KR20200096112A - 펠리클 프레임 및 펠리클 - Google Patents

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KR20200096112A
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유 야나세
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신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
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Abstract

[과제] 충분한 통기능력을 갖고, 펠리클 프레임의 가공성이 좋고, 또한 마스크에의 첩부성이 양호한 펠리클 프레임 및 펠리클을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[해결수단] 본 발명은 펠리클막을 형성하는 상단면과 포토마스크에 면하는 하단면을 갖는 프레임 형상의 펠리클 프레임으로서, 상단면의 외측면으로부터 내측면을 향해서 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임, 상기 펠리클 프레임을 구성요소로서 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클을 제공한다.

Description

펠리클 프레임 및 펠리클{PELLICLE FRAME AND PELLICLE}
본 발명은 리소그래피용 포토마스크에 먼지막이로서 장착되는 펠리클 프레임 및 펠리클에 관한 것이다.
최근, LSI의 디자인 룰은 서브쿼터 미크론으로 미세화가 진행되고 있으며, 그것에 따라 노광 광원의 단파장화가 진행되고 있다. 즉, 노광 광원은 수은 램프에 의한 g선(436㎚), i선(365㎚)으로부터 KrF 엑시머 레이저(248㎚), ArF 엑시머 레이저(193㎚) 등으로 이행하고 있으며, 또한 주파장 13.5㎚의 EUV(Extreme Ultra Violet)광을 사용하는 EUV 노광이 검토되고 있다.
LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 표시판의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사하여 패턴을 제작하지만, 이 경우에 사용하는 리소그래피용 포토마스크 및 레티클(이하, 총칭해서 「노광 원판」이라고 기술한다)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나, 광을 굴곡시켜버리기 때문에 전사한 패턴이 변형되거나 에지가 조잡한 것으로 되는 것 이외에 하지가 검게 오염되거나 해서 치수, 품질, 외관 등이 손상된다고 하는 문제가 있었다.
이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만, 그래도 노광 원판을 항상 청정하게 유지하는 것은 어렵다. 그래서, 노광 원판 표면에 먼지막이로서 펠리클을 첩부한 후에 노광을 하는 방법이 일반적으로 채용되고 있다. 이 경우, 이물은 노광 원판의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 위에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 노광 원판의 패턴 위에 맞춰두면 펠리클 위의 이물은 전사에 무관계로 된다.
이 펠리클의 기본적인 구성은 펠리클 프레임의 상단면에 노광에 사용되는 광에 대해 투과율이 높은 펠리클막이 장설(張設)됨과 아울러, 하단면에 기밀용 개스킷이 형성되어 있는 것이다. 기밀용 개스킷은 일반적으로 점착제층이 사용된다. 펠리클막은 노광에 사용하는 광〔수은 램프에 의한 g선(436㎚), i선(365㎚), KrF 엑시머 레이저(248㎚), ArF 엑시머 레이저(193㎚) 등〕을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스, 불소계 폴리머 등으로 이루어지지만, EUV 노광용으로는 펠리클막으로서 극박 규소막이나 탄소막이 검토되어 있다.
EUV 노광용의 펠리클 프레임에는 노광 장치의 형편상 몇 가지의 제한이 있다. EUV 노광 장치 내의 펠리클 배치 스페이스가 작기 때문에 펠리클의 높이를 2.5㎜ 이하로 할 필요가 있다.
또한, EUV 노광은 고진공 하에서 행해지기 때문에 EUV용 펠리클은 대기압으로부터 진공으로의 압력 변화를 견딜 필요가 있어 EUV 펠리클의 통기부는 대면적인 것이 요구된다. 그리고, 특허문헌 2나 특허문헌 3에서는 넓은 통기 면적이 얻어지는 필터 부착 펠리클 프레임이 제안되어 있다. 펠리클 높이가 낮으므로, 필터를 부착하기 위해서는 막과 평행해지도록 필터를 설치하는 것이 바람직하다고 되어 있지만, 필터를 펠리클 프레임의 상단면 또는 하단면에 설치하는 경우, 통기로에 곡부가 발생한다. 통기로에 곡부가 존재하면 특히 고진공으로부터 대기압으로 압력을 되돌릴 때에 통기로 내에서 큰 저항이 발생하여 펠리클 내외에 압력차가 생겨서 펠리클막의 파손으로 이어질 우려가 있었다. 완만하게 압력을 되돌리는 경우에는 문제없었지만, 작업성의 관점에서 보다 빨리 고진공으로부터 대기압으로 되돌리는 것을 요구하게 되는 경우가 있는 것을 알 수 있었다. 또한, 펠리클 프레임을 세정했을 때에 곡부를 갖는 통기로를 충분하게 세정하는 것이 어려워 이물이 남을 우려도 있었다.
특허문헌 4에서는 마스크와 펠리클을 펠리클에 구비된 홀딩 스프링과 마스크위에 있는 스터드라고 불리는 파스너를 개재해서 기계적으로 고정한 펠리클을 제안하고 있다. 그 펠리클에서는 마스크와 펠리클 사이에 200∼300㎛의 갭을 만들고, 통기를 행하고 있기 때문에 통기능력은 충분하지만, 기계적으로 펠리클을 고정하면 반드시 접속부에서 금속간의 접촉이 발생한다. 금속간에 접촉이 일어나면 발진으로 이어질 우려가 있다.
본원 출원인이 먼저 출원한 일본 특허 출원 제2017-197004호의 명세서에는 측면에 다수의 관통 구멍을 갖는 펠리클 프레임이 제안되어 있다. 그러나, 관통 구멍만으로 대면적의 통기부를 형성하기 위해서는 매우 다수의 관통 구멍을 개방할 필요가 있고, 특히 파손되기 쉬운 재료로 펠리클 프레임을 제작할 때에는 가공이 어려워 비용이 든다. 또한, 세정이 불충분하여 관통 구멍에 이물이 남아버린 경우, 관통 구멍 내부이면 육안 검사를 실시할 수 없으므로 이물을 발견하기 어려운 것을 알 수 있었다.
또한, 본원 출원인이 먼저 출원한 일본 특허 출원 제2017-196982호의 명세서에는 하단면에 박리 지그의 파지부 또한 통기부로서 노치부를 형성한 펠리클 프레임이 제안되어 있다. 통기능력이나 가공성은 충분하지만, 펠리클 프레임과 마스크의 접착부가 적어지는 결점이 있다. 접착부가 적기 때문에 펠리클을 장기간에 걸쳐 사용하면 낙하해버리는 것이 우려된다. 펠리클의 낙하를 막기 위해서 접착력이 강한 점착제를 사용하는 것도 고려되지만, 펠리클은 사용 후 또는 펠리클에 문제가 생겼을 때에 마스크로부터 박리할 필요가 있다. 점착력이 지나치게 강하면 박리할 때, 펠리클에 강한 힘이 가해져 펠리클막이 파손될 가능성이 매우 높다. 펠리클막이 파손되어버리면 마스크를 오염시켜버리기 때문에 접착력이 강한 점착제를 사용하는 것은 어렵다.
일본 특허 공개 2016-200616호 공보 일본 특허 공개 2017-83791호 공보 일본 특허 공개 2016-191902호 공보 국제 공개 제2016/124536호
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이고, EUV 노광을 고진공 하에서 행할 때 대기압으로부터 진공으로의 압력 변화를 견뎌서 펠리클막의 파손이 생기는 일이 없고, 다수의 관통 구멍을 설치할 필요도 없어 이물을 발견하기 어려운 일도 없고, 강한 접착력이 있는 접착제 또는 점착제를 이용해도 펠리클막의 파손이 없고, 장기간 사용해도 박리될 가능성이 매우 적은 펠리클 프레임 및 상기 펠리클 프레임을 사용한 펠리클을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자는 펠리클막을 형성하는 상단면과 포토마스크에 면하는 하단면을 갖는 프레임 형상의 펠리클 프레임으로서, 상기 펠리클 프레임의 상단면의 외측면으로부터 내측면을 향해서 노치부를 형성함으로써 펠리클 프레임과 펠리클막 사이의 접착부는 감소하지만, 펠리클 프레임으로부터 펠리클막을 박리할 필요가 없으므로 강한 접착력이 있는 접착제 또는 점착제를 사용할 수 있고, 또한 접착부에 가해지는 하중도 펠리클막뿐이므로, 장기간 사용해도 박리될 가능성은 매우 적은 것을 발견하고, 본 발명을 이루기에 이른 것이다.
따라서, 본 발명은 하기 펠리클 프레임 및 펠리클을 제공한다.
1. 펠리클막을 형성하는 상단면과 포토마스크에 면하는 하단면을 갖는 프레임 형상의 펠리클 프레임으로서, 상단면의 외측면으로부터 내측면을 향해서 적어도 1개의 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
2. 상기 1에 있어서,
상기 노치부는 외측면으로부터 내측면까지 형성되어 있는 펠리클 프레임.
3. 상기 1 또는 2에 있어서,
두께가 2.5㎜ 미만이고, 티타늄으로 이루어지는 펠리클 프레임.
4. 상기 1 또는 2에 있어서,
두께가 2.5㎜ 미만이고, 규소 결정으로 이루어지는 펠리클 프레임.
5. 상기 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 펠리클 프레임을 구성요소로서 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클.
6. 상기 5에 있어서,
상기 펠리클 프레임의 상단면 중, 노치부 이외의 상단면 위에는 접착제가 형성되어 있는 펠리클.
본 발명에 의하면 충분한 통기능력을 갖고, 펠리클 프레임 가공성이 좋고, 또한 마스크에의 첩부성이 양호한 펠리클 프레임 및 펠리클을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 펠리클 프레임의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 펠리클 프레임의 다른 예를 나타내는 것이고, (A)는 상단면측으로부터 본 평면도이고, (B)는 단변 외측면측으로부터 본 정면도이다.
도 3은 본 발명의 펠리클을 포토마스크에 장착한 모양을 나타내는 개략도이다.
본 발명의 펠리클 프레임은 펠리클막을 형성하는 상단면과 포토마스크에 면하는 하단면을 갖는 프레임 형상의 펠리클 프레임이다.
펠리클 프레임은 프레임 형상이면 그 형상은 펠리클을 장착하는 포토마스크의 형상에 대응한다. 일반적으로는, 사각형(직사각형 또는 정사각형) 프레임 형상이다.
또한, 펠리클 프레임에는 펠리클막을 형성하기 위한 면(여기서는, 상단면이라고 한다)과 포토마스크 장착시에 포토마스크에 면하는 면이(여기서는, 하단면이 ) 있다.
통상, 펠리클 프레임의 상단면에는 접착제 등을 개재해서 펠리클막이 형성되고, 하단면에는 펠리클을 포토마스크에 장착하기 위한 점착제 등이 형성되지만, 이에 제한하지 않는다.
펠리클 프레임의 재질에 제한은 없고, 공지의 것을 사용할 수 있다. EUV용의 펠리클 프레임에서는 고온에 노출될 가능성이 있기 때문에 열팽창계수가 작은 재료가 바람직하다. 예를 들면 Si, SiO2, SiN, 석영, 인바, 티타늄, 티타늄 합금 등이 예시된다. 그 중에서도, 가공 용이성이나 경량인 점에서 티타늄이나 티타늄 합금이 바람직하다.
펠리클 프레임의 치수는 특별히 한정되지 않지만, EUV용 펠리클의 높이가 2.5㎜ 이하로 제한되는 점에서 EUV용의 펠리클 프레임의 두께는 그것보다 작아져서 2.5㎜ 미만이다.
또한, EUV용의 펠리클 프레임의 두께는 펠리클막이나 마스크 점착제 등의 두께를 감안하면 1.5㎜ 이하인 것이 바람직하다.
본 발명의 펠리클 프레임은 상기 펠리클 프레임의 상단면의 외측면으로부터 내측면을 향해서 노치부가 형성된다. 노치부의 배치 장소나 개수에 제한은 없지만, 개구부의 면적을 합계로 20㎟ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 30㎟ 이상으로 하는 것이 보다 바람직하다.
또한, 통상 펠리클 프레임 측면에는 핸들링이나 펠리클을 포토마스크로부터 박리할 때에 사용되는 지그 구멍이 형성된다. 지그 구멍의 크기는 펠리클 프레임의 두께 방향의 길이(원형인 경우에는 직경)가 0.5∼1.0㎜이다. 구멍의 형상에 제한은 없고, 원형이나 사각형이어도 상관없다. 또한, 통상 지그 구멍은 외측면으로부터 내측면으로 관통하지 않는 구멍이지만, 지그 구멍과는 별도로 외측면으로부터 내측면으로 관통시킨 통기 구멍을 형성해도 좋다. 통기 구멍의 경우, 배치 장소나 개수에 제한은 없다.
또한, 펠리클 프레임의 외측면으로부터 내측면까지 형성되어 있는 노치부에는 필터를 형성해도 좋다. 그 경우에는, 펠리클 프레임의 내측면 또는 외측면 중 어느 한쪽에 노치부를 덮도록 형성해도 좋다.
본 발명의 펠리클은 상기와 같은 펠리클 프레임의 상단면에 점착제 또는 접착제를 개재해서 펠리클막이 형성된다. 점착제나 접착제의 재료에 제한은 없고, 공지의 것을 사용할 수 있다. 점착제나 접착제는 펠리클 프레임의 노치부 이외의 상단면에 형성된다. 펠리클막을 강하게 유지하기 위해서 접착력이 강한 점착제 또는 접착제가 바람직하다.
상기 펠리클막의 재질에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 노광 광원의 파장에 있어서의 투과율이 높아 내광성이 높은 것이 바람직하다. 예를 들면, EUV 노광에 대하여는 극박 규소막이나 탄소막 등이 사용된다.
또한, 펠리클 프레임의 하단면에는 포토마스크에 장착하기 위한 마스크 점착제가 형성된다. 일반적으로, 마스크 점착제는 펠리클 프레임의 전체 둘레에 걸쳐서 형성되는 것이 바람직하다.
상기 마스크 점착제로서는 공지의 것을 사용할 수 있고, 아크릴계 점착제나 실리콘계 점착제가 적합하게 사용될 수 있다. 점착제는 필요에 따라서 임의의 형상으로 가공되어도 좋다.
상기 마스크 점착제의 하단면에는 점착제를 보호하기 위한 이형층(세퍼레이터)이 첩부되어 있어도 좋다. 이형층의 재질은 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌·퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC), 폴리염화비닐(PVC), 폴리프로필렌(PP) 등을 사용할 수 있다. 또한, 필요에 따라서 실리콘계 이형제나 불소계 이형제 등의 이형제를 이형층의 표면에 도포해도 좋다.
여기서, 도 1은 본 발명의 펠리클 프레임(1)의 일례를 나타내고, 각각의 도면에 있어서 부호 11은 펠리클 프레임의 내측면, 부호 12는 펠리클 프레임의 외측면, 부호 13은 펠리클 프레임의 상단면, 부호 14는 펠리클 프레임의 하단면을 나타낸다. 도 1의 상기 펠리클 프레임(1)의 상단면에 있어서, 단변측의 상단면에 각각 1개의 노치부(10, 10)가 형성되어 있고, 장변측에는 형성되어 있지 않다. 또한, 통상 펠리클 프레임의 장변측에는 펠리클을 포토마스크로부터 박리하기 위해서 사용되는 지그 구멍이 형성되지만, 도 1에서는 특별히 도시하고 있지 않다.
도 2는 펠리클 프레임(1)의 상단면에 있어서, 단변측의 상단면에 각각 1개의 노치부(10, 10)가 형성되어 있음과 아울러, 장변측의 상단면에도 각각 1개의 노치부(10, 10)가 형성되어 합계 4개의 노치부가 형성된 예이다. 도 2에서는 상기 노치부는 외측면으로부터 내측면까지 연통해서 형성되어 있다. 도 2 중, 부호 W는 노치부의 폭, 부호 D는 노치부의 깊이, 부호 T는 노치부의 높이를 나타낸다.
도 3은 펠리클(20)을 나타내는 것이고, 펠리클 프레임(1)의 상단면에는 접착제(4)에 의해 펠리클막(2)이 접착, 장설되어 있다. 또한, 상기 펠리클(20)은 점착제(5)에 의해 포토마스크(3)에 박리 가능하게 접착되어 있으며, 포토마스크(3) 위의 패턴면을 보호하고 있다.
[실시예]
이하, 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 하기 실시예에 제한되는 것은 아니다.
[실시예 1]
티타늄(선팽창계수 : 8.4×10-6(1/K), 밀도 : 4.5g/㎤)제의 펠리클 프레임(바깥 치수 150㎜×118㎜×1.5㎜, 프레임폭 4.0㎜)을 제작했다.
펠리클 프레임 장변의 외측면에 변 중앙으로부터 코너 방향으로 52㎜ 떨어진 2개소에 직경 1㎜×깊이 1.2㎜의 지그 구멍을 형성했다. 펠리클 프레임 각 변 중앙의 상단면에는 폭 90㎜×높이 0.1㎜×깊이 4㎜의 노치부를 형성했다. 이 노치부는 외측면으로부터 내측면까지 형성되어 있다.
펠리클 프레임을 세정하고, 상기 펠리클 프레임의 상단면에는 실리콘 점착제(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 X-40-3264) 100질량부에 경화제(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 PT-56) 1질량부 추가하여 교반한 것을 노치부 이외에 폭 1㎜, 두께 0.1㎜로 되도록 도포했다. 또한, 펠리클 프레임의 하단면에는 마스크 점착제로서 아크릴 점착제(Soken Chemical & Engineering Co., Ltd.제 SKDyne 1495) 100질량부에 경화제(Soken Chemical & Engineering Co., Ltd.제 L-45)를 0.1질량부 첨가하여 교반한 것을 전체 둘레에 걸쳐 폭 1㎜, 두께 0.1㎜로 되도록 도포했다.
그 후, 펠리클 프레임을 90℃에서 12시간 가열하여 상기 펠리클 프레임의 상단면 및 하단면의 점착제를 경화시켰다. 계속해서, 펠리클막으로서 극박 규소막을 사용하고, 이 극박 규소막을 펠리클 프레임의 상단면에 형성한 점착제에 압착시켜서 펠리클을 완성시켰다.
이 펠리클을 포토마스크의 대용으로서 150㎜×150㎜의 석영 마스크에 첩부했다.
[실시예 2]
티타늄제의 펠리클 프레임(바깥 치수 150㎜×118㎜×1.5㎜, 프레임폭 4㎜)을 제작했다.
펠리클 프레임 장변의 외측면에 변 중앙으로부터 코너 방향으로 52㎜ 떨어진 2개소에 직경 1㎜×깊이 1.2㎜의 지그 구멍을 형성했다. 펠리클 프레임 장변의 상단면에는 폭 50㎜×높이 0.1㎜×깊이 4㎜의 노치부를 15㎜의 간격을 두고서 2개소에 형성했다. 펠리클 프레임 단변의 상단면에는 폭 40㎜×높이 0.1㎜×깊이 4㎜의 노치부를 15㎜의 간격을 두고서 2개소에 형성했다. 이 노치부는 외측면으로부터 내측면까지 형성되어 있다.
펠리클 프레임을 세정하고, 상기 펠리클 프레임 상단면에는 실리콘 점착제(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 X-40-3264) 100질량부에 경화제(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 PT-56) 1질량부를 첨가하여 교반한 것을 노치부 이외에 폭 1㎜, 두께 1㎜로 되도록 도포했다. 또한, 펠리클 프레임의 하단면에도 마찬가지의 실리콘 점착제를 전체 둘레에 걸쳐 폭 1㎜, 두께 1㎜로 되도록 도포했다.
그 후, 펠리클 프레임을 90℃에서 12시간 가열하여 상기 펠리클 프레임의 상단면 및 하단면의 점착제를 경화시켰다. 계속해서, 펠리클막으로서 극박 규소막을 사용하고, 상기 극박 규소막을 펠리클 프레임의 상단면에 형성한 점착제에 압착시켜서 펠리클을 완성시켰다.
이 펠리클을 포토마스크의 대용으로서 150㎜×150㎜의 석영 마스크에 첩부했다.
[비교예 1]
티타늄제의 펠리클 프레임(바깥 치수 150㎜×118㎜×1.5㎜, 프레임폭 4㎜)을 제작했다. 펠리클 프레임 각 변에는 노치부를 형성하지 않고, 그 대신에 통기부로서 각 변 20개소에 직경 0.8㎜의 관통 구멍을 형성했다. 그것 이외에는 실시예 1과 같은 구성이다.
[비교예 2]
티타늄제의 펠리클 프레임(바깥 치수 150㎜×118㎜×1.5㎜, 프레임 폭 4㎜)을 제작했다. 펠리클 프레임 각 변 중앙의 하단면에 노치부를 형성한 것 이외에는 실시예 1과 같은 구성이다.
실시예 1, 2 및 비교예 1, 2의 각 예의 펠리클에 대해서, 하기 첩부 안정성시험, 통기 시험 및 세정 후 이물 검사를 행했다. 그 평가 결과를 표 1에 나타낸다.
[첩부 안정성 시험]
석영 기판에 첩부한 펠리클을 상기 펠리클이 하측에 위치하도록 설치하고, 오븐에서 80℃로 가열하여 1주간 방치하고, 펠리클 낙하의 유무를 확인했다. 그 결과, 비교예 2만이 펠리클이 낙하하고 있었다.
[통기 시험]
석영 기판에 첩부한 펠리클을 진공 장치에 넣고, 1분으로 1E-4(1.0×10-4)Pa까지 감압했다. 그 후, 2분에 걸쳐 대기압으로 되돌리고, 펠리클막의 상태를 확인했다. 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2 모두 펠리클막에는 이상은 확인되지 않았다.
[세정 후 이물 검사]
펠리클 프레임을 세정한 후, 상기 펠리클 프레임 표면의 부착 이물을 형광등 아래 및 암실에서 집광을 이용하여 검사한 결과, 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2 모두 부착 이물은 확인되지 않았다.
비교예 1에 대해서는 육안 검사에서는 관통 구멍 내부의 이물의 유무를 확인할 수 없으므로, 펠리클 프레임을 세정한 후 현미경을 사용해서 관통 구멍 내부의 이물의 유무를 확인했다. 80개소 소정 관통 구멍 중, 2개소에 약 100㎛의 이물이 확인되었다. 또한, 현미경을 사용해서 육안 관찰을 행했기 때문에 상기 현미경의 사용에 의해 펠리클 프레임의 표면에 이물이 다수 부착해버렸다.
Figure pat00001
상기 표 1로부터, 실시예 1, 2의 펠리클에서는 상단부에 노치부를 갖는 펠리클 프레임을 사용함으로써 비교예 1, 2의 펠리클에 비교하면 이물 검사를 용이하게 행할 수 있고, 첩부 안정성이 좋으며, 충분한 통기능력이 있는 것을 알 수 있다.
1 펠리클 프레임 11 펠리클 프레임 내측면
12 펠리클 프레임 외측면 13 펠리클 프레임 상단면
14 펠리클 프레임 하단면 10 노치부
W 노치부의 폭 D 노치부의 깊이
T 노치부의 높이 20 펠리클
2 펠리클막 3 포토마스크
4 펠리클막 접착제 5 포토마스크 점착제

Claims (6)

  1. 펠리클막을 형성하는 상단면과 포토마스크에 면하는 하단면을 갖는 프레임 형상의 펠리클 프레임으로서, 상단면의 외측면으로부터 내측면을 향해서 적어도 1개의 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 노치부는 외측면으로부터 내측면까지 형성되어 있는 펠리클 프레임.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    두께가 2.5㎜ 미만이고, 티타늄으로 이루어지는 펠리클 프레임.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    두께가 2.5㎜ 미만이고, 규소 결정으로 이루어지는 펠리클 프레임.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 펠리클 프레임을 구성요소로서 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 펠리클 프레임의 상단면 중, 노치부 이외의 상단면 위에는 접착제가 형성되어 있는 펠리클.
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