CN113126451A - 大理石精密工作台气浮顶升机构 - Google Patents

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周建军
吴杰
刘威
周琦
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70716—Stages

Abstract

本发明提供大理石精密工作台气浮顶升机构，涉及顶升机构领域。该大理石精密工作台气浮顶升机构，包括缸体，所述缸体的上端固定连接有顶盖，所述顶盖的上端固定连接有大理石平台，所述缸体的内部固定连接有活塞，所述活塞为三段阶梯式圆柱形，且内部为中空设置，所述活塞的下端固定连接有气浮垫，所述缸体和活塞之间的腔室构成第一气室，所述第一气室的内部设置有弹簧，所述缸体的侧壁固定连接有第一连接口，所述顶盖的内部且在活塞的上方的腔室构成第二气室，所述顶盖的侧壁固定连接有第二连接口。设置有第二气室，通过第二连接口泵入气体，实现机构的顶升，利于装置的维修，同时设置有第一气室，并配合弹簧，实现机构的复位。

Description

大理石精密工作台气浮顶升机构
技术领域
本发明涉及顶升机构技术领域，具体为大理石精密工作台气浮顶升机构。
背景技术
工作台部分是光刻机的核心部分，光刻机工件台主要是携带硅片或玻璃基板等工件在物镜下随掩模台保持同步运动，并完成精确的曝光工作。工作台运动平稳性对安装在其上的光学部件,精密传感器以及其他部件的定位精度有着一定的影响；因此,研制精密顶升气浮机构使工作台在维修时无接触、无振动移动是研发高精密光刻机的基础保证。
现有用于光刻机的工作平台，虽然具有在水平面上移动，但是并没有可以顶升的工作台。在工作平台进行检修、试验时，不能够保证检修、试验时造成工作平台的精度影响。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了大理石精密工作台气浮顶升机构，解决了现有光刻机工作平台缺少气浮顶升的功能，不利于工作平台的检修工作的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：大理石精密工作台气浮顶升机构，包括缸体，所述缸体的上端固定连接有顶盖，所述顶盖的上端固定连接有大理石平台，所述缸体的内部固定连接有活塞，所述活塞为三段阶梯式圆柱形，且内部为中空设置，所述活塞的下端固定连接有气浮垫，所述缸体和活塞之间的腔室构成第一气室，所述第一气室的内部设置有弹簧；
所述缸体的侧壁固定连接有第一连接口，所述第一连接口和第一气室连通，所述顶盖的内部且在活塞的上方的腔室构成第二气室，所述顶盖的侧壁固定连接有第二连接口，所述第二连接口和第二气室连通。
优选的，所述弹簧的上端抵住活塞的侧壁，所述弹簧的下端抵住缸体的内壁。
优选的，所述缸体的内壁依次固定连接有第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和活塞的下段侧壁接触，所述第二密封圈和活塞的中段侧壁接触。
优选的，所述活塞的上段侧壁固定连接有第三密封圈，所述第三密封圈和顶盖的内壁接触。
优选的，所述顶盖的内部固定连接有支撑环，所述支撑环的数量为三道。
优选的，所述顶盖的边缘等角度设置第一通孔，所述第一通孔处设置有第一螺栓，所述顶盖通过第一螺栓和大理石平台固定连接。
优选的，所述顶盖的边缘等角度设置第二通孔，且第二通孔向下贯穿，所述第二通孔处设置有第二螺栓，所述顶盖通过第二螺栓和缸体固定连接。
优选的，所述气浮垫的下端设置有第三螺栓，所述气浮垫通过第三螺栓和活塞固定连接。
工作原理：本发明可以分为自然状态和工作状态：
1、自然状态：活塞受弹簧的作用，活塞向上滑动，相对的缸体向下滑动，并将气浮垫收纳至缸体的内部；
2、工作状态：第一连接口为打开状态，第二连接口泵入气体并进入第二气室，第二气室中的气压增大，并将活塞向下推动滑行，即将气浮垫顶出，并且弹簧受力压缩，第一气室中的气体通过第一连接口排出，实现增加大理石平台的支撑高度，此时便可以对工作平台进行检修处理；第一连接口泵入气体并进入第一气室，第二连接口为打开的状态，第一气室的内部气压增大，并推动活塞向上滑动，并且在弹簧的作用下快速滑动，实现活塞快速动作，同时随着活塞的运动，第二气室中气体通过第二连接口排出，最后气浮垫收纳至缸体的内部，实现顶升机构的复位。
(三)有益效果
本发明提供了大理石精密工作台气浮顶升机构。具备以下有益效果：
1、本发明，在大理石平台的下端安装气浮顶升机构，通过向第二连接口泵入气体并进入第二气室，实现增加大理石平台的支撑高度，方便对工作平台进行检修处理，避免了在检修的工作中，造成工作台精度问题。
2、本发明，第一连接口泵入气体并进入第一气室，并且在弹簧的作用下快速滑动，实现活塞快速动作，顶升机构快速复位。
3、本发明，设置有弹簧，在自然状态下，弹簧推动活塞，实现顶升机构复位，气浮垫收纳至缸体的内部，减少空间的占用。
附图说明
图1为本发明的立体示意图；
图2为本发明的正面示意图；
图3为本发明的剖视示意图；
图4为本发明的顶盖底部示意图。
其中，1、缸体；2、顶盖；3、气浮垫；4、第一螺栓；5、第二螺栓；6、大理石平台；7、第一连接口；8、第二连接口；9、第一气室；10、第一密封圈；11、第三螺栓；12、活塞；13、弹簧；14、第二密封圈；15、第三密封圈；16、第二气室；17、支撑环；18、第一通孔；19、第二通孔。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例：
如图1-4所示，本发明实施例提供大理石精密工作台气浮顶升机构，包括缸体1，缸体1为圆柱体，缸体1的上端固定连接有顶盖2，相应的顶盖2的截面为圆形，顶盖2的上端固定连接有大理石平台6，为了方便展示，此处的大理石平台6为圆柱体，在实际的使用中，本发明气浮顶升机构可安装在不同形状下的大理石平台6，同时可以根据实际的需求设置安装的数量，缸体1的内部固定连接有活塞12，活塞12为三段阶梯式圆柱形，且内部为中空设置，可以减少活塞12的整体质量，方便转运使用，活塞12的下端固定连接有气浮垫3，气浮垫3的下端面和支撑的部件接触，缸体1和活塞12之间的腔室构成第一气室9，第一气室9的内部设置有弹簧13，弹簧13的上端抵住活塞12的侧壁，弹簧13的下端抵住缸体1的内壁，在自然的状态下，活塞12受弹簧13的作用，活塞12向上滑动，相对的缸体1向下滑动，并将气浮垫3收纳至缸体1的内部。
缸体1的侧壁固定连接有第一连接口7，第一连接口7和第一气室9连通，向第一连接口7泵入气体，第一气室9的内部气压增大，并推动活塞12向上滑动，并且在弹簧13的作用下快速滑动，实现活塞12快速动作，顶盖2的内部且在活塞12的上方的腔室构成第二气室16，顶盖2的侧壁固定连接有第二连接口8，第二连接口8和第二气室16连通，在第一连接口7泵入气体的同时，第二连接口8为打开的状态，并将第二气室16中气体排出，向第二连接口8泵入气体时，相应的第一连接口7为打开状态，并将第一气室9中的气体排出，同时第二气室16中的气压增大，并将活塞12向下推动滑行，即将气浮垫3顶出，并且弹簧13受力压缩，实现调节大理石平台6的支撑高度。
缸体1的内壁依次固定连接有第一密封圈10和第二密封圈14，第一密封圈10和活塞12的下段侧壁接触，第二密封圈14和活塞12的中段侧壁接触，活塞12的上段侧壁固定连接有第三密封圈15，第三密封圈15和顶盖2的内壁接触，在活塞12滑动的过程中，第一密封圈10、第二密封圈14和第三密封圈15均为活塞12提供密封处理，且采用橡胶或者硅胶材质，第一连接口7泵入气体时，第一密封圈10和第二密封圈14均为第一气室9密封，第三密封圈15为第二气室16提供密封。
顶盖2的内部固定连接有支撑环17，支撑环17的数量为三道，在自然状态下，活塞12的上端和支撑环17的下端接触，实现对顶盖2以及以上的部件进行支撑处理。
顶盖2的边缘等角度设置第一通孔18，第一通孔18处设置有第一螺栓4，顶盖2通过第一螺栓4和大理石平台6固定连接，顶盖2的边缘等角度设置第二通孔19，且第二通孔19向下贯穿，第二通孔19处设置有第二螺栓5，顶盖2通过第二螺栓5和缸体1固定连接，气浮垫3的下端设置有第三螺栓11，气浮垫3通过第三螺栓11和活塞12固定连接，第一螺栓4、第二螺栓5和第三螺栓11均采用内六角螺栓，同时在进行安装时，先进行顶盖2和大理石平台6之间的固定连接，或者活塞12放置于缸体1的内部后，在和气浮垫3进行固定连接，最后使用第二螺栓5实现顶盖2和缸体1之间的固定连接。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.大理石精密工作台气浮顶升机构，包括缸体(1)，其特征在于：所述缸体(1)的上端固定连接有顶盖(2)，所述顶盖(2)的上端固定连接有大理石平台(6)，所述缸体(1)的内部固定连接有活塞(12)，所述活塞(12)为三段阶梯式圆柱形，且内部为中空设置，所述活塞(12)的下端固定连接有气浮垫(3)，所述缸体(1)和活塞(12)之间的腔室构成第一气室(9)，所述第一气室(9)的内部设置有弹簧(13)；
所述缸体(1)的侧壁固定连接有第一连接口(7)，所述第一连接口(7)和第一气室(9)连通，所述顶盖(2)的内部且在活塞(12)的上方的腔室构成第二气室(16)，所述顶盖(2)的侧壁固定连接有第二连接口(8)，所述第二连接口(8)和第二气室(16)连通。
2.根据权利要求1所述的大理石精密工作台气浮顶升机构，其特征在于：所述弹簧(13)的上端抵住活塞(12)的侧壁，所述弹簧(13)的下端抵住缸体(1)的内壁。
3.根据权利要求1所述的大理石精密工作台气浮顶升机构，其特征在于：所述缸体(1)的内壁依次固定连接有第一密封圈(10)和第二密封圈(14)，所述第一密封圈(10)和活塞(12)的下段侧壁接触，所述第二密封圈(14)和活塞(12)的中段侧壁接触。
4.根据权利要求1所述的大理石精密工作台气浮顶升机构，其特征在于：所述活塞(12)的上段侧壁固定连接有第三密封圈(15)，所述第三密封圈(15)和顶盖(2)的内壁接触。
5.根据权利要求1所述的大理石精密工作台气浮顶升机构，其特征在于：所述顶盖(2)的内部固定连接有支撑环(17)，所述支撑环(17)的数量为三道。
6.根据权利要求1所述的大理石精密工作台气浮顶升机构，其特征在于：所述顶盖(2)的边缘等角度设置第一通孔(18)，所述第一通孔(18)处设置有第一螺栓(4)，所述顶盖(2)通过第一螺栓(4)和大理石平台(6)固定连接。
7.根据权利要求1所述的大理石精密工作台气浮顶升机构，其特征在于：所述顶盖(2)的边缘等角度设置第二通孔(19)，且第二通孔(19)向下贯穿，所述第二通孔(19)处设置有第二螺栓(5)，所述顶盖(2)通过第二螺栓(5)和缸体(1)固定连接。
8.根据权利要求1所述的大理石精密工作台气浮顶升机构，其特征在于：所述气浮垫(3)的下端设置有第三螺栓(11)，所述气浮垫(3)通过第三螺栓(11)和活塞(12)固定连接。
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