 하우징(310)의 일 측부를 관통하도록 배치되어 상기 VUV 램프(120)와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결한다. 이 때 상기 커넥터(320)는 상기 제1 접속부(미도시)와 전기적, 기계적으로 탈착 가능하게 결합되는 제2 접속부(미도시)와 연결되도록 형성되는데, 상기 제2 접속부는 일 단이 상기 커넥터(320)에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 하부 하우징(310)의 상부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 다른 하나로 상기 제1 접속부와 전기적 및 기계적으로 결합되는 것이다.
팬(330)은, 상기 하부 하우징(310)의 개방된 하부를 향해 상기 VUV 램프(120)에서 발생되는 열의 방출을 돕기 위한 공기의 흐름을 형성시킬 수 있도록 상기 하부 하우징(310)의 하단에 배치된다. 상기 팬(330)에 의해 형성되는 공기의 흐름은 상기 하부 하우징(310)의 내부 및 상기 상부 하우징(110)의 내부를 관통하여 형성되며, 상기 상부 하우징(110)의 일 측부(바람직하게는 상면)에 별도로 마련된 공기 배출 통공을 통해 외부로 배출된다. 이 때 공기의 흐름을 더욱 효율적으로 안내하기 위하여, 상기 플랜지(130)에는 하부 둘레를 따라 체결 수단과 결합되지 않는 복수의 수직방향 통공(130B)이 마련되어, 공기가 통공(130B)을 통해 상기 VUV 램프(120)의 외면을 향해 다소 높은 압력으로 집중 공급될 수 있도록 함으로써 상기 VUV 램프(120)의 외측면에 머무르는 열기가 보다 효율적으로 배출되도록 할 수 있다.
챔버 체결부(200)는, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치에 의해 조사되는 진공 자외선이 효율적으로 진공 또는 불활성가스 챔버 내부를 향해 조사될 수 있도록 안내하는 것으로, 상기 상부 하우징(110)의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부(121)를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버(미도시)와 결합된다. 보다 상세히 설명하면, 내부에 상기 조사부(121)를 수용하며 상기 조사부(121)의 주변 부위를 감싸는 형태로 형성된 것으로, 일 단은 상기 조사부(121)의 돌출을 위해 개방된 상기 상부 하우징(110)의 일 측 개방부위를 커버하고, 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버에 연결됨으로써, 내부에 수용된 조사부(121)의 끝단이 직접 진공 챔버의 내부를 향할 수 있도록 가이드한다.
상기 VUV 램프(120)의 형상에 따른 여러 실시예 중 특히 상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 도시된 도 1 내지 도 3을 참조하여 상기 챔버 체결부(200)의 일 실시예를 설명하면, 상기 챔버 체결부(200)는 상기 상부 하우징(110)과 상기 하부 하우징(310)의 개방된 일 측면을 동시에 커버하는 것으로 상부 일 측에 조사부 관통공(210A)을 형성한 하우징 커버(210)와, 상기 조사부(121)를 둘러싸는 관 형상으로 일 단이 상기 조사부 관통공(210A)과 결합되고 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버와 연결되는 조사부 커버관(220)을 포함할 수 있으며, 상기 조사부 커버관(220)은 도 2에 도시된 바와 같이 둘 이상의 플랜지 형상의 구성을 연결시킨 방식으로 구성하는 것도 가능하다.
상술한 바와 같이 상기 상부 하우징(110)과 상기 하부 하우징(310)에 각각 마련되되 서로 접하여 연결된 개방 부위를 동시에 커버하는 상기 하우징 커버(210)가 특징적으로 구비됨으로써, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는 상기 소켓부(300)로부터 상기 상부 하우징(110)과 상기 하우징 커버(210)가 함께 탈착 가능하게 결합된다. 즉, 상기 하부 하우징(210)의 상부는 상기 상부 하우징(100)과 결합되고, 상기 하부 하우징(210)의 개방된 측면은 상기 하우징 커버(210)와 결합되도록 형성되어, 전체적으로 상기 헤드부(100)와 상기 소켓부(300) 간 결합을 상기 하우징 커버(210)가 한번 더 고정시켜 주는 구조로 마련되어 결합력이 더욱 강화될 수 있도록 한다.
추가적으로, 본 발명의 챔버 체결부(200)는, 압력 환경이 서로 다른 상기 진공 챔버와 상기 상부 하우징(110) 내부 공간을 밀폐 구획하기 위하여, 밀폐링(231)과 몰딩부(232)를 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치의 측단면도이다. 도 4를 참조하여 각 구성을 설명하면, 밀폐링(231)은 상기 챔버 체결부(200)(상기 VUV 램프(120)의 조사부(121)가 Angle type으로 형성된 실시예에서 특히 조사부 커버관(220))와 상기 조사부(121)간 이격 공간의 일측 단 또는 양 단에 각각 형성되는 것으로, 탄성재질의 링 형태로 형성되어 조사부(121)의 양 단측 둘레에 각각 끼움식으로 고정되는 패킹체이다. 상기 밀폐링(231)은 오링, 사각링 등 다양한 형상일 수 있고, 합성고무, 불소수지 등 다양한 재질로 구현될 수 있으며, 한 쌍, 즉 두 개가 구비된다. 즉, 상기 챔버 체결부(200)는 일반적으로 금속재 등으로 형성되고 상기 VUV 램프(120)는 유리재로 형성되는데, 특히 VUV 램프(120)의 파손 우려로 인해 물리적 압력을 가해 실링하는 것이 어려운 만큼, 상기 챔버 체결부(200)와 상기 조사부(121)간 이격 공간의 양 단에 탄성 재질의 밀폐링(231)을 배치하여 상기 조사부(121)에 가해지는 물리적 압력을 완충시키는 것이다.
상기 몰딩부(232)는 밀폐력을 더욱 강화하기 위해 형성되는 것으로, 상기 챔버 체결부와 상기 조사부 간 이격 공간, 바람직하게는 상기 한 쌍의 밀폐링(231) 사이 공간, 즉 상기 두 개의 밀폐링(231)에 의해 구획된 상기 이격 공간의 양 단 사이에 기밀용 충전액을 주입하여 형성한다. 이 때 상기 충전액은 액상 형태로 주입되고 이후 고상으로 굳어 상기 한 쌍의 밀폐링(231) 사이 공간을 채울 수 있도록 실리콘, 에폭시 등의 합성수지 몰딩액이나 고무액 등이 적용될 수 있다.
추가적으로, 본 발명의 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 상기 VUV 램프(120)의 잔여 수명 시간을 카운팅하는 타이머와, 상기 VUV 램프(120)의 온도 변화를 감지하는 온도 센서, 상기 VUV 램프의 크랙(균열)과 필라멘트의 두께 중 하나 이상을 감지하는 이미지 센서, 상기 VUV 램프(120)에서 조사되는 진공 자외선의 광도를 감지하는 제1 광센서 및, 상기 VUV 램프의 파장 이상을 감지하는 제2 광센서 중 하나 이상을 추가로 포함하여, 상기 VUV 램프(120)의 교체시기를 보다 실질적으로 인지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 상기 타이머는 본 발명의 상부 하우징(110) 외측면에 형성되어 작업자가 쉽게 육안으로 확인할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 상기 이미지 센서, 제 1,2 광센서 및 온도 센서는 상기 상부 하우징(110)의 내부면 일 측 또는 상기 챔버 체결부(200)(바람직하게는 조사부 커버관(220) 일 측)에 마련되어 조사되는 광의 세기, 파장의 종류 및 필라멘트에서 발생하는 열, 시각적으로 확인 가능한 크랙, 필라멘트의 열화 상태 등을 각각 센싱토록 하는 것이 바람직하다. 상기 광센서 및 온도 센서는 별도의 유무선 통신 수단을 통해 외부에 마련된 제어부 등에 정보를 전송토록 할 수 있다.
지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 엑스선관의 교체가 용이한 엑스선 이오나이저의 구성 및 작용을 상기 설명 및 도면에 표현하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하여 본 발명의 사상이 상기 설명 및 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
100: 헤드부
110: 상부 하우징
110A: 제2 나사공
120: VUV 램프
121: 조사부
130: 플랜지
130A: 제1 나사공
130B: 통공
200: 챔버 체결부
210: 하우징 커버
210A: 조사부 관통공
220: 조사부 커버관
231: 밀폐링
232: 몰딩부
300: 소켓부
310: 하부 하우징
320: 커넥터
330: 팬

Claims (9)

  1. 일방으로 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되도록 일 측이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부;
    상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부;
    상기 상부 하우징의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버와 결합되는 챔버 체결부;를 포함하며,
    상기 헤드부는,
    일 단이 상기 VUV 램프에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 상부 하우징의 하부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 하나인 제1 접속부를 추가로 포함하고,
    상기 소켓부는,
    일 단이 상기 커넥터에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 하부 하우징의 상부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 다른 하나로 상기 제1 접속부와 전기적 및 기계적으로 결합되는 제2 접속부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치.
  2. 일방으로 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되도록 일 측이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부;
    상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부;
    상기 상부 하우징의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버와 결합되는 챔버 체결부;를 포함하며,
    상기 헤드부는,
    상부가 상기 VUV 램프의 하부와 고정 결합되고, 하부는 상기 상부 하우징의 내주면과 맞닿도록 확장되되 수직 방향으로 관통된 제1 나사공을 복수 개 구비한 플랜지를 포함하고,
    상기 상부 하우징은,
    내벽 일 측에서 내부를 향해 돌출되어 상기 제1 나사공과 연통되는 제2 나사공을 복수 개 구비하여,
    상기 제1 나사공과 상기 제2 나사공을 관통하는 체결 수단을 매개로 상기 플랜지와 고정 연결된 상기 VUV 램프와 상기 상부 하우징이 고정 결합되는 것을 특징으로 하는, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치.
  3. 외관을 이루는 유리재의 측면 일 측에서 외방을 향해 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되는 부위를 포함하는 일 측면이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부;
    상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되되 상기 상부 하우징의 개방된 일 측면과 접하는 측면이 개방된 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부;
    상기 상부 하우징과 상기 하부 하우징의 개방된 일 측면을 동시에 커버하는 것으로 상부 일 측에 조사부 관통공을 형성한 하우징 커버와, 상기 조사부를 둘러싸는 관 형상으로 일 단이 상기 조사부 관통공과 결합되고 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버와 연결되는 조사부 커버관을 포함하는 챔버 체결부;를 포함하며,
    상기 헤드부는,
    일 단이 상기 VUV 램프에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 상부 하우징의 하부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 하나인 제1 접속부를 추가로 포함하고,
    상기 소켓부는,
    일 단이 상기 커넥터에 전기적으로 연결된 상태에서 상기 하부 하우징의 상부로 연장되되 연장 끝단은 암형 접속부 및 숫형 접속부 중 다른 하나로 상기 제1 접속부와 전기적 및 기계적으로 결합되는 제2 접속부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치.
  4. 외관을 이루는 유리재의 측면 일 측에서 외방을 향해 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되는 부위를 포함하는 일 측면이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부;
    상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되되 상기 상부 하우징의 개방된 일 측면과 접하는 측면이 개방된 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부;
    상기 상부 하우징과 상기 하부 하우징의 개방된 일 측면을 동시에 커버하는 것으로 상부 일 측에 조사부 관통공을 형성한 하우징 커버와, 상기 조사부를 둘러싸는 관 형상으로 일 단이 상기 조사부 관통공과 결합되고 타 단은 외부에 마련된 진공 챔버와 연결되는 조사부 커버관을 포함하는 챔버 체결부;를 포함하며,
    상기 헤드부는,
    상부가 상기 VUV 램프의 하부와 고정 결합되고, 하부는 상기 상부 하우징의 내주면과 맞닿도록 확장되되 수직 방향으로 관통된 제1 나사공을 복수 개 구비한 플랜지를 포함하고,
    상기 상부 하우징은,
    내벽 일 측에서 내부를 향해 돌출되어 상기 제1 나사공과 연통되는 제2 나사공을 복수 개 구비하여,
    상기 제1 나사공과 상기 제2 나사공을 관통하는 체결 수단을 매개로 상기 플랜지와 고정 연결된 상기 VUV 램프와 상기 상부 하우징이 고정 결합되는 것을 특징으로 하는, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 챔버 체결부와 상기 조사부 간 이격 공간의 양 단에는,
    상기 진공 챔버와 상기 상부 하우징 내부를 밀폐 구획하는 하나 이상의 밀폐링이 구비되는 것을 특징으로 하는, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 밀폐링에 의해 구획된 상기 이격 공간의 양 단 사이에 기밀용 충전액이 주입되어 형성된 몰딩부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 VUV 램프의 잔여 수명 시간을 카운팅하는 타이머와,
    상기 VUV 램프의 온도 변화를 감지하는 온도 센서,
    상기 VUV 램프의 크랙과 필라멘트의 두께 중 하나 이상을 감지하는 이미지 센서,
    상기 VUV 램프에서 조사되는 진공 자외선의 광도를 감지하는 제1 광 센서 및,
    상기 VUV 램프의 파장 이상을 감지하는 제2 광센서 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치.
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