KR20200116860A - 기판 지지 장치 및 기판 지지 장치의 제어 방법 - Google Patents

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KR20200116860A
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미츠루 미야자키
다쿠야 이노우에
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

일례로서, 기판을 설치하거나 및/또는 제거하기 위한 기판 지지 장치와 방법이 제공된다. 일 양태로서, 기판 지지 장치는, 기판 W의 주연부에 맞닿고, 상기 기판 W를 회전시키는 복수의 지지부(10)와, 복수의 지지부(10)가 마련된 한 쌍의 피구동부(30)와, 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)를 연결하는 연결부(20)와, 상기 연결부(20)의 적어도 일부를 이동시킴으로써, 상기 피구동부(30)의 각각을 제1 방향을 따라서 직선형으로 근접 또는 이격시키는 구동부(40)를 갖는다. 복수의 다른 양태가 제공된다.

Description

기판 지지 장치 및 기판 지지 장치의 제어 방법{SUBSTRATE SUPPORT DEVICE AND CONTROL METHOD OF SUBSTRATE SUPPORT DEVICE}
본 발명은, 기판을 회전 가능하게 지지하기 위한 기판 지지 장치와, 당해 기판 지지 장치의 제어 방법에 관한 것이다.
본원은, 2019년 4월 2일에 출원된 일본 특허 출원 제2019-070492호에 대해서 우선권을 주장함과 함께, 그 내용의 전부를 참조로서 포함한다.
종래부터, 웨이퍼 등의 기판을 지지하는 스핀 척 등이 알려져 있다. 일본 특허 공개 제2005-19456호 공보에서는, 회전축과, 웨이퍼를 끼움 지지함과 함께, 그 끼움 지지를 해제할 수 있는 복수의 끼움 지지 부재를 갖는 스핀 척이 개시되어 있다. 4개의 지지부가 마련되어 있는 양태에서는, 종래, 일방측의 2개의 지지부는 기판의 면내 방향에서 이동하지 않도록 고정되어 고정측 클램프 기구로 되어 있으며, 타방측의 2개의 지지부가 기판의 면내 방향에서 이동하는 구동측 클램프 기구로 되어 있다.
스핀들 등으로 구성되는 지지부는 사용됨으로써 감모된다. 예를 들어 기판의 일례인 웨이퍼를 사용한 경우에는, 웨이퍼 에지와의 접촉으로 지지부는 감모된다. 이렇게 지지부가 감모되면, 웨이퍼를 지지부에서 지지(보유 지지)할 때 웨이퍼는 고정측 클램프 기구측으로 감모량만큼 이동하게 된다. 이와 같이 지지부가 감모되는 것에 기인하여 기판을 지지하는 위치가 어긋나게 되고, 나아가서는 기판의 세정 위치가 어긋나버리는 것이 과제로 되어 왔다.
또한, 기판을 지지하는 압력(클램프 압력)의 조정을, 기판 지지 장치의 출하 시나 고객에 대한 인도 시에 로드셀 지그를 사용하여 행하는 것이 일반적이다. 그러나, 전술한 바와 같이, 지지부가 감모되면, 기판에 실제로 가해지는 압력이 당초 조정하고 있던 압력으로부터 어긋나버리게 된다. 정기적으로 로드셀 지그를 사용하여 압력 조정을 행해도 되지만, 이용을 반복하는 중에 압력이 어긋나버려, 압력 조정을 행할 때까지의 동안에 허용하고 있는 압력과는 상이한 압력으로 기판이 지지되고, 세정 등의 처리가 행해지게 되는 경우도 있다.
본 발명은, 지지부가 감모되어도 기판을 당초와 마찬가지의 양태로 지지할 수 있는 기판 지지 장치 등을 제공한다.
[개념 1]
본 발명에 의한 기판 지지 장치는,
기판의 주연부에 맞닿고, 상기 기판을 회전시키도록 적용되는 복수의 지지부와,
복수의 지지부가 마련된 한 쌍의 피구동부와,
한쪽의 피구동부에 이동 가능하게 연결되고, 또한 다른 쪽의 피구동부에 이동 가능하게 연결되는 연결부와,
상기 연결부가 제2 방향을 따라서 직선형으로 이동되게, 힘을 전달하도록 적용되는 구동부
를 구비하고,
상기 연결부는, 상기 제2 방향을 따른 직선형의 힘을 한 쌍의 피구동부 사이의 거리를 증가 또는 감소시키는 힘으로 변환하도록 적용되어도 된다.
[개념 2]
본 발명의 개념 1에 따른 기판 지지 장치에 있어서,
한쪽의 피구동부에 마련되고, 당해 한쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 제1 피가이드 부재와,
다른 쪽의 피구동부에 마련되고, 당해 다른 쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 제2 피가이드 부재와,
상기 제1 피가이드 부재를 상기 제1 방향을 따라서 가이드하는 제1 가이드와,
상기 제2 피가이드 부재를 상기 제1 방향을 따라서 가이드하는 제2 가이드
를 더 구비해도 된다.
[개념 3]
본 발명의 개념 2에 따른 기판 지지 장치는,
상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드가 마련된 기대를 더 구비하고,
상기 기대에는 상기 지지부가 통과하는 상기 제1 방향을 따른 긴 구멍이 마련되어도 된다.
[개념 4]
본 발명의 개념 1 내지 3 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치에 있어서,
한쪽의 피구동부에, 복수의 지지부와, 당해 한쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 복수의 제1 피가이드 부재가 마련되고,
다른 쪽의 피구동부에, 복수의 지지부와, 당해 다른 쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 복수의 제2 피가이드 부재가 마련되고,
한쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 사이에 복수의 제1 피가이드 부재가 마련되고,
다른 쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 사이에 복수의 제2 피가이드 부재가 마련되어도 된다.
[개념 5]
본 발명의 개념 1 내지 4 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치에 있어서,
상기 연결부는 기판의 면내 방향이며 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향을 따라서 이동 가능한 기단부를 갖고,
상기 기단부를 제2 방향을 따라서 이동함으로써 상기 한 쌍의 암이 개폐해도 된다.
[개념 6]
본 발명의 개념 1 내지 5 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치에 있어서,
상기 구동부로부터 상기 연결부에 가해지는 힘을 검지하는 제1 검지부와,
상기 제1 검지부에서 검지되는 힘을 제1 범위의 값으로 하도록 상기 구동부를 제어하는 제어부
를 더 구비해도 된다.
[개념 7]
본 발명의 개념 1 내지 6 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치에 있어서,
상기 연결부는 개폐하는 한 쌍의 암을 갖고,
한쪽의 피구동부에 복수의 지지부가 마련되고, 한쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 각각은 한쪽의 암에 대해서 기판의 면내 방향에서 요동 가능하게 되고,
다른 쪽의 피구동부에 복수의 지지부가 마련되고, 다른 쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 각각이 다른 쪽의 암에 대해서 기판의 면내 방향에서 요동 가능하게 되어도 된다.
[개념 8]
본 발명의 개념 1 내지 7 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치에 있어서,
상기 구동부는 모터이며,
상기 모터의 토크를 검지하는 제2 검지부와,
상기 제2 검지부에서 검지되는 토크를 제2 범위의 값으로 하도록 상기 모터를 제어하는 제어부를 더 구비해도 된다.
[개념 9]
본 발명의 개념 1 내지 8 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치에 있어서,
상기 연결부의 일부는 상기 제2 방향을 따라서 연장되고,
상기 연결부는, 한 쌍의 암과, 상기 한 쌍의 암을 연결하는 허브를 갖고,
제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 직교하고,
상기 한 쌍의 피구동부의 거리를 증가 또는 감소시키도록 상기 허브는 상기 제2 방향을 따라서 이동되어도 된다.
[개념 10]
본 발명에 의한 기판 처리 장치는,
본 발명의 개념 1 내지 9 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치를 구비해도 된다.
[개념 11]
본 발명에 의한 기판 지지 장치의 제어 방법은,
본 발명의 개념 1 내지 9 중 어느 하나에 따른 기판 지지 장치를 제어하기 위한 기판 지지 장치의 제어 방법이며,
상기 연결부의 적어도 일부를 상기 제1 방향을 따라서 직선형으로 이동시킴으로써, 상기 피구동부 사이의 거리를 증가시키는 공정과,
상기 기판을 복수의 지지부의 사이에 마련하는 공정과,
상기 연결부의 적어도 일부를 상기 제1 방향을 따라서 직선형으로 이동시킴으로써, 상기 피구동부 사이의 거리를 감소시켜, 상기 지지부에 의해 상기 기판의 주연부를 지지하는 공정과,
상기 지지부를 회전시킴으로써 상기 기판을 회전시키는 공정
을 구비해도 된다.
본 발명의 일 형태로서, 한쪽의 피구동부와 다른 쪽의 피구동부를 연결하는 연결부가 마련되고, 구동부에 의해 연결부의 적어도 일부를 이동시킴으로써, 피구동부의 각각을 제1 방향을 따라서 직선형으로 근접 또는 이격시키는 양태를 채용한 경우에는, 한쪽의 피구동부와 다른 쪽의 피구동부를 동일한 타이밍에 이동시킬 수 있어, 지지부에 의해 기판을 지지하는 위치(클램프 위치)의 어긋남을 발생하기 어렵게 할 수 있다. 또한, 종래라면 교환될 미리 상정되어 있는 이상의 감모량까지 감모된 지지부를 계속해서 사용한 경우라도, 기판을 지지하는 위치의 어긋남을 억제할 수 있으므로, 종래보다도 지지부의 내용 사용 시간을 보다 장기로 할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에서 사용될 수 있는 기판 지지 장치를 하방측에서 본 저면도이다.
도 2는, 본 발명의 제1 실시 형태에서 사용될 수 있는 기판 지지 장치를 제2 방향을 따라서 본 측방도이며, 세정 부재 및 세정액 공급부를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 3은, 본 발명의 제1 실시 형태에서 사용될 수 있는 기판 지지 장치를 제1 방향을 따라서 본 측방도이다.
도 4는, 본 발명의 제1 실시 형태에서 사용될 수 있는 기판 지지 장치를 상방측에서 본 평면도이다.
도 5는, 본 발명의 제1 실시 형태에서 사용될 수 있는 긴 구멍과 지지부의 관계를 나타낸 평면도이다.
도 6은, 본 발명의 제1 실시 형태에서 사용될 수 있는 제1 검지부, 제2 검지부 및 제어부의 관계를 나타낸 도면이다.
도 7은, 본 발명의 제1 실시 형태에서 사용될 수 있는 기판 지지 장치의 다른 양태를 하방측에서 본 저면도이다.
도 8은, 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 기판 세정 장치를 포함하는 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도이다.
도 9는, 본 발명의 제2 실시 형태에서 사용될 수 있는 기판 지지 장치를 하방측에서 본 저면도이다.
도 10은, 본 발명의 제2 실시 형태에서 사용될 수 있는 기판 지지 장치를 제2 방향을 따라서 본 측방도이다.
제1 실시 형태
《구성》
기판 세정 장치 등을 포함하는 기판 처리 장치에 의한 제1 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 8에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 기판 처리 장치는, 대략 직사각 형상의 하우징(310)과, 다수의 기판 W를 스톡하는 기판 카세트가 적재되는 로드 포트(312)를 갖고 있다. 로드 포트(312)는, 하우징(310)에 인접하여 배치되어 있다. 로드 포트(312)에는, 오픈 카세트, SMIF(Standard Mechanical Interface) 포드, 또는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 탑재할 수 있다. SMIF 포드, FOUP는, 내부에 기판 카세트를 수납하고, 격벽으로 덮음으로써, 외부 공간과는 독립된 환경을 유지할 수 있는 밀폐 용기이다. 기판 W로서는, 예를 들어 반도체 웨이퍼 등을 들 수 있다.
하우징(310)의 내부에는, 복수(도 8에 도시한 양태에서는 4개)의 연마 유닛(314a 내지 314d)과, 연마 후의 기판 W를 세정하는 제1 세정 유닛(316) 및 제2 세정 유닛(318)과, 세정 후의 기판 W를 건조시키는 건조 유닛(320)이 수용되어 있다. 연마 유닛(314a 내지 314d)은, 기판 처리 장치의 길이 방향을 따라서 배열되고, 세정 유닛(316, 318) 및 건조 유닛(320)도 기판 처리 장치의 길이 방향을 따라서 배열되어 있다. 본 실시 형태의 기판 처리 장치에 의하면, 직경 300㎜ 또는 450㎜의 반도체 웨이퍼, 플랫 패널, CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)나 CCD(Charge Coupled Device) 등의 이미지 센서, MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)에 있어서의 자성막의 제조 공정에 있어서, 다양한 기판 W를, 연마 처리할 수 있다. 또한, 다른 실시 형태의 기판 처리 장치로서는, 하우징(310) 내에 기판 W를 연마하는 연마 유닛을 마련하지 않고, 기판 W의 세정 처리 및 건조 처리를 행하는 장치로 해도 된다.
로드 포트(312), 로드 포트(312)측에 위치하는 연마 유닛(314a) 및 건조 유닛(320)으로 둘러싸인 영역에는, 제1 반송 로봇(322)이 배치되어 있다. 또한, 연마 유닛(314a 내지 314d) 그리고 세정 유닛(316, 318) 및 건조 유닛(320)과 평행하게, 반송 유닛(324)이 배치되어 있다. 제1 반송 로봇(322)은, 연마 전의 기판 W를 로드 포트(312)로부터 수취하여 반송 유닛(324)에 전달하거나, 건조 유닛(320)으로부터 건조 후의 기판 W를 수취하거나 한다.
제1 세정 유닛(316)과 제2 세정 유닛(318)의 사이에, 이들 제1 세정 유닛(316)과 제2 세정 유닛(318)의 사이에서 기판 W의 전달을 행하는 제2 반송 로봇(326)이 배치되고, 제2 세정 유닛(318)과 건조 유닛(320)의 사이에, 이들 제2 세정 유닛(318)과 건조 유닛(320)의 사이에서 기판 W의 전달을 행하는 제3 반송 로봇(328)이 배치되어 있다. 또한, 하우징(310)의 내부에는, 기판 처리 장치의 각 기기의 움직임을 제어하는 제어부(50)가 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 하우징(310)의 내부에 제어부(50)가 배치되어 있는 양태를 사용하여 설명하지만, 이것에 한정되지 않고, 하우징(310)의 외부에 제어부(50)가 배치되어도 되고, 제어부(50)는 원격지에 마련되어도 된다. 제어부(50)가 원격지에 마련되는 경우에는, 기판 처리 장치의 각 기기가 원격 제어되게 된다.
제1 세정 유닛(316)으로서, 세정액의 존재하에서, 기판 W의 직경의 거의 전체 길이에 걸쳐 직선형으로 연장되는 롤 세정 부재를 접촉시켜, 기판 W에 평행한 중심축 둘레로 자전시키면서 기판 W의 표면을 스크럽 세정하는 롤 세정 장치가 사용되어도 된다. 예를 들어, 수평 방향, 수직 방향 또는 수평 방향으로 경사진 방향에서 기판 W를 보유 지지하여 이것을 회전시키면서 롤 세정 부재를 기판 W에 접촉시켜 세정 처리해도 된다. 또한, 제2 세정 유닛(318)으로서, 세정액의 존재하에서 연직 방향으로 연장되는 원기둥형의 펜슬 세정 부재의 접촉면을 접촉시키고, 펜슬 세정 부재를 자전시키면서 일 방향을 향해 이동시켜서, 기판 W의 표면을 스크럽 세정하는 펜슬 세정 장치가 사용되어도 된다. 또한, 건조 유닛(320)으로서, 수평하게 보유 지지하면서 회전하는 기판 W를 향하여, 이동하는 분사 노즐로부터 IPA 증기를 분출해서 기판 W를 건조시키고, 또한 기판 W를 고속으로 회전시켜 원심력에 의해 기판 W를 건조시키는 스핀 건조 유닛이 사용되어도 된다.
또한, 제1 세정 유닛(316)으로서 롤 세정 장치가 아니라, 제2 세정 유닛(318)과 마찬가지의 펜슬 세정 장치를 사용하거나, 2유체 제트에 의해 기판 W의 표면을 세정하는 2유체 제트 세정 장치를 사용하거나 해도 된다. 또한, 제2 세정 유닛(318)으로서 펜슬 세정 장치가 아니라, 제1 세정 유닛(316)과 마찬가지의 롤 세정 장치를 사용하거나, 2유체 제트에 의해 기판 W의 표면을 세정하는 2유체 제트 세정 장치를 사용하거나 해도 된다.
본 실시 형태의 세정액에는, 순수(DIW) 등의 린스액과, 암모니아과산화수소(SC1), 염산과산화수소(SC2), 황산과산화수소(SPM), 황산가수, 불산 등의 약액이 포함되어 있다. 본 실시 형태에서 특별히 언급하지 않는 한, 세정액은 린스액, 약액, 또는 린스액 및 약액의 양쪽을 의미하고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 기판 세정 장치는, 기판 W를 회전 가능하게 지지하는 스핀들 장치 등으로 이루어지는 기판 지지 장치(100)와, 기판 W를 세정하기 위한 하나 또는 복수의 세정 부재(200)와, 기판 W에 세정액을 공급하는 하나 또는 복수의 세정액 공급부(250)를 가져도 된다. 본 실시 형태에서는, 기판 W의 면내 방향이 수평 방향이 되도록 하여 지지되는 양태를 사용하여 설명하지만, 이것에 한정되지 않고, 기판 W의 면내 방향이 수직 방향으로 되어도 되고, 수평 방향으로부터 경사지는 방향으로 되어도 된다. 또한, 도 2에서는 세정 부재(200)의 일례로서 롤 세정 부재를 도시하였다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 기판 지지 장치(100)는, 기판 W의 주연부에 맞닿고, 기판 W를 회전시키는 복수의 지지부(10)와, 복수의 지지부(10)가 마련된 한 쌍의 피구동부(30)와, 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)를 연결하는 연결부(20)와, 연결부(20)를 이동시킴으로써, 한 쌍의 피구동부(30)를 제1 방향에서 근접 또는 이격시키는 구동부(40)를 가져도 된다. 지지부(10)는, 기판 W를 회전시키면서 지지하기 위한 부재이며, 예를 들어 스핀들이다. 한 쌍의 피구동부(30)는 제1 방향을 따라서 직선형으로 근접 또는 이격해도 된다. 본 실시 형태에서는 4개의 지지부(10)가 마련되는 양태를 사용하여 설명하지만, 이것에 한정되지 않고, 3개 또는 5개 이상의 지지부(10)가 마련되어도 되며, 예를 들어 6개의 지지부(10)가 마련되어도 된다. 본 실시 형태에 있어서, 도 1의 좌우 방향을 「제1 방향」이라 칭하고, 도 1의 상하 방향을 「제2 방향」이라 칭하며, 도 1의 지면의 법선 방향(도 2의 상하 방향)을 「제3 방향」이라 칭한다. 본 실시 형태의 지지부(10)는 기판 W의 주연부를 지지하고 있을 뿐만 아니라 보유 지지 또는 파지하는 기능도 갖고 있으며, 보유 지지부로서도 기능한다.
본 실시 형태에서는, 한쪽의 피구동부(31)에 2개의 지지부(10)가 마련되고, 다른 쪽의 피구동부(32)에 2개의 지지부(10)가 마련되어 있지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들어 6개의 지지부(10)가 마련되는 양태에서는, 한쪽의 피구동부(31)에 3개의 지지부(10)가 마련되고, 다른 쪽의 피구동부(32)에 3개의 지지부(10)가 마련되어도 된다. 지지부(10)의 재료는 예를 들어 우레탄 등이어도 된다.
한쪽의 피구동부(31)에 마련된 하나의 지지부(10)에 당해 지지부(10)를 회전시키는 모터 등의 지지 구동부(도시생략)가 마련되고, 당해 지지부(10)와 한쪽의 피구동부(31)에 마련된 다른 (하나의) 지지부(10)에 벨트(도시생략)가 걸쳐져도 된다. 이 경우에는, 지지 구동부가 마련된 지지부(10)가 구동측으로 되고, 지지부(10)와 함께 벨트가 걸쳐진 지지부(10)가 종동측으로 된다. 마찬가지로, 다른 쪽의 피구동부(32)에 마련된 하나의 지지부(10)에 당해 지지부(10)를 회전시키는 지지 구동부(도시생략)가 마련되고, 당해 지지부(10)와 다른 쪽의 피구동부(32)에 마련된 다른 (하나의) 지지부(10)에 벨트(도시생략)가 걸쳐져도 된다. 이 경우에도, 지지 구동부가 마련된 지지부(10)가 구동측으로 되고, 지지부(10)와 함께 벨트가 걸쳐진 지지부(10)가 종동측으로 된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 한쪽의 피구동부(31)에는, 당해 한쪽의 피구동부(31)를 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 슬라이드 코어 등의 제1 피가이드 부재(81)가 마련되어도 된다. 다른 쪽의 피구동부(32)에는, 당해 다른 쪽의 피구동부(32)를 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 슬라이드 코어 등의 제2 피가이드 부재(82)가 마련되어도 된다. 기대(90)(도 2 참조)에는, 제1 피가이드 부재(81)를 가이드하는 레일 등으로 이루어지는 제1 가이드(71)가 마련되어도 된다. 또한, 기대(90)에는, 제2 피가이드 부재(82)를 가이드하는 레일 등으로 이루어지는 제2 가이드(72)가 마련되어도 된다.
도 5에 도시한 바와 같이, 기대(90)에는 지지부(10)의 각각의 이동을 가능하게 하는 제1 방향을 따라서 직선형으로 연장된 긴 구멍(91)이 마련되어도 된다. 단, 이와 같은 양태에 한정되지 않고, 지지부(10)와 기대(90)가 간섭하지 않는 임의의 형상의 구멍이 마련되어도 된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 한쪽의 암(26)은 한쪽의 피구동부(31)의 길이 방향의 중앙부에 마련되고, 다른 쪽의 암(27)은 다른 쪽의 피구동부(32)의 길이 방향의 중앙부에 마련되어도 된다. 단, 이것에 한정되지는 않고, 도 7에 도시한 바와 같이, 한쪽의 암(26)은 한쪽의 피구동부(31)의 길이 방향의 단부에 마련되고, 다른 쪽의 암(27)은 다른 쪽의 피구동부(32)의 길이 방향의 단부에 마련되어도 된다. 피구동부(31, 32)의 길이 방향의 중앙부는 길이 방향으로 5등분했을 때의 중앙 위치의 영역(세번째 영역)을 의미하고, 피구동부(31, 32)의 길이 방향의 단부는 길이 방향으로 5등분했을 때의 단부 영역(끝에서부터 첫번째 영역)을 의미하고 있다. 또한, 암(26, 27)이 피구동부(31, 32)의 길이 방향의 중앙부에 마련됨으로써, 피구동부(31, 32)의 제1 방향을 따른 직선형의 이동을 원활하게 행하게 할 수 있고, 나아가서는 지지부(10)에 의한 기판 W의 지지 위치의 정밀도를 높일 수 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 연결부(20)는 기판 W의 면내 방향이며 제1 방향에 직교하는 제2 방향을 따라서 직선형으로 이동 가능한 기단부(21)를 가져도 된다. 기단부(21)를 제2 방향을 따라서 직선형으로 이동함으로써 한 쌍의 암(25)이 개폐하게 되어도 된다. 연결부(20)는 한 쌍의 암(25)의 단부에 연결되는 허브(29)를 가져도 된다. 또한, 기단부(21)가 마련되지 않고, 허브(29)가 구동부(40)에 직접 연결되어도 된다.
한쪽의 피구동부(31)에, 당해 한쪽의 피구동부(31)를 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 복수(도 1에서는 2개)의 제1 피가이드 부재(81)가 마련되어도 된다. 다른 쪽의 피구동부(32)에, 당해 다른 쪽의 피구동부(32)를 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 복수(도 1에서는 2개)의 제2 피가이드 부재(82)가 마련되어도 된다.
한쪽의 피구동부(31)에 마련된 지지부(10)의 사이에 복수의 제1 피가이드 부재(81)가 마련되고, 제1 방향을 따라서 보았을 때 제1 피가이드 부재(81)의 양측방에 지지부(10)가 마련되어도 된다. 또한, 다른 쪽의 피구동부(32)에 마련된 지지부(10)의 사이에 복수의 제2 피가이드 부재(82)가 마련되고, 제1 방향을 따라서 보았을 때 제2 피가이드 부재(82)의 양측방에 지지부(10)가 마련되어도 된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 연결부(20)는 개폐하는 한 쌍의 암(25)을 가져도 된다. 한쪽의 피구동부(31)에 마련된 지지부(10)는 한쪽의 암(제1 암)(26)에 대해서 기판 W의 면내 방향에서 요동 가능(좌우 회전 가능)하게 되어도 된다. 다른 쪽의 피구동부(32)에 마련된 지지부(10)는 다른 쪽의 암(제2 암)(27)에 대해서 기판 W의 면내 방향에서 요동 가능(좌우 회전 가능)하게 되어도 된다. 이 경우에는 예를 들어 도 2에 도시한 바와 같이, 도 2의 하방 영역의 기구에서 지지부(10)가 제1 방향을 따라서 이동 가능하게 되고, 도 2의 상방 영역의 기구에서 지지부(10)가 요동 가능(좌우 회전 가능)하게 되어도 된다.
도 6에 도시한 바와 같이, 구동부(40)로부터 연결부(20)에 가해지는 힘을 검지하는 제1 검지부(61)가 마련되어도 된다. 제1 검지부(61)는 제어부(50)와 통신 가능하게 되고, 제어부(50)에 의해, 제1 검지부(61)에서 검지되는 힘이 제1 범위의 값으로 하도록 구동부(40)가 제어되어도 된다. 제1 검지부(61)에서 검지되는 힘과 기판 W에 실제로 가해지는 힘의 상관 관계를 미리 측정해 두고, 기억부(55)에 기억해도 된다. 이 경우에는, 제1 검지부(61)에서 검지되는 힘으로부터 기판 W에 실제로 가해지고 있는 힘을 예를 들어 제어부(50)에서 추측할 수 있다.
구동부(40)는 모터여도 된다. 모터의 토크를 검지하는 제2 검지부(62)가 마련되어도 된다. 제어부(50)는, 제2 검지부(62)에서 검지되는 토크를 제2 범위의 값으로 하도록 구동부(40)인 모터를 제어해도 된다. 구동부(40)는 에어 실린더 등의 실린더여도 된다. 이 경우에는, 실린더로부터 가해지는 에어 등의 기체의 압력을 제2 검지부(62)가 검지하도록 해도 된다. 또한, 제2 검지부(62)에 의해 모터의 토크를 검지하는 경우에는 연결부(20)에 가해지는 힘을 검지하는 제1 검지부(61)를 마련하지 않아도 되지만, 제2 검지부(62)에 더하여 제1 검지부(61)를 마련함으로써, 외란의 영향을 받기 어려워 높은 정밀도로의 제어를 실현할 수 있다.
제2 검지부(62)에서 검지되는 토크 등의 정보와 기판 W에 실제로 가해지는 힘의 상관 관계를 미리 측정해 두고, 기억부(55)에 기억해도 된다. 이 경우에는, 제2 검지부(62)에서 검지되는 토크 등의 정보로부터 기판 W에 실제로 가해지고 있는 힘을 예를 들어 제어부(50)에서 추측할 수 있다.
구동부(40)에 의해 연결부(20)의 기단부(21)가 도 1 및 도 7의 하방으로 이동하면, 지지부(10) 사이의 간격이 좁아져서 기판 W가 지지부(10)에 의해 보유 지지되게 된다. 반대로, 구동부(40)에 의해 연결부(20)의 기단부(21)가 도 1 및 도 7의 상방으로 이동하면, 지지부(10) 사이의 간격이 넓어져서 기판 W가 지지부(10)로부터 해방(언클램프)되게 된다.
《방법》
본 실시 형태의 기판 지지 장치(100)를 사용한 기판 세정 방법의 일례는, 이하와 같이 된다. 또한, 상기와 중복되게 되므로 간단히 설명하는 것에 불과하지만, 상기 「구성」에서 설명한 모든 양태를 「방법」에서 적용할 수 있다. 또한, 반대로, 「방법」에서 설명한 모든 양태를 「구성」에서 적용할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 방법을 실시시키기 위한 프로그램은 기록 매체에 기록되어도 되고, 이 기록 매체를 컴퓨터로 판독함으로써, 본 실시 형태의 방법이 기판 처리 장치에서 실시되어도 된다.
우선, 구동부(40)가 연결부(20)를 도 1 및 도 7의 상방으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 피구동부(30)가 제1 방향을 따라서 직선형으로 이격되고(한 쌍의 피구동부(30) 사이의 거리가 증가되고), 기판 W를 수납 가능하게 한다. 또한, 이미 기판 W가 지지부(10)에서 보유 지지되어 있는 경우에는, 이와 같이 구동부(40)가 연결부(20)를 도 1 및 도 7의 상방으로 이동시킴으로써, 처리 완료된 기판 W를 반송 유닛(324) 또는 반송 로봇(326, 328)에 의해 제거할 수 있게 된다.
다음으로, 반송 유닛(324) 또는 반송 로봇(326, 328)에 의해 다음에 세정되는 기판 W가 지지부(10)의 사이에 위치 부여된다.
그리고, 구동부(40)가 연결부(20)를 도 1 및 도 7의 하방으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 피구동부(30)가 제1 방향을 따라서 직선형으로 근접되고(한 쌍의 피구동부(30) 사이의 거리가 감소되고), 기판 W의 주연부가 지지부(10)에 의해 지지(보유 지지)된다.
이와 같이 기판 W가 지지부(10)에 의해 지지(보유 지지)되면, 기판 W가 지지부(10)에 의해 회전된다.
그리고, 이와 같이 회전하고 있는 기판 W의 표면에 대해서, 세정액을 공급하면서 롤 세정 부재나 펜슬 세정 부재 등의 세정 부재(200)를 압박함으로써, 기판 W의 표면이 세정되게 된다.
기판 W의 세정 처리가 종료되면, 구동부(40)가 연결부(20)를 도 1 및 도 7의 상방으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 피구동부(30)가 제1 방향을 따라서 직선형으로 이격되고, 처리 완료된 기판 W를 반송 유닛(324) 또는 반송 로봇(326, 328)에 의해 제거할 수 있게 된다.
《효과》
다음으로, 상술한 구성으로 이루어지는 본 실시 형태에 의한 효과이며, 아직 설명하지 않은 것을 중심으로 설명한다. 「구성」에서 기재되지 않은 경우라도, 「효과」에서 설명하는 모든 구성을 본건 발명에 있어서 채용할 수 있다.
한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)를 연결하는 연결부(20)가 마련되고, 구동부(40)에 의해 연결부(20)를 이동시킴으로써, 한 쌍의 피구동부(30)를 제1 방향을 따라서 직선형으로 근접 또는 이격시키는 양태를 채용한 경우에는, 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)를 동일한 타이밍에 이동시킬 수 있어, 지지부(10)에 의해 기판 W를 지지하는 위치(클램프 위치)의 어긋남을 발생시키기 어렵게 할 수 있다.
지지부(10)의 주연부에 기판 W를 반송할 때의 기판 W의 면내 방향에서의 이동을 규제하기 위한 기판 가이드(15)(도 4 참조)가 마련되어도 된다. 종래와 같이, 일방측의 2개의 지지부가 기판 W의 면내 방향에서 이동하지 않도록 고정되어 고정측 클램프 기구로 되고, 타방측의 2개의 지지부가 기판 W의 면내 방향에서 이동하는 구동측 클램프 기구로 되는 양태에 있어서, 기판 가이드(15)를 채용한 경우에는, 지지부가 감모되면 기판 가이드(15)와 접촉하는 위치에서 기판이 회전하게 되어, 기판 가이드(15)가 감모될 가능성도 있다. 이에 반하여, 본 실시 형태의 양태를 사용함으로써 지지부(10)가 감모되어도 기판 W를 보유 지지하는 위치가 크게는 변화되지 않는 점에서, 기판 가이드(15)가 감모되는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이와 같은 기판 가이드(15)를 마련함으로써, 세정 등의 처리가 완료된 기판 W가 지지부(10)에 침투해 들어가서 지지부(10)와 함께 면내 방향에서 이동되어버리는 것을 규제할 수 있다.
연결부(20)에 연결된 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)의 양쪽을 동일한 타이밍에 회전 이동(요동)시킴으로써 기판 W를 지지부(10)에서 클램프시키는 것도 고려되지만, 이 경우에는, 연결부(20)의 이동 거리와 비교해서 지지부(10)의 기판 W에 대한 이동 거리가 짧아져서, 지지부(10)가 감모되어 있는 경우에는 지지부(10)가 기판 W의 주연부에 맞닿는 타이밍의 어긋남이 커져버리는 경우도 있다. 또한, 회전축(요동축)에서의 마찰의 영향에 의해서도 지지부(10)가 기판 W의 주연부에 맞닿는 타이밍의 어긋남이 커지게 되는 경우도 있다. 이에 반하여, 전술한 바와 같이, 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)를 직선형으로 이동시킴으로써, 연결부(20)의 이동 거리에 대한 지지부(10)의 이동 거리를 크게 할 수 있어, 지지부(10)가 감모되어 있는 경우라도, 지지부(10)가 기판 W의 주연부에 맞닿는 타이밍의 어긋남을 작게 할 수 있다. 또한, 한쪽의 피구동부(31) 및 다른 쪽의 피구동부(32)가 직선형으로 이동하는 경우에는, 피가이드 부재와 가이드 사이의 마찰과 같은 부재 간의 마찰에 의한 영향도 받기 어렵다. 이 결과, 기판 W의 지지 위치의 어긋남을 방지할 수 있고, 나아가서는 기판 W의 세정 효율을 높일 수 있다.
또한, 본 실시 형태와 같이, 모든 지지부(10)가 동일한 제1 방향을 따라서 직선형으로 이동하는 양태를 채용함으로써, 모든 지지부(10)가 동일한 단순한 직선 이동을 행하는 점에서, 지지부(10)가 기판 W의 주연에 맞닿는 타이밍을 보다 정밀도 좋게 맞출 수 있고, 나아가서는 기판 W의 지지 위치의 어긋남을 방지할 수 있다.
한쪽의 피구동부(31) 및 다른 쪽의 피구동부(32)의 제1 방향을 따른 직선형의 이동 거리는 5㎜ 이하여도 되고, 2㎜ 내지 3㎜로 되어도 된다. 이 양태를 채용한 경우에는, 종래의 고정측 클램프 기구 및 구동측 클램프 기구를 갖는 양태에서는 10㎜ 정도 이동하고 있던 것을, 이와 같이 짧은 이동 거리로 할 수도 있다. 이러한 짧은 이동 거리를 채용함으로써, 지지부(10)가 이동되어도 지지부(10)의 정상 면 위에 기판 W를 유지할 수 있어, 전술한 기판 가이드(15)를 마련하지 않아도, 세정 등의 처리 완료된 기판 W가 지지부(10)의 정상면으로부터 낙하되어버리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 구동부(40)로서 모터를 채용함으로써, 이와 같은 짧은 이동 거리를 보다 확실하게 실현할 수 있다. 일반적으로 에어 실린더 등의 실린더에서는 이동 거리가 커지지만, 모터를 이용함으로써 짧은 이동 거리도 용이하게 실현할 수 있기 때문이다.
한쪽의 피구동부(31)의 이동 거리와 다른 쪽의 피구동부(32)의 이동 거리가 대략 동일 또는 동일해져 있는 양태를 채용해도 된다. 이 경우에는, 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)가 기판 W의 주연부에 맞닿는 타이밍을 보다 합치시킬 수 있어, 지지부(10)에 의해 기판 W를 지지하는 위치의 어긋남을 발생하기 어렵게 할 수 있다. 또한 이동 거리가 대략 동일이란, 한쪽의 피구동부(31)의 제1 방향을 따른 직선형의 이동 거리 L1과 다른 쪽의 피구동부(32)의 제1 방향을 따른 직선형의 이동 거리 L2의 차가 긴 쪽의 이동 거리의 5％ 이내로 되어 있는 것을 의미하고, L1≥L2의 경우에는 L1-L2≤0.05×L1로 되고, L1<L2의 경우에는 L2-L1≤0.05×L2로 되는 것을 의미하고 있다.
한쪽의 피구동부(31)에 당해 한쪽의 피구동부(31)를 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 제1 피가이드 부재(81)가 마련되고, 다른 쪽의 피구동부(32)에 당해 다른 쪽의 피구동부(32)를 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 제2 피가이드 부재(82)가 마련되는 경우에는, 간이한 구성으로 제1 방향을 따른 직선형의 이동을 실현할 수 있다.
도 5에 도시한 바와 같이, 기대(90)에 지지부(10)의 각각의 이동을 가능하게 하는 제1 방향을 따른 긴 구멍(91)이 마련되는 양태를 채용한 경우에는, 지지부(10)를 긴 구멍(91)을 따라 제1 방향을 따라서 이동시킬 수 있다. 지지부(10)와 긴 구멍(91)의 제2 방향을 따른 사이에는 공간이 마련되어 있으며, 지지부(10)와 기대(90)는 제2 방향에 있어서 접촉하지 않게 되어도 된다. 이러한 양태를 채용한 경우에는, 지지부(10)와 기대(90)의 제2 방향 사이에서의 마찰력이 발생하지 않는 점에서, 지지부(10)와 기대(90) 사이의 마찰 영향에 의해, 지지부(10)가 기판 W의 주연부에 맞닿는 타이밍이 어긋나버리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 긴 구멍(91)을 채용함으로써, 기대(90)에 마련하는 구멍의 영역을 최대한 작게 할 수 있다.
한쪽의 피구동부(31)에 마련된 지지부(10)의 사이에 복수의 제1 피가이드 부재(81)가 마련되고, 다른 쪽의 피구동부(32)에 마련된 지지부(10)의 사이에 복수의 제2 피가이드 부재(82)가 마련되는 양태를 채용한 경우에는, 제2 방향을 따른 크기를 크게 하지 않고, 한쪽의 피구동부(31) 및 다른 쪽의 피구동부(32)의 제1 방향을 따른 이동을 복수의 가이드(71, 72) 및 피가이드 부재(81, 82)에 의해 보다 확실한 것으로 할 수 있다. 즉, 복수의 가이드(71, 72)의 사이에 지지부(10)를 마련하는 것도 생각할 수 있지만, 이 경우에는, 제2 방향을 따른 크기가 커지게 된다. 한편, 본 형태를 채용함으로써, 제2 방향을 따른 크기가 커지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수의 가이드(71, 72) 및 피가이드 부재(81, 82)를 마련함으로써, 하나의 가이드(71, 72) 및 피가이드 부재(81, 82)가 마련되는 양태와 비교하여, 제1 방향을 따른 직선형의 이동을 보다 확실한 것으로 할 수 있다.
연결부(20)의 기단부(21)를 제1 방향과 직교하는 제2 방향을 따라서 직선형으로 이동시킴으로써 한 쌍의 암(25)이 개폐하는 양태를 채용한 경우에는, 기단부(21)를 직선형으로 이동시킨다는 간이한 구동 양태로, 한쪽의 암(26) 및 다른 쪽의 암(27)의 각각을 동일한 타이밍에 개폐할 수 있다.
구동부(40)로부터 연결부(20)에 가해지는 힘을 검지하는 제1 검지부(61)를 마련한 경우에는, 구동부(40)로부터 연결부(20)에 가해지는 힘을 검지함으로써, 나아가서는 지지부(10)가 기판 W를 지지하는 힘(클램프력)을 검지할 수 있다. 그리고, 제어부(50)가 제1 검지부(61)에서 검지되는 힘을 제1 범위의 값으로 하도록 구동부(40)를 제어하는 양태를 채용함으로써, 지지부(10)에 의한 기판 W의 지지력을 상시 원하는 범위의 값으로 할 수 있다.
한쪽의 피구동부(31)에 마련된 복수의 지지부(10)가 한쪽의 암(26)에 대해서 기판 W의 면내 방향에서 요동 가능하게 되는 양태(좌우 회전 기구)를 채용한 경우에는, 한쪽의 피구동부(31)에 마련된 지지부(10)의 각각을 기판 W의 주연부에 맞닿게 할 수 있다. 또한, 다른 쪽의 피구동부(32)에 마련된 복수의 지지부(10)가 다른 쪽의 암(27)에 대해서 기판 W의 면내 방향에서 요동 가능하게 되는 양태(좌우 회전 기구)를 채용한 경우에는, 다른 쪽의 피구동부(32)에 마련된 지지부(10)의 각각을 기판 W의 주연부에 맞닿게 할 수 있다. 이 때문에, 지지부(10)가 4개 이상 마련되는 양태에서는, 4개 이상의 지지부(10)에 의해 기판 W의 주연부를 지지할 수 있다. 또한, 상기 좌우 회전 기구는, 한쪽의 피구동부(31) 및 다른 쪽의 피구동부(32) 중 어느 한쪽에만 마련되어도 된다. 단, 한쪽의 피구동부(31) 및 다른 쪽의 피구동부(32) 중 어느 쪽에도 좌우 회전 기구가 마련되어 있는 경우에는, 완전히 원형으로는 되지 않는 기판 W에 대해서 지지부(10)가 보다 정밀도 좋게 추종할 수 있는 점에서 유익하다.
구동부(40)가 모터로 이루어지고, 제2 검지부(62)에서 모터의 토크를 검지하고, 제어부(50)가 제2 검지부(62)에서 검지되는 토크를 제2 범위의 값으로 하도록 모터를 제어하는 양태를 채용한 경우에는, 지지부(10)에 의한 기판 W의 지지력을 상시 원하는 범위의 값으로 할 수 있다. 모터는 분해능이 높고 제어 성능이 높은 점에서, 이와 같이 모터를 채용함으로써, 피구동부(30)의 이동을 보다 높은 정밀도로 제어할 수 있다. 이 때문에, 지지부(10)가 기판 W의 주연부에 맞닿는 타이밍을 보다 높은 정밀도로 합치시키거나, 지지부(10)에 의한 기판 W의 지지력(파지력)을 보다 높은 정밀도로 제어할 수 있거나 하게 된다.
제1 검지부(61) 및 제2 검지부(62)의 양쪽을 사용함으로써 외란에 의한 영향을 받기 어렵게 할 수 있음은, 이미 설명한 바와 같다. 구동부(40)가 모터로 이루어지는 경우에는, 제1 검지부(61)에서 1차적인 검지를 행하고, 제2 검지부(62)에서 2차적인 상세한 검지를 행해도 된다. 이 경우에는, 제1 검지부(61)에서 구동부(40)로부터 연결부(20)에 가해지는 힘이 일정한 범위 내에 있는 것이 확인된 후에, 제어부(50)가 제2 검지부(62)를 기동하고, 제2 검지부(62)에서 검지되는 모터의 토크가 일정한 범위 내로 되도록 제어하도록 해도 된다.
제2 실시 형태
다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 대하여 설명한다.
본 실시 형태에서는, 도 9에 도시한 바와 같이, 한쪽의 암(26)과 다른 쪽의 암(27)이 구동부(40)가 마련된 기단부(21)를 개재하여 직선형으로 연결되어 있다. 그리고, 연결부(20)의 일부를 구성하는 한쪽의 암(26) 및 다른 쪽의 암(27)을 구동부(40)에서 제1 방향을 따른 직선형으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 피구동부(31, 32)의 각각이 제1 방향을 따라서 직선형으로 동시에 근접 및 이격 가능하게 되어 있다. 또한, 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)는 동시에 동일 또는 대략 동일 거리만큼 이동하도록 구성되어도 된다. 그 밖의 구성에 대해서는, 제1 실시 형태와 마찬가지이며, 제1 실시 형태에서 설명한 모든 양태를 채용할 수 있다. 제1 실시 형태에서 설명한 부재에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 설명한다. 본 실시 형태의 기단부(21)는 한쪽의 암(26)과 다른 쪽의 암(27)을 파지하는 그리퍼 등으로 구성되어도 된다.
연결부(20)의 일부를 구성하는 한쪽의 암(26) 및 다른 쪽의 암(27)을 구동부(40)에 의해 동시에 동일 또는 대략 동일 거리만큼 이동시킴으로써, 한 쌍의 피구동부(30)를 제1 방향을 따라서 직선형으로 근접 또는 이격시키는 양태를 채용한 경우에는, 한쪽의 피구동부(31)와 다른 쪽의 피구동부(32)를 동일한 타이밍에 동일 또는 대략 동일한 거리만큼 이동시킬 수 있어, 지지부(10)에 의해 기판 W를 지지하는 위치(클램프 위치)의 어긋남을 발생하기 어렵게 할 수 있다.
도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 구동부(40)로부터 연결부(20)의 한쪽의 암(26) 및/또는 다른 쪽의 암(27)을 통해 한쪽의 피구동부(31) 및/또는 다른 쪽의 피구동부(32)에 가해지는 힘을 검지하는 제1 검지부(61')가 마련되어도 된다. 또한, 도 9 및 도 10에서는 한쪽의 암(26)과 한쪽의 피구동부(31) 사이에 제1 검지부(61')가 마련되는 양태로 되어 있지만, 이러한 양태에 한정되지는 않고, 한쪽의 암(26)과 한쪽의 피구동부(31) 사이와 다른 쪽의 암(27)과 다른 쪽의 피구동부(32) 사이의 양쪽에 제1 검지부(61')가 마련되어도 된다.
도 9 및 도 10에 도시한 양태에서는, 한쪽의 암(26) 및 다른 쪽의 암(27), 하나의 제1 가이드(71) 및 하나의 제2 가이드(72)가 제1 방향을 따라서 직선형으로 마련되어 있다. 즉, 제3 방향을 따라 보았을 때, 한쪽의 암(26), 다른 쪽의 암(27), 하나의 제1 가이드(71) 및 하나의 제2 가이드(72)의 각각이 제1 방향을 따른 동일한 직선형으로 배치되어 있다. 이 때문에, 한쪽의 암(26) 및 다른 쪽의 암(27)을 이동시킴으로써, 하나의 제1 가이드(71)를 따라서 제1 피가이드 부재(81)를 제1 방향에서 직선형으로 효율적으로 이동시키며, 또한 하나의 제2 가이드(72)를 따라 제2 피가이드 부재(82)를 제1 방향에서 직선형으로 효율적으로 이동시킬 수 있다.
상술한 각 실시 형태의 기재 및 도면의 개시는, 청구범위에 기재된 발명을 설명하기 위한 일례에 지나지 않고, 상술한 각 실시 형태의 기재 또는 도면의 개시에 의해 청구범위에 기재된 발명이 한정되지는 않는다. 또한, 출원 당초의 청구항의 기재는 어디까지나 일례이며, 명세서, 도면 등의 기재에 기초하여, 청구항의 기재를 적절히 변경할 수도 있다. 본 실시 형태의 기판 지지 장치(100)는, IPA 모듈, PEN 모듈, 2유체 제트 모듈 등의 다양한 모듈로 채용할 수 있다. 또한, 기판 지지 장치와 함께, 베벨 세정 장치나 기판 W의 회전 검지 기구가 마련되어도 된다. 전술한 설명은, 본 발명의 예시적인 실시 형태만을 개시하고 있다. 본 발명의 범위 내에 포함되는 상기 장치 및 방법의 변경은, 당업자에는 용이하게 밝혀질 것이다. 본 발명은 그 예시적인 실시 형태에 관련하여 개시되어 있지만, 다른 실시 형태는, 청구항에 의해 규정되는 본 발명의 범위 내에 포함될 수 있음을 이해해야 한다.
10: 지지부
20: 연결부
21: 기단부
25: 한 쌍의 암
30: 피구동부
31: 한쪽의 피구동부
32: 다른 쪽의 피구동부
40: 구동부
50: 제어부
61: 제1 검지부
62: 제2 검지부
81: 제1 피가이드 부재
82: 제2 피가이드 부재
91: 긴 구멍
W: 기판

Claims (11)

  1. 기판의 주연부에 맞닿고, 상기 기판을 회전시키도록 적용되는 복수의 지지부와,
    복수의 지지부가 마련된 한 쌍의 피구동부와,
    한쪽의 피구동부에 이동 가능하게 연결되고, 또한 다른 쪽의 피구동부에 이동 가능하게 연결되는 연결부와,
    상기 연결부가 제2 방향을 따라서 직선형으로 이동되게, 힘을 전달하도록 적용되는 구동부
    를 구비하고.
    상기 연결부는, 상기 제2 방향을 따라서 직선형의 힘을 한 쌍의 피구동부 사이의 거리를 증가 또는 감소시키는 힘으로 변환하도록 적용되는, 기판 지지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    한쪽의 피구동부에 마련되고, 당해 한쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 제1 피가이드 부재와,
    다른 쪽의 피구동부에 마련되고, 당해 다른 쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 제2 피가이드 부재와,
    상기 제1 피가이드 부재를 상기 제1 방향을 따라서 가이드하는 제1 가이드와,
    상기 제2 피가이드 부재를 상기 제1 방향을 따라서 가이드하는 제2 가이드
    를 더 구비하는, 기판 지지 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드가 마련된 기대를 더 구비하고,
    상기 기대에는 상기 지지부가 통과하는 상기 제1 방향을 따른 긴 구멍이 마련되는, 기판 지지 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    한쪽의 피구동부에, 복수의 지지부와, 당해 한쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 복수의 제1 피가이드 부재가 마련되고,
    다른 쪽의 피구동부에, 복수의 지지부와, 당해 다른 쪽의 피구동부를 상기 제1 방향에서 직선형으로 이동시키기 위한 복수의 제2 피가이드 부재가 마련되고,
    한쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 사이에 복수의 제1 피가이드 부재가 마련되고,
    다른 쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 사이에 복수의 제2 피가이드 부재가 마련되는, 기판 지지 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연결부는 기판의 면내 방향이며 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향을 따라서 이동 가능한 기단부를 갖고,
    상기 기단부를 제2 방향을 따라서 이동함으로써 한 쌍의 암이 개폐하는, 기판 지지 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동부로부터 상기 연결부 또는 상기 구동부로부터 상기 연결부를 통해 상기 피구동부에 가해지는 힘을 검지하는 제1 검지부와,
    상기 제1 검지부에서 검지되는 힘을 제1 범위의 값으로 하도록 상기 구동부를 제어하는 제어부
    를 더 구비하는, 기판 지지 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 연결부는 개폐하는 한 쌍의 암을 갖고,
    한쪽의 피구동부에 복수의 지지부가 마련되고, 한쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 각각은 한쪽의 암에 대해서 기판의 면내 방향에서 요동 가능하게 되고,
    다른 쪽의 피구동부에 복수의 지지부가 마련되고, 다른 쪽의 피구동부에 마련된 지지부의 각각이 다른 쪽의 암에 대해서 기판의 면내 방향에서 요동 가능하게 되는, 기판 지지 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는 모터이며,
    상기 모터의 토크를 검지하는 제2 검지부와,
    상기 제2 검지부에서 검지되는 토크를 제2 범위의 값으로 하도록 상기 모터를 제어하는 제어부를 더 구비하는, 기판 지지 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 연결부의 일부는 상기 제2 방향을 따라서 연장되고,
    상기 연결부는 한 쌍의 암과, 상기 한 쌍의 암을 연결하는 허브를 갖고,
    제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 직교하고,
    상기 한 쌍의 피구동부의 거리를 증가 또는 감소시키도록 상기 허브는 상기 제2 방향을 따라서 이동되는, 기판 지지 장치.
  10. 기판을 지지하는 기판 지지 장치를 구비한 기판 처리 장치이며,
    상기 기판 지지 장치는,
    상기 기판의 주연부에 맞닿고, 상기 기판을 회전시키는 복수의 지지부와,
    복수의 지지부가 마련된 한 쌍의 피구동부와,
    한쪽의 피구동부와 다른 쪽의 피구동부를 연결하는 연결부와,
    상기 연결부의 적어도 일부를 이동시킴으로써, 상기 피구동부의 각각을 제1 방향을 따라서 직선형으로 근접 또는 이격시키는 구동부
    를 갖는, 기판 처리 장치.
  11. 제1항에 기재된 기판 지지 장치를 제어하기 위한 기판 지지 장치의 제어 방법이며,
    상기 연결부의 적어도 일부를 상기 제1 방향을 따라서 직선형으로 이동시킴으로써, 상기 피구동부 사이의 거리를 증가시키는 공정과,
    상기 기판을 복수의 지지부 사이에 마련하는 공정과,
    상기 연결부의 적어도 일부를 상기 제1 방향을 따라서 직선형으로 이동시킴으로써, 상기 피구동부 사이의 거리를 감소시켜, 상기 지지부에 의해 상기 기판의 주연부를 지지하는 공정과,
    상기 지지부를 회전시킴으로써 상기 기판을 회전시키는 공정
    을 구비하는 기판 지지 장치의 제어 방법.
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