KR20200116582A - 표시 장치, 포토 마스크 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치, 포토 마스크 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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KR20200116582A
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Abstract

일 실시예에 따른 표시 장치는 표시 영역과 주변 영역을 포함하는 기판, 상기 표시 영역에서 게이트 신호를 전달하는 제1 배선층, 상기 표시 영역에서 데이터 전압을 전달하는 제2 배선층, 상기 제2 배선층과 연결된 제1 데이터 팬아웃 배선을 포함하는 데이터 팬아웃부, 그리고 상기 주변 영역에서 상기 제1 데이터 팬아웃 배선과 전기적으로 연결된 데이터 가요성 인쇄 회로 기판을 포함하고, 상기 제1 데이터 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제1 지그재그부 및 상기 제1 지그재그부에서 연장된 제1 직선부를 포함하고, 상기 제1 직선부의 너비는 상기 제1 지그재그부의 너비 보다 크다.

Description

표시 장치, 포토 마스크 및 표시 장치의 제조 방법{DISPLAY DEVICE, PHOTO MASK AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY DEVICE}
본 개시는 표시 장치, 포토 마스크 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근에는 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치 등의 표시 장치가 널리 사용되고 있다. 일반적으로 표시 장치는 영상을 표시하는 단위인 복수의 화소와 구동부를 포함한다. 구동부는 화소에 데이터 전압을 인가하는 데이터 구동부 및 데이터 전압의 전달을 제어하는 게이트 신호를 인가하는 게이트 구동부를 포함한다.
게이트 구동부 및 데이터 구동부는 칩(Chip) 형태로 인쇄 회로 기판(printed circuit board, PCB)에 실장되어 표시판과 연결될 수 있다. 또는, 박막 트랜지스터 채널의 높은 이동도를 요하지 않는 게이트 구동부의 경우 이를 별도의 칩으로 형성하지 않고 표시판에 집적될 수 있다.
실시예들은 데드 스페이스(Dead space)를 최소화 할 수 있으면서도 표시 영역의 전 영역에서 휘도가 균일한 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 실시예들은 팬아웃 배선 패터닝시 팬아웃 배선의 오픈 또는 인접하는 팬아웃 배선간의 쇼트에 의한 불량을 방지할 수 있는 포토 마스크를 제공하기 위한 것이다.
일 실시예에 따른 표시 장치는 표시 영역과 주변 영역을 포함하는 기판, 상기 표시 영역에서 게이트 신호를 전달하는 제1 배선층, 상기 표시 영역에서 데이터 전압을 전달하는 제2 배선층, 상기 제2 배선층과 연결된 제1 데이터 팬아웃 배선을 포함하는 데이터 팬아웃부, 그리고 상기 주변 영역에서 상기 제1 데이터 팬아웃 배선과 전기적으로 연결된 데이터 가요성 인쇄 회로 기판을 포함하고, 상기 제1 데이터 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제1 지그재그부 및 상기 제1 지그재그부에서 연장된 제1 직선부를 포함하고, 상기 제1 직선부의 너비는 상기 제1 지그재그부의 너비 보다 크다.
상기 데이터 팬아웃부는 상기 제1 데이터 팬아웃 배선과 인접하는 제2 데이터 팬아웃 배선을 더 포함하고, 상기 제2 데이터 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제2 지그재그부 및 상기 제2 지그재그부에서 연장된 제2 직선부를 포함하고, 상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부는 제1 방향으로 연장된 부분들과 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 연장된 부분들을 포함하고, 상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부 사이의 최소 간격은 상기 제1 지그재그부에서 상기 제1 방향으로 연장된 부분들간의 간격보다 클 수 있다.
상기 제2 데이터 팬아웃 배선은 상기 제1 데이터 팬아웃 배선보다 상기 데이터 팬아웃부의 중심부에 가깝게 위치하고, 상기 제2 지그재그부의 길이는 상기 제1 지그재그부의 길이보다 길 수 있다.
상기 제1 직선부의 길이는 상기 제2 직선부의 길이보다 길 수 있다.
상기 제1 데이터 팬아웃 배선의 너비는 상기 제2 데이터 팬아웃 배선의 너비보다 클 수 있다.
상기 데이터 가요성 인쇄 회로 기판은 데이터 구동 집적 회로를 포함할 수 있다.
상기 주변 영역은 게이트 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제1 배선층과 연결된 제1 게이트 팬아웃 배선을 포함하는 게이트 팬아웃부, 그리고 상기 기판의 상기 주변 영역에서 상기 제1 게이트 팬아웃 배선과 전기적으로 연결된 게이트 가요성 인쇄 회로 기판을 포함하고, 상기 제1 게이트 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제3 지그재그부 및 상기 제3 지그재그부에서 연장된 제3 직선부를 포함하고, 상기 제3 직선부의 너비는 상기 제3 지그재그부의 너비 보다 클 수 있다.
상기 게이트 팬아웃부는 상기 제1 게이트 팬아웃 배선과 인접하는 제2 게이트 팬아웃 배선을 더 포함하고, 상기 제2 게이트 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제4 지그재그부 및 상기 제4 지그재그부에서 연장된 제4 직선부를 포함하고, 상기 제3 지그재그부와 상기 제4 지그재그부는 제1 방향으로 연장된 부분들과 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 연장된 부분들을 포함하고, 상기 제3 지그재그부와 상기 제4 지그재그부 사이의 최소 간격은 상기 제3 지그재그부에서 상기 제2 방향으로 연장된 부분들간의 간격보다 클 수 있다.
상기 제2 게이트 팬아웃 배선은 상기 제1 게이트 팬아웃 배선보다 상기 게이트 팬아웃부의 중심부에 가깝게 위치하고, 상기 제4 지그재그부의 길이는 상기 제3 지그재그부의 길이보다 길 수 있다.
상기 제3 직선부의 길이는 상기 제4 직선부의 길이보다 길 수 있다.
상기 제1 게이트 팬아웃 배선의 너비는 상기 제2 게이트 팬아웃 배선의 너비보다 클 수 있다.
일 실시예에 따른 포토 마스크는 광을 투과하는 투과부, 그리고 상기 광을 차단하는 차단부를 포함하고, 상기 차단부는 지그재그 형상인 제1 지그재그부 및 상기 제1 지그재그부에서 연장된 제1 직선부를 포함하고, 상기 제1 직선부의 너비는 상기 제1 지그재그부의 너비보다 크다.
상기 차단부는 제1 슬릿을 포함하고, 상기 제1 슬릿은 상기 제1 지그재그부부터 상기 제1 직선부까지 연장될 수 있다.
상기 차단부는 지그재그 형상인 제2 지그재그부, 상기 제2 지그재그부에서 연장된 제2 직선부, 그리고 상기 제2 지그재그부부터 상기 제2 직선부까지 연장되는 제2 슬릿을 더 포함하고, 상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부는 제1 방향으로 연장된 부분들과 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 연장된 부분들을 포함하고, 상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부의 최소 간격은 상기 제1 지그재그부에서 상기 제1 방향으로 연장된 부분들간의 간격보다 클 수 있다.
상기 제2 지그재그부의 길이는 상기 제1 지그재그부의 길이보다 길 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 도전층을 형성하는 단계, 상기 도전층 위에 포토레지스트막을 형성하는 단계, 포토 마스크를 사용하여 상기 포토레지스트막을 노광하고 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 그리고 상기 도전층을 식각하여 팬아웃 배선의 지그재그부 및 직선부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 팬아웃 배선의 직선부의 너비는 상기 팬아웃 배선의 지그재그부의 너비 보다 크다.
상기 포토 마스크는 상기 팬아웃 배선에 대응하는 형상을 가지는 차단부와 그 외 영역인 투과부를 포함하고, 상기 차단부는 상기 차단부가 연장된 방향을 따라 위치하는 슬릿을 포함할 수 있다.
상기 도전층을 식각하여 상기 팬아웃 배선의 지그재그부 및 직선부를 형성하는 단계에서 형성된 상기 팬아웃 배선의 너비는 상기 차단부의 너비보다 작을 수 있다.
상기 팬아웃 배선은 데이터 구동 집적 회로 또는 게이트 구동 집적 회로와 전기적으로 연결될 수 있다.
실시예들에 따르면, 가요성 인쇄 회로 기판과 표시 영역 사이의 간격이 좁더라도 표시 영역의 전 영역에서 휘도가 균일할 수 있고, 데드 스페이스를 줄일 수 있다.
또한, 팬아웃 배선의 너비 또는 간격을 조절하여 팬아웃 배선의 오픈 또는 인접하는 팬아웃 배선간의 쇼트에 의한 불량을 방지할 수 있다.
덧붙여, 팬아웃 배선 형성시 슬릿을 포함하는 포토 마스크를 사용하여 포토 마스크의 해상도를 높일 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 블록도이다.
도 2는 도 1의 표시 장치의 A 부분을 확대 도시한 평면도이다.
도 3은 일부 데이터 팬아웃 배선을 확대 도시한 평면도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 블록도이다.
도 5는 도 4의 표시 장치의 B 부분을 확대 도시한 평면도이다.
도 6은 일부 게이트 팬아웃 배선을 확대 도시한 평면도이다.
도 7은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 8은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 사용되는 포토 마스크의 평면도이다.
도 9 내지 도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 각 공정 단계를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 블록도이다. 일 실시예에 따른 표시 장치는 표시판(300), 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)을 포함한다.
표시판(300)은 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display, OLED) 등 다양한 표시 장치에 포함된 표시판(300)일 수 있다.
표시판(300)은 기판(110)을 포함하고, 기판(110)은 영상을 표시하는 표시 영역(DA)과 나머지 영역인 주변 영역(PA)을 포함한다.
표시 영역(DA)에는 복수의 게이트선(121), 복수의 데이터선(171), 그리고 복수의 게이트선(121) 및 복수의 데이터선(171)에 연결되어 있는 복수의 화소(PX)가 위치한다.
게이트선(121)은 게이트 신호를 전달하고, 대략 제1 방향(x)으로 뻗으며 서로가 거의 평행할 수 있다.
데이터선(171)은 영상 신호에 대응하는 데이터 전압을 전달하고 대략 제1 방향을 가로지르는 제2 방향(y)으로 뻗으며 서로가 거의 평행할 수 있다. 게이트선(121) 및 데이터선(171)은 각각 제1 배선층 및 제2 배선층이라고도 할 수 있다.
복수의 화소(PX)는 대략 행렬 형태로 배열되어 있다. 각 화소(PX)는 게이트선(121) 및 데이터선(171)과 전기적으로 연결된 적어도 하나의 스위칭 소자 및 이에 연결된 적어도 하나의 화소 전극을 포함할 수 있다. 스위칭 소자는 표시판(300)에 집적되어 있는 박막 트랜지스터 등의 전기 소자로서, 게이트 단자, 입력 단자, 그리고 출력 단자를 포함할 수 있다. 스위칭 소자는 게이트선(121)의 게이트 신호에 따라 턴 온 또는 턴 오프되어 데이터선(171)으로부터의 데이터 전압을 선택적으로 화소 전극에 전달할 수 있다. 화소 전극에 인가된 데이터 전압에 따라 화소(PX)들은 해당하는 영상을 표시할 수 있다.
주변 영역(PA)은 표시 영역(DA)을 둘러싸거나 표시판(300)의 가장자리에 위치할 수 있다.
주변 영역(PA)의 양측에는 게이트 구동부(400)가 위치한다. 또한, 주변 영역(PA)에는 표시 영역(DA)의 게이트선(121) 및 데이터선(171)이 표시 영역(DA)으로부터 연장되어 위치할 수 있다.
게이트 구동부(400)는 게이트선(121)과 연결되어 있으며 게이트 신호를 게이트선(121)에 전달할 수 있다. 게이트 구동부(400)는 표시 영역(DA)의 박막 트랜지스터 등의 전기 소자와 함께 동일한 공정을 통해 표시판(300)의 주변 영역(PA)에 직접 형성될 수 있다.
게이트 구동부(400)는 표시 영역(DA)을 기준으로 주변 영역(PA)의 양쪽에 각각 위치하는 제1 게이트 구동부(400a)와 제2 게이트 구동부(400b)를 포함한다. 제1 게이트 구동부(400a)는 주변 영역(PA)의 좌측에 위치하고, 제2 게이트 구동부(400b)는 주변 영역(PA)의 우측에 위치한다.
제1 게이트 구동부(400a)는 종속적으로 연결된 복수의 스테이지(미도시)를 포함할 수 있고, 제2 게이트 구동부(400b)는 종속적으로 연결된 복수의 스테이지(미도시)를 포함할 수 있다. 제1 게이트 구동부(400a)와 제2 게이트 구동부(400b)의 서로 대응하는 스테이지는 같은 게이트선(121)에 연결되어 게이트 신호를 인가할 수 있다. 이와 같이 표시판(300)의 양쪽에서 게이트선(121)에 게이트 신호를 인가하면 표시판(300)이 대형화되어도 게이트 신호의 지연에 따른 표시 불량을 막을 수 있다.
도 1에서 제1 게이트 구동부(400a)가 주변 영역(PA)의 좌측에 위치하고, 제2 게이트 구동부(400b)가 주변 영역(PA)의 우측에 위치하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 제1 게이트 구동부(400a)와 제2 게이트 구동부(400b)는 주변 영역(PA)의 어느 곳이나 위치할 수 있다. 또한, 실시예에 따라서는 제1 게이트 구동부(400a)와 제2 게이트 구동부(400b) 중 하나는 생략될 수도 있다.
주변 영역(PA)에는 표시 영역(DA)에 위치하는 데이터선(171)과 연결된 데이터 팬아웃부(180)가 위치한다. 데이터 팬아웃부(180)는 복수의 데이터 팬아웃 배선(181)을 포함한다. 데이터 팬아웃 배선(181)은 주변 영역(PA)에 위치하며, 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)과 표시 영역(DA) 사이에 위치한다. 데이터 팬아웃 배선(181)의 일단은 주변 영역(PA)에서 표시 영역(DA)의 데이터선(171)과 전기적으로 연결되고 타단은 후술하는 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)의 데이터 구동 집적 회로(550)와 전기적으로 연결된다.
데이터 팬아웃 배선(181)은 표시 영역(DA)에 위치하는 게이트선(121)과 동일한 층에 위치할 수 있고, 표시 영역(DA)의 데이터선(171)과 오프닝(미도시)을 통해 연결될 수 있다. 그러나, 이에 제한되지 않고, 데이터 팬아웃 배선(181)은 주변 영역(PA)에서 표시 영역(DA)의 데이터선(171)과 동일한 층에 위치하거나, 게이트선(121) 및 데이터선(171)과 다른 층에 위치하는 것도 가능하다.
데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)은 휘어질 수 있으며, 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)의 일측은 표시판(300)의 주변 영역(PA)에서 표시판(300)의 데이터 팬아웃 배선(181)과 전기적으로 연결되어 있다. 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)은 입력 영상 신호에 대응하는 계조 전압인 데이터 전압을 생성하는 데이터 구동 집적 회로(550)를 포함한다. 도 1에서 하나의 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)이 두 개의 데이터 구동 집적 회로(550)를 포함하는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않고, 하나의 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)이 하나의 데이터 구동 집적 회로(550)만을 포함하거나, 3개 이상의 데이터 구동 집적 회로(550)를 포함하는 것도 가능하다.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하여 일 실시예에 따른 표시 장치의 데이터 팬아웃부(180)에 대해 설명한다. 도 2는 도 1의 표시 장치의 A 부분을 확대 도시한 평면도이고, 도 3은 일부 데이터 팬아웃 배선을 확대 도시한 평면도이다. 구체적으로, 도 3은 도 2의 좌측에 위치하는 두 개의 데이터 팬아웃 배선(181)을 확대 도시한 평면도이다.
도 2를 참조하면, 데이터 팬아웃 배선(181)은 지그재그부(185)와 직선부(186)를 포함한다. 지그재그부(185)는 도 1의 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)과 인접하여 위치할 수 있고, 대략 제2 방향(y)으로 연장될 수 있다. 지그재그부(185)의 일단은 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)과 전기적으로 연결될 수 있다.
지그재그부(185)는 데이터 팬아웃 배선(181)이 지그재그 형상을 가지는 부분이다. 지그재그부(185)는 복수의 제1 방향(x)으로 연장된 부분과 복수의 제2 방향(y)으로 연장된 부분을 포함한다. 지그재그부(185)에서 제1 방향(x)으로 연장된 부분과 제2 방향(y)으로 연장된 부분은 교번하여 위치한다.
데이터 팬아웃부(180)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)일수록 데이터 팬아웃 배선(181)에 포함되는 지그재그부(185)의 길이는 더 짧아진다. 이 때, 지그재그부(185)의 길이는 지그재그부(185)의 배선의 전체 길이를 의미할 수 있다. 다시 말해, 데이터 팬아웃부(180)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)일수록 더 적은 수의 제1 방향(x)으로 연장된 부분과 제2 방향(y)으로 연장된 부분을 포함한다.
데이터 팬아웃부(180)의 중심부에서 멀어질수록 데이터 구동 집적 회로(550)로부터 연결되어야 하는 데이터선까지의 거리가 멀다. 다시 말해, 데이터 팬아웃부(180)의 가장자리에 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)은 데이터 팬아웃부(180)의 중심부에 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)에 비해 길다. 이 경우, 길이가 긴 가장자리에 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)의 저항이 중심부에 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)의 저항보다 크다. 따라서, 데이터 팬아웃 배선(181)의 길이 차이에 따른 저항차에 의해 데이터 전압의 전압 강하가 발생하고, 영역별 휘도 불균일을 초래할 수 있다.
또한, 데이터 팬아웃 배선(181)의 길이의 차이는 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)이 표시 영역(DA)과 가까워질수록, 즉, 주변 영역(PA)이 좁아질수록 커진다. 따라서, 표시 영역(DA)에서 휘도를 균일하게 유지하며 동시에 주변 영역(PA)에 해당하는 데드 스페이스(Dead space)를 줄이는 데 어려움이 있었다.
그러나, 일 실시예에 따른 표시 장치는 데이터 팬아웃부(180)의 중심부에서 가장자리로 갈수록 데이터 팬아웃 배선(181)의 지그재그부(185)를 짧게 형성하여, 데이터 팬아웃 배선(181)의 길이에 의한 저항 차이를 상쇄할 수 있고, 표시 장치의 모든 영역에서 균일한 휘도 구현이 가능하다.
직선부(186)는 표시 영역(DA) 인접하여 위치할 수 있다. 직선부(186)는 지그재그부(185)에서 직선으로 연장되어 도 1의 표시 영역(DA)에 위치하는 데이터선(171)에 연결된다. 데이터 팬아웃부(180)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)일수록 직선부(186)의 길이는 더 길다. 직선부(186)의 길이에 따른 배선의 저항 차이는 상술한 지그재그부(185)의 길이에 의해 상쇄될 수 있다.
또한, 데이터 팬아웃부(180)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)은 데이터 팬아웃부(180)의 중심부에 더 가까이 위치하는 데이터 팬아웃 배선(181)보다 너비가 더 클 수 있다. 다시 말해, 가장자리에 위치하는 지그재그부(185)는 중심부에 위치하는 지그재그부(185)에 비해 너비가 더 클 수 있고, 가장자리에 위치하는 직선부(186)는 중심부에 위치하는 직선부(186)에 비해 너비가 더 클 수 있다. 따라서, 지그재그부(185)의 길이 조절과 함께 직선부(186)의 길이에 따른 배선의 저항 차이를 더 효과적으로 상쇄할 수 있다.
도 3을 참고하면, 직선부(186)의 너비(DW2)는 지그재그부(185)의 너비(DW1)보다 크다. 이 때, 직선부(186)의 너비(DW2)와 지그재그부(185)의 너비(DW1)는 평면도상에서 배선이 연장된 방향에 수직한 방향으로의 폭을 의미할 수 있다.
데이터 팬아웃 배선(181)은 포토 마스크를 이용하여 패터닝 될 수 있고, 포토 마스크는 데이터 팬아웃 배선(181)이 형성될 영역과 대응하는 영역에 위치하는 차단부를 포함한다. 데이터 팬아웃부(180)에서 직선부(186)들은 지그재그부(185)들에 비해 덜 조밀하게 위치하므로, 포토 마스크의 차단부는 지그재그부보다 직선부에서 덜 조밀하게 위치하고, 포토 마스크의 투과부는 지그재그부보다 직선부에 넓게 위치한다. 그 결과, 지그재그부(185)에 비해 직선부(186)에 도달하는 광량이 상대적으로 더 많아지게 된다. 따라서, 직선부(186)의 너비(DW2)를 지그재그부(185)의 너비(DW1)와 같거나 작게 형성하면, 직선부(186) 패턴이 과도하게 식각되어 직선부(186) 배선이 오픈되는 불량이 발생한다.
그러나, 일 실시예에 따른 표시 장치의 경우, 직선부(186)의 너비(DW2)가 지그재그부(185)의 너비(DW1)보다 크게 형성되어, 직선부(186)가 끊어져 오픈되는 불량을 방지할 수 있다. 예를 들어, 직선부(186)의 너비(DW2)는 5 ㎛ 내지 7 ㎛일 수 있고, 지그재그부(185)의 너비(DW1)는 4 ㎛ 이상, 5 ㎛ 미만일 수 있다. 그러나, 직선부(186)와 지그재그부(185)의 너비(DW1)는 이에 제한되지 않는다.
인접하는 두 개의 데이터 팬아웃 배선(181)의 지그재그부(185)들 간의 최소 간격(DD2)은 일 데이터 팬아웃 배선(181)의 지그재그부(185)에서 제1 방향(x)으로 연장된 부분들 간의 간격(DD1)보다 클 수 있다. 따라서, 인접한 데이터 팬아웃 배선(181)의 지그재그부(185)들 간에 단락에 의한 불량을 방지할 수 있다.
각 직선부(186)의 표시 영역(DA)에 인접한 끝 단은 정전기 방지 회로(미도시)에 연결될 수 있다. 정전기 방지 회로는 적어도 하나의 트랜지스터를 포함하여 순간적인 과전류에 의한 회로 손상을 방지 할 수 있다. 정전기 방지 회로는 도 1 의 표시 영역(DA)의 데이터선(171)에 연결될 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 블록도이다. 일 실시예에 따른 표시 장치는 표시판(300), 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500) 및 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)을 포함한다. 도 4를 참조하면, 도 1의 표시 장치와 달리 게이트 구동부가 표시판(300)에 직접 형성되지 않고, 칩(Chip) 형태인 게이트 구동 집적 회로(450)가 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)에 실장되어 표시판(300)과 연결된다. 이하, 도 1과 중복되는 내용의 구체적인 설명은 생략한다.
표시판(300)은 영상을 표시하는 표시 영역(DA)과 나머지 영역인 주변 영역(PA)을 포함한다. 표시 영역(DA)에는 복수의 게이트선(121), 복수의 데이터선(171), 그리고 복수의 게이트선(121) 및 복수의 데이터선(171)에 연결되어 있는 복수의 화소(PX)가 위치한다.
게이트선(121)은 게이트 신호를 전달하고, 대략 제1 방향(x)으로 뻗으며 서로가 거의 평행할 수 있다.
데이터선(171)은 영상 신호에 대응하는 데이터 전압을 전달하고 대략 제1 방향을 가로지르는 제2 방향(y)으로 뻗으며 서로가 거의 평행할 수 있다.
주변 영역(PA)은 표시 영역(DA)을 둘러싸거나 표시판(300)의 가장자리에 위치할 수 있다.
주변 영역(PA)에는 표시 영역(DA)에 위치하는 데이터선과 연결된 데이터 팬아웃부(180)를 포함한다. 데이터 팬아웃부(180)는 복수의 데이터 팬아웃 배선(181)을 포함한다. 데이터 팬아웃 배선(181)은 주변 영역(PA)에서 표시 영역(DA)의 데이터선과 데이터 가요성 인쇄 회로 기판(500)의 데이터 구동 집적 회로(550)와 전기적으로 연결된다. 데이터 팬아웃부(180)는 도 1 내지 도 3에서 설명한 바와 같다.
주변 영역(PA)에는 표시 영역(DA)에 위치하는 게이트선(121)과 연결된 게이트 팬아웃부(130)를 포함한다. 게이트 팬아웃부(130)는 복수의 게이트 팬아웃 배선(131)을 포함한다. 게이트 팬아웃부(130)는 주변 영역(PA)에 위치하며, 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)과 표시 영역(DA) 사이에 위치한다. 게이트 팬아웃 배선(131)의 일단은 주변 영역(PA)에서 표시 영역(DA)의 게이트선(121)과 전기적으로 연결되고, 타단은 후술하는 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)의 게이트 구동 집적 회로(450)와 전기적으로 연결된다.
게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)은 휘어질 수 있으며, 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)의 일측은 표시판(300)의 주변 영역(PA)에서 표시판(300)의 게이트 팬아웃 배선(131)과 전기적으로 연결되어 있다. 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)은 게이트 신호를 생성하는 게이트 구동 집적 회로(450)를 포함한다. 도 4에서 하나의 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)이 두 개의 게이트 구동 집적 회로(450)를 포함하는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않고, 하나의 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)이 하나의 게이트 구동 집적 회로(450)만을 포함하거나, 3개 이상의 게이트 구동 집적 회로(450)를 포함하는 것도 가능하다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조하여 일 실시예에 따른 표시 장치의 게이트 팬아웃부(130)에 대해 설명한다. 도 5는 도 4의 표시 장치의 B 부분을 확대 도시한 평면도이다. 도 6은 일부 게이트 팬아웃 배선(131)을 확대 도시한 평면도이다. 구체적으로, 도 6은 도 5의 하측에 위치하는 두 개의 게이트 팬아웃 배선(131)을 확대 도시한 평면도이다.
도 5를 참조하면, 게이트 팬아웃 배선(131)은 지그재그부(135)와 직선부(136)를 포함한다. 지그재그부(135)는 도 4의 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)과 인접하여 위치할 수 있고, 대략 제1 방향(x)으로 연장될 수 있다. 지그재그부(135)의 일단은 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)과 전기적으로 연결될 수 있다.
지그재그부(135)는 복수의 제1 방향(x)으로 연장된 부분과 복수의 제2 방향(y)으로 연장된 부분을 포함한다. 지그재그부(135)에서 제1 방향(x)으로 연장된 부분과 제2 방향(y)으로 연장된 부분은 교번하여 위치한다.
게이트 팬아웃부(130)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)일수록 게이트 팬아웃 배선(131)이 포함하는 지그재그부(135)는 더 짧아진다. 다시 말해, 게이트 팬아웃부(130)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)일수록 더 적은 수의 제1 방향(x)으로 연장된 부분과 제2 방향(y)으로 연장된 부분을 포함한다.
게이트 팬아웃부(130)의 중심부에서 멀어질수록 게이트 구동 집적 회로(450)로부터 연결되어야 하는 게이트선까지의 거리가 멀다. 다시 말해, 게이트 팬아웃부(130)의 가장자리에 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)은 게이트 팬아웃부(130)의 중심부에 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)에 비해 길다. 이 경우, 길이가 긴 가장자리에 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)의 저항이 중심부에 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)의 저항보다 크다. 따라서, 게이트 팬아웃 배선(131)의 길이 차이에 따른 저항차가 발생한다. 또한, 게이트 팬아웃 배선(131)의 길이의 차이는 게이트 가요성 인쇄 회로 기판(410)이 표시 영역(DA)과 가까워질수록, 즉, 주변 영역(PA)이 좁아질수록 커진다.
그러나, 게이트 팬아웃부(130)의 중심부에서 가장자리로 갈수록 게이트 팬아웃 배선(131)의 지그재그부(135)를 짧게 형성하여, 게이트 팬아웃 배선(131)의 길이에 의한 저항 차이를 상쇄할 수 있다.
직선부(136)는 지그재그부(135)에서 직선으로 연장되어 표시 영역(DA)에 위치하는 게이트선에 연결된다. 게이트 팬아웃부(130)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)일수록 게이트 팬아웃 배선(131)이 포함하는 직선부(136)는 더 길다. 직선부(136)의 길이에 따른 배선의 저항 차이는 상술한 지그재그부(135)의 길이에 의해 상쇄될 수 있다.
또한, 게이트 팬아웃부(130)의 가장자리에 더 가까이 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)은 게이트 팬아웃부(130)의 중심부에 더 가까이 위치하는 게이트 팬아웃 배선(131)보다 너비가 더 클 수 있다. 다시 말해, 가장자리에 위치하는 지그재그부(185)는 중심부에 위치하는 지그재그부(185)에 비해 너비가 더 클 수 있고, 가장자리에 위치하는 직선부(186)는 중심부에 위치하는 직선부(186)에 비해 너비가 더 클 수 있다. 따라서, 지그재그부(135)의 길이 조절과 함께 직선부(136)의 길이에 따른 배선의 저항 차이를 더 효과적으로 상쇄할 수 있다.
도 6을 참조하면, 게이트 팬아웃 배선(131)의 직선부(136)의 너비(GW2)는 지그재그부(135)의 너비(GW1)보다 크다. 이 때, 직선부(136)의 너비(GW2)와 지그재그부(135)의 너비(GW1)는 평면도상에서 배선이 연장된 방향에 수직한 방향으로의 폭을 의미할 수 있다.
게이트 팬아웃부(130)에서 직선부(136)들은 지그재그부(135)들에 비해 덜 조밀하게 위치한다. 따라서, 직선부(136)의 너비(GW2)를 지그재그부(135)의 너비(GW1)와 같거나 작게 형성하면, 포토 마스크를 이용한 식각 공정시 지그재그부(135)에 비해 직선부(136)에 도달하는 광량이 상대적으로 더 많아지고, 패턴이 과도하게 식각되어 직선부(136) 배선이 오픈되는 불량이 발생한다.
그러나, 일 실시예에 따른 표시 장치의 경우, 직선부(136)의 너비(GW2)가 지그재그부(135)의 너비(GW1)보다 크게 형성되어, 직선부(136)가 끊어져 오픈되는 불량을 방지할 수 있다.
인접하는 두 개의 게이트 팬아웃 배선(131)의 지그재그부(135)들 간의 최소 간격(GD2)은 일 게이트 팬아웃 배선(131)의 지그재그부(135)에서 제2 방향(y)으로 연장된 부분들 간의 간격(GD1)보다 클 수 있다. 따라서, 인접한 게이트 팬아웃 배선(131)의 지그재그부(135)들 간에 단락에 의한 불량을 방지할 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 12를 참조하여, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 7은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 7을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 도전층 및 포토레지스트막을 형성하는 단계(S101)를 포함한다.
다음으로, 포토 마스크를 이용하여 포토레지스트막을 노광 및 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성(S102)한다. 포토레지스트막은 포지티브형 레지스트로 이루어질 수 있다.
다음으로, 포토레지스트 패턴을 포토 마스크로 하여 도전층을 식각(S103)하여 데이터 팬아웃 배선의 지그재그부와 직선부 패턴을 형성하고, 포토레지스트 패턴을 제거(S104)한다. 여기서, 도전층은 건식 식각하거나 습식 식각할 수 있다.
도 8은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 사용되는 포토 마스크(1000)의 평면도이다. 구체적으로, 도 8은 도 3에 도시된 데이터 팬아웃 배선(181)을 형성하는데 사용되는 포토 마스크(1000) 일부 영역을 도시한 것이다.
포토 마스크(1000)는 데이터 팬아웃 배선(181)의 패턴의 형상에 대응하는 형상을 가지는 차단부(1001)를 포함한다. 따라서, 차단부(1001)의 직선부의 너비(MW2)는 차단부(1001)의 지그재그부의 너비(MW1)에 비해 크다. 또한, 인접하는 두 개의 차단부(1001)의 지그재그부들 간의 최소 간격(MD2)은 일 차단부(1001)의 지그재그부에서 제1 방향(x)으로 연장된 부분들 간의 간격(MD1)보다 클 수 있다.
포토 마스크(1000)의 차단부(1001)는 차단부(1001)가 연장된 방향을 따라 차단부(1001) 내에 위치하는 슬릿(1001a)을 포함한다. 슬릿(1001a)은 차단부(1001)의 폭 방향을 기준으로 중앙부를 따라 위치할 수 있다. 또한, 슬릿(1001a)은 차단부(1001)의 지그재그부부터 차단부(1001)의 직선부까지 연장될 수 있다. 도 8에서 포토 마스크(1000)는 도 3에 도시된 데이터 팬아웃 배선(181)을 형성하는데 사용되는 것으로 설명하였으나, 포토 마스크(1000)는 도 6의 게이트 팬아웃 배선(131)을 형성하는데 사용되는 포토 마스크(1000)인 것도 가능하다.
도 9 내지 도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 각 공정 단계를 나타내는 단면도이다. 도 9 내지 도 12는 도 3의 IX-IX 선을 따라 자른 표시 장치의 단면을 기준으로 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 기판(110) 위에 절연층(120), 도전층(181a) 및 포토레지스트막(PRL)을 차례로 형성한다.
포토레지스트막(PRL) 상에 포토레지스트막(PRL)의 일부를 노광하기 위한 포토 마스크(1000)가 배치된다. 포토 마스크(1000)는 광이 투과하는 투과부(1002)와 광이 투과하지 않고 차단되는 차단부(1001)를 포함한다. 포토 마스크(1000)의 차단부(1001)의 직선부의 너비(MW2)는 차단부(1001)의 지그재그부의 너비(MW1)보다 크다. 포토 마스크(1000)의 차단부(1001)는 슬릿(1001a)을 포함한다. 차단부(1001)는 불투명한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 차단부(1001)는 크롬 등을 포함할 수 있다.
포토레지스트막(PRL)이 포지티브형 레지스트로 이루어진 경우, 포토레지스트막(PRL)의 노광된 부분은 제거된다. 이 경우, 포토 마스크(1000)는 데이터 팬아웃 배선(181)을 형성할 영역과 대응되는 영역에 차단부(1001)를 갖는다. 반면, 포토레지스트막(PRL)이 네거티브형 레지스트로 이루어진 경우, 포토레지스트막(PRL)의 노광된 부분은 잔류한다. 이 경우, 포토 마스크(1000)는 데이터 팬아웃 배선(181)을 형성할 영역과 대응되는 영역에 투과부(1002)를 갖는다. 이하에서는, 포토레지스트막(PRL)이 포지티브형 레지스트로 이루어진 경우를 예로 들어 설명한다.
도 10을 참조하면, 포토 마스크(1000) 상에 광을 제공하여 포토레지스트막(PRL)을 노광하고 현상하여 포토레지스트 패턴(PRP)을 형성한다. 포토레지스트막(PRL)의 노광된 부분은 제거되어 포토레지스트 패턴(PRP)은 포토 마스크(1000)의 차단부(1001)와 동일한 패턴을 갖는다. 포토레지스트 패턴(PRP)이 위치하는 영역은 데이터 팬아웃 배선(181)이 형성될 영역에 대응하는 영역이다.
슬릿(1001a)을 포함하는 포토 마스크(1000)를 사용하면 차단부(1001)에 대응하는 포토레지스트막(PRL) 상의 영역에도 소량의 광이 도달한다. 따라서, 슬릿(1001a)을 포함하지 않는 포토 마스크(1000)를 사용하는 경우에 비해 포토레지스트 패턴(PRP)의 폭 또는 높이가 작게 형성된다. 즉, 동일한 폭의 차단부(1001)를 포함하는 포토 마스크(1000)를 사용하여 더 얇은 선폭으로 도전층(181a)을 패터닝하는 것이 가능하다.
도 11을 참조하면, 데이터 팬아웃 배선(181)의 지그재그부(185)와 직선부(186)를 형성한다. 데이터 팬아웃 배선(181)의 지그재그부(185)와 직선부(186)는 포토레지스트 패턴(PRP)을 식각 포토 마스크로 이용하여 도전층(181a)을 식각함으로써 형성된다. 도전층(181a)은 습식 식각을 이용하여 식각될 수 있다. 그러나, 이에 제한되지 않고, 건식 식각에 의해 식각 되는 것도 가능하다.
데이터 팬아웃 배선(181)은 게이트층에 위치할 수 있고, 표시 영역(DA)의 데이터층에 위치하는 데이터선(171)과 오프닝(미도시)을 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 그러나, 이에 제한되지 않고, 데이터 팬아웃 배선(181)은 데이터층에 위치하거나, 게이트층 및 데이터층이 아닌 다른 층에 위치하는 것도 가능하다.
도 12를 참조하면, 포토레지스트 패턴(PRP)을 제거한다.
최종적으로 형성된 데이터 팬아웃 배선(181)의 직선부(186)의 너비(DW2)는 지그재그부(185)의 너비(DW1)보다 크다.
데이터 팬아웃 배선(181)의 직선부(186)의 너비(DW2)는 포토 마스크(1000)의 차단부(1001)의 직선부의 너비(MW2)보다 작을 수 있다. 또한, 데이터 팬아웃 배선(181)의 지그재그부(185)의 너비(DW1)는 포토 마스크(1000)의 차단부(1001)의 지그재그부의 너비(MW1)보다 작을 수 있다. 상술한 바와 같이, 포토 마스크(1000)의 차단부(1001)가 슬릿(1001a)을 포함하면, 차단부(1001)의 너비보다 작은 너비를 가지는 도전층(181a)의 패턴을 형성할 수 있다. 따라서, 차단부(1001)를 조밀하게 형성하지 않더라도 슬릿(1001a)을 포함하여 포토 마스크(1000)의 해상도를 높일 수 있고, 더 미세한 패턴을 형성하는데 용이하다.
도 7 내지 도 12를 통해 데이터 팬아웃 배선(181)을 형성하는 방법에 대해 설명하였으나, 이는 도 4의 게이트 팬아웃 배선(131)을 형성할 때에도 동일하게 적용될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1000: 포토 마스크 1001: 차단부
1001a: 슬릿 1002: 투과부
110: 기판 120: 절연층
121: 게이트선 130: 게이트 팬아웃부
131: 게이트 팬아웃 배선 135, 185: 지그재그부
136, 186: 직선부 171: 데이터선
180: 데이터 팬아웃부 181: 데이터 팬아웃 배선
181a: 도전층 300: 표시판
400: 게이트 구동부 410: 게이트 가요성 인쇄 회로 기판
450: 게이트 구동 집적 회로 500: 데이터 가요성 인쇄 회로 기판
550: 데이터 구동 집적 회로

Claims (20)

  1. 표시 영역과 주변 영역을 포함하는 기판,
    상기 표시 영역에서 게이트 신호를 전달하는 제1 배선층,
    상기 표시 영역에서 데이터 전압을 전달하는 제2 배선층,
    상기 제2 배선층과 연결된 제1 데이터 팬아웃 배선을 포함하는 데이터 팬아웃부, 그리고
    상기 주변 영역에서 상기 제1 데이터 팬아웃 배선과 전기적으로 연결된 데이터 가요성 인쇄 회로 기판을 포함하고,
    상기 제1 데이터 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제1 지그재그부 및 상기 제1 지그재그부에서 연장된 제1 직선부를 포함하고,
    상기 제1 직선부의 너비는 상기 제1 지그재그부의 너비 보다 큰 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 데이터 팬아웃부는 상기 제1 데이터 팬아웃 배선과 인접하는 제2 데이터 팬아웃 배선을 더 포함하고,
    상기 제2 데이터 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제2 지그재그부 및 상기 제2 지그재그부에서 연장된 제2 직선부를 포함하고,
    상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부는 제1 방향으로 연장된 부분들과 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 연장된 부분들을 포함하고,
    상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부 사이의 최소 간격은 상기 제1 지그재그부에서 상기 제1 방향으로 연장된 부분들간의 간격보다 큰 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 제2 데이터 팬아웃 배선은 상기 제1 데이터 팬아웃 배선보다 상기 데이터 팬아웃부의 중심부에 가깝게 위치하고,
    상기 제2 지그재그부의 길이는 상기 제1 지그재그부의 길이보다 긴 표시 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 제1 직선부의 길이는 상기 제2 직선부의 길이보다 긴 표시 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 제1 데이터 팬아웃 배선의 너비는 상기 제2 데이터 팬아웃 배선의 너비보다 큰 표시 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 데이터 가요성 인쇄 회로 기판은 데이터 구동 집적 회로를 포함하는 표시 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 주변 영역은 게이트 구동부를 포함하는 표시 장치.
  8. 제1항에서,
    상기 제1 배선층과 연결된 제1 게이트 팬아웃 배선을 포함하는 게이트 팬아웃부, 그리고
    상기 기판의 상기 주변 영역에서 상기 제1 게이트 팬아웃 배선과 전기적으로 연결된 게이트 가요성 인쇄 회로 기판을 포함하고,
    상기 제1 게이트 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제3 지그재그부 및 상기 제3 지그재그부에서 연장된 제3 직선부를 포함하고,
    상기 제3 직선부의 너비는 상기 제3 지그재그부의 너비 보다 큰 표시 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 게이트 팬아웃부는 상기 제1 게이트 팬아웃 배선과 인접하는 제2 게이트 팬아웃 배선을 더 포함하고,
    상기 제2 게이트 팬아웃 배선은 지그재그 형상인 제4 지그재그부 및 상기 제4 지그재그부에서 연장된 제4 직선부를 포함하고,
    상기 제3 지그재그부와 상기 제4 지그재그부는 제1 방향으로 연장된 부분들과 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 연장된 부분들을 포함하고,
    상기 제3 지그재그부와 상기 제4 지그재그부 사이의 최소 간격은 상기 제3 지그재그부에서 상기 제2 방향으로 연장된 부분들간의 간격보다 큰 표시 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 제2 게이트 팬아웃 배선은 상기 제1 게이트 팬아웃 배선보다 상기 게이트 팬아웃부의 중심부에 가깝게 위치하고,
    상기 제4 지그재그부의 길이는 상기 제3 지그재그부의 길이보다 긴 표시 장치.
  11. 제10항에서,
    상기 제3 직선부의 길이는 상기 제4 직선부의 길이보다 긴 표시 장치.
  12. 제11항에서,
    상기 제1 게이트 팬아웃 배선의 너비는 상기 제2 게이트 팬아웃 배선의 너비보다 큰 표시 장치.
  13. 광을 투과하는 투과부, 그리고
    상기 광을 차단하는 차단부를 포함하고,
    상기 차단부는 지그재그 형상인 제1 지그재그부 및 상기 제1 지그재그부에서 연장된 제1 직선부를 포함하고,
    상기 제1 직선부의 너비는 상기 제1 지그재그부의 너비보다 큰 포토 마스크.
  14. 제13항에서,
    상기 차단부는 제1 슬릿을 포함하고,
    상기 제1 슬릿은 상기 제1 지그재그부부터 상기 제1 직선부까지 연장되는 포토 마스크.
  15. 제14항에서,
    상기 차단부는,
    지그재그 형상인 제2 지그재그부,
    상기 제2 지그재그부에서 연장된 제2 직선부, 그리고
    상기 제2 지그재그부부터 상기 제2 직선부까지 연장되는 제2 슬릿을 더 포함하고,
    상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부는 제1 방향으로 연장된 부분들과 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 연장된 부분들을 포함하고,
    상기 제1 지그재그부와 상기 제2 지그재그부의 최소 간격은 상기 제1 지그재그부에서 상기 제1 방향으로 연장된 부분들간의 간격보다 큰 포토 마스크.
  16. 제15항에서,
    상기 제2 지그재그부의 길이는 상기 제1 지그재그부의 길이보다 긴 포토 마스크.
  17. 기판 위에 도전층을 형성하는 단계,
    상기 도전층 위에 포토레지스트막을 형성하는 단계,
    포토 마스크를 사용하여 상기 포토레지스트막을 노광하고 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 그리고
    상기 도전층을 식각하여 팬아웃 배선의 지그재그부 및 직선부를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 팬아웃 배선의 직선부의 너비는 상기 팬아웃 배선의 지그재그부의 너비 보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제17항에서,
    상기 포토 마스크는 상기 팬아웃 배선에 대응하는 형상을 가지는 차단부와 그 외 영역인 투과부를 포함하고,
    상기 차단부는 상기 차단부가 연장된 방향을 따라 위치하는 슬릿을 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18항에서,
    상기 도전층을 식각하여 상기 팬아웃 배선의 지그재그부 및 직선부를 형성하는 단계에서 형성된 상기 팬아웃 배선의 너비는 상기 차단부의 너비보다 작은 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제18항에서,
    상기 팬아웃 배선은 데이터 구동 집적 회로 또는 게이트 구동 집적 회로와 전기적으로 연결되는 표시 장치의 제조 방법.
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