KR20190141408A - 정렬 유닛 및 이를 갖는 비히클 - Google Patents

정렬 유닛 및 이를 갖는 비히클 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 정렬 유닛은 카세트를 이송하기 위한 비히클에서 호이스트 유닛과 상기 호이스트 유닛에 의해 승강하는 핸드 유닛을 정렬한다. 상기 정렬 유닛은, 상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 어느 하나에 구비되는 다수의 정렬 핀들과, 상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 나머지 하나에 구비되며, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위해 상기 정렬 핀들을 수용하는 홈을 갖는 다수의 홀더들 및 상기 정렬 핀들이 상기 홀더들에 삽입될 때 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 접촉을 방지하기 위해 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이에 척력이 작용하도록 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들에 자성을 인가하는 자성체들을 포함할 수 있다.

Description

정렬 유닛 및 이를 갖는 비히클{Aligning unit and vehicle having the same}
본 발명은 정렬 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 호이스트 유닛과 핸드 유닛을 정렬하기 위한 정렬 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다.
상기 비히클은 상기 카세트를 고정하는 핸드 유닛 및 상기 핸드 유닛을 벨트를 이용하여 승강시키는 호이스트 유닛을 포함한다.
상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위해 상기 호이스트 유닛에는 홀더들이 구비되고, 상기 핸드 유닛에는 상기 홀더에 삽입되는 정렬 핀들이 구비된다.
상기 핸드 유닛이 상승하면서 상기 정렬 핀들이 상기 홀더들에 각각 삽입되므로, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 안정적으로 정렬할 수 있다. 또한, 상기 비히클이 급정지하거나 급출발하더라도 상기 홀더가 상기 정렬 핀들을 지지하므로, 상기 핸드 유닛의 흔들림을 방지할 수 있다.
그러나, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛의 정렬이 약간 어긋난 경우, 상기 정렬 핀들이 상기 홀더들에 삽입되면서 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들이 마찰할 수 있다. 또한, 상기 비히클의 급정지 및 급출발시에도 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들이 마찰할 수 있다. 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들의 마찰로 인해 파티클 및 소음이 발생할 수 있다. 상기 파티클은 상기 반도체 제조 공정에서 오염원으로 작용할 수 있다.
본 발명은 호이스트 유닛과 핸드 유닛을 정렬하면서 파티클 및 소음의 발생을 억제할 수 있는 정렬 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 정렬 유닛을 포함하는 비히클을 제공한다.
본 발명에 따른 카세트를 이송하기 위한 비히클에서 호이스트 유닛과 상기 호이스트 유닛에 의해 승강하는 핸드 유닛을 정렬하기 위한 정렬 유닛은, 상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 어느 하나에 구비되는 다수의 정렬 핀들과, 상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 나머지 하나에 구비되며, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위해 상기 정렬 핀들을 수용하는 홈을 갖는 다수의 홀더들 및 상기 정렬 핀들이 상기 홀더들에 삽입될 때 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 접촉을 방지하기 위해 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이에 척력이 작용하도록 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들에 자성을 인가하는 자성체들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들이 상기 자성체로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 마찰을 줄이기 위해 상기 정렬 핀들의 외측면 및 상기 홀더들의 내측면은 엠씨 나일론 또는 테프론 재질로 코팅될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들에 상기 자성체가 각각 내장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 마찰을 줄이기 위해 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들이 엠씨 나일론 또는 테프론 재질로 이루어지거나, 상기 정렬 핀들의 외측면 및 상기 홀더들의 내측면이 상기 엠씨 나일론 또는 상기 테프론 재질로 코팅될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 정렬 핀들이 상기 홀더들과 충돌없이 상기 홈에 삽입되도록 상기 홈의 입구가 넓어지도록 테이퍼진 형상을 가질 수 있다.
본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 벨트의 하단부에 고정되며, 카세트를 고정하는 핸드 유닛 및 상기 호이스트 유닛 및 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위한 정렬 유닛을 포함하고, 상기 정렬 유닛은, 상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 어느 하나에 구비되는 다수의 정렬 핀들과, 상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 나머지 하나에 구비되며, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위해 상기 정렬 핀들을 수용하는 홈을 갖는 다수의 홀더들 및 상기 정렬 핀들이 상기 홀더들에 삽입될 때 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 접촉을 방지하기 위해 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이에 척력이 작용하도록 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들에 자성을 인가하는 자성체들을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 연결 유닛은 상기 자성체를 이용하여 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이에 척력이 작용하도록 한다. 따라서, 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들의 접촉을 최소화하고, 상기 접촉으로 인한 파티클 발생 및 소음 발생을 억제할 수 있다. 또한, 상기 척력에 의해 상기 홀더들에 상기 정렬 핀들이 고정되므로, 상기 핸드 유닛의 흔들림이나 진동을 억제할 수 있다.
상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들의 재질이나 코팅막이 마찰 계수가 낮은 엠씨 나일론이나 테프론 재질로 이루어진다. 따라서, 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들이 접촉하더라도 상기 파티클 발생 및 소음 발생을 줄일 수 있다.
상기 파티클 발생을 억제함으로써 상기 파티클에 의해 반도체 소자가 오염되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 반도체 소자의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 연결 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 정렬 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 연결 유닛을 설명하기 위한 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 비히클(100)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 카세트(20)를 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140), 핸드 유닛(150), 연결 유닛(160) 및 정렬 유닛(170)을 포함한다.
상기 주행 유닛(110)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 X축 방향을 따리 이동할 수 있다.
한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)이 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 카세트(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 카세트(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(150)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(140)은 벨트(142)로 상기 핸드 유닛(150)을 고정한다. 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 벨트(142)를 권취하거나 권출하여 상기 호이스트 유닛(140)을 승강시킬 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 카세트(20)를 고정한다.
상기 카세트(20)는 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다.
상기 연결 유닛(160)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140) 사이에 구비되며, 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 슬라이드 유닛(130)에 대해 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 연결한다.
상기 호이스트 유닛(140)이 상기 Y축 방향으로 안정적으로 이동하도록 상기 연결 유닛(160)은 한 쌍이 구비될 수 있다. 이때, 상기 한 쌍의 연결 유닛(160)은 서로 평행하도록 배치될 수 있다.
상기 연결 유닛(160)은 가이드 레일(161), 이동 블록(162), 제1 고정 브래킷(163), 제2 고정 브래킷(164), 제1 나사(165) 및 제2 나사(166)를 포함할 수 있다.
상기 가이드 레일(161)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140) 사이에 구비되며, 상기 Y축 방향을 따라 배치된다.
상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다.
예를 들면, 상기 가이드 레일(161) 및 상기 이동 블록(162)은 LM 가이드일 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다.
또한, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 가이드 레일(161)의 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면에 결합될 수 있다. 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)은 상기 제1 나사(165)에 의해 결합될 수 있다.
구체적으로, 상기 제1 나사(165)는 상기 제1 고정 브래킷(163)을 관통하여 상기 가이드 레일(161)과 체결된다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)이 안정적으로 결합될 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)은 제1 홈(163a)을 갖는다. 상기 제1 홈(163a)은 상기 제1 고정 브래킷(163)에서 상기 가이드 레일(161)과 마주보는 측면에 구비된다. 상기 제1 홈(163a)은 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 제1 홈(163a)의 상기 Z축 방향 폭은 상기 가이드 레일(161)의 상기 Z축 방향의 폭과 같거나 약간 클 수 있다. 따라서, 상기 가이드 레일(161)이 상기 제1 홈(163a)에 삽입될 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)이 결합될 때, 상기 제1 홈(163a)은 상기 가이드 레일(161)의 결합 위치를 안내할 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)을 정확하게 결합할 수 있다.
상기 가이드 레일(161)이 상기 제1 홈(163a)에 삽입되면, 상기 제1 고정 브래킷(163)이 상기 가이드 레일(161)의 하부면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 가이드 레일(161)이 하방으로 이동하거나 처지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)의 결합 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 호이스트 유닛(140)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 호이스트 유닛(140)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다.
또한, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 이동 블록(162)과 결합된다. 구체적으로, 상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)의 상기 제1 측면과 결합되는 제3 측면 및 상기 제3 측면과 반대되는 제4 측면을 갖는다. 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 제4 측면에 결합될 수 있다.
그러므로, 상기 연결 부재(160)는 상기 X축 방향으로 따라 상기 제1 고정 브래킷(163), 상기 가이드 레일(161), 상기 이동 블록(162), 상기 제2 고정 브래킷(164)의 순이나 이들의 역순으로 결합될 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)은 상기 제2 나사(166)에 의해 결합될 수 있다.
구체적으로, 상기 제2 나사(166)는 상기 제2 고정 브래킷(164)을 관통하여 상기 이동 블록(162)과 체결된다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)이 안정적으로 결합될 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)은 제2 홈(164a)을 갖는다. 상기 제2 홈(164a)은 상기 제2 고정 브래킷(164)에서 상기 이동 블록(162)과 마주보는 측면에 구비된다. 상기 제2 홈(164a)은 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 제2 홈(164a)의 상기 Z축 방향 폭은 상기 이동 블록(162)의 상기 Z축 방향의 폭과 같거나 약간 클 수 있다. 따라서, 상기 이동 블록(162)이 상기 제2 홈(164a)에 용이하게 삽입될 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)이 결합될 때, 상기 제2 홈(164a)은 상기 이동 블록(162)의 결합 위치를 안내할 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)을 정확하게 결합할 수 있다.
상기 이동 블록(162)이 상기 제2 홈(164a)에 삽입되면, 상기 제2 고정 브래킷(164)이 상기 이동 블록(162)의 하부면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 이동 블록(162)이 하방으로 이동하거나 처지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)의 결합 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)에 의해 상기 가이드 레일(161)이 상기 슬라이드 유닛(130)에 고정되고, 상기 제2 고정 브래킷(164)에 의해 상기 이동 블록(162)이 상기 호이스트 유닛(140)에 고정된다. 또한, 상기 이동 블록(162)이 상기 가이드 레일(161)을 따라 상기 Y축 방향을 따라 이동한다. 그러므로, 상기 연결 유닛(160)에 의해 상기 호이스트 유닛(140)이 상기 슬라이드 유닛(130)에 대해 상기 Y축 방향을 따라 안정적으로 수평 이동할 수 있다.
상기 연결 유닛(160)이 서로 평행하도록 한 쌍 구비되는 경우, 상기 제2 고정 브래킷(164)이 상기 X축 방향의 외측의 향하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 서로 마주보도록 배치된다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)을 체결하는 상기 제2 나사(166)가 외부로 노출될 수 있다.
상기 노출된 제2 나사(166)를 분리 및 조립함으로써 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립할 수 있다. 또한, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립하기 위해 상기 호이스트 유닛(140)을 분리할 필요가 없다. 그러므로, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다.
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 연결 유닛(160)이 서로 평행하도록 한 쌍 구비되는 경우, 상기 제1 고정 브래킷(163)이 상기 X축 방향의 외측의 향하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 서로 마주보도록 배치된다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)을 체결하는 상기 제1 나사(165)가 외부로 노출될 수 있다.
상기 노출된 제1 나사(165)를 분리 및 조립함으로써 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립할 수 있다. 또한, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립하기 위해 상기 호이스트 유닛(140)을 분리할 필요가 없다. 그러므로, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다.
상기 정렬 유닛(170)은 상기 호이스트 유닛(140)과 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 호이스트 유닛(140)과 상기 핸드 유닛(150)을 정렬한다.
상기 정렬 유닛(170)은 정렬 핀들(172), 홀더들(174) 및 자성체들(176)을 포함한다.
상기 정렬 핀들(172)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면 및 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중 어느 하나에 구비되며, 상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면 및 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중 나머지 하나에 구비된다.
구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 정렬 핀들(172)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 구비되고, 상기 홀더들(174)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 상기 정렬 핀들(172)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비되고, 상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 구비될 수 있다.
이하에서는 상기 정렬 핀들(172)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비되고, 상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 구비되는 것을 기준으로 설명한다.
상기 정렬 핀들(172)은 상기 핸드 유닛(150)의 상부면으로부터 돌출되도록 구비된다.
상기 홀더들(174)은 상기 호이스트 유닛(140)의 하부면에 노출되도록 상기 호이스트 유닛(140)에 내장된다. 상기 홀더들(174)은 상기 정렬 핀들(172)을 수용하기 위한 홈(175)을 각각 갖는다.
상기 핸드 유닛(150)이 상승함에 따라 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)의 홈(175)에 삽입되면서 상기 호이스트 유닛(140)과 상기 핸드 유닛(150)이 정렬된다.
상기 홈(175)은 상기 정렬 핀들(172)이 삽입되는 입구가 점차로 넓어지도록 테이퍼진 형상을 갖는다. 따라서, 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174)의 정렬이 약간 어긋나더라도 상기 홈(175)의 입구를 따라 상기 홈(175)에 삽입될 수 있다. 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(172)이 충돌하는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 정렬 핀들(172)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)의 홈(175)에 삽입된 상태에서 상기 정렬 핀들(175)과 상기 홀더들(174)은 일정 간격만큼 이격될 수 있다. 상기 간격은 약 0.2 내지 0.3 mm 일 수 있다.
상기 간격이 약 0.2 mm 미만인 경우, 상기 간격이 상대적으로 좁아 상기 정렬 핀들(175)이 상기 홀더들(174)에 삽입되면서 접촉할 가능성이 높다. 따라서, 상기 파티클이나 소음의 발생 가능성이 높아질 수 있다.
상기 간격이 약 0.3 mm를 초과하는 경우, 상기 간격이 상대적으로 넓어 상기 정렬 핀들(175)이 상기 홀더들(174)의 내부에서 요동할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)의 흔들림이나 진동을 억제하기 어렵다.
상기 자성체들(176)은 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이에 척력이 작용하도록 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)에 자성을 인가한다.
구체적으로, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 자성체로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 영구 자석이나 전자석일 수 있다.
상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이에 척력이 작용하므로, 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)에 삽입될 때 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 접촉으로 인한 파티클이나 소음의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 상기 척력에 의해 상기 홀더들(174)에 상기 정렬 핀들(172)이 고정되므로, 상기 핸드 유닛(150)의 흔들림이나 진동을 억제할 수 있다.
한편, 상기 정렬 핀들(172)의 외측면 및 상기 홀더들(174)의 내측면은 저마찰 계수를 갖는 재질로 코팅될 수 있다. 상기 재질의 예로는 엠씨 나일론(MC Nylon) 재질 또는 테프론 재질을 들 수 있다. 따라서, 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉하더라도 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 마찰을 최소화할 수 있다. 따라서, 상기 마찰로 인한 상기 파티클 및 소음의 발생을 최소화할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 정렬 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 자성체들(176)은 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)에 내장될 수 있다. 즉, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 영구 자석이나 전자석일 수 있다.
상기 자성체들(176)에 의해 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이에 척력이 작용하므로, 상기 정렬 핀들(172)이 상기 홀더들(174)에 삽입될 때 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 접촉으로 인한 파티클이나 소음의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 상기 척력에 의해 상기 홀더들(174)에 상기 정렬 핀들(172)이 고정되므로, 상기 핸드 유닛(150)의 흔들림이나 진동을 억제할 수 있다.
한편, 상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)은 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 이루어질 수 있다. 상기 재질의 예로는 상기 엠씨 나일론 재질 또는 상기 테프론 재질일 수 있다.
또한, 상기 정렬 핀들(172)의 외측면 및 상기 홀더들(174)의 내측면은 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 코팅될 수 있다. 상기 재질의 예로는 상기 엠씨 나일론 재질 또는 상기 테프론 재질을 들 수 있다.
상기 정렬 핀들(172) 및 상기 홀더들(174)이 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 이루어지거나 상기 저마찰 계수를 갖는 재질로 코팅되므로, 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 접촉하더라도 상기 정렬 핀들(172)과 상기 홀더들(174) 사이의 마찰을 최소화할 수 있다. 따라서, 상기 마찰로 인한 상기 파티클 및 소음의 발생을 최소화할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 정렬 유닛을 이용하여 파티클 및 소음의 발생없이 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬할 수 있다. 상기 파티클 발생을 억제함으로써 상기 파티클에 의해 반도체 소자가 오염되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 반도체 소자의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
120 : 프레임 유닛 130 : 슬라이드 유닛
140 : 호이스트 유닛 150 : 핸드 유닛
160 : 연결 유닛 161 : 가이드 레일
162 : 이동 블록 163 : 제1 고정 브래킷
164 : 제2 고정 브래킷 165 : 제1 나사
166 : 제2 나사 170 : 정렬 유닛
172 : 정렬 핀 174 : 홀더
175 : 홈 176 : 자성체
10 : 주행 레일 20 : 카세트

Claims (7)

  1. 카세트를 이송하기 위한 비히클에서 호이스트 유닛과 상기 호이스트 유닛에 의해 승강하는 핸드 유닛을 정렬하기 위한 정렬 유닛에 있어서,
    상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 어느 하나에 구비되는 다수의 정렬 핀들;
    상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 나머지 하나에 구비되며, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위해 상기 정렬 핀들을 수용하는 홈을 갖는 다수의 홀더들; 및
    상기 정렬 핀들이 상기 홀더들에 삽입될 때 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 접촉을 방지하기 위해 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이에 척력이 작용하도록 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들에 자성을 인가하는 자성체들을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들이 상기 자성체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정렬 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 마찰을 줄이기 위해 상기 정렬 핀들의 외측면 및 상기 홀더들의 내측면은 엠씨 나일론 또는 테프론 재질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 정렬 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들에 상기 자성체가 각각 내장되는 것을 특징으로 하는 정렬 유닛.
  5. 제4항에 있어서, 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 마찰을 줄이기 위해 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들이 엠씨 나일론 또는 테프론 재질로 이루어지거나, 상기 정렬 핀들의 외측면 및 상기 홀더들의 내측면이 상기 엠씨 나일론 또는 상기 테프론 재질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 정렬 유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 정렬 핀들이 상기 홀더들과 충돌없이 상기 홈에 삽입되도록 상기 홈의 입구가 넓어지도록 테이퍼진 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 정렬 유닛.
  7. 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하는 주행 유닛;
    상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛;
    상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛;
    상기 벨트의 하단부에 고정되며, 카세트를 고정하는 핸드 유닛; 및
    상기 호이스트 유닛 및 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위한 정렬 유닛을 포함하고,
    상기 정렬 유닛은,
    상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 어느 하나에 구비되는 다수의 정렬 핀들;
    상기 호이스트 유닛의 하부면 및 상기 핸드 유닛의 상부면 중 나머지 하나에 구비되며, 상기 호이스트 유닛과 상기 핸드 유닛을 정렬하기 위해 상기 정렬 핀들을 수용하는 홈을 갖는 다수의 홀더들; 및
    상기 정렬 핀들이 상기 홀더들에 삽입될 때 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이의 접촉을 방지하기 위해 상기 정렬 핀들과 상기 홀더들 사이에 척력이 작용하도록 상기 정렬 핀들 및 상기 홀더들에 자성을 인가하는 자성체들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
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KR20210087285A (ko) * 2020-01-02 2021-07-12 세메스 주식회사 Oht 장치

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