KR20210055292A - 가이드 레일 및 이를 갖는 천장 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 천장 이송 장치에서 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 주행 레일의 분기 구간 및 곡선 구간에 구비되는 가이드 레일에 있어서, 상기 가이드 레일에서 상기 비히클의 가이드 휠과 접촉하는 측면에 상기 가이드 휠이 상하 방향으로 미끄러짐을 방지하기 위해 상기 가이드 휠을 수용하기 위한 가이드 홈을 가질 수 있다.

Description

가이드 레일 및 이를 갖는 천장 이송 장치{Guide rail and overhead hoist transport device having the same}
본 발명은 가이드 레일 및 이를 갖는 천장 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클의 주행 방향을 안내하기 위한 가이드 레일 및 이를 갖는 천장 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 대상물은 천장 이송 장치에 의해 이송된다. 상기 천장 이송 장치는 상기 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 대상물을 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 또한, 상기 천장 이송 장치는 상기 주행 레일의 상방에 구비되는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일과 선택적으로 접촉하여 상기 주행 레일의 분기 영역에서 상기 비히클의 주행 방향을 안내하는 가이드 휠을 포함할 수 있다.
상기 가이드 휠이 상기 가이드 레일과 접촉하는 위치가 일정하지 않다. 또한, 상기 가이드 레일이 구비된 주행 구간에서 원심력에 의해 상기 비히클이 기울어지고, 상기 비히클이 기울어짐에 따라 상기 가이드 레일에 대해 상기 가이드 휠이 미끄러질 수 있다. 그리고, 상기 가이드 휠의 탄성으로 인해 상기 가이드 레일과의 접촉 위치를 정확하게 제어하기 어렵다.
따라서, 상기 가이드 레일이 구비된 주행 구간에서 상기 비히클에 진동이 크게 발생하여 상기 비히클의 주행 성능이 저하될 수 있다.
본 발명은 비히클의 진동을 감소시킬 수 있는 가이드 레일을 제공한다.
본 발명은 상기 가이드 레일을 갖는 천장 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 천장 이송 장치에서 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 주행 레일의 분기 구간 및 곡선 구간에 구비되는 가이드 레일에 있어서, 상기 가이드 레일에서 상기 비히클의 가이드 휠과 접촉하는 측면에 상기 가이드 휠이 상하 방향으로 미끄러짐을 방지하기 위해 상기 가이드 휠을 수용하기 위한 가이드 홈을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 홈의 상하 폭은 상기 가이드 휠의 폭과 실질적으로 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 분기 구간 및 상기 곡선 구간에서 원심력에 의해 상기 비히클이 기울어짐에 따라 기울어진 상기 가이드 휠을 균일한 압력으로 지지하기 위해 상기 가이드 홈의 내측면은 상기 가이드 휠이 기울어진 방향을 따라 경사질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 홈에서 상기 내측면의 경사는 상기 가이드 레일의 곡률 반경에 반비례할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클에 원심력이 작용하는 구간에서만 상기 가이드 홈의 상기 내측면이 경사질 수 있다.
본 발명에 따른 천장 이송 장치는, 분기 구간 및 곡선 구간 중 적어도 하나를 포함하는 주행 레일과, 상기 주행 레일의 분기 구간 및 곡선 구간에 상기 주행 레일의 상방에 구비되는 가이드 레일 및 상기 주행 레일을 따라 접촉하여 주행하는 주행 휠 및 상기 가이드 레일과 접촉하여 방향을 조절하는 가이드 휠을 가지며, 대상물을 이송하는 비히클을 포함하고, 상기 가이드 레일에서 상기 비히클의 가이드 휠과 접촉하는 측면에 상기 가이드 휠이 상하 방향으로 미끄러짐을 방지하기 위해 상기 가이드 휠을 수용하기 위한 가이드 홈을 가질 수 있다.
본 발명에 따른 상기 가이드 레일은 상기 가이드 홈에 상기 가이드 휠을 수용하여 가이드 한다. 따라서, 상기 가이드 휠이 상기 가이드 레일에 대해 상기 상하 방향으로 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 가이드 휠과 상기 가이드 레일의 접촉 위치를 일정하게 유지할 수 있다. 그리고, 상기 가이드 휠이 탄성을 갖더라도 상기 가이드 휠과 상기 가이드 레일의 접촉 위치를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 상기 가이드 레일이 구비된 주행 구간에서 상기 비히클의 진동을 감소시킬 수 있으며, 상기 비히클의 주행 성능을 향상시킬 수 있다.
상기 분기 구간 및 상기 곡선 구간에서 상기 가이드 홈의 내측면은 상기 가이드 휠이 경사지는 방향을 따라 경사질 수 있다. 따라서, 상기 가이드 레일은 원심력에 의해 상기 비히클이 기울어짐에 따라 기울어진 상기 가이드 휠을 균일한 압력으로 지지할 수 있다. 그러므로, 상기 가이드 레일이 구비된 주행 구간에서 상기 비히클의 진동을 더욱 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 천장 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 천장 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 가이드 레일과 가이드 휠을 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 가이드 레일과 가이드 휠을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 가이드 레일을 a, b, c, d 및 e를 따라 각각 절단한 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 천장 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 천장 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 가이드 레일과 가이드 휠을 설명하기 위한 정면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 가이드 레일과 가이드 휠을 설명하기 위한 측면도이고, 도 5는 도 1에 도시된 가이드 레일을 a, b, c, d 및 e를 따라 각각 절단한 단면도들이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 천장 이송 장치(100)는 주행 레일(110), 가이드 레일(120) 및 비히클(130)을 포함한다.
상기 주행 레일(110)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되며, 상기 비히클(130)의 주행을 안내한다.
상기 주행 레일(110)은 직선 구간, 곡선 구간 및 분기 구간(또는 합류 구간)을 포함할 수 있다.
상기 직선 구간은 상기 비히클이 직진으로 주행할 수 있는 구간이고, 상기 곡선 구간은 상기 직선 구간이 일정한 곡률을 갖는 구간이며, 상기 분기 구간은 서로 이격되도록 배치된 직선 구간을 연결하는 구간을 의미한다.
상기 주행 레일(110)은 제1 레일(112) 및 제2 레일(114)을 포함할 수 있다.
상기 직선 구간 및 상기 곡선 구간에는 상기 제1 레일(112)이 배치되고, 상기 분기 구간에는 상기 제1 레일(112)에서 분기(또는 합류)하는 제2 레일(114)이 배치될 수 있다.
상기 가이드 레일(120)은 상기 곡선 구간 및 상기 분기 구간에서 상기 주행 레일(110)의 상방에 배치되며, 상기 비히클(130)의 주행 방향을 안내할 수 있다.
상기 가이드 레일(120)은 제1 가이드 레일(122)과 상기 제2 가이드 레일(124)을 포함한다.
상기 제1 가이드 레일(122)은 상기 제1 레일(112)을 따라 연장하면서 상기 비히클(100)이 상기 제1 레일(112)을 따라 주행하도록 안내하고, 상기 제2 가이드 레일(124)은 상기 제2 레일(114)을 따라 연장하면서 상기 비히클(100)이 상기 제2 레일(114)을 따라 주행하도록 안내한다. 이때, 상기 제1 가이드 레일(122) 및 상기 제2 가이드 레일(124)은 곡선 경로를 포함할 수 있다.
상기 비히클(130)은 주행 유닛(140) 및 이송 유닛(150)을 포함한다.
상기 주행 유닛(140)은 상기 주행 레일(110)을 따라 주행한다. 상기 주행 유닛(140)은 한 쌍이 구비되며, 상기 비히클(130)의 주행 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다.
상기 주행 유닛(140)은 몸체(141) 및 상기 주행 휠(142)을 포함할 수 있다. 상기 몸체(141)는 대략 육면체 형태를 갖는다. 상기 몸체(141)는 상기 이송 유닛(150)과 연결된다. 이때, 상기 몸체(141)는 상기 이송 유닛(150)에 대해 상하 방향을 중심축으로 하여 회전할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 몸체(141)의 내부에는 상기 주행 휠(142)을 회전시키기 위한 액추에이터가 구비될 수 있다.
상기 주행 휠(142)은 상기 몸체(141)의 양측면에 각각 구비된다. 상기 주행 휠(142)이 상기 주행 레일(110)과 접촉한 상태에서 회전하므로 상기 몸체(141)가 상기 주행 레일(110)을 따라 이동할 수 있다.
가이드 휠(143)은 상기 몸체(141)의 상면 전후에 상기 몸체(141)의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 상기 가이드 휠(143)은 상기 몸체(141)의 좌우 방향으로 이동할 수 있다.
상기 가이드 휠(143)은 상기 가이드 레일(120)과 접촉할 수 있다.
상기 곡선 구간에서 상기 가이드 휠(143)은 상기 제1 가이드 레일(122)의 측면과 접촉할 수 있다.
상기 분기 구간에서 상기 가이드 휠(143)은 상기 제1 가이드 레일(122)과 상기 제2 가이드 레일(124)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 예를 들면, 상기 비히클(130)이 직진 주행하는 경우, 상기 가이드 휠(143)은 제1 가이드 레일(122)의 측면과 접촉하고, 상기 비히클(130)이 분기 또는 합류를 위해 주행하는 경우, 상기 가이드 휠(143)은 상기 제2 가이드 레일(124)의 측면과 접촉할 수 있다.
상기 곡선 구간에 구비되는 상기 제1 가이드 레일(122)에서 상기 가이드 휠(143)과 접촉하는 측면 및 상기 분기 구간에 구비되는 상기 제2 가이드 레일(124)에서 상기 가이드 휠(143)과 접촉하는 측면에는 상기 가이드 휠(143)을 수용하는 가이드 홈(125)이 각각 형성될 수 있다.
상기 가이드 홈(125)은 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)의 연장 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 가이드 홈(125)은 상기 제1 가이드 레일(122)의 측면 또는 상기 제2 가이드 레일(122)의 측면 전체에 형성되거나 부분적으로 형성될 수 있다. 상기 가이드 홈(125)이 상기 제1 가이드 레일(122)의 측면 또는 상기 제2 가이드 레일(122)의 측면에 부분적으로 형성되는 경우, 상기 가이드 휠(143)이 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)과 최초 접촉하는 부위부터 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)의 중간 부위까지 형성될 수 있다. 상기 가이드 홈(125)의 상하 폭은 상기 가이드 휠(143)의 폭과 실질적으로 동일하다.
상기 가이드 휠(143)이 상기 제1 가이드 레일(122)의 측면 또는 상기 제2 가이드 레일(122)의 측면과 접촉할 때 상기 가이드 휠(143)이 상기 가이드 홈(125)에 수용될 수 있다.
상기 가이드 홈(125)은 상기 가이드 휠(143)의 상면과 하면을 지지하여 상기 가이드 휠(143)이 상하로 이동하는 것을 제한할 수 있다.
상기 비히클(130)이 상기 곡선 구간 또는 상기 분기 구간을 주행하는 경우, 원심력에 의해 상기 이송 유닛(150)이 외측으로 기울어지면서 상기 주행 유닛(140)의 일측이 부양되어 상기 비히클(130)이 기울어질 수 있다. 상기 가이드 홈(125)이 상기 가이드 휠(143)이 상하로 이동하는 것을 제한하므로, 상기 비히클(130)이 기울어지더라도 상기 가이드 휠(143)이 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)에 대해 상하로 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 가이드 휠(143)이 상기 가이드 홈(125)에 수용되므로, 상기 가이드 휠(143)과 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)과 접촉하는 접촉 위치를 일정하게 유지할 수 있다.
그리고, 상기 가이드 휠(143)이 탄성을 갖더라도 상기 가이드 휠(143)과 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)의 상기 접촉 위치를 일정하게 유지할 수 있다.
따라서, 상기 가이드 레일(120)이 구비된 상기 곡선 구간 및 상기 분기 구간에서 상기 비히클(130)의 진동을 감소시킬 수 있으며, 상기 비히클(130)의 주행 성능을 향상시킬 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 가이드 휠(143)이 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)과 최초 접촉하는 부위에서 상기 가이드 홈(125)의 상하 폭이 상기 가이드 휠(143)의 폭보다 넓도록 테이퍼 질 수 있다. 따라서, 상기 가이드 휠(143)이 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)과 최초 접촉하면서 상기 가이드 홈(143)에 의해 용이하게 안내될 수 있다.
한편, 상기 주행 유닛(140)의 일측이 부양되어 상기 비히클(130)이 기울어지더라도 상기 가이드 홈(125)이 상기 가이드 휠(143)의 상면을 지지하므로, 상기 비히클(130)이 더 이상 기울어지는 것을 방지할 수 있다. 상기 가이드 홈(143)이 상기 비히클(130)이 추가적으로 기울어지는 것을 방지하므로, 상기 곡선 구간 및 상기 분기 구간에서 상기 비히클(130)의 주행 속도를 증가시킬 수 있다.
상기 곡선 구간 또는 상기 분기 구간에서 상기 비히클(130)이 원심력에 의해 기울어짐에 따라 상기 가이드 휠(143)도 기울어진다. 상기 가이드 홈(125)의 내측면(126)은 상기 가이드 휠(143)이 기울어진 방향을 따라 경사질 수 있다. 예를 들면, 상기 내측면(126)은 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)의 상방 내측을 향해 경사질 수 있다. 따라서, 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)은 상기 기울어진 가이드 휠(143)을 균일한 압력으로 지지할 수 있다. 그러므로, 상기 가이드 레일(120)이 구비된 상기 곡선 구간 및 상기 분기 구간에서 상기 비히클(130)의 진동을 더욱 감소시킬 수 있다.
상기 가이드 레일(120)의 곡률 반경이 큰 경우 상기 비히클(130)에 원심력이 상대적으로 작게 작용한다. 상기 비히클(130)에 상기 원심력이 상대적으로 작게 작용하면, 상기 분기 구간 및 상기 곡선 구간에서 상기 비히클(130)이 적게 기울어지므로, 상기 내측면(126)이 작게 경사질 수 있다.
이와 달리 상기 가이드 레일(120)의 곡률 반경이 작은 경우 상기 비히클(130)에 원심력이 상대적으로 크게 작용한다. 상기 비히클(130)에 상기 원심력이 상대적으로 크게 작용하면, 상기 분기 구간 및 상기 곡선 구간에서 상기 비히클(130)이 크게 기울어지므로, 상기 내측면(126)이 크게 경사질 수 있다.
그러므로, 상기 가이드 홈(125)에서 상기 내측면(126)의 경사는 상기 가이드 레일(120)의 곡률 반경에 반비례할 수 있다.
상기 곡선 구간 및 상기 분기 구간 중 일부 구간에서는 상기 주행 레일(110) 및 상기 가이드 레일(120)이 직선 형태를 가지므로, 상기 비히클(130)에 원심력이 작용하지 않는다. 따라서, 상기 비히클(130)에 원심력이 작용하는 구간에서만 상기 가이드 홈(125)의 상기 내측면(126)이 경사질 수 있다.
구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2 가이드 레일(124)의 직선 구간에서는 상기 가이드 홈(125)의 상기 내측면(126)은 경사가 없고, 상기 제2 가이드 레일(124)의 곡선 구간에서는 상기 가이드 홈(125)의 상기 내측면(126)은 경사가 점차적으로 커지다가 다시 감소할 수 있다.
즉, 상기 가이드 홈(125)에서 상기 내측면(126)의 경사는 상기 가이드 휠(143)이 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)과 최초 접촉하는 부위에서부터 점차적으로 증가하다가 상기 가이드 휠(143)이 상기 제1 가이드 레일(122) 또는 상기 제2 가이드 레일(122)과 최종 접촉하는 부위로 갈수록 점차적으로 감소할 수 있다. 따라서, 상기 가이드 휠(143)이 상기 가이드 홈(125)의 상기 내측면(126)과 충격없이 안정적으로 접촉 상태를 유지할 수 있다.
한편, 상기 가이드 휠(143)은 별도의 구동부에 의해 상기 수평 방향으로 이동할 수 있다. 상기 구동부는 상기 가이드 휠(143)을 직선 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 일 예로는 솔레노이드, 리니어 모터 등을 들 수 있다.
상기 가이드 휠(143)이 상기 수평 방향으로 이동할 때 가이드 부재(미도시)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 가이드 부재는 상기 몸체(141)에 상기 수평 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 상기 가이드 휠(143)이 상기 가이드 부재를 따라 상기 수평 이동하므로, 상기 가이드 휠(143)이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐만 아니라 상기 가이드 휠(143)의 상기 수평 이동시 발생하는 진동을 줄일 수 있다.
댐퍼(144)들은 상기 몸체(141)에서 상기 가이드 휠(143)이 상기 수평 방향으로 이동할 수 있는 이동 범위의 양단에 각각 구비된다. 상기 댐퍼(144)들의 재질로는 우레탄을 들 수 있다. 상기 댐퍼(144)들은 상기 가이드 휠(143)이 정지할 때 발생하는 충격을 감소시킨다. 상기 댐퍼(144)들은 상기 가이드 휠(143)과 직접 접촉하여 상기 충격을 감소시킨다.
한편 도시되지는 않았지만, 상기 가이드 휠(143)에서 상기 댐퍼(144)들과 각각 마주보는 위치에도 제2 댐퍼들이 구비될 수 있다. 상기 제2 댐퍼들의 재질로는 우레탄을 들 수 있다. 따라서, 상기 가이드 휠(143)의 상기 수평 방향 이동에 따라 상기 제2 댐퍼들은 상기 댐퍼(144)들과 접촉한다. 그러므로, 상기 제2 댐퍼들은 상기 가이드 휠(143)이 정지할 때 발생하는 충격을 추가로 감소시킨다.
상기 댐퍼(144)들 및 제2 댐퍼들에 의해 상기 가이드 휠(143)이 정지할 때 발생하는 충격이 감소되므로, 상기 충격으로 인한 진동이 없어지는데 소요되는 시간이 더욱 단축될 수 있다. 따라서, 상기 비히클(130)이 주행 레일(20)의 상기 분기 구간으로 더욱 신속하게 진입할 수 있으며, 상기 비히클(130)이 고속으로 주행할 수 있다.
상기 이송 유닛(150)은 상기 주행 유닛(140)과 연결되며, 내부에 대상물(10)을 파지하여 이송한다.
상기 이송 유닛(150)은 하우징(151), 이동부(152), 승강부(153)) 및 파지부(155)를 포함한다.
상기 하우징(151)은 상기 주행 유닛(140)의 하부에 매달리듯 고정된다. 상기 하우징(151)은 대상물(10)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면인 정면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 일측 측면은 상기 비히클(130)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다.
상기 이동부(152)는 상기 하우징(151)의 내부 상면에 구비되며, 상기 하우징(151)의 개방된 정면을 통해 수평 이동할 수 있다.
상기 승강부(153)는 상기 이동부(152)의 하부면에 고정된다. 상기 승강부(153)는 벨트(154)를 권취하거나 권출하여 상기 벨트(154)를 승강시킬 수 있다.
상기 파지부(155)는 상기 벨트(154)의 단부에 고정되며, 상기 대상물(10)을 파지한다.
상기 승강부(153)가 상기 벨트(154)를 승강시킴에 따라 파지부(155)에 파지된 상기 대상물(10)이 상기 하우징(151)에 대해 승강할 수 있다.
또한, 상기 이동부(152)의 수평 이동에 따라 상기 카세트가(30)가 하우징(151)에 대해 수평 이동할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 천장 이송 장치는 상기 가이드 레일에 형성된 홈을 이용하여 상기 가이드 레일이 구비된 주행 구간에서 상기 비히클의 진동을 감소시킬 수 있으며, 상기 비히클의 주행 성능을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 천장 이송 장치 110 : 주행 레일
112 : 제1 레일 114 : 제2 레일
120 : 가이드 레일 122 : 제1 가이드 레일
124 : 제2 가이드 레일 130 : 비히클
140 : 주행 유닛 141 : 몸체
142 : 주행 휠 143 : 가이드 휠
144 : 댐퍼 150 : 이송 유닛
151 : 하우징 152 : 이동부
153 : 승강부 154 : 벨트
155 : 파지부 10 : 대상물

Claims (6)

  1. 천장 이송 장치에서 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 주행 레일의 분기 구간 및 곡선 구간에 구비되는 가이드 레일에 있어서,
    상기 가이드 레일에서 상기 비히클의 가이드 휠과 접촉하는 측면에 상기 가이드 휠이 상하 방향으로 미끄러짐을 방지하기 위해 상기 가이드 휠을 수용하기 위한 가이드 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 가이드 레일.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가이드 홈의 상하 폭은 상기 가이드 휠의 폭과 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 가이드 레일.
  3. 제1항에 있어서, 상기 분기 구간 및 상기 곡선 구간에서 원심력에 의해 상기 비히클이 기울어짐에 따라 기울어진 상기 가이드 휠을 균일한 압력으로 지지하기 위해 상기 가이드 홈의 내측면은 상기 가이드 휠이 기울어진 방향을 따라 경사지는 것을 특징으로 하는 가이드 레일.
  4. 제3항에 있어서, 상기 가이드 홈에서 상기 내측면의 경사는 상기 가이드 레일의 곡률 반경에 반비례하는 것을 특징으로 하는 가이드 레일.
  5. 제3항에 있어서, 상기 비히클에 원심력이 작용하는 구간에서만 상기 가이드 홈의 상기 내측면이 경사지는 것을 특징으로 하는 가이드 레일.
  6. 분기 구간 및 곡선 구간 중 적어도 하나를 포함하는 주행 레일;
    상기 주행 레일의 분기 구간 및 곡선 구간에 상기 주행 레일의 상방에 구비되는 가이드 레일; 및
    상기 주행 레일을 따라 접촉하여 주행하는 주행 휠 및 상기 가이드 레일과 접촉하여 방향을 조절하는 가이드 휠을 가지며, 대상물을 이송하는 비히클을 포함하고,
    상기 가이드 레일에서 상기 비히클의 가이드 휠과 접촉하는 측면에 상기 가이드 휠이 상하 방향으로 미끄러짐을 방지하기 위해 상기 가이드 휠을 수용하기 위한 가이드 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
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