JP2014162969A - 蒸着装置および蒸着方法 - Google Patents

Abstract

【課題】真空室内を大気圧に戻すことなく蒸着レートを連続的に計測でき、生産性の低下を回避できるとともに、蒸発材料の流量を正確に求めることができ、正確な蒸着レートで蒸着膜を形成できる蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空室１３内において蒸発材料を被蒸着部材１２に付着させる蒸着装置が、蒸発源１９から誘導路１７へ供給される蒸発材料の流量を調整する流量制御バルブ１８と、蒸発源１９内の圧力を検出する第１圧力センサ２１と、真空室１３内の圧力を検出する第２圧力センサ２２と、コントローラ２４とを備える。コントローラ２４は、第１圧力センサ２１により測定された値と、第２圧力センサ２２により測定された値との差に基づいて蒸発材料の流量を求めることにより、蒸発材料の被蒸着部材１２への蒸着レートを計測し、計測された蒸着レートが所定の蒸着レートになるように、流量制御バルブ１８の開度を制御する。
【選択図】図１

Description

本発明は、金属薄膜、有機材料薄膜、太陽電池やディスプレィパネルなどの金属電極配線、有機ＥＬ発光層などの蒸着に用いる蒸着装置、およびその装置を用いた蒸着方法に関する。

一般に上記薄膜等の形成は、10^−４Pa以下の高真空下で行われる。例えば、特許文献１に示すように、真空蒸着装置は、真空チャンバ内に、加熱機構を設けた材料収納容器（坩堝）から蒸発した蒸着材料（蒸発材料）が導かれる分散容器（マニホールド）を設け、蒸発材料をマニホールドの上部に設けた複数のノズルから放出させて基板に蒸着させることにより薄膜を形成する構成とされている。この蒸着装置は、マニホールドのノズル設計（配置、大きさ、角度など）を適正化することにより、基板回転などの可動部分がなくても大面積基板に対して膜厚均一性を得ることができるという利点を有している。

通常、基板に単位時間当たりに蒸着する蒸発材料の量、すなわち蒸着レートは、坩堝の加熱温度で制御するが、坩堝内の蒸着材料へは熱伝導などで温度が徐々に伝達されるため、蒸着レートは安定し難い。そこで、蒸発分子の経路内に流量調整バルブを入れ、膜厚センサからの信号を流量調整バルブにフィードバックすることで蒸着レートを安定させる方法がある（例えば、特許文献２）。

上記蒸着レートの計測や蒸着レート制御のフィードバックのための膜厚センサには、水晶振動子式膜厚センサが広く使用されている。水晶振動子式膜厚センサは、水晶振動子に交流電場を印加し、水晶振動子の固有振動数と交流電場の振動数が等しくなったところで共振する現象を利用したものである。水晶振動子表面に金属等の物質が蒸着されると、水晶振動子の固有振動数は低い振動数の方向に変化する。この変化量は蒸着物質の量nに比例する。つまり、前述の共振現象を用いてこの共振周波数の変化を精度よく検出することにより蒸着物の膜厚を算出している。

しかしながら、水晶振動子の表面上に例えば７０００〜８０００オングストローム（７００〜８００ｎｍ）もの厚さの蒸着膜が付着すると、共振周波数が低くなり、計測誤差が大きくなるため、もはや水晶振動子として使用することが困難となり、新たな水晶振動子と交換しなければならない。例えば、毎分２オングストローム（０．２ｎｍ）の蒸着レートで成膜処理を行うと、６０〜７０時間程度で水晶振動子の寿命が尽きることとなる。この場合、蒸着源を冷却し、真空チャンバ内を大気圧に戻す必要が生じる。しかし、生産ラインなどでは１週間程度の連続蒸着が求められ、蒸着材料を頻繁に冷却することはできない。例えば、蒸着材料が有機ＥＬ用の有機化合物の場合、セラミックスなどの坩堝を用いて３００℃程度に加熱することで蒸着を行うが、この坩堝を冷却して再び加熱するには、数時間を要するため、その間の蒸着工程が停止するため、生産性が低下する。

そこで、水晶振動子を用いることなく蒸着レートを制御する蒸着装置が、特許文献３に開示されている。この特許文献３に開示された蒸着装置は、真空容器内に坩堝が配置され、さらにこの坩堝に対向して基板ホルダが配設されている。坩堝の外周部には、坩堝内に収容される蒸着材料を加熱して蒸発させるための加熱手段として電気ヒータが巻装され、また真空容器内には蒸着材料の周辺雰囲気の圧力を測定するために圧力センサが配置されており、この圧力センサにコントローラが接続され、さらにコントローラに電気ヒータが接続されている。

この構成により、コントローラから電気ヒータに電力が供給され、電気ヒータによってるつぼ内の蒸着材料が加熱されると、坩堝から放出された蒸発材料により蒸着材料の周辺雰囲気の圧力が高まり、圧力センサによって測定される。ここで、蒸着材料の周辺雰囲気の圧力と蒸発材料の流量との間には一定の相関関係があり、また蒸発材料の流量と蒸着レートとの間にも一定の相関関係があるため、コントローラは、圧力センサで測定された圧力から蒸着レートを算出することができる。そこで、コントローラは圧力センサにより測定された圧力（測定値）が予め設定されている設定値となるように、電気ヒータに供給する電流値を調整し、これにより、所定の蒸着レートが維持され、基板の表面上に形成される蒸着膜の厚さが制御されている。

特開２００５−３３０５３７号公報 特開２０１０−２４２２０２号公報 特開２００４−９１８５８号公報

しかし、特許文献３では、蒸着材料の周辺雰囲気の圧力を測定する１台の圧力センサを用いて、蒸発材料の流量が求められる。これは、基板の周囲の圧力変動は少ないとして、基板の周囲の圧力を一定値として扱っているためと考えられるが、実際には蒸発材料が真空チャンバに放出されると、真空チャンバ中の蒸発材料量が増大して圧力変動を生じるため、蒸発材料の流量を計測できているとは言うことができず、正確な蒸着レートで蒸着膜を形成することができず、所望の膜厚を得ることができないという問題があった。
また、１台の圧力センサでは、２種類の蒸着材料による共蒸着により蒸着膜を形成するとき、各蒸発材料の蒸着レートを求めることができないという問題があった。

そこで、本発明は、真空チャンバを大気圧に戻すことなく蒸着レートを連続的に計測でき、生産性の低下を回避できるとともに、蒸発材料の流量を正確に求めることができ、正確な蒸着レートで蒸着膜を形成できる蒸着装置および蒸着方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、真空チャンバを大気圧に戻すことなく蒸着レートを連続的に計測でき、生産性の低下を回避できるとともに、２種類の蒸着材料により蒸着膜を形成するとき、各蒸発材料の流量を正確に求めることができ、正確な蒸着レートで蒸着膜を形成できる蒸着装置および蒸着方法を提供することを目的とする。

本発明の請求項１記載の発明は、
真空室内において、蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置であって、
蒸着材料を収納し、蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発源と、
蒸発源で得られた蒸発材料を移送する誘導路と、
誘導路から流入する蒸発材料を、被蒸着部材へ放出する放出部材と、
蒸発源から誘導路へ供給される蒸発材料の流量を調整する流量制御バルブと、
蒸発源内の圧力を検出する第１圧力センサと、
真空室内の圧力を検出する第２圧力センサと、
第１圧力センサにより測定された値と、第２圧力センサにより測定された値との差に基づいて蒸発材料の流量を求めることにより、蒸発材料の被蒸着部材への蒸着レートを計測し、計測された蒸着レートが所定の蒸着レートになるように、流量制御バルブの開度を制御するコントローラと、
を備えたことを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
放出部材が、蒸発材料を拡散させるための分散容器と、被蒸着部材に向けて突設され、被蒸着部材へ蒸発材料を放出するための絞り開口部を先端に有する複数のノズル部材と、を有することを特徴とする。

請求項３記載の発明は、
真空室内において、第１蒸発材料および第１蒸発材料よりも蒸着量が小さい第２蒸発材料を混合した第３蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置であって、
第１蒸着材料を収納し、第１蒸着材料を加熱して第１蒸発材料を得る第１蒸発源と、
第２蒸着材料を収納し、第２蒸着材料を加熱して第２蒸発材料を得る第２蒸発源と、
第１蒸発源内で得られた第１蒸発材料を移送する第１誘導路と、
第２蒸発源内で得られた第２蒸発材料を移送する第２誘導路と、
第１誘導路と第２誘導路とを合流させて、第１蒸発材料と第２蒸発材料とが混ざり合う第３蒸発材料を移送する第３誘導路と、
第３誘導路から流入する第３蒸発材料を、被蒸着部材へ放出する放出部材と、
第１蒸発源から第１誘導路へ供給される第１蒸発材料の流量を調整する第１流量制御バルブと、
第２蒸発源から第２誘導路へ供給される第２蒸発材料の流量を調整する第２流量制御バルブと、
第１蒸発源内の圧力を検出する第１圧力センサと、
真空室内の圧力を検出する第２圧力センサと、
第２蒸発源内の圧力を検出する第３圧力センサと、
第２誘導路内の圧力を検出する第４圧力センサと、
第１圧力センサにより測定された値と、第２圧力センサにより測定された値との差に基づいて第１蒸発材料の流量を求めることにより、第１蒸発材料の被蒸着部材への第１蒸着レートを計測し、計測された第１蒸着レートが所定の第１蒸着レートになるように、第１流量制御バルブの開度を制御し、かつ
第３圧力センサにより測定された値と、第４圧力センサにより測定された値との差に基づいて第２蒸発材料の流量を求めることにより、第２蒸発材料の被蒸着部材への第２蒸着レートを計測し、計測された第２蒸着レートが所定の第２蒸着レートになるように、第２流量制御バルブの開度を制御するコントローラと、
を備えたことを特徴とする。

請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明において、
放出部材は、
第３蒸発材料を拡散させるための分散容器と、
被蒸着部材に向けて突設され、被蒸着部材へ第３蒸発材料を放出するための絞り開口部を先端に有する複数のノズル部材と、
を有することを特徴とする。

請求項５記載の発明は、請求項３または４記載の発明において、
第２蒸発源および第２誘導路が複数設けられ、
各第２蒸発源および第２誘導路に対して、それぞれ第２流量制御バルブ、第３圧力センサ、および第４圧力センサが設けられ、
各第２蒸発源に収納される第２蒸着材料は、互いに異なることを特徴とする。

請求項６記載の発明は、請求項１記載の蒸着装置を用いた蒸着方法であって、
蒸発源において蒸着材料を加熱して蒸発材料を得る工程と、
蒸発源で得られた蒸発材料を誘導路中に移送する工程と、
誘導路から放出部材を介して蒸発材料を被蒸着部材へ放出する工程と、
流量制御バルブを用いて蒸発源から誘導路へ供給される蒸発材料の流量を調整する工程と、
第１圧力センサを用いて蒸発源内の圧力を検出する工程と、
第２圧力センサを用いて真空室内の圧力を検出する工程と、
コントローラを用いて、第１圧力センサで測定された値と、第２圧力センサで測定された値との差に基づいて蒸発材料の流量を求め、求められた蒸発材料の流量に基づいて蒸発材料の被蒸着部材への蒸着レートを計測し、計測された蒸着レートが所定の蒸着レートになるように、流量制御バルブの開度を制御する工程と、
を含むことを特徴とする。

請求項７記載の発明は、請求項３記載の蒸着装置を用いた蒸着方法であって、
第１蒸発源において第１蒸着材料を加熱して第１蒸発材料を得る工程と、
第２蒸発源において第２蒸着材料を加熱して第２蒸発材料を得る工程と、
第１蒸発源で得られた第１蒸発材料を第１誘導路中に移送する工程と、
第２蒸発源で得られた第２蒸発材料を第２誘導路中に移送する工程と、
第１誘導路と第２誘導路とを合流させて、第１蒸発材料と第２蒸発材料とが混ざり合う第３蒸発材料を第３誘導路中に移送する工程と、
第３誘導路から放出部材を介して第３蒸発材料を被蒸着部材へ放出する工程と、
第１流量制御バルブを用いて第１蒸発源から第１誘導路へ供給される第１蒸発材料の流量を調整する工程と、
第２流量制御バルブを用いて第２蒸発源から第２誘導路へ供給される第２蒸発材料の流量を調整する工程と、
第１圧力センサを用いて第１蒸発源内の圧力を検出する工程と、
第２圧力センサを用いて真空室内の圧力を検出する工程と、
第３圧力センサを用いて第２蒸発源内の圧力を検出する工程と、
第４圧力センサを用いて第２誘導路内の圧力を検出する工程と、
コントローラを用いて、
第１圧力センサで測定された値と、第２圧力センサで測定された値との差に基づいて第１蒸発材料の流量を求め、求められた第１蒸発材料の流量に基づいて第１蒸発材料の被蒸着部材への第１蒸着レートを計測し、計測された第１蒸着レートが所定の第１蒸着レートになるように、第１流量制御バルブの開度を制御し、かつ
第３圧力センサで測定された値と、第４圧力センサで測定された値との差に基づいて第２蒸発材料の流量を求め、求められた第２蒸発材料の流量に基づいて第２蒸発材料の被蒸着部材への第２蒸着レートを計測し、計測された第２蒸着レートが所定の第２蒸着レートになるように、第２流量制御バルブの開度を制御する工程と、
を含むことを特徴とする。

本発明によれば、２つの圧力センサを用いて蒸着レートを正確に求めることができる。よって蒸着膜を正確な蒸着レートで形成でき、所望の膜厚を得ることができる。水晶振動子式膜厚センサを用いた際に必要であった水晶振動子の交換が不要となり、真空室を大気に戻すことなく長時間連続的に蒸着レートを計測することが可能となる。よって長時間の連続蒸着が可能となり、生産性の低下を回避できる。第１圧力センサで蒸発源内の圧力を測定することができるため、その圧力に基づいて、蒸発源内の加熱温度、およびその加熱温度に基づく蒸着材料の蒸発量を精度よく監視し、調整することができる。

また、本発明によれば、４つの圧力センサを用いて２つの蒸発材料の蒸着レートを個別に正確に計測することができる。よって各蒸着材料による蒸着膜を正確な割合・蒸着レートで形成でき、所望の膜厚を得ることができる。水晶振動子式膜厚センサを用いた際に必要であった水晶振動子の交換が不要となり、真空室を大気に戻すことなく長時間連続的に蒸着レートを計測することが可能となる。よって長時間の連続蒸着が可能となり、生産性の低下を回避できる。
第１圧力センサおよび第３圧力センサで第１蒸発源内および第２蒸発源内の圧力を測定することができるため、その圧力に基づいて、第１蒸発源内および第２蒸発源内の加熱温度、ならびにその加熱温度に基づく第１蒸着材料の蒸発量および第２蒸着材料の蒸発量を精度よく監視し、調整することができる。
第３圧力センサおよび第４圧力センサの圧力調整により、第２蒸発源内への第１蒸発材料の流入および第２蒸発材料の逆流を防ぐことができる。

本発明の実施の形態１に係る蒸着装置の構成図である。 同蒸着装置のコントローラのブロック図である。 同蒸着装置における蒸着レートと２台の圧力センサの圧力差との特性を示す図である。 図１の蒸着装置の変形例を示す構成図である。 図１の蒸着装置のさらに別の変形例を示す構成図である。 本発明の実施の形態２に係る蒸着装置の構成図である。 図６の蒸着装置の変形例を示す構成図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

［実施の形態１］
図１は、本発明の実施の形態１に係る蒸着装置の構成図である。
図１に示すように、真空チャンバ１１（蒸着用容器）内に、例えば１×１０^−３Ｐａ以下の真空雰囲気中においてガラス基板１２（被蒸着部材）の表面（下面）に蒸発材料（例えば、有機ＥＬ材料）を蒸着する蒸着室１３（真空室）が設けられている。真空チャンバ１１には、真空ユニットにより真空雰囲気にされる真空ポート（図示せず）が形成されている。真空チャンバ１１の上部には、ガラス基板１２を保持するワーク保持具１５が設けられている。本実施形態の蒸着装置は、ワーク保持具１５に保持されたガラス基板１２の下面（被蒸着面）に下方から蒸発材料を蒸着するアップブロータイプ（アップデポ）の蒸着装置である。

真空チャンバ１１外において、蒸着材料１６を収納し、ヒータ等の加熱手段により蒸着材料１６を加熱して蒸発材料を得るための蒸発源として材料収納容器１９（坩堝）が設けられている。材料収納容器１９内で得られた蒸発材料は、真空チャンバ１１の下部に設けられた材料輸送管１７（誘導路）へ供給される。
真空チャンバ１１外において、材料収納容器１９と材料輸送管１７との間に、開度を調節することにより、材料収納容器１９から材料輸送管１７へ供給される蒸発材料の流量を制御する流量制御バルブ１８が設けられている。

材料輸送管１７の下流側の端部には、材料輸送管１７から流入する蒸発材料を、流路を絞って被蒸着部材へ放出する放出部材１４が接続されている。放出部材１４は、蒸発材料を拡散させるための分散容器１４ａ（マニホールド）と、基板１２に向けて突設され、基板１２へ蒸発材料を放出するための絞り開口部（図示しない）を先端に有する複数のノズル部材１４ｂとを備える。

流量制御バルブ１８より上流側の材料収納容器１９内に、材料収納容器１９内の圧力を検出する第１圧力センサ２１が設けられている。蒸着室１３内に、蒸着室１３内の圧力を検出する第２圧力センサ２２が設けられている。圧力センサ２１，２２には、例えば、気体分子による熱伝導を利用する熱伝導式圧力センサが用いられる。
第１圧力センサ２１で材料収納容器１９内の圧力を測定することができるため、その圧力に基づいて、材料収納容器１９内の加熱温度、およびその加熱温度に基づく蒸着材料１６の蒸発量を精度よく監視し、調整することができる。
測定される蒸着レートの精度の観点から、第１圧力センサは、材料収納容器１９内において蒸着材料１６に近い箇所に設置するのが好ましい。

なお、図示していないが、材料収納容器１９（坩堝）の他、材料輸送管１７、放出部材１４、流量制御バルブ１８、および圧力センサ２１，２２の各構成部材は、ヒータ等の加熱手段により各構成部材に蒸発材料が付着しない程度の温度に加熱されている。圧力センサ２１，２２の加熱により圧力センサ２１，２２の温度を周囲温度よりも高温にすることによりセンサ部に蒸発材料が付着することを回避しており、連続計測を可能としている。

第１圧力センサ２１で測定された圧力Ｐ１と，第２圧力センサ２２により測定された圧力Ｐ２の差（Ｐ１−Ｐ２）に基づいて蒸発材料の流量Ｑを求めることにより、蒸発材料のガラス基板１２への蒸着レートＲを計測し、計測された蒸着レートＲが所定の蒸着レートＲｅとなるように、流量制御バルブ１８の開度を制御するコントローラ２４が設けられている。

具体的には、第１圧力センサ２１により測定された圧力Ｐ１と第２圧力センサ２２により測定された圧力Ｐ２がコントローラ２４に入力され、コントローラ２４より流量制御バルブ１８へバルブ開度指令Ｌ（バルブ開度０〜１００％に相当する電気信号）が出力される。
コントローラ２４は、図２に示すように、入力された圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の圧力差を演算する第１減算器３１と、第１減算器３１により演算された圧力差（Ｐ１−Ｐ２）により材料輸送管１７を流れる蒸発材料の流量Ｑを求め、求めた蒸発材料の流量Ｑによりガラス基板１２への蒸発材料の蒸着レートＲを求める蒸着レート演算部３２と、予め設定された所定の蒸着レートＲｅとこの蒸着レート演算部３２により求められた蒸着レートＲとの偏差を求める第２減算器３３と、第２減算器３３により求められた偏差を無くすようにバルブ開度指令Ｌを出力するＰＩ制御部３４から構成されている。

蒸着レート演算部３２では、第１圧力センサ２１で測定された圧力Ｐ１（Ｐａ）と第２圧力センサ２２で測定された圧力Ｐ２（Ｐａ）との差（Ｐ１−Ｐ２）に基づき、材料輸送管１７等の各構成部材の合成コンダクタンスＣ（ｍ^３／ｓｅｃ）を用いて、蒸発材料の流量Ｑ（Ｐａ・ｍ^３／ｓｅｃ）が下記の式（１）により求められる。ついで、蒸着レートＲが蒸発材料の流量Ｑに比例することに基づき、比例乗数Ｆを用いて、蒸着レートＲ（Å／ｓ）が下記の式（２）により求められる。
Ｑ＝Ｃ×（Ｐ１−Ｐ２） …（１）
Ｒ＝Ｆ×Ｑ＝Ｇ×（Ｐ１−Ｐ２） …（２）
なお、Ｇ＝Ｆ×Ｃ
図３に、蒸着レートＲと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）の関係の一例を示す。
なお、各構成部材の合成コンダクタンスＣは、流量制御バルブ１８、材料輸送管１７、分散容器１４ａ、ノズル部材１４ｂのコンダクタンスを、それぞれＣ_１、Ｃ_２、Ｃ_３、およびＣ_４として、下記の式（３）により求められる。
１／Ｃ＝１／Ｃ_１＋１／Ｃ_２＋１／Ｃ_３＋１／Ｃ_４ …（３）

上記の乗数Ｇは、蒸発材料の種類、材料収納容器１９（坩堝）中の蒸着材料１６の加熱温度、材料輸送管１７および放出部材１４の形状、寸法、および材質、ならびにノズル部材１４ｂとガラス基板１２との距離等により異なり、予め実験で求めることができる。実際に圧力センサ２１，２２を用いて蒸着レートＲを計測する具体的方法の一例を以下に示す。
ａ．ガラス基板１２横に水晶振動式膜厚センサを設け、この膜厚センサの指示値Ｘがほほ一定値となるように蒸着する。
このときの蒸着レートＲは、水晶振動式膜厚センサにより測定される蒸着膜厚をＤｖ、蒸着時間をＴとすると、下記の式（４）で求められる。
Ｒ=Ｄｖ／Ｔ …（４）
ｂ．膜厚センサの指示値Ｘを上記式で求めた蒸着レートＲと同じようになるように膜厚センサのゲインを調整し、膜厚センサ値の校正を行う。
ｃ．蒸着レートＲを変化させ、圧力センサ２１，２２により圧力Ｐ１，Ｐ２を測定し、膜厚センサ指示値Ｘとこれら圧力センサ２１，２２の圧力差（Ｐ１−Ｐ２）の関係、すなわち上記乗数Ｇを求める。
ｄ．上記の関係から、圧力差（Ｐ１−Ｐ２）に基づき蒸着レートＲを計測する。

上記構成により、第１圧力センサ２１と第２圧力センサ２２により測定された圧力値の差（Ｐ１−Ｐ２）を求めることにより、放出部材１４より放出される蒸発材料の流量Ｑが求められる。蒸発材料の流量Ｑが、ガラス基板１２への蒸着レートに比例することに基づき、連続的に蒸着レートＲが計測される。計測された蒸着レートＲが所定の蒸着レートＲｅとなるように、流量制御バルブ１８へバルブ開度指令Ｌが出力され、その出力信号に応じて流量制御バルブ１８の開度が制御される。すなわち、材料収納容器１９から材料輸送管１７へ供給される蒸発材料の流量が制御される。これにより、蒸発材料の流量Ｑが、所定の蒸着レートＲｅに相当する所定の流量に制御され、所定の蒸着レートＲｅでガラス基板１２に蒸発材料が蒸着される。

実施の形態１の蒸着装置を用いた蒸着方法は、
材料収納容器１９において蒸着材料１６を加熱して蒸発材料を得る工程と、
材料収納容器１９で得られた蒸発材料を材料輸送管１７に移送する工程と、
材料輸送管１７から放出部材１４を介して蒸発材料をガラス基板２へ放出する工程と、
流量制御バルブ１８を用いて蒸発源から材料輸送管１７へ供給される蒸発材料の流量を調整する工程と、
第１圧力センサ２１を用いて、材料収納容器１９内の圧力を検出する工程と、
第２圧力センサ２２を用いて、蒸発室１３内の圧力を検出する工程と、
コントローラ２４を用いて、第１圧力センサ２１で測定された圧力Ｐ１と、第２圧力センサ２２で測定された圧力Ｐ２との差（Ｐ１−Ｐ２）に基づいて蒸発材料の流量Ｑを求め、求められた蒸発材料の流量Ｑに基づいて蒸発材料のガラス基板１２への蒸着レートＲを計測し、計測された蒸着レートＲが所定の蒸着レートＲｅになるように、流量制御バルブ１８の開度を制御する工程と、
を含む。

以上のように、実施の形態１によれば、予め２台の圧力センサ２１，２２により測定された圧力値の差（Ｐ１−Ｐ２）と蒸着レートＲの関係を、水晶振動子式センサを使用して予め把握しておくことにより、それ以降、水晶振動子式膜厚センサを用いずに圧力センサ２１，２２のみで蒸着レートＲの計測を行うことができる。１台の圧力センサを設けた従来の装置と比較して、蒸着レートＲを正確に求めることができ、その結果、正確な所定の蒸着レートＲｅでガラス基板１２に蒸発材料を蒸着することができる。すなわち蒸着膜を正確な蒸着レートで形成でき、所望の膜厚を得ることができる。
また、水晶振動子式膜厚センサを用いた際に必要であった水晶振動子の交換が不要となり、真空チャンバ１１を大気に戻すことなく連続的に蒸着レートＲを計測することができる。よって、長時間の連続蒸着が可能となり、生産性の低下を回避できる。

本実施の形態では、材料収納容器１９に第１圧力センサを設置したが、図４に示すように、材料収納容器１９と流量制御バルブ１８との間に接続フランジ２０のような接続部材を設ける場合、接続フランジ２０に第１圧力センサ２１を設置してもよい。蒸着材料１６の材料収納容器１９への投入時に接続フランジ２０から材料収納容器１９を取り外すことで、蒸着材料１６の投入時に蒸着材料１６が圧力センサ２１に触れることがなく、良好な計測精度を維持することができる。第１圧力センサ２１は、材料収納容器１９内の圧力を検出可能な位置に設置すればよい。

本実施の形態では、図１に示すように圧力センサ２１を設けたが、図５に示すように、蒸着材料１６を投入する領域以外の空間２５を設けて、その空間２５に圧力センサ２１を設けてもよい。蒸着材料１６の投入時に蒸着材料１６が圧力センサ２１に触れることがなく、良好な計測精度を維持することができる。

［実施の形態２］
図６は、本発明の実施の形態２に係る蒸着装置の構成図である。図１と同じ符号の構成部材については、説明を省略する。
本実施の形態２の蒸着装置は、第１蒸発材料（ホスト材料）と、第１蒸発材料よりも蒸発量が小さい、すなわち蒸発時の濃度が低い第２蒸発材料（ドーパント材料）とを同時に被蒸着部材に付着させる共蒸着を実施可能な構成を有する。第１蒸発材料と第２蒸発材料との濃度比は、例えば、１０〜１００：１である。このような蒸着装置は、例えば、有機ＥＬのデバイスを作製する際に、発光効率の向上のために、２種類の有機材料を同時に成膜する場合に用いられる。

真空チャンバ１１外において、第１蒸着材料１６Ａを収納し、ヒータ等の加熱手段により第１蒸着材料１６Ａを加熱して第１蒸発材料を得るための第１蒸発源として第１材料収納容器１９Ａ（坩堝）が設けられている。第１材料収納容器１９Ａ内で得られた第１蒸発材料は、真空チャンバ１１の下部に設けられた第１材料輸送管４５Ａ（第１誘導路）へ供給される。
真空チャンバ１１外において、第２蒸着材料１６Ｂを収納し、ヒータ等の加熱手段により第２蒸着材料１６Ｂを加熱して第２蒸発材料を得るための第２蒸発源として第２材料収納容器１９Ｂ（坩堝）が設けられている。第２材料収納容器１９Ｂ内で得られた第２蒸発材料は、真空チャンバ１１の下部に設けられた第２材料輸送管４５Ｂ（第２誘導路）へ供給される。

第１材料輸送管４５Ａおよび第２材料輸送管４５Ｂを有する材料輸送管４５は、さらに、第１材料輸送管４５Ａと第２材料輸送管４５Ａとを合流させて、第１蒸発材料と第２蒸発材料とが混ざり合う第３蒸発材料を移送する第３材料輸送管４５Ｃ（第３誘導路）を備える。

第３材料輸送管４５Ｃの下流側の端部には、第３材料輸送管４５Ｃから流入する第３蒸発材料を、流路を絞ってガラス基板１２へ放出する放出部材４４が接続されている。放出部材４４は、第３蒸発材料を拡散させるための分散容器４４ａと、ガラス基板１２に向けて突設され、ガラス基板１２へ第３蒸発材料を放出するための絞り開口部（図示しない）を先端に有する複数のノズル部材４４ｂとを備える。

真空チャンバ１１外において、第１材料収納容器１９Ａと第１材料輸送管４５Ａとの間に、開度を調節することにより、第１材料収納容器１９Ａから第１材料輸送管４５Ａへ供給される第１蒸発材料の流量を制御する第１流量制御バルブ１８Ａが設けられている。
真空チャンバ１１外において、第２材料収納容器１９Ｂと第２材料輸送管４５Ｂとの間に、開度を調節することにより、第２材料収納容器１９Ｂから第２材料輸送管４５Ｂへ供給される第２蒸発材料の流量を制御する第２流量制御バルブ１８Ｂが設けられている。

第１流量制御バルブ１８Ａより上流側の第１材料収納容器１９Ａ内に、第１材料収納容器１９Ａ内の圧力を検出する第１圧力センサ４１が設けられている。蒸着室１３内に、蒸着室１３内の圧力を検出する第２圧力センサ４２が設けられている。第２流量制御バルブ１８Ｂより上流側の第２材料収納容器１９Ｂ内に、第２材料収納容器１９Ｂ内の圧力を検出する第３圧力センサ４７が設けられている。第２流量制御バルブ１８Ｂより下流側の第２材料輸送管４５Ｂに、第２材料輸送管４５Ｂ内の圧力を検出する第４圧力センサ４６が設けられている。
第１圧力センサ４１、第２圧力センサ４２、第３圧力センサ４７、第４圧力センサ４６には、例えば、気体分子による熱伝導を利用する熱伝導式圧力センサが用いられる。
第１圧力センサ４１で第１材料収納容器１９Ａ内の圧力を測定することができるため、その圧力に基づいて、第１材料収納容器１９Ａ内の加熱温度、およびその加熱温度に基づく第１蒸着材料１６Ａの蒸発量を、精度良く監視し、調整することができる。第３圧力センサ４７で第２材料収納容器１９Ｂ内の圧力を測定することができるため、その圧力に基づいて、第２材料収納容器１９Ｂ内の加熱温度、およびその加熱温度に基づく第２蒸着材料１６Ｂの蒸発量を、精度良く監視し、調整することができる。
測定される蒸着レートの精度の観点から、第１圧力センサは、第１材料収納容器１９Ａ内において第１蒸着材料１６Ａに近い箇所に設置するのが好ましい。第２圧力センサは、第２材料収納容器１９Ｂ内において第２蒸着材料１６Ｂに近い箇所に設置するのが好ましい。

なお、図示していないが、第１材料収納容器１９Ａおよび第２材料収納容器１９Ｂの他、材料輸送管４５、放出部材４４、第１流量制御バルブ１８Ａ、第２流量制御バルブ１８Ｂ、第１圧力センサ４１、第２圧力センサ４２、第３圧力センサ４７、および第４圧力センサ４６の各構成部材は、ヒータ等の加熱手段により各構成部材に各蒸発材料が付着しない程度の温度に加熱されている。第１圧力センサ４１、第２圧力センサ４２、第３圧力センサ４７、および第４圧力センサ４６の加熱により、第１圧力センサ４１、第２圧力センサ４２、第３圧力センサ４７、および第４圧力センサ４６の温度を周囲温度よりも高温にすることにより各センサ部に各蒸発材料が付着することを回避しており、連続計測を可能としている。

コントローラ２４’は、第１圧力センサ４１により測定された圧力Ｐ１と、第２圧力センサ４２により測定された圧力Ｐ２の差（Ｐ１−Ｐ２）に基づいて、放出部材４４より放出される第１蒸発材料の流量Ｑ１を求める。求められた第１蒸発材料の流量Ｑ１に基づいて、第１蒸発材料のガラス基板１２への第１蒸着レートＲ１を計測する。計測された第１蒸着レートＲ１が所定の蒸着レートＲｅ１となるように、第１流量制御バルブ１８Ａへバルブ開度指令Ｌ１（バルブ開度０〜１００％に相当する電気信号）を出力し、その出力信号に応じて第１流量制御バルブ１８Ａの開度を制御する。
且つ、コントローラ２４’は、第３圧力センサ４６により測定された圧力Ｐ３と、第４圧力センサ４７により測定された圧力Ｐ４との差（Ｐ３−Ｐ４）に基づいて、放出部材４４より放出される第２蒸発材料の流量Ｑ２を求める。求められた第２蒸発材料の流量Ｑ２に基づいて、第２蒸発材料のガラス基板１２への第２蒸着レートＲ２を計測する。計測された第２蒸着レートＲ２が所定の蒸着レートＲｅ２となるように、第２流量制御バルブ１８Ｂへバルブ開度指令Ｌ２（バルブ開度０〜１００％に相当する電気信号）を出力し、その出力信号に応じて第２流量制御バルブ１８Ｂの開度を制御する。

第１蒸着レートＲ１は、実施の形態１の蒸着レートＲの場合と同様の方法により求められる。
第２蒸着レートＲ２は、以下の方法により求められる。
第３圧力センサ４７で測定された圧力Ｐ３（Ｐａ）と第４圧力センサ４６で測定された圧力Ｐ４（Ｐａ）との差（Ｐ３−Ｐ４）に基づき、第２流量制御バルブ１８ＢのコンダクタンスＣｖ（ｍ^３／ｓｅｃ）を用いて、第２蒸発材料の流量Ｑ２（Ｐａ・ｍ^３／ｓｅｃ）が下記の式（１ａ）により求められる。ついで、第２蒸着レートＲ２が第２蒸発材料の流量Ｑ２に比例することに基づき、比例乗数Ｆを用いて、第２蒸着レートＲ２（Å／ｓ）が下記の式（２ａ）により求められる。
Ｑ２＝Ｃｖ×（Ｐ３−Ｐ４） …（１ａ）
Ｒ＝Ｆ×Ｑ＝Ｇ×（Ｐ３−Ｐ４） …（２ａ）
なお、Ｇ＝Ｆ×Ｃｖ
なお、上記の乗数Ｇについては、実施の形態１に記載の手法を用いて、予め求めておく。

第３圧力センサ４７および第４圧力センサ４６により圧力Ｐ３および圧力Ｐ４を測定し、第２流量制御バルブ１８Ｂよりも上流側の圧力Ｐ３を第２流量制御バルブ１８Ｂよりも下流側の圧力Ｐ４よりも大きくすることで、第２材料収納容器１９Ｂ内への第１蒸発材料の流入および第２蒸発材料の逆流を防ぐことができる。

実施の形態２の蒸着装置を用いた蒸着方法は、
第１材料収納容器１９Ａにおいて第１蒸着材料１６Ａを加熱して第１蒸発材料を得る工程と、
第２材料収納容器１９Ｂにおいて第２蒸着材料１６Ｂを加熱して第２蒸発材料を得る工程と、
第１材料収納容器１９Ａで得られた第１蒸発材料を第１材料輸送管４５Ａ中に移送する工程と、
第２材料収納容器１９Ｂで得られた第２蒸発材料を第２材料輸送管４５Ｂ中に移送する工程と、
第１材料輸送管４５Ａと第２材料輸送管４５Ｂとを合流させて、第１蒸発材料と第２蒸発材料とが混ざり合う第３蒸発材料を第３材料輸送管４５Ｃ中に移送する工程と、
第３誘導路から放出部材を介して第３蒸発材料を被蒸着部材へ放出する工程と、
第１流量制御バルブ１８Ａを用いて第１材料収納容器１９Ａから第１材料輸送管４５Ａへ供給される第１蒸発材料の流量を調整する工程と、
第２流量制御バルブ１８Ｂを用いて第２材料収納容器１９Ｂから第２材料輸送管４５Ｂへ供給される第２蒸発材料の流量を調整する工程と、
第１圧力センサ４１を用いて第１材料収納容器１９Ａ内の圧力を検出する工程と、
第２圧力センサ４２を用いて蒸発室１３内の圧力を検出する工程と、
第３圧力センサ４７を用いて第２材料収納容器１９Ｂ内の圧力を検出する工程と、
第４圧力センサ４６を用いて第２材料輸送管４５Ｂ内の圧力を検出する工程と、
コントローラ２４’を用いて、
第１圧力センサ４１で測定された圧力Ｐ１と、第２圧力センサで測定された圧力Ｐ２との差（Ｐ１−Ｐ２）に基づいて第１蒸発材料の流量Ｑ１を求め、求められた第１蒸発材料の流量Ｑ１に基づいて第１蒸発材料のガラス基板１２への第１蒸着レートＲ１を計測し、計測された第１蒸着レートＲ１が所定の第１蒸着レートＲｅ１になるように、第１流量制御バルブ１８Ａの開度を制御し、かつ
第３圧力センサ４７で測定された圧力Ｐ３と、第４圧力センサ４６で測定された圧力Ｐ４との差（Ｐ３−Ｐ４）に基づいて第２蒸発材料の流量Ｑ２を求め、求められた第２蒸発材料の流量Ｑ２に基づいて第２蒸発材料のガラス基板１２への第２蒸着レートＲ２を計測し、計測された第２蒸着レートＲ２が所定の第２蒸着レートＲｅ２になるように、第２流量制御バルブ１８Ｂの開度を制御する工程と、
を含む。

以上のように、４つの圧力センサ４１，４２，４６，４７を用いることにより、２つの蒸発材料の蒸着レートＲ１，Ｒ２を個別に正確に計測することができる。よって、正確な所定の蒸着レートＲｅ１，Ｒｅ２でガラス基板１２に各蒸発材料を蒸着することができる。すなわち、各蒸発材料による蒸着膜をそれぞれ正確な割合・蒸着レートで形成でき、所望の膜厚を得ることができる。
従来のように蒸着膜が厚くなると水晶振動子式膜厚センサの水晶振動子を交換する必要がない。よって、２種類の有機材料を同時に成膜する連続共蒸着を長時間実施することが可能となり、生産性の低下を回避できる。
共蒸着に対して水晶振動子式センサを用いる場合、蒸着レートＲ１，Ｒ２を個別に計測することはできないが、４つの圧力センサ４１，４２，４６，４７を用いることで蒸着レートＲ１，Ｒ２を個別に計測することができる。

実施の形態２において、実施の形態１と同様に、材料収納容器１９Ａ、１９Ｂと流量制御バルブ１８Ａ、１８Ｂとの間に、図４に示す接続フランジ２０のような接続部材を設ける場合、接続部材に圧力センサ４１、４２を設置してもよい。

実施の形態２において、実施の形態１と同様に、材料収納容器１９Ａ、１９Ｂに図５に示す空間２５のような空間を設けて、その空間２５に圧力センサ４１、４２を設けてもよい。蒸着材料１６の投入時に蒸着材料１６が圧力センサ２１に触れることがなく、良好な計測精度を維持することができる。

また、実施の形態２では、１種の第２蒸着材料を用いたが、互いに異なる複数種の第２蒸着材料を用いてもよい。この場合、複数の第２料収納容器１９Ｂおよび第２材料輸送管４５Ｂを設け、各第２材料収納容器１９Ｂおよび第２材料輸送管４５Ｂに対して、それぞれ第２流量制御バルブ１８Ｂ、第３圧力センサ４７、および第４圧力センサ４６を設け、各第２料収納容器１９Ｂにそれぞれ第２蒸着材料を収納すればよい。

実施の形態２の変形例として、２種の第２蒸着材料（蒸着材料１６Ｂ−１および蒸着材料１６Ｂ−２）を用いる場合を、図７を参照しながら説明する。図６と重複する部分については説明を省略する。

真空チャンバ１１外において、蒸着材料１６Ｂ−１を収納し、ヒータ等の加熱手段により蒸着材料１６Ｂ−１を加熱して第２−１蒸発材料を得るための材料収納容器１９Ｂ−１が設けられている。材料収納容器１９Ｂ−１内で得られた第２−１蒸発材料は、真空チャンバ１１の下部に設けられた材料輸送管４５Ｂ−１へ供給される。
真空チャンバ１１外において、蒸着材料１６Ｂ−２を収納し、ヒータ等の加熱手段により蒸着材料１６Ｂ−２を加熱して第２−２蒸発材料を得るための第２−２材料収納容器１９Ｂ−２が設けられている。材料収納容器１９Ｂ−２内で得られた第２−２蒸発材料は、真空チャンバ１１の下部に設けられた材料輸送管４５Ｂ−２へ供給される。
第３材料輸送管４５Ｃは、第１材料輸送管４５Ａと、材料輸送管４５Ｂ−１と、材料輸送管４５Ｂ−２とを合流させる。

真空チャンバ１１外において、材料収納容器１９Ｂ−１と材料輸送管４５Ｂ−１との間に、開度を調節することにより、材料収納容器１９Ｂ−１から材料輸送管４５Ｂ−１へ供給される第２−１蒸発材料の流量を制御する流量制御バルブ１８Ｂ−１が設けられている。
真空チャンバ１１外において、材料収納容器１９Ｂ−２と材料輸送管４５Ｂ−２との間に、開度を調節することにより、材料収納容器１９Ｂ−２から材料輸送管４５Ｂ−２へ供給される第２−２蒸発材料の流量を制御する流量制御バルブ１８Ｂ−２が設けられている。

材料収納容器１９Ｂ−１内に、材料収納容器１９Ｂ−１内の圧力を検出する第３圧力センサ４７−１が設けられている。材料輸送管４５Ｂ−１に、材料輸送管４５Ｂ−１内の圧力を検出する第４圧力センサ４６−１が設けられている。
材料収納容器１９Ｂ−２内に、材料収納容器１９Ｂ−２内の圧力を検出する第５圧力センサ４７−２が設けられている。材料輸送管４５Ｂ−２に、材料輸送管４５Ｂ−２内の圧力を検出する第６圧力センサ４６−２が設けられている。

第３−１圧力センサ４７−１により測定された圧力Ｐ３−１と、第４−１圧力センサ４６−１により測定された圧力Ｐ４−１との差に基づいて第２−１蒸発材料の流量を求めることにより、第２−１蒸発材料のガラス基板１２への蒸着レートＲ２−１を計測し、計測された蒸着レートＲ２−１が所定の蒸着レートＲｅ２−１になるように、流量制御バルブ１８Ｂ−１へバルブ開度指令Ｌ２−１を出力し、その出力信号に応じて流量制御バルブ１８Ｂ−１の開度を制御し、かつ、
第３−２圧力センサ４７−２により測定された圧力Ｐ３−２と、第４−２圧力センサ４６−２により測定された圧力Ｐ４−２との差に基づいて第２−２蒸発材料の流量を求めることにより、第２−２蒸発材料のガラス基板１２への蒸着レートＲ２−２を計測し、計測された蒸着レートＲ２−２が所定の蒸着レートＲｅ２−２になるように、流量制御バルブ１８Ｂ−２へバルブ開度指令Ｌ２−２を出力し、その出力信号に応じて流量制御バルブ１８Ｂ−２の開度を制御するコントローラ５４が設けられている。

以上のように、６つの圧力センサ４１，４２，４６−１，４６−２，４７−１，４７−２を用いることにより、３つの蒸発材料の蒸着レートＲ１，Ｒ２−１，Ｒ２−２を個別に正確に計測することができる。よって、正確な所定の蒸着レートＲｅ１，Ｒｅ２−１，Ｒｅ２−２でガラス基板１２に各蒸発材料を蒸着することができる。すなわち、各蒸発材料による蒸着膜をそれぞれ正確な割合・蒸着レートで形成でき、所望の膜厚を得ることができる。
従来のように蒸着膜が厚くなると水晶振動子式膜厚センサの水晶振動子を交換する必要がない。よって、２種類の有機材料を同時に成膜する連続共蒸着を長時間実施することが可能となり、生産性の低下を回避できる。
共蒸着に対して水晶振動子式センサを用いる場合、蒸着レートＲ１，Ｒ２−１，Ｒ２−２を個別に計測することはできないが、６つの圧力センサ４１，４２，４６−１，４６−２，４７−１，４７−２を用いることで蒸着レートＲ１，Ｒ２−１，Ｒ２−２を個別に計測することができる。

実施の形態１〜２では、ワーク保持具１５に保持されたガラス基板１２の下面（被蒸着面）に下方から蒸発材料を蒸着するアップブロータイプ（アップデポ）の構成としているが、蒸着方向の向きを選ばない構成、すなわちサイドデポ、あるいはダウンデポの構成とすることもできる。

１１ 真空チャンバ
１２ ガラス基板
１３ 蒸着室
１４ 放出部材
１５ ワーク保持具
１６ 蒸着材料
１６Ａ 第１蒸着材料
１６Ｂ 第２蒸着材料
１７，４５ 材料輸送管
１８ 流量制御バルブ
１８Ａ 第１流量制御バルブ
１８Ｂ 第２流量制御バルブ
１９ 材料収納容器
１９Ａ 第１材料収納容器
１９Ｂ 第２材料収納容器
２１ 第１圧力センサ
２２ 第２圧力センサ
２４，２４’，５４ コントローラ
４５Ａ 第１材料輸送管
４５Ｂ 第２材料輸送管
４５Ｃ 第３材料輸送管
４６ 第４圧力センサ
４７ 第３圧力センサ
１８Ｂ−１，１８Ｂ−２ 流量制御バルブ
１９Ｂ−１，１９Ｂ−２ 材料収納容器
４５Ｂ−１，４５Ｂ−２ 材料輸送管
４６−１ 第４−１圧力センサ
４６−２ 第４−２圧力センサ
４７−１ 第３−１圧力センサ
４７−２ 第３−２圧力センサ

Claims (7)

1. 真空室内において蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置であって、
   蒸着材料を収納し、蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発源と、
   蒸発源で得られた蒸発材料を移送する誘導路と、
   誘導路から流入する蒸発材料を、被蒸着部材へ放出する放出部材と、
   蒸発源から誘導路へ供給される蒸発材料の流量を調整する流量制御バルブと、
   蒸発源内の圧力を検出する第１圧力センサと、
   真空室内の圧力を検出する第２圧力センサと、
   第１圧力センサにより測定された値と、第２圧力センサにより測定された値との差に基づいて蒸発材料の流量を求めることにより、蒸発材料の被蒸着部材への蒸着レートを計測し、計測された蒸着レートが所定の蒸着レートになるように、流量制御バルブの開度を制御するコントローラと、
   を備えたことを特徴とする蒸着装置。
2. 放出部材は、
   蒸発材料を拡散させるための分散容器と、
   被蒸着部材に向けて突設され、被蒸着部材へ蒸発材料を放出するための絞り開口部を先端に有する複数のノズル部材と、
   を有することを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
3. 真空室内において、第１蒸発材料および第１蒸発材料よりも蒸着量が小さい第２蒸発材料を混合した第３蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置であって、
   第１蒸着材料を収納し、第１蒸着材料を加熱して第１蒸発材料を得る第１蒸発源と、
   第２蒸着材料を収納し、第２蒸着材料を加熱して第２蒸発材料を得る第２蒸発源と、
   第１蒸発源内で得られた第１蒸発材料を移送する第１誘導路と、
   第２蒸発源内で得られた第２蒸発材料を移送する第２誘導路と、
   第１誘導路と第２誘導路とを合流させて、第１蒸発材料と第２蒸発材料とが混ざり合う第３蒸発材料を移送する第３誘導路と、
   第３誘導路から流入する第３蒸発材料を、被蒸着部材へ放出する放出部材と、
   第１蒸発源から第１誘導路へ供給される第１蒸発材料の流量を調整する第１流量制御バルブと、
   第２蒸発源から第２誘導路へ供給される第２蒸発材料の流量を調整する第２流量制御バルブと、
   第１蒸発源内の圧力を検出する第１圧力センサと、
   真空室内の圧力を検出する第２圧力センサと、
   第２蒸発源内の圧力を検出する第３圧力センサと、
   第２誘導路内の圧力を検出する第４圧力センサと、
   第１圧力センサにより測定された値と、第２圧力センサにより測定された値との差に基づいて第１蒸発材料の流量を求めることにより、第１蒸発材料の被蒸着部材への第１蒸着レートを計測し、計測された第１蒸着レートが所定の第１蒸着レートになるように、第１流量制御バルブの開度を制御し、かつ
   第３圧力センサにより測定された値と、第４圧力センサにより測定された値との差に基づいて第２蒸発材料の流量を求めることにより、第２蒸発材料の被蒸着部材への第２蒸着レートを計測し、計測された第２蒸着レートが所定の第２蒸着レートになるように、第２流量制御バルブの開度を制御するコントローラと、
   を備えたことを特徴とする蒸着装置。
4. 放出部材は、
   第３蒸発材料を拡散させるための分散容器と、
   被蒸着部材に向けて突設され、被蒸着部材へ第３蒸発材料を放出するための絞り開口部を先端に有する複数のノズル部材と、
   を有することを特徴とする請求項３記載の蒸着装置。
5. 第２蒸発源および第２誘導路が複数設けられ、
   各第２蒸発源および第２誘導路に対して、それぞれ第２流量制御バルブ、第３圧力センサ、および第４圧力センサが設けられ、
   各第２蒸発源に収納される第２蒸着材料は、互いに異なることを特徴とする請求項３または４記載の蒸着装置。
6. 請求項１記載の蒸着装置を用いた蒸着方法であって、
   蒸発源において蒸着材料を加熱して蒸発材料を得る工程と、
   蒸発源で得られた蒸発材料を誘導路中に移送する工程と、
   誘導路から放出部材を介して蒸発材料を被蒸着部材へ放出する工程と、
   流量制御バルブを用いて蒸発源から誘導路へ供給される蒸発材料の流量を調整する工程と、
   第１圧力センサを用いて蒸発源内の圧力を検出する工程と、
   第２圧力センサを用いて真空室内の圧力を検出する工程と、
   コントローラを用いて、第１圧力センサで測定された値と、第２圧力センサで測定された値との差に基づいて蒸発材料の流量を求め、求められた蒸発材料の流量に基づいて蒸発材料の被蒸着部材への蒸着レートを計測し、計測された蒸着レートが所定の蒸着レートになるように、流量制御バルブの開度を制御する工程と、
   を含むことを特徴とする蒸着方法。
7. 請求項３記載の蒸着装置を用いた蒸着方法であって、
   第１蒸発源において第１蒸着材料を加熱して第１蒸発材料を得る工程と、
   第２蒸発源において第２蒸着材料を加熱して第２蒸発材料を得る工程と、
   第１蒸発源で得られた第１蒸発材料を第１誘導路中に移送する工程と、
   第２蒸発源で得られた第２蒸発材料を第２誘導路中に移送する工程と、
   第１誘導路と第２誘導路とを合流させて、第１蒸発材料と第２蒸発材料とが混ざり合う第３蒸発材料を第３誘導路中に移送する工程と、
   第３誘導路から放出部材を介して第３蒸発材料を被蒸着部材へ放出する工程と、
   第１流量制御バルブを用いて第１蒸発源から第１誘導路へ供給される第１蒸発材料の流量を調整する工程と、
   第２流量制御バルブを用いて第２蒸発源から第２誘導路へ供給される第２蒸発材料の流量を調整する工程と、
   第１圧力センサを用いて第１蒸発源内の圧力を検出する工程と、
   第２圧力センサを用いて真空室内の圧力を検出する工程と、
   第３圧力センサを用いて第２蒸発源内の圧力を検出する工程と、
   第４圧力センサを用いて第２誘導路内の圧力を検出する工程と、
   コントローラを用いて、
   第１圧力センサで測定された値と、第２圧力センサで測定された値との差に基づいて第１蒸発材料の流量を求め、求められた第１蒸発材料の流量に基づいて第１蒸発材料の被蒸着部材への第１蒸着レートを計測し、計測された第１蒸着レートが所定の第１蒸着レートになるように、第１流量制御バルブの開度を制御し、かつ
   第３圧力センサで測定された値と、第４圧力センサで測定された値との差に基づいて第２蒸発材料の流量を求め、求められた第２蒸発材料の流量に基づいて第２蒸発材料の被蒸着部材への第２蒸着レートを計測し、計測された第２蒸着レートが所定の第２蒸着レートになるように、第２流量制御バルブの開度を制御する工程と、
   を含むことを特徴とする蒸着方法。

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