JP7333697B2 - 蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents
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Description
上記蒸発源は、上記チャンバ内に配置され、蒸着材料を収容する室内空間を形成する圧力室と、上記蒸着材料を加熱する加熱機構と、上記チャンバ内における上記圧力室の外部空間である室外空間に上記室内空間を連通させるノズルとを備える。
上記室内圧力センサは、上記室内空間の圧力である室内圧力を計測する。
上記制御部は、上記室内圧力に基づいて上記加熱機構の温度を制御する。
上記制御部は、さらに、上記室内圧力と上記室外圧力に基づいて上記圧力調整機構を制御してもよい。
本技術の第1の実施形態に係る蒸着装置について説明する。
図1は、本実施形態に係る蒸着装置100の構成を示す模式図であり、図2は、蒸着装置100の一部構成の斜視図である。以下の図において相互に直交する三方向をそれぞれX方向、Y方向及びZ方向とする。X方向及びY方向は例えば水平方向、Z方向は例えば鉛直方向である。
蒸着装置100の動作について説明する。図5乃至図6は蒸着装置100の動作を示す模式図である。
上述のように蒸着材料Rが所定の温度に到達すると制御部107による加熱機構112の制御が実施される。
蒸着装置100では上述のように、室内圧力P1と室外圧力P2の圧力差に基づいて加熱機構112の加熱温度を調整し、蒸着速度を制御することができる。蒸着速度を測定する必要がなく、水晶振動子センサ等の膜厚センサを用いないため、膜厚センサに起因する蒸着速度測定値の変動を防止することができる。
上記説明では、蒸着装置100は室内圧力センサ104及び室外圧力センサ105を備えるものとしたが、蒸着装置100が室外圧力P2の制御機構を備える場合等、室外圧力P2が既知の場合、必ずしも室外圧力センサ105は設けられなくてもよい。制御部107は既知の室外圧力P2と室内圧力センサ104から出力される室内圧力P1を用いて加熱機構112の温度を制御することが可能である。
本技術の第2の実施形態に係る蒸着装置について説明する。
図9は、本実施形態に係る蒸着装置200の構成を示す模式図である。なお、蒸着装置200の構成において、第1の実施形態に係る蒸着装置100と同一の構成については蒸着装置100と同一の符号を付し、説明を省略する。
蒸着装置200においても、第1の実施形態と同様に蒸着材料Rが所定温度まで加熱され、蒸着が行われる。蒸着材料Rが所定の温度に到達すると制御部208による加熱機構112及び圧力調整機構207の制御が実施される。
蒸着装置200は、第1の実施形態と同様の効果を有する。即ち、蒸着速度の測定に水晶振動子センサ等の膜厚センサを用いないため、膜厚センサに起因する蒸着速度測定値の変動を防止することができる。また、室内圧力センサ104及び室外圧力センサ105の高寿命を実現することが可能であり、これらのセンサの配置の自由度も高いものとなっている。
本実施形態においても、蒸発源103の構造は上述のものに限られず、図7及び図8に示したような蒸発源103あるいは蒸着材料Rを収容する室内空間K1を形成し、加熱機構112とノズル113が設けられた構造を有する蒸発源103とすることができる。
101…チャンバ
102…支持機構
103…蒸発源
104…室内圧力センサ
105…室外圧力センサ
106…温度調整器
107、208…制御部
111…圧力室
112…加熱機構
113…ノズル
114…第1分散板
115…第2分散板
116…メッシュ板
121…ポット部
207…圧力調整機構
Claims (5)
- チャンバと、
前記チャンバ内に配置され、蒸着材料を収容する室内空間を形成する圧力室と、前記蒸着材料を加熱する加熱機構と、前記チャンバ内における前記圧力室の外部空間である室外空間に前記室内空間を連通させるノズルとを備える蒸発源と、
前記室内空間の圧力である室内圧力を計測する室内圧力センサと、
前記室外空間の圧力である室外圧力を計測する室外圧力センサと、
前記室外圧力を調整する圧力調整機構と、
前記加熱機構の温度と前記圧力調整機構を制御する制御部と
を具備し、
前記圧力調整機構は、前記チャンバに配管によって接続され、前記チャンバ内を真空排気する真空ポンプ、または、前記配管に接続された調圧バルブにより構成され、
前記制御部は、前記室外圧力と前記室内圧力の圧力差が予め設定された設定値となるように前記加熱機構の温度と前記圧力調整機構を制御する
蒸着装置。 - 請求項1に記載の蒸着装置であって、
前記制御部は、前記圧力差が前記設定値より小さい場合には前記加熱機構の温度を上昇させると共に前記室外圧力を減少させ、前記圧力差が前記設定値より大きい場合には前記加熱機構の温度を低下させると共に前記室外圧力を増加させる
蒸着装置。 - 請求項1又は2に記載の蒸着装置であって、
前記蒸発源は、前記室内空間に配置され、前記蒸着材料の蒸気を分散させる分散板をさらに備える
蒸着装置。 - 請求項1又は2に記載の蒸着装置であって、
前記室内圧力センサはイオンゲージである
蒸着装置。 - チャンバ内に配置され、蒸着材料を収容する室内空間を形成する圧力室と、前記蒸着材料を加熱する加熱機構と、前記チャンバ内における前記圧力室の外部空間である室外空間に前記室内空間を連通させるノズルとを備える蒸発源と、
前記室外空間の圧力である室外圧力を、前記チャンバに配管によって接続され、前記チャンバ内を真空排気する真空ポンプ、または、前記配管に接続された調圧バルブにより調整する圧力調整機構と、
を用い、
前記室外圧力と前記室内空間の圧力である室内圧力の圧力差が予め設定された設定値となるように前記加熱機構の温度と前記圧力調整機構を制御する
蒸着方法。
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