KR20200102911A

KR20200102911A - 패턴 형성 장치, 패턴 형성 방법 및 토출 데이터 생성 방법

Info

Publication number: KR20200102911A
Application number: KR1020190166479A
Authority: KR
Inventors: 마사하루 나카가와
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2019-02-22
Filing date: 2019-12-13
Publication date: 2020-09-01
Also published as: JP2020136549A; CN113386466A; TWI717086B; CN111605307A; CN111605307B; KR102327959B1; TW202033072A

Abstract

패턴 형성 장치는, 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 배선 기판 (9) 을 향하여 토출시킴으로써, 배선 기판 (9) 상에 레지스트막 (92a) 의 패턴을 형성한다. 흡인에 의한 배선 기판 (9) 의 유지에 의해 스루홀에는 흡인류가 발생한다. 흡인류가 발생하는 스루홀인 흡인홀 (91a) 의 주위의 주위 부여 영역 (94) 에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 주위 부여 영역 (94) 의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 배선 기판 (9) 상에 솔더 레지스트의 잉크의 패턴이 형성된다. 이로써, 배선 기판 상에 적절한 레지스트막의 패턴을 형성한다.

Description

패턴 형성 장치, 패턴 형성 방법 및 토출 데이터 생성 방법{PATTERN FORMING APPARATUS, PATTERN FORMING METHOD AND EJECTION DATA GENERATION METHOD}

본 발명은, 배선 기판 상에 잉크젯 방식으로 패턴을 형성하는 기술에 관련된 것이다.

종래부터, 배선 기판 상의 도체 패턴을 보호하는 것을 목적으로 하여, 배선 기판 상에 레지스트막이 형성된다. 레지스트막은, 후공정의 땜납 도포시에, 땜납이 도체 배선 등의 영역에 부착되는 것을 방지하는 역할도 가져,「솔더 레지스트」로도 불린다. 레지스트막을 형성하는 일 수법으로서, 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 배선 기판을 향하여 토출시키는 방법이 알려져 있다. 이와 같은 기술은, 예를 들어, 일본 공개특허공보 평9-283893호 및 일본 공개특허공보 2008-4820호에 개시되어 있다.

그런데, 배선 기판은 휨이나 변형을 갖기 때문에, 배선 기판을 스테이지 상에 단순하게 둔 것만으로는, 배선 기판의 일부가 스테이지로부터 이간된다. 그 때문에, 배선 기판은 흡인 흡착으로 스테이지 상에 유지되는 것이 바람직하다. 한편, 많은 배선 기판은, 스루홀을 갖는다. 스루홀을 갖는 배선 기판을 스테이지 상에 유지하면, 스루홀에 기류가 발생하는 경우가 있다.

스루홀에 공기가 빨려들어가는 기류가 발생하면, 잉크젯 방식으로 비래 (飛來) 하는 잉크의 액적이 스루홀에 흡인되어, 스루홀의 내면에 부착되거나, 스테이지의 흡인부에 액적이 진입될 우려가 있다. 배선 기판 상에 도달하는 액적도, 설계상의 위치로부터 어긋난다. 잉크의 액적의 도달 위치가 어긋나면, 불필요한 영역에 잉크가 부착되거나, 잉크의 부착량이 부족한 영역이 발생할 우려가 있다.

이상과 같이, 스루홀로부터 공기가 흡인되면, 스루홀의 주위에 있어서 잉크를 적절히 부여할 수 없게 되어 레지스트막이 설계상의 형상이나 두께가 되지 않는다. 이와 같은 문제는, 솔더 레지스트의 잉크의 도포에는 한정되지 않고, 배선 기판 상에 잉크젯 방식으로 문자나 도형을 묘화하는 경우나 다른 용도의 액체를 배선 기판 상에 도포하는 경우에도 발생할 수 있다.

본 발명은, 잉크를 배선 기판 상에 부여함으로써, 상기 배선 기판 상에 상기 잉크의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치에 관한 것이다. 본 발명의 하나의 바람직한 형태에 관련된 패턴 형성 장치는, 스루홀을 갖는 배선 기판을 흡인에 의해 평면 상에 유지하는 유지부와, 잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향하여 토출시키는 헤드부와, 상기 배선 기판에 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 유지부에 의한 흡인시에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 잉크의 부여 영역인 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 상기 배선 기판 상에 잉크의 패턴을 형성하는 제어부를 구비한다.

본 발명에 의하면, 잉크젯 방식으로 배선 기판 상에 패턴을 형성할 때에, 스루홀의 주위에 있어서 적절한 패턴을 형성할 수 있다.

바람직하게는, 상기 제어부는, 스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 잉크의 설계상의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 상기 헤드부로부터 상기 배선 기판 상의 각 위치를 향하여 토출하는 잉크의 양을 나타내는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성부를 포함한다.

더욱 바람직하게는, 상기 토출 데이터 생성부는, 상기 스루홀의 주위의 설계상의 도포 영역의 내주부에 토출 금지 영역을 설정하고, 상기 토출 금지 영역의 외측에 상기 주위 부여 영역을 설정한다.

바람직하게는, 상기 주위 부여 영역에 있어서, 상기 스루홀에 가까워짐에 따라 단위 면적당의 잉크의 토출량이 증대된다.

바람직하게는, 상기 배선 기판이 갖는 모든 스루홀의 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량이, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많다.

바람직하게는, 상기 유지부에 의한 흡인시에 흡인류가 발생하는 모든 스루홀의 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량이, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많다.

본 발명의 그 밖의 바람직한 형태에 관련된 패턴 형성 장치는, 스루홀을 갖는 배선 기판을 흡인에 의해 평면 상에 유지하는 유지부와, 잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향하여 토출시키는 헤드부와, 상기 배선 기판에 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 배선 기판 상에 잉크의 패턴을 형성하는 제어부를 구비한다. 상기 제어부는, 스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 잉크의 설계상의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 상기 헤드부로부터 상기 배선 기판 상의 각 위치를 향하여 토출하는 잉크의 양을 나타내는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성부를 구비하고, 상기 토출 데이터 생성부가, 스루홀의 주위의 설계상의 잉크의 부여 영역의 내주부에 토출 금지 영역을 설정한다.

본 발명은, 잉크를 배선 기판 상에 부여함으로써, 상기 배선 기판 상에 상기 잉크의 패턴을 형성하는 패턴 형성 방법에 관한 것이기도 하다. 본 발명의 하나의 바람직한 형태에 관련된 패턴 형성 방법은, a) 스루홀을 갖는 배선 기판을 유지부에 의한 흡인에 의해 평면 상에 유지하는 공정과, b) 잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향하여 토출하는 공정과, c) 상기 배선 기판에 평행한 방향으로 상기 배선 기판에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 공정을 구비한다. 상기 b) 및 c) 공정에 의해, 상기 유지부에 의한 흡인시에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 잉크의 부여 영역인 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 상기 배선 기판 상에 잉크의 패턴이 형성된다.

본 발명은, 잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향하여 토출시킬 때에 사용되는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성 방법에 관한 것이기도 하다. 본 발명의 하나의 바람직한 형태에 관련된 토출 데이터 생성 방법은, 배선 기판 상의 스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 배선 기판 상의 설계상의 잉크의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 준비하는 공정과, 상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 흡인에 의해 평면 상에 상기 배선 기판을 유지했을 때에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 잉크의 부여 영역인 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 한 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비한다.

본 발명의 그 밖의 바람직한 형태에 관련된 토출 데이터 생성 방법은, 배선 기판 상의 스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 배선 기판 상의 설계상의 잉크의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 준비하는 공정과, 상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 흡인에 의해 평면 상에 상기 배선 기판을 유지했을 때에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 설계상의 잉크의 부여 영역의 내주부에 토출 금지 영역을 설정하면서 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비한다.

상기 서술한 목적 및 그 밖의 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 실시하는 본 발명의 상세한 설명에 의해 명확해진다.

도 1 은, 패턴 형성 장치의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 컴퓨터의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3 은, 컴퓨터에 의해 실현되는 기능 구성을 나타내는 도면이다.
도 4 는, 패턴 형성 장치의 동작의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 5 는, 스테이지의 평면도이다.
도 6 은, 배선 기판이 스테이지 상에 재치 (載置) 된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 7 은, 흡인홀을 나타내는 종단면도이다.
도 8 은, 흡인류가 존재하지 않는 경우의 액적의 비상을 나타내는 도면이다.
도 9 는, 흡인류가 존재하는 경우의 액적의 비상을 나타내는 도면이다.
도 10 은, 흡인류가 존재하고, 또한 보정이 실시되지 않은 경우의 레지스트막을 나타내는 도면이다.
도 11 은, 토출 금지 영역과 주위 부여 영역을 나타내는 종단면도이다.
도 12 는, 토출 금지 영역과 주위 부여 영역을 나타내는 평면도이다.
도 13 은, 설계상의 잉크량의 프로파일을 나타내는 도면이다.
도 14 는, 보정 후의 잉크량의 프로파일을 나타내는 도면이다.
도 15 는, 보정 후의 잉크량의 프로파일의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 16 은, 보정 후의 잉크량의 프로파일의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.

도 1 은 패턴 형성 장치 (1) 의 외관을 나타내는 사시도이다. 패턴 형성 장치 (1) 는, 솔더 레지스트의 잉크를 프린트 배선 기판 (이하, 간단히「배선 기판」이라고 한다) (9) 상에 부여함으로써, 배선 기판 (9) 상에 레지스트막의 패턴을 형성한다. 패턴 형성 장치 (1) 는 잉크젯 방식으로 패턴을 형성한다. 배선 기판 (9) 은, 바람직하게는 판상의 부재이지만, 가요성을 갖는 시트상의 부재여도 된다. 레지스트막은, 배선 기판 (9) 상의 도체 패턴을 보호한다. 도체 패턴에는, 배선, 랜드 및 그 밖의 패턴이 포함된다. 레지스트막은, 후공정에서 땜납 페이스트가 도포되는 영역이나, 레지스트막이 형성되어서는 안되는 다른 영역에는 형성되지 않는다.

패턴 형성 장치 (1) 는, 본체 (11) 와 제어부 (12) 를 구비한다. 본체 (11) 는, 배선 기판 (9) 에 평행한 Y 방향으로 배선 기판 (9) 을 이동시키는 Y 방향 이동 기구 (2a) 와, 이동 도상의 배선 기판 (9) 을 향하여 솔더 레지스트의 잉크 (이하, 간단히「잉크」라고 한다) 의 미소 액적을 토출시키는 헤드부 (3) 와, Y 방향으로 수직이고 또한 배선 기판 (9) 에 평행한 X 방향으로 헤드부 (3) 를 이동시키는 X 방향 이동 기구 (2b) 와, 헤드부 (3) 에 공급되는 잉크를 저류하는 탱크 (4) 를 구비한다. 이하, Y 방향 이동 기구 (2a) 및 X 방향 이동 기구 (2b) 를 합쳐「이동 기구 (2)」로 부른다. Y 방향 이동 기구 (2a) 및 X 방향 이동 기구 (2b) 로는 여러 가지 기구가 이용 가능하다. 예를 들어, 모터가 장착된 볼 나사 기구가 채용되어도 되고, 리니어 모터가 채용되어도 된다. 제어부 (12) 는, 이동 기구 (2) 및 헤드부 (3) 를 제어한다. 잉크는 탱크 (4) 로부터 튜브 (41) 를 통하여 헤드부 (3) 에 공급된다.

Y 방향 이동 기구 (2a) 는 배선 기판 (9) 을 유지하는 유지부 (21) 를 갖는다. 본 실시형태에서는, 유지부 (21) 는 스테이지이고, 이하, 유지부 (21) 를「스테이지 (21)」로 부른다. 배선 기판 (9) 은 스테이지 (21) 상에 흡인에 의해 유지된다. 스테이지 (21) 의 상면은 실질적으로 평면이고, 스테이지 (21) 는 평면 상에 배선 기판 (9) 을 유지한다. 본 실시형태에서는, 후술하는 바와 같이, 스테이지 (21) 의 표면에 형성된 구멍으로부터 수평 방향으로 신장되는 홈이 형성되고, 구멍이 도시되지 않은 흡인 장치에 접속된다. 구멍으로부터 공기의 흡인이 실시됨으로써, 홈의 영역에서 배선 기판 (9) 이 흡착된다 (도 5 참조). 배선 기판 (9) 의 유지는 그 밖의 여러 가지 수법에 의해 실시되어도 된다. 예를 들어, 스테이지 (21) 의 표면에는 다수의 구멍이 형성되고, 다수의 구멍으로부터 흡인이 실시되어도 된다. 스테이지 (21) 를 다공질 재료로 형성하고, 다공질 재료로부터 흡인이 실시되어도 된다.

헤드부 (3) 에는, X 방향에 관하여 등간격으로 배열된 다수의 토출구를 갖는 토출 유닛이 형성된다. 각 토출구로부터 잉크젯 방식으로 잉크의 액적이 토출된다. 잉크는, 배선 기판 (9) 을 향하여 도 1 의 (－Z) 방향으로 토출된다. 잉크젯 방식으로는 여러 가지 구조가 이용 가능하고, 피에조를 이용하는 구조나 히터를 이용하는 구조가 이용 가능하다.

복수의 토출구로부터 잉크의 액적을 토출하면서 스테이지 (21) 가 Y 방향 이동 기구 (2a) 에 의해 배선 기판 (9) 에 평행한 Y 방향으로 이동함으로써, Y 방향으로 신장되는 영역에 잉크가 부여된다. 이하, 배선 기판 (9) 의 Y 방향의 이동을「주 (主) 주사」라고도 한다. 실제로는, 배선 기판 (9) 의 1 회의 주주사에서는, 배선 기판 (9) 상에 복수의 토출구에 대응하는 복수의 잉크의 선이 형성된다. 1 회의 주주사가 완료되면, 헤드부 (3) 는 X 방향 이동 기구 (2b) 에 의해 배선 기판 (9) 에 평행한 X 방향으로 약간 이동하고, 배선 기판 (9) 은 Y 방향 이동 기구 (2a) 에 의해 (－Y) 방향으로 이동한다. 이로써, 2 회째의 주주사가 실시되고, 전회의 주주사로 형성된 잉크의 각 선에 인접하여 잉크의 선이 형성된다.

주주사를 소정 횟수 반복함으로써, 복수의 토출구의 X 방향의 배열폭과 거의 동등한 폭의 영역에 레지스트막이 형성된다. 레지스트막은 필요한 영역에만 형성되기 때문에, 정확하게는, 레지스트막의 패턴이 형성된다. 이하, 복수의 토출구의 X 방향의 배열폭과 거의 동등한 폭을「유닛폭」으로 부르고, 이 폭으로 레지스트막이 형성되는 영역을「유닛 영역」으로 부른다. 1 개의 유닛 영역에 레지스트막이 형성되면, 헤드부 (3) 는 X 방향 이동 기구 (2b) 에 의해 X 방향으로 유닛폭만큼 이동하고, 상기 서술한 주주사를 반복함으로써, 전회의 유닛 영역에 인접하는 유닛 영역에 레지스트막이 형성된다.

유닛 영역에서의 레지스트막의 형성 및 헤드부 (3) 의 X 방향으로의 이동이 반복됨으로써, 배선 기판 (9) 상의 필요한 영역 전체에 레지스트막의 패턴이 형성된다.

도 2 는, 제어부 (12) 가 갖는 컴퓨터 (5) 의 구성을 나타내는 도면이다. 컴퓨터 (5) 는 각종 연산 처리를 실시하는 CPU (51), 기본 프로그램을 기억하는 ROM (52) 및 각종 정보를 기억하는 RAM (53) 을 포함하는 일반적인 컴퓨터 시스템의 구성으로 되어 있다. 컴퓨터 (5) 는, 정보 기억을 실시하는 고정 디스크 (54), 화상 등의 각종 정보의 표시를 실시하는 디스플레이 (55), 조작자로부터의 입력을 접수하는 입력부 (56) 인 키보드 (56a) 및 마우스 (56b), 광디스크, 자기 디스크, 광자기 디스크, 메모리 카드 등의 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 (8) 로부터 정보의 판독을 실시하는 판독 장치 (57), 그리고, 본체 (11) 와의 사이에서 신호를 송수신하는 통신부 (58) 를 추가로 포함한다.

컴퓨터 (5) 에서는, 사전에 판독 장치 (57) 를 통하여 기록 매체 (8) 로부터 프로그램 (80) 이 판독되어 고정 디스크 (54) 에 기억되어 있다. 프로그램 (80) 은 네트워크를 통하여 고정 디스크 (54) 에 기억되어도 된다. CPU (51) 는, 프로그램 (80) 에 따라서 RAM (53) 이나 고정 디스크 (54) 를 이용하면서 연산 처리를 실행한다. CPU (51) 는, 컴퓨터 (5) 에 있어서 연산부로서 기능한다. CPU (51) 이외에 연산부로서 기능하는 그 밖의 구성이 채용되어도 된다.

도 3 은, 컴퓨터 (5) 가 프로그램 (80) 에 따라 연산 처리를 실행함으로써 실현되는 기능 구성을 나타내는 도면이다. 이들의 기능 구성에는, 토출 데이터 생성부 (61) 와 기억부 (62) 가 포함된다. 기억부 (62) 는, RAM (53) 이나 고정 디스크 (54) 등에 대응한다. 토출 데이터 생성부 (61) 는, 보정부 (611) 와 변환부 (613) 를 포함한다. 보정부 (611) 는, 필요에 따라 흡인홀 특정부 (612) 를 포함한다. 이들의 기능의 전부 또는 일부는 전용의 전기 회로에 의해 실현되어도 된다. 또, 복수의 컴퓨터에 의해 이들의 기능이 실현되어도 된다.

도 4 는, 패턴 형성 장치 (1) 의 동작의 흐름을 나타내는 도면이다. 도 4 의 스텝 S12 ∼ S14 는 제어부 (12) 에 의한 연산 처리이고, 스텝 S15 는, 제어부 (12) 의 제어에 의한 본체 (11) 의 동작이다. 기억부 (62) 에는, 미리, 통신부 (58) 나 판독 장치 (57) 등을 통하여 입력되는 스루홀 데이터 (71) 와, 잉크 패턴 데이터 (72) 가 기억되어 준비된다 (스텝 S11). 스루홀 데이터 (71) 는, 배선 기판 (9) 이 갖는 스루홀의 위치 및 크기, 즉, 스루홀의 패턴을 나타낸다. 잉크 패턴 데이터 (72) 는, 배선 기판 (9) 에 형성해야 할 설계상의 레지스트 패턴을 나타낸다. 스루홀 데이터 (71) 및 잉크 패턴 데이터 (72) 는, 벡터 데이터여도 되고, 래스터 데이터여도 된다. 기억부 (62) 에는, 필요에 따라 스테이지 정보 (73) 가 기억되어 준비된다. 스테이지 정보 (73) 는, 스테이지 (21) 상에 있어서 흡인이 실시되는 영역, 즉 배선 기판 (9) 을 흡착하는 영역을 나타낸다.

도 5 는, 스테이지 (21) 의 평면도이다. 스테이지 (21) 에는, X 방향 및 Y 방향에 관하여 등간격으로 흡인공 (211) 이 형성된다. 흡인공 (211) 은, 스테이지 (21) 의 표면에 개구한다. 흡인공 (211) 은 스테이지 (21) 내를 경유하여 흡인 장치, 예를 들어, 진공 펌프에 접속된다. 흡인공 (211) 은, 패턴 형성 장치 (1) 가 설치되는 방에 형성된 진공 파이프에 접속되어도 된다.

스테이지 (21) 의 표면에는, 흡인공 (211) 으로부터 스테이지 (21) 의 표면을 따라 연장되는 홈 (212) 이 형성된다. 도 5 의 예에서는, 홈 (212) 은, 흡인공 (211) 으로부터 X 방향 및 Y 방향으로 연장된다. 스테이지 (21) 상에 배선 기판 (9) 이 재치되어 흡인공 (211) 으로부터 흡인이 실시됨으로써, 홈 (212) 내가 감압되고, 배선 기판 (9) 은 스테이지 (21) 에 흡착된다.

도 6 은, 배선 기판 (9) 이 스테이지 (21) 상에 재치된 상태를 나타내는 평면도이다. 도 6 에서는 홈 (212) 을 파선으로 나타내고 있다. 배선 기판 (9) 은, 다수의 스루홀 (91) 을 갖는다. 평면에서 보아, 홈 (212) 과 겹치는 스루홀 (91) 로부터 공기가 유입된다. 이하, 스루홀 (91) 에 발생하는 공기의 흐름을「흡인류」로 부른다. 스테이지 (21) 에 의한 흡인시에 흡인류가 발생하는 스루홀 (91) 을「흡인홀」로 부른다. 도 6 에서는, 흡인홀 중 몇 개에, 부호 91a 를 부여하고 있다.

도 7 은, 흡인홀 (91a) 을 나타내는 종단면도이다. 흡인홀 (91a) 과 홈 (212) 이 겹치는 경우, 흡인홀 (91a) 로부터 유입되는 공기는, 홈 (212) 을 통하여 도 6 에 나타내는 흡인공 (211) 에 유도된다. 도 7 에서는, 배선 기판 (9) 에 형성될 예정인 설계상의 레지스트막 (92) 도 파선으로 나타내고 있다. 설계상의 레지스트막 (92) 은, 일정한 두께이다. 설계상의 레지스트막 (92) 은, 흡인류가 존재하지 않는 것을 전제로 하고 있다. 이 경우, 도 8 에 파선의 화살표로 나타내는 바와 같이, 헤드부 (3) 로부터의 잉크의 액적은 배선 기판 (9) 을 향하여 (－Z) 방향으로 직진한다.

그런데, 흡인류가 존재하는 경우, 도 9 에 파선의 화살표로 나타내는 바와 같이, 헤드부 (3) 로부터의 잉크의 액적은, 흡인홀 (91a) 을 향하여 끌어들여진다. 그 결과, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 실제의 레지스트막 (92a) 은, 흡인홀 (91a) 의 내주면에 부착되고, 또한, 흡인홀 (91a) 의 주위에 있어서 레지스트막 (92a) 은 얇아진다.

이와 같은 문제를 해소하기 위하여, 패턴 형성 장치 (1) 에서는, 다수의 스루홀 (91) 중에서 흡인홀 (91a) 이 특정되고 (스텝 S12), 흡인홀 (91a) 의 주위에 있어서, 잉크 패턴 데이터 (72) 의 보정이 실시된다 (스텝 S13).

흡인홀 (91a) 의 특정은, 반드시 실시되지 않아도 된다. 예를 들어, 스테이지 (21) 가 다공질 재료로 형성되고, 배선 기판 (9) 이 갖는 모든 스루홀 (91) 에 있어서 흡인류가 발생하는 경우, 모든 스루홀 (91) 의 주위에 있어서 잉크 패턴 데이터 (72) 의 보정이 실시된다. 또, 일부의 스루홀 (91) 에서 흡인류가 발생하지 않는 경우여도, 레지스트막으로서 문제가 발생하지 않는 것이면, 모든 스루홀 (91) 의 주위에 있어서 잉크 패턴 데이터 (72) 의 보정이 실시되어도 된다. 이들의 경우, 스텝 S12 가 생략된다. 스텝 S12 가 생략됨으로써, 보정부 (611) 에 있어서의 처리가 간소화된다. 반대로, 흡인홀 (91a) 이 특정되는 경우에는, 후술하는 보정 처리의 연산량이 삭감된다. 흡인홀 (91a) 이 특정된 경우여도, 흡인류가 발생하지 않는 일부의 스루홀 (91) 에 관하여 보정부 (611) 에 의한 보정이 실시되어도 된다. 적어도, 주위에 레지스트막 (92) 이 형성되는 모든 흡인홀 (91a) 에 관하여, 보정부 (611) 에 의한 보정이 실시된다.

흡인홀 (91a) 의 특정에서는, 먼저, 기억부 (62) 에 준비되어 있는 스루홀 데이터 (71) 가 보정부 (611) 의 흡인홀 특정부 (612) 에 입력된다. 기억부 (62) 에는, 스테이지 (21) 상의 흡인 영역을 나타내는 스테이지 정보 (73) 가 기억되어 있고, 스테이지 정보 (73) 도 흡인홀 특정부 (612) 에 입력된다. 본 실시형태에서는, 흡인 영역은, 도 5 의 흡인공 (211) 및 홈 (212) 의 영역이다. 스테이지 (21) 에 흡인공만이 형성되는 경우에는, 흡인 영역은 흡인구의 영역뿐이다. 흡인홀 특정부 (612) 는, 스루홀 데이터 (71) 및 스테이지 정보 (73) 에 기초하여, 흡인 영역과 겹치는 스루홀 (91) 을 흡인홀 (91a) 로서 특정한다. 또한, 흡인홀 (91a) 이어도 주위에 솔더 레지스트의 잉크가 도포되지 않는 것은, 연산 처리의 대상으로부터 제외된다.

보정부 (611) 에는, 기억부 (62) 로부터 잉크 패턴 데이터 (72) 도 입력된다. 보정부 (611) 는, 잉크 패턴 데이터 (72) 의 각 화소의 부여치를, 레지스트막의 설계상의 두께에 대응하는 단위 면적당의 잉크의 부여량으로 변환한다. 잉크의 부여량은 헤드부 (3) 로부터의 잉크의 토출량이다. 즉, 보정부 (611) 에서는,「부여있음」의 화소에 대해 미리 정해진 단위 면적당의 잉크의 토출량을 설정한다. 이하, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 간단히「잉크량」이라고 한다. 「부여없음」의 화소에 대해서는 잉크량을「0」으로 설정한다. 잉크량은, 단위에 연관된 구체적인 잉크량을 나타내는 값이어도 되고, 잉크량에 연관된 단순한 값이어도 된다.

다음으로, 보정부 (611) 는, 설계상의 레지스트막이 형성되는 영역 중, 흡인홀 (91a) 에 매우 가까운 영역에 있어서, 솔더 레지스트의 잉크를 부여하지 않는 토출 금지 영역을 설정한다 (스텝 S13 의 일부). 또한, 보정부 (611) 는, 흡인홀 (91a) 근방 또한 토출 금지 영역의 외측에 있어서, 설계상의 레지스트막의 두께가 두꺼워지도록 각 화소의 잉크량을 보정한다 (스텝 S13 의 다른 일부).

스텝 S13 의 구체예에 대해, 도 11 내지 도 14 를 참조하여 추가로 설명한다. 도 11 은, 레지스트막 (92) 이 형성되는 설계상의 영역에, 보정부 (611) 가 설정하는 토출 금지 영역 (93) 과, 주위 부여 영역 (94) 을 나타내는 종단면도이다. 도 12 는, 토출 금지 영역 (93) 과 주위 부여 영역 (94) 을 나타내는 평면도이다. 도 11 에서는, 설계상의 레지스트막 (92) 을 파선으로 나타내고 있다. 도 12 에서는, 설계상의 레지스트막 (92) 의 내주연 (921) 을 이점쇄선으로 나타내고 있다. 도 11 및 도 12 의 예에서는, 흡인홀 (91a) 의 평면 형상은 원이다.

도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 평면에서 본 경우, 설계상의 레지스트막 (92) 의 내주연 (921) 은 흡인홀 (91a) 의 내주면 (911) 으로부터 일정한 거리만큼 떨어져 있다. 이하, 설계상의 레지스트막 (92) 의 내주연 (921) 과 흡인홀 (91a) 의 내주면 (911) 사이의 영역 (901) 을「갭 영역」으로 부른다. 도 11 에 나타내는 바와 같이, 갭 영역 (901) 보다 외측의 영역은, 설계상의 레지스트막 (92) 이 형성되는 영역 (920), 즉, 잉크의 부여 영역이고, 이하,「도포 영역」으로 부른다.

이미 서술한 바와 같이 스텝 S13 에서는, 먼저, 토출 데이터 생성부 (61) 의 보정부 (611) 는, 흡인홀 (91a) 의 주위의 설계상의 도포 영역 (920) 의 내주부에 토출 금지 영역 (93) 을 설정한다. 다음으로, 보정부 (611) 는, 토출 금지 영역 (93) 의 외측에 주위 부여 영역 (94) 을 설정한다. 주위 부여 영역 (94) 은, 흡인홀 (91a) 로부터 크게는 떨어져 있지 않고, 흡인홀 (91a) 의 주위의 도포 영역이다. 도 12 에 나타내는 바와 같이, 흡인홀 (91a) 이 원형인 경우에는, 토출 금지 영역 (93) 및 주위 부여 영역 (94) 은, 평면에서 보아, 동심의 원환상이다.

도 13 의 하단은, 도 11 의 좌측의 부위를 나타내고, 상단은, 설계상의 잉크량, 즉, 단위 면적당의 잉크의 토출량을 나타낸다. 도 13 에서는, 토출 금지 영역 (93) 및 주위 부여 영역 (94) 의 경계에 대응하는 선도 파선으로 나타내고 있다. 도 13 에 나타내는 바와 같이, 잉크 패턴 데이터 (72) 로부터 유도되는 잉크량은, 설계상의 도포 영역 (920) 의 전체에 걸쳐 일정하다. 즉, 설계상은, 도포 영역 (920) 의 전체 범위에 있어서 부여치는「1」이다. 보정부 (611) 는, 먼저, 보정 전의 잉크량으로서, 도포 영역 (920) 의 전체 범위에 걸쳐 잉크량을 기정치로 설정한다. 본 실시형태에서는, 기정치의 잉크량을「100 ％」로 표현한다. 이 값은, 헤드부 (3) 가 토출시킬 수 있는 잉크량의 상한치보다 낮다.

도 14 는, 보정 후의 잉크량과, 배선 기판 (9) 상에 형성되는 실제의 레지스트막 (92a) 의 단면을 나타내는 도면이다. 보정부 (611) 의 보정에 의해, 토출 금지 영역 (93) 을 향하여 잉크의 액적은 토출되지 않는다. 즉, 토출 금지 영역 (93) 에 있어서의 잉크량은「0 ％」이다. 또한, 잉크량은 헤드부 (3) 로부터 (－Z) 방향으로 토출되는 잉크량을 나타내고 있고, 배선 기판 (9) 상의 토출 금지 영역 (93) 에 도달하는 잉크의 양이 아니다.

한편, 토출 금지 영역 (93) 으로부터 외측, 즉, 도 14 의 좌측을 향하여 잉크량은 급격하게 상승하고,「100 ％」를 크게 초과한다. 그 후, 점차 감소된다. 전형적으로는, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 흡인홀 (91a) 로부터 떨어짐에 따라, 잉크량의 감소량도 점차 감소된다. 주위 부여 영역 (94) 보다 외측에서는, 잉크량은「100 ％」이다. 즉, 주위 부여 영역 (94) 보다 외측에서는, 잉크량은, 도 13 의 설계상의 잉크량과 동등하다. 흡인홀 (91a) 을 중심으로 하는 직경 방향에 있어서의 잉크량의 분포를, 이하, 잉크량의「프로파일」로 부른다. 흡인홀 (91a) 을 중심으로 하는 직경 방향에 있어서의 토출 금지 영역 (93) 및 주위 부여 영역 (94) 의 폭은, 흡인홀 (91a) 의 크기, 스테이지 (21) 의 흡인공 (211) 에 있어서의 압력, 헤드부 (3) 로부터 토출되는 잉크의 액적의 크기, 액적의 속도 등을 고려하여, 미리 설정된다.

보정 후의 잉크 패턴 데이터 (72) 는, 도 3 의 변환부 (613) 에 입력되고, 헤드부 (3) 의 각 토출구가 각 위치에서 토출하는 잉크량을 나타내는 토출 데이터 (75) 로 변환된다 (스텝 S14). 바꾸어 말하면, 토출 데이터 (75) 는, 헤드부 (3) 로부터 배선 기판 (9) 상의 각 위치를 향하여 토출되는 잉크의 양을 나타낸다.

이상과 같이, 토출 데이터 생성부 (61) 는, 스루홀 데이터 (71) 및 잉크 패턴 데이터 (72) 에 기초하여, 토출 데이터 (75) 를 생성한다. 토출 데이터 (75) 는, 기억부 (62) 에 보존된다. 토출 데이터 (75) 는, 예를 들어, 배선 기판 (9) 상에 10 ㎛ 피치로 격자상으로 설정된 각 위치에 부여되는 잉크의 액적의 사이즈를 나타내는 데이터로서 생성된다. 보정 후의 잉크 패턴 데이터 (72) 와 토출 데이터 (75) 는, 정보의 형식이 상이할 뿐으로, 실질적으로 모두 단위 면적당의 잉크의 토출량을 나타낸다.

토출 데이터 (75) 가 생성되면, 배선 기판 (9) 을 흡인에 의해 스테이지 (21) 의 평면 상에 유지하는 공정이 실시된다. 본체 (11) 는, 제어부 (12) 로부터 토출 데이터 (75) 를 수신하고, 토출 데이터 (75) 에 따라 헤드부 (3) 및 이동 기구 (2) 를 제어한다. 구체적으로는, 잉크의 액적을 헤드부 (3) 로부터 배선 기판 (9) 을 향하여 토출하는 공정과, 배선 기판 (9) 에 평행한 방향으로 배선 기판 (9) 에 대해 헤드부 (3) 를 상대적으로 이동시키는 공정이 병행하여 실시된다. 이로써, 배선 기판 (9) 상에 잉크가 부여되고, 레지스트막 (92) 의 패턴이 형성된다 (스텝 S15). 바꾸어 말하면, 제어부 (12) 가 헤드부 (3) 및 이동 기구 (2) 를 제어함으로써, 스텝 S15 가 실행된다.

도 14 의 상단에 나타내는 잉크량의 프로파일에서 헤드부 (3) 로부터 배선 기판 (9) 을 향하여 잉크의 액적이 토출됨으로써, 도 14 의 하단에 나타내는 바와 같이, 실제로 형성되는 레지스트막 (92a) 은, 도 13 에 나타내는 설계상의 레지스트막 (92) 에 가까워진다. 즉, 주위 부여 영역 (94) 을 향하여 헤드부 (3) 로부터 토출된 잉크의 액적은, 흡인류에 의해 흡인홀 (91a) 에 끌어들여져 배선 기판 (9) 에 도달한다. 액적의 일부는, 토출 금지 영역 (93) 에 도달하지만, 액적이 흡인홀 (91a) 내에 부착되는 것은 억제된다.

액적이 흡인홀 (91a) 에 끌어들여지는 거리는, 흡인홀 (91a) 에 가까울수록 크다. 이에 반하여, 상기 서술한 바와 같이, 주위 부여 영역 (94) 의 내주부에서는 잉크량이 가장 많고, 흡인홀 (91a) 로부터 떨어짐에 따라 잉크량이 점차 감소된다. 이로써, 레지스트막 (92a) 의 전체에 걸쳐 두께가 대략 일정해진다. 토출 금지 영역 (93) 의 설정 및 주위 부여 영역 (94) 에 있어서의 잉크량의 조정에 의해, 설계상의 도포 영역 (920) 전체에 있어서, 대략 균일한 두께이고, 또한, 평면에서 본 경우에 설계 형상에 가까운 적절한 레지스트막 (92a) 의 패턴이 형성된다.

도 15 는, 보정 후의 잉크량의 프로파일의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 15 에 있어서, 이점쇄선은 설계상의 레지스트막 (92) 의 내주연 (921) 의 위치를 나타내고, 부호 921 을 부여하고 있다 (도 16 에 있어서 동일). 잉크량은, 설계상의 레지스트막 (92) 의 내주연 (921) 으로부터 흡인홀 (91a) 의 외측을 향하여 상승하고, 그 후, 점차 감소된다. 즉, 도 15 의 예에서는, 도 14 의 토출 금지 영역 (93) 은 형성되지 않고, 흡인홀 (91a) 의 주위의 잉크의 부여 영역인 주위 부여 영역 (94) 만이 형성된다. 주위 부여 영역 (94) 에 있어서의 잉크량은, 주위 부여 영역 (94) 의 외측의 영역보다 많다. 토출 금지 영역 (93) 이 형성되지 않는 경우여도, 갭 영역 (901) 이 충분히 큰 경우, 잉크의 액적이 흡인홀 (91a) 에 빨려들어가는 경우는 없다. 그 때문에, 주위 부여 영역 (94) 에 있어서의 잉크량을 보정하는 것만으로 대략 일정한 두께의 적절한 레지스트막 (92a) 의 패턴을 형성하는 것이 실현된다.

도 16 은, 보정 후의 잉크량의 프로파일의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 16 의 예에서는, 갭 영역 (901) 의 외측에 토출 금지 영역 (93) 이 형성되지만, 토출 금지 영역 (93) 보다 외측에서는 잉크량은 일정하고, 보정 전의 잉크량이 유지된다. 즉, 도 16 의 예에서는, 흡인홀 (91a) 의 주위의 설계상의 잉크의 부여 영역인 도포 영역 (920) 의 내주부에 토출 금지 영역 (93) 이 형성되지만, 주위 부여 영역 (94) 은 형성되지 않는다. 흡인홀 (91a) 의 주위에서 레지스트막 (92a) 의 두께가 얇아져도 문제가 없는 경우, 토출 금지 영역 (93) 만이 형성됨으로써, 흡인홀 (91a) 에 잉크의 액적의 흡인되거나 흡인홀 (91a) 의 내면에 잉크가 부착되는 것이 억제된다. 그 결과, 흡인홀 (91a) 의 주위에 있어서 적절한 레지스트막 (92) 의 패턴이 형성된다.

패턴 형성 장치 (1) 에서는, 여러 가지 변형이 가능하다.

도 14 내지 도 16 에 나타내는 프로파일은 예에 지나지 않고, 프로파일의 형상은 적절히 변경되어도 된다. 프로파일은, 흡인홀 (91a) 의 크기, 스테이지 (21) 의 흡인공 (211) 에 있어서의 압력, 헤드부 (3) 로부터 토출되는 잉크의 액적의 크기, 액적의 속도 등을 고려하여 적절히 설정된다. 프로파일의 작성은, 흡인류의 강도로부터 이론적으로 실시되어도 되고, 시험을 반복함으로써 결정되어도 된다. 1 개의 배선 기판 (9) 에 1 개의 프로파일만이 적용되어도 되고, 1 개의 배선 기판 (9) 에 복수 종류의 프로파일이 적용되어도 된다. 흡인홀 (91a) 마다 상이한 프로파일이 적용되어도 된다.

패턴 형성 장치 (1) 에서는, 적어도, 주위 부여 영역 (94) 에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 주위 부여 영역 (94) 의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 배선 기판 (9) 상에 잉크의 패턴을 형성함으로써, 대략 균일한 두께의 막이 형성된다.

바람직하게는, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 주위 부여 영역 (94) 에 있어서, 흡인홀 (91a) 에 가까워짐에 따라 잉크량, 즉, 단위 면적당의 잉크의 토출량은 증대된다. 정확하게는, 주위 부여 영역 (94) 의 내주연 근방에서는, 흡인홀 (91a) 을 향하여 잉크량은 최대치로부터 0 ％ 까지 감소한다. 흡인홀 (91a) 에 가까워짐에 따라 잉크량은 점차 증대되어도 되고, 계단상으로 증대되어도 된다. 프로파일에 있어서, 잉크량은 직선상 또는 꺾은선상으로 증가되어도 된다.

스루홀 (91) 의 평면 형상은, 원형에는 한정되지 않는다. 스루홀 (91) 은, 관통공이면 어떠한 것이어도 되고, 이른바 배선용의 스루홀에는 한정되지 않는다. 스루홀 (91) 이 원형이 아닌 경우에는, 토출 금지 영역 (93) 이나 주위 부여 영역 (94) 도 원형으로 설정될 필요는 없다.

헤드부 (3) 로부터 토출되는 잉크는, 솔더 레지스트의 잉크에는 한정되지 않는다. 스루홀을 갖는 배선 기판에 잉크젯 방식으로 패턴을 형성하는 여러 가지 기술에, 토출 금지 영역 (93) 이나 주위 부여 영역 (94) 을 형성하는 수법이 응용 가능하다. 예를 들어, 배선 기판 (9) 상에 문자, 기호, 도형 등을 잉크로 그릴 때에, 상기 수법이 채용되어도 된다.

상기 패턴 형성 장치 (1) 에서는, 보정부 (611) 가 자동적으로 잉크 패턴 데이터 (72) 를 보정하지만, 잉크 패턴 데이터 (72) 의 보정은, 인간이 실시해도 된다.

주위 부여 영역 (94) 에 있어서, 환상으로 잉크량을 늘리는 것은 필수는 아니다. 예를 들어, 흡인홀 (91a) 의 주위에 있어서, 잉크량이 많은 복수의 도상 (島狀) 의 영역을 환상으로 배열해도 된다.

패턴 형성 장치 (1) 에서는, 헤드부 (3) 는 스테이지 (21) 에 대해 상대적으로 이동시키는 것이면, 이동 기구 (2) 로서 여러 가지 구조가 채용 가능하다. 예를 들어, 스테이지 (21) 가 고정되고, 헤드부 (3) 가 X 방향 및 Y 방향으로 이동해도 된다. 헤드부 (3) 가 Y 방향으로 이동하고, 스테이지 (21) 가 X 방향으로 이동해도 된다.

헤드부 (3) 에 있어서의 토출구의 배열은 여러 가지로 변경 가능하고, 액적의 크기와 토출구의 X 방향의 피치의 관계도 여러 가지로 변경 가능하다. 헤드부 (3) 의 배선 기판 (9) 에 대한 1 회의 상대 이동으로 헤드부 (3) 의 하방의 영역에 레지스트막의 패턴이 형성되어도 된다.

상기 실시형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합되어도 된다.

발명을 상세하게 묘사하여 설명했지만, 이미 서술한의 설명은 예시적이지 한정적인 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.

1 : 패턴 형성 장치
2 : 이동 기구
3 : 헤드부
9 : 배선 기판
12 : 제어부
21 : 스테이지 (유지부)
61 : 토출 데이터 생성부
62 : 기억부
71 : 스루홀 데이터
72 : 잉크 패턴 데이터
75 : 토출 데이터
91 : 스루홀
91a : 흡인홀
92, 92a : 레지스트막
93 : 토출 금지 영역
94 : 주위 부여 영역
920 : 도포 영역
S11 ∼ S15 : 스텝

Claims

잉크를 배선 기판 상에 부여함으로써, 상기 배선 기판 상에 상기 잉크의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치로서,
스루홀을 갖는 배선 기판을 흡인에 의해 평면 상에 유지하는 유지부와,
잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향하여 토출시키는 헤드부와,
상기 배선 기판에 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 유지부에 의한 흡인시에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 잉크의 부여 영역인 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 상기 배선 기판 상에 잉크의 패턴을 형성하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제어부가,
스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 잉크의 설계상의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 기억하는 기억부와,
상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 상기 헤드부로부터 상기 배선 기판 상의 각 위치를 향하여 토출하는 잉크의 양을 나타내는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
제 2 항 있어서,
상기 토출 데이터 생성부가, 상기 스루홀의 주위의 설계상의 도포 영역의 내주부에 토출 금지 영역을 설정하고, 상기 토출 금지 영역의 외측에 상기 주위 부여 영역을 설정하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 주위 부여 영역에 있어서, 상기 스루홀에 가까워짐에 따라 단위 면적당의 잉크의 토출량이 증대되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 배선 기판이 갖는 모든 스루홀의 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량이, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많은 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 유지부에 의한 흡인시에 흡인류가 발생하는 모든 스루홀의 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량이, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많은 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
잉크를 배선 기판 상에 부여함으로써, 상기 배선 기판 상에 상기 잉크의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치로서,
스루홀을 갖는 배선 기판을 흡인에 의해 평면 상에 유지하는 유지부와,
잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향하여 토출시키는 헤드부와,
상기 배선 기판에 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 배선 기판 상에 잉크의 패턴을 형성하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부가,
스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 잉크의 설계상의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 기억하는 기억부와,
상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 상기 헤드부로부터 상기 배선 기판 상의 각 위치를 향하여 토출하는 잉크의 양을 나타내는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성부를 구비하고,
상기 토출 데이터 생성부가, 스루홀의 주위의 설계상의 잉크의 부여 영역의 내주부에 토출 금지 영역을 설정하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
잉크를 배선 기판 상에 부여함으로써, 상기 배선 기판 상에 상기 잉크의 패턴을 형성하는 패턴 형성 방법으로서,
a) 스루홀을 갖는 배선 기판을 유지부에 의한 흡인에 의해 평면 상에 유지하는 공정과,
b) 잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향하여 토출하는 공정과,
c) 상기 배선 기판에 평행한 방향으로 상기 배선 기판에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 공정을 구비하고,
상기 b) 및 c) 공정에 의해, 상기 유지부에 의한 흡인시에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 잉크의 부여 영역인 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 상기 배선 기판 상에 잉크의 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향하여 토출시킬 때에 사용되는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성 방법으로서,
배선 기판 상의 스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 배선 기판 상의 설계상의 잉크의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 준비하는 공정과,
상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 흡인에 의해 평면 상에 상기 배선 기판을 유지했을 때에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 잉크의 부여 영역인 주위 부여 영역에 있어서, 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 주위 부여 영역의 외측의 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 한 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 토출 데이터 생성 방법.
잉크젯 방식으로 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향하여 토출시킬 때에 사용되는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성 방법으로서,
배선 기판 상의 스루홀의 패턴을 나타내는 스루홀 데이터와, 상기 배선 기판 상의 설계상의 잉크의 패턴을 나타내는 잉크 패턴 데이터를 준비하는 공정과,
상기 스루홀 데이터 및 상기 잉크 패턴 데이터에 기초하여, 흡인에 의해 평면 상에 상기 배선 기판을 유지했을 때에 흡인류가 발생하는 스루홀의 주위의 설계상의 잉크의 부여 영역의 내주부에 토출 금지 영역을 설정하면서 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 토출 데이터 생성 방법.