KR20200070102A - 가공 장치 - Google Patents

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KR20200070102A
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사유키 오타카
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

[과제] 피가공물의 가공 진행 상황을 파악할 수 있는 가공 장치를 제공하는 것.
[해결수단] 가공 장치는, 척 테이블과, 절삭 유닛과, 피가공물이 임시 배치되는 레일과, 세정 유닛과, 표시 화면(111)과, 표시 화면(111)에 표시하는 진행 상황 표시 화면(112)을 설정하는 표시 정보 설정부를 구비한다. 진행 상황 표시 화면(112)에는, 레일과 척 테이블과 세정 유닛에 대응하여 소정의 색(301, 303, 304)이 표시되는 대응 영역(121, 123, 124)을 갖는 장치 내 맵(120)과, 피가공물의 현재 위치를 장치 내 맵(120)에 겹쳐 표시하는 피가공물 마크와, 카세트의 수용 선반을 나타내는 복수의 칸(131)이 설정된다. 칸(131)에는, 칸(131)이 나타내는 카세트의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물의 현재 위치에 대응하는, 대응 영역(121, 123, 124)의 색(301, 303, 304)이 표시된다.

Description

가공 장치{PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 가공 장치에 관한 것이다.
판형의 피가공물을 척 테이블에 유지하여, 절삭 블레이드로 절삭하거나, 연삭 지석으로 박화하거나, 레이저 광선으로 가공하거나 하는, 각종 가공 장치가 알려져 있다. 이들 가공 장치에서는, 1장의 피가공물을 각 단(段)이 지지하고, 단이 복수 형성되는, 카세트로부터 피가공물을 빼내어, 척 테이블에서 피가공물을 가공하고, 세정 테이블에서 세정하여, 다시 카세트로 되돌린다고 하는 전자동 타입의 가공 장치가 많이 이용되고 있다(예컨대 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1 등에 기재된 가공 장치는, 피가공물에 이물이 부착되거나 하는 것을 막거나, 오퍼레이터가 생각치 못한 상처를 입히거나 하는 것을 막을 목적으로, 카세트 이외의 영역이 외장 커버로 덮여 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 2016-15042호 공보
특허문헌 1 등에 기재된 가공 장치는, 카세트 이외의 영역이 외장 커버로 덮여 있기 때문에, 일견하여 피가공물이 장치 내의 어디에 위치되어 있는지를 알지 못한다. 더욱이 특허문헌 1 등에 기재된 가공 장치는, 카세트에 수용한 피가공물들 중 어디까지 가공이 진행된 것인지 숫자로는 표시되고 있지만, 한 눈에 이해하기는 어려우며, 떨어진 장소에서 표시 장치의 화면을 보고서 진행 상황을 이해한다고 하는 것은 어렵다.
본 발명은 이러한 문제점에 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 피가공물의 가공 진행 상황을 파악할 수 있는 가공 장치를 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하여, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 가공 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 이 척 테이블에 유지되는 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 상기 피가공물을 수용하는 단(段)을 복수 구비하는 카세트가 배치되는 카세트 배치 영역과, 상기 피가공물을 세정하는 세정 영역과, 상기 카세트와 상기 척 테이블과 상기 세정 영역의 사이에서 피가공물을 반송하는 반송 유닛과, 상기 피가공물의 가공 진행 상황이 표시되는 표시 화면과, 이 표시 화면에 표시하는 정보를 설정하는 표시 정보 설정부를 구비하는 가공 장치로서, 상기 표시 정보 설정부에는, 상기 척 테이블과 상기 세정 영역을 가지며, 각 영역은 소정의 색 또는 소정의 식별 마크가 표시되는 것인, 장치 내 맵과, 상기 카세트로부터 반출되는 피가공물의 현재 위치를 상기 장치 내 맵에 겹쳐 표시하는 피가공물 마크와, 상기 카세트의 상기 단을 나타내는 복수의 칸이, 표시 정보로서 설정되고, 상기 칸에는, 상기 칸이 나타내는 상기 카세트의 상기 단에 수용되어 있던 상기 피가공물의 현재 위치에 대응하는, 상기 영역의 상기 색 또는 소정의 식별 마크가 표시되고 있는 것을 특징으로 한다.
상기 가공 장치에 있어서, 상기 장치 내 맵은, 상기 피가공물을 반송하는 반송 유닛을 포함하여도 좋다.
상기 가공 장치에 있어서, 상기 카세트로부터 반출된 후에 다시 상기 카세트로 복귀된 피가공물이 수용된 단을 나타내는 상기 칸에는, 반입 완료를 나타내는 색 또는 식별 마크가 표시되어도 좋다.
상기 가공 장치는, 상기 카세트 배치 영역에 배치되는 상기 카세트로부터 반출한 피가공물이 임시 배치되는 임시 배치 영역을 더 구비하고, 상기 반송 유닛은 상기 카세트와 상기 임시 배치 영역과 상기 척 테이블과 상기 세정 영역의 사이에서 피가공물을 반송하며, 상기 장치 내 맵은 상기 임시 배치 영역을 포함하여도 좋다.
본 발명은 피가공물의 가공 진행 상황을 파악할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.
도 1은 실시형태 1에 따른 가공 장치의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트를 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 피가공물 마크의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 피가공물 마크의 다른 예를 도시하는 도면이다.
도 6은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송될 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 8은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 9는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 척 테이블에 유지되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송될 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 10은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제2 반송 유닛에 반송되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 척 테이블에 유지되며, 카세트의 아래에서부터 3번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 11은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 스피너 테이블에 유지되고, 카세트의 아래에서부터 3번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송될 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 12는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제2 반송 유닛에 반송되며, 카세트의 아래에서부터 3번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 척 테이블에 유지되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 13은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 스피너 테이블에 유지되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 14는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 카세트 내에 반입되고, 아래에서부터 4번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 15는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 위의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 절삭 가공 후에 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 16은 실시형태 1의 변형예 1에 따른 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 17은 실시형태 1의 변형예 2에 따른 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
본 발명을 실시하기 위한 형태(실시형태)에 관해서 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 더욱이, 이하에 기재한 구성은 적절하게 조합할 수 있다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 다양한 생략, 치환 또는 변경을 할 수 있다.
〔실시형태 1〕
본 발명의 실시형태 1에 따른 가공 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 실시형태 1에 따른 가공 장치의 구성예를 도시하는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트를 도시하는 사시도이다. 도 3은 도 1에 도시된 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 4는 도 1에 도시된 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 피가공물 마크의 일례를 도시하는 도면이다. 도 5는 도 1에 도시된 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 피가공물 마크의 다른 예를 도시하는 도면이다.
실시형태 1에 따른 가공 장치(1)는, 도 1에 나타내는 피가공물(200)을 절삭(가공에 상당한다)하는 가공 장치(1)이다. 실시형태 1에서는, 피가공물(200)은 실리콘, 사파이어, 갈륨 등을 모재로 하는 원판형의 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼 등의 웨이퍼이다. 피가공물(200)은, 표면(201)에 격자형으로 형성된 복수의 분할 예정 라인(202)에 의해서 격자형으로 구획된 영역에 디바이스(203)가 형성되어 있다.
또한, 본 발명의 피가공물(200)은 중앙부가 박화되고, 외주부에 후육부가 형성된 소위 TAIKO(등록상표) 웨이퍼라도 좋고, 웨이퍼 외에, 수지에 의해 밀봉된 디바이스를 복수 가진 직사각형의 패키지 기판, 세라믹스 기판, 페라이트 기판, 또는 니켈 및 철 중의 적어도 한쪽을 포함하는 기판 등이라도 좋다. 실시형태 1에 있어서 피가공물(200)은, 이면(204)이 외주연부에 환상 프레임(205)이 장착된 점착 테이프(206)에 접착되어, 환상 프레임(205)에 지지되어 있다.
도 1에 도시된 가공 장치(1)는, 피가공물(200)을 척 테이블(10)로 유지하여 분할 예정 라인(202)을 따라 절삭 블레이드(21)로 절삭하는 장치이다. 가공 장치(1)는, 도 1에 도시하는 것과 같이, 피가공물(200)을 유지면(11)에서 흡인 유지하는 척 테이블(10)과, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 절삭 블레이드(21)로 절삭하는 가공 유닛인 절삭 유닛(20)과, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 촬영하는 촬상 유닛(30)과, 제어 유닛(100)을 구비한다.
또한 가공 장치(1)는, 도 1에 도시하는 것과 같이, 척 테이블(10)을 수평 방향과 평행한 X축 방향으로 가공 이송하는 도시하지 않는 X축 이동 유닛과, 절삭 유닛(20)을 수평 방향과 평행하면서 또한 X축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 인덱싱 이송하는 도시하지 않는 Y축 이동 유닛과, 절삭 유닛(20)을 X축 방향과 Y축 방향 양쪽에 직교하는 연직 방향에 평행한 Z축 방향으로 절입 이송하는 Z축 이동 유닛(40)을 적어도 구비한다. 가공 장치(1)는, 도 1에 도시하는 것과 같이, 절삭 유닛(20)을 2개 구비한, 즉 2 스핀들의 다이서, 소위 페이싱 듀얼 타입의 가공 장치(1)이다.
척 테이블(10)은 원반 형상이며, 피가공물(200)을 유지하는 유지면(11)이 포러스 세라믹 등으로 형성된다. 또한 척 테이블(10)은, X축 이동 유닛에 의해 절삭 유닛(20) 아래쪽의 가공 영역과, 절삭 유닛(20) 아래쪽에서 이격하여 피가공물(200)이 반입출되는 반입출 영역에 걸쳐, X축 방향으로 이동이 자유롭도록 마련되며, 또한 회전 구동원에 의해 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전이 자유롭도록 마련된다. 척 테이블(10)은, 도시하지 않는 진공 흡인원과 접속되어, 진공 흡인원에 의해 흡인됨으로써, 유지면(11)에 배치되는 피가공물(200)을 흡인, 유지한다. 실시형태 1에서는, 척 테이블(10)은, 점착 테이프(206)를 통해 피가공물(200)의 이면(204) 측을 흡인, 유지한다. 또한 척 테이블(10)의 주위에는, 도 1에 도시하는 것과 같이, 환상 프레임(205)을 클램핑하는 클램프부(12)가 복수 마련된다.
절삭 유닛(20)은, 척 테이블(10)에 유지되는 피가공물(200)을 절삭하는 절삭 블레이드(21)를 착탈이 자유롭게 장착한 절삭 수단이다. 절삭 유닛(20)은, 각각 척 테이블(10)에 유지되는 피가공물(200)에 대하여, Y축 이동 유닛에 의해 Y축 방향으로 이동이 자유롭도록 마련되며, 또한 Z축 이동 유닛(40)에 의해 Z축 방향으로 이동이 자유롭도록 마련된다.
한쪽의 절삭 유닛(20)은, 도 1에 도시하는 것과 같이, Y축 이동 유닛, Z축 이동 유닛(40) 등을 통해, 장치 본체(2)로부터 세워 설치한 문형(門型)의 지지 프레임(3)의 한쪽의 기둥부(4)에 마련된다. 다른 쪽의 절삭 유닛(20)은, 도 1에 도시하는 것과 같이, Y축 이동 유닛, Z축 이동 유닛(40) 등을 통해, 지지 프레임(3)의 다른 쪽의 기둥부(5)에 마련된다. 또한, 지지 프레임(3)은 기둥부(4, 5)의 상단끼리를 수평 대들보(6)에 의해 연결한다.
절삭 유닛(20)은, Y축 이동 유닛 및 Z축 이동 유닛(40)에 의해, 척 테이블(10)의 유지면(11)의 임의의 위치에 절삭 블레이드(21)를 위치시킬 수 있게 되어 있다. 절삭 유닛(20)은, Y축 이동 유닛 및 Z축 이동 유닛(40)에 의해 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동이 자유롭도록 마련되는 스핀들 하우징(22)과, 스핀들 하우징(22)에 축심 둘레로 회전이 자유롭도록 설치되며, 또한 모터에 의해 회전됨과 더불어 선단에 절삭 블레이드(21)가 장착되는 도시하지 않는 스핀들을 구비한다.
촬상 유닛(30)은, 절삭 유닛(20)과 일체적으로 이동하도록 절삭 유닛(20)에 고정된다. 촬상 유닛(30)은, 척 테이블(10)에 유지되는 절삭 전의 피가공물(200)의 분할해야 하는 영역을 촬영하는 촬상 소자를 구비한다. 촬상 소자는 예컨대 CCD(Charge-Coupled Device) 촬상 소자 또는 CMOS(Complementary MOS) 촬상 소자이다. 촬상 유닛(30)은, 척 테이블(10)에 유지되는 피가공물(200)을 촬영하여, 피가공물(200)과 절삭 블레이드(21)의 위치맞춤을 행하는 얼라인먼트를 수행하기 위한 화상을 얻고, 얻은 화상을 제어 유닛(100)에 출력한다.
X축 이동 유닛은, 척 테이블(10)을 가공 이송 방향인 X축 방향으로 이동시킴 으로써, 척 테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 X축 방향을 따라 가공 이송하는 것이다. Y축 이동 유닛은, 절삭 유닛(20)을 인덱싱 이송 방향인 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 척 테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 Y축 방향을 따라 인덱싱 이송하는 것이다. Z축 이동 유닛(40)은, 절삭 유닛(20)을 절입 이송 방향인 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 척 테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 Z축 방향을 따라 절입 이송하는 것이다.
X축 이동 유닛, Y축 이동 유닛 및 Z축 이동 유닛(40)은, 축심 둘레로 회전이 자유롭도록 마련되는 주지된 볼나사, 볼나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지된 모터, 및 척 테이블(10) 또는 절삭 유닛(20)을 X축 방향, Y축 방향 또는 Z축 방향으로 이동이 자유롭도록 지지하는 주지된 가이드 레일을 구비한다.
또한, 가공 장치(1)는, 척 테이블(10)의 X축 방향의 위치를 검출하기 위한 도시하지 않는 X축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛(20)의 Y축 방향의 위치를 검출하기 위한 도시하지 않는 Y축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛(20)의 Z축 방향의 위치를 검출하기 위한 Z축 방향 위치 검출 유닛을 구비한다. X축 방향 위치 검출 유닛 및 Y축 방향 위치 검출 유닛은, X축 방향 또는 Y축 방향과 평행한 리니어 스케일과, 판독 헤드에 의해 구성할 수 있다. Z축 방향 위치 검출 유닛은, 모터의 펄스로 절삭 유닛(20)의 Z축 방향의 위치를 검출한다. X축 방향 위치 검출 유닛, Y축 방향 위치 검출 유닛 및 Z축 방향 위치 검출 유닛은, 척 테이블(10)의 X축 방향, 절삭 유닛(20)의 Y축 방향 또는 Z축 방향의 위치를 제어 유닛(100)에 출력한다. 또한 실시형태 1에서는, 가공 장치(1)의 각 구성 요소의 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 위치는, 미리 정해진 도시하지 않는 기준 위치를 기준으로 한 위치로 정해진다.
또한 가공 장치(1)는, 절삭 전후의 피가공물(200)을 수용하는 카세트(60)가 상면에 배치되며 또한 카세트(60)를 Z축 방향으로 승강 이동시키는 카세트 배치 영역인 카세트 엘리베이터(50)와, 절삭 후의 피가공물(200)을 세정하는 세정 영역인 세정 유닛(70)과, 카세트(60)에 피가공물(200)을 출납하는 임시 배치 유닛(80)과, 피가공물(200)을 반송하는 반송 유닛(90)을 구비한다.
카세트(60)는, 도 2에 도시하는 것과 같이, 카세트 엘리베이터(50) 상에 배치되는 바닥판(61)과, 바닥판(61)과 Z축 방향으로 간격을 두고서 대향하는 상부판(62)과, 바닥판(61)과 상부판(62)의 X축 방향의 단부끼리를 연결하는 한 쌍의 측판(63)을 구비한다. 한 쌍의 측판(63)은, X축 방향으로 간격을 두고서 대향한다. 한 쌍의 측판(63)은, 각각 상호 접근하는 방향으로 돌출하는 단(段)인, 수용 선반(64)을 구비한다. 카세트(60)는, 수용 선반(64)을 각 측판(63)에 Z축 방향으로 등간격으로 복수 구비하며, 실시형태 1에서는 각 측판(63)에 10개 구비한다. 한 쌍의 측판(63)에 설치되며 또한 상호 X축 방향으로 대향하는 수용 선반(64)은, 상면이 동일 평면 상에 배치된다. 각 수용 선반(64)은, 상면에 피가공물(200)이 배치되어, 피가공물(200)을 카세트(60) 내에 수용한다. 실시형태 1에서는, 각 수용 선반(64)은, 상면에 환상 프레임(205)이 배치된다.
또한, 본 명세서는, 각 수용 선반(64)끼리를 구별할 때는, 아래에 있는 것부터 순차로, 부호 64에 -1, -2, -3 ··· -10으로 1부터 순차로 큰 자연수를 붙여 설명하고, 수용 선반(64)끼리를 구별하지 않는 경우에는 단순히 부호 64를 붙여 설명한다. 또한 본 명세서는, 각 수용 선반(64)에 수용되는 피가공물(200)끼리를 구별할 때는, 아래의 수용 선반(64)에 수용되는 피가공물(200)부터 순차로 부호 200에 -1, -2, -3 ··· -10으로 1부터 순차로 큰 자연수를 붙여 설명하고, 수용 선반(64)에 수용되는 피가공물(200)끼리를 구별하지 않는 경우에는 단순히 부호 200을 붙여 설명한다.
카세트 엘리베이터(50)는, 실시형태 1에서는 상면에 카세트(60)가 배치되고, 도시하지 않는 모터에 의해 카세트(60)를 Z축 방향으로 승강시킨다.
세정 유닛(70)은 원반 형상이며, 피가공물(200)을 유지하는 유지면(71)이 포러스 세라믹 등으로 형성되는 스피너 테이블(72)과, 스피너 테이블(72)의 유지면(71)에 유지되는 피가공물(200)에 순수 등의 세정액을 공급하는 도시하지 않는 세정액 공급 노즐을 구비한다.
스피너 테이블(72)은, 도시하지 않는 진공 흡인원과 접속되어, 진공 흡인원에 의해 흡인됨으로써, 유지면(71)에 배치되는 피가공물(200)을 흡인, 유지한다. 또한 스피너 테이블(72)은, 도시하지 않는 모터 등에 의해 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전이 자유롭도록 마련된다. 세정 유닛(70)은, 실시형태 1에서는, 점착 테이프(206)를 통해 피가공물(200)의 이면(204) 측을 흡인 유지한 스피너 테이블(72)이 축심 둘레로 회전되면서 세정액 공급 노즐로부터 피가공물(200)에 세정액을 공급하여, 유지면(71)에 유지한 피가공물(200)을 세정한다.
임시 배치 유닛(80)은, 카세트 엘리베이터(50)에 배치되는 카세트(60)로부터 절삭 전의 피가공물(200)을 1장 반출함과 더불어, 절삭 후의 피가공물(200)을 카세트(60) 내에 반입하는 것이다. 임시 배치 유닛(80)은, 절삭 전의 피가공물(200)을 카세트(60)로부터 반출함과 더불어 절삭 후의 피가공물(200)을 카세트(60) 내에 반입하는 반출입 유닛(83)과, 카세트 엘리베이터(50)에 배치되는 카세트(60)로부터 반출한 절삭 전의 피가공물(200)이 일시적으로 임시 배치됨과 더불어 절삭 후의 피가공물(200)이 일시적으로 임시 배치되는 영역인 한 쌍의 레일(81)을 포함하여 구성된다. 또한 임시 배치 유닛(80)은, 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200)을 검출하는 검출 센서(82)를 구비한다. 검출 센서(82)는 검출 결과를 제어 유닛(100)에 출력한다.
반송 유닛(90)은, 카세트(60)와 임시 배치 유닛(80)의 레일(81)과 척 테이블(10)과 세정 유닛(70)의 스피너 테이블(72)의 사이에서, 피가공물(200)을 반송하는 것이다. 반송 유닛(90)은, 제1 반송 유닛(91)과 제2 반송 유닛(92)을 구비한다. 제1 반송 유닛(91)은, 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상에 임시 배치된 절삭 전의 피가공물(200)을 척 테이블(10)에 반송하고, 세정 유닛(70)의 스피너 테이블(72) 상의 세정 후의 피가공물(200)을 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상으로 반송하는 것이다. 제2 반송 유닛(92)은, 척 테이블(10) 상의 절삭 후의 피가공물(200)을 세정 유닛(70)의 스피너 테이블(72)에 반송하는 것이다.
본 명세서는, 제1 반송 유닛(91)과 제2 반송 유닛(92)은 구성이 같은 부분이 있기 때문에, 이하, 제1 반송 유닛(91)을 대표로서 설명하고, 제2 반송 유닛(92)의 제1 반송 유닛(91)의 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다. 제1 반송 유닛(91)은, 장치 본체(2)로부터 세워 설치하며 또한 지지 프레임(3)보다도 반입출 영역 부근에 배치되는 제2 지지 프레임(7)에 Y축 방향으로 이동이 자유롭도록 마련되며, Z축 방향으로 승강이 자유롭도록 마련되는 유닛 본체(94)와, 유닛 본체(94)에 부착되고 또한 도시하지 않는 진공 흡인원에 접속되며 또한 피가공물(200)을 지지하는 환상 프레임(205)을 흡인 유지하는 흡인 부재(93)를 구비한다. 제1 반송 유닛(91)은, 흡인 부재(93)에 환상 프레임(205)을 흡인 유지하고, 유닛 본체(94)를 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시켜 피가공물(200)을 반송한다.
제어 유닛(100)은, 가공 장치(1)의 상술한 각 유닛을 각각 제어하여, 피가공물(200)에 대한 가공 동작을 가공 장치(1)에 실시하게 하는 것이기도 하다. 구체적으로는, 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)에게 절삭 가공 전의 피가공물(200)을 반출하게 하여 레일(81) 상에 임시 배치시키고, 제1 반송 유닛(91)에게 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200)을 척 테이블(10)에 반송하게 한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 피가공물(200)을 흡인 유지하여 클램프부(12)에게 환상 프레임(205)을 클램핑하게 한 후, X축 이동 유닛으로 척 테이블(10)을 이동시켜, 촬상 유닛(30)에게 척 테이블(10) 상의 피가공물(200)을 촬상하게 한다. 제어 유닛(100)은, 피가공물(200)과 절삭 블레이드(21)의 위치맞춤을 행하는 얼라인먼트를 수행하여, 척 테이블(10)과 절삭 유닛(20)의 절삭 블레이드(21)를 분할 예정 라인(202)을 따라 상대적으로 이동시키면서 분할 예정 라인(202)에 절삭 블레이드(21)를 절입하게 한다.
제어 유닛(100)은, 절삭 블레이드(21)가 모든 분할 예정 라인(202)에 절입된 후, 척 테이블(10)의 흡인 유지 및 클램프부(12)의 클램핑을 해제하여, 제2 반송 유닛(92)에게 척 테이블(10) 상의 피가공물(200)을 스피너 테이블(72) 상으로 반송하게 한다. 제어 유닛(100)은, 스피너 테이블(72)에 피가공물(200)을 흡인 유지하게 하고, 세정 유닛(70)에게 피가공물(200)을 세정하게 한 후, 스피너 테이블(72)의 흡인 유지를 해제하여, 제1 반송 유닛(91)에게 스피너 테이블(72) 상의 피가공물(200)을 레일(81) 상으로 반송하게 한다. 제어 유닛(100)은, 카세트 엘리베이터(50)에게 레일(81) 상의 피가공물(200)을 지지하는 환상 프레임(205)의 하면과 반출 전과 동일한 수용 선반(64)의 상면을 동일 평면 상에 위치시키게 한 후, 임시 배치 유닛(80)에게 레일(81) 상의 피가공물(200)을 카세트(60) 내에 반입하게 한다.
또한 제어 유닛(100)은, CPU(central processing unit)와 같은 마이크로프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM(read only memory) 또는 RAM(random access memory)와 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛(100)의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라서 연산 처리를 실시하여, 가공 장치(1)를 제어하기 위한 제어 신호를 입출력 인터페이스 장치를 통해 가공 장치(1)의 상술한 각 유닛에 출력한다.
제어 유닛(100)은, 검출 센서(82)의 검출 결과에 기초하여, 레일(81) 상에 피가공물(200)이 임시 배치되어 있는지 여부를 판정한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 척 테이블(10)이 유지면(11)에 피가공물(200)을 흡인 유지하고 있는지 여부를 판정한다. 제어 유닛(100)은, 스피너 테이블(72)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 스피너 테이블(72)이 유지면(71)에 피가공물(200)을 흡인 유지하고 있는지 여부를 판정한다. 제어 유닛(100)은, 각 반송 유닛(91, 92)의 흡인 부재(93)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 각 반송 유닛(91, 92)이 흡인 부재(93)에 피가공물(200)을 흡인 유지하고 있는지 여부를 판정한다.
가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)에 접속되며 또한 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 표시 화면(111)을 갖는 표시 유닛(110)(도 1에 도시한다)과, 제어 유닛(100)에 접속되며 또한 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 이용하는 입력 유닛을 구비한다. 표시 유닛(110)은 액정 표시 장치 등에 의해 구성된다. 입력 유닛은, 표시 유닛(110)의 표시 화면(111)에 마련되는 터치패널 또는 키보드 등의 외부 입력 장치 등에 의해 구성된다.
표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)에 의해 제어됨으로써, 가공 장치(1)의 가공 동작 중에 도 3에 도시하는 표시 정보인 진행 상황 표시 화면(112)이, 표시 화면(111)에 표시된다. 진행 상황 표시 화면(112)은, 가공 장치(1)의 피가공물(200)의 절삭 가공의 진행 상황을 보여주는 것이다.
진행 상황 표시 화면(112)은, 도 3에 도시하는 것과 같이, 가공 장치(1)의 절삭 가공의 시작 및 정지를 입력하기 위한 스타트 스톱 입력 영역(113)과, 촬상 유닛(30)이 촬상하여 화상을 표시하는 촬상 화상 표시 영역(114)과, 장치 내 맵(120)과, 카세트 내 맵(130)을 구비한다.
장치 내 맵(120)은, 임시 배치 유닛의 레일(81)에 대응하는 임시 배치 대응 영역(121)과, 제1 반송 유닛(91)에 대응하는 제1 반송 유닛 대응 영역(122)과, 척 테이블(10)에 대응하는 척 테이블 대응 영역(123)과, 세정 유닛(70)의 스피너 테이블(72)에 대응하는 세정 대응 영역(124)과, 제2 반송 유닛(92)에 대응하는 제2 반송 유닛 대응 영역(125)을 갖는다. 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에는, 소정의 색 또는 소정의 식별 마크가 표시된다. 실시형태 1에서는, 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에는, 서로 다른 색(301, 302, 303, 304, 305)이 표시된다. 또한 실시형태 1에서는, 장치 내 맵(120)은, 가공 장치(1)의 각 유닛의 어디에도 대응하지 않은 블랭크 영역(126)을 갖는다. 블랭크 영역(126)은, 가공 장치(1)의 다른 유닛 또는 가공 장치(1)에 추가되는 유닛에 대응하기 위해서 이용되어도 좋다.
카세트 내 맵(130)은, 수용 선반(64)과 대응하는 복수의 칸(131)을 구비한다. 실시형태 1에서는, 칸(131)은 수용 선반(64)과 1대1로 대응하고, 표시 화면(111)의 상하 방향으로 10개 나란하게 되어, 아래에서 위로 향해 순차로 카세트(60)의 복수의 수용 선반(64) 중 하측의 수용 선반(64)에서부터 상측의 수용 선반(64)에 대응한다. 또한 본 명세서는, 칸(131)끼리를 구별할 때는, 아래에 있는 것부터 순차로 부호 131에 -1, -2, -3 ··· -10으로 1부터 순차로 큰 자연수를 붙여 설명하고, 칸(131)끼리를 구별하지 않는 경우에는 단순히 부호 131을 붙여 설명한다.
또한, 제어 유닛(100)은, 도 1 등에 도시하는 것과 같이, 표시 화면(111)에 표시하는 정보를 설정하는 표시 정보 설정부(101)를 구비한다. 표시 정보 설정부(101)에는, 상술한 장치 내 맵(120) 및 카세트 내 맵(130)을 표시 화면(111)에 표시하기 위해서, 장치 내 맵(120) 및 카세트 내 맵(130)이 표시 정보로서 설정된다. 즉, 표시 정보 설정부(101)는, 장치 내 맵(120) 및 카세트 내 맵(130)을 나타내는 정보와, 장치 내 맵(120) 및 카세트 내 맵(130)을 표시 화면(111)에 표시하게 하기 위한 프로그램 등을 기억한다.
또한, 표시 정보 설정부(101)는, 카세트(60)로부터 반출되는 피가공물(200)의 현재 위치를 나타내기 위해서, 표시 화면(111)의 장치 내 맵(120)에 겹쳐 표시하는 도 4 및 도 5에 나타내는 피가공물 마크(140, 141)가 표시 정보로서 설정된다. 실시형태 1에서는, 도 4 및 도 5에 나타내는 피가공물 마크(140, 141)는, 피가공물(200) 및 환상 프레임(205)의 평면 형상을 모식적으로 나타내고 있다. 또한 본 명세서는, 피가공물 마크(140, 141)가 나타내는 피가공물(200)이 절삭 가공 전에 수용되어 있던 수용 선반(64)끼리를 구별할 때는, 부호 140, 141에 아래의 수용 선반(64)에 수용되어 있던 피가공물(200)을 나타내는 것부터 순차로 -1, -2, -3 ··· -10으로 1부터 순차로 큰 자연수를 붙여 설명하고, 피가공물 마크(140, 141)가 나타내는 피가공물(200)이 절삭 가공 전에 수용되어 있던 수용 선반(64)끼리를 구별하지 않는 경우에는 단순히 부호 140, 141을 붙여 설명한다.
표시 정보 설정부(101)는, 피가공물 마크(140, 141)를 피가공물(200)의 가공 장치(1) 내의 현재 위치에 대응하는 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에 겹쳐 표시한다. 실시형태 1에서는, 도 4에 나타내는 피가공물 마크(140)는, 카세트(60)로부터 반출되어 척 테이블(10)에 유지되기 전에 이용되고, 도 5에 나타내는 피가공물 마크(141)는, 척 테이블(10)에 유지된 후부터 카세트(60)에 반입될 때까지 이용된다. 즉, 표시 정보 설정부(101)는, 피가공물 마크(140, 141)를 나타내는 정보와, 피가공물 마크(140, 141)를 표시 화면(111)의 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에 겹쳐 표시하게 하기 위한 프로그램 등을 기억한다.
또한, 표시 정보 설정부(101)는, 칸 표시 프로그램(150)을 기억하여, 가공 장치(1)의 절삭 가공 중에 칸 표시 프로그램(150)을 실행한다. 칸 표시 프로그램(150)은, 칸(131)에는, 칸(131)이 나타내는 카세트(60)의 수용 선반(64)에 수용되어 있던 피가공물(200)의 현재 위치에 대응하는 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)의 색(301, 302, 303, 304, 305) 또는 소정의 식별 마크를 표시하기 위한 프로그램이다. 실시형태 1에서는, 칸 표시 프로그램(150)은, 각 칸(131)이 대응하는 수용 선반(64)에 절삭 가공 전에 수용되어 있던 피가공물(200)의 가공 장치(1) 내의 현재 위치에 대응하는 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)과 대응한 색(실시형태 1에서는 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)과 동일한 색(301, 302, 303, 304, 305))을 각 칸(131)에 표시한다.
또한, 칸 표시 프로그램(150)은, 카세트(60)로부터 반출된 후에 다시 카세트(60)로 복귀된 피가공물(200)이 수용된 수용 선반(64)을 나타내는 칸(131)에는, 반입 완료를 나타내는 색(306) 또는 식별 마크를 표시하기 위한 프로그램이다. 칸 표시 프로그램(150)은, 카세트(60)로부터 반출된 후에 다시 카세트(60)로 복귀된 피가공물(200)이 수용된 수용 선반(64)에 대응한 칸(131)에 반입 완료를 나타내는 색(306)(예컨대 그레이이며, 도 3 중에 빽빽한 평행사선으로 나타낸다)을 표시한다.
표시 정보 설정부(101)의 기능은, 제어 유닛(100)의 기억 장치가, 장치 내 맵(120)을 나타내는 정보, 카세트 내 맵(130)을 나타내는 정보, 피가공물 마크(140, 141)를 나타내는 정보, 칸 표시 프로그램(150)을 기억하고, 연산 처리 장치가, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라서 연산 처리를 실시함으로써 실현된다.
또한, 가공 장치(1)는, 장치 본체(2) 상의 카세트(60) 이외의 것이 도시하지 않는 외장 커버로 덮여 있음과 더불어, 표시 유닛(110)이 외장 커버에 부착된다.
이어서, 본 명세서는, 상술한 구성의 가공 장치(1)의 가공 동작을 설명한다. 도 6은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 7은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송될 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 8은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 9는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 척 테이블에 유지되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송될 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 10은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제2 반송 유닛에 반송되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 척 테이블에 유지되며, 카세트의 아래에서부터 3번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 11은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 스피너 테이블에 유지되고, 카세트의 아래에서부터 3번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송될 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 12는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제1 반송 유닛에 반송되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 제2 반송 유닛에 반송되며, 카세트의 아래에서부터 3번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 척 테이블에 유지되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 13은 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되고, 아래에서부터 2번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 스피너 테이블에 유지되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 14는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 아래의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 카세트 내에 반입되고, 아래에서부터 4번째의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 15는 도 1에 도시된 가공 장치의 카세트의 가장 위의 수용 선반에 수용되어 있던 피가공물이 절삭 가공 후에 레일 위에 임시 배치되었을 때의 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.
우선, 가공 동작에서는, 오퍼레이터가 가공 내용 정보를 제어 유닛(100)에 등록하여, 절삭 가공 전의 피가공물(200)을 카세트(60)에 수용하고, 카세트(60)를 카세트 엘리베이터(50)의 상면에 설치한다. 그 후, 가공 장치(1)는, 오퍼레이터로부터의 가공 동작의 시작 지시를 접수하면, 가공 동작을 시작한다. 실시형태 1에서는, 가공 장치(1)의 제어 유닛(100)은, 표시 유닛(110)의 표시 화면(111)에 진행 상황 표시 화면(112)을 표시하여, 스타트 스탑 입력 영역(113)에 대한 오퍼레이터의 조작을 접수하면, 가공 장치(1)의 가공 동작을 시작한다. 실시형태 1에서는, 가공 동작에서는, 가공 장치(1)는, 카세트(60)의 복수의 수용 선반(64)에 수용된 피가공물(200) 중 하측의 수용 선반(64)에 수용된 피가공물(200)에서부터 상측의 수용 선반(64)에 수용된 피가공물(200)로 순차로 절삭 가공을 실시하지만, 본 발명에서는, 가공 장치(1)가 카세트(60) 내의 피가공물(200)을 절삭 가공하는 순서는 실시형태 1에 나타내는 순서에 한정되지 않는다.
가공 장치(1)는, 가공 동작을 시작하면, 카세트 엘리베이터(50)에게 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용된 피가공물(200-1)을 지지한 환상 프레임(205)의 하면이 레일(81)의 상면과 동일 평면 상이 되는 위치에 카세트(60)를 위치시키게 한다. 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 반출입 유닛(83)에게 카세트(60)에서부터 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용된 피가공물(200-1)을 반출하게 하여, 반출한 피가공물(200-1)을 레일(81) 상에 임시 배치하게 한다. 제어 유닛(100)은, 검출 센서(82)가 레일(81) 위에 임시 배치된 피가공물(200-1)을 검출하면, 도 6에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 임시 배치 대응 영역(121)에 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용되어 있던 피가공물(200-1)을 나타내는 피가공물 마크(140-1)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 임시 배치 대응 영역(121)과 동일한 색(301)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-1)을 지지하는 환상 프레임(205)을 제1 반송 유닛(91)에게 흡인 유지하게 하고, X축 이동 유닛 등에게 제1 반송 유닛(91)과 척 테이블(10)을 상대적으로 이동하게 하여, 제1 반송 유닛(91)을 척 테이블(10)의 상측으로 향하여 이동시킨다. 제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)의 흡인 부재(93)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 제1 반송 유닛(91)이 환상 프레임(205)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 7에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 제1 반송 유닛 대응 영역(122)에 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용되어 있던 피가공물(200-1)을 나타내는 피가공물 마크(401-1)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 제1 반송 유닛 대응 영역(122)과 동일한 색(302)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 카세트 엘리베이터(50)에게 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 수용된 피가공물(200-2)을 지지한 환상 프레임(205)의 하면이 레일(81)의 상면과 동일 평면이 되는 위치에 카세트(60)를 위치시키게 한다. 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 반출입 유닛(83)에게 카세트(60)로부터 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 수용된 피가공물(200-2)을 반출하게 하고, 반출한 피가공물(200-2)을 레일(81) 상에 임시 배치시킨다. 제어 유닛(100)은, 검출 센서(82)가 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-2)을 검출하면, 도 8에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 임시 배치 대응 영역(121)에 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 수용되어 있던 피가공물(200-2)을 나타내는 피가공물 마크(140-2)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 대응하는 칸(131-2)에 임시 배치 대응 영역(121)과 동일한 색(301)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)에게 피가공물(200-1)을 척 테이블(10)의 유지면(11)에 배치하게 하고, 척 테이블(10)에 피가공물(200-1)을 흡인 유지하게 함과 더불어, 클램프부(12)에게 환상 프레임(205)을 클램핑하게 한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 척 테이블(10)이 피가공물(200-1)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 9에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 척 테이블 대응 영역(123)에 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용되어 있던 피가공물(200-1)을 나타내는 피가공물 마크(141-1)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 척 테이블 대응 영역(123)과 동일한 색(303)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, X축 이동 유닛에게 척 테이블(10)을 가공 영역으로 향하여 이동하게 하고, 촬상 유닛(30)에게 피가공물(200-1)을 촬영하게 하여, 촬상 유닛(30)이 촬영하여 얻은 화상에 기초하여, 얼라인먼트를 수행한다. 이때, 제어 유닛(100)은, 진행 상황 표시 화면(112)의 촬상 화상 표시 영역(114)에 촬상 유닛(30)이 촬상하여 얻은 화상을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 분할 예정 라인(202)을 따라 피가공물(200-1)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 이동시키면서, 절삭 블레이드(21)를 각 분할 예정 라인(202)에 절입시켜 피가공물(200-1)을 개개의 디바이스(203)로 분할한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 흡인 유지한 피가공물(200-1)의 모든 분할 예정 라인(202)에 절삭 블레이드(21)를 절입시키면, 척 테이블(10)의 흡인 유지 및 클램프부(12)의 클램핑을 해제한다.
또한 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-2)을 지지하는 환상 프레임(205)을 제1 반송 유닛(91)에게 흡인 유지하게 하고, X축 이동 유닛 등에게 제1 반송 유닛(91)과 척 테이블(10)을 상대적으로 이동하게 하여, 제1 반송 유닛(91)을 척 테이블(10)의 상측으로 향하여 이동시킨다. 제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)의 흡인 부재(93)에 접속한 진공 흡인원의 부압등에 기초하여, 제1 반송 유닛(91)이 환상 프레임(205)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 9에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 제1 반송 유닛 대응 영역(122)에 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 수용되어 있던 피가공물(200-2)을 나타내는 피가공물 마크(140-2)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 대응하는 칸(131-2)에 제1 반송 유닛 대응 영역(122)과 동일한 색(302)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)의 유지면(11)에 배치된 피가공물(200-1)을 지지하는 환상 프레임(205)을 제2 반송 유닛(92)에게 흡인 유지하게 하고, 제2 반송 유닛(92)을 스피너 테이블(72)의 상측으로 향하여 이동시킨다. 제어 유닛(100)은, 제2 반송 유닛(92)의 흡인 부재(93)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 제2 반송 유닛(92)이 환상 프레임(205)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 10에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 제2 반송 유닛 대응 영역(125)에 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용되어 있던 피가공물(200-1)을 나타내는 피가공물 마크(141-1)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 제2 반송 유닛 대응 영역(125)과 동일한 색(305)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)에게 피가공물(200-2)을 척 테이블(10)의 유지면(11)에 배치하게 하고, 척 테이블(10)에 피가공물(200-2)을 흡인 유지하게 함과 더불어, 클램프부(12)에게 환상 프레임(205)을 클램핑하게 한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 척 테이블(10)이 피가공물(200-2)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 10에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 척 테이블 대응 영역(123)에 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 수용되어 있던 피가공물(200-2)을 나타내는 피가공물 마크(141-2)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 대응하는 칸(131-2)에 척 테이블 대응 영역(123)과 동일한 색(303)을 표시한다. 제어 유닛(100)은, 피가공물(200-1)과 마찬가지로, 피가공물(200-2)을 개개의 디바이스(203)로 분할한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 흡인 유지한 피가공물(200-2)의 모든 분할 예정 라인(202)에 절삭 블레이드(21)를 절입시키면, 척 테이블(10)의 흡인 유지 및 클램프부(12)의 클램핑을 해제한다.
또한 제어 유닛(100)은, 카세트 엘리베이터(50)에게 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-3)에 수용된 피가공물(200-3)을 지지한 환상 프레임(205)의 하면이 레일(81)의 상면과 동일 평면이 되는 위치에 카세트(60)를 위치시키게 한다. 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 반출입 유닛(83)에게 카세트(60)로부터 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-3)에 수용된 피가공물(200-3)을 반출하게 하고, 반출한 피가공물(200-3)을 레일(81) 상에 임시 배치하게 한다. 제어 유닛(100)은, 검출 센서(82)가 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-3)을 검출하면, 도 10에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 임시 배치 대응 영역(121)에 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-3)에 수용되어 있던 피가공물(200-3)을 나타내는 피가공물 마크(140-3)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-3)에 대응하는 칸(131-3)에 임시 배치 대응 영역(121)과 동일한 색(301)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 제2 반송 유닛(92)에게 피가공물(200-1)을 스피너 테이블(72)의 유지면(71)에 배치하게 하고, 스피너 테이블(72)에 피가공물(200-1)을 흡인 유지하게 한다. 제어 유닛(100)은, 스피너 테이블(72)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 스피너 테이블(72)이 피가공물(200-1)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 11에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 세정 대응 영역(124)에 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용되어 있던 피가공물(200-1)을 나타내는 피가공물 마크(141-1)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 세정 대응 영역(124)과 동일한 색(304)을 표시한다. 제어 유닛(100)은, 세정 유닛(70)에게 스피너 테이블(72)을 축심 둘레로 회전시키면서 세정액 공급 노즐로부터 세정액을 공급하여, 피가공물(200-1)을 세정하게 한다. 제어 유닛(100)은, 세정 유닛(70)에게 피가공물(200-1)을 소정 시간 세정하게 한 후, 스피너 테이블(72)의 회전 및 세정액의 공급을 정지시켜, 스피너 테이블(72)의 흡인 유지를 해제한다.
또한 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-3)을 지지하는 환상 프레임(205)을 제1 반송 유닛(91)에게 흡인 유지하게 하고, X축 이동 유닛 등에게 제1 반송 유닛(91)과 척 테이블(10)을 상대적으로 이동하게 하여, 제1 반송 유닛(91)을 척 테이블(10)의 상측으로 향하여 이동시킨다. 제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)의 흡인 부재(93)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 제1 반송 유닛(91)이 환상 프레임(205)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 11에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 제1 반송 유닛 대응 영역(122)에 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-3)에 수용되어 있던 피가공물(200-3)을 나타내는 피가공물 마크(140-3)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-3)에 대응하는 칸(131-3)에 제1 반송 유닛 대응 영역(122)과 동일한 색(302)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)의 유지면(11)에 배치된 피가공물(200-2)을 지지하는 환상 프레임(205)을 제2 반송 유닛(92)에게 흡인 유지하게 하고, 제2 반송 유닛(92)을 스피너 테이블(72)의 상측으로 향하여 이동시킨다. 제어 유닛(100)은, 제2 반송 유닛(92)의 흡인 부재(93)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 제2 반송 유닛(92)이 환상 프레임(205)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 12에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 제2 반송 유닛 대응 영역(125)에 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 수용되어 있던 피가공물(200-2)을 나타내는 피가공물 마크(141-2)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 대응하는 칸(131-2)에 제2 반송 유닛 대응 영역(125)과 동일한 색(305)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)에게 피가공물(200-3)을 척 테이블(10)의 유지면(11)에 배치하게 하고, 척 테이블(10)에 피가공물(200-3)을 흡인 유지하게 함과 더불어, 클램프부(12)에게 환상 프레임(205)을 클램핑하게 한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 척 테이블(10)이 피가공물(200-3)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 12에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 척 테이블 대응 영역(123)에 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-2)에 수용되어 있던 피가공물(200-3)을 나타내는 피가공물 마크(141-3)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 3번째의 수용 선반(64-3)에 대응하는 칸(131-3)에 척 테이블 대응 영역(123)과 동일한 색(303)을 표시한다. 제어 유닛(100)은, 피가공물(200-1, 200-2)과 마찬가지로, 피가공물(200-3)을 개개의 디바이스(203)로 분할한다. 제어 유닛(100)은, 척 테이블(10)에 흡인 유지한 피가공물(200-3)을 개개의 디바이스(203)로 분할하면, 척 테이블(10)의 흡인 유지 및 클램프부(12)의 클램핑을 해제한다.
또한 제어 유닛(100)은, 스피너 테이블(72) 상에 배치된 피가공물(200-1)을 지지하는 환상 프레임(205)을 제1 반송 유닛(91)에게 흡인 유지하게 하고, 제1 반송 유닛(91)을 임시 배치 유닛(80)의 레일(81)의 상측으로 향하여 이동시킨다. 제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)의 흡인 부재(93)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 제1 반송 유닛(91)이 환상 프레임(205)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 12에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 제1 반송 유닛 대응 영역(122)에 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용되어 있던 피가공물(200-1)을 나타내는 피가공물 마크(141-1)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 제1 반송 유닛 대응 영역(122)과 동일한 색(302)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 제2 반송 유닛(92)에게 피가공물(200-2)을 스피너 테이블(72)의 유지면(71)에 배치하게 하고, 스피너 테이블(72)에 피가공물(200-2)을 흡인 유지하게 한다. 제어 유닛(100)은, 스피너 테이블(72)에 접속한 진공 흡인원의 부압 등에 기초하여, 스피너 테이블(72)이 피가공물(200-2)을 흡인 유지했음을 검출하면, 도 13에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 세정 대응 영역(124)에 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 수용되어 있던 피가공물(200-2)을 나타내는 피가공물 마크(141-2)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 2번째의 수용 선반(64-2)에 대응하는 칸(131-2)에 세정 대응 영역(124)과 동일한 색(304)을 표시한다. 제어 유닛(100)은, 피가공물(200-1)과 마찬가지로, 세정 유닛(70)에게 피가공물(200-2)을 세정하게 하고, 세정이 종료되면, 스피너 테이블(72)의 흡인 유지를 해제한다.
또한 제어 유닛(100)은, 제1 반송 유닛(91)에게 피가공물(200-1)을 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상에 배치하게 하고, 검출 센서(82)가 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-1)을 검출하면, 도 13에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 임시 배치 대응 영역(121)에 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 수용되어 있던 피가공물(200-1)을 나타내는 피가공물 마크(141-1)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 임시 배치 대응 영역(121)과 동일한 색(301)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 카세트 엘리베이터(50)에게 레일(81) 상에 배치된 피가공물(200-1)을 수용하는 가장 아래의 수용 선반(64-1)의 상면이 레일(81)의 상면과 동일 평면 상이 되는 위치에 카세트(60)를 위치시키게 한다. 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 반출입 유닛(83)에게 레일(81) 상의 피가공물(200-1)을 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 반입하게 한다. 제어 유닛(100)은, 검출 센서(82)가 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-1)을 검출하지 않게 되면, 도 14에 도시하는 것과 같이, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)에 반입 완료를 나타내는 색(306)을 표시한다.
제어 유닛(100)은, 카세트 엘리베이터(50)에게 아래에서부터 4번째의 수용 선반(64-4)에 수용된 피가공물(200-4)을 지지한 환상 프레임(205)의 하면이 레일(81)의 상면과 동일 평면이 되는 위치에 카세트(60)를 위치시키게 한다. 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 반출입 유닛(83)에게 카세트(60)로부터 아래에서부터 4번째의 수용 선반(64-4)에 수용된 피가공물(200-4)을 반출하게 하고, 반출한 피가공물(200-4)을 레일(81) 상에 임시 배치시킨다. 제어 유닛(100)은, 검출 센서(82)가 레일(81) 상에 임시 배치된 피가공물(200-4)을 검출하면, 도 14에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 임시 배치 대응 영역(121)에 아래에서부터 4번째의 수용 선반(64-4)에 수용되어 있던 피가공물(200-4)을 나타내는 피가공물 마크(140-4)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 4번째의 수용 선반(64-4)에 대응하는 칸(131-4)에 임시 배치 대응 영역(121)과 동일한 색(301)을 표시한다.
이렇게 해서, 가공 장치(1)는, 표시 유닛(110)의 표시 화면(111) 상의 진행 상황 표시 화면(112)의 카세트 내 맵(130)의 각 칸(131)에는, 칸(131)이 나타내는 카세트(60)의 수용 선반(64)에 수용되어 있던 피가공물(200)의 현재 위치에 대응하는 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)의 색(301, 302, 303, 304, 305)이 표시된다. 또한 가공 장치(1)는, 카세트(60)로부터 반출된 후에 다시 카세트(60)로 복귀된 피가공물(200)이 수용된 수용 선반(64)을 나타내는 칸(131)에는, 반입 완료를 나타내는 색(306)이 표시된다.
또한 가공 장치(1)는, 피가공물(200)을 카세트(60)로부터 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상, 제1 반송 유닛(91), 척 테이블(10), 제2 반송 유닛(92), 스피너 테이블(72), 제1 반송 유닛(91), 임시 배치 유닛(80)의 레일(81) 상, 카세트(60)로 순차로 반송하여, 절삭 가공한다. 실시형태 1에서는, 제어 유닛(100)은, 카세트(60) 내 아래에서부터 순차로 피가공물(200)을 절삭 가공하고, 검출 센서(82)가 레일(81) 상에 임시 배치된 아래에서부터 10번째의 수용 선반(64-10)에 수용되어 있던 절삭 가공 완료된 피가공물(200-10)을 검출하면, 도 15에 도시하는 것과 같이, 진행 상황 표시 화면(112)의 임시 배치 대응 영역(121)에 아래에서부터 10번째의 수용 선반(64-10)에 수용되어 있던 피가공물(200-10)을 나타내는 피가공물 마크(141-10)를 겹쳐 표시한다. 또한 제어 유닛(100)은, 복수의 칸(131) 중 아래에서부터 10번째의 수용 선반(64-10)에 대응하는 칸(131-10)에 임시 배치 대응 영역(121)과 동일한 색(301)을 표시한다. 이때, 제어 유닛(100)은, 도 15에 도시하는 것과 같이, 복수의 칸(131) 중 가장 아래의 수용 선반(64-1)에 대응하는 칸(131-1)으로부터 아래에서부터 9번째의 수용 선반(64-9)에 대응하는 칸(131-9)에 반입 완료를 나타내는 색(306)을 표시한다. 제어 유닛(100)은, 카세트 엘리베이터(50)에게 레일(81) 상에 배치된 피가공물(200-10)을 수용하는 가장 위의 수용 선반(64-10)의 상면이 레일(81)의 상면과 동일 평면 상이 되는 위치에 카세트(60)를 위치시키게 한다. 제어 유닛(100)은, 임시 배치 유닛(80)의 반출입 유닛(83)에게 레일(81) 상의 피가공물(200-10)을 가장 위의 수용 선반(64-10)에 반입하게 한다. 이렇게 해서, 가공 장치(1)의 제어 유닛(100)은, 카세트(60) 내의 모든 피가공물(200)의 절삭 가공이 완료되면, 가공 동작을 종료한다.
실시형태 1에 따른 가공 장치(1)는, 표시 유닛(110)의 표시 화면(111)에 표시되는 진행 상황 표시 화면(112)에 장치 내 맵(120)과 카세트 내 맵(130)을 설정한다. 가공 장치(1)는, 장치 내 맵(120)의 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에 서로 다른 색(301, 302, 303, 304, 305)을 설정해 두고, 카세트 내 맵(130)에는, 카세트(60) 내의 피가공물(200)에 대응하는 칸(131)을 설정한다. 가공 장치(1)는, 각 칸(131)에, 칸(131)이 대응하는 카세트(60)의 수용 선반(64)에 수용되어 있던 피가공물(200)의 현재 위치에 대응하는 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)의 색(301, 302, 303, 304, 305)을 표시한다. 이 때문에, 가공 장치(1)는, 카세트(60)의 각 수용 선반(64)으로부터 반출된 피가공물(200)이 장치 내 맵의 어디에 있는 것인지를 칸(131)의 색(301, 302, 303, 304, 305)에 의해 한눈에 오퍼레이터에게 인식시킬 수 있다. 그 결과, 가공 장치(1)는, 피가공물(200)의 가공 진행 상황을 파악하는 것을 가능하게 할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.
또한 가공 장치(1)는, 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에 피가공물 마크(140, 141)를 겹쳐 표시하기 때문에, 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)을 확인함으로써, 각 피가공물(200)의 현재 위치도 한눈에 오퍼레이터에게 인식시킬 수 있다.
또한 가공 장치(1)는, 반송 유닛(91, 92)에 대응하는 반송 유닛 대응 영역(122, 125)을 진행 상황 표시 화면(112)에 설정한다. 그 결과, 가공 장치(1)는, 칸(131)의 색(301, 302, 303, 304, 305) 등을 확인함으로써, 가공 장치(1) 내에서 반송 중인 피가공물(200)의 상황도 한눈에 오퍼레이터에게 인식시킬 수 있다.
또한 가공 장치(1)는, 카세트(60)로부터 반출되어, 절삭 가공이 실시된 카세트(60) 내에 반입된 피가공물(200)을 수용하는 수용 선반(64)에 대응하는 칸(131)에 반입 완료를 나타내는 색(306)을 표시하기 때문에, 카세트 내 맵(130)을 확인함으로써, 가공 완료된 피가공물(200)을 한눈에 오퍼레이터에게 인식시킬 수 있다.
〔변형예 1〕
본 발명의 실시형태 1의 변형예 1에 따른 가공 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 16은 실시형태 1의 변형예 1에 따른 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 여기서, 도 16은 실시형태 1과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
실시형태 1의 변형예 1에 따른 가공 장치(1)는, 카세트 엘리베이터(50)가 복수(변형예 1에서는 2개)의 카세트(60)를 Z축 방향으로 겹쳐 지지한다. 변형예 1에 따른 가공 장치(1)의 진행 상황 표시 화면(112)은, 도 16에 도시하는 것과 같이, 카세트 내 맵(130)이, 2개의 카세트(60) 중 아래쪽의 카세트(60)에 대응하는 제1 카세트 내 맵(130-1)과, 위쪽의 카세트(60)에 대응하는 제2 카세트 내 맵(130-2)을 구비하고 있는 것 이외에, 실시형태 1의 진행 상황 표시 화면(112)과 구성이 동일하다. 변형예 1에 따른 가공 장치(1)의 진행 상황 표시 화면(112)의 각 카세트 내 맵(130-1, 130-2)은 실시형태 1의 카세트 내 맵(130)과 구성이 동등하다.
변형예 1에 따른 가공 장치(1)는, 실시형태 1과 마찬가지로, 진행 상황 표시 화면(112)에 장치 내 맵(120)과 카세트 내 맵(130-1, 130-2)을 설정하여, 카세트 내 맵(130-1, 130-2)의 각 칸(131)에, 칸(131)이 대응하는 카세트(60)의 수용 선반(64)에 수용되어 있던 피가공물(200)의 현재 위치에 대응하는 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)의 색(301, 302, 303, 304, 305)을 표시한다. 이 때문에, 변형예 1에 따른 가공 장치(1)는, 카세트(60)의 각 수용 선반(64)으로부터 반출된 피가공물(200)이 장치 내 맵의 어디에 있는 것인지를 칸(131)의 색(301, 302, 303, 304, 305)에 의해 한눈에 오퍼레이터에게 인식시킬 수 있어, 피가공물(200)의 가공 진행 상황을 파악하는 것을 가능하게 할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.
〔변형예 2〕
본 발명의 실시형태 1의 변형예 2에 따른 가공 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 17은 실시형태 1의 변형예 2에 따른 가공 장치의 표시 유닛의 표시 화면에 표시되는 진행 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다. 여기서, 도 17은 실시형태 1과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
실시형태 1의 변형예 2에 따른 가공 장치(1)는, 카세트 엘리베이터(50)가 복수(변형예 1에서는 2개)의 카세트(60)를 Z축 방향으로 겹쳐 지지한다. 변형예 2에 따른 가공 장치(1)의 진행 상황 표시 화면(112)은, 도 17에 도시하는 것과 같이, 2개의 카세트(60) 중 아래쪽의 카세트(60)에 대응하는 제1 카세트 내 맵(130-1)과 위쪽의 카세트(60)에 대응하는 제2 카세트 내 맵(130-2) 중 한쪽을 표시함과 더불어, 표시하는 제1 카세트 내 맵(130-1)과 제2 카세트 내 맵(130-2)을 전환할 수 있는 것 이외에, 실시형태 1의 진행 상황 표시 화면(112)과 구성이 동일하다. 변형예 2에 따른 가공 장치(1)의 진행 상황 표시 화면(112)의 각 카세트 내 맵(130-1, 130-2)은, 실시형태 1의 카세트 내 맵(130)의 구성에 더하여, 표시 중인 카세트(60)를 나타내는 카세트 식별 영역(132)이 설정된다. 변형예 2에서는, 가공 장치(1)의 표시 정보 설정부(101)는, 카세트 식별 영역(132)에 대한 오퍼레이터의 조작을 접수하면, 진행 상황 표시 화면(112)에 표시하는 카세트 내 맵(130-1, 130-2)을 전환하는데, 본 발명에서는, 진행 상황 표시 화면(112)에 표시하는 카세트 내 맵(130-1, 130-2)을 전환하는 방법은 이 방법에 한정되지 않는다.
변형예 2에 따른 가공 장치(1)는, 실시형태 1과 마찬가지로, 진행 상황 표시 화면(112)에 장치 내 맵(120)과 카세트 내 맵(130-1, 130-2)을 설정하여, 카세트 내 맵(130-1, 130-2)의 각 칸(131)에, 칸(131)이 대응하는 카세트(60)의 수용 선반(64)에 수용되어 있던 피가공물(200)의 현재 위치에 대응하는 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)의 색(301, 302, 303, 304, 305)을 표시한다. 이 때문에, 변형예 2에 따른 가공 장치(1)는, 카세트(60)의 각 수용 선반(64)으로부터 반출된 피가공물(200)이 장치 내 맵의 어디에 있는 것인지를 칸(131)의 색(301, 302, 303, 304, 305)에 의해 한눈에 오퍼레이터에게 인식시킬 수 있어, 피가공물(200)의 가공의 진행 상황을 파악하는 것을 가능하게 할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태 및 변형예에 한정되는 것이 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있다. 상술한 실시형태 1 등에서는, 진행 상황 표시 화면(112)의 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에 서로 다른 색(301, 302, 303, 304, 305)을 표시하여, 각 칸(131)에 피가공물(200)의 현재 위치에 대응하는 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)의 색(301, 302, 303, 304, 305)을 표시하고 있다. 그러나, 본 발명에서는, 진행 상황 표시 화면(112)의 각 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)에 서로 다른 식별 마크를 표시하고, 각 칸(131)에 피가공물(200)의 현재 위치에 대응하는 대응 영역(121, 122, 123, 124, 125)의 식별 마크를 표시하여도 좋다. 또한 실시형태 1 등에서는, 가공 장치(1)가 절삭 장치인 예를 나타내고 있지만, 본 발명은, 가공 장치(1)가 절삭 장치에 한정되지 않고, 연삭 장치, 레이저 가공 장치, 서페이서 플레이너 등 다양한 가공을 피가공물(200)에 실시하는 장치라도 좋다.
1: 가공 장치 10: 척 테이블
20: 절삭 유닛(가공 유닛)
50: 카세트 엘리베이터(카세트 배치 영역)
60: 카세트 64: 수용 선반(단)
70: 세정 유닛(세정 영역) 81: 레일(임시 배치 영역)
90: 반송 유닛 100: 제어 유닛
101: 표시 정보 설정부 111: 표시 화면
112: 진행 상황 표시 화면(표시 정보)
120: 장치 내 맵 121: 임시 배치 대응 영역
122: 제1 반송 유닛 대응 영역 123: 척 테이블 대응 영역
124: 세정 대응 영역 125: 제2 반송 유닛 대응 영역
131: 칸 140, 141: 피가공물 마크
200: 피가공물
301, 302, 303, 304, 305: 색(소정의 색)
306: 반입 완료를 나타내는 색

Claims (4)

  1. 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 이 척 테이블에 유지되는 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 상기 피가공물을 수용하는 단(段)을 복수 구비하는 카세트가 배치되는 카세트 배치 영역과, 상기 피가공물을 세정하는 세정 영역과, 상기 카세트와 상기 척 테이블과 상기 세정 영역의 사이에서 피가공물을 반송하는 반송 유닛과, 상기 피가공물의 가공 진행 상황이 표시되는 표시 화면과, 이 표시 화면에 표시하는 정보를 설정하는 표시 정보 설정부를 구비하는 가공 장치로서,
    상기 표시 정보 설정부에는,
    상기 척 테이블과 상기 세정 영역을 가지며, 각 영역은 정해진 색 또는 정해진 식별 마크가 표시되는 것인, 장치 내 맵과,
    상기 카세트로부터 반출되는 피가공물의 현재 위치를 상기 장치 내 맵에 겹쳐 표시하는 피가공물 마크와,
    상기 카세트의 상기 단을 나타내는 복수의 칸이, 표시 정보로서 설정되고,
    상기 칸에는, 상기 칸이 나타내는 상기 카세트의 상기 단에 수용되어 있던 상기 피가공물의 현재 위치에 대응하는, 상기 영역의 상기 색 또는 정해진 식별 마크가 표시되는 것을 특징으로 하는 가공 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 장치 내 맵은, 상기 피가공물을 반송하는 반송 유닛을 포함하는 것인, 가공 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 카세트로부터 반출된 후에 다시 상기 카세트로 복귀된 피가공물이 수용된 단을 나타내는 상기 칸에는, 반입 완료를 나타내는 색 또는 식별 마크가 표시되는 것인, 가공 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 가공 장치는, 상기 카세트 배치 영역에 배치되는 상기 카세트로부터 반출한 피가공물이 임시 배치되는 임시 배치 영역을 더 구비하고, 상기 반송 유닛은 상기 카세트와 상기 임시 배치 영역과 상기 척 테이블과 상기 세정 영역의 사이에서 피가공물을 반송하며, 상기 장치 내 맵은 상기 임시 배치 영역을 포함하는 것인, 가공 장치.
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