JP2010242202A

JP2010242202A - 蒸着装置

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Publication number: JP2010242202A
Application number: JP2009095380A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Daiku; 博之大工; Kenji Kamikawa; 健司上川
Original assignee: Hitachi Zosen Corp
Current assignee: Hitachi Zosen Corp
Priority date: 2009-04-10
Filing date: 2009-04-10
Publication date: 2010-10-28

Abstract

【課題】基板に対する蒸着速度が大幅に変更されても、検出ノズルから検出素子に対する蒸着速度を精度よく検出して、フィードバック制御を適正に行う。
【解決手段】真空状態の成膜室１１内で、複数の蒸着ノズル１５を有する分散容器１４を基板１２に対向して配置し、この分散容器１４に検出ノズル３２を貫設するとともに、検出ノズル３２に対向して蒸着速度検出素子３３を配置し、検出ノズル３２の放出口に対して蒸着速度検出素子３３を接近離間させる蒸着速度調整手段３４を設け、蒸着速度に対応して検出ノズル３２の放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３との距離を調整する。
【選択図】図１

Description

本発明は、蒸着速度（蒸着レートともいう）検出装置を有する蒸着装置に関する。

たとえば特許文献１には、アップデポジションタイプの蒸着装置が開示されている。この蒸着装置は、真空状態に保持される成膜室の上部に保持具を介して基板が保持され、この基板に対向して成膜室の下部に複数の放出ノズルを有する分散容器が配置されている。そして、成膜室の下方に蒸着材料を蒸発させるための複数の蒸発セルが設置され、これら蒸発セルに接続されて制御バルブを有する材料導入管が、成膜室の底壁を貫通して前記分散容器に接続されている。さらに分散容器の上面に複数の蒸着ノズルが設けられている。

基板の近傍に基板への蒸着速度をモニタするための第１水晶振動子が配置されている。また各分散容器の側部に、材料の一部を放出する検出ノズルがそれぞれ設けられており、これら検出ノズルに対向して蒸着速度を検出する第２水晶振動子がそれぞれ配置されている。

上記従来構成において、第２水晶振動子により分散容器から第２水晶振動子に対する蒸着速度を検出して膜厚制御装置により制御バルブを制御するフィードバック制御を行っている。第１水晶振動子は基板に対する蒸着速度をモニタリングするためのものである。

特開２００８−７５０９５号公報

しかしながら、精度よく検出できるように、基板に対する蒸着速度に対応して、水晶振動子に対する蒸着速度が設定されているが、基板に対する蒸着速度の変化が大きすぎると不具合が生じることがある。

蒸発源の基板に対する蒸着速度を１０Å／secとして安定化蒸着する時に、第２水晶振動子に対する蒸着速度が１Å／secの適正値に設定されている場合、この蒸発源を用いて、基板に対する蒸着速度が０．１Å／secで安定化蒸着するように変更された場合、第２水晶振動子に対する蒸着速度も１／１００の０．０１Å／secとなり、検出信号が極めて小さくなる。このように適正値である１Å／secに比べて検出信号が大幅に小さくなると、第２水晶振動子における信号／ノイズ比（Ｓ／Ｎ比）が小さくなってノイズの影響が大きくなり、適正なフィードバック制御ができないという問題がある。

また基板に対する蒸着速度を０．１Å／secで安定化蒸着にした時に、第２水晶振動子に対する蒸着速度を１Å／secに設定しておくと、基板に対する蒸着速度が１０Å／secで安定化蒸着するように変更した時に、第２水晶振動子に対する蒸着速度が１００Å／secとなって大量の材料が第２基水晶振動子に蒸着され、第２水晶振動子の寿命が極端に短くなるという問題が生じる。

これを防止する対策として、口径の異なる検出ノズルを複数個用意しておき、基板に対する蒸着速度が変更されるごとに、口径の異なる検出ノズルと交換して、水晶振動子に対する蒸着速度を適正な検出値を得ることが考えられる。しかし、口径の異なる検出ノズルを複数個用意するためにコストが嵩むとともに、基板に対する蒸着速度が変更されるごとに検出ノズルを交換する作業に時間がかかり、生産性が低下するという問題があった。

本発明は、被蒸着材に対する蒸着速度が大幅に変更されても、検出ノズルを口径の異なるものに交換することなく、精度よく蒸着速度を検出することができ、また水晶振動子の寿命が短くなることもない蒸着速度検出装置を有する蒸着装置を提供することを目的とする。

請求項１記載の発明は、
真空状態に保持される成膜室内に、複数の蒸着ノズルを有する分散容器が被蒸着材に対向して配置され、蒸着材料を蒸発させる蒸発セルと前記分散容器とを、制御バルブが介在された材料導入管により接続した蒸着装置において、
前記分散容器に検出ノズルを貫設するとともに、当該検出ノズルに対向して配置されて当該検出ノズルから放出される蒸着材料の蒸着速度を検出する蒸着速度検出素子を設け、
前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子との少なくとも一方を、他方に対して接近離間させる蒸着速度調整手段を設けたものである。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の構成において、
蒸着速度調整手段は、固定された検出ノズルに対して、蒸着速度検出素子を接近離間させる素子調整装置からなり、
前記蒸着速度検出素子の検出信号により制御バルブを操作するとともに、被蒸着材に対する蒸着速度に対応して前記素子調整装置を操作し、前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子の距離を調整する蒸着制御装置を設けたものである。

請求項３記載の発明は、請求項１記載の構成において、
蒸着速度調整手段は、検出ノズルを出退自在または伸縮自在に構成するとともに、前記検出ノズルを出退または伸縮してその放出口を蒸着速度検出素子に接近離間させるノズル調整装置からなり、
前記蒸着速度検出素子の検出信号により制御バルブを操作するとともに、被蒸着材に対する蒸着速度に対応して前記ノズル調整装置を操作して前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子との距離を調整する蒸着制御装置を設けたものである。

請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の構成において、
蒸着制御装置は、
蒸着速度：Ｑ（Å／sec）、検出ノズルの放出口と蒸着速度検出素子との距離：Ｌ（ｍｍ）、蒸着速度に関する係数：ｋとすると、
Ｑ（Ｌ）＝ｋ（１／Ｌ^２）…（１）式に基づいて、
前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子との距離：Ｌを求め、素子調整装置またはノズル調整装置を操作するように構成されたものである。

請求項１記載の発明によれば、分散容器から被溶着材に対する蒸着速度が変更された時に、蒸着速度調整手段により、検出ノズルの放出口と蒸着速度検出素子との距離を変更することで、蒸着速度検出素子に対する蒸着速度を適正範囲に変更することができる。これにより、適正な大きさの検出信号を得ることができて検出信号／ノイズ比（Ｓ／Ｎ比）を十分に大きくできてノイズに影響されることもなく、制御バルブの制御を適正に行うことができ、また蒸着速度検出素子に対する蒸着速度が増大して寿命が極端に短くなることもない。

請求項２記載の発明によれば、蒸着速度調整手段を構成する素子調整装置により、検出ノズルの放出口に対して蒸着速度検出素子を接近離間させて互いの距離を調整することにより、蒸着速度検出素子に対する蒸着速度を適正値に調整することができる。

請求項３記載の発明によれば、蒸着速度調整手段を構成するノズル調整装置により、蒸着速度検出素子に対して検出ノズルの放出口を接近離間させてお互いの距離を調整することにより、蒸着速度検出素子に対する蒸着速度を適正値に調整することができる。

請求項４記載の発明によれば、蒸着制御装置により、（１）式に基づいて、検出ノズルの放出口と蒸着速度検出素子との距離：Ｌを求め、素子調整装置またはノズル調整装置を操作することにより、検出ノズルの放出口と蒸着速度検出素子とを距離を精度良く調整することができる。

本発明に係る蒸着装置の実施例１を示す概略構成図である。素子調整装置を有する蒸着速度調整手段の構成図である。蒸着速度と距離の関係を示すグラフである。本発明に係る蒸着装置の実施例２を示し、ノズル調整装置を有する蒸着速度調整手段の構成図である。本発明に係る蒸着装置の実施例３を示し、他のノズル調整装置を有する蒸着速度調整手段の構成図である。

以下、本発明に係る蒸着装置の実施例１を図１〜図３に基づいて説明する。
（全体構造）
図１に示すように、真空状態に保持される成膜室１１において、上部に被蒸着材である基板１２を支持する基板保持具１３が配置され、成膜室１１の下部に基板１２に対向して分散容器１４が配置されている。そして、成膜室１１の下部外方に、第１，第２蒸着材料をそれぞれ蒸発させる加熱装置を具備した第１，第２蒸発セル１６Ａ，１６Ｂが設置されている。そして第１，第２蒸発セル１６Ａ，１６Ｂに接続された材料導入管１８Ａ，１８Ｂが合流管１８Ｃに合流され、この合流管１８Ｃが成膜室１１の底壁を貫通して分散容器１４の底壁１４ｄ中央に接続されている。そしてこれら材料導入管１８Ａ，１８Ｂに、蒸着速度を制御可能な第１，第２制御バルブ１７Ａ，１７Ｂが介在されている。

分散容器１４の上壁１４ｕには、複数の蒸着ノズル１５が所定間隔をあけて貫設されている。またこれら蒸着ノズル１５に、開口部を開閉可能な開閉シャッター装置１９が設置されており、この開閉シャッター装置１９は、開口部を開閉可能な放出穴１９ｂを有するシャッター板１９ａと、このシャッター板１９ａを水平方向に所定量スライドさせて蒸着ノズル１５を開閉するシャッター駆動部１９ｃとで構成されている。

これにより、第１，第２蒸発セル１６Ａ，１６Ｂで蒸発された蒸着材料を材料導入管１８Ａ，１８Ｂから第１，第２制御バルブ１７Ａ，１７Ｂを介して分散容器１４に導入し、蒸着ノズル１５から基板１２に向かって蒸着材料を放出して基板１２に均一に蒸着することができる。

（蒸着速度検出装置）
この成膜室１１には、基板１２に対する蒸着速度を検出するための蒸着速度検出装置３１が設けられている。

蒸着速度検出装置３２は、分散容器１４の一側部側壁１４ｓに貫設されて蒸発材料の一部を放出する検出ノズル３２と、この検出ノズル３２に対向して配置された水晶振動子からなる可動式の蒸着速度検出素子３３と、検出ノズル３２の放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３との距離を調整し蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度を調整可能な蒸着速度調整手段３４と、蒸着速度検出素子３３の検出信号に基づいて蒸着速度を求める蒸着速度検出部３５とを具備し、その検出値が蒸着速度検出部３５から蒸着制御装置２１に出力されている。

図２に示すように、蒸着速度調整手段３４は、固定式の検出ノズル３２の放出口３２ａに対して蒸着速度検出素子３３を接近離間移動させることにより、蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度を調整する素子調整装置３６により構成されている。この素子調整装置３６はたとえばラック・ピニオン機構からなる直線移動装置からなり、この直線移動装置は、検出ノズル３２の軸心と平行に移動自在に案内されて蒸着速度検出素子３３の素子ホルダー３７を有するラック部材３８と、このラック部材３８のラック歯に噛合するピニオン３９と、このピニオン３９を正逆回転して蒸着速度検出素子３３を移動し位置調整可能な調整用モータ４０と、この調整用モータ４０の回転方向および回転角から蒸着速度検出素子３３の位置を検出可能なロータリエンコーダ（素子位置検出器）４１とを具備している。

蒸着制御装置２１は、操作器２２からの操作信号と、蒸着速度検出部３５により検出された検出値とに基づいて、蒸発セル１６Ａ，１６Ｂの加熱温度や制御バルブ１７Ａ，１７Ｂの開閉度、開閉シャッター装置１９の開閉をそれぞれ制御するものである。

また蒸着制御装置２１により、調整駆動部２３を介して素子調整装置３６の調整用モータ４０を制御し、検出ノズル３２の放出口３２ａに対する蒸着速度検出素子３３の距離を調整することにより、蒸着速度検出素子３３に適正な蒸着速度で蒸着させることができる。

ところで、蒸着速度検出素子３３に蒸着される蒸着速度：Ｑ（Å／sec）、蒸着速度検出ノズル３２の放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３の距離：Ｌ（ｍｍ）、蒸着速度に関する係数：ｋ（≒１）とすると、蒸着速度：Ｑと距離：Ｌの間に、
Ｑ（Ｌ）＝ｋ（１／Ｌ^２）…（１式）の関係が成り立つ。

またここで、蒸着速度に関する係数ｋ≒１であり、（１式）によれば、図４に示すように、Ｑと（１／Ｌ^２）とがほぼ直線となる比例関係となる。これは、距離：Ｌが長いほど、蒸着速度：Ｑが少なくなることを示している。

ここで蒸着速度：Ｑ１，Ｑ２、距離：Ｌ１，Ｌ２とすると、
（１式）Ｑ１＝k（１／Ｌ１^２）、Ｑ２＝k（１／Ｌ２^２）から、
Ｑ１×k（１／Ｌ２^２）＝Ｑ２×k（１／Ｌ１^２）
Ｑ２／Ｑ１＝k（１／Ｌ２^２）／k（１／Ｌ１^２）
Ｑ２／Ｑ１＝Ｌ１^２／Ｌ２^２となり、
√（Ｑ２／Ｑ１）＝Ｌ１／Ｌ２…（２式）となる。

蒸着制御装置２１では、最初に設定された蒸着速度：Ｑ１、距離：Ｌ１とし、操作器２２から入力された基板１２に対する蒸着速度に対応して、蒸着速度検出素子３３に対して目標となる蒸着速度：Ｑ２とすると、（２式）に基づいて目標とする距離：Ｌ２を求め、調整駆動部２３を介して直線移動装置の調整用モータ４０を駆動して蒸着速度検出素子３３を移動させ、蒸着速度検出ノズル３２の放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３との距離をＬ２として、蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度をＱ２にすることができる。

上記構成における蒸着作業を説明する。
まず、必要に応じてマスクが取り付けられた基板１２を成膜室１１に搬入して基板保持具１３に取り付ける。第１蒸発セル１６Ａに第１の蒸着材料を投入して加熱、蒸発させ、第１制御バルブ１７Ａを開けて、第１の蒸着材料を材料導入管１８Ａから分散容器１４に導入する。分散容器１４では、シャッター装置１９により蒸着ノズル１５が閉鎖されており、蒸着速度検出装置３１により蒸着速度が求められる。すなわち、分散容器１４内の蒸発材料が検出ノズル３２から蒸着速度検出素子３３に放出されて蒸着され、蒸着速度検出素子３３の検出信号に基づいて蒸着速度検出部３５により蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度が検出される。

蒸着制御装置２１では、蒸着速度検出部３５の検出値に基づいて第１制御バルブ１７Ａを操作し、目的の蒸着速度になるようにフィードバック制御する。そして目的の蒸着速度になると、シャッター装置１９を開放して第１の蒸着材料を蒸着ノズル１５から基板１２に向かって放出させ安定化蒸着する。

安定化蒸着中は、蒸着速度検出装置３１により蒸着速度検出素子３３で検出された検出信号が、一定時間ごとに蒸着速度検出部３５を介して膜厚制御装置２１に出力されており、膜厚制御装置２１では、この検出値に基づいて第１制御バルブ１７Ａをフィードバック制御して、基板１２に対する蒸着速度が適正な値となるように制御する。

所定の蒸着時間が経過すると、シャッター装置１９を閉じるとともに、第１制御バルブ１７Ａを閉じて第１の蒸着材料の蒸着が完了する。
次に第２の蒸着材料を第２蒸発セル１６Ｂで蒸発させて次の膜を蒸着する。
この時、たとえば第１の蒸着材料による蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度：Ｑ１＝１０（Å／sec）で、検出ノズル３２の放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３の距離：Ｌ１＝１０（ｍｍ）であった場合、第２の蒸着材料による蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度を、第１の蒸着材料の１／１０となるＱ２＝１（Å／sec）とする場合、蒸着制御装置２１では（２）式に基づいて距離：Ｌ２を求める。

すなわち、
√（Ｑ２／Ｑ１）＝Ｌ１／Ｌ２…（２）式から
√０．１＝１０／Ｌ２
１０／√(１／１０)＝Ｌ２
Ｌ２≒３．１６（ｍｍ）となる。

また、第２の蒸着材料の蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度が第１の蒸着材料の１０倍のＱ２＝１００（Å／sec）とする場合、（２）式から
√（１００／１０）＝１０／Ｌ２
１０×√１０＝Ｌ２
Ｌ２≒３１．６（ｍｍ）となる。

このようにして求められた距離Ｌ２に基づいて、蒸着制御装置２１により素子調整装置３６の調整用モータ４０を駆動して蒸着速度検出素子３３の位置を変更する。
蒸着作業は、第２蒸発セル１６Ｂに第２の蒸着材料を投入して加熱、蒸発させ、第２制御バルブ１７Ｂを開けて、第２の蒸着材料を材料導入管１８Ｂから分散容器１４に導入する。分散容器１４では、シャッター装置１９により蒸着ノズル１５が閉鎖されており、蒸着速度検出装置３１により蒸着速度が検出されている。

蒸着制御装置２１では、この検出値に基づいて第２制御バルブ１７Ｂを操作して、目的の蒸着速度になるようにフィードバック制御される。そして目的の蒸着速度になると、シャッター装置１９を開放して第２の蒸着材料を蒸着ノズル１５から基板１２に向かって放出させ安定化蒸着する。さらに安定化蒸着中も、蒸着速度検出装置３１において一定時間ごとに検出されており、膜厚制御装置２１により第２制御バルブ１７Ｂをフィードバック制御して、基板１２に対する蒸着速度を一定になるように制御する。

所定の蒸着時間が経過すると、シャッター装置１９を閉じるとともに、第２制御バルブ１７Ｂを閉じて第２の蒸着材料の蒸着が完了する。
（実施例１の効果）
上記実施例１によれば、分散容器１４から蒸着ノズル１５を介して放出される蒸着材料の基板１２に対する蒸着速度が変更された時に、蒸着速度調整手段３４により、検出ノズル３２の放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３との距離を変更することで、蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度を適正値に変更することができる。これにより、蒸着速度検出素子３３の検出信号／ノイズ比（Ｓ／Ｎ比）を十分に大きくして、精度よく検出することができ、この検出値に基づいて第１，第２制御バルブ１７Ａ，１７Ｂをフィードバック制御して、基板１２に対する蒸着速度を安定して保持することができる。また蒸着速度検出素子３３への蒸着速度が増大されて寿命が極端に短くなることもない。

また蒸着速度調整手段３４を素子調整装置３６により構成し、素子調整装置３６により蒸着速度検出素子３３を検出ノズル３２の放出口３２ａに対して接近離間させて、放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３とを適正距離に調整するので、蒸着速度検出素子３３に対する蒸着速度を適正に検出することができる。

さらに、基板１２に対する蒸着速度が変更された時には、蒸着制御装置２１により、（２）式に基づいて、検出ノズル３２の放出口３２ａと蒸着速度検出素子３３との距離を求め、素子調整装置３６を操作して蒸着速度検出素子３３を精度良く適正距離にすることができる。

［実施例２］
実施例１における蒸着速度調整手段３４は、検出ノズル３２の放出口３２ａを固定し、蒸着速度検出素子３３を接近離間させる素子調整装置を設けたが、実施例２では、図４に示すように、検出ノズル３２の放出口３２ａの位置を調整する蒸着速度調整手段５１を設けたものである。なお、実施例１と同一部材には、同一符号を付して説明を省略する。

実施例２における蒸着速度調整手段５１は、分散容器１４の一側部側壁１４ｓに貫設されたガイド筒５４内にスライド自在に設けられた出退式の検出ノズル５５と、この検出ノズル５５に対向する位置に素子ホルダー５２を介して固定された蒸着速度検出素子（水晶振動子）５３と、検出ノズル５５をスライドさせて放出口を移動させ蒸着速度検出素子５３と放出口５５ａとの距離を調整可能なノズル調整装置５６とにより構成されている。ノズル調整装置５６はたとえばラック・ピニオン機構からなる直線移動装置からなり、この直線移動装置は、検出ノズル５５の軸心と平行に移動自在に案内されて検出ノズル５５に連結部材５７を介して連結されたラック部材５８と、このラック部材５８のラック歯に噛合するピニオン５９と、このピニオン５８を正逆回転可能な調整用モータ６０と、調整用モータ６０の回転方向および回転角から検出ノズル５５の放出口５５ａの位置を検出可能なロータリエンコーダ（ノズル位置検出器）６１とを具備している。

上記実施例２の構成によれば、基板１２に対する蒸着速度に対応してノズル調整装置５６を操作し、検出ノズル５５の放出口５５ａを蒸着速度検出素子５３に対して接近離間させて放出口５５ａと蒸着速度検出素子５３との距離を調整し、蒸着速度検出素子５３に対する蒸着速度を適正値にすることができる。これにより、検出信号に対するノイズの影響も少なく、また蒸着速度検出素子５３の寿命が短くなることもない。

さらに蒸着制御装置２１により、（１）式に基づいて、検出ノズル５５の放出口５５ａと蒸着速度検出素子５３との距離を求め、ノズル調整装置５６を操作することにより、検出ノズル５５の放出口５５ａと蒸着速度検出素子５３とを精度良く適正距離に調整することができる。

［実施例３］
実施例３は実施例２と同様に放出口を出退させるものであるが、図５に示すように、分散容器１４の一側部側壁１４ｓに貫設された伸縮式の検出ノズル７１を貫設して放出口７１ａを出退自在とし、ノズル調整装置５６により、検出ノズル７１を伸縮させて放出口７１ａを移動させ、放出口７１ａと蒸着速度検出素子５３との距離を調整可能にしたもので、同一構造のノズル調整装置５６が設けられている。なお、実施の形態２と同一部材には、同一符号を付して説明を省略する。

実施例３によれば、実施例１または２と同様の作用効果を奏することができる。
なお、上記実施例１〜３では、直線移動装置としてラック・ピニオン機構を説明したが、これに限るものではなく、ボールねじ機構や電動シリンダ装置などを使用することができる。

１１成膜室
１２基板（被蒸着材）
１４分散容器
１５蒸着ノズル
１６Ａ第１蒸発セル
１６Ｂ第２蒸発セル
１７Ａ第１制御バルブ
１７Ｂ第２制御バルブ
１９開閉シャッター装置
２１蒸着制御装置
３１蒸着速度検出装置
３２検出ノズル
３２ａ放出口
３３蒸着速度検出素子
３４蒸着速度調整手段
３５第２蒸着速度検出部
３６素子調整装置
５１蒸着速度調整手段
５３蒸着速度検出素子
５５検出ノズル
５５ａ放出口
５６ノズル調整装置
７１検出ノズル
７１ａ放出口

Claims

真空状態に保持される成膜室内に、複数の蒸着ノズルを有する分散容器が被蒸着材に対向して配置され、蒸着材料を蒸発させる蒸発セルと前記分散容器とを、制御バルブが介在された材料導入管により接続した蒸着装置において、
前記分散容器に検出ノズルを貫設するとともに、当該検出ノズルに対向して配置されて当該検出ノズルから放出される蒸着材料の蒸着速度を検出する蒸着速度検出素子を設け、
前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子との少なくとも一方を、他方に対して接近離間させる蒸着速度調整手段を設けた
ことを特徴とする蒸着装置。
蒸着速度調整手段は、固定された検出ノズルに対して、蒸着速度検出素子を接近離間させる素子調整装置からなり、
前記蒸着速度検出素子の検出信号により制御バルブを操作するとともに、被蒸着材に対する蒸着速度に対応して前記素子調整装置を操作し、前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子の距離を調整する蒸着制御装置を設けた
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
蒸着速度調整手段は、検出ノズルを出退自在または伸縮自在に構成するとともに、前記検出ノズルを出退または伸縮してその放出口を蒸着速度検出素子に接近離間させるノズル調整装置からなり、
前記蒸着速度検出素子の検出信号により制御バルブを操作するとともに、被蒸着材に対する蒸着速度に対応して前記ノズル調整装置を操作して前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子との距離を調整する蒸着制御装置を設けた
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
蒸着制御装置は、
蒸着速度：Ｑ（Å／sec）、検出ノズルの放出口と蒸着速度検出素子との距離：Ｌ（ｍｍ）、蒸着速度に関する係数：ｋとすると、
Ｑ（Ｌ）＝ｋ（１／Ｌ^２）…（１）式に基づいて、
前記検出ノズルの放出口と前記蒸着速度検出素子との距離：Ｌを求め、素子調整装置またはノズル調整装置を操作するように構成された
ことを特徴とする請求項２または３に記載の蒸着装置。