KR20200012977A - 포토 에칭 기계의 작업 테이블을 위한 전입/전출 메커니즘 및 전입/전출 장치 - Google Patents

포토 에칭 기계의 작업 테이블을 위한 전입/전출 메커니즘 및 전입/전출 장치 Download PDF

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Abstract

전입/전출 메커니즘(10)은 연결 블록(2), 평판 스프링(3), 스프링 편향 조립체(4) 및 휠 조립체(5)를 포함한다. 평판 스프링은 힌지(401)에 의해 상호 연결된 2개의 세그먼트로 구성된 2-세그먼트 구조이다. 평판 스프링의 세그먼트 중 하나는 연결 블록에 의해 이동 대상(1) 상에 장착되고, 다른 세그먼트는 휠 조립체에 연결된다. 스프링 편향 조립체는 휠 조립체에 연결된 평판 스프링의 세그먼트를 편향하기 위한 구동력을 이동 지지면 쪽으로 제공하도록 구성된다. 또한 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 위한 전입/전출 장치도 개시된다. 상기 장치는 하부 프레임(7), 공기스프링(8), 공기 쿠션 장치(9) 및 상기 하부 프레임의 하면이나 측면에 배열되는 복수 개의 전입/전출 메커니즘을 포함한다. 상기 전입/전출 메커니즘에서 평판 스프링은 상호 힌지 연결된 2개의 세그먼트를 가지고, 평판 스프링의 편향을 유발하도록 응력을 받는 평판 스프링의 모든 위치는 단일 직선 상에 있다. 이는 힘의 균형을 이루어 재밍을 방지한다. 또한, 상기 장치에서 그와 같은 다수의 전입/전출 메커니즘을 사용하여 작업 스테이지가 지면에 가해진 과다한 압력으로 인해 전복되는 것을 방지한다.

Description

포토 에칭 기계의 작업 테이블을 위한 전입/전출 메커니즘 및 전입/전출 장치
본 발명은 포토 에칭 기계의 기술 분야에 관한 것으로, 보다 상세하게는 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 위한 전입/전출 메커니즘 및 전입/전출 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서, 포토 에칭은 광 조명 효과 하에서 포토 레지스트를 사용하여 포토 마스크로부터 기판으로 패턴을 전사하기 위한 중요한 공정이다. 이 공정은 주로 포토 레지스트의 노출된 영역에서 화학 반응이 일어나도록 포토레지스트 막으로 코팅된 기판의 표면에 포토 마스크를 통해 자외선을 조사하는 단계; 현상 공정에 의해 노광된 (포지티브 포토 레지스트의 경우) 또는 노광되지 않은 (네거티브 포토 레지스트의 경우) 영역을 용해 및 제거하여 포토 마스크상의 패턴이 포토 레지스트 막으로 복제되는 단계; 및 에칭 과정을 수행하여 패턴을 기판으로 추가로 전사하는 단계를 포함한다.
이 과정은 일반적으로 조명 시스템, 마스크 스테이지, 프로젝션 이미징 시스템, 작업 스테이지(웨이퍼 스테이지) 및 하부 프레임을 포함하는 포토 에칭 기계에 의해 달성된다. 반도체 제조 공정에서, 회로 패턴을 축소하고 축소된 회로 패턴을 웨이퍼로 전송하기 위해, 포토 에칭 기계는 광원의 에너지 및 형상을 제어하여 광선이 회로 패턴이 정의된 포토 마스크를 통과하고 대물 렌즈에 의해 다양한 광학적 오류가 보상되도록 한다. 이어서, 화학 현상 공정에 의해 회로 패턴을 포토 레지스트에 전사할 수 있다.
포토 에칭 기계에서, 작업 스테이지는 웨이퍼가 직접 장착되는 정전척(electrostatic sucker)를 지지하고 구동하기 위한 모션 플랫폼으로서 사용된다. 반도체 제조업체들이 더 높은 오버레이 정확도 및 생산성을 지속적으로 추구하기 때문에, 이러한 정전척은 동기 모션을 위해 더 높은 정밀도 및 속도를 가져야 한다. 이를 위해, 정전척은 일반적으로 바닥에 공기 부상 수단을 구비한다. 대리석은 정전척을 위한 모션 플랫폼의 소재로 사용된다. 작업 스테이지에는 또한 동력 구동 장치, 반력을 감소 또는 상쇄하기 위한 밸런싱 매스(balancing mass), 지지 프레임, 및 작업 스테이지의 모든 구성 요소의 정상적인 작동을 위해 요구되는 케이블, 센서 및 파이프와 같은 일부 구성 요소가 제공된다. 결과적으로 작업 스테이지의 총무게는 최대 수 톤에 이른다. 따라서, 전체 작업 스테이지를 포토 에칭 기계의 하부 프레임에 직접 설치하는 것은 바람직하지 않다.
또한, 포토 에칭 기계의 조립시, 작업 스테이지를 포토 에칭 기계 밖으로 전출하고 다시 전입시키는 일이 빈번하다. 또한, 작업 스테이지의 문제 해결 또는 정기적인 유지 보수를 용이하게 하기 위해, 작업 스테이지를 빈번하게 그리고 자유롭게 이동시키는 것이 바람직하다.
결론적으로, 작업 스테이지의 중량을 고려하면, 포토 에칭 기계의 작업 스테이지 및 하부 프레임에 대한 합리적인 구조적 레이아웃이 바람직하다. 또한, 일정 시간 동안 동작한 경우 또는 정상 동작을 가로막는 문제를 직면할 경우, 유지 보수 또는 수리 목적으로 작업 스테이지를 포토 에칭 기계 밖으로 전출하고, 유지 보수 또는 수리가 완료된 후 포토 에칭 기계로 다시 전입해야 하기 때문에, 이동시 장치의 안전을 보장하면서 유지 보수 또는 수리에 필요한 시간을 단축시키는 것이 또한 바람직하다.
본 발명의 목적은, 포토 에칭 기계의 작업 스테이지의 전입/전출 메커니즘과 전입/전출 장치를 제공함으로써, 슬라이더 및 크랭크에 기초한 종래의 전입/전출 장치의 사용으로 인한 비평면 힌지 접합에서 과도한 토크로 인한 재밍 문제 및 지면에 가해지는 과도한 압력에 의해 생긴 작업 스테이지의 전복으로 인한 포토 에칭 기계에 대한 작업 스테이지의 전입/전출 이동의 실패 문제를 해결하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 이동 지지면에 대해 대상을 전입 또는 전출하도록 구성되는 전입/전출 메커니즘은 연결 블록, 평판 스프링, 스프링 편향 조립체 및 휠 조립체를 포함하되, 상기 평판 스프링은 제 1 세그먼트 및 제 1 세그먼트에 힌지 연결된 제 2 세그먼트를 포함하고, 상기 제 1 세그먼트는 상기 연결 블록에 의해 상기 대상 위에 장착되고, 상기 제 2 세그먼트는 상기 휠 조립체에 연결되며, 상기 스프링 편향 조립체는 상기 제 2 세그먼트를 상기 이동 지지면쪽으로 편향시키기 위한 구동력을 제공하도록 구성된다.
선택적으로, 상기 제 1 세그먼트 및 상기 제 2 세그먼트는 가요성 힌지에 의해 함께 힌지 연결된다.
또한, 상기 스프링 편향 조립체는 슬라이더, 가요성 링크, V 자형 링크 및 조정 부재를 포함하고, 상기 슬라이더는 슬라이드 가능하게 상기 평판 스프링 상에 배치되고, 상기 가요성 링크는 일단이 상시 슬라이더에 힌지 연결되고 다른 단이 V 자형 링크의 단부에 힌지 연결되며, 상기 V 자형 링크의 다른 단부는 상기 대상과 접촉하게 되고, 상기 V 자형 링크는 상기 제 2 세그먼트에 힌지 연결된 단부를 가지며, 상기 조정 부재는 상기 슬라이더의 위치를 조정할 수 있도록 상기 슬라이더에 연결된다.
선택적으로, 상기 가요성 링크는 텔레스코픽(telescopic)이다.
선택적으로, 상기 V 자형 링크는 상기 대상과 접촉하는 단부에 동력 인가 롤러를 구비하고, 상기 동력 인가 롤러를 통해 상기 대상에 힘을 가하도록 구성된다.
선택적으로, 상기 동력 인가 롤러는 상기 대상에 부착된 홀더에 의해 지지된다.
선택적으로, 상기 조정 부재는 나사 및 제한 블록을 포함하고, 상기 나사는 상기 슬라이더와 나사 결합되며, 상기 제한 블록은 상기 평판 스프링에 고정되며, 상기 나사는 상기 제한 블록내에 배열된 헤드를 갖고, 상기 나사는 상기 슬라이더의 위치를 변경하도록 조정되도록 구성된다.
선택적으로, 상기 휠 조립체는 브래킷, 휠, 모터 및 트랜스미션 기어를 포함하고, 상기 휠은 상기 브래킷에 의해 상기 평판 스프링에 연결되며, 상기 트랜스미션 기어는 일 단에서 상기 휠에, 그리고 다른 단에서 상기 모터에 연결되며, 상기 모터는 상기 트랜스미션 기어에 의해 상기 휠을 구동하여 회전하도록 구성된다.
상기 목적을 달성하기 위해, 포토 에칭 기계의 작업 스테이지와 함께 사용하도록 구성된 전입/전출 장치는, 상부에 상기 작업 스테이지가 지지되는 하부 프레임, 상기 하부 프레임의 하부 표면에 배열된 공기 스프링, 역시 상기 하부 프레임의 하면에 배치된 공기 쿠션 장치 및 상기 하부 프레임과 접촉하는 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 전입/전출 메커니즘을 포함한다.
선택적으로, 복수개의 전입/전출 메커니즘은 상기 하부 프레임의 하면 또는 측면에 쌍으로 그리고 대칭적으로 배치된다.
본 발명의 전입/전출 메커니즘에서, 평판 스프링의 두 세그먼트는 힌지에 의해 서로 연결됨으로써, 평판 스프링이 과도한 편향 토크에 걸리지 않도록 한다. 또한, 본 발명의 전입/전출 장치에서는, 복수의 이러한 전입/전출 메카니즘이 대상의 하면 또는 측면에 쌍을 이루어 대칭으로 배치됨으로써, 휠들과 이동 지지면 사이에 충분한 마찰이 발생되어, 이동 지지면 상의 임의의 휠에 의해 가해지는 과도한 압력으로 인해 작업 스테이지가 전복되는 것을 피하면서 작업 스테이지가 이동하도록 작업 스테이지를 구동한다. 따라서, 보다 높은 안전성을 가지고, 보다 신속하고 자동화된 방식으로 전입/전출이 달성될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전입/전출 메커니즘의 개략적인 구조도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 위한 전입/전출 장치의 구조적 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따라 공기 쿠션 장치가 부유할 때 동작중인 전입/전출 장치를 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따라 공기 스프링이 팽창될 때 동작중인 전입/전출 장치를 개략적으로 도시한다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 전입/전출 메커니즘의 개략적 인 구조도이다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 전입/전출 메커니즘의 구조적 개략도이다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 위한 전입/전출 장치의 구조적 개략도이다.
도 8은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 위한 전입/전출 장치의 정면도이다.
도 9는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 위한 전입/전출 장치의 측면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 본 발명의 특징 및 장점은 다음의 상세한 설명 및 첨부된 청구 범위로부터 더욱 명백해질 것이다. 첨부 도면은 반드시 축척대로 제시되지는 않고 매우 단순화된 형태로 제공되며, 이는 실시 예를 설명함에 있어서 편리함과 명확성을 도모하기 위함이다.
본 명세서에서 사용된 "힌지"는 두 물체를 서로 연결하면서 하나의 물체가 다른 물체에 대해 분리되지 않고 피봇되도록 하는 연결 요소를 의미한다. 따라서, "힌지"라는 용어는 상기 언급된 상대 이동을 허용하는 연결을 의미한다.
실시예 1
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명은 대상(1)을 이동 지지면(6)에 대해 전입 또는 전출하기 위한 전입/전출 메커니즘을 제안한다. 전입/전출 메커니즘은 연결 블록(2), 평판 스프링(3), 스프링 편향 조립체(4) 밑 휠 조립체(5)를 포함한다. 평판 스프링(3)은 힌지(401)에 의해 연결된 2 개의 세그먼트로 구성되는 2-세그먼트 구조이다. 평판 스프링(3)의 하나의 세그먼트(이하 "제 1 세그먼트"라 함)는 연결 블록(2)에 의해 대상(1) 상에 장착되고, 다른 세그먼트(이하 "제 2 세그먼트"라 함)는 휠 조립체 5)에 연결된다. 스프링 편향 조립체(4)는, 휠 조립체(5)에 연결된 평판 스프링(3)의 세그먼트를 이동 지지면(6)을 향해 편향시키기 위한 구동력을 제공하도록 구성된다.
도 1에 도시된 힌지(401)는 평판 스프링(3)의 2 개의 세그먼트들(즉, 제 1 및 제 2 세그먼트들) 사이에서 상대적인 피봇을 가능하게 하는 구조의 일예일 뿐이다. 물론, 상대적인 피봇이 허용되는 한, 상기 구조는 또한 가요성 힌지, 베어링 또는 회전 샤프트와 같은 임의의 다른 적합한 힌지 형태를 가정할 수 있다. 본 실시예에서, 힌지(401)는 바람직하게는 선형 스트립이 절취된 가요성 힌지이다. 가요성 힌지는 클리어런스 또는 기계적 마찰없이 동작하므로, 평판 스프링(3)의 2 개의 세그먼트가 더 큰 상대적 변위 정확도로 보다 유연한 방식으로 서로에 대해 이동할 수 있게 한다. 또한, 평판 스프링 (3)은 특정 위치에 고착되지 않고 보다 정확하고 안정적으로 편향될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 스프링 편향 조립체(4)는 슬라이더(402), 가요성 링크(403), V 자형 링크(404) 및 조정 부재를 포함할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 슬라이더(402)는 평평한 스프링(3) 상에 슬라이드 가능하게 배치되고, 가요성 링크(403)는 일단에서는 슬라이더(402)에 그리고 타단에서는 V 자형 링크(404)에 힌지 연결된다. V 자형 링크(404)의 타단은 대상(1)과 접촉하게 된다. V 자형 링크(404)는 휠 조립체(5)에 연결된 평판 스프링(3)의 세그먼트에 힌지 연결된 단부(tip portion)를 가진다. 슬라이더(402)의 위치를 조정 및 변경할 수 있도록, 조정 부재가 슬라이더(402)에 연결된다.
선택적으로, 가요성 링크(403)는 장력을 제공하기 위한 망원 링크(telescopic link)일 수 있다. 슬라이더(402)의 작용 하에서, 가요성 링크(403)는 V 자형 링크(404)를 당기거나 이의 피봇팅을 제한할 수 있다.
선택적으로, 대상(1)과 접촉하는 V 자형 링크의 단부에는 동력 인가 롤러 (405)가 제공될 수 있다. V 자형 링크(404)는 동력 인가 롤러(405)에 의해 대상 (1)과 접촉된다. V 자형 링크(404)가 피봇할 때, 이는 동력 인가 롤러(405)를 통해 대상(1)에 힘을 가할 수 있다. 이에 응답하여, 대상(1)으로 부터의 반력은 동력 인가 롤러(405)를 통해 전달되고 V 자형 링크(404)에 다시 작용하여, 휠 조립체(5)에 연결된 평판 스프링(3)의 세그먼트에 하향으로 작용하는 힘을 증가시키고 이 세그먼트를 하향으로 더 편향시킨다. 결과적으로, 휠 조립체(5)는 이동 지지면(6)과 접촉하여 이들 사이에 충분한 압력과 정적 마찰로 이동 지지면(6)를 가압한다.
선택적으로, 동력 인가 롤러(405)는 대상(1)에 부착된 홀더(406)에 의해 지지될 수 있다. 홀더(406)는 평판 스프링(3)이 바람직하지 않게 너무 많이 눌려 파손되는 것을 방지하도록 구성될 수 있다.
선택적으로, 조정 부재는 나사(407) 및 제한 블록(408)을 포함할 수 있다. 나사(407)는 슬라이더(402)와 나사 결합되고, 제한 블록(408)은 평판 스프링 (3)에 고정된다. 나사(407)의 헤드는 제한 블록(408) 내에 고정될 수 있다. 나사(407)는, 가요성 링크(403)가 수축 또는 인장되어 V 자형 링크(404)의 피봇 운동을 유발하도록 슬라이더(402)의 위치를 변경하도록 조정될 수 있다.
선택적으로, 휠 조립체(5)는 브래킷, 휠, 모터 및 트랜스미션 기어를 포함할 수 있다. 휠은 브래킷에 의해 평판 스프링(3)에 연결되고, 트랜스미션 기어는 일단에서 휠에 그리고 타단에서 모터에 연결된다. 모터는 트랜스미션 기어의 도움으로 휠을 구동하여 회전시키도록 구성된다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 중력 방향에서 볼 때, 힌지(401), 동력 인가 롤러(83) 및 휠 조립체(5)의 힘 지지점은 실질적으로 동일한 축을 따라 정렬된다. 다시 말해서, 이들 힘 지지점은 실질적으로 동일 평면 상에 있다. 이는 힘의 균형을 보장하여 재밍을 피할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 또한 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 위한 전입/전출 장치가 제공되며, 상기 장치는 상부에 작업 스테이지가 지지되는 하부 프레임(7), 역시 상기 하부 프레임의 하면에 배치된 공기 쿠션 장치(9), 및 상기에서 정의된 전입/전출 메커니즘(10)을 구비한다. 전입/전출 메커니즘(10)은 하부 프레임(7)과 접촉하게 된다. 이 전입/전출 장치에서, 전입/전출 메커니즘(10)은, 상부에서 전입/전출 메커니즘 (10)이 동작하는 상기 논의된 대상(1)으로서 역할하는 하부 프레임(7)의 하면에 배치된다. 이러한 2 개의 전입/전출 메커니즘(10)은, 이들의 휠 조립체(5)가 작업 스테이지의 단부에 위치한 상태에서 작업 스테이지의 전입, 전출 방향(X)을 따라 각각 하부 프레임(7)의 하면의 중심선에 대칭으로 배치될 수 있다. 이러한 방식으로, 이 경우 지면일 수 있는 전입/전출 메커니즘(10)을 위한 이동 지지면(6)에 인가되는 압력이 효과적으로 분산될 수 있다. 따라서, 작업 스테이지는 전입/전출 방향(X)을 따라 꾸준히 지지되고 이동될 수 있다. 이 경우, 전입/전출 방향(X)은 노광 절차가 수행되는 스텝 방향인 것이 바람직하다.
이 전입/전출 장치의 동작에 대해서는 상세히 후술한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 포토 에칭 기계의 작업 스테이지를 이동시키기 위해, 각각의 전입/전출 메커니즘(10)에 대해, 공기 스프링(8)이 수축될 수 있고, 공기 쿠션 장치(9)는 이 장치와 이동 지지면(6)(지면) 사이에 공기 쿠션을 생성하도록 활성화되고, 이는 하부 프레임(7)을 지지하고 그에 따라 상부에 있는 작업 스테이지를 지지한다. 이때, V 자형 링크(404)가 평탄 스프링(3)과의 힌지형 접합부 주위에서 반시계 방향으로 피봇하기 시작하는 특정 값으로 V 자형 링크(404)의 두 암 사이의 각도가 확장될 때까지, 조정 부재는 나사(407)를 회전시켜 슬라이더(402)가 가요성 링크(403) 및 따라서 V 자형 링크 (404)를 당기게 함으로써 조정될 수 있다. 그 결과, 동력 인가 롤러(405)는 하부 프레임(7)에 힘을 가하고, 동력 인가 롤러(405)에 대한 하부 프레임(7)으로부터의 반력은 V 자형 링크(404)와 평판 스프링(3) 사이의 힌지형 접합부에 작용한다. 평판 스프링(3)은 힌지(401)와 함께 연결된 2 개의 세그먼트를 갖는 구조이므로, 응력을 받는 세그먼트가 하향으로 편향되어, 이 세그먼트에 결합된 휠 조립체(5)가 이동 지지면(6)(지면)에 접촉하도록 한다. 휠 조립체(5)의 휠은 그 사이에 충분한 압력과 정적 마찰로 이동 지지면(6)(지면)을 가압할 것이다. 도 3에 도시 된 바와 같이, 유지, 보수, 또는 정렬을 위해, 이후 휠 조립체(5) 내의 모터는 활성화되어 작업 스테이지가 ±X 방향을 따라 하부 프레임(11)으로부터 전출 또는 하부 프레임(11)으로 전입하거나 제자리에서 미세하게 조정될 수 있도록 휠을 회전시킬 수 있다.
도 4에 도시 된 바와 같이, 작업 스테이지의 유지/보수가 완료된 후, 전입/전출 메커니즘(10)은 작업 스테이지를 포토 에칭 기계의 하부 프레임 내로 이동하도록 동작할 수 있다. 그 후, 공기 쿠션 장치(9)는 셧다운될 수 있고, 공기 스프링(8)은 팽창되어 하부 프레임(7)과 그 위에 있는 작업 스테이지를 다시 지지할 수 있다. 작업 스테이지가 포토 에칭 기계의 하부 프레임(11)에 동작 가능하게 장착된 후에, 포토 에칭에 사용될 수 있다. 이 시점에서, 공기 쿠션 장치 9) 및 전입/전출 메커니즘(10)은 모두 이동 지지면(지면)과 접촉되지 않게 되어, 가요성 링크(403)가 V 자형 링크(404)를 당길 수 있게 하여 동력 인가 롤러(405)가 대상(1)에 가압된다. 결과적으로 V 자형 링크(404)와 평판 스프링(3) 사이의 힌지형 접합부에는 하향 힘이 인가되어 이 방향으로 이동하는 경향이 있게 되고, 휠 조립체(5)에 연결된 평판 스프링(3)의 세그먼트 또한 중력의 작용 하에서 하향 이동하는 경향이 있어, 전입/전출 메커니즘(10)을 상당한 긴장 상태로 이끈다.
실시예 2
도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따르면, 실시예 1의 전입/전출 메커니즘은 대상(1)에 대하여 수평으로 반전되어, 휠 조립체(5)가 작업 스테이지에 의해 규정된 영역 내에 위치되고 연결 블록(2)과 그와 접촉하는 평판 스프링(3)의 세그먼트는 작업 스테이지의 단부에 위치된다. 또한, 스프링 편향 조립체(4)의 조정 부재는 연결 블록(2)과 접촉하는 평판 스프링(3)의 세그먼트 상에 배열된다, 즉 작업 스테이지의 단부 측에 위치한다. 다른 구조적 세부 사항에 대해서는 실시예 1의 설명을 참조할 수 있다. 이 실시예에 따르면, 조정 부재와 휠 조립체(5) 사이의 거리가 증가되어 조정이 더 쉬워진다.
실시예 3
도 6에 도시된 바와 같이, 실시예 1의 전입/전출 메커니즘이 오작동을 피할 수 있고 심지어 오작동의 경우에도 힌지(401)가 평판 스프링(3)이 아래로 과다하게 휘어 손상되는 것을 방지할 수 있음을 감안하면, 본 실시예에 따라, 동력 인가 롤러(405)가 항상 하부 프레임(7)의 하면과 접촉을 유지하는 상태로 있어, 홀더(406)를 생략할 수 있다. 다른 구조적 세부 사항에 대해서는 실시예 1의 설명을 참조할 수 있다. 이와 같이, 전입/전출 메커니즘은 구조적으로 단순화될 수 있다.
실시예 4
도 7에 도시된 바와 같이, 이 실시예에 따르면, 실시예 1의 전입/전출 장치는 다음과 같이 변경될 수 있다: 4 개의 전입/전출 메커니즘(10)이 하부 프레임(7)의 하면의 4개의 코너에 각각 배열된다. 이러한 방식으로, 작업 스테이지는 보다 높은 안전성을 가지고 보다 안정적으로 전입/전출될 수 있고, 메커니즘 내의 각 휠은 이동 지지면(6)(지면)에 힘을 덜 가하게 됨으로써 작업 스테이지의 전복을 더 잘 막을 수 있다.
실시예 5
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 실시 예에 따르면, 실시예 1의 전입/전출 장치는, 이동 지지면(6)은 포토 에칭 기계의 하부 프레임 (11)에 의해 제공된 상태로, 하부 프레임(7)의 측면 상에 전입/전출 메카니즘(10)을 제한없이 다수, 바람직하게는 2 개 배치함으로써 변경된다. 이러한 배열은 지면상의 휠 중 하나에 의해 가해지는 과도한 압력으로 인해 작업 스테이지가 전복되는 것을 완전히 피할 수 있다.
요약하면, 본 발명의 전입/전출 메커니즘에서, 평판 스프링의 두 세그먼트는 힌지에 의해 서로 연결되고, 평판 스프링의 편향을 유발하도록 응력을 받는 플랫 스프링의 모든 위치는 실질적으로 일 직선 상에 있다. 이는 힘의 균형을 이루도록 하여 평판 스프링이 과도한 편향 토크에 걸리지 않도록 한다. 또한, 본 발명의 전입/전출 장치에서는, 복수의 이러한 전입/전출 메카니즘이 대상의 하면 또는 측면에 쌍을 이루어 대칭으로 배치됨으로써, 휠들과 이동 지지면 사이에 충분한 마찰이 발생되어, 이동 지지면, 특히 지면상의 임의의 휠에 의해 가해지는 과도한 압력으로 인해 작업 스테이지가 전복되는 것을 피하면서 작업 스테이지가 이동하도록 작업 스테이지를 구동한다. 따라서, 보다 높은 안전성을 가지고, 보다 신속하고 자동화된 방식으로 전입/전출이 달성될 수 있다.
상기 제시된 실시예는 단지 몇 가지 바람직한 예일 뿐이며, 본 발명을 제한하려는 것은 아니다. 당업자가 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 상기 교시에 기초하여 본 명세서에 개시된 주제 또는 그 특징에 대해 실시한 동등한 대안 또는 변형과 같은 임의의 수정 또한 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주된다.
1: 이동 대상 2: 연결 블록
3: 평판 스프링 4: 스프링 편향 조립체
401: 힌지 402: 슬라이더
403: 가요성 링크 404: V 자형 링크
405: 동력 인가 롤러 406: 홀더
407: 나사 408: 제한 블록
5: 휠 조립체 6: 이동 지지면
7: 하부 프레임 8: 공기 스프링
9: 공기 쿠션 장치 10: 전입/전출 메커니즘;
11: 포토 에칭 기계의 하부 프레임

Claims (10)

  1. 이동 지지면에 대해 대상을 전입 또는 전출하도록 구성되는 전입/전출 메커니즘에 있어서,
    연결 블록;
    평판 스프링;
    스프링 편향 조립체; 및
    휠 조립체를 포함하되,
    상기 평판 스프링은 제 1 세그먼트 및 제 1 세그먼트에 힌지 연결된 제 2 세그먼트를 포함하고, 상기 제 1 세그먼트는 상기 연결 블록에 의해 상기 대상 위에 장착되고, 상기 제 2 세그먼트는 상기 휠 조립체에 연결되며, 상기 스프링 편향 조립체는 상기 제 2 세그먼트를 상기 이동 지지면쪽으로 편향시키기 위한 구동력을 제공하도록 구성되는, 전입/전출 메커니즘.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 세그먼트 및 상기 제 2 세그먼트는 가요성 힌지에 의해 함께 힌지 연결되는, 전입/전출 메커니즘.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스프링 편향 조립체는 슬라이더, 가요성 링크, V 자형 링크 및 조정 부재를 포함하고, 상기 슬라이더는 슬라이드 가능하게 상기 평판 스프링 상에 배치되고, 상기 가요성 링크는 일단이 상시 슬라이더에 힌지 연결되고 다른 단이 V 자형 링크의 단부에 힌지 연결되며, 상기 V 자형 링크의 다른 단부는 상기 대상과 접촉하게 되고, 상기 V 자형 링크는 상기 제 2 세그먼트에 힌지 연결된 단부를 가지며, 상기 조정 부재는 상기 슬라이더의 위치를 조정할 수 있도록 상기 슬라이더에 연결되는, 전입/전출 메카니즘.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 가요성 링크는 텔레스코픽(telescopic)인, 전입/전출 메카니즘.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 V 자형 링크는 상기 대상과 접촉하는 단부에 동력 인가 롤러를 구비하고, 상기 동력 인가 롤러를 통해 상기 대상에 힘을 가하도록 구성되는, 전입/전출 메카니즘.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 동력 인가 롤러는 상기 대상에 부착된 홀더에 의해 지지되는, 전입/전출 메커니즘.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 조정 부재는 나사 및 제한 블록을 포함하고,
    상기 나사는 상기 슬라이더와 나사 결합되며, 상기 제한 블록은 상기 평판 스프링에 고정되며, 상기 나사는 상기 제한 블록내에 배열된 헤드를 갖고, 상기 나사는 상기 슬라이더의 위치를 변경하도록 조정되도록 구성되는, 전입/전출 메커니즘.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 휠 조립체는 브래킷, 휠, 모터 및 트랜스미션 기어를 포함하고,
    상기 휠은 상기 브래킷에 의해 상기 평판 스프링에 연결되며, 상기 트랜스미션 기어는 일 단에서 상기 휠에, 그리고 다른 단에서 상기 모터에 연결되며, 상기 모터는 상기 트랜스미션 기어에 의해 상기 휠을 구동하여 회전하도록 구성되는, 전입/전출 메커니즘.
  9. 포토 에칭 기계의 작업 스테이지와 함께 사용하도록 구성된 전입/전출 장치에 있어서,
    상부에 상기 작업 스테이지가 지지되는 하부 프레임;
    상기 하부 프레임의 하부 표면에 배열된 공기 스프링;
    역시 상기 하부 프레임의 하면에 배치된 공기 쿠션 장치; 및
    상기 하부 프레임과 접촉하는 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 전입/전출 메커니즘을 포함하는, 전입/전출 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    복수개의 전입/전출 메커니즘은 상기 하부 프레임의 하면 또는 측면에 쌍으로 그리고 대칭적으로 배치되는, 전입/전출 장치.
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