KR20200040512A - 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법 - Google Patents

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Abstract

오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법이 개시된다. 상기 오버헤드 호이스트 이송 장치는, 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되며 상기 주행 레일을 따라 배치된 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 전력을 공급받는 복수의 이송 차량들을 포함한다. 상기 방법은, 제1 전원 공급부와 연결된 제1 전원 공급 케이블이 설치된 제1 구간 내에 있는 이송 차량들의 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력을 비교하는 단계와, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력 사이의 비교 결과에 따라 상기 제1 구간에 인접하는 제2 구간 내의 제3 이송 차량이 상기 제1 구간으로 진입해도 되는지 여부를 결정하는 단계를 포함한다.

Description

오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법{Method of controlling operations of overhead hoist transport}
본 발명의 실시예들은 오버헤드 호이스트 이송 장치(overhead hoist transport; 이하 ‘OHT 장치’라 한다)의 동작을 제어하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되고 상기 주행 레일을 따라 배치된 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 전력을 공급받는 복수의 이송 차량들을 포함하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서 웨이퍼, 인쇄회로기판, 개별화된 반도체 칩들, 반도체 패키지들과 같은 자재들은 RGV(rail guided vehicle), OHT 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 복수의 이송 차량들을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량들로의 전원 공급은 상기 주행 레일을 따라 설치되는 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 제공될 수 있다.
예를 들면, 상기 주행 레일은 전원 공급을 위한 복수의 구간들로 분할될 수 있으며, 각각의 구간들에는 상기 이송 차량들로의 전원 공급을 위한 전원 공급 케이블이 설치될 수 있다. 상기 구간들에 설치된 전원 공급 케이블들은 각각 전원 공급부와 연결될 수 있으며, 상기 전원 공급부의 출력에 따라 상기 각 구간 내에서 운행 가능한 이송 차량들의 대수가 결정될 수 있다. 즉, 상기 이송 차량들의 대기 상태의 소비 전력과 주행 상태의 소비 전력 및 출발시 가속에 따른 소비 전력, 그리고 상기 전원 공급부의 정격 전력과 최대 피크 전력을 고려하여 각 구간들 내에서 운용 가능한 차량 대수가 결정될 수 있다. 예를 들면, 상기 전원 공급부의 최대 피크 전력이 20KW이고 상기 이송 차량의 가속시 소비 전력이 1.5KW인 경우 각 구간에서 상기 이송 차량들의 운행 대수는 12대 정도로 결정될 수 있으며, 하나의 구간에 12대의 이송 차량들이 이미 운행 중인 경우 인접하는 구간으로부터 다른 이송 차량이 상기 구간으로 진입할 수 없다.
그러나, 상기 이송 차량들의 대기 상태 소비 전력과 주행 상태 소비 전력은 상대적으로 낮기 때문에 상기와 같이 운행 대수를 결정할 경우 상기 전원 공급부의 정격 전력을 충분히 활용하지 못하는 문제점이 있으며, 아울러 상대적으로 많은 수의 전원 공급부들이 필요하므로 상기 OHT 장치를 구성하는데 소요되는 비용 및 유지 보수 비용이 크게 증가될 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2016-0108193호 (공개일자 2016년09월19일) 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0048329호 (공개일자 2018년05월10일)
본 발명의 실시예들은 OHT 장치의 이송 차량들에 전력을 제공하는 전원 공급부를 보다 효율적으로 사용할 수 있는 OHT 장치의 동작 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되며 상기 주행 레일을 따라 배치된 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 전력을 공급받는 복수의 이송 차량들을 포함하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법에 있어서, 상기 방법은, 제1 전원 공급부와 연결된 제1 전원 공급 케이블이 설치된 제1 구간 내에 있는 이송 차량들의 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력을 비교하는 단계와, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력 사이의 비교 결과에 따라 상기 제1 구간에 인접하는 제2 구간 내의 제3 이송 차량이 상기 제1 구간으로 진입해도 되는지 여부를 결정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력이 상기 제1 구간 내의 이송 차량들에 의해 소비되는 전체 소비 전력보다 크고, 그 차이가 상기 제3 이송 차량의 주행 중에 소비되는 주행 소비 전력보다 큰 경우, 상기 제1 구간으로 상기 제3 이송 차량의 진입을 허용할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법은, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 대기 상태의 제1 이송 차량들 일부의 출발을 위한 가속에 요구되는 가속 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 가속 소비 전력과 상기 제1 이송 차량들 중 나머지의 대기 소비 전력 및 상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 주행 상태의 제2 이송 차량들의 주행 소비 전력을 합산하여 제1 예상 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 제1 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 최대 피크 전력보다 작은 경우 상기 제1 이송 차량들 일부의 출발을 허용하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법은, 상기 제1 이송 차량들 일부가 출발 후 기 설정된 일정한 속도로 주행하는 주행 상태로 변경되어 상기 제2 이송 차량들의 대수가 증가하는 경우의 제2 예상 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 제2 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제1 이송 차량들 일부의 출발 허용을 취소하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법은, 상기 제2 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제2 이송 차량들 중 일부를 상기 제2 구간으로 이동시켜 상기 제2 이송 차량들의 대수를 감소시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들은 대기 상태의 제1 이송 차량들과 주행 상태의 제2 이송 차량들을 포함하며, 상기 방법은, 상기 제1 이송 차량들의 일부가 출발 후 주행 상태로 변경되어 상기 제2 이송 차량의 대수가 증가하는 경우의 예상 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 작은 경우 상기 제1 이송 차량들 일부의 출발을 허용하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법은, 상기 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제2 이송 차량들 중 일부를 상기 제2 구간으로 이동시켜 상기 제2 이송 차량들의 대수를 감소시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력을 산출하는 단계는, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 대기 상태의 제1 이송 차량들의 대기 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 주행 상태의 제2 이송 차량들의 주행 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 대기 소비 전력과 상기 주행 소비 전력을 합산한 전체 소비 전력을 산출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력을 산출하는 단계는 상기 제1 이송 차량들의 대수와 상기 제2 이송 차량들의 대수가 변화될 때마다 수행되며, 그 결과에 따라 상기 대기 소비 전력과 상기 주행 소비 전력 및 상기 전체 소비 전력이 갱신될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 구간 내의 제1 및 제2 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력에 기초하여 상기 제2 구간으로부터 상기 제1 구간으로 상기 제3 이송 차량의 진입을 허용할 수 있다. 즉, 상기 제1 구간 내에서 운용 가능한 상기 제1 및 제2 이송 차량들의 대수를 상기 제1 및 제2 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력에 기초하여 유동적으로 조절함으로써 상기 제1 전원 공급부의 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.
아울러, 각 구간들 내에서 운용하는 이송 차량의 대수를 종래 기술에 비하여 크게 증가시킬 수 있으므로 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서의 물류 효율이 크게 개선될 수 있다. 또한, 종래 기술과 비교하여 각 구간들의 길이를 증가시킬 수 있으므로 전원 공급부들의 대수를 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 OHT 장치의 전체 제조 비용 및 유지 보수 비용이 크게 절감될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 OHT 장치의 일 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2는 OHT 장치의 일 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(100)의 동작 제어 방법은 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 다양한 형태의 자재들을 운반하기 위한 OHT 장치(100)의 동작을 제어하기 위해 사용될 수 있다.
상기 OHT 장치(100)는 클린룸의 천장에 설치되는 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하게 구성된 복수의 이송 차량들(110, 120, 130)을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량들(110, 120, 130)은 상기 주행 레일(102)을 따라 연장하는 전원 공급 케이블(142, 152)로부터 무선 전력 전송 방식으로 필요한 전력을 공급받을 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 차량들(110, 120, 130)에는 상기 전원 공급 케이블(142, 152)로부터 자기 유도 방식으로 전력을 공급받을 수 있는 픽업 유닛들(미도시)이 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 주행 레일(102)은 제1 전원 공급부(140)와 연결된 제1 전원 공급 케이블(142)이 설치된 제1 구간(104) 및 제2 전원 공급부(150)와 연결된 제2 전원 공급 케이블(152)이 설치되고 상기 제1 구간(104)에 인접하는 제2 구간(106)을 포함할 수 있다. 도 2에서는 직선 형태의 주행 레일(102)과 제1 및 제2 구간들(104, 106)이 도시되고 있으나, 주행 레일(102)은 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 라인에 따라 다양하게 구성될 수 있으며, 복수의 전원 공급부들과 각각 연결된 복수의 구간들을 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명은 상기 주행 레일(102)의 형태 및 상기 구간들(104, 106)의 개수 등에 의해 그 범위가 한정되지는 않을 것이다.
아울러, 도시되지는 않았으나, 상기 OHT 장치(100)는 상기 이송 차량들(110, 120, 130)의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)를 구비할 수 있다. 특히, 상기 제어부는 상기 제1 및 제2 전원 공급부들(140, 150)의 출력과 상기 제1 및 제2 구간들(104, 106) 내에 있는 이송 차량들(110, 120, 130)의 소비 전력을 고려하여 상기 이송 차량들(110, 120, 130)의 동작을 제어할 수 있다. 이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(100)의 동작 제어 방법을 보다 상세하게 설명한다.
도 1을 참조하면, 먼저 S100 단계에서 상기 제1 구간(104) 내에 있는 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력을 산출하며, S110 단계에서 상기 제1 구간(104) 내의 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부(140)의 출력을 비교하고, S120 단계에서 상기 제1 구간(104) 내의 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부(140)의 출력 사이의 비교 결과에 따라 상기 제2 구간(106) 내의 제3 이송 차량(130)이 상기 제1 구간(104)으로 진입해도 되는지 여부를 결정할 수 있다.
상기 제1 구간(104) 내에는 대기 상태의 제1 이송 차량들(110)과 기 설정된 속도로 일정하게 주행하는 주행 상태의 제2 이송 차량들(120)이 위치될 수 있으며, 필요에 따라 상기 제3 이송 차량(130)이 상기 제2 구간(106)으로부터 상기 제1 구간(104)으로 진입할 수 있다. 이때, 상기 제1 전원 공급부(140)의 정격 전력이 상기 제1 구간(104) 내의 제1 및 제2 이송 차량들(110, 120)에 의해 소비되는 전체 소비 전력보다 크고, 그 차이가 상기 제3 이송 차량(130)의 주행 중에 소비되는 주행 소비 전력보다 큰 경우, 상기 제어부는 상기 제1 구간(104)으로 상기 제3 이송 차량(130)의 진입을 허용할 수 있다.
상기와 같이 상기 제1 전원 공급부(140)의 정격 전력과 상기 제1 구간(104) 내의 상기 제1 및 제2 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력을 비교하여 상기 제3 이송 차량(130)의 진입 여부를 결정하기 때문에 종래 기술과 비교하여 상기 제1 전원 공급부(140)의 사용 효율이 크게 개선될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 전원 공급부(140)가 10KW의 정격 전력과 20KW의 최대 피크 전력을 갖고, 상기 이송 차량들(110, 120) 각각의 대기 상태의 소비 전력이 0.3KW이고 주행 상태의 소비 전력이 0.45KW이며, 출발을 위한 가속 상태의 소비 전력이 1.5KW인 경우, 종래 기술에 따르면 최대 피크 전력과 가속 소비 전력을 고려하여 이송 차량들(110, 120)의 운행 대수가 12대로 설정될 수 있다. 그러나, 이 경우 제1 구간(104) 내에서 12대의 이송 차량들(110, 120)이 주행하는 경우에도 전체 소비 전력은 5.4KW에 불과하다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 구간(104) 내에서 22대의 이송 차량들(110, 120)이 동시에 주행할 수 있으며, 대기 상태를 고려할 경우 그 이상의 이송 차량들(110, 120)을 상기 제1 구간(104) 내에서 운행할 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 전원 공급부(140)의 사용 효율이 크게 향상될 수 있으며, 아울러 이송 차량들(110, 120)의 운행 대수를 증가시킬 수 있으므로 물류 효율 또한 크게 향상될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 구간(104) 내의 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력을 산출하는 단계는 상기 제어부에 의해 수행될 수 있으며, 상기 제1 구간(104) 내의 제1 이송 차량들(110)의 대기 소비 전력을 산출하는 단계와, 상기 제1 구간(104) 내의 제2 이송 차량들(120)의 주행 소비 전력을 산출하는 단계, 및 상기 대기 소비 전력과 상기 주행 소비 전력을 합산하여 전체 소비 전력을 산출하는 단계를 포함할 수 있다. 상기와 같은 제1 구간(104) 내의 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력을 산출하는 단계는 상기 제1 이송 차량들(110)의 대수와 상기 제2 이송 차량들(120)의 대수가 변화될 때마다 수행될 수 있으며, 그 결과에 따라 상기 대기 소비 전력과 주행 소비 전력 및 상기 전체 소비 전력이 갱신될 수 있다. 상기 제어부는 상기 제2 구간(106)의 제3 이송 차량(130)이 상기 제1 구간(104)으로 진입할 필요가 있는 경우 상기 제1 구간(104)의 전체 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부(140)의 정격 전력을 비교하고 그 결과에 따라 상기 제3 이송 차량(130)의 진입을 허용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 구간(104) 내에서 대기 상태의 상기 제1 이송 차량들(110) 중 적어도 일부가 출발할 필요가 있는 경우, 도시되지는 않았으나, 상기 제어부는, 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발을 위한 가속에 요구되는 가속 소비 전력을 산출하고, 상기 가속 소비 전력과 상기 제1 이송 차량들(110) 중 나머지 즉 대기 상태로 유지되는 제1 이송 차량들(110)의 대기 소비 전력 및 상기 제2 이송 차량들(120)의 주행 소비 전력을 합산하여 제1 예상 소비 전력을 산출하고, 상기 제1 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부(140)의 최대 피크 전력보다 작은 경우 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발을 허용할 수 있다. 상기와 같이 제1 예상 소비 전력을 상기 최대 피크 전력과 비교하는 이유는 상기 가속 소비 전력이 상대적으로 크다 하더라도 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 가속 시간이 약 1 내지 2초 정도이므로 상기 제1 전원 공급부(140)의 최대 피크 전력 내에서 상기 가속 소비 전력의 공급이 충분히 공급 가능하기 때문이다.
아울러, 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발이 허용된 경우, 상기 제어부는 상기 제1 이송 차량들(110) 일부가 출발 후 주행 상태로 변경되어 상기 제2 이송 차량들(120)의 대수가 증가하는 경우의 제2 예상 소비 전력을 산출할 수 있으며, 상기 제2 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부(140)의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발 허용을 취소할 수 있다. 이는 상기 제1 예상 소비 전력에 따라 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발이 허용되는 경우라도 상기 제1 이송 차량들(110) 일부가 주행 상태로 변경된 후 상기 제1 구간(104)의 전체 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부(140)의 정격 전력보다 크게되는 것을 방지하기 위함이다.
상기와 같이 제2 예상 소비 전력에 따라 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발 허용이 취소되는 경우 즉 상기 제2 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부(140)의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제어부는 상기 제2 이송 차량들(120) 중 일부를 상기 제2 구간(106)으로 이동시킴으로써 상기 제2 이송 차량들(120)의 대수를 감소시킬 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 구간(104)의 전체 소비 전력이 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발이 가능해질 수 있다.
한편, 상기 제1 전원 공급부(140)의 최대 피크 전력이 상기 정격 전력과 비교하여 상대적으로 매우 크기 때문에 상기 제1 예상 소비 전력에 의해 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발이 허용되지 않는 경우는 거의 발생되지 않을 수 있다. 따라서, 상기 제1 예상 소비 전력의 산출 단계 및 상기 최대 피크 전력과의 비교 단계가 생략될 수 있으며, 이 경우 상기 제2 예상 소비 전력에 기초하여 상기 제1 이송 차량들(110) 일부의 출발 가능 여부를 판단할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 구간(104) 내의 제1 및 제2 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부(140)의 출력에 기초하여 상기 제2 구간(106)으로부터 상기 제1 구간(104)으로 상기 제3 이송 차량(130)의 진입을 허용할 수 있다. 즉, 상기 제1 구간(104) 내에서 운용 가능한 상기 제1 및 제2 이송 차량들(110, 120)의 대수를 상기 제1 및 제2 이송 차량들(110, 120)의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부(140)의 출력에 기초하여 유동적으로 조절함으로써 상기 제1 전원 공급부(140)의 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.
아울러, 각 구간들(104, 106) 내에서 운용하는 이송 차량들(110, 120, 130)의 대수를 종래 기술에 비하여 크게 증가시킬 수 있으므로 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서의 물류 효율이 크게 개선될 수 있다. 또한, 종래 기술과 비교하여 각 구간들(104, 106)의 길이를 증가시킬 수 있으므로 전원 공급부들(140, 150)의 대수를 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 OHT 장치(100)의 전체 제조 비용 및 유지 보수 비용이 크게 절감될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : OHT 장치 102 : 주행 레일
104 : 제1 구간 106 : 제2 구간
110 : 제1 이송 차량 120 : 제2 이송 차량
130 : 제3 이송 차량 140 : 제1 전원 공급부
142 : 제1 전원 공급 케이블 150 : 제2 전원 공급부
152 : 제2 전원 공급 케이블

Claims (9)

  1. 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되며 상기 주행 레일을 따라 배치된 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 전력을 공급받는 복수의 이송 차량들을 포함하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법에 있어서,
    제1 전원 공급부와 연결된 제1 전원 공급 케이블이 설치된 제1 구간 내에 있는 이송 차량들의 소비 전력을 산출하는 단계;
    상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력을 비교하는 단계; 및
    상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력과 상기 제1 전원 공급부의 출력 사이의 비교 결과에 따라 상기 제1 구간에 인접하는 제2 구간 내의 제3 이송 차량이 상기 제1 구간으로 진입해도 되는지 여부를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력이 상기 제1 구간 내의 이송 차량들에 의해 소비되는 전체 소비 전력보다 크고, 그 차이가 상기 제3 이송 차량의 주행 중에 소비되는 주행 소비 전력보다 큰 경우, 상기 제1 구간으로 상기 제3 이송 차량의 진입을 허용하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 대기 상태의 제1 이송 차량들 일부의 출발을 위한 가속에 요구되는 가속 소비 전력을 산출하는 단계;
    상기 가속 소비 전력과 상기 제1 이송 차량들 중 나머지의 대기 소비 전력 및 상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 주행 상태의 제2 이송 차량들의 주행 소비 전력을 합산하여 제1 예상 소비 전력을 산출하는 단계; 및
    상기 제1 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 최대 피크 전력보다 작은 경우 상기 제1 이송 차량들 일부의 출발을 허용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 이송 차량들 일부가 출발 후 기 설정된 일정한 속도로 주행하는 주행 상태로 변경되어 상기 제2 이송 차량들의 대수가 증가하는 경우의 제2 예상 소비 전력을 산출하는 단계; 및
    상기 제2 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제1 이송 차량들 일부의 출발 허용을 취소하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제2 이송 차량들 중 일부를 상기 제2 구간으로 이동시켜 상기 제2 이송 차량들의 대수를 감소시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들은 대기 상태의 제1 이송 차량들과 주행 상태의 제2 이송 차량들을 포함하며,
    상기 제1 이송 차량들의 일부가 출발 후 주행 상태로 변경되어 상기 제2 이송 차량의 대수가 증가하는 경우의 예상 소비 전력을 산출하는 단계; 및
    상기 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 작은 경우 상기 제1 이송 차량들 일부의 출발을 허용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 예상 소비 전력이 상기 제1 전원 공급부의 정격 전력보다 큰 경우 상기 제2 이송 차량들 중 일부를 상기 제2 구간으로 이동시켜 상기 제2 이송 차량들의 대수를 감소시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력을 산출하는 단계는,
    상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 대기 상태의 제1 이송 차량들의 대기 소비 전력을 산출하는 단계;
    상기 제1 구간 내의 이송 차량들 중 주행 상태의 제2 이송 차량들의 주행 소비 전력을 산출하는 단계; 및
    상기 대기 소비 전력과 상기 주행 소비 전력을 합산한 전체 소비 전력을 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1 구간 내의 이송 차량들의 소비 전력을 산출하는 단계는 상기 제1 이송 차량들의 대수와 상기 제2 이송 차량들의 대수가 변화될 때마다 수행되며, 그 결과에 따라 상기 대기 소비 전력과 상기 주행 소비 전력 및 상기 전체 소비 전력이 갱신되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 동작을 제어하는 방법.
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