KR20200004566A - 고 엔트로피 합금 복합재 및 이의 제조방법 - Google Patents

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KR20200004566A KR1020180077572A KR20180077572A KR20200004566A KR 20200004566 A KR20200004566 A KR 20200004566A KR 1020180077572 A KR1020180077572 A KR 1020180077572A KR 20180077572 A KR20180077572 A KR 20180077572A KR 20200004566 A KR20200004566 A KR 20200004566A
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Abstract

본 발명은, 고 엔트로피 합금 복합재 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군에서 선택된 4종 이상의 기지상 원소를 포함하는 기지상; 및 상기 기지상 원소 중에서 선택된 1종 이상 및 실리콘(Si)을 포함하는 금속간화합물이 형성된 석출상; 을 포함하는, 고 엔트로피 합금 복합재 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

Description

고 엔트로피 합금 복합재 및 이의 제조방법{HIGH-ENTROPY BASED COMPOSITE AND ITS MANUFACTURING METHOD}
본 발명은, 고 엔트로피 합금 복합재 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
고 엔트로피 합금은 4개 이상의 원소가 거의 동일한 원자 분율(equiatomic)로 단상을 구성하는 금속 합금이다. 이러한 합금은 고 엔트로피 효과로 인하여 다성분 원소가 단순 고용체를 형성하며, 고용강화를 통해 우수한 강도를 나타내고, 고온 강도 및 내마모성이 우수하여 내열재료에 적용되고 있다.
항공 및 발전용 가스터빈 등의 열효율 향상을 위해서는 높은 온도의 가동 환경이 요구되며 이는 내열재료의 내구온도에 의해 결정된다. 기존 내열재료로 널리 사용되고 있는 니켈기 합금의 경우 다양한 제조 공정 개발(열차폐 코팅, 일방향 응고 등)을 통해 내구온도를 향상시키고 있으나, 니켈기 합금의 고유 특성(융점 약 1300 ℃)으로 인하여, 내구온도 향상의 한계에 다다른 상황이다.
이러한 니켈기 합금을 대체하기 위한 새로운 내열재료의 개발을 위해서, 내구온도 향상을 위해 융점이 높은 금속 원소인 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo) 및 니오븀(Nb) 등을 기지 상으로 하는 소재 개발이 이루어지고 있다. 니오븀(밀도 8.9g/cm3)을 제외한 원소의 경우 니켈(밀도 8.9g/cm3) 대비 상대적으로 밀도가(10.28~19.25g/cm3) 높기 때문에 경량화 및 비강도 측면에서 적합하지 않은 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은, 고온 강도 및 연성이 우수한 고 엔트로피 합금 복합재 및 이의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군에서 선택된 4종 이상의 기지상 원소를 포함하는 기지상; 및 상기 기지상 원소 중에서 선택된 1종 이상 및 실리콘(Si)을 포함하는 금속간화합물이 형성된 석출상; 을 포함하는, 고 엔트로피 합금 복합재에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 기지상 원소는, 각각, 고 엔트로피 합금 복합재에 대해 0 원자비% 초과 내지 35 원자비%로 포함되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 기지상 원소 중 니오븀(Nb) 대 다른 원소의 비율(원자비%)은, 1:1 내지 1.5:1인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 기지상은, 단일상인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 실리콘은, 고 엔트로피 합금 복합재에 대해 0 원자비% 초과 내지 20 원자비%로 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 석출상은, 상기 고 엔트로피 합금에 대해 0 부피% 초과 내지 60 부피%로 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 석출상의 직경은, 100 nm 이하의 크기를 갖는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 금속간화합물은, M5Si3, M3Si 또는 이 둘을 포함하고, 상기 M은 상기 기지상 원소에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 기지상 원소; 및 실리콘;을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계; 및 상기 혼합물을 합금화하는 단계;를 포함하는, 고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 혼합물을 형성하는 단계에서 상기 실리콘은, 0 원자비% 초과 내지 20 원자비%로 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 합금화하는 단계는, 상기 혼합물을 기계적 합금화하거나 또는 용해법으로 합금화하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 합금을 열처리하는 단계를 더 포함하고, 상기 열처리하는 단계는, 1000 ℃ 내지 1500 ℃ 온도에서 상기 합금을 열처리하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 열처리하는 단계는, 진공 분위기; 또는 비활성 가스 및 수소 중 1종 이상을 포함하는 가스 분위기;에서 열처리하는 것일 수 있다.
본 발명은, 니켈 대비 높은 융점을 갖는 원소를 포함하는 고 엔트로피 기지상을 형성함과 동시에 강화재로 금속-규소 금속간화합물을 구성하여, 고온 강도 및 비강도가 향상된 고 엔트로피 합금 복합재를 제공할 수 있다.
본 발명은, 기존의 초내열합금 대비 밀도를 낮으면서 고온 강도 및 연성을 개선시켜 내열재료의 적용 시 내구온도를 1200 ℃ 이상으로 향상시킬 수 있는 고 엔트로피 합금 복합재를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시예 1 내지 4 및 비교예 1에서 제조된 고 엔트로피 합금 복합재의 미세구조에 대한 SEM 이미지를 나타낸 것이다.
도 2는, 본 발명의 실시예 5 내지 8 및 비교예 2에서 제조된 고 엔트로피 합금 복합재의 미세구조에 대한 SEM 이미지를 나타낸 것이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명은, 고 엔트로피 합금 복합재에 관한 것으로, 고 엔트로피 기지상; 및 석출상;을 포함하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따라, 상기 고 엔트로피 합금 복합재는, 실리콘(Si)계 석출상의 적용으로 고온 강도 및 비강도를 개선시키고, 내구온도가 향상된 내열재료를 제공할 수 있다.
상기 고 엔트로피 기지상은, 단일상이며, 내구성 향상을 위해서 기지상 원소로 니켈(Ni) 대비 융점이 높은 금속 원소들을 포함할 수 있으며, 보다 구체적으로, 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군에서 선택된 4종 이상의 기지상 원소를 포함할 수 있다. 예를 들어, NbMoTiV, NbMoTiZr, NbMoVZr, NbTiVZr 및 NbMoTiVZr 등일 수 있다.
상기 기지상 원소는, 고 엔트로피 합금 복합재 전체에 대해 각각 0 원자비% 초과 내지 35 원자비%; 1원자비% 초과 내지 25 원자비%; 또는 1원자비% 초과 내지 20 원자비%로 포함되고, 상기 기지상 원소는 서로 동일하거나 또는 상이한 원자비%로 포함될 수 있다.
상기 고 엔트로피 기지상은, 실리콘과 고용도를 높이기 위해서 상기 기지상 원소 중 니오븀(Nb)은, 다른 기지상 원소에 비하여 동일하거나 더 높은 원자비%로 포함될 수 있으며, 예를 들어, 기지상 원소 중 니오븀(Nb) 대 다른 원소의 비율(원자비%)을 1:1 내지 1.5:1일 수 있다.
상기 석출상은, 강화재로 적용되고, 상기 고 엔트로피 기지상 내에서 금속간화합물의 석출상으로 형성되므로, 고 엔트로피 합금 복합재의 고온 강도를 향상시키고 이와 동시에 밀도를 낮춤으로써 비강도를 향상시킬 수 있다. 상기 금속간화합물은, 상기 기지상 원소 중에서 선택된 1종 이상 및 실리콘(Si)를 포함할 수 있고, 예를 들어, M5Si3 , M3Si(여기서, M은 기지상 원소 중 1종 이상을 포함할 수 있다.) 등일 수 있다.
상기 실리콘은, 상기 고 엔트로피 합금 복합재에 대해 0 원자비% 초과 내지 20 원자비%; 또는 1 원자비% 내지 18 원자비%; 또는 4 원자비% 내지 16 원자비%로 포함될 수 있고, 상기 범위를 벗어나면 실리콘에 의한 고온 강도의 향상 효과를 얻을 수 없고, 실리콘의 함량 증가에 따라 금속간화합물이 초정으로 형성되어 기지상이 연속적으로 분포할 수 없고, 금속간화합물의 양이 증가하여 고온 강도는 좋아지나 취성으로 인해 연성이 저하될 수 있다.
상기 석출상은, 1 nm 이상; 100 nm 이상; 1 um 이상; 1 um 내지 300 um; 1 um 내지 200 um; 1 um 내지 100 um; 또는 1 um 내지 70 um의 크기를 갖고, 미세 크기의 석출상은 기지상 내에서 균일하게 분포될 수 있다. 상기 크기는, 상기 석출상의 직경, 길이 또는 면적일 수 있다.
상기 고 엔트로피 합금 복합재는, 강화재 기능을 갖는 석출상으로 실리콘(Si) 및 상기 기지상 원소 중 1종 이상을 포함하는 탄화물, 질화물, 산화물 등을 더 포함할 수 있다.
상기 석출상은, 상기 고 엔트로피 합금에 대해 0 부피% 초과 내지 60 부피%; 0.001 부피% 내지 60 부피%; 또는 1 부피% 내지 55 부피%로 포함될 수 있으며, 상기 석출상의 함량 범위 내에 포함되면 기지상이 먼저 석출되어 기지상이 연속적인 형태를 유지할 수 있고, 고온 강도 및 비강도의 개선 효과를 제공할 수 있다.
본 발명은, 본 발명에 의한 고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법에 관한 것으로, 상기 고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법은, 기지상 원소; 및 실리콘;을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계; 및 상기 혼합물을 합금화하는 단계; 를 포함하고, 상기 합금을 열처리하는 단계; 를 더 포함할 수 있다. 상기 제조방법은, 니켈 대비 융점이 높은 기지상 원소를 일정한 비율로 적용하고, 고 엔트로피 기지상이 먼저 석출된 이후 기지상과 금속간화합물 공정 조직이 형성되어 성능이 개선된 고 엔트로피 합금 복합재를 제공할 수 있다.
상기 기지상 원소; 및 실리콘;을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계는, 상기 언급한 기지상 원소를 적용하고, 상기 실리콘은, 0 원자비% 초과 내지 20 원자비%로 첨가되어 혼합물을 형성할 수 있다.
상기 혼합물을 합금화하는 단계는, 상기 혼합물을 기계적 합금화하거나 또는 용해법으로 합금화할 수 있으며, 실리콘의 첨가에 따라 단상의 기지상이 초정으로 석출된 이후에 기지상과 금속간화합물(M5Si3, M3Si) 공정 조직이 형성될 수 있다.
상기 기계적 합금화는, 기계적 분말 혼합 장치를 이용할 수 있고, 바람직하게는, 고 에너지 볼 밀링 장치를 이용할 수 있으며, 예를 들어, 진동 밀, 유성 밀, 어트리션 밀 등을 이용할 수 있으며, 300 rpm 내지 800 rpm으로 1시간 내지 50시간 동안 수행될 수 있다.
상기 용해법은, 진공 아크 용해법(vacuum arc melting), 비소모전극식 아크 용해법, 소모전극식 아크 용해법, 전자빔 용해법(e-beam melting), 플라즈마빔 용해법, 진공 유도 용해법(vacuum induction melting), 유도 스컬 용해법(induction skull melting) 및 플라즈마 아크 용해법으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용할 수 있고, 바람직하게는 플라즈마 아크 용해법일 수 있다.
상기 열처리하는 단계는, 상기 합금 분말을 열처리하여 석출상의 미세화 및 균질 분산을 유도할 수 있으며, 1000 ℃ 이상; 1000 ℃ 내지 1500 ℃ 온도; 또는 1200 ℃ 내지 1500 ℃ 온도에서 상기 혼합물을 열처리하고, 진공 분위기; 또는 비활성 가스 및 수소 중 1종 이상을 포함하는 가스 분위기;에서 열처리하는 것일 수 있다.
(1) Nb 1 . 5 MoZrVTi - xSi의 합성
실시예 1: Nb 1 . 5 MoZrVTi - 4Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, Zr, V, Ti) 및 실리콘(4 원자%)을 플라즈마 아크 용해법을 이용하여 융점 이상의 온도에서 용해되어 잉곳을 형성하는 방식으로, Nb1.5MoZrVTi 합금 복합소재를 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 1내지 표 1에 나타내었다.
실시예 2: Nb 1 . 5 MoZrVTi - 8Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, Zr, V, Ti) 및 실리콘(8원자%)를 적용한 것 외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, Nb1 . 5MoZrVTi-8Si합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 1 내지 표 1에 나타내었다.
실시예 3: Nb 1 . 5 MoZrVTi - 12Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, Zr, V, Ti) 및 실리콘(12 원자%)를 적용한 것 외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, Nb1 . 5MoZrVTi-12Si합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 1 내지 표 1에 나타내었다.
실시예 4: Nb 1 . 5 MoZrVTi - 16Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, Zr, V, Ti) 및 실리콘(16원자%)를 적용한 것 외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, Nb1 . 5MoZrVTi-16Si합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 1 내지 표 1에 나타내었다.
(2) NbMoVTi - xSi의 합성
실시예 5: NbMoVTi - 4Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, V, Ti) 및 실리콘(4 원자%)를 적용한 것 외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, NbMoVTi-4Si 합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 2 내지 표 1에 나타내었다.
실시예 6: NbMoVTi - 8Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, V, Ti) 및 실리콘(8 원자%)를 적용한 것 외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, NbMoVTi-8Si 합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 2 내지 표 1에 나타내었다.
실시예 7: NbMoVTi - 12Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, V, Ti) 및 실리콘(12 원자%)를 적용한 것 외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, NbMoVTi-12Si 합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 2 내지 표 1에 나타내었다.
실시예 8: NbMoVTi - 16Si
합금 기지 원소(Nb, Mo, V, Ti) 및 실리콘(16원자%)를 적용한 것 외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, NbMoVTi-16Si 합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 2 내지 표 1에 나타내었다.
비교예 1: Nb 1 . 5 MoZrVTi
합금 기지 원소(Nb, Mo, Zr, V, Ti)를 적용한 것 외에는 실시예 2와 동일한 방법으로, Nb1 . 5MoZrVTi 합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 1 내지 표 1에 나타내었다.
비교예 2: NbMoVTi
합금 기지 원소(Nb, Mo, V, Ti)를 적용한 것 외에는 실시예 2와 동일한 방법으로, NbMoVTi 합금을 제조하였다. 제조된 합금의 SEM 이미지 및 고온 압축 강도(1200 ℃)를 측정하여 도 2 내지 표 1에 나타내었다.
조 성 항복 강도
(MPa)		 비강도
(MPa·cm3/g)		 연신율(%)
실시예 1 Nb1 . 5MoZrVTi-4Si 190.67±0.35 26.41±0.05 ≥ 30
실시예 2 Nb1 . 5MoZrVTi-8Si 235.07±8.27 32.96±1.16 ≥ 30
실시예 3 Nb1 . 5MoZrVTi-12Si 368.94±7.69 52.76±1.10 ≥ 30
실시예 4 Nb1 . 5MoZrVTi-16Si 508.67±16.08 73.91±2.34 ≥ 30
실시예 5 NbMoVTi-4Si 387.85±8.17 53.66±1.13 ≥ 30
실시예 6 NbMoVTi-8Si 453.79±5.97 63.08±0.83 ≥ 30
실시예 7 NbMoVTi-12Si 507.81±26.19 72.00±3.71 ≥ 30
실시예 8 NbMoVTi-16Si 601.79±5.04 86.78±0.73 ≥ 30
비교예 1 Nb1 . 5MoZrVTi 153.96±2.07 20.94±0.28 ≥ 30
비교예 2 NbMoVTi 390.25±6.48 53.12±0.88 ≥ 30
도 1을 살펴보면, 고 엔트로피 합금 복합재의 미세 구조에서 실리콘이 첨가되지 않은 경우에, 단상의 기지상 만 형성된 것을 확인할 수 있고, 실리콘의 첨가에 의해 금속간화합물에 의한 석출상이 형성된 것을 확인할 수 있다. 즉, 이는 실리콘의 첨가 시 단상의 기지상이 초정으로 석출된 이후에 기지상과 금속간화합물 공정 조직이 형성된 것이다.
표 1을 살펴보면, 고 엔트로피 합금 복합재의 고온 기계적 특성을 확인하기 위해 고온(1200 ℃) 압축 강도 시험의 결과를 나타낸 것으로, 실시예 1 내지 8의 고 엔트로피 합금 복합재는, 밀도를 고려한 비강도 측면에서 양호한 결과를 나타내고, 고온 강도 강화를 위해 실리콘을 최대 16 원자% 수준까지 첨가하더라도 연성의 저하 없이 고온 강도 및 비강도를 획기적으로 향상된 것으로 확인할 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.

Claims (13)

  1. 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군에서 선택된 4종 이상의 기지상 원소를 포함하는 기지상; 및
    상기 기지상 원소 중에서 선택된 1종 이상 및 실리콘(Si)을 포함하는 금속간화합물이 형성된 석출상; 을 포함하는, 고 엔트로피 합금 복합재.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기지상 원소는, 각각, 고 엔트로피 합금 복합재에 대해 0 원자비% 초과 내지 35 원자비%로 포함되는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기지상 원소 중 니오븀(Nb) 대 다른 원소의 비율(원자비%)은, 1:1 내지 1.5:1인 것인, 고 엔트로피 합금 복합재.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기지상은, 단일상인 것인, 고 엔트로피 합금 복합재.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 실리콘은, 고 엔트로피 합금 복합재에 대해 0 원자비% 초과 내지 20 원자비%로 포함하는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 석출상은, 상기 고 엔트로피 합금에 대해 0 부피% 초과 내지 60 부피%로 포함하는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 석출상은, 1 nm 이상의 크기를 갖는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 금속간화합물은, M5Si3, M3Si 또는 이 둘을 포함하고, 상기 M은 상기 기지상 원소에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재.
  9. 기지상 원소; 및 실리콘;을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계; 및
    상기 혼합물을 합금화하는 단계;
    를 포함하는,
    고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 혼합물을 형성하는 단계에서 상기 실리콘은, 0 원자비% 초과 내지 20 원자비%로 포함하는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 합금화하는 단계는, 상기 혼합물을 기계적 합금화하거나 또는 용해법으로 합급화하는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 합금을 열처리하는 단계;를 더 포함하고,
    상기 열처리하는 단계는, 1000 ℃ 내지 1500 ℃ 온도에서 상기 합금을 열처리하는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 열처리하는 단계는, 진공 분위기; 또는 비활성 가스 및 수소 중 1종 이상을 포함하는 가스 분위기;에서 열처리하는 것인, 고 엔트로피 합금 복합재의 제조방법.
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