KR20210035198A - 화합물 - Google Patents

화합물 Download PDF

Info

Publication number
KR20210035198A
KR20210035198A KR1020217002856A KR20217002856A KR20210035198A KR 20210035198 A KR20210035198 A KR 20210035198A KR 1020217002856 A KR1020217002856 A KR 1020217002856A KR 20217002856 A KR20217002856 A KR 20217002856A KR 20210035198 A KR20210035198 A KR 20210035198A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
atomic
type
coordinates
oxygen
metal
Prior art date
Application number
KR1020217002856A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102436599B1 (ko
Inventor
겐이치 사사키
에미 가와시마
가즈요시 이노우에
마사토시 시바타
아츠시 야오
Original Assignee
이데미쓰 고산 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 filed Critical 이데미쓰 고산 가부시키가이샤
Publication of KR20210035198A publication Critical patent/KR20210035198A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102436599B1 publication Critical patent/KR102436599B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G15/00—Compounds of gallium, indium or thallium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/44—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G15/00—Compounds of gallium, indium or thallium
    • C01G15/006—Compounds containing, besides gallium, indium, or thallium, two or more other elements, with the exception of oxygen or hydrogen
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B1/00—Single-crystal growth directly from the solid state
    • C30B1/02—Single-crystal growth directly from the solid state by thermal treatment, e.g. strain annealing
    • C30B1/04—Isothermal recrystallisation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/16—Oxides
    • C30B29/22—Complex oxides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518—Deposited layers
    • H01L21/02521—Materials
    • H01L21/02565—Oxide semiconducting materials not being Group 12/16 materials, e.g. ternary compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/30—Three-dimensional structures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
    • C01P2002/72—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by d-values or two theta-values, e.g. as X-ray diagram
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
    • C01P2002/76—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by a space-group or by other symmetry indications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
    • C01P2002/77—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by unit-cell parameters, atom positions or structure diagrams
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/40—Electric properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3286—Gallium oxides, gallates, indium oxides, indates, thallium oxides, thallates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc gallate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6562—Heating rate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6567—Treatment time
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
    • C04B2235/761—Unit-cell parameters, e.g. lattice constants

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Catalysts (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Secondary Cells (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
  • Acyclic And Carbocyclic Compounds In Medicinal Compositions (AREA)

Abstract

인듐 원소 (In), 갈륨 원소 (Ga), 알루미늄 원소 (Al) 및 산소 원소 (O) 로부터 형성되고, 격자 정수가, a = 10.07 ± 0.15 Å, b = 10.45 ± 0.15 Å, c = 11.01 ± 0.15 Å, α = 111.70 ± 0.50°, β = 107.70 ± 0.50°, 및 γ = 90.00 ± 0.50°이고, 결정계가 삼사정을 나타내는 화합물.

Description

화합물
본 발명은, 화합물에 관한 것이다.
박막 트랜지스터에 사용되는 산화물 반도체는, 범용의 아모르퍼스 실리콘 (아모르퍼스 실리콘을 a-Si 라고 약기하는 경우가 있다) 에 비하여 높은 캐리어 이동도를 갖고, 광학 밴드 갭이 크고, 저온에서 성막할 수 있다. 그 때문에, 산화물 반도체는, 대형, 고해상도, 및 고속 구동이 요구되는 차세대 디스플레이에 대한 적용, 그리고 내열성이 낮은 수지 기판 등에 대한 적용이 기대되고 있다. 상기 산화물 반도체 (막) 의 형성에 있어서는, 스퍼터링 타깃을 스퍼터링하는 스퍼터링법이 바람직하게 이용되고 있다. 이것은, 스퍼터링법으로 형성된 박막이, 이온 플레이팅법, 진공 증착법, 또는 전자빔 증착법으로 형성된 박막에 비하여, 막면 방향 (막면 내) 에 있어서의 성분 조성 및 막 두께 등의 면내 균일성이 우수하고, 스퍼터링법에 의하면, 스퍼터링 타깃과 동일한 성분 조성의 박막을 형성할 수 있기 때문이다.
특허문헌 1 에는, 산화인듐, 산화갈륨, 및 산화알루미늄으로 이루어지는 소결체로, 상기 갈륨의 함유량이 Ga/(In ＋ Ga) 원자수비로 0.15 이상 0.49 이하이고, 상기 알루미늄의 함유량이 Al/(In ＋ Ga ＋ Al) 원자수비로 0.0001 이상 0.25 미만이고, 빅스바이트형 구조의 In2O3 상과, In2O3 상 이외의 생성상으로서 β-Ga2O3 형 구조의 GaInO3 상, 혹은 β-Ga2O3 형 구조의 GaInO3 상과 (Ga, In)2O3 상을 포함하는 산화물 소결체에 관한 기재가 있다. Ga 의 첨가량이 20 at％, 또한 Al 의 첨가량이 1 at％ 인 혼합물, 그리고 Ga 의 첨가량이 25 at％, 또한 Al 의 첨가량이 5 at％ 인 혼합물의 각각을 1400 ℃ 에서 20 시간 소성했을 경우, XRD 차트로부터 In2O3 상 및 GaInO3 상이 석출되는 것이 기재되어 있다.
국제 공개 제2016/084636호
산화물 화합물은, 밴드 갭이 큰 것으로부터, 트랜지스터 또는 다이오드 등의 반도체 디바이스에 산화물 화합물을 적용했을 때에 리크 전류가 낮은 것이 특징이다. 한편, 산화물 화합물은, 밴드 갭이 크기 때문에 반도체로서 안정적으로 캐리어 농도를 제어할 수 없는 것, 또한 충분한 전도성이 얻어지지 않는다는 과제가 있다. 이들 과제를 해결할 수 있는, 신규 화합물에 대한 요망이 있다. 구체적으로는, 일반적인 Si 반도체의 밴드 갭에 비하여 충분히 넓은 산화물 반도체 재료를 제작할 수 있는 화합물이 요망되고 있다.
본 발명의 목적은, 일반적인 Si 반도체의 밴드 갭에 비하여 충분히 넓은 산화물 반도체 재료를 제작할 수 있는 화합물을 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 이하의 화합물이 제공된다.
[1]. 인듐 원소 (In), 갈륨 원소 (Ga), 알루미늄 원소 (Al) 및 산소 원소 (O) 로부터 형성되고,
격자 정수가,
a = 10.07 ± 0.15 Å,
b = 10.45 ± 0.15 Å,
c = 11.01 ± 0.15 Å,
α = 111.70 ± 0.50°,
β = 107.70 ± 0.50°, 및
γ = 90.00 ± 0.50°이고,
결정계가 삼사정 (三斜晶) 을 나타내는 화합물.
[2]. 공간군이 P-1 혹은 P1 인, [1] 에 기재된 화합물.
[3]. 공간군이 P-1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는, [1] 에 기재된 화합물.
단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은, In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.36, z = 0.87)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.12, z = 0.62)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21, y = 0.85, z = 0.39)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23, y = 0.11, z = 0.97)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.29, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.12, z = 0.63)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.14, z = 0.01)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.69, y = 0.18, z = 0.32)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.09, y = 0.88, z = 0.03)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.06, y = 0.61, z = 0.46)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.15, y = 0.40, z = 0.19)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.26, y = 0.36, z = 0.54)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.61, z = 0.45)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.48, y = 0.40, z = 0.23)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.84, y = 0.39, z = 0.23)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.73, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.03, y = 0.45, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.05, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.74, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.23, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.51, z = 0.09)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.79, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.19, y = 0.21, z = 0.84)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.23, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.25, y = 0.66, z = 0.49)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.27, y = 0.02, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.30, y = 0.26, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.33, y = 0.44, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.39, y = 0.73, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.24, z = 0.07)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.43, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.51, z = 0.11)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.47, y = 0.79, z = 0.15)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.25, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.64, y = 0.03, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.34, z = 0.23)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.72, y = 0.03, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.78, y = 0.51, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.25, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.02, z = 0.12)
[4]. 공간군이 P1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는, 청구항 1 에 기재된 화합물.
단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은 In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.36, z = 0.87)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.12, z = 0.62)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21, y = 0.85, z = 0.39)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23, y = 0.11, z = 0.97)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.29, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.12, z = 0.63)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.14, z = 0.01)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.69, y = 0.18, z = 0.32)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.09, y = 0.88, z = 0.03)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.06, y = 0.61, z = 0.46)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.15, y = 0.40, z = 0.19)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.26, y = 0.36, z = 0.54)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.61, z = 0.45)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.48, y = 0.40, z = 0.23)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.84, y = 0.39, z = 0.23)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.64, z = 0.13)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.87, y = 0.88, z = 0.38)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.79, y = 0.15, z = 0.61)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.77, y = 0.89, z = 0.03)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.71, y = 0.36, z = 0.89)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.54, y = 0.88, z = 0.37)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.42, y = 0.86, z = 0.99)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.36, z = 0.89)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.31, y = 0.82, z = 0.68)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.91, y = 0.12, z = 0.97)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.98, y = 0.87, z = 0.70)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.94, y = 0.39, z = 0.54)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.85, y = 0.60, z = 0.81)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.74, y = 0.64, z = 0.46)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.87, z = 0.70)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.59, y = 0.39, z = 0.55)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.52, y = 0.60, z = 0.77)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.16, y = 0.61, z = 0.77)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.73, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.03, y = 0.45, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.05, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.74, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.23, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.51, z = 0.09)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.79, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.19, y = 0.21, z = 0.84)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.23, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.25, y = 0.66, z = 0.49)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.27, y = 0.02, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.30, y = 0.26, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.33, y = 0.44, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.39, y = 0.73, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.24, z = 0.07)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.43, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.51, z = 0.11)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.47, y = 0.79, z = 0.15)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.25, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.64, y = 0.03, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.34, z = 0.23)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.72, y = 0.03, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.78, y = 0.51, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.25, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.02, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.98, y = 0.27, z = 0.64)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.97, y = 0.55, z = 0.72)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.95, y = 0.98, z = 0.60)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.90, y = 0.26, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.90, y = 0.77, z = 0.94)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.88, y = 0.49, z = 0.91)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.88, y = 0.53, z = 0.43)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.87, y = 0.21, z = 0.83)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.81, y = 0.79, z = 0.16)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.77, z = 0.64)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.75, y = 0.34, z = 0.51)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.73, y = 0.98, z = 0.88)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.70, y = 0.74, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.67, y = 0.56, z = 0.71)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.98, z = 0.60)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.61, y = 0.27, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.59, y = 0.76, z = 0.93)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.53, z = 0.43)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.54, y = 0.49, z = 0.89)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.53, y = 0.21, z = 0.85)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.75, z = 0.64)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.36, y = 0.97, z = 0.88)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.66, z = 0.77)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.28, y = 0.97, z = 0.60)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.22, y = 0.49, z = 0.88)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.75, z = 0.94)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.98, z = 0.88)
[5]. 공간군이 P-1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는, [1] 에 기재된 화합물.
단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은, In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04478, y = 0.36228, z = 0.86934)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.12677, y = 0.11682, z = 0.62279)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21268, y = 0.8504, z = 0.38665)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23283, y = 0.11047, z = 0.97132)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.28695, y = 0.64349, z = 0.10627)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.45663, y = 0.11849, z = 0.62655)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58343, y = 0.14455, z = 0.0065)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62181, y = 0.6417, z = 0.10725)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.68785, y = 0.18413, z = 0.31614)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.08662, y = 0.88097, z = 0.03282)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02388, y = 0.13328, z = 0.30129)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.0627, y = 0.6051, z = 0.4561)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.1503, y = 0.3962, z = 0.1949)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.2624, y = 0.36429, z = 0.5374)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34051, y = 0.1304, z = 0.29845)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4081, y = 0.6082, z = 0.4509)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4821, y = 0.39651, z = 0.22899)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.8369, y = 0.39245, z = 0.23049)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0157, y = 0.7332, z = 0.3627)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0295, y = 0.4499, z = 0.285)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0518, y = 0.0204, z = 0.4013)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0975, y = 0.7442, z = 0.6484)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1004, y = 0.231, z = 0.0611)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.121, y = 0.5054, z = 0.0929)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1218, y = 0.4677, z = 0.5675)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1323, y = 0.7893, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1917, y = 0.2052, z = 0.837)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1998, y = 0.2293, z = 0.3578)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2461, y = 0.6607, z = 0.4873)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2703, y = 0.0197, z = 0.1161)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2975, y = 0.2578, z = 0.6451)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3274, y = 0.4429, z = 0.2908)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.017, z = 0.3996)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3852, y = 0.7303, z = 0.3495)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4077, y = 0.2385, z = 0.0657)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.425, y = 0.4654, z = 0.5745)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4569, y = 0.5063, z = 0.1142)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.472, y = 0.7862, z = 0.1502)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.2483, z = 0.3581)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6404, y = 0.0285, z = 0.122)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6587, y = 0.3356, z = 0.2257)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7171, y = 0.0302, z = 0.3985)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7808, y = 0.5096, z = 0.1234)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8007, y = 0.2465, z = 0.0562)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9644, y = 0.0248, z = 0.117)
[6]. 공간군이 P1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는, [1] 에 기재된 화합물.
단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은 In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04478, y = 0.36228, z = 0.86934)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.12677, y = 0.11682, z = 0.62279)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21268, y = 0.8504, z = 0.38665)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23283, y = 0.11047, z = 0.97132)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.28695, y = 0.64349, z = 0.10627)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.45663, y = 0.11849, z = 0.62655)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58343, y = 0.14455, z = 0.0065)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62181, y = 0.6417, z = 0.10725)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.68785, y = 0.18413, z = 0.31614)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.08662, y = 0.88097, z = 0.03282)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02388, y = 0.13328, z = 0.30129)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.0627, y = 0.6051, z = 0.4561)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.1503, y = 0.3962, z = 0.1949)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.2624, y = 0.36429, z = 0.5374)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34051, y = 0.1304, z = 0.29845)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4081, y = 0.6082, z = 0.4509)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4821, y = 0.39651, z = 0.22899)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.8369, y = 0.39245, z = 0.23049)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.95522, y = 0.63772, z = 0.13066)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.87323, y = 0.88318, z = 0.37721)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.78732, y = 0.1496, z = 0.61335)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.76717, y = 0.88953, z = 0.02868)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.71305, y = 0.35651, z = 0.89373)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.54337, y = 0.88151, z = 0.37345)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41657, y = 0.85545, z = 0.9935)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.37819, y = 0.3583, z = 0.89275)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.31215, y = 0.81587, z = 0.68386)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.91338, y = 0.11903, z = 0.96718)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.97612, y = 0.86672, z = 0.69871)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.9373, y = 0.3949, z = 0.5439)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.8497, y = 0.6038, z = 0.8051)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.7376, y = 0.63571, z = 0.4626)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.65949, y = 0.8696, z = 0.70155)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.5919, y = 0.3918, z = 0.5491)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.5179, y = 0.60349, z = 0.77101)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.1631, y = 0.60755, z = 0.76951)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0157, y = 0.7332, z = 0.3627)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0295, y = 0.4499, z = 0.285)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0518, y = 0.0204, z = 0.4013)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0975, y = 0.7442, z = 0.6484)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1004, y = 0.231, z = 0.0611)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.121, y = 0.5054, z = 0.0929)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1218, y = 0.4677, z = 0.5675)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1323, y = 0.7893, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1917, y = 0.2052, z = 0.837)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1998, y = 0.2293, z = 0.3578)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2461, y = 0.6607, z = 0.4873)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2703, y = 0.0197, z = 0.1161)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2975, y = 0.2578, z = 0.6451)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3274, y = 0.4429, z = 0.2908)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.017, z = 0.3996)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3852, y = 0.7303, z = 0.3495)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4077, y = 0.2385, z = 0.0657)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.425, y = 0.4654, z = 0.5745)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4569, y = 0.5063, z = 0.1142)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.472, y = 0.7862, z = 0.1502)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.2483, z = 0.3581)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6404, y = 0.0285, z = 0.122)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6587, y = 0.3356, z = 0.2257)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7171, y = 0.0302, z = 0.3985)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7808, y = 0.5096, z = 0.1234)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8007, y = 0.2465, z = 0.0562)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9644, y = 0.0248, z = 0.117)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9843, y = 0.2668, z = 0.6373)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9705, y = 0.5501, z = 0.715)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9482, y = 0.9796, z = 0.5987)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9025, y = 0.2558, z = 0.3516)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8996, y = 0.769, z = 0.9389)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.879, y = 0.4946, z = 0.9071)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8782, y = 0.5323, z = 0.4325)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8677, y = 0.2107, z = 0.83)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8083, y = 0.7948, z = 0.163)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8002, y = 0.7707, z = 0.6422)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7539, y = 0.3393, z = 0.5127)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7297, y = 0.9803, z = 0.8839)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7025, y = 0.7422, z = 0.3549)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6726, y = 0.5571, z = 0.7092)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.983, z = 0.6004)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6148, y = 0.2697, z = 0.6505)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.5923, y = 0.7615, z = 0.9343)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.575, y = 0.5346, z = 0.4255)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.5431, y = 0.4937, z = 0.8858)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.528, y = 0.2138, z = 0.8498)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.5, y = 0.7517, z = 0.6419)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3596, y = 0.9715, z = 0.878)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3413, y = 0.6644, z = 0.7743)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2829, y = 0.9698, z = 0.6015)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2192, y = 0.4904, z = 0.8766)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1993, y = 0.7535, z = 0.9438)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0356, y = 0.9752, z = 0.883)
본 발명의 일 양태에 관련된 화합물에 의하면, 일반적인 Si 반도체의 밴드 갭에 비하여 충분히 넓은 산화물 반도체 재료를 제작할 수 있는 화합물을 제공할 수 있다.
도 1 은, 실시예 2 에 관련된 단결정의 (10.12 0.00 2.09) 면의 프리세션 사진이다.
도 2 은, 실시예 2 에 관련된 단결정의 (0.00 12.78 -6.61) 면의 프리세션 사진이다.
도 3 은, 실시예 2 에 관련된 단결정의 (11.95 -7.08 0.00) 면의 프리세션 사진이다.
본 명세서에 있어서, 「∼」 를 사용하여 나타내는 수치 범위는, 「∼」 전에 기재되는 수치를 하한치로 하고, 「∼」 후에 기재되는 수치를 상한치로 하여 포함하는 범위를 의미한다.
〔화합물〕
본 실시형태에 관련된 화합물 (이하, 화합물 A 라고 칭하는 경우가 있다) 은, 인듐 원소 (In), 갈륨 원소 (Ga), 알루미늄 원소 (Al) 및 산소 원소 (O) 로부터 형성된다.
화합물 A 의 격자 정수는,
a = 10.07 ± 0.15 Å,
b = 10.45 ± 0.15 Å,
c = 11.01 ± 0.15 Å,
α = 111.70 ± 0.50°,
β = 107.70 ± 0.50°, 및
γ = 90.00 ± 0.50°이다.
화합물 A 는, 결정계가 삼사정을 나타내는 화합물이다.
본 실시형태에 관련된 화합물 A 에 있어서, 격자 정수는, 바람직하게는,
a = 10.07 ± 0.13 Å,
b = 10.45 ± 0.13 Å,
c = 11.01 ± 0.13 Å,
α = 111.70 ± 0.40°,
β = 107.70 ± 0.40°, 및
γ = 90.00 ± 0.40°이다.
본 실시형태에 관련된 화합물 A 에 있어서, 격자 정수는, 보다 바람직하게는,
a = 10.07 ± 0.10 Å,
b = 10.45 ± 0.10 Å,
c = 11.01 ± 0.10 Å,
α = 111.70 ± 0.30°,
β = 107.70 ± 0.30°, 및
γ = 90.00 ± 0.30°이다.
본 명세서에 있어서, 단위 Å 는, 10-10 m 에 상당한다.
화합물 A 의 격자 정수 및 원자 좌표는, 화합물 A 의 단결정립에 대하여 단결정 X 선 구조 해석 장치로 XRD 패턴을 측정하고, 이 XRD 패턴에 대하여 단결정 구조 해석 소프트웨어를 사용하여 결정 구조 해석을 실시하여 얻어진 결과를 사용한다.
제작한 샘플의 분말 XRD 패턴은 JCPDS (Joint Committee of Powder Diffraction Standard), 및 ICSD (Inorganic Crystal Structure Database) 에서 일치하는 것이 없어, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 는, 미지의 결정 구조 화합물인 것이 판명되었다.
[결정 구조 해석]
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 결정 구조는, 산화갈륨 분말, 산화알루미늄 분말, 및 산화인듐 분말을 혼합 소결하여 제작한 단결정립을 단결정 X 선 구조 해석 장치 D8 QUEST (Bruker 사 제조) 를 사용하여 측정할 수 있다. 이 때의 X 선원은 MoKα 이고, 파장은 0.71073 Å 이고, 관 전압은 50 ㎸ 이고, 관 전류는 1 ㎃ 이고, 조사 직경은 200 ㎛φ 이고, 얻어진 XRD 패턴을 단결정 구조 해석 소프트웨어 APEX3 (Bruker 사 제조) 으로 해석함으로써 결정 구조를 동정할 수 있다. 이 때, 단결정립의 결정 입경은, 측정의 용이성의 관점에서, 30 ㎛ 이상인 것이 바람직하다.
본 실시형태에 관련된 화합물 A 에 있어서, 인듐 원소 (In), 갈륨 원소 (Ga) 및 알루미늄 원소 (Al) 의 바람직한 원자비는 하기 식 (1) ∼ (3) 으로 나타내는 범위이다.
30 ≤ In/(In ＋ Ga ＋ Al) ≤ 62 ···(1)
15 ≤ Ga/(In ＋ Ga ＋ Al) ≤ 45 ···(2)
8 ≤ Al/(In ＋ Ga ＋ Al) ≤ 35 ···(3)
(식 (1) ∼ (3) 중, In, Al, Ga 는, 각각 산화물 소결체 중의 인듐 원소, 알루미늄 원소 및 갈륨 원소의 원자수를 나타낸다.)
＜원자비의 측정 방법＞
본 명세서에 있어서의 원자비는, 유도 결합 플라즈마 발광 분광 분석 장치 (ICP-AES) 에 의해 측정할 수 있다.
＜결정계, 및 공간군＞
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 결정계가 삼사정이고, 화합물 A 는, 공간군 P-1 에 귀속 가능한 결정 구조를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 공간군 「P-1」 에 있어서의 「P」 와「1」 사이에 기재된 「-」 는, 본래 「1」 위에 부여하여 기재된다 (이하, 다른 공간군의 표기에 대해서도 동일하다).
(화합물 A 의 제 1 양태)
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 1 양태는, 공간군이 P-1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는다. 단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은, In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.36, z = 0.87)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.12, z = 0.62)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21, y = 0.85, z = 0.39)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23, y = 0.11, z = 0.97)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.29, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.12, z = 0.63)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.14, z = 0.01)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.69, y = 0.18, z = 0.32)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.09, y = 0.88, z = 0.03)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.06, y = 0.61, z = 0.46)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.15, y = 0.40, z = 0.19)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.26, y = 0.36, z = 0.54)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.61, z = 0.45)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.48, y = 0.40, z = 0.23)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.84, y = 0.39, z = 0.23)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.73, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.03, y = 0.45, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.05, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.74, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.23, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.51, z = 0.09)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.79, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.19, y = 0.21, z = 0.84)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.23, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.25, y = 0.66, z = 0.49)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.27, y = 0.02, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.30, y = 0.26, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.33, y = 0.44, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.39, y = 0.73, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.24, z = 0.07)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.43, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.51, z = 0.11)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.47, y = 0.79, z = 0.15)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.25, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.64, y = 0.03, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.34, z = 0.23)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.72, y = 0.03, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.78, y = 0.51, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.25, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.02, z = 0.12)
이상이, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 1 양태에 있어서의 원자 배치이다.
(화합물 A 의 제 2 양태)
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 2 양태는, 공간군이 P-1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는다. 단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은, In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04478, y = 0.36228, z = 0.86934)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.12677, y = 0.11682, z = 0.62279)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21268, y = 0.8504, z = 0.38665)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23283, y = 0.11047, z = 0.97132)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.28695, y = 0.64349, z = 0.10627)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.45663, y = 0.11849, z = 0.62655)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58343, y = 0.14455, z = 0.0065)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62181, y = 0.6417, z = 0.10725)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.68785, y = 0.18413, z = 0.31614)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.08662, y = 0.88097, z = 0.03282)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02388, y = 0.13328, z = 0.30129)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.0627, y = 0.6051, z = 0.4561)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.1503, y = 0.3962, z = 0.1949)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.2624, y = 0.36429, z = 0.5374)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34051, y = 0.1304, z = 0.29845)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4081, y = 0.6082, z = 0.4509)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4821, y = 0.39651, z = 0.22899)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.8369, y = 0.39245, z = 0.23049)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0157, y = 0.7332, z = 0.3627)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0295, y = 0.4499, z = 0.285)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0518, y = 0.0204, z = 0.4013)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0975, y = 0.7442, z = 0.6484)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1004, y = 0.231, z = 0.0611)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.121, y = 0.5054, z = 0.0929)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1218, y = 0.4677, z = 0.5675)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1323, y = 0.7893, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1917, y = 0.2052, z = 0.837)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1998, y = 0.2293, z = 0.3578)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2461, y = 0.6607, z = 0.4873)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2703, y = 0.0197, z = 0.1161)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2975, y = 0.2578, z = 0.6451)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3274, y = 0.4429, z = 0.2908)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.017, z = 0.3996)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3852, y = 0.7303, z = 0.3495)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4077, y = 0.2385, z = 0.0657)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.425, y = 0.4654, z = 0.5745)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4569, y = 0.5063, z = 0.1142)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.472, y = 0.7862, z = 0.1502)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.2483, z = 0.3581)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6404, y = 0.0285, z = 0.122)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6587, y = 0.3356, z = 0.2257)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7171, y = 0.0302, z = 0.3985)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7808, y = 0.5096, z = 0.1234)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8007, y = 0.2465, z = 0.0562)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9644, y = 0.0248, z = 0.117)
이상이, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 2 양태에 있어서의 원자 배치이다.
또한, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 결정계가 삼사정이고, 화합물 A 는, 공간군 P1 에 귀속 가능한 결정 구조를 갖는 것이 바람직하다.
(화합물 A 의 제 3 양태)
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 3 양태는, 공간군이 P1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는다. 단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은 In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.36, z = 0.87)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.12, z = 0.62)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21, y = 0.85, z = 0.39)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23, y = 0.11, z = 0.97)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.29, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.12, z = 0.63)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.14, z = 0.01)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.64, z = 0.11)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.69, y = 0.18, z = 0.32)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.09, y = 0.88, z = 0.03)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.06, y = 0.61, z = 0.46)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.15, y = 0.40, z = 0.19)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.26, y = 0.36, z = 0.54)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.13, z = 0.30)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.61, z = 0.45)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.48, y = 0.40, z = 0.23)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.84, y = 0.39, z = 0.23)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.64, z = 0.13)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.87, y = 0.88, z = 0.38)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.79, y = 0.15, z = 0.61)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.77, y = 0.89, z = 0.03)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.71, y = 0.36, z = 0.89)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.54, y = 0.88, z = 0.37)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.42, y = 0.86, z = 0.99)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.36, z = 0.89)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.31, y = 0.82, z = 0.68)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.91, y = 0.12, z = 0.97)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.98, y = 0.87, z = 0.70)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.94, y = 0.39, z = 0.54)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.85, y = 0.60, z = 0.81)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.74, y = 0.64, z = 0.46)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.87, z = 0.70)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.59, y = 0.39, z = 0.55)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.52, y = 0.60, z = 0.77)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.16, y = 0.61, z = 0.77)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.73, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.03, y = 0.45, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.05, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.74, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.23, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.51, z = 0.09)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.79, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.19, y = 0.21, z = 0.84)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.23, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.25, y = 0.66, z = 0.49)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.27, y = 0.02, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.30, y = 0.26, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.33, y = 0.44, z = 0.29)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.02, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.39, y = 0.73, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.24, z = 0.07)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.43, y = 0.47, z = 0.57)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.51, z = 0.11)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.47, y = 0.79, z = 0.15)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.25, z = 0.36)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.64, y = 0.03, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.34, z = 0.23)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.72, y = 0.03, z = 0.40)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.78, y = 0.51, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.25, z = 0.06)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.02, z = 0.12)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.98, y = 0.27, z = 0.64)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.97, y = 0.55, z = 0.72)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.95, y = 0.98, z = 0.60)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.90, y = 0.26, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.90, y = 0.77, z = 0.94)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.88, y = 0.49, z = 0.91)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.88, y = 0.53, z = 0.43)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.87, y = 0.21, z = 0.83)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.81, y = 0.79, z = 0.16)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.77, z = 0.64)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.75, y = 0.34, z = 0.51)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.73, y = 0.98, z = 0.88)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.70, y = 0.74, z = 0.35)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.67, y = 0.56, z = 0.71)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.98, z = 0.60)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.61, y = 0.27, z = 0.65)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.59, y = 0.76, z = 0.93)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.53, z = 0.43)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.54, y = 0.49, z = 0.89)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.53, y = 0.21, z = 0.85)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.75, z = 0.64)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.36, y = 0.97, z = 0.88)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.66, z = 0.77)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.28, y = 0.97, z = 0.60)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.22, y = 0.49, z = 0.88)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.75, z = 0.94)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.98, z = 0.88)
이상이, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 3 양태에 있어서의 원자 배치이다.
(화합물 A 의 제 4 양태)
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 4 양태는, 공간군이 P1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는다. 단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은, In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
금속이 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
산소가 배치되는 원자 좌표는,
x ± 0.01,
y ± 0.01,
z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04478, y = 0.36228, z = 0.86934)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.12677, y = 0.11682, z = 0.62279)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21268, y = 0.8504, z = 0.38665)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23283, y = 0.11047, z = 0.97132)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.28695, y = 0.64349, z = 0.10627)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.45663, y = 0.11849, z = 0.62655)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58343, y = 0.14455, z = 0.0065)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62181, y = 0.6417, z = 0.10725)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.68785, y = 0.18413, z = 0.31614)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.08662, y = 0.88097, z = 0.03282)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02388, y = 0.13328, z = 0.30129)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.0627, y = 0.6051, z = 0.4561)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.1503, y = 0.3962, z = 0.1949)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.2624, y = 0.36429, z = 0.5374)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34051, y = 0.1304, z = 0.29845)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4081, y = 0.6082, z = 0.4509)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.4821, y = 0.39651, z = 0.22899)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.8369, y = 0.39245, z = 0.23049)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.95522, y = 0.63772, z = 0.13066)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.87323, y = 0.88318, z = 0.37721)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.78732, y = 0.1496, z = 0.61335)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.76717, y = 0.88953, z = 0.02868)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.71305, y = 0.35651, z = 0.89373)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.54337, y = 0.88151, z = 0.37345)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41657, y = 0.85545, z = 0.9935)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.37819, y = 0.3583, z = 0.89275)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.31215, y = 0.81587, z = 0.68386)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.91338, y = 0.11903, z = 0.96718)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.97612, y = 0.86672, z = 0.69871)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.9373, y = 0.3949, z = 0.5439)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.8497, y = 0.6038, z = 0.8051)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.7376, y = 0.63571, z = 0.4626)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.65949, y = 0.8696, z = 0.70155)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.5919, y = 0.3918, z = 0.5491)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.5179, y = 0.60349, z = 0.77101)
원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.1631, y = 0.60755, z = 0.76951)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0157, y = 0.7332, z = 0.3627)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0295, y = 0.4499, z = 0.285)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0518, y = 0.0204, z = 0.4013)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0975, y = 0.7442, z = 0.6484)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1004, y = 0.231, z = 0.0611)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.121, y = 0.5054, z = 0.0929)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1218, y = 0.4677, z = 0.5675)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1323, y = 0.7893, z = 0.17)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1917, y = 0.2052, z = 0.837)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1998, y = 0.2293, z = 0.3578)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2461, y = 0.6607, z = 0.4873)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2703, y = 0.0197, z = 0.1161)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2975, y = 0.2578, z = 0.6451)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3274, y = 0.4429, z = 0.2908)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.017, z = 0.3996)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3852, y = 0.7303, z = 0.3495)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4077, y = 0.2385, z = 0.0657)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.425, y = 0.4654, z = 0.5745)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.4569, y = 0.5063, z = 0.1142)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.472, y = 0.7862, z = 0.1502)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.2483, z = 0.3581)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6404, y = 0.0285, z = 0.122)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6587, y = 0.3356, z = 0.2257)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7171, y = 0.0302, z = 0.3985)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7808, y = 0.5096, z = 0.1234)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8007, y = 0.2465, z = 0.0562)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9644, y = 0.0248, z = 0.117)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9843, y = 0.2668, z = 0.6373)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9705, y = 0.5501, z = 0.715)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9482, y = 0.9796, z = 0.5987)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.9025, y = 0.2558, z = 0.3516)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8996, y = 0.769, z = 0.9389)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.879, y = 0.4946, z = 0.9071)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8782, y = 0.5323, z = 0.4325)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8677, y = 0.2107, z = 0.83)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8083, y = 0.7948, z = 0.163)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.8002, y = 0.7707, z = 0.6422)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7539, y = 0.3393, z = 0.5127)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7297, y = 0.9803, z = 0.8839)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.7025, y = 0.7422, z = 0.3549)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6726, y = 0.5571, z = 0.7092)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.983, z = 0.6004)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.6148, y = 0.2697, z = 0.6505)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.5923, y = 0.7615, z = 0.9343)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.575, y = 0.5346, z = 0.4255)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.5431, y = 0.4937, z = 0.8858)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.528, y = 0.2138, z = 0.8498)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.5, y = 0.7517, z = 0.6419)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3596, y = 0.9715, z = 0.878)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.3413, y = 0.6644, z = 0.7743)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2829, y = 0.9698, z = 0.6015)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.2192, y = 0.4904, z = 0.8766)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.1993, y = 0.7535, z = 0.9438)
원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.0356, y = 0.9752, z = 0.883)
이상이, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제 4 양태에 있어서의 원자 배치이다.
＜밴드 갭＞
화합물 A 의 밴드 갭은, 1.1 eV 이상 4.8 eV 이하인 것이 바람직하고, 1.5 eV 이상 4.5 eV 이하인 것이 보다 바람직하고, 2.0 eV 이상 4.0 eV 이하인 것이 더욱 바람직하고, 3.0 eV 이상 3.7 eV 이하인 것이 보다 더욱 바람직하다. 또한, 화합물 A 의 밴드 갭은, 2.9 eV 이상 3.3 eV 이하인 것도 바람직하다.
화합물 A 의 밴드 갭은, 단결정 실리콘보다 밴드 갭이 크기 때문에, 화합물 A 는, 파워 반도체용의 재료로서 우수하다. 또한, 화합물 A 의 밴드 갭은, β-갈리아 (β-Ga2O3) 의 밴드 갭보다 작지만, 열 전도성, 및 벌크 저항값의 관점에서는, 화합물 A 가 β-갈리아 (β-Ga2O3) 보다 유리하고, 화합물 A 가 β-갈리아 (β-Ga2O3) 보다 특성의 밸런스가 양호하여, 차세대 재료로서 유망하다.
밴드 갭의 측정 방법은, 다음과 같다. 소결체 샘플에 대하여, 확산 반사 스펙트럼을 측정하고, 가로축의 파장을 에너지 (단위는, eV 이다) 로 변환한 스펙트럼에 있어서 반사율이 급격하게 낮아지는 영역을 직선 (제 1 직선) 으로 근사하고, 이 직선 (제 1 직선) 과, 동일한 스펙트럼에 있어서 최대 반사율을 통과하여 에너지 축에 평행한 직선 (제 2 직선) 의 교점으로부터 밴드 갭을 산출한다. 확산 반사 스펙트럼은, 적분구 유닛 ISN-723 (니혼 분광 주식회사 제조) 을 구비한 분광 광도계 V-670 (니혼 분광 주식회사 제조) 을 사용하여 측정할 수 있다.
본 실시형태에 관련된 화합물 A 는, 밴드 갭이 넓고, 전도성을 향상시킬 수 있다. 본 실시형태에 관련된 화합물 A 에 의하면, 일반적인 Si 반도체의 밴드 갭에 비하여 밴드 갭이 충분히 넓은 산화물 반도체 재료를 제작할 수 있다.
[화합물 A 의 제조 방법]
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 제조 방법은, 특별히 한정되지 않지만, 고상 반응법, 기상 반응법, 융액법, 용액법, 졸 겔법, 스퍼터링법, TEOS-CVD, 미스트 CVD, 이온 플레이팅법, 진공 증착법, 또는 전자빔 증착법에 의해 제조할 수 있다.
인듐 원소 (In), 갈륨 원소 (Ga), 및 알루미늄 원소 (Al) 를 포함하는 화합물 A 는, 예를 들어, 인듐 산화물, 갈륨 산화물, 및 알루미늄 산화물을 소결함으로써 얻어진다.
예를 들어, 1500 ℃ 에서 소결하여 얻은 다결정의 소결체 중에서 화합물 A 의 단결정립을 추출할 수 있다.
〔소결체〕
본 실시형태에 관련된 소결체는, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 를 포함하는 소결체이고, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 만으로 이루어지는 소결체인 것이 바람직하다.
제작한 소결체 (단결정립) 를 단결정 X 선 구조 해석 장치 D8 QUEST (Bruker 사 제조) 를 사용하여 측정하고, 얻어진 XRD 패턴을 APEX3 (Bruker 사 제조) 으로 해석함으로써 격자 정수를 산출할 수 있다.
＜벌크 저항＞
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 벌크 저항은, 0.1 mΩ·㎝ 이상 500 mΩ·㎝ 이하인 것이 바람직하고, 0.1 mΩ·㎝ 이상 100 mΩ·㎝ 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.5 mΩ·㎝ 이상 50 mΩ·㎝ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 1 mΩ·㎝ 이상 30 mΩ·㎝ 이하인 것이 보다 더욱 바람직하다.
본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 벌크 저항이 500 mΩ·㎝ 이하이면, 저항이 충분히 낮은 화합물이고 반도체로서 전도율을 갖는다. 또한, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 의 벌크 저항이 0.1 mΩ·㎝ 이상이면, 본 실시형태에 관련된 화합물 A 는, 반도체 재료로서 보다 바람직하다.
벌크 저항은, 실시예에 기재된 방법에 의해 측정할 수 있다.
＜화합물 A 의 용도＞
본 실시형태에 관련된 화합물 A 를 디바이스용의 부재로서 사용하는 경우, 화합물 A 의 형상은, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 소결체, 기판, 박막, 혹은 미립자, 또는 이들 디바이스를 제작하기 전의 전구체로서 사용해도 된다.
본 실시형태에 관련된 화합물 A 를 소결체로서 사용하는 경우의 예로는, 스퍼터링 타깃, 저항체, 배리스터 적층 세라믹 콘덴서, 슬롯 다이, 적층 페라이트 칩 인덕터, 칩 배리스터, 서미스터, 및 압전 액추에이터 등에도 적용할 수 있다.
본 실시형태에 관련된 화합물 A 를 기판 또는 박막으로서 사용하는 경우의 예는, 전계 효과형 트랜지스터, 논리 회로, 메모리 회로, 및 차동 증폭 회로, 파워 반도체 소자, (정류) 다이오드 소자, 쇼트키 배리어 다이오드 소자, 정션 트랜지스터 소자, 정전기 방전 (ESD) 보호 다이오드, 과도 전압 보호 (TVS) 다이오드, 발광 다이오드, 금속 반도체 전계 효과 트랜지스터 (MESFET), 접합형 전계 효과 트랜지스터 (JFET), 금속 산화막 반도체 전계 효과 트랜지스터 (MOSFET), 쇼트 키 소스/드레인 MOSFET, 애벌란시 증배형 광전 변환 소자, 고체 촬상 소자, 태양 전지 소자, 광 센서 소자, 표시 소자, 및 저항 변화 메모리 등에도 적용할 수 있다.
상기의 본 실시형태에 관련된 화합물 A 를 기판 또는 박막으로서 사용하는 경우의 소자를 사용한 전자 회로는, 전기 기기, 전자 기기, 차량, 또는 동력 기관 등에 사용할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명을 실시예와 비교예를 사용하여 설명한다. 그러나, 본 발명은 이들 실시예로 한정되지 않는다.
[결정 구조 해석에 사용하는 단결정의 제작법]
(실시예 1, 2, 3 및 4)
표 1 에 나타내는 금속 조성 비율 (at％) 이 되도록 산화갈륨 분말, 산화알루미늄 분말, 및 산화인듐 분말을 합계 70 g 이 되도록 칭량하였다. 칭량한 분말을 마노제의 포트에 넣고, 사이즈가 2 ㎜Φ, 무게가 150 g 인 교반자로서의 지르코니아 볼, 사이즈가 5 ㎜Φ, 무게가 150 g 인 교반자로서의 지르코니아 볼, 바인더로서 PVA (Poly(vinyl alcohol) (폴리비닐알코올)) 를 0.35 g, 및 순수 56 g 을 넣고, 유성형 볼 밀에 의해 220 rpm 으로 6 시간 혼합 분쇄를 실시하였다. 그 후, 120 ℃ 의 노에 넣고 건조시켜, 600 ㎛ 메시의 체로 혼합 분말만을 취출하였다.
이 혼합 분말 8 g 을 1 인치φ 의 금형에 넣고, 20 ㎪/㎠ 의 압력으로 프레스 성형체를 제작하였다.
다음으로, 이 치밀화한 프레스 성형체를 플라티나 도가니에 넣고 대기압 소성노에 설치하여, 5 ℃/min 로 800 ℃ 까지 승온한 후, 800 ℃ 에서 1 시간 유지한 후, 5 ℃/min 로 1350 ℃ 까지 승온한 후, 24 시간 소결하고, 방치 냉각시켜 실온까지 온도를 낮추어 다결정의 소결체로 하였다. 이 다결정의 소결체를 다시 5 ℃/min 로 1575 ℃ 까지 승온한 후, 2 시간 소결하고, 방치 냉각시켜 단결정을 제작하였다.
얻어진 다결정의 소결체, 및 소결체로부터 취출한 단결정립에 대하여, 이하의 평가를 실시하였다.
(비교예 1)
이하의 사양의 실리콘 웨이퍼에 관해서 평가를 실시하였다.
· 기판 두께 : 650 ㎛
· 비저항 : 8.7 Ω㎝
· 도전성 : P 형
· 결정 방위 : ＜100＞
[평가]
실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예 1 에 대하여 이하의 평가를 실시하고, 평가 결과를 표 1 에 나타낸다. 비교예 1 에 관련된 실리콘 웨이퍼에 대해서도,
(1) 격자 정수 및 원자 좌표
실시예 1, 2, 3, 및 4 에 대하여, 제작한 단결정립을 단결정 X 선 구조 해석 장치 D8 QUEST (Bruker 사 제조) 를 사용하여 XRD 패턴을 측정하였다. XRD 패턴의 측정 조건으로서, X 선원은 MoKα, 파장은 0.71073 Å, X 선의 관 전압은 50 ㎸, 관 전류는 1 ㎃, 조사 직경은 200 ㎛φ 였다. 얻어진 XRD 패턴을 단결정 구조 해석 소프트웨어 APEX3 (Bruker 사 제조) 으로 해석하여, 격자 정수, 결정계, 공간군, 원자비 및 원자 좌표를 얻었다. 또한, 제작한 단결정립의 결정 입경은 30 ㎛ 이상이었다.
(2) 벌크 저항 (mΩ·㎝)
얻어진 화합물의 벌크 저항은, 다결정의 소결체 표면을 연마하여, 소결체의 내측을 노출시켜 얻은 면에 대하여 측정하였다. 벌크 저항 (단위는, mΩ·㎝ 로 하였다) 을, 저항률계 로레스타 (미츠비시 화학 주식회사 제조) 를 사용하여, 4 탐침법 (JIS K 7194 : 1994) 에 기초하여 측정하였다.
측정 지점은, 소결체를 연마하여 노출시킨 면의 중심의 1 개 지점, 및 소결체를 연마하여 노출시킨 면의 네 모서리와 중심의 중간점의 4 개 지점, 합계 5 개 지점으로 하고, 5 개 지점의 측정 지점의 평균치를 벌크 저항값으로 하였다.
(3) 다결정의 소결체의 밴드 갭
다결정의 소결체 샘플에 대하여, 확산 반사 스펙트럼을 측정하고, 가로축의 파장을 에너지 (단위는, eV 로 하였다) 로 변환한 스펙트럼에 있어서 반사율이 급격하게 낮아지는 영역을 직선 (제 1 직선) 으로 근사하고, 이 직선 (제 1 직선) 과, 동일한 스펙트럼에 있어서 최대 반사율을 통과하여 에너지축에 평행한 직선 (제 2 직선) 의 교점으로부터 밴드 갭을 산출하였다. 확산 반사 스펙트럼은 적분구 유닛 ISN-723 (니혼 분광 주식회사 제조) 을 구비한 분광 광도계 V-670 (니혼 분광 주식회사 제조) 을 사용하여 측정하였다.
(4) 단결정립의 원자비
단결정립의 원자비 (금속 조성 비율) 는, 단결정 X 선 구조 해석 장치 D8 QUEST (Bruker 사 제조) 를 사용하여 XRD 패턴을 측정하고, 얻어진 XRD 패턴을 단결정 구조 해석 소프트웨어 APEX3 (Bruker 사 제조) 로 해석함으로써 얻어졌다. 실시예 1 ∼ 4 에 관련된 단결정립은, 표 1 에 나타내는 금속 조성 비율 (단위는, at％ 로 하였다) 인 것을 확인하였다.
비교예 1 에 관련된 실리콘 웨이퍼에 대해서도, 상기 「(2) 벌크 저항」 및 「(3) 다결정의 소결체의 밴드 갭」 에 기재된 방법과 동일하게 하여 벌크 저항 및 밴드 갭을 측정하였다.
〔평가 결과〕
(실시예 2)
도 1 에 실시예 2 에 관련된 단결정의 (10.12 0.00 2.09) 면의 프리세션 사진을 나타낸다.
도 2 에 실시예 2 에 관련된 단결정의 (0.00 12.78 -6.61) 면의 프리세션 사진을 나타낸다.
도 3 에 실시예 2 에 관련된 단결정의 (11.95 -7.08 0.00) 면의 프리세션 사진을 나타낸다.
프리세션 사진은, 상기 「(1) 격자 정수 및 원자 좌표」 에 있어서, 제작한 소결체 (단결정립) 를 단결정 X 선 구조 해석 장치 D8 QUEST (Bruker 사 제조) 를 사용하여 측정한 XRD 패턴에 상당한다.
표 1 에 실시예 1 ∼ 4 그리고 비교예 1 에 관련된 소결체의 특성 평가 결과를 나타낸다. 또한, 표 1 의 결정계, 공간군, 격자 정수에 대하여, 실시예 1 ∼ 4 에 대해서는 상기 「(1) 격자 정수 및 원자 좌표」 에 기재된 방법으로 얻어진 결과를 나타냈다.
Figure pct00001
실시예 2 에 관련된 산화물 소결체가 포함하는 화합물 A 의 원자 좌표를 표 2 및 표 3 에 나타낸다. 표 4 에는, 표 2 의 원자 좌표의 수치를 소수점 이하 제 2 위치까지 표시하여 나타내고, 표 5 에는, 표 3 의 원자 좌표의 수치를 소수점 이하 제 2 위치까지 표시하여 나타낸다.
Figure pct00002
Figure pct00003
Figure pct00004
Figure pct00005
실시예 1 에 관련된 산화물 소결체가 포함하는 화합물 A 의 원자 좌표를 표 6 및 표 7 에 나타낸다. 표 8 에는, 표 6 의 원자 좌표의 수치를 소수점 이하 제 2 위치까지 표시하여 나타내고, 표 9 에는, 표 7 의 원자 좌표의 수치를 소수점 이하 제 2 위치까지 표시하여 나타낸다.
Figure pct00006
Figure pct00007
Figure pct00008
Figure pct00009
표 1 로부터, 실시예 1, 2, 3 및 4 에 관련된 화합물 A 는, 규정하는 격자 정수 (a, b, c, α, β, 및 γ) 의 범위를 만족하는 결정상을 포함하는 것을 알 수 있었다.
표 1 로부터, 실시예 1, 2, 3 및 4 에 관련된 화합물 A 는, 일반적인 Si 반도체의 밴드 갭에 비하여 충분히 넓은 산화물 반도체 재료를 제작할 수 있는 화합물인 것을 알 수 있었다.

Claims (4)

  1. 인듐 원소 (In), 갈륨 원소 (Ga), 알루미늄 원소 (Al) 및 산소 원소 (O) 로부터 형성되고,
    격자 정수가,
    a = 10.07 ± 0.15 Å,
    b = 10.45 ± 0.15 Å,
    c = 11.01 ± 0.15 Å,
    α = 111.70 ± 0.50°,
    β = 107.70 ± 0.50°, 및
    γ = 90.00 ± 0.50°이고,
    결정계가 삼사정을 나타내는 화합물.
  2. 제 1 항에 있어서,
    공간군이 P-1 혹은 P1 인, 화합물.
  3. 제 1 항에 있어서,
    공간군이 P-1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는, 화합물.
    단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은, In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
    금속이 배치되는 원자 좌표는,
    x ± 0.01,
    y ± 0.01,
    z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
    산소가 배치되는 원자 좌표는,
    x ± 0.01,
    y ± 0.01,
    z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.36, z = 0.87)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.12, z = 0.62)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21, y = 0.85, z = 0.39)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23, y = 0.11, z = 0.97)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.29, y = 0.64, z = 0.11)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.12, z = 0.63)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.14, z = 0.01)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.64, z = 0.11)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.69, y = 0.18, z = 0.32)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.09, y = 0.88, z = 0.03)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.13, z = 0.30)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.06, y = 0.61, z = 0.46)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.15, y = 0.40, z = 0.19)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.26, y = 0.36, z = 0.54)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.13, z = 0.30)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.61, z = 0.45)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.48, y = 0.40, z = 0.23)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.84, y = 0.39, z = 0.23)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.73, z = 0.36)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.03, y = 0.45, z = 0.29)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.05, y = 0.02, z = 0.40)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.74, z = 0.65)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.23, z = 0.06)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.51, z = 0.09)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.47, z = 0.57)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.79, z = 0.17)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.19, y = 0.21, z = 0.84)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.23, z = 0.36)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.25, y = 0.66, z = 0.49)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.27, y = 0.02, z = 0.12)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.30, y = 0.26, z = 0.65)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.33, y = 0.44, z = 0.29)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.02, z = 0.40)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.39, y = 0.73, z = 0.35)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.24, z = 0.07)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.43, y = 0.47, z = 0.57)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.51, z = 0.11)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.47, y = 0.79, z = 0.15)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.25, z = 0.36)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.64, y = 0.03, z = 0.12)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.34, z = 0.23)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.72, y = 0.03, z = 0.40)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.78, y = 0.51, z = 0.12)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.25, z = 0.06)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.02, z = 0.12)
  4. 제 1 항에 있어서,
    공간군이 P1 이고, 하기에 나타내는 원자 배치를 갖는, 화합물.
    단, 하기 원자 배치에 있어서의 금속은 In, Ga, 및 Al 의 어느 1 개, 혹은 In, Ga, 및 Al 의 어느 2 개 이상이, 일정한 비율로 동일 원자 좌표를 공유하고 있는 상태이고,
    금속이 배치되는 원자 좌표는,
    x ± 0.01,
    y ± 0.01,
    z ± 0.01 의 폭을 포함하고,
    산소가 배치되는 원자 좌표는,
    x ± 0.01,
    y ± 0.01,
    z ± 0.01 의 폭을 포함한다.
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.36, z = 0.87)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.12, z = 0.62)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.21, y = 0.85, z = 0.39)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.23, y = 0.11, z = 0.97)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.29, y = 0.64, z = 0.11)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.12, z = 0.63)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.14, z = 0.01)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.64, z = 0.11)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.69, y = 0.18, z = 0.32)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.09, y = 0.88, z = 0.03)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.13, z = 0.30)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.06, y = 0.61, z = 0.46)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.15, y = 0.40, z = 0.19)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.26, y = 0.36, z = 0.54)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.13, z = 0.30)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.61, z = 0.45)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.48, y = 0.40, z = 0.23)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.84, y = 0.39, z = 0.23)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.64, z = 0.13)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.87, y = 0.88, z = 0.38)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.79, y = 0.15, z = 0.61)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.77, y = 0.89, z = 0.03)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.71, y = 0.36, z = 0.89)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.54, y = 0.88, z = 0.37)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.42, y = 0.86, z = 0.99)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.36, z = 0.89)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.31, y = 0.82, z = 0.68)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.91, y = 0.12, z = 0.97)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.98, y = 0.87, z = 0.70)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.94, y = 0.39, z = 0.54)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.85, y = 0.60, z = 0.81)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.74, y = 0.64, z = 0.46)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.87, z = 0.70)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.59, y = 0.39, z = 0.55)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.52, y = 0.60, z = 0.77)
    원자 종류 : 금속, 원자 좌표 (x = 0.16, y = 0.61, z = 0.77)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.02, y = 0.73, z = 0.36)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.03, y = 0.45, z = 0.29)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.05, y = 0.02, z = 0.40)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.74, z = 0.65)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.10, y = 0.23, z = 0.06)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.51, z = 0.09)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.12, y = 0.47, z = 0.57)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.13, y = 0.79, z = 0.17)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.19, y = 0.21, z = 0.84)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.23, z = 0.36)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.25, y = 0.66, z = 0.49)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.27, y = 0.02, z = 0.12)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.30, y = 0.26, z = 0.65)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.33, y = 0.44, z = 0.29)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.38, y = 0.02, z = 0.40)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.39, y = 0.73, z = 0.35)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.41, y = 0.24, z = 0.07)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.43, y = 0.47, z = 0.57)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.46, y = 0.51, z = 0.11)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.47, y = 0.79, z = 0.15)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.25, z = 0.36)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.64, y = 0.03, z = 0.12)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.66, y = 0.34, z = 0.23)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.72, y = 0.03, z = 0.40)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.78, y = 0.51, z = 0.12)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.25, z = 0.06)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.96, y = 0.02, z = 0.12)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.98, y = 0.27, z = 0.64)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.97, y = 0.55, z = 0.72)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.95, y = 0.98, z = 0.60)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.90, y = 0.26, z = 0.35)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.90, y = 0.77, z = 0.94)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.88, y = 0.49, z = 0.91)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.88, y = 0.53, z = 0.43)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.87, y = 0.21, z = 0.83)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.81, y = 0.79, z = 0.16)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.80, y = 0.77, z = 0.64)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.75, y = 0.34, z = 0.51)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.73, y = 0.98, z = 0.88)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.70, y = 0.74, z = 0.35)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.67, y = 0.56, z = 0.71)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.62, y = 0.98, z = 0.60)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.61, y = 0.27, z = 0.65)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.59, y = 0.76, z = 0.93)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.58, y = 0.53, z = 0.43)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.54, y = 0.49, z = 0.89)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.53, y = 0.21, z = 0.85)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.50, y = 0.75, z = 0.64)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.36, y = 0.97, z = 0.88)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.34, y = 0.66, z = 0.77)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.28, y = 0.97, z = 0.60)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.22, y = 0.49, z = 0.88)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.20, y = 0.75, z = 0.94)
    원자 종류 : 산소, 원자 좌표 (x = 0.04, y = 0.98, z = 0.88)
KR1020217002856A 2018-08-01 2019-08-01 화합물 KR102436599B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2018-145480 2018-08-01
JP2018145480 2018-08-01
PCT/JP2019/030135 WO2020027244A1 (ja) 2018-08-01 2019-08-01 化合物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210035198A true KR20210035198A (ko) 2021-03-31
KR102436599B1 KR102436599B1 (ko) 2022-08-25

Family

ID=69231206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217002856A KR102436599B1 (ko) 2018-08-01 2019-08-01 화합물

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11760650B2 (ko)
JP (1) JP6761920B2 (ko)
KR (1) KR102436599B1 (ko)
CN (1) CN112512974B (ko)
TW (1) TWI770407B (ko)
WO (1) WO2020027244A1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023176591A1 (ja) * 2022-03-16 2023-09-21 出光興産株式会社 焼結体、スパッタリングターゲット、酸化物薄膜、薄膜トランジスタ、電子機器、及び焼結体の製造方法
JP7430843B1 (ja) 2023-09-14 2024-02-13 株式会社アルバック 酸化物半導体薄膜、半導体デバイス及びその製造方法、並びにスパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110083601A (ko) * 2008-09-19 2011-07-20 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 산화물 소결체 및 스퍼터링 타겟
WO2015005202A1 (ja) * 2013-07-09 2015-01-15 株式会社Flosfia 半導体装置及びその製造方法、並びに結晶及びその製造方法
JP2015018881A (ja) * 2013-07-09 2015-01-29 株式会社Flosfia 半導体装置
WO2016084636A1 (ja) 2014-11-25 2016-06-02 住友金属鉱山株式会社 酸化物焼結体、スパッタリング用ターゲット、及びそれを用いて得られる酸化物半導体薄膜
JP2018002544A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 株式会社Flosfia 結晶性酸化物半導体膜およびその製造方法
KR20180034318A (ko) * 2015-07-30 2018-04-04 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 결정질 산화물 반도체 박막, 결정질 산화물 반도체 박막의 제조 방법 및 박막 트랜지스터

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102482156A (zh) * 2009-09-30 2012-05-30 出光兴产株式会社 In-Ga-Zn-O系氧化物烧结体
JP2013018660A (ja) * 2011-07-07 2013-01-31 Sharp Corp 複無機化合物系およびその利用、並びに、複無機化合物系の製造方法
JP5965338B2 (ja) * 2012-07-17 2016-08-03 出光興産株式会社 スパッタリングターゲット、酸化物半導体薄膜及びそれらの製造方法
JP5343224B1 (ja) * 2012-09-28 2013-11-13 Ｒｏｃａ株式会社 半導体装置および結晶
JP6284710B2 (ja) * 2012-10-18 2018-02-28 出光興産株式会社 スパッタリングターゲット、酸化物半導体薄膜及びそれらの製造方法
JP6352194B2 (ja) * 2013-01-16 2018-07-04 出光興産株式会社 スパッタリングターゲット、酸化物半導体薄膜及び当該酸化物半導体薄膜を備える薄膜トランジスタ
JP2014214359A (ja) * 2013-04-26 2014-11-17 出光興産株式会社 スパッタリングターゲット、酸化物半導体薄膜及び当該酸化物半導体薄膜を備える薄膜トランジスタ
JP5397794B1 (ja) * 2013-06-04 2014-01-22 Ｒｏｃａ株式会社 酸化物結晶薄膜の製造方法
JP5800209B2 (ja) * 2014-04-25 2015-10-28 三菱マテリアル株式会社 酸化物スパッタリングターゲットおよびその製造方法
CN106414366A (zh) * 2014-06-26 2017-02-15 住友金属矿山株式会社 氧化物烧结体、溅射靶及使用该靶得到的氧化物半导体薄膜
US20170144920A1 (en) * 2015-11-20 2017-05-25 Giga Solar Materials Corp. Crystalline oxides, preparation thereof and conductive pastes containing the same
JP7014355B2 (ja) * 2017-06-28 2022-02-01 株式会社Flosfia 積層構造体および半導体装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110083601A (ko) * 2008-09-19 2011-07-20 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 산화물 소결체 및 스퍼터링 타겟
WO2015005202A1 (ja) * 2013-07-09 2015-01-15 株式会社Flosfia 半導体装置及びその製造方法、並びに結晶及びその製造方法
JP2015018881A (ja) * 2013-07-09 2015-01-29 株式会社Flosfia 半導体装置
WO2016084636A1 (ja) 2014-11-25 2016-06-02 住友金属鉱山株式会社 酸化物焼結体、スパッタリング用ターゲット、及びそれを用いて得られる酸化物半導体薄膜
KR20170086473A (ko) * 2014-11-25 2017-07-26 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 산화물 소결체, 스퍼터링용 타겟, 및 그것을 이용하여 얻어지는 산화물 반도체 박막
KR20180034318A (ko) * 2015-07-30 2018-04-04 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 결정질 산화물 반도체 박막, 결정질 산화물 반도체 박막의 제조 방법 및 박막 트랜지스터
JP2018002544A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 株式会社Flosfia 結晶性酸化物半導体膜およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112512974B (zh) 2022-12-23
WO2020027244A1 (ja) 2020-02-06
JP6761920B2 (ja) 2020-09-30
CN112512974A (zh) 2021-03-16
TWI770407B (zh) 2022-07-11
US20210309535A1 (en) 2021-10-07
TW202018137A (zh) 2020-05-16
US11760650B2 (en) 2023-09-19
KR102436599B1 (ko) 2022-08-25
JPWO2020027244A1 (ja) 2020-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Wang et al. Effect of substrate temperature on transparent conducting Al and F co-doped ZnO thin films prepared by rf magnetron sputtering
JP5928856B2 (ja) ＩｎＧａＯ３（ＺｎＯ）結晶相からなる酸化物半導体用スパッタリングターゲット及びその製造方法
Banerjee et al. Preparation of p-type transparent conducting CuAlO2 thin films by reactive DC sputtering
JPWO2009157535A6 (ja) ＩｎＧａＯ３（ＺｎＯ）結晶相からなる酸化物半導体用スパッタリングターゲット及びその製造方法
Bandi et al. Effect of titanium induced chemical inhomogeneity on crystal structure, electronic structure, and optical properties of wide band gap Ga2O3
TW201833062A (zh) 氧化物半導體膜、薄膜電晶體、氧化物燒結體及濺鍍靶
KR102436599B1 (ko) 화합물
Lu et al. A review of metal–semiconductor contacts for β-Ga2O3
Bera et al. Chemical modulation of valance band in delafossite structured CuFeO2 thin film and its photoresponse
JP7263408B2 (ja) 結晶質酸化物薄膜、アモルファス酸化物薄膜、薄膜トランジスタ、及び電子機器
Li et al. Transitions of bandgap and built-in stress for sputtered HfZnO thin films after thermal treatments
CN110234785B (zh) 非晶质氧化物半导体膜、氧化物烧结体以及薄膜晶体管
Gullu et al. Influence of temperature on optical properties of electron-beam-evaporated ZnSe thin film
TW201835002A (zh) 氧化物半導體膜、薄膜電晶體、氧化物燒結體及濺鍍靶材
Gupta et al. Effect of substrate temperature on structural and optoelectrical properties of silver doped zinc oxide thin films
Sanal et al. Development of p-type amorphous Cu1− xBxO2− δ thin films and fabrication of pn hetero junction
Domaradzki et al. Electrical and optical properties of transparent oxide semiconductors (TOSs) based on Eu, Pd‐and Tb, Pd‐doped TiO2
KR20110133814A (ko) 투명 피형 스트론튬 구리 산화물 반도체 조성물 및 이의 제조방법
Hulman Growth of extremely thin MoS2 films by pulsed laser deposition

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant