KR20190143373A - 물품 반송체 - Google Patents

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Abstract

지지부는, 주행부에 지지된 제1 부분과, 유지부에 연결된 제2 부분과, 제1 부분과 제2 부분 사이에 설치된 댐퍼부를 구비한다. 댐퍼부는, 제2 부분에 대한 제1 부분의 이동을 특정 안내 방향을 따라 안내하는 안내부와, 제1 부분 및 제2 부분의 각각에 연결되어, 제2 부분에 대한 제1 부분의 이동에 연동하는 링크 기구와, 탄성체를 구비한다. 탄성체는, 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 링크 기구에 연결되어 있다.

Description

물품 반송체{ARTICLE TRANSPORT BODY}
본 발명은, 주행부와, 물품을 유지하는 유지부와, 주행부에 대하여 유지부를 지지하는 지지부를 포함한 물품 반송체에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송체의 일례가, 일본공개특허 제2016-94263호 공보(특허문헌 1)에 개시되어 있다. 이하, 배경기술의 설명에 있어서 괄호 내에 나타내는 부호는 특허문헌 1의 것이다. 특허문헌 1에는, 주행 이동부(16)와, 반송물(6)을 유지하는 반송물 지지부(32)와, 주행 이동부(16)에 대하여 반송물 지지부(32)를 지지하는 지지기구(機構)(23)를 구비한 천장 반송차(1)가 개시되어 있다. 지지 기구(23)는, 승강 조작 기구(24)를 통하여 주행 이동부(16)에 지지된 승강체(31)와, 반송물 지지부(32)를 지지하는 안내 지지부(35)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 천장 반송차(1)에서는, 고무재 등의 탄성 부재에 의해 구성되어 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 완충체(36)를, 승강체(31)와 안내 지지부(35) 사이에 설치함으로써, 반송물 지지부(32)에 유지된 반송물(6)로의 주행 이동부(16) 측으로부터의 진동 전달을 억제하고 있다.
상기한 바와 같이, 특허문헌 1에 기재된 구성에서는, 진동의 억제 대상이 되는 방향(이하, 「대상 방향」이라고 함)으로 변형 가능한 탄성체를, 대상 방향으로 상대 변위 가능하게 설치된 2개의 부재(특허문헌 1의 구성에서는 승강체와 안내 지지부)로 협지함으로써, 2개의 부재 사이에서 대상 방향의 진동 전달을 억제하여, 유지부에 유지된 물품으로의 주행부 측으로부터의 진동의 전달을 억제하고 있다. 이와 같은 구성에서는, 2개의 부재의 대상 방향에 있어서의 상대 변위에 따라서, 2개의 부재의 상대 변위량과 동일한 정도로 탄성체가 대상 방향으로 변형됨으로써, 2개의 부재 사이에서 대상 방향의 진동 전달이 억제되므로, 탄성체로서, 원하는 탄성 변형 특성(하중에 대한 변형량 등)을 대상 방향에 있어서 가지는 것을 사용할 필요가 있다. 그러나, 탄성체의 배치 공간의 제약 등에 의해, 원하는 탄성 변형 특성을 대상 방향에 있어서 가지는 탄성체를 사용하는 것이 곤란한 경우가 있다.
이에, 유지부에 유지된 물품으로의 주행부 측으로부터의 진동의 전달을 탄성체를 이용하여 억제하는 경우에, 탄성체에 요구되는 탄성 변형 특성의 제약을 완화할 수 있는 물품 반송체의 실현이 기대된다.
본 개시에 관한 물품 반송체는 주행부와, 물품을 유지하는 유지부와, 상기 주행부에 대하여 상기 유지부를 지지하는 지지부를 포함하고, 상기 지지부는, 상기 주행부에 지지된 제1 부분과, 상기 유지부에 연결된 제2 부분과, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 설치된 댐퍼부를 구비하고, 상기 댐퍼부는, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 이동을 특정 안내 방향을 따라 안내하는 안내부와, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 각각에 연결되어, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 이동에 연동하는 링크 기구와, 탄성체를 구비하고, 상기 탄성체는, 상기 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 상기 링크 기구에 연결되어 있다.
본 구성에서는, 제1 부분과 제2 부분 사이에 설치된 댐퍼부가, 제2 부분에 대한 제1 부분의 이동을 특정 안내 방향을 따라 안내하는 안내부와, 제2 부분에 대한 제1 부분의 이동에 연동하는 링크 기구와, 탄성체를 구비하고, 탄성체가 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 링크 기구에 연결된다. 따라서, 제1 부분과 제2 부분 사이에서의 안내 방향의 진동의 전달을 댐퍼부에 의해 억제할 수 있다. 이 때, 탄성체는, 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 링크 기구에 연결되므로, 링크 기구에 의한 변위량이나 변위 방향의 변환 작용에 의해, 탄성체의 변형량을 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위량에 대하여 상이하게 하는 것이나, 탄성체의 변형 방향을 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위 방향(즉, 안내 방향)과 상이하게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 탄성체가 제1 부분과 제2 부분으로 협지되는 경우와는 상이하고, 탄성체에 요구되는 탄성 변형 특성을, 링크 기구의 구성이나 링크 기구에 대한 탄성체의 연결 구성 등에 의해 조정할 수 있고, 탄성체에 요구되는 탄성 변형 특성의 제약을 완화할 수 있다. 그리고, 상기의 구성에서는, 제1 부분이 주행부에 지지되고, 제2 부분이 물품을 유지하는 유지부에 연결되므로, 유지부에 유지된 물품으로의 주행부 측으로부터의 안내 방향의 진동 전달을, 탄성체를 이용하여 억제할 수 있다.
이와 같이, 상기의 구성에 의하면, 유지부에 유지된 물품으로의 주행부 측으로부터의 진동의 전달을 탄성체를 이용하여 억제하는 경우에, 탄성체에 요구되는 탄성 변형 특성의 제약을 완화할 수 있다.
물품 반송체의 추가의 특징과 이점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확하게 된다.
[도 1] 제1 실시형태에 관한 물품 반송체의 측면도이다.
[도 2] 제1 실시형태에 관한 지지부의 종단 정면도이다.
[도 3] 제1 실시형태에 관한 지지부의 횡단 평면도이다.
[도 4] 제1 실시형태에 관한 지지부의 제1 부분이 제2 부분에 대하여 안내 방향 제1 측으로 변위되어 있는 상태를 나타낸 도면이다.
[도 5] 제1 실시형태에 관한 지지부의 제1 부분이 제2 부분에 대하여 안내 방향 제2 측으로 변위되어 있는 상태를 나타낸 도면이다.
[도 6] 제2 실시형태에 관한 지지부의 종단 정면도이다.
[도 7] 제2 실시형태에 관한 지지부의 횡단 평면도이다.
[도 8] 제2 실시형태에 관한 지지부의 제1 부분이 제2 부분에 대하여 안내 방향 제1 측으로 변위되어 있는 상태를 나타낸 도면이다.
[도 9] 제2 실시형태에 관한 지지부의 제1 부분이 제2 부분에 대하여 안내 방향 제2 측으로 변위되어 있는 상태를 나타낸 도면이다.
[제1 실시형태]
물품 반송체의 제1 실시형태에 대하여, 도면(도 1∼도 5)을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송체(1)는 주행부(2)와, 물품(9)을 유지하는 유지부(3)와, 주행부(2)에 대하여 유지부(3)를 지지하는 지지부(4)를 포함하고 있다. 주행부(2)는, 주행 레일(8)[여기서는, 한 쌍의 주행 레일(8)]을 따라 주행하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 주행부(2)가 구비하는 주행 기구(21)는, 주행 레일(8) 상을 전동(轉動)하는 주행륜(23)과, 주행륜(23)을 구동하는 주행용 모터(22)(구동력원의 일례)를 구비하고 있다. 주행륜(23)이 주행용 모터(22)에 의해 구동됨으로써, 주행부(2)가 주행 레일(8)을 따라 주행한다. 주행 기구(21)는, 주행부(2)의 주행 레일(8)을 따른 주행을 안내하는 안내륜(24)을 구비하고 있고, 안내륜(24)이 주행 레일(8)의 측면에 접촉 안내된 상태에서, 주행부(2)가 주행 레일(8)에 따라 주행한다. 이와 같이, 주행부(2)의 주행 방향 A는, 주행 레일(8)의 연장　방향이다.
주행 레일(8)은, 천장으로부터 매달아 지지되는 상태로 천장에 고정되어 있다. 즉, 물품 반송체(1)는, 천장 측에 설치된 주행 레일(8)에 따라 주행하는 천장 반송차이다. 그리고, 지지부(4)는, 유지부(3)가 주행부(2)에 대하여 하측(연직 방향 V의 하측)에 배치되도록, 유지부(3)를 주행부(2)에 대하여 지지하고 있다. 구체적으로는, 지지부(4)는, 주행부(2)가 구비하는 승강 기구(25)에 의해 매달아 지지되고 있다.
승강 기구(25)는, 벨트나 와이어 등의 전동 부재(28)와, 전동 부재(28)가 권취된 권취체(27)와, 권취체(27)를 회전시키는 승강용 모터(26)(구동력원의 일례)를 구비하고 있다. 전동 부재(28)의 선단부에는 지지부(4)[후술하는 제1 부분(41)]가 연결되어 있고(도 2 참조), 권취체(27)가 승강용 모터(26)에 의해 정방향 또는 역방향으로 회전되어 전동 부재(28)가 감기거나 또는 풀림으로써, 전동 부재(28)에 의해 매달아 지지된 상태로 지지부(4)가 상승 또는 하강된다. 승강 기구(25)는, 주행부(2)의 주행 시의 높이인 제1 높이(도 1에 나타내는 높이)와, 제1 높이보다 낮은 높이로서 물품(9)의 이송탑재(移載) 대상 개소[예를 들면, 처리 장치의 로드 포트(load port)] 사이에서 물품(9)을 주고받는 높이인 제2 높이와의 사이에서, 지지부(4)를 승강시킨다. 주행부(2)는 커버부(20)를 구비하고 있고, 지지부(4)가 제1 높이에 위치하는 상태에서, 유지부(3)에 유지된 물품(9)의 상측(연직 방향 V의 상측) 및 주행 방향 A의 양측이 커버부(20)에 의해 피복된다. 상세한 내용은 후술하지만, 유지부(3)는, 이와 같이 주행부(2)에 매달아 지지된 지지부(4)[후술하는 제2 부분(42)]에 연결되어 있다. 이에 의해, 유지부(3)는 지지부(4)에 의해 주행부(2)에 매달아 지지되고 있다.
유지부(3)는, 물품(9)을 상측으로부터 유지하도록 구성되어 있다. 여기서는, 물품 반송체(1)가 반송하는 물품(9)은 반도체 웨이퍼를 수용하는 용기이고, 구체적으로는, FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 그리고, 유지부(3)는, 물품(9)의 상부에 형성된 플랜지부(flange portion)(9a)를 파지하는 파지부(30)[여기서는, 한 쌍의 파지부(30)]를 구비하고 있다. 즉, 유지부(3)는 물품(9)을 파지함으로써 상기 물품(9)을 유지한다. 플랜지부(9a)의 상면에는, 하측으로 움푹한 오목부가 형성되어 있고, 물품(9)이 파지부(30)에 파지되고 있는 상태에서, 유지부(3)가 구비하는 걸어맞춤부(32)가 상기 오목부에 대하여 상측으로부터 끼워맞추어지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 유지부(3)에 의한 물품(9)의 유지 안정성을 향상시키는 것이 가능하게 되어 있다.
유지부(3)는, 파지부(30)의 상태를 전환하는 파지용 모터(31)(도 2 참조)를 구비하고 있고, 파지부(30)의 상태는 파지용 모터(31)의 구동에 의해, 플랜지부(9a)를 지지하는 지지 상태(도 1에 나타내는 상태)와, 플랜지부(9a)에 대한 지지를 해제하는 해제 상태로 전환된다. 구체적으로는, 한 쌍의 파지부(30)의 각각의 위치 및 자세 중 적어도 한쪽을 전환하여 한 쌍의 파지부(30)를 서로 접근시킴으로써, 파지부(30)의 상태가 해제 상태로부터 지지 상태로 전환되고, 한 쌍의 파지부(30)의 각각의 위치 및 자세 중 적어도 한쪽을 전환하여 한 쌍의 파지부(30)를 서로 이간시킴으로써, 파지부(30)의 상태가 지지 상태로부터 해제 상태로 전환된다. 물품(9)을 물품 반송체(1)로부터 이송탑재 대상 개소에 이송탑재하는 경우에는, 지지부(4)가 전술한 제2 높이에 위치하는 상태에서 파지부(30)의 상태가 지지 상태로부터 해제 상태로 전환되고, 물품(9)을 이송탑재 대상 개소로부터 물품 반송체(1)에 이송탑재하는 경우에는, 지지부(4)가 제2 높이에 위치하는 상태에서 파지부(30)의 상태가 해제 상태로부터 지지 상태로 전환된다.
이하, 본 개시의 주요부인 지지부의 구성에 대하여 설명한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 지지부(4)는, 주행부(2)에 지지된 제1 부분(41)과, 유지부(3)에 연결된 제2 부분(42)과, 제1 부분(41)과 제2 부분(42) 사이에 설치된 댐퍼부(43)를 구비하고 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 전동 부재(28)의 선단부가 제1 부분(41)에 연결됨으로써, 제1 부분(41)이 주행부(2)에 매달아 지지되고 있다. 제1 부분(41)은 판형으로 형성되어 있고, 제1 부분(41)은, 수평면을 따르는 방향으로 배치되도록 주행부(2)에 지지되고 있다. 여기서는, 지지부(4)는, 댐퍼부(43)의 수용 공간을 형성하는 상자형으로 형성된 케이스를 구비하고, 상기 케이스의 상벽부(上壁部)(상기 수용 공간을 상측으로부터 덮는 부분)가 제1 부분(41)을 구성하고 있다.
제2 부분(42)은, 안내 방향 G(후술함)에 교차하는 방향(여기서는, 안내 방향 G에 직교하는 방향)으로 제1 부분(41)과 대향하도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 제2 부분(42)은 제1 부분(41)과 연직 방향 V에 대향하도록, 제1 부분(41)에 대하여 하측에 배치되어 있다. 제2 부분(42)은 평판형으로 형성되어 있고, 제2 부분(42)은, 수평면을 따르는 방향으로 배치되도록 제1 부분(41)에 지지되고 있다. 제2 부분(42)은, 댐퍼부(43)가 구비하는 후술하는 안내부(50)에 의해, 제1 부분(41)에 대한 연직 방향 V 및 수평 방향 H(안내 방향 G에 직교하는 수평 방향)의 이동이 규제된 상태에서, 안내 방향 G를 따라 이동 가능하게 제1 부분(41)에 지지되고 있다.
제2 부분(42)은 유지부(3)에 연결됨으로써, 유지부(3)를 지지하고 있다. 전술한 바와 같이, 유지부(3)는 파지부(30)를 구비하고 있고, 파지부(30)는, 지지 상태와 해제 상태로 파지부(30)의 상태를 전환하는 것이 가능하도록 제2 부분(42)에 지지됨으로써, 제2 부분(42)에 연결되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 여기서는, 한 쌍의 파지부(30)가, 안내 레일과 안내 레일에 안내 지지되는 안내 블록을 구비한 직동(直動) 기구에 의해, 서로 접근 및 이격되는 것이 가능하도록 제2 부분(42)에 지지되고 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지부(4)는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에(바꾸어 말하면, 제2 부분(42)이 제1 부분(41)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에), 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 위치를 중립 위치(도 3에 나타내는 위치)로 복귀시키기 위한 가압 부재(90)를 구비하고 있다. 지지부(4)는, 제1 부분(41)을 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G의 일방측(一方側)인 안내 방향 제1 측 G1에 가압하는 가압 부재(90)와, 제1 부분(41)을 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G의 타방측(他方側)인 안내 방향 제2 측 G2에 가압하는 가압 부재(90)의, 2종류의 가압 부재(90)를 구비하고 있다. 여기서는, 가압 부재(90)로서, 안내 방향 G를 따라 신축하는 인장 스프링(인장 코일 스프링)을 사용하고 있다.
제1 부분(41)을 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 제1 측 G1에 가압하는 가압 부재(90)는, 안내 방향 제2 측 G2의 단부(端部)에 설치된 훅이 제1 부분(41)에 고정된 제1 고정부(91)에 걸리고, 안내 방향 제1 측 G1의 단부에 설치된 훅이 제2 부분(42)에 고정된 제2 고정부(92)에 걸려 있다. 또한, 제1 부분(41)을 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 제2 측 G2에 가압하는 가압 부재(90)는, 안내 방향 제1 측 G1의 단부에 설치된 훅이 제1 부분(41)에 고정된 제1 고정부(91)에 걸리고, 안내 방향 제2 측 G2의 단부에 설치된 훅이 제2 부분(42)에 고정된 제2 고정부(92)에 걸려 있다. 그리고, 이들 2종류의 가압 부재(90)의 가압력이 균형잡히는 위치가 중립 위치로 되어 있다. 이에 의해, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 중립 위치로부터 안내 방향 G의 어떠한 측으로 이동한 경우라도, 이들 2종류의 가압 부재(90)에 의해 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 위치가 중립 위치로 복귀된다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 댐퍼부(43)는, 연직 방향 V에 있어서의 제1 부분(41)과 제2 부분(42) 사이에 설치되어 있다. 댐퍼부(43)는 안내부(50)와, 링크 기구(70)와, 탄성체(60)를 구비하고 있다. 안내부(50)는, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 이동을 특정 안내 방향 G를 따라 안내한다. 즉, 제1 부분(41)과 제2 부분(42)은, 안내부(50)에 의해 안내 방향 G를 따라 상대 이동 가능하게 구성되어 있다. 여기서는, 댐퍼부(43)는, 수평 방향 H의 서로 상이한 위치에 배치된 2개의 안내부(50)를 구비하고 있다. 이들 2개의 안내부(50)는 수평 방향 H의 배치 위치를 제외하고 동일하게 구성되어 있으므로, 이하에서는 이들 2개의 안내부(50)를 구별하지 않고 설명한다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 안내부(50)는, 안내 방향 G를 따라 설치되는 안내 레일(52)과, 안내 레일(52)에 의해 안내 방향 G를 따라 안내 지지되는 안내 블록(51)을 구비하고 있다. 안내 블록(51)은, 안내 레일(52)에 대한 안내 방향 G에 직교하는 각 방향(연직 방향 V나 수평 방향 H 등)의 이동이 규제되도록 안내 레일(52)에 끼워맞추고 있고, 제1 부분(41)과 제2 부분(42)은, 안내 방향 G에 직교하는 각 방향의 상대 이동이 규제된 상태에서, 안내 방향 G를 따라 상대 이동 가능하게 구성되어 있다. 여기서는, 안내부(50)는, 안내 방향 G의 서로 다른 위치에 있어서 안내 레일(52)에 안내 지지되는 한 쌍의 안내 블록(51)을 구비하고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 안내 레일(52)은 주행부(2)의 주행 방향 A를 따르도록 설치되어 있다. 즉, 안내 방향 G은 주행 방향 A을 따르는 방향이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 안내 블록(51)은, 제1 부분(41)에 있어서의 제2 부분(42)과의 대향면[여기서는, 제1 부분(41)의 하면]에 고정되고, 안내 레일(52)은, 제2 부분(42)에 있어서의 제1 부분(41)과의 대향면[여기서는, 제2 부분(42)의 상면]에 고정되어 있다. 이와 같은 구성과는 상이하고, 안내 레일(52)이, 제1 부분(41)에 있어서의 제2 부분(42)과의 대향면에 고정되고, 안내 블록(51)이, 제2 부분(42)에 있어서의 제1 부분(41)과의 대향면에 고정되는 구성으로 하는 것도 가능하다. 또한, 안내부(50)로서, 안내 블록(51)과 안내 레일(52)을 이용하는 구성 이외의 구성을 채용하는 것도 가능하다.
링크 기구(70)는 제1 부분(41) 및 제2 부분(42)의 각각에 연결되어, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 이동에 연동하도록 구성되어 있다. 즉, 링크 기구(70)는, 제1 부분(41)과 제2 부분(42)의 안내 방향 G를 따른 상대 이동에 연동하도록 구성되어 있다. 그리고, 탄성체(60)는, 링크 기구(70)의 동작을 감쇠시키도록 링크 기구(70)에 연결되어 있다. 이에 의해, 제1 부분(41)과 제2 부분(42) 사이에서의 안내 방향 G의 진동의 전달을, 댐퍼부(43)에 의해 억제하는 것이 가능하게 되어 있다. 후술하는 바와 같이, 댐퍼부(43)는 복수(구체적으로는, 2개)의 링크 기구(70)를 구비하고 있고, 탄성체(60)는 링크 기구(70)의 각각에 연결되어 있다. 그리고, 탄성체(60)에는, 탄성에 더하여 점성을 가지는 점탄성체를 포함한다. 탄성체(60)로서 점탄성체를 사용함으로써, 진동 에너지의 흡수 성능(진동의 쇠퇴 성능)을 높이고, 제1 부분(41)과 제2 부분(42) 사이에서의 안내 방향 G의 진동의 전달을 억제하기 용이해진다. 예를 들면, 탄성체(60)로서, 아크릴 고무나 우레탄 고무 등의 고무에 의해 형성된 점탄성체를 사용할 수 있다.
이하, 본 실시형태에 관한 링크 기구(70) 및 탄성체(60)의 구체적 구성에 대하여 설명한다. 그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 댐퍼부(43)는, 수평 방향 H의 서로 상이한 위치에 배치된 2개의 링크 기구(70)를 구비하고 있다. 이들 2개의 링크 기구(70)는, 수평 방향 H에 서로 반전시킨 구성[수평 방향 H에 직교하는 면을 대칭면으로서 경상(鏡像) 대칭의 관계로 되는 구성]을 가지고 있으므로, 이하에서는 이들 2개의 링크 기구(70)를 구별하지 않고 설명한다. 그리고, 댐퍼부(43)가 구비하는 링크 기구(70)의 개수는 적절히 변경 가능하고, 댐퍼부(43)가 링크 기구(70)를 하나만 또는 3개 이상 구비하는 구성으로 할 수도 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 링크 기구(70)는, 연결부(73)에 있어서 안내 방향 G에 교차하는 회전 축심(軸心)(R) 주위로 회전 가능하게 연결된 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)를 구비하고 있다. 여기서는, 회전 축심(R)은, 안내 방향 G에 직교하는 축심이다. 지지부(4)는, 상기 회전 축심(R)이 연직 방향 V를 따르도록 주행부(2)에 지지된다. 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)는, 회전 축심(R)을 따라 연장되도록 연결부(73)에 배치된 제3 연결 부재(13)(여기서는, 연결 핀)를 통하고, 연결부(73)에 있어서 회전 가능하게 서로 연결되어 있다.
제1 링크체(71)는, 연결부(73)와는 상이한 위치에 있어서 제1 부분(41)에 대하여 회전 가능하게 연결되어 있다. 제1 링크체(71)는, 제1 부분(41)에 대하여 회전 축심(R)에 평행한 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 여기서는, 제1 링크체(71)는, 연직 방향 V를 따른 연직 방향에서 볼 때(도 3 참조) 직선형으로 연장되도록 형성되어 있다. 그리고, 연직 방향에서 볼 때, 제1 링크체(71)의 일단부(一端部)에 연결부(73)가 형성되고, 제1 링크체(71)의 타단부(他端部)에 제1 링크체(71)와 제1 부분(41)의 연결부가 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 링크체(71)는, 회전 축심(R)에 평행한 축심을 따라 연장되도록 배치된 제1 연결 부재(11)(여기서는, 연결 핀)를 통하여, 제1 부분(41)에 고정된 장착 부재(10)에 회전 가능하게 연결되어 있다. 장착 부재(10)는, 안내 방향 G에 있어서의 한 쌍의 안내 블록(51) 사이에서 제1 부분(41)에 고정되어 있다. 그리고, 제1 링크체(71)가, 제1 연결 부재(11)를 통하여 안내 블록(51)에 회전 가능하게 연결되는 구성이나, 제1 링크체(71)가 제1 연결 부재(11)를 통하여, 제1 부분(41)에 있어서의 장착 부재(10)나 안내 블록(51)이 고정되지 않은 부분에 회전 가능하게 연결되는 구성으로 하는 것도 가능하다.
제2 링크체(72)는, 연결부(73)와는 상이한 위치에 있어서 제2 부분(42)에 대하여 회전 가능하게 연결되어 있다. 제2 링크체(72)는, 제2 부분(42)에 대하여 회전 축심(R)에 평행한 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 여기서는, 제2 링크체(72)는 연직 방향에서 볼 때 직선형으로 연장되도록 형성되어 있다. 그리고, 연직 방향에서 볼 때, 제2 링크체(72)의 일단부에 연결부(73)가 형성되고, 제2 링크체(72)의 타단부에 제2 링크체(72)와 제2 부분(42)의 연결부가 형성되어 있다. 구체적으로는, 제2 링크체(72)는, 회전 축심(R)에 평행한 축심을 따라 연장되도록 배치된 제2 연결 부재(12)(여기서는, 연결 핀)를 통하여, 제2 부분(42)에 회전 가능하게 연결되어 있다.
제1 링크체(71)에 있어서의 제1 부분(41)과의 연결부와, 제2 링크체(72)에 있어서의 제2 부분(42)과의 연결부는, 수평 방향 H의 동일 위치에 배치되어 있다. 즉, 여기서는, 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)를 연직 방향에서 볼 때 서로 같은 길이의 직선형으로 형성하고 있다. 그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 위치가 중립 위치인 상태로, 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)는, 회전 축심(R) 주위의 상대 각도가 제로로 되도록(즉, 연직 방향에서 볼 때 서로 중첩되도록) 배치된다.
링크 기구(70)가 이와 같이 구성되므로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 제1 측 G1로 이동한 경우에는[바꾸어 말하면, 제2 부분(42)이 제1 부분(41)에 대하여 안내 방향 제2 측 G2로 이동한 경우에는], 연결부(73)의 제2 부분(42)에 대한 안내 방향 제1 측 G1로의 변위량은, 제1 부분(41)의 제2 부분(42)에 대한 안내 방향 제1 측 G1로의 변위량의 절반의 값으로 된다. 또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 제2 측 G2로 이동한 경우에는[바꾸어 말하면, 제2 부분(42)이 제1 부분(41)에 대하여 안내 방향 제1 측 G1로 이동한 경우에는], 연결부(73)의 제2 부분(42)에 대한 안내 방향 제2 측 G2로의 변위량은, 제1 부분(41)의 제2 부분(42)에 대한 안내 방향 제2 측 G2로의 변위량의 절반의 값으로 된다. 즉, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G의 어떠한 측으로 변위하는 경우라도, 연결부(73)의 제2 부분(42)에 대한 안내 방향 G를 따른 이동량인 제2 변위량 ΔD2는, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 안내 방향 G를 따른 변위량인 제1 변위량 ΔD1의 절반의 값으로 된다.
그리고, 도 3∼도 5에 있어서, "P1"은 제1 부분(41)의 안내 방향 G의 위치[여기서는, 제1 연결 부재(11)의 위치]를 나타내고, "P2"는 제2 부분(42)의 안내 방향 G의 위치[여기서는, 제2 연결 부재(12)의 위치]를 나타내고 있다. 또한, 도 4 및 도 5에서는, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 위치가 중립 위치인 경우의 장착 부재(10), 안내 블록(51) 및 제3 연결 부재(13)의 각 위치를, 2점 쇄선으로 나타내고 있다.
이와 같이, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의, 연결부(73)의 제2 부분(42)에 대한 안내 방향 G를 따른 변위량(제2 변위량 ΔD2)은, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 안내 방향 G를 따른 변위량(제1 변위량 ΔD1)의 절반의 값으로 된다. 제1 부분(41)은 제2 부분(42)에 대하여 수평 방향 H로 이동하지 않으므로, 제1 변위량 ΔD1은, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량(여기서는, 수평면에서의 변위량)과 동등하다. 한편, 연결부(73)는 제2 부분(42)에 대하여 수평 방향 H로 이동하지만, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의, 제2 부분(42)에 대한 연결부(73)의 변위량(여기서는, 수평면에서의 변위량)은, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 작아지고, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 위치가 중립 위치의 근방에 있는 상태에서는, 제2 부분(42)에 대한 연결부(73)의 변위량은, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량의 절반 정도의 값으로 된다. 즉, 링크 기구(70)는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 제2 부분(42)에 대한 변위량이 작아지는 연결부(73)를 가지고 있다.
이와 같이, 링크 기구(70)는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 제2 부분(42)에 대한 변위량이 작아지는 저변위부(低變位部)(80)를 가지고 있다. 그리고, 탄성체(60)는 저변위부(80)에 연결되어 있다. 여기서는, 탄성체(60)는 저변위부(80)인 연결부(73)에 연결되어 있다.
구체적으로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 탄성체(60)는, 저변위부(80)[여기서는, 연결부(73)]와 일체적으로 이동하도록 연결된 부분인 제1 연결부(61)와, 제1 부분(41) 및 제2 부분(42)의 한쪽[여기서는, 제2 부분(42)]과 일체적으로 이동하도록 연결된 부분인 제2 연결부(62)를 가지고 있다. 탄성체(60)와 연결 대상 부분의 연결[예를 들면, 제2 연결부(62)와 제2 부분(42)의 연결]은, 예를 들면 접착 고정에 의한 연결로 할 수 있다. 탄성체(60)와 연결 대상 부분의 연결을, 볼트 등에 의한 체결 고정으로 해도 호적하다. 제1 연결부(61)는, 탄성체(60)의 제1 부분(41)에 대향하는 면[여기서는, 탄성체(60)의 상면]에 형성되고, 제2 연결부(62)는, 탄성체(60)의 제2 부분(42)에 대향하는 면[여기서는, 탄성체(60)의 하면]에 형성되어 있다. 탄성체(60)는, 연직 방향 V가 두께 방향으로 되는 판형(여기서는, 연직 방향에서 볼 때 직사각형의 판형)으로 형성되어 있고, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에는, 안내 방향 G를 따른 전단 하중이 탄성체(60)에 작용한다.
저변위부(80)는, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 제2 부분(42)에 대한 변위량이 작아지는 부분[링크 기구(70)의 일부]이다. 그러므로, 이와 같이 탄성체(60)를 저변위부(80)에 연결함으로써, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서, 탄성체(60)의 변형량은, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량(제1 변위량 ΔD1)보다 작아진다. 구체적으로는, 탄성체(60)의 변형량은, 제2 부분(42)에 대한 저변위부(80)[연결부(73)]의 변위량에 따른 비교적 작은 양으로 된다. 단순화하여 생각하면, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 탄성체(60)의 안내 방향 G를 따른 변형량(전단 하중에 의한 변형량)은, 전술한 제2 변위량 ΔD2와 같은 정도로 된다.
이와 같이, 탄성체(60)는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 탄성체(60)의 변형량이 작아지도록, 링크 기구(70)에 연결되어 있다. 이에 의해, 탄성체(60)의 변형량이, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량과 같거나 또는 그보다 커지는 경우에 비하여, 탄성체(60)를 배치하기 위해 필요한 공간을 작게 억제하는 것이 가능해지고 있다. 또한, 하중에 대한 탄성체(60)의 변형량이 필요로 되는 변형량에 비하여 작은 특성을 가지는 탄성체(60)라도, 적절하게 이용하는 것이 용이하게 되어 있다.
그리고, 여기서는, 탄성체(60)의 제2 연결부(62)가 제2 부분(42)과 일체적으로 이동하도록 연결되는 구성으로 하였으나, 제2 연결부(62)가 제1 부분(41)과 일체적으로 이동하도록 연결되는 구성으로 하는 것도 가능하다. 이 경우, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의 탄성체(60)의 변형량은, 저변위부(80)[연결부(73)]에 대한 제1 부분(41)의 변위량에 따른 변형량으로 된다. 또한, 여기서는, 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)의 양쪽이, 탄성체(60)에 대하여 회전 축심(R) 주위로 회전 가능한 구성으로 하고 있지만, 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)의 한쪽을, 탄성체(60)에 대하여 회전 축심(R) 주위로 일체적으로 회전하도록 연결함으로써, 탄성체(60)를 적극적으로 비틀어 변형시켜도 된다. 또한, 여기서는, 탄성체(60)가 연결부(73)에 연결되는 구성으로 하였으나, 탄성체(60)가, 링크 기구(70)에 있어서의 연결부(73) 이외의 저변위부(80)[예를 들면, 제1 링크체(71) 또는 제2 링크체(72)의 중간 부분]에 연결되는 구성으로 하는 것도 가능하다.
[제2 실시형태]
물품 반송체의 제2 실시형태에 대하여, 도면(도 6∼도 9)을 참조하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 탄성체(60)의 링크 기구(70)에 대한 연결 구조가, 상기 제1 실시형태와는 상이하다. 이하에서는, 본 실시형태의 물품 반송체에 대하여, 제1 실시형태와의 상위점을 중심으로 설명한다. 특히 명기하지 않는 점에 대해서는, 제1 실시형태와 마찬가지이며, 동일한 부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.
본 실시형태의 물품 반송체(1)는, 상기 제1 실시형태와 동일한 구성의 링크 기구(70)를 포함하고 있다. 즉, 링크 기구(70)는, 안내 방향 G에 교차하는 회전 축심(R) 주위로 회전 가능하게 연결된 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)를 구비하고 있다. 그리고, 도 7∼도 9에 나타낸 바와 같이, 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72)는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에, 회전 축심(R) 주위로 상대적으로 회전한다. 즉, 링크 기구(70)는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에, 안내 방향 G에 교차하는 회전 축심(R) 주위로 상대적으로 회전하는 제1 부재(81)와 제2 부재(82)를 가지고 있고, 여기서는, 제1 링크체(71)가 제1 부재(81)이고, 제2 링크체(72)가 제2 부재(82)이다. 그리고, 도 6∼도 9는, 상기 제1 실시형태에서의 도 2∼도 5에 대응하는 도면이다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 탄성체(60)는, 제1 부재(81)[여기서는, 제1 링크체(71)]에 일체적으로 연결된 부분인 제1 연결부(61)와, 제2 부재(82)[여기서는, 제2 링크체(72)]에 일체적으로 연결된 부분인 제2 연결부(62)를 가지고 있다. 구체적으로는, 탄성체(60)는 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 연결부(73)에 연결되어 있다. 그리고, 제1 연결부(61)는, 탄성체(60)에 있어서의 제1 부분(41)에 대향하는 면[여기서는, 탄성체(60)의 상면]에 형성되고, 제2 연결부(62)는 탄성체(60)의 제2 부분(42)에 대향하는 면[여기서는, 탄성체(60)의 하면]에 형성되어 있다. 탄성체(60)는, 제1 연결부(61)에 있어서 제1 부재(81)와 일체적으로 회전 축심(R) 주위로 회전하도록 연결되고, 또한 제2 연결부(62)에 있어서 제2 부재(82)와 일체적으로 회전 축심(R) 주위로 회전하도록 연결되어 있다.
탄성체(60)는, 연직 방향 V가 두께 방향으로 되는 판형(여기서는, 연직 방향에서 볼 때 원형의 판형)으로 형성되어 있고, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에는, 회전 축심(R) 주위의 비틀림 하중(torsional load)이 탄성체(60)에 작용한다. 즉, 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의 탄성체(60)의 변형량(비틀림 하중에 의한 변형량)은, 제1 부재(81)와 제2 부재(82)의 회전 축심(R) 주위의 상대 회전량(상대적인 회전 변위량, 상대적인 각도 변위량)인 제3 변위량 ΔD3에 따른 변형량으로 된다.
단순화하여 생각하면, 탄성체(60)의 제3 변위량 ΔD3에 따른 변형량을, 탄성체(60)의 외주면(연직 방향에서 볼 때의 외주면)에 있어서의 회전 축심(R) 주위의 변형량(상기 외주면의 반경에 제3 변위량 ΔD3을 곱한 값)으로 간주할 수 있다. 이와 같이 생각하면, 도 8 및 도 9로부터 명백한 바와 같이, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서의 탄성체(60)의 변형량(제3 변위량 ΔD3을 따른 변형량)을, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량(제1 변위량 ΔD1)보다 작게 할 수 있다. 즉, 본 실시형태에 있어서도, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우에 있어서, 탄성체(60)의 변형량은 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 작아지고 있다.
그리고, 여기서는, 제1 링크체(71)가 제1 부재(81)이고, 제2 링크체(72)가 제2 부재(82)인 구성[즉, 탄성체(60)가 연결되는, 제1 부재(81)와 제2 부재(82)의 연결부가, 제1 링크체(71)와 제2 링크체(72)의 연결부(73)인 구성]으로 하였으나, 탄성체(60)에 연결되는, 제1 부재(81)와 제2 부재(82)의 연결부가, 연결부(73)가 아닌 구성으로 하는 것도 가능하다. 예를 들면, 제1 링크체(71)가 제1 부재(81)이고, 제1 부분(41)이 제2 부재(82)인 구성[즉, 탄성체(60)가, 제1 연결 부재(11)와 동축(同軸)의 회전 축심 주위에 상대적으로 회전하는 제1 링크체(71)와 제1 부분(41)의 연결부에 연결되는 구성]으로 하는 것이나, 제2 링크체(72)가 제1 부재(81)이고, 제2 부분(42)이 제2 부재(82)인 구성[즉, 탄성체(60)가, 제2 연결 부재(12)와 동축의 회전 축심 주위에 상대적으로 회전하는 제2 링크체(72)와 제2 부분(42)의 연결부에 연결되는 구성]으로 하는 것도 가능하다. 또한, 여기서는, 탄성체(60)가, 연직 방향 V가 두께 방향으로 되는 판형으로 형성되는 구성으로 하였으나, 탄성체(60)가, 연직 방향 V로 연장되는 원기둥형으로 형성되는 구성 등으로 하는 것도 가능하다.
[기타의 실시형태]
다음에, 물품 반송체의 기타의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기의 각 실시형태에서 나타낸 링크 기구(70)의 구성은 일례이며, 링크 기구(70)의 구성은 적절히 변경할 수 있다. 예를 들면, 상기의 각 실시형태에서는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우의, 연결부(73)의 제2 부분(42)에 대한 안내 방향 G를 따른 변위량(제2 변위량 ΔD2)이, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 안내 방향 G를 따른 변위량(제1 변위량 ΔD1)의 절반의 값으로 되도록 링크 기구(70)를 구성하였지만, 제2 변위량 ΔD2가 제1 변위량 ΔD1의 절반과는 상이한 값으로 되도록 링크 기구(70)를 구성해도 된다. 또한, 예를 들면, 상기의 각 실시형태에서는, 링크 기구(70)가, 링크체(암)를 2개만 구비하는 구성으로 하였으나, 링크 기구(70)가, 제1 링크체(71) 및 제2 링크체(72) 이외에도 링크체를 구비하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 이 경우, 예를 들면, 제1 링크체(71)가 다른 링크체를 통하여 제1 부분(41)에 연결되는 구성이나, 제2 링크체(72)가 다른 링크체를 통하여 제2 부분(42)에 연결되는 구성으로 할 수 있다.
(2) 상기의 각 실시형태에서는, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우의, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 탄성체(60)의 변형량이 작아지도록, 탄성체(60)가 링크 기구(70)에 연결되는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제1 부분(41)이 제2 부분(42)에 대하여 안내 방향 G를 따라 이동한 경우의, 제2 부분(42)에 대한 제1 부분(41)의 변위량보다 탄성체(60)의 변형량이 커지도록, 탄성체(60)가 링크 기구(70)에 연결되는 구성으로 하는 것도 가능하다.
(3) 상기의 각 실시형태에서는, 유지부(3)가 물품(9)을 상측으로부터 유지하는 구성, 구체적으로는, 유지부(3)가 물품(9)의 플랜지부(9a)를 파지하는 파지부(30)를 구비한 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그러한 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 유지부(3)가 물품(9)을 하측으로부터 유지하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 구체적으로는, 유지부(3)가, 물품(9)을 하측으로부터 지지하는 지지부를 구비하는 구성으로 할 수 있다. 즉, 유지부(3)가, 물품(9)을 지지(하측으로부터 지지)함으로써 상기 물품(9)을 유지하는 구성으로 할 수 있다. 이와 같은 경우 등에 있어서, 유지부(3)에 있어서의 물품(9)을 유지하는 부분이, 제2 부분(42)과 일체적으로 형성됨으로써, 제2 부분(42)이 유지부(3)에 연결되는 구성[예를 들면, 제2 부분(42)에 있어서의 제1 부분(41)과 대향하는 측과는 반대측의 면이, 물품(9)의 유지부(지지부)로서 기능하는 구성]으로 하는 것도 가능하다.
(4) 상기의 각 실시형태에서는, 지지부(4)가, 유지부(3)가 주행부(2)에 대하여 하측에 배치되도록, 유지부(3)를 주행부(2)에 대하여 지지하는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 지지부(4)가, 유지부(3)가 주행부(2)에 대하여 상측에 배치되도록, 유지부(3)를 주행부(2)에 대하여 지지하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 즉, 상기의 각 실시형태와 같은 유지부(3)가 지지부(4)에 의해 주행부(2)에 매달아 지지되는 구성이 아니고, 유지부(3)가 지지부(4)에 의해 주행부(2)에 하측으로부터 지지되는 구성으로 할 수 있다. 이와 같은 구성으로 하는 경우 등에 있어서, 상기의 실시형태와는 상이하고, 제2 부분(42)이 제1 부분(41)에 대하여 상측에 배치되는 구성으로 하는 것도 가능하다.
(5) 상기의 각 실시형태에서는, 안내 방향 G가 주행부(2)의 주행 방향 A를 따른 방향인 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 안내 방향 G를 주행 방향 A 이외의 방향(예를 들면, 주행 방향 A에 직교하는 수평 방향)을 따르는 방향으로 되는 구성으로 하는 것도 가능하다.
(6) 상기의 각 실시형태에서는, 물품 반송체(1)가, 천장 측에 설치된 주행 레일(8)을 따라 주행하는 천장 반송차인 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 물품 반송체(1)가, 바닥면에 설치된 주행 레일(8)을 따라 주행하는 바닥면 주행식의 물품 반송차인 구성으로 할 수도 있다. 이와 같이 물품 반송체(1)가 바닥면 주행식의 물품 반송차인 경우 등에 있어서, 주행 레일(8)이 설치되지 않은 구성, 즉 주행부(2)가 주행 레일(8)을 따르지 않고[즉, 주행 레일(8)에 안내되지 않고] 주행하는 구성으로 하는 것도 가능하다.
(7) 상기의 각 실시형태에서는, 물품(9)이 FOUP인 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 물품(9)을, 레티클을 수용하는 용기나, 유리 기판을 수용하는 용기 등으로 할 수도 있다. 또한, 물품(9)이 용기 이외의 물품이어도 된다.
(8) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용하는 것(기타의 실시형태로서 설명한 실시형태끼리의 조합을 포함함)도 가능하다. 기타의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히 다양한 개변을 행하는 것이 가능하다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송체의 개요에 대하여 설명한다.
물품 반송체는 주행부와, 물품을 유지하는 유지부와, 상기 주행부에 대하여 상기 유지부를 지지하는 지지부를 포함하고, 상기 지지부는, 상기 주행부에 지지된 제1 부분과, 상기 유지부에 연결된 제2 부분과, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분과의 사이에 설치된 댐퍼부를 구비하고, 상기 댐퍼부는, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 이동을 특정 안내 방향을 따라 안내하는 안내부와, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 각각에 연결되어, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 이동에 연동하는 링크 기구와, 탄성체를 구비하고, 상기 탄성체는, 상기 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 상기 링크 기구에 연결되어 있다.
본 구성에서는, 제1 부분과 제2 부분 사이에 설치된 댐퍼부가, 제2 부분에 대한 제1 부분의 이동을 특정 안내 방향을 따라 안내하는 안내부와, 제2 부분에 대한 제1 부분의 이동에 연동하는 링크 기구와, 탄성체를 구비하고, 탄성체가 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 링크 기구에 연결된다. 따라서, 제1 부분과 제2 부분 사이에서의 안내 방향의 진동의 전달을, 댐퍼부에 의해 억제할 수 있다. 이 때, 탄성체는, 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 링크 기구에 연결되므로, 링크 기구에 의한 변위량이나 변위 방향의 변환 작용에 의해, 탄성체의 변형량을 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위량에 대하여 상이하게 하는 것이나, 탄성체의 변형 방향을 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위 방향(즉, 안내 방향)과 상이하게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 탄성체가 제1 부분과 제2 부분으로 협지되는 경우와는 상이하고, 탄성체에 요구되는 탄성 변형 특성을, 링크 기구의 구성이나 링크 기구에 대한 탄성체의 연결 구성 등에 의해 조정할 수 있고, 탄성체에 요구되는 탄성 변형 특성의 제약을 완화할 수 있다. 그리고, 상기의 구성에서는, 제1 부분이 주행부에 지지되고, 제2 부분이 물품을 유지하는 유지부에 연결되므로, 유지부에 유지된 물품으로의 주행부 측으로부터의 안내 방향의 진동 전달을, 탄성체를 이용하여 억제할 수 있다.
이와 같이, 상기의 구성에 의하면, 유지부에 유지된 물품으로의 주행부 측으로부터의 진동의 전달을 탄성체를 이용하여 억제하는 경우에, 탄성체에 요구되는 탄성 변형 특성의 제약을 완화할 수 있다.
여기에서, 상기 제1 부분이 상기 제2 부분에 대하여 상기 안내 방향을 따라 이동한 경우에 있어서의, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 변위량보다 상기 탄성체의 변형량이 작아지도록, 상기 탄성체가 상기 링크 기구에 연결되어 있으면 호적하다.
본 구성에 의하면, 탄성체의 변형량이, 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위량과 같거나 또는 그것보다 커지는 경우에 비하여, 탄성체를 배치하기 위해 필요한 공간을 작게 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 하중에 대한 탄성체의 변형량이 필요로 되는 변형량에 비하여 작은 특성을 가지는 탄성체여도, 적절하게 이용하는 것이 용이해진다.
또한, 상기 링크 기구는, 상기 제1 부분이 상기 제2 부분에 대하여 상기 안내 방향을 따라 이동한 경우에 있어서의, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 변위량보다 상기 제2 부분에 대한 변위량이 작아지는 저변위부를 가지고, 상기 탄성체는, 상기 저변위부와 일체적으로 이동하도록 연결된 부분과, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 한쪽과 일체적으로 이동하도록 연결된 부분을 가지고 있으면 호적하다.
본 구성에 의하면, 제1 부분이 제2 부분에 대하여 안내 방향을 따라 이동한 경우에 있어서의 탄성체의 변형량을, 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위량보다 작은 변위량(구체적으로는, 제2 부분에 대한 저변위부의 변위량, 또는 저변위부에 대한 제1 부분의 변위량)에 따른 변형량으로 할 수 있다. 따라서, 상기한 바와 같이 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위량보다 탄성체의 변형량이 작아지는 구성을 적절하게 실현할 수 있다.
또한, 상기 링크 기구는, 상기 제1 부분이 상기 제2 부분에 대하여 상기 안내 방향을 따라 이동한 경우에, 상기 안내 방향에 교차하는 회전 축심 주위에 상대적으로 회전하는 제1 부재와 제2 부재를 가지고, 상기 탄성체는, 상기 제1 부재에 일체적으로 연결된 부분과, 상기 제2 부재에 일체적으로 연결된 부분을 가지고 있으면 호적하다.
본 구성에 의하면, 제1 부분이 제2 부분에 대하여 안내 방향을 따라 이동한 경우에 있어서의 탄성체의 변형량을, 제1 부재와 제2 부재 사이의 회전 축심 주위의 상대 회전량에 따른 비교적 작은 변형량으로 하는 것이 가능해진다. 따라서, 상기한 바와 같이 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위량보다 탄성체의 변형량이 작아지는 구성을 적절하게 실현할 수 있다.
또한, 상기 링크 기구는, 연결부에 있어서 상기 안내 방향에 교차하는 회전 축심 주위로 회전 가능하게 연결된 제1 링크체 및 제2 링크체를 구비하고, 상기 제1 링크체는, 상기 연결부와는 상이한 위치에 있어서 상기 제1 부분에 대하여 회전 가능하게 연결되고, 상기 제2 링크체는, 상기 연결부와는 상이한 위치에 있어서 상기 제2 부분에 대하여 회전 가능하게 연결되고, 상기 탄성체는 상기 연결부에 연결되어 있으면 호적하다.
본 구성에 의하면, 링크 기구의 구성을 비교적 간소한 것으로 하면서, 제2 부분에 대한 제1 부분의 이동에 연동하도록 링크 기구를 적절하게 설치할 수 있다. 그리고, 예를 들면, 연결부를 전술한 저변위부로서 이용하거나, 또는 제1 링크체 및 제2 링크체를 전술한 제1 부재 및 제2 부재로서 이용함으로써, 전술한 바와 같은 제2 부분에 대한 제1 부분의 변위량보다 탄성체의 변형량이 작아지는 구성을 적절하게 실현할 수 있다.
또한, 상기 안내 방향은 상기 주행부의 주행 방향을 따르는 방향이면 호적하다.
일반적으로, 주행부에는 가감속 등에 의해 비교적 큰 주행 방향의 진동이 발생할 수 있다. 본 구성에 의하면, 주행 방향을 댐퍼부에 의한 진동의 억제 대상의 방향으로 하고 있으므로, 유지부에 유지된 물품에 대하여 주행부 측으로부터 큰 진동이 전달되는 것을 적절하게 억제할 수 있다.
또한, 상기 유지부는, 상기 지지부에 의해 상기 주행부에 매달아 지지되어 있으면 호적하다.
이와 같은 구성에서는, 유지부 및 유지부에 유지된 물품이, 주행부에 대하여 매달린 상태로 지지되게 되므로, 주행부의 가감속 등에 의한 진동에 의해 유지부가 크게 요동하기 쉽다. 따라서, 이와 같이 유지부가 주행부에 매달아 지지되고 있는 경우에는, 상기와 같은 구성을 이용함으로써, 유지부에 유지된 물품으로의 주행부 측으로부터의 진동의 전달을, 특히 효율적으로 억제할 수 있다.
본 개시에 관한 물품 반송체는, 전술한 각 효과 중 적어도 하나를 발휘할 수 있으면 된다.
1 : 물품 반송체
2 : 주행부
3 : 유지부
4 : 지지부
9 : 물품
41 : 제1 부분
42 : 제2 부분
43 : 댐퍼부
50 : 안내부
60 : 탄성체
70 : 링크 기구
71 : 제1 링크체
72 : 제2 링크체
73 : 연결부
80 : 저변위부
81 : 제1 부재
82 : 제2 부재
A : 주행 방향
G : 안내 방향
R : 회전 축심

Claims (7)

  1. 주행부;
    물품을 유지하는 유지부; 및
    상기 주행부에 대하여 상기 유지부를 지지하는 지지부;
    를 포함하고,
    상기 지지부는, 상기 주행부에 지지된 제1 부분과, 상기 유지부에 연결된 제2 부분과, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 설치된 댐퍼부를 구비하고,
    상기 댐퍼부는, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 이동을 특정 안내 방향을 따라 안내하는 안내부와, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 각각에 연결되어, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 이동에 연동하는 링크 기구와, 탄성체를 구비하고,
    상기 탄성체는, 상기 링크 기구의 동작을 감쇠시키도록 상기 링크 기구에 연결되어 있는,
    물품 반송체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 부분이 상기 제2 부분에 대하여 상기 안내 방향을 따라 이동한 경우에 있어서의, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 변위량보다 상기 탄성체의 변형량이 작아지도록, 상기 탄성체가 상기 링크 기구에 연결되어 있는, 물품 반송체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 링크 기구는, 상기 제1 부분이 상기 제2 부분에 대하여 상기 안내 방향을 따라 이동한 경우에 있어서의, 상기 제2 부분에 대한 상기 제1 부분의 변위량보다 상기 제2 부분에 대한 변위량이 작아지는 저변위부(低變位部)를 가지고,
    상기 탄성체는, 상기 저변위부와 일체적으로 이동하도록 연결된 부분과, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 한쪽과 일체적으로 이동하도록 연결된 부분을 가지고 있는, 물품 반송체.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 링크 기구는, 상기 제1 부분이 상기 제2 부분에 대하여 상기 안내 방향을 따라 이동한 경우에, 상기 안내 방향에 교차하는 회전 축심 주위로 상대적으로 회전하는 제1 부재와 제2 부재를 가지고,
    상기 탄성체는, 상기 제1 부재에 일체적으로 연결된 부분과, 상기 제2 부재에 일체적으로 연결된 부분을 가지고 있는, 물품 반송체.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 링크 기구는, 연결부에 있어서 상기 안내 방향에 교차하는 회전 축심 주위로 회전 가능하게 연결된 제1 링크체 및 제2 링크체를 구비하고,
    상기 제1 링크체는, 상기 연결부와는 상이한 위치에 있어서 상기 제1 부분에 대하여 회전 가능하게 연결되고,
    상기 제2 링크체는, 상기 연결부와는 상이한 위치에 있어서 상기 제2 부분에 대하여 회전 가능하게 연결되고,
    상기 탄성체는, 상기 연결부에 연결되어 있는, 물품 반송체.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 안내 방향은, 상기 주행부의 주행 방향을 따르는 방향인, 물품 반송체.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 지지부에 의해 상기 주행부에 매달아 지지되고 있는, 물품 반송체.
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