KR20190122204A - 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스, 증착 장치, 증발된 재료의 증기압을 측정하기 위한 방법, 및 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법 - Google Patents

증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스, 증착 장치, 증발된 재료의 증기압을 측정하기 위한 방법, 및 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)가 설명된다. 증발 소스(100)는, 재료 증발을 위한 도가니(110); 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들(125)을 갖는 분배 조립체(120) ― 분배 조립체는 도가니와 유체 연통함 ―; 및 측정 조립체(130)를 포함한다. 측정 조립체는 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)을 압력 센서(145)와 연결하는 튜브(140)를 포함한다.

Description

증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스, 증착 장치, 증발된 재료의 증기압을 측정하기 위한 방법, 및 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(evaporation source)들에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은 증발된 재료, 특히 증발된 유기 재료의 증발 레이트(evaporation rate)를 결정하기 위한 측정 디바이스를 갖는 증발 소스들에 관한 것이다. 또한, 본 개시내용의 실시예들은 증발 소스 내의 증발된 재료의 증기압을 측정하는 방법들뿐만 아니라, 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하는 방법들에 관한 것이다. 또한, 본 개시내용의 실시예들은 증착 장치들, 특히 유기 발광 다이오드(OLED; organic light-emitting diode)들의 제조를 위한 진공 증착 장치들에 관한 것이다.
[0002] 유기 증발기들은 유기 발광 다이오드(OLED)들의 제조를 위한 툴(tool)이다. OLED들은 방출 층이 특정 유기 화합물들의 박막을 포함하는 특수한 유형의 발광 다이오드이다. 유기 발광 다이오드(OLED)들은 정보를 표시하기 위한 텔레비전 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 휴대폰들, 다른 핸드헬드형 디바이스(hand-held device)들 등의 제조에 사용된다. OLED들은 일반적인 공간 조명에도 사용될 수 있다. OLED 디스플레이들에 의해 가능한 색상들, 휘도 및 시야각의 범위는 전통적인 LCD 디스플레이들의 범위보다 크며, 이는 OLED 픽셀들이 광을 직접 방출하고 백라이트(back light)를 포함하지 않기 때문이다. 따라서, OLED 디스플레이들의 에너지 소비는 전통적인 LCD 디스플레이들의 에너지 소비보다 상당히 적다. 또한, OLED들이 가요성 기판들 상에 제조될 수 있다는 사실은 추가의 응용들을 야기한다.
[0003] OLED의 기능은 유기 재료의 코팅 두께에 의존한다. 이러한 두께는 사전결정된 범위 내에 있어야 한다. OLED들의 제조에 있어서, 유기 재료에 의한 코팅이 실행되는 증착 레이트는 사전결정된 허용오차 범위 내에 있도록 제어된다. 다시 말해서, 유기 증발기의 증착 레이트는 제조 프로세스에서 철저하게 제어되어야 한다.
[0004] 따라서, OLED 응용들뿐만 아니라 다른 증발 프로세스들에 대해서도, 비교적 장시간에 걸친 증발 레이트의 높은 정확성이 요구된다. 증발기들의 증발 레이트를 측정하는 데 이용 가능한 복수의 측정 시스템들이 있다. 그러나, 이들 측정 시스템들은 취급성, 신뢰성, 유지보수성, 정확성, 작동 시간에 걸친 충분한 안정성 및 비용 효율성과 관련하여 약간의 결점들을 보인다.
[0005] 따라서, 최신 기술의 적어도 일부 문제들을 극복하는, 증발 레이트를 측정하기 위한 개선된 측정 시스템들을 갖는 증발 소스들 및 증착 장치뿐만 아니라 증발 레이트를 측정하기 위한 개선된 방법들에 대한 요구가 계속되고 있다.
[0006] 상기에 비추어, 독립 청구항들에 따른, 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스, 재료를 기판에 도포하기 위한 증착 장치, 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법, 및 증발 소스 내의 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법이 제공된다. 다른 양상들, 이점들 및 특징들은 종속 청구항들, 상세한 설명 및 첨부 도면들로부터 명백하게 된다.
[0007] 본 개시내용의 일 양상에 따르면, 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스가 제공된다. 증발 소스는 재료 증발을 위한 도가니(crucible), 및 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 갖는 분배 조립체(distribution assembly)를 포함한다. 분배 조립체는 도가니와 유체 연통한다. 또한, 증발 소스는 분배 조립체의 내부 공간을 압력 센서와 연결하는 튜브를 포함하는 측정 조립체를 포함한다.
[0008] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 복수의 증발된 재료들을 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스가 제공된다. 증발 소스는 제1 재료의 증발을 위한 제1 도가니, 및 제1 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 갖는 제1 분배 조립체를 포함한다. 제1 분배 조립체는 제1 도가니와 유체 연통한다. 추가적으로, 증발 소스는 제2 재료의 증발을 위한 제2 도가니, 및 제2 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 갖는 제2 분배 조립체를 포함한다. 제2 분배 조립체는 제2 도가니와 유체 연통한다. 또한, 증발 소스는, 튜브 배열체(tube arrangement) 및 퍼지 가스 도입 배열체(purge gas introduction arrangement)를 포함하는 측정 조립체를 포함한다. 튜브 배열체는 제1 튜브 및 제2 튜브를 갖는다. 제1 튜브는 제1 분배 조립체의 제1 내부 공간을 압력 센서와 연결한다. 제2 튜브는 제2 분배 조립체의 제2 내부 공간을 압력 센서와 연결한다. 또한, 퍼지 가스 도입 배열체는 제1 튜브에 연결된 제1 퍼지 가스 도입 디바이스뿐만 아니라, 제2 튜브에 연결된 제2 퍼지 가스 도입 디바이스를 갖는다.
[0009] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스가 제공된다. 증발 소스는 재료 증발을 위한 도가니, 및 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 갖는 분배 조립체를 포함한다. 분배 조립체는 도가니와 유체 연통한다. 또한, 증발 소스는 도가니의 내부 공간을 압력 센서와 연결하는 튜브를 포함하는 측정 조립체를 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 재료를 기판에 도포하기 위한 증착 장치가 제공된다. 증착 장치는 진공 챔버(vacuum chamber) 및 진공 챔버 내에 제공된 증발 소스를 포함한다. 증발 소스는 도가니 및 분배 조립체를 포함한다. 또한, 증착 장치는 분배 조립체 내의 증기압을 측정하기 위한 측정 조립체를 포함한다. 측정 조립체는, 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 튜브를 포함한다. 튜브의 제1 단부는 분배 조립체의 내부 공간 내에 배열된다. 튜브의 제2 단부는 압력 센서에 연결된다.
[0011] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법이 제공된다. 증발 소스는 도가니 및 분배 조립체를 갖는다. 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법은 측정 조립체를 제공하는 단계를 포함한다. 측정 조립체는, 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 튜브를 포함한다. 추가적으로, 방법은 분배 조립체의 내부 공간 내에 제1 단부를 배열하는 단계 및 제2 단부를 압력 센서에 연결하는 단계를 포함한다. 또한, 방법은 재료를 증발시켜 증발된 재료를 제공하는 단계, 증발된 재료를 도가니로부터 분배 조립체 내로 안내하는 단계, 및 압력 센서를 사용하여, 튜브의 제2 단부에 제공된 압력을 측정하는 단계를 포함한다.
[0012] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 증발 소스 내의 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법이 제공된다. 증발 레이트를 결정하기 위한 방법은 증발 소스 내의 증발된 재료의 증기압을 측정하는 단계를 포함한다. 또한, 방법은 측정된 증기압으로부터 증발 레이트를 계산하는 단계를 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 증발 소스 내의 증기압 차이를 측정하는 방법이 제공된다. 증발 소스는 도가니 및 분배 조립체를 갖는다. 방법은 분배 조립체의 내부 공간을 제1 압력 센서와 연결하는 튜브를 포함하는 제1 측정 조립체를 제공하는 단계를 포함한다. 튜브는 분배 조립체의 내부 공간 내의 제1 위치에 제공된 튜브 개구(tube opening)를 갖는다. 추가적으로, 방법은 증발 소스의 내부 공간을 제2 압력 센서와 연결하는 추가 튜브를 포함하는 제2 측정 조립체를 제공하는 단계를 포함한다. 추가 튜브는 분배 조립체의 내부 공간 내의 제2 위치에 제공된 추가 튜브 개구를 갖는다. 대안적으로, 추가 튜브 개구는 도가니의 내부 공간 내의 제2 위치에 제공된다. 또한, 방법은 제1 압력 센서 및 제2 압력 센서를 사용하여 증발 소스의 증기압 차이를 측정하는 단계를 포함한다.
[0014] 실시예들은 또한 개시된 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이며, 각각의 설명된 방법 양상을 수행하기 위한 장치 부분들을 포함한다. 이들 방법 양상들은 하드웨어 구성요소들, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 2 가지의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 또한, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한 설명된 장치를 작동시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 설명된 장치를 작동시키기 위한 방법들은 장치의 모든 기능을 수행하기 위한 방법 양상들을 포함한다.
[0015] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 하기에서 설명된다:
도 1은 본원에 설명된 실시예들에 따른 증발 소스의 개략도를 도시하고;
도 2 내지 도 5 및 도 6a 내지 도 6d는 본원에 설명된 다른 실시예들에 따른 증발 소스들의 개략도들을 도시하고;
도 7은 본원에 설명된 다른 실시예들에 따른 증발 소스의 단면 상면도를 도시하고;
도 8a 및 도 8b는 본원에 설명된 실시예들에 따른 증착 장치의 개략도들을 도시하고;
도 9는 본원에 설명된 다른 실시예들에 따른 증착 장치의 개략도를 도시하고;
도 10a 및 도 10b는 본원에 설명된 실시예들에 따른, 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법을 예시하기 위한 흐름도들을 도시하고;
도 11은 본원에 설명된 실시예들에 따른, 증발 소스 내의 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법을 예시하기 위한 흐름도를 도시하고;
도 12는 본원에 설명된 실시예들에 따른 증발 소스 내의 증기압 차이를 측정하는 방법을 예시하기 위한 흐름도를 도시한다.
[0016] 이제 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세하게 참조될 것이며, 다양한 실시예들의 하나 이상의 예들이 도면들에 도시된다. 도면들의 하기의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 구성요소들을 지칭한다. 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로서 제공되며, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 또한, 일 실시예의 일부로서 도시되거나 설명되는 특징들은, 또 다른 추가적인 실시예를 산출하기 위해, 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용될 수 있다. 설명은 그러한 변경들 및 변형들을 포함하도록 의도된다.
[0017] 도 1을 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)가 설명된다. 본원에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증발 소스(100)는 재료 증발을 위한 도가니(110) 및 분배 조립체(120)를 포함한다. 예를 들어, 분배 조립체(120)는 분배 튜브 또는 분배 파이프일 수 있다. 분배 조립체(120)는 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 증발된 재료를 기판(10)에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들(125)을 포함한다. 예를 들어, 하나 이상의 배출구들은 노즐(nozzle)들일 수 있다. 또한, 분배 조립체(120)는 도가니와 유체 연통한다. 예를 들어, 분배 조립체는 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 연결 덕트(113)를 통해 도가니에 연결될 수 있다. 추가적으로, 증발 소스(100)는 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)을 압력 센서(145)에 연결하는 튜브(140)를 포함하는 측정 조립체(130)를 포함한다. 따라서, 유익하게는 압력 센서가 측정 조립체의 내부 공간 내의 증발된 재료의 증기압을 측정하는 데 사용될 수 있다. 증발 레이트가 분배 조립체 내의 증기압의 직접적인 함수이기 때문에, 측정 조립체(130)는 증발 레이트를 결정하는 데 사용될 수 있다. 따라서, 본원에 설명된 실시예들은 유익하게는 인-시튜(in situ)로 증기압 측정들을 수행하는 것 및 인-시튜로 증발 레이트를 결정하는 것을 제공한다.
[0018] 따라서, 본원에 설명된 바와 같은 증발 소스의 실시예들은 종래의 증발 소스들에 비해, 특히 증발 레이트를 결정하기 위한 측정 시스템에 대해 개선되어 있다. 보다 구체적으로는, 측정된 증기압으로부터 증발 레이트를 결정하도록 구성된 측정 조립체를 제공함으로써, 종래의 증발 레이트 측정 시스템들, 특히 수정 진동자 미소저울(QCM; quartz crystal microbalance)들의 하나 이상의 결점들이 극복될 수 있다. 예를 들어, 증발 레이트 측정들에 사용되는 수정 진동자 미소저울들은 취급성, 신뢰성, 유지보수성, 정확성, 작동 시간에 걸친 충분한 안정성 및 비용 효율성과 관련하여 약간의 결점들을 가질 수 있다. 증착 레이트를 측정하기 위해, QCM들은, 진동 결정 공진기(oscillation crystal resonator)의 주파수 변화를 측정함으로써 단위 면적당 진동 결정(oscillation crystal) 상의 증착 재료의 질량 변동을 측정하기 위한 진동 결정을 포함한다. 측정 정확성을 최적화하기 위해, QCM들은, 예를 들어 질소를 사용하는 가스 냉각에 의해 냉각될 필요가 있다. 따라서, QCM들을 사용하는 증착 레이트 측정 시스템들은 전형적으로 상당량의 질소를 필요로 한다. 또한, 진동 결정 상의 증착 재료는 정기적으로, 예를 들어 가열에 의해 제거될 필요가 있다. 더욱이, QCM들은 통합하기 어렵고 지속적인 작동/측정이 제한되어, 비용들을 증가시킬 수 있다. QCM들을 사용하는 증발 레이트들의 결정과 연관된 문제들은 본원에 설명된 바와 같은 증발 소스의 측정 조립체에 의해 적어도 부분적으로 또는 심지어 완전히 극복된다.
[0019] 본 개시내용의 다양한 다른 실시예들이 보다 상세하게 설명되기 전에, 본원에서 사용되는 일부 용어들에 대한 일부 양상들이 설명된다.
[0020] 본 개시내용에서, "증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스"는 기판 상에 증착될 증발된 재료를 제공하도록 구성된 디바이스 또는 조립체로서 이해될 수 있다. 따라서, 전형적으로 "증발 소스"는 증발된 재료를 기판 상에 증착하도록 구성된다. 특히, 증발 소스는 대면적 기판들 상에, 예를 들어 OLED 디스플레이 제조를 위한 유기 재료들을 증착하도록 구성될 수 있다.
[0021] 예를 들어, "대면적 기판"은 0.5 ㎡ 이상, 특히 1 ㎡ 이상의 면적을 갖는 메인 표면을 가질 수 있다. 일부 실시예들에서, 대면적 기판은 약 0.67 ㎡(0.73 × 0.92 m)의 기판에 대응하는 GEN 4.5, 약 1.4 ㎡(1.1 m × 1.3 m)의 기판에 대응하는 GEN 5, 약 4.29 ㎡(1.95 m × 2.2 m)의 기판에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.7 ㎡(2.2 m × 2.5 m)의 기판에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어 약 8.7 ㎡(2.85 m × 3.05 m)의 기판에 대응하는 GEN 10일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12와 같은 훨씬 더 큰 세대들 및 대응하는 기판 면적들도 유사하게 구현될 수 있다.
[0022] 본 개시내용에서, "기판"이라는 용어는 특히, 실질적으로 비가요성인 기판들, 예를 들어 웨이퍼(wafer), 사파이어(sapphire) 등과 같은 투명한 결정의 슬라이스(slice)들, 또는 유리판을 포괄할 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않으며, "기판"이라는 용어는 또한 웹(web) 또는 포일(foil)과 같은 가요성 기판들을 포괄할 수 있다. "실질적으로 비가요성"이라는 용어는 "가요성"과 구별되는 것으로 이해된다. 구체적으로, 실질적으로 비가요성인 기판은 특정 정도의 가요성, 예를 들어 0.5 ㎜ 이하의 두께를 갖는 유리판을 가질 수 있으며, 실질적으로 비가요성인 기판의 가요성은 가요성 기판들에 비하여 작다. 본원에 설명된 실시예들에 따르면, 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 제조될 수 있다. 예를 들어, 기판은, 유리(예를 들어, 소다-석회 유리, 붕규산 유리 등), 금속, 중합체, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들, 또는 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 제조될 수 있다.
[0023] 본 개시내용에서, "재료 증발을 위한 도가니"는 도가니 내에 제공된 재료를 증발시키도록 구성된 도가니로서 이해될 수 있다. "도가니"는 도가니를 가열함으로써 증발될 재료를 위한 저장소(reservoir)를 갖는 디바이스로서 이해될 수 있다. 따라서, "도가니"는 소스 재료의 증발 및 승화 중 적어도 하나에 의해 소스 재료를 가스로 기화시키도록 가열될 수 있는 소스 재료 저장소로서 이해될 수 있다. 전형적으로, 도가니는 도가니 내의 소스 재료를 가스상 소스 재료(gaseous source material)로 기화시키기 위한 히터(heater)를 포함한다. 예를 들어, 초기에, 증발될 재료는 분말 형태일 수 있다. 저장소는 증발될 소스 재료, 예를 들어 유기 재료를 수용하기 위한 내부 용적부를 가질 수 있다. 예를 들어, 도가니의 용적은 100 ㎤ 내지 3000 ㎤, 특히 700 ㎤ 내지 1700 ㎤, 보다 특별하게는 1200 ㎤일 수 있다. 특히, 도가니는 소스 재료가 증발하는 온도까지 도가니의 내부 용적부 내에 제공된 소스 재료를 가열하도록 구성된 가열 유닛(heating unit)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도가니는 유기 재료들, 예들 들어 약 100 ℃ 내지 약 600 ℃의 증발 온도를 갖는 유기 재료를 증발시키기 위한 도가니일 수 있다. 따라서, 본 개시내용에서, "증발된 재료"라는 용어는, 특히 OLED 제조에 적합한 증발된 유기 재료를 지칭할 수 있다.
[0024] 본 개시내용에서, "분배 조립체"는 증발된 재료, 특히 증발된 재료의 플룸(plume)을 분배 조립체로부터 기판으로 제공하도록 구성된 조립체로 이해될 수 있다. 예를 들어, 분배 조립체는 세장형 큐브(elongated cube)일 수 있는 분배 파이프를 포함할 수 있다. 예를 들어, 본원에 설명된 바와 같은 분배 파이프는 분배 파이프의 길이를 따라 적어도 하나의 라인 내에 배열된 복수의 개구들 및/또는 노즐들을 갖는 라인 소스(line source)를 제공할 수 있다. 예를 들어, 분배 조립체, 특히 분배 파이프는 티타늄으로 제조될 수 있다.
[0025] 따라서, 분배 조립체는, 예를 들어 내부에 배치된 복수의 개구들(또는 세장형 슬릿(elongated slit))을 갖는 선형 분배 샤워헤드(linear distribution showerhead)일 수 있다. 또한, 전형적으로, 분배 조립체는 증발된 재료가 예를 들어 증발 도가니로부터 기판으로 제공되거나 안내될 수 있는 인클로저(enclosure), 중공 공간 또는 파이프를 가질 수 있다. 본원에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 분배 파이프의 길이는 적어도, 증착될 기판의 높이에 대응할 수 있다. 특히, 분배 파이프의 길이는 증착될 기판의 높이보다 적어도 10% 또는 심지어 20%만큼 더 길 수 있다. 예를 들어, 분배 파이프의 길이는 1.3 m 이상, 예를 들어 2.5 m 이상일 수 있다. 따라서, 기판의 상단부 및/또는 기판의 하단부에 균일한 증착이 제공될 수 있다. 대안적인 구성에 따르면, 분배 조립체는 수직축을 따라 배열될 수 있는 하나 이상의 점 소스들을 포함할 수 있다.
[0026] 따라서, 본원에 설명된 바와 같은 "분배 조립체"는 본질적으로 수직으로 연장되는 라인 소스를 제공하도록 구성될 수 있다. 본 개시내용에서, "본질적으로 수직으로"라는 용어는, 특히 기판 배향을 언급할 때, 10° 이하의 수직 방향으로부터의 편차를 허용하는 것으로 이해된다. 수직 배향으로부터 약간의 편차를 갖는 기판 지지체가 보다 안정된 기판 위치를 야기할 수 있기 때문에 이러한 편차가 제공될 수 있다. 그래도, 유기 재료의 증착 동안의 기판 배향은 본질적으로 수직인 것으로 고려되며, 이는 수평 기판 배향과는 상이한 것으로 고려된다. 따라서, 기판들의 표면은 하나의 기판 치수에 대응하는 하나의 방향으로 연장되는 라인 소스 및 다른 기판 치수에 대응하는 다른 방향을 따르는 병진 이동에 의해 코팅될 수 있다.
[0027] 본 개시내용에서, "측정 조립체"는 측정, 특히 압력 측정을 수행하기 위한 측정 디바이스를 갖는 조립체로서 이해될 수 있다. 보다 구체적으로는, 전형적으로, 측정 조립체는, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같은 튜브(140)를 통해, 분배 조립체의 내부 공간과 연결된 압력 센서를 포함한다. 예를 들어, 튜브(140)는 1.0 ㎜ ≤ D ≤ 7.5 ㎜, 특히 D = 5 ㎜ ± 1 ㎜의 직경(D)을 가질 수 있다. 전형적으로, 측정 조립체의 튜브 직경(D)은 튜브 길이에 걸쳐 일정하다. 튜브의 길이(L)는 0.5 m ≤ L ≤ 2.0m, 예를 들어 L = 1.0 m ± 0.1 m일 수 있다. 측정 조립체(130)의 튜브(140)의 직경(D)은 도 3에 예시적으로 표시되어 있다.
[0028] "압력 센서"는 압력을 측정하도록 구성된 디바이스로서 이해될 수 있다. 예를 들어, 압력 센서는, 기계적 압력 센서, 용량성 압력 센서, 특히 용량성 다이어프램 게이지(CDG; capacitive diaphragm gauge), 및 열 전도/대류 진공 게이지(피라니 유형(pirani type))로 이루어진 그룹으로부터 선택된 압력 센서일 수 있다. 일 예에 따르면, 압력 센서는 고정밀 다이어프램 게이지일 수 있다. 고정밀 다이어프램 게이지는 유익하게는, 특히 전체 스케일(full scale)에서, 고정밀도, 고해상도, 높은 안정성 및 반복성을 갖는 측정치들을 제공한다.
[0029] 도 2에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 튜브(140)는 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)에 배열된 제1 부분(140A)을 포함한다. 추가적으로, 튜브(140)는 분배 조립체(120) 외부에 배열된 제2 부분(140B)을 포함한다. 따라서, 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)을 압력 센서(145)에 연결하는 튜브(140)는 분배 조립체측에서 가열될 수 있고, 압력 센서(145)측에서 실온으로 유지될 수 있다.
[0030] 전형적으로, 튜브의 제1 부분(140A)은 도 2에 예시적으로 도시된 바와 같이, 튜브 개구(146)를 포함한다. 보다 구체적으로는, 튜브 개구(146)는 튜브(140)의 제1 단부(148)에 제공될 수 있다. 또한, 도 2를 예시적으로 참조하면, 튜브(140)는 분배 조립체(120)의 상부 벽(123)을 통해 분배 조립체(120)에 진입하도록 배열될 수 있다. 대안적으로, 튜브(140)는 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 조립체(120)의 측벽(124)을 통해 분배 조립체(120)에 진입하도록 배열될 수 있다.
[0031] 도 2를 예시적으로 참조하면, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 측정 조립체(130)는 튜브(140)에 연결된 퍼지 가스 도입 디바이스(131)를 더 포함한다. 특히, 퍼지 가스 도입 디바이스(131)는 분배 조립체(120) 외부의 튜브(140)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 퍼지 가스 도입 디바이스(131)는 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 튜브의 제2 부분(140B)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로는, 퍼지 가스 도입 디바이스(131)는 튜브(140)의 제2 단부(149)에 근접한 튜브에 연결될 수 있다. 다시 말해서, 퍼지 가스 도입 디바이스(131)는 압력 센서(145)의 전방에서 튜브에 연결될 수 있다.
[0032] 본 개시내용에서, "퍼지 가스 도입 디바이스"는 퍼지 가스를 제공하도록 구성된 디바이스로서 이해될 수 있다. 특히, 퍼지 가스 도입 디바이스는 0.1 sccm ≤ Q' ≤ 1.0 sccm, 예를 들어 Q' = 0.5 sccm ± 0.05 sccm의 퍼지 가스 유동(Q')을 제공하도록 구성될 수 있다. 특히, 본원에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 퍼지 가스 도입 디바이스(131)는 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 질량 유동 제어기(135)를 포함할 수 있다. 전형적으로, 질량 유동 제어기(135)는 퍼지 가스 소스(purge gas source), 특히 불활성 가스 소스(136)에 연결된다. 예를 들어, 불활성 가스 소스(136)는 아르곤 가스 소스일 수 있다. 따라서, 질량 유동 제어기는 퍼지 가스 유동(Q')을 제어하도록 구성될 수 있다. 다시 말해서, 질량 유동 제어기는 선택된 퍼지 가스 유동의 일정한 퍼지 가스 유동(Q')을 제공하는 데 사용될 수 있다.
[0033] 따라서, 본원에 설명된 바와 같은 퍼지 가스 도입 디바이스를 제공하는 것은, 증발된 재료의 응축 및/또는 오염으로부터 압력 센서가 보호될 수 있도록 소량의 알려진 퍼지 가스 질량 유동, 예를 들어 아르곤과 같은 불활성 가스가 측정 조립체의 튜브(140) 내로 도입될 수 있는 이점을 갖는다. 또한, 퍼지 가스는 분배 조립체에 제공된 증발된 재료와 압력 센서 사이의 전달 매체로서 작용할 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0034] 측정 조립체의 튜브 내로 도입된 퍼지 가스가 증발 소스의 분배 조립체 내의 압력을 압력 센서에 의해 측정된 보다 높은 압력 레벨과 동기적으로 시프팅시킬 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 이와 관련하여, 특히 증발 소스의 분배 조립체 내부의 압력이 약 1 Pa(0.01 mbar)인 전형적인 경우에, 퍼지 가스로부터 기인하는 추가적인 압력의 영향이 무시 가능하도록, 퍼지 가스 도입 디바이스(131)에 의해 제공되는 일정한 퍼지 가스 유동(Q')은 비교적 낮고, 예를 들어 0.1 sccm ≤ Q' ≤ 1.0 sccm이라는 것에 주목해야 한다.
[0035] 또한, 본원에 설명된 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 퍼지 가스 도입 디바이스(131), 특히 질량 유동 제어기(135)는 퍼지 가스 유동을 주기적 방식으로 감소시키거나 정지시키도록 구성된다. 따라서, 측정 조립체(130)의 튜브(140) 내에서의 퍼지 가스 유동은 최소화될 수 있으며, 이는 최적의 측정 분해능을 달성하는 데 유익할 수 있다. 다시 말해서, 고압 센서 보호 및 중간 측정 분해능과 연관된 높은 퍼지 가스 유동과 보다 낮은 센서 보호 및 높은 측정 분해능과 연관된 낮은 퍼지 가스 유동 사이를 주기적으로 전환할 수 있는 퍼지 가스 도입 디바이스를 제공하는 것이, 정확성, 신뢰성, 작동 시간에 걸친 안정성 및 비용 효율성과 관련하여 측정 조립체의 작동을 최적화하는 데 유익할 수 있다.
[0036] 또한, 퍼지 가스 유동을 정지시키거나 퍼지 가스 유동을 높은 레벨로부터 더 낮은 레벨로 감소시키는 것은 전형적으로, 분배 조립체 내의 실제 증기압을 분석 및 외삽하는 데 또한 사용될 수 있는 펌프 다운 곡선(pump down curve)을 야기한다는 것이 이해되어야 한다. 특히, 측정 조립체의 튜브의 내부 용적은 비교적 작고(예를 들어, D = 5 ㎜의 직경 및 L = 1000 ㎜의 길이(L)를 갖는 튜브의 경우에 약 20 ㎤), 이는 유익하게는 예를 들어 10 초(<20 초)의 펌프 다운 시간을 야기한다는 것에 주목해야 한다. 따라서, 제1 압력(A)으로부터 제2 압력(B)으로 가는 시간이 또한 압력 표시기로서 사용될 수 있다. 도 1 내지 도 5를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같은 튜브(140), 또는 도 6a를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같은 튜브 배열체(144)에 작은 용적을 제공하는 것은 유익하게는, 예를 들어 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같은 제1 분배 조립체(120A), 제2 분배 조립체(120B) 및 제3 분배 조립체(120C)에서의 압력 측정들 사이의 빠른 압력 센서 사이클링(cycling)을 허용한다.
[0037] 도 3을 예시적으로 참조하면, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 튜브(140)는 분배 조립체(120)와 분배 조립체(120)의 히터(126) 사이의 공간(122) 내에 부분적으로 배열될 수 있다. 보다 구체적으로는, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 튜브(140)의 제3 부분(140C)은 분배 조립체(120)와 분배 조립체(120)의 히터(126) 사이의 공간(122) 내에 배열될 수 있다. 전형적으로, 튜브(140)의 제3 부분(140C)은 제1 부분(140A)과 제2 부분(140B) 사이에 제공된다. 전형적으로, 히터(126)는 분배 조립체, 특히 분배 조립체의 벽들을 가열하도록 제공된다. 예를 들어, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 히터는 분배 조립체의 벽들의 외부 표면들에 대해 소정 거리에 제공될 수 있다. 따라서, 분배 조립체는 증발 도가니에 의해 제공된 증발된 재료가 분배 조립체의 벽의 내부 부분에서 응축되지 않도록 하는 온도로 가열될 수 있다.
[0038] 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 측정 조립체(130)는 가열 배열체(134)를 더 포함할 수 있다. 특히, 가열 배열체(134)는 튜브(140) 주위에 적어도 부분적으로 배열될 수 있다. 전형적으로, 가열 배열체(134)는 이용되는 소스 재료의 증발 온도로 튜브를 가열하도록 구성된다. 따라서, 유익하게는, 측정 조립체의 튜브(140) 내부에서의 증발된 재료의 응축이 회피될 수 있다.
[0039] 도 5를 예시적으로 참조하면, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 가열 배열체(134)는 압력 센서(145) 주위에 제공될 수 있다. 특히, 가열 배열체(134)는 압력 센서(145)뿐만 아니라 분배 조립체 외부에 배열된 튜브(140) 전체를 가열하도록 배열될 수 있다. 선택적으로, 도 5에 도시된 바와 같은 퍼지 가스 도입 디바이스(131)가 제공될 수 있다.
[0040] 도 6a를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 복수의 증발된 재료들을 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)가 설명된다. 복수의 증발된 재료들을 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스는 2 개 이상의 상이한 증발된 재료들을 기판 상에 증착하도록 구성된 증발 소스로서 이해될 수 있다. 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 복수의 증발된 재료들을 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)는 제1 재료의 증발을 위한 제1 도가니(110A) 및 제1 분배 조립체(120A)를 포함한다. 제1 분배 조립체(120A)는 제1 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 포함한다. 제1 분배 조립체(120A)는 제1 도가니(110A)와 유체 연통한다. 또한, 증발 소스(100)는 제2 재료의 증발을 위한 제2 도가니(110B) 및 제2 분배 조립체(120B)를 포함한다. 제2 분배 조립체(120B)는 제2 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 포함한다. 제2 분배 조립체(120B)는 제2 도가니(110B)와 유체 연통한다.
[0041] 또한, 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 복수의 증발된 재료들을 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)는 제3 재료의 증발을 위한 제3 도가니(110C) 및 제3 분배 조립체(120C)를 포함할 수 있다. 제3 분배 조립체(120C)는 제3 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 포함한다. 제3 분배 조립체(120C)는 제3 도가니(110C)와 유체 연통한다. 3 개의 분배 조립체들을 갖는 증발 소스는 또한 도 7을 참조하여 보다 상세하게 설명되는 삼중 증발 소스로 지칭될 수도 있다.
[0042] 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 실시예들의 특징들이, 필요한 변경을 가하여(mutatis mutandis), 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같은 복수의 증발된 재료들의 증착을 위한 증발 소스에 적용될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0043] 추가적으로, 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 복수의 증발된 재료들을 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)는 튜브 배열체(144) 및 퍼지 가스 도입 배열체를 포함하는 측정 조립체(130)를 포함한다. 튜브 배열체(144)는 제1 튜브(141) 및 제2 튜브(142)를 포함한다. 추가적으로, 튜브 배열체(144)는 제3 튜브(143)를 포함할 수도 있다. 제1 튜브(141)는 제1 분배 조립체(120A)의 제1 내부 공간(121A)을 압력 센서(145)와 연결한다. 제2 튜브(142)는 제2 분배 조립체(120B)의 제2 내부 공간(121B)을 압력 센서(145)와 연결한다. 추가적으로, 제3 튜브(143)는 전형적으로 제3 분배 조립체(120C)의 제3 내부 공간(121C)을 압력 센서(145)와 연결한다. 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 연결 튜브(147)는 제1 튜브(141), 제2 튜브(142) 및 제3 튜브(143)를 압력 센서(145)에 연결할 수 있다. 따라서, 유익하게는, 압력 센서(145)는 다수의 분배 조립체들, 예를 들어 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같은 분배 조립체들에 연결될 수 있다.
[0044] 또한, 도 6a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 퍼지 가스 도입 배열체는 제1 튜브(141)에 연결된 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A)를 포함할 수 있다. 추가적으로, 퍼지 가스 도입 배열체는 제2 튜브(142)에 연결된 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B)를 포함할 수 있다. 또한, 퍼지 가스 도입 배열체는 제3 튜브(143)에 연결된 제3 퍼지 가스 도입 디바이스(131C)를 포함할 수 있다.
[0045] 퍼지 가스 도입 디바이스(131)와 관련하여, 예를 들어 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 특징들이, 필요한 변경을 가하여, 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A), 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B) 및 제3 퍼지 가스 도입 디바이스(131C)에 적용될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A)는 제1 질량 유동 제어기(135A)를 포함할 수 있고, 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B)는 제2 질량 유동 제어기(135B)를 포함할 수 있으며, 제3 퍼지 가스 도입 디바이스(131C)는 제3 질량 유동 제어기(135C)를 포함할 수 있다. 제1 질량 유동 제어기(135A)는 제1 퍼지 가스 소스, 특히 제1 불활성 가스 소스(136A)에 연결될 수 있다. 제2 질량 유동 제어기(135B)는 제2 퍼지 가스 소스, 특히 제2 불활성 가스 소스(136B)에 연결될 수 있다. 제3 질량 유동 제어기(135C)는 제3 퍼지 가스 소스, 특히 제3 불활성 가스 소스(136C)에 연결될 수 있다. 명백하게 도시되지는 않았지만, 대안적으로, 제1 질량 유동 제어기(135A), 제2 질량 유동 제어기(135B) 및 제3 질량 유동 제어기(135C)가 공통의 퍼지 가스 소스에 연결될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0046] 도 6a를 예시적으로 참조하면, 일부 실시예들에 따르면, 제1 튜브(141)에, 특히 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A)와 연결 튜브(147) 사이에 제1 밸브(151)가 제공될 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 제2 튜브(142)에, 특히 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B)와 연결 튜브(147) 사이에 제2 밸브(152)가 제공될 수 있다. 또한, 추가적으로 또는 대안적으로, 제3 튜브(143)에, 특히 제3 퍼지 가스 도입 디바이스(131C)와 연결 튜브(147) 사이에 제3 밸브(153)가 제공될 수 있다.
[0047] 밸브들(예를 들어, 제1 밸브(151), 제2 밸브(152), 및 제3 밸브(153))을 제공하는 것은 개별 분배 조립체들 내의 압력이 개별적으로 측정될 수 있는 이점을 갖는다. 예를 들어, 개별 분배 조립체들 내의 압력은 연이어서, 즉, 사이클링 측정 시퀀스로 측정될 수 있다.
[0048] 또한, 별도의 퍼지 가스 도입 디바이스들(예를 들어, 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A), 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B) 및 제3 퍼지 가스 도입 디바이스(131C))을 제공하는 것은 각각의 튜브(즉, 제1 튜브(141), 제2 튜브(142) 및 제3 튜브(143)) 내의 퍼지 가스 유동이 최적의 측정 조건들을 제공하도록 개별적으로 설정될 수 있는 이점을 갖는다. 예를 들어, 복수의 분배 조립체들의 선택된 분배 조립체 내부의 압력을 측정하기 위해, 선택된 분배 조립체를 압력 센서와 연결하는 튜브 내의 퍼지 가스 유동은 다른 튜브들 내의 퍼지 가스 유동보다 낮게 설정될 수 있다. 따라서, 유익하게는, 다른 튜브들 내에서의 오염 및/또는 응축이 회피될 수 있다. 결과적으로, 유익하게는, 하나의 단일 압력 센서가, 예를 들어 측정될 연결된 분배 조립체에서 낮은 퍼지 유동을 사용하여, 사이클 또는 주기적 방식으로 개별 분배 조립체들에 연결될 수 있는 한편, 다른 연결되지 않은 분배 조립체에 대해서는, 보다 높고 보다 보호적인 퍼지 가스 유동이 사용될 수 있다.
[0049] 도 7은 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 다른 실시예들에 따른 증발 소스의 단면 상면도를 도시하고 있다. 특히, 도 7은 3 개의 분배 조립체들, 예를 들어 3 개의 분배 파이프들을 갖는, 삼중 증발 소스로도 지칭되는 증발 소스의 일 예를 도시하고 있다. 따라서, 삼중 증발 소스는 제1 분배 조립체(120A), 제2 분배 조립체(120B) 및 제3 분배 조립체(120C)를 갖는 증발 소스로서 이해될 수 있다. 특히, 삼중 증발 소스의 3 개의 분배 조립체들 및 대응하는 도가니들이 나란히 제공될 수 있다. 따라서, 유익하게는, 삼중 증발 소스는, 예를 들어 하나 초과의 종류의 재료, 예컨대 3 개의 상이한 재료들이 동시에 증발될 수 있는 증발 소스 어레이(evaporation source array)를 제공할 수 있다.
[0050] 도 7을 예시적으로 참조하면, 본원에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 분배 조립체(120)는 분배 파이프의 길이에 수직인 비원형 단면을 갖는 분배 파이프로서 구성될 수 있다. 예를 들어, 분배 파이프의 길이에 수직인 단면은 삼각형으로서 둥근 코너들 및/또는 컷오프 코너(cut-off corner)들을 갖는 삼각형일 수 있다. 특히, 도 7은 제1 분배 파이프로서 구성된 제1 분배 조립체(120A), 제2 분배 파이프로서 구성된 제2 분배 조립체(120B) 및 제3 분배 파이프로서 구성된 제3 분배 조립체(120C)를 도시하고 있다. 제1 분배 파이프, 제2 분배 파이프 및 제3 분배 파이프는 분배 파이프들의 길이에 수직인 실질적으로 삼각형 단면을 갖는다. 본원에 설명된 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 각각의 분배 조립체는 도 6a를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 각각의 도가니와 유체 연통한다.
[0051] 도 7에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에 설명된 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 증발기 제어 하우징(180)은 본원에 설명된 바와 같은 분배 조립체(120)에 인접하게 제공될 수 있다. 전형적으로, 증발기 제어 하우징은 증발기 제어 하우징 내부에 대기압을 제공 및 유지하도록 구성된다. 따라서, 도 7에 예시적으로 도시된 바와 같이, 증발기 제어 하우징은 본원에 설명된 바와 같은 압력 센서(145)를 하우징하도록 구성될 수 있다. 또한, 증발기 제어 하우징은, 스위치, 밸브, 제어기, 냉각 유닛, 냉각 제어 유닛, 가열 제어 유닛, 전원 공급장치 및 측정 디바이스로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 다른 구성요소들 또는 디바이스들을 하우징하도록 구성될 수 있다.
[0052] 도 7에 명확하게 도시되지는 않았지만, 도 7에 도시된 예시적인 실시예에서, 퍼지 가스 도입 디바이스들 및 밸브들, 예를 들어 도 6a를 참조하여 설명된 바와 같은 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A), 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B), 제3 퍼지 가스 도입 디바이스(131C), 제1 밸브(151), 제2 밸브(152) 및 제3 밸브(153)가 제공될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0053] 본원에 기재된 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 분배 조립체, 특히 분배 파이프는 분배 조립체 내부에 제공된 가열 요소들에 의해 가열될 수 있다. 가열 요소들은 내부 튜브들에 클램핑(clamping)되거나 다른 방식으로 고정된 가열 와이어들, 예를 들어 코팅된 가열 와이어들에 의해 제공될 수 있는 전기 히터들일 수 있다. 또한, 도 7을 예시적으로 참조하면, 냉각 차폐부(cooling shield)(138)가 제공될 수 있다. 냉각 차폐부(138)는, 증착 영역, 즉, 기판 및/또는 마스크(mask)로 향하는 열 방사를 감소시키기 위해 U 자형 냉각 차폐부가 제공되도록 배열된 측벽들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 냉각 차폐부는, 물과 같은 냉각 유체를 위한 도관들이 부착되거나 내부에 제공된 금속판들로서 제공될 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 열전기 냉각 디바이스들 또는 다른 냉각 디바이스들이 냉각 차폐부들을 냉각시키도록 제공될 수 있다. 전형적으로, 외부 차폐부들, 즉, 분배 파이프의 내부 중공 공간을 둘러싸는 최외부 차폐부들이 냉각될 수 있다.
[0054] 도 7에서는, 예시적 목적들을 위해, 분배 조립체들의 배출구들을 빠져나가는 증발된 소스 재료가 화살표로 표시되어 있다. 본질적으로 삼각형 형상의 분배 조립체들로 인해, 3 개의 분배 조립체들로부터 기원하는 증발 콘(evaporation cone)들은 서로 매우 근접하여 있다. 따라서, 유익하게는, 상이한 분배 조립체들로부터의 소스 재료의 혼합이 개선될 수 있다. 특히, 분배 파이프들의 단면의 형상은 이웃하는 분배 파이프들의 배출구들 또는 노즐들을 서로 근접하게 배치시킬 수 있게 한다. 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 분배 조립체들의 제1 배출구 또는 노즐 및 제2 분배 조립체들의 제2 배출구 또는 노즐은 50 ㎜ 이하, 예를 들어 30 ㎜ 이하, 또는 25 ㎜ 이하, 예컨대 5 ㎜ 내지 25 ㎜의 거리를 가질 수 있다. 보다 구체적으로는, 제2 배출구 또는 노즐에 대한 제1 배출구 또는 노즐의 거리는 10 ㎜ 이하일 수 있다.
[0055] 도 7에 추가로 도시된 바와 같이, 차폐 디바이스, 특히 셰이퍼 차폐 디바이스(shaper shielding device)(137)가 냉각 차폐부(138)에 제공(예를 들어, 부착됨)되거나, 냉각 차폐부의 일부로서 제공될 수 있다. 셰이퍼 차폐부들을 제공함으로써, 배출구들을 통해 분배 파이프 또는 파이프들을 빠져나가는 증기의 방향이 제어될 수 있는데, 즉, 증기 방출 각도가 감소될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 배출구들 또는 노즐들을 통해 제공된 증발된 재료의 적어도 일부분은 셰이퍼 차폐부에 의해 차단된다. 따라서, 유익하게는 방출 각도의 폭이 제어될 수 있다.
[0056] 도 6b를 예시적으로 참조하면, 다른 실시예에 따른, 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)가 설명된다. 본원에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증발 소스(100)는 재료 증발을 위한 도가니(110), 및 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들(125)을 갖는 분배 조립체(120)를 포함한다. 분배 조립체는 도가니와 유체 연통한다. 또한, 증발 소스(100)는 도가니(110)의 내부 공간(111)을 압력 센서(145)와 연결하는 튜브(140)를 포함하는 측정 조립체(130)를 포함한다. 특히, 튜브(140)는 전형적으로 도가니(110)의 내부 공간(111)에 제공된 튜브 개구(146)를 갖는다. 보다 구체적으로, 튜브 개구(146)는 도가니(110)의 내부 공간(111)의 상측 부분에 배열될 수 있다.
[0057] 도 1 내지 도 6a에 도시된 예시적인 실시예들과 함께 설명된 특징들이, 필요한 변경을 가하여, 도 6b에 도시된 실시예에 적용될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0058] 따라서, 도 6b에 도시된 바와 같은 예시적인 실시예는, 인-시튜로 증기압 측정들을 수행하고 증발 레이트를 결정하기 위한 측정 시스템을 갖는 증발 소스의 대안적인 구성을 나타낸다.
[0059] 도 6c를 예시적으로 참조하면, 다른 실시예에 따른, 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)가 설명된다. 본원에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증발 소스(100)는 재료 증발을 위한 도가니(110), 및 증발된 재료를 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들(125)을 갖는 분배 조립체(120)를 포함한다. 분배 조립체는 도가니와 유체 연통한다. 또한, 증발 소스(100)는 제1 측정 조립체(130A) 및 제2 측정 조립체(130B)를 포함한다. 제1 측정 조립체(130A)는 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)을 제1 압력 센서(145A)와 연결하는 튜브(140)를 포함한다. 튜브(140)는 분배 조립체(120)의 내부 공간(121) 내의 제1 위치(P1)에 제공된 튜브 개구(146)를 갖는다. 특히, 튜브 개구(146)의 제1 위치(P1)는 도 6c에 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 조립체의 상측 부분에 있을 수 있다. 제2 측정 조립체(130B)는 증발 소스의 내부 공간을 제2 압력 센서(145B)와 연결하는 추가 튜브(140D)를 포함한다. 추가 튜브(140D)는 분배 조립체의 내부 공간(121) 내의 제2 위치(P2)에 제공된 추가 튜브 개구(146B)를 갖는다. 예를 들어, 추가 튜브 개구(146B)의 제2 위치(P2)는 도 6c에 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 조립체의 하측 부분에 있을 수 있다. 대안적으로, 추가 튜브 개구(146B)는 도 6b를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 도가니(110)의 내부 공간(111) 내의 제2 위치(P2)에 제공될 수 있다.
[0060] 따라서, 도 6c에 도시된 바와 같은 예시적인 실시예는 유익하게는, 증발 소스 내의, 특히 증발 소스의 내부 공간 내의 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 사이의 증기압 차이를 측정하는 능력을 제공한다. 전형적으로, 제1 위치(P1)는 증발 소스의 상측 부분, 특히 분배 조립체의 내부 공간의 상측 부분에 있는 위치이다. 제2 위치(P2)는 전형적으로 증발 소스의 하측 부분에 있는 위치, 예를 들어 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)의 하측 부분에 있는 위치 또는 도가니(110)의 내부 공간(111)의 상측 부분에 있는 위치이다.
[0061] 따라서, 도 6c에 예시적으로 도시된 실시예는 유익하게는, 증발 소스 내의 증기압 차이를 측정하는 방법을 수행하도록 구성된다. 예컨대 노즐 직경들(전체 노즐 컨덕턴스(total nozzle conductance))과 관련하여, 예를 들어 분배 조립체 내의 증기압 차이를 측정하는 것은 특히 매우 낮은 증발/코팅 레이트들의 경우, 증발 조건들을 최적화하는 데 특히 유익할 수 있다.
[0062] 도 1 내지 도 6b에 도시된 예시적인 실시예들과 함께 설명된 특징들이, 필요한 변경을 가하여, 도 6c에 도시된 실시예에 적용될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 특히, 제2 압력 센서를 사용하는 대신에, 추가 튜브(140D)가 제1 압력 센서(145A)에 연결될 수 있고, 본원에 설명된 바와 같은 퍼지 가스 도입 디바이스가 튜브(140) 및 추가 튜브(140D)에 연결될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 예를 들어, 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A) 및/또는 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B)가 도 6d에 예시적으로 도시된 바와 같이 제공될 수 있다. 또한, 제1 밸브(151)가 튜브에 제공될 수 있고, 그리고/또는 제2 밸브(152)가 추가 튜브(140D)에 제공될 수 있다.
[0063] 도 12에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 도가니(110) 및 분배 조립체(120)를 갖는 증발 소스(100) 내의 증기압 차이를 측정하는 방법(500)이 설명된다. 방법은 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)을 제1 압력 센서(145A)와 연결하는 튜브(140)를 포함하는 제1 측정 조립체(130A)를 제공하는 단계(도 12에서 블록(510)으로 나타냄)를 포함한다. 튜브(140)는 도 6c에 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 조립체(120)의 내부 공간(121) 내의 제1 위치(P1)에 제공된 튜브 개구(146)를 갖는다. 또한, 방법은 증발 소스의 내부 공간을 제2 압력 센서(145B)와 연결하는 추가 튜브(140D)를 포함하는 제2 측정 조립체(130B)를 제공하는 단계(도 12에서 블록(520)으로 나타냄)를 포함한다. 추가 튜브(140D)는 도 6c에 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 조립체(120)의 내부 공간(121) 내의 제2 위치(P2)에 제공된 추가 튜브 개구(146B)를 갖는다. 대안적으로, 추가 튜브 개구(146B)는 도 6b를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 도가니(110)의 내부 공간(111) 내의 제2 위치(P2)에 제공될 수 있다. 또한, 방법은 제1 압력 센서(145A) 및 제2 압력 센서(145B)를 사용하여 증발 소스 내의 증기압 차이를 측정하는 단계(도 12에서 블록(530)으로 나타냄)를 포함한다. 대안적으로, 제1 압력 센서(145A) 및 제2 압력 센서(145B)를 사용하는 대신에, 특히 도 6d에 예시적으로 도시된 바와 같은 측정 조립체를 갖는 증발 소스를 이용하는 경우, 단일의 압력 센서(예를 들어, 제1 압력 센서(145A))가 증발 소스 내의 증기압 차이를 측정하는 데 사용될 수 있다.
[0064] 도 8a 및 도 8b를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용의 실시예들에 따른 증착 장치가 설명된다. 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증착 장치는 진공 챔버(210) 및 진공 챔버(210) 내에 제공된 증발 소스(100)를 포함한다. 증발 소스(100)는 도가니(110) 및 분배 조립체(120)를 포함한다. 특히, 진공 챔버(210) 내에 제공된 증발 소스(100)는 본원에 설명된 임의의 실시예들에 따른 증발 소스(100), 예를 들어 도 1 내지 도 7을 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같은 증발 소스일 수 있다. 또한, 도 8a 및 도 8b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 조립체 내의 증기압을 측정하기 위한 측정 조립체(130)가 제공된다. 측정 조립체는, 제1 단부(148) 및 제2 단부(149)를 갖는 튜브(140)를 포함한다. 튜브(140)의 제1 단부(148)는 분배 조립체(120)의 내부 공간(121) 내에 배열된다. 튜브(140)의 제2 단부(149)는 압력 센서(145)에 연결된다. 특히, 압력 센서는 대기 공간에 제공될 수 있다.
[0065] 예를 들어, 압력 센서(145)가 제공될 수 있는 대기 공간은 도 8a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 진공 챔버(210) 외부에 제공된 공간일 수 있다. 압력 센서(145)가 진공 챔버(210) 외부에 제공되는 구성은, 증발 소스의 위치가 진공 챔버에 대해 고정되는 경우에, 즉, 기판이 증착 프로세스 동안에 증발 소스에 대해 이동되는 구성에 특히 유익할 수 있다. 대안적으로, 대기 공간은 도 8b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 진공 챔버(210) 내부에 제공된 대기 박스(atmospheric box)(190) 또는 대기 용기에 의해 제공될 수 있다. 예를 들어, 대기 박스(190)는 도 7에 예시적으로 도시된 바와 같이 분배 조립체(120)에 연결될 수 있으며, 이는 증발 소스가 증착 프로세스 동안에 기판에 대해 이동되는 구성들에 유익할 수 있다. "대기 공간"은 대기압을 갖는 공간으로 이해될 수 있다. 따라서, 대기 박스 또는 대기 용기는 대기 박스 또는 대기 용기 내부에 대기압을 유지하도록 구성된 박스 또는 용기, 즉, 폐쇄 공간으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 대기 공간은 도 7에 예시적으로 도시된 바와 같이, 증발기 제어 하우징(180)에 의해 제공될 수 있다. 따라서, 증발기 제어 하우징(180)은 대기 박스(190) 또는 대기 용기로서 사용될 수 있다.
[0066] 본 개시내용에서, "진공"이라는 용어는 예를 들어 10 mbar 미만의 진공 압력을 갖는 기술적 진공의 의미로 이해될 수 있다. 전형적으로, 본원에 설명된 바와 같은 진공 챔버 내의 압력은 10-5 mbar 내지 약 10-8 mbar, 보다 전형적으로는 10-5 mbar 내지 약 10-7 mbar, 훨씬 더 전형적으로는 약 10-6 mbar 내지 약 10-7 mbar일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 진공 챔버 내의 압력은 진공 챔버 내의 증발된 재료의 부분 압력 또는 전체 압력(증발된 재료만이 진공 챔버 내에 증착될 성분으로 존재하는 경우에 대략 동일할 수 있음)인 것으로 고려될 수 있다. 일부 실시예들에서, 진공 챔버 내의 전체 압력은, 특히 증발된 재료 이외의 제2 성분(예컨대, 가스 등)이 진공 챔버 내에 존재하는 경우에, 약 10-4 mbar 내지 약 10-7 mbar의 범위일 수 있다. 따라서, 진공 챔버는 "진공 증착 챔버", 즉, 진공 증착을 위해 구성된 진공 챔버일 수 있다.
[0067] 도 9를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른 증착 장치의 일부 다른 선택적인 양상들이 설명된다. 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 진공 증착 장치는, 진공 챔버(210), 진공 챔버(210)에 제공되는 본원에 설명된 임의의 실시예들에 따른 증발 소스(100), 및 재료 증착 동안에 기판(10)을 지지하도록 구성된 기판 지지체(220)를 포함한다. 특히, 증발 소스(100)는 도 9에 예시적으로 도시된 바와 같이, 트랙(track) 또는 선형 가이드(linear guide)(222) 상에 제공될 수 있다. 전형적으로, 선형 가이드(222)는 증발 소스(100)를 병진 이동시키도록 구성된다. 또한, 증발 소스의 병진 이동을 제공하기 위한 구동장치가 제공될 수 있다. 특히, 증발 소스의 비접촉 이송을 위한 이송 장치가 진공 증착 챔버 내에 제공될 수 있다.
[0068] 또한, 도 9에 예시적으로 도시된 바와 같이, 선형 가이드(222)를 따라 증발 소스(100)를 병진 이동시키도록 구성된 소스 지지체(231)가 제공될 수 있다. 전형적으로, 소스 지지체(231)는 도 9에 개략적으로 도시된 바와 같이, 도가니(110) 및 증발 도가니 위에 제공된 분배 조립체(120)를 지지한다. 따라서, 증발 도가니에서 생성된 증기는 상향으로 이동하고 분배 조립체의 하나 이상의 배출구들 외부로 이동할 수 있다. 따라서, 본원에 설명된 바와 같이, 분배 조립체는 증발된 재료, 특히 증발된 유기 재료의 플룸을 분배 조립체(120)로부터 기판(10)으로 제공하도록 구성된다.
[0069] 도 9에 예시적으로 도시된 바와 같이, 진공 챔버(210)는 게이트 밸브(gate valve)들(215)을 가질 수 있으며, 진공 증착 챔버는 게이트 밸브들(215)을 통해, 인접한 라우팅 모듈(routing module) 또는 인접한 서비스 모듈에 연결될 수 있다. 전형적으로, 라우팅 모듈은 기판을, 예를 들어 추가 프로세싱을 위한 추가 진공 챔버로 이송하도록 구성된다. 서비스 모듈은 증발 소스의 유지보수를 위해 구성된다. 특히, 게이트 밸브들은, 예를 들어 인접한 라우팅 모듈 또는 인접한 서비스 모듈의 인접한 진공 챔버에 대한 진공 시일을 허용하고, 도 9에 예시적으로 도시된 바와 같이, 증착 장치(200)의 진공 챔버(210) 내부 또는 외부로 기판 및/또는 마스크를 이동시키도록 개방 및 폐쇄될 수 있다.
[0070] 도 9를 예시적으로 참조하면, 본원에 설명된 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 2 개의 기판들, 예를 들어 제1 기판(10A) 및 제2 기판(10B)은 진공 챔버(210) 내의 각각의 이송 트랙들 상에 지지될 수 있다. 또한, 마스크들(33)을 그 상부에 제공하기 위한 2 개의 트랙들이 제공될 수 있다. 특히, 기판 캐리어(substrate carrier) 및/또는 마스크 캐리어(mask carrier)의 이송을 위한 트랙들에는, 캐리어들의 비접촉 이송을 위한 추가 이송 장치가 제공될 수 있다.
[0071] 전형적으로, 기판들의 코팅은 각각의 마스크들에 의해, 예를 들어 에지 제외 마스크(edge exclusion mask) 또는 섀도우 마스크(shadow mask)에 의해 기판들을 마스킹하는 것을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 마스크들, 예를 들어 제1 기판(10A)에 대응하는 제1 마스크(33A) 및 제2 기판(10B)에 대응하는 제2 마스크(33B)는 도 9에 예시적으로 도시된 바와 같이, 각각의 마스크를 사전결정된 위치에 유지하도록 마스크 프레임(mask frame)(31)에 제공된다.
[0072] 도 9에 도시된 바와 같이, 선형 가이드(222)는 증발 소스(100)의 병진 이동 방향을 제공한다. 증발 소스(100)의 양 측부들 상에는, 마스크(33), 예를 들어 제1 기판(10A)을 마스킹하기 위한 제1 마스크(33A) 및 제2 기판(10B)을 마스킹하기 위한 제2 마스크(33B)가 제공될 수 있다. 마스크들은 증발 소스(100)의 병진 이동 방향에 본질적으로 평행하게 연장될 수 있다. 또한, 증발 소스의 대향 측부들에 있는 기판들도 또한 병진 이동 방향에 본질적으로 평행하게 연장될 수 있다.
[0073] 도 9는 증발 소스(100)의 개략도만을 도시하고 있으며, 증착 장치(200)의 진공 챔버(210) 내에 제공된 증발 소스(100)는 도 1 내지 도 7, 도 8a 및 도 8b를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 본원에 설명된 실시예들의 임의의 구성을 가질 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0074] 도 10a 및 도 10b에 도시된 흐름도들을 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법(300)의 실시예들이 설명된다. 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 방법(300)은 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 튜브를 포함하는 측정 조립체를 제공하는 단계(도 10a에서 블록(310)으로 나타냄)를 포함한다. 특히, 측정 조립체는 도 1 내지 도 8을 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같은 실시예들에 따른 측정 조립체(130)일 수 있다. 추가적으로, 방법(300)은 도 2에 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 조립체(120)의 내부 공간(121) 내에 튜브(140)의 제1 단부(148)를 배열하는 단계(도 10a에서 블록(320)으로 나타냄)를 포함한다. 또한, 방법(300)은 제2 단부(149)를 압력 센서(145)에 연결하는 단계(도 10a에서 블록(330)으로 나타냄)를 포함한다. 예를 들어, 압력 센서(145)는 대기 공간 내에 제공될 수 있다. 예를 들어, 대기 공간은 도 8a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 진공 챔버(210) 외부에 제공된 공간일 수 있다. 대안적으로, 대기 공간은 도 8b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 진공 챔버(210) 내부에 제공된 대기 박스(190) 또는 대기 용기에 의해 제공될 수 있다. 추가적으로, 방법(300)은 증발된 재료를 제공하기 위해 재료를 증발시키는 단계(도 10a에서 블록(340)으로 나타냄)를 포함한다. 또한, 방법(300)은 증발된 재료를 도가니로부터 분배 조립체로 안내하는 단계(도 10a에서 블록(350)으로 나타냄)를 포함한다. 추가적으로, 방법(300)은 압력 센서를 사용하여, 튜브의 제2 단부에 제공된 압력을 측정하는 단계(도 10a에서 블록(360)으로 나타냄)를 포함한다. 특히, 분배 조립체 내의 압력(p2)은 방정식 p2 [mbar] = p1 [mbar] - (Q [mbar·l·s-1] / L [l·s-1])로부터 계산될 수 있으며, 여기서 p1은 압력 센서에 의해 측정된 압력이고, Q는 질량 유동이고, L은 유체 컨덕턴스이다. 질량 유동(Q)은 본원에서 설명된 바와 같은 질량 유동 제어기에 의해 제어될 수 있다. 본원에 설명된 바와 같은 튜브의 유체 컨덕턴스(L)는 일정하다.
[0075] 도 10b에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법(300)은 튜브의 적어도 일부분을 가열하는 단계(도 10b에서 블록(341)으로 나타냄)를 더 포함한다. 특히, 튜브의 적어도 일부분을 가열하는 단계는 전형적으로, 도 3을 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 분배 조립체(120)의 히터(126)를 사용하는 단계를 포함한다. 또한, 튜브의 적어도 일부분을 가열하는 단계는 도 4 및 도 5를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 가열 배열체(134)를 사용하는 단계를 포함할 수 있다.
[0076] 또한, 도 10b에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법(300)은 튜브(140) 내로 퍼지 가스를 도입하는 단계(도 10b에서 블록(342)으로 나타냄)를 더 포함한다. 특히, 퍼지 가스를 튜브(140) 내로 도입하는 단계는 전형적으로 퍼지 가스를 압력 센서(145)에 연결된 튜브(140)의 단부 부분 내로 도입하는 단계를 포함한다.
[0077] 도 11에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른 증발 소스 내의 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법(400)의 실시예들이 설명된다. 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 방법(400)은 증발 소스 내의 증발된 재료의 증기압을 측정하는 단계(도 11에서 블록(410)으로 나타냄)를 포함한다. 또한, 방법(400)은 측정된 증기압으로부터 증발 레이트를 계산하는 단계(도 11에서 블록(420)으로 나타냄)를 포함한다. 증발 레이트가 분배 조립체 내의 증기압의 직접적인 함수이기 때문에, 증발 레이트는 측정된 증기압으로부터 계산될 수 있다. 따라서, 증기압 계산을 위해, 전형적으로 측정 조립체의 교정이 사전에 수행된다.
[0078] 상기의 관점에서, 최신 기술과 비교하여, 증발 소스, 증착 장치, 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법, 및 증발 소스 내의 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하는 방법의 실시예들이, 취급성 및/또는 신뢰성 및/또는 유지보수성 및/또는 정확성 및/또는 작동 시간에 걸친 안정성 및/또는 비용 효율성에 대해 개선된다는 것이 이해되어야 한다.
[0079] 전술한 바가 실시예들에 관한 것이지만, 다른 그리고 추가 실시예들이, 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 그 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (17)

  1. 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(evaporation source)(100)로서,
    재료 증발을 위한 도가니(crucible)(110);
    상기 증발된 재료를 상기 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들(125)을 갖는 분배 조립체(120) ― 상기 분배 조립체는 상기 도가니와 유체 연통함 ―; 및
    상기 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)을 압력 센서(145)와 연결하는 튜브(140)를 포함하는 측정 조립체(130)를 포함하는,
    증발 소스(100).
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 측정 조립체(130)는 상기 튜브(140)에 연결된 퍼지 가스 도입 디바이스(131)를 더 포함하는,
    증발 소스(100).
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 튜브(140)는 상기 분배 조립체(120)의 내부 공간(121) 내에 배열된 제1 부분(140A)을 갖고, 그리고 상기 튜브(140)는 상기 분배 조립체(120) 외부에 배열된 제2 부분(140B)을 갖는,
    증발 소스(100).
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 튜브(140)는 상기 분배 조립체(120)와 상기 분배 조립체(120)의 히터(126) 사이의 공간(122) 내에 부분적으로 배열되는,
    증발 소스(100).
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정 조립체(130)는 상기 튜브(140) 주위에 적어도 부분적으로 배열된 가열 배열체(heating arrangement)(134)를 더 포함하는,
    증발 소스(100).
  6. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압력 센서(145)는, 기계적 압력 센서, 용량성 압력 센서, 특히 용량성 다이어프램 게이지(CDG; capacitive diaphragm gauge), 및 열 전도/대류 진공 게이지들(피라니 유형(pirani type))로 이루어진 그룹으로부터 선택된 압력 센서인,
    증발 소스(100).
  7. 제2 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 퍼지 가스 도입 디바이스(131)는 불활성 가스 소스(136), 특히 아르곤 가스 소스에 연결된 질량 유동 제어기(mass flow controller)(135)를 포함하는,
    증발 소스(100).
  8. 제2 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 퍼지 가스 도입 디바이스(131)는 0.1 sccm ≤ Q' ≤ 1.0 sccm의 퍼지 가스 유동(Q')을 제공하도록 구성되는,
    증발 소스(100).
  9. 제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 튜브(140)는 1.0 ㎜ ≤ D ≤ 7.5 ㎜, 특히 D = 5 ㎜ ± 1 ㎜의 직경(D)을 갖는,
    증발 소스(100).
  10. 복수의 증발된 재료들을 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)로서,
    제1 재료의 증발을 위한 제1 도가니(110A);
    제1 증발된 재료를 상기 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 갖는 제1 분배 조립체(120A) ― 상기 제1 분배 조립체는 상기 제1 도가니와 유체 연통함 ―;
    제2 재료의 증발을 위한 제2 도가니(110B);
    제2 증발된 재료를 상기 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들을 갖는 제2 분배 조립체(120B) ― 상기 제2 분배 조립체는 상기 제2 도가니와 유체 연통함 ―; 및
    튜브 배열체(144) 및 퍼지 가스 도입 배열체를 포함하는 측정 조립체(130)를 포함하며,
    상기 튜브 배열체(144)는 제1 튜브(141) 및 제2 튜브(142)를 갖고, 상기 제1 튜브(141)는 상기 제1 분배 조립체(120A)의 제1 내부 공간(121A)을 압력 센서(145)와 연결하고, 상기 제2 튜브(142)는 상기 제2 분배 조립체(120B)의 제2 내부 공간(121B)을 상기 압력 센서(145)와 연결하고, 그리고
    상기 퍼지 가스 도입 배열체는 상기 제1 튜브(141)에 연결된 제1 퍼지 가스 도입 디바이스(131A) 및 상기 제2 튜브(142)에 연결된 제2 퍼지 가스 도입 디바이스(131B)를 갖는,
    증발 소스(100).
  11. 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스(100)로서,
    재료 증발을 위한 도가니(110);
    상기 증발된 재료를 상기 기판에 제공하기 위한 하나 이상의 배출구들(125)을 갖는 분배 조립체(120) ― 상기 분배 조립체는 상기 도가니와 유체 연통함 ―; 및
    상기 도가니(110)의 내부 공간(111)을 압력 센서(145)와 연결하는 튜브(140)를 포함하는 측정 조립체(130)를 포함하는,
    증발 소스(100).
  12. 재료를 기판에 도포(apply)하기 위한 증착 장치(200)로서,
    진공 챔버(210);
    상기 진공 챔버(210) 내에 제공된 증발 소스(100) ― 상기 증발 소스(100)는 도가니(110) 및 분배 조립체(120)를 가짐 ―; 및
    상기 분배 조립체 내의 증기압을 측정하기 위한 측정 조립체(130)를 포함하고,
    상기 측정 조립체는, 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 튜브를 포함하고, 상기 제1 단부는 상기 분배 조립체의 내부 공간 내에 배열되고, 그리고 상기 제2 단부는 압력 센서에 연결되는,
    증착 장치(200).
  13. 도가니 및 분배 조립체를 갖는 증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법으로서,
    제1 단부(148) 및 제2 단부(149)를 갖는 튜브(140)를 포함하는 측정 조립체(130)를 제공하는 단계(310);
    상기 분배 조립체의 내부 공간 내에 상기 제1 단부를 배열하는 단계(320);
    상기 제2 단부를 압력 센서에 연결하는 단계(330);
    증발된 재료를 제공하기 위해 재료를 증발시키는 단계(340);
    상기 증발된 재료를 상기 도가니로부터 상기 분배 조립체 내로 안내하는 단계(350); 및
    상기 압력 센서를 사용하여, 상기 튜브의 제2 단부에 제공된 압력을 측정하는 단계(360)를 포함하는,
    증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 튜브(140)의 적어도 일부분을 가열하는 단계를 더 포함하는,
    증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법(300).
  15. 제13 항 또는 제14 항에 있어서,
    상기 튜브(140) 내로, 특히 상기 압력 센서에 연결된 상기 튜브(140)의 단부 부분 내로 퍼지 가스를 도입하는 단계를 더 포함하는,
    증발 소스 내의 증기압을 측정하는 방법(300).
  16. 증발 소스 내의 증발된 재료의 증발 레이트(evaporation rate)를 결정하기 위한 방법(400)으로서,
    상기 증발 소스 내의 증발된 재료의 증기압을 측정하는 단계(410); 및
    상기 측정된 증기압으로부터 상기 증발 레이트를 계산하는 단계(420)를 포함하는,
    증발 소스 내의 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법(400).
  17. 도가니(110) 및 분배 조립체(120)를 갖는 증발 소스(100) 내의 증기압 차이를 측정하는 방법(500)으로서,
    상기 분배 조립체(120)의 내부 공간(121)을 제1 압력 센서(145A)와 연결하는 튜브(140)를 포함하는 제1 측정 조립체(130A)를 제공하는 단계(510) ― 상기 튜브(140)는 상기 분배 조립체의 내부 공간(121) 내의 제1 위치(P1)에 제공된 튜브 개구(tube opening)를 가짐 ―;
    상기 증발 소스의 내부 공간을 제2 압력 센서(145B)와 연결하는 추가 튜브(140D)를 포함하는 제2 측정 조립체(130B)를 제공하는 단계(520) ― 상기 추가 튜브(140D)는 상기 분배 조립체의 내부 공간(121) 또는 상기 도가니(110)의 내부 공간(111) 내의 제2 위치(P2)에 제공된 추가 튜브 개구(146B)를 가짐 ―;
    상기 제1 압력 센서(145A) 및 상기 제2 압력 센서(145B)를 사용하여 상기 증발 소스 내의 증기압 차이를 측정하는 단계(530)를 포함하는,
    증발 소스(100) 내의 증기압 차이를 측정하는 방법(500).
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