KR20190095121A - 통형 주름 상자 커버 - Google Patents

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KR20190095121A
KR20190095121A KR1020190009989A KR20190009989A KR20190095121A KR 20190095121 A KR20190095121 A KR 20190095121A KR 1020190009989 A KR1020190009989 A KR 1020190009989A KR 20190009989 A KR20190009989 A KR 20190009989A KR 20190095121 A KR20190095121 A KR 20190095121A
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KR
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ring
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cylindrical
corrugated box
reinforcing
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KR1020190009989A
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마이 하네다
도시후미 마츠야마
준 스와노
신이치 후지사와
아이미 야마토
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가부시기가이샤 디스코
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    • B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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Abstract

본 발명은 구동 기구의 동작 영역에 대하여 통형 주름 상자 커버의 탈착을 용이하게 행할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다.
통형 주름 상자 커버(2)는, 원 링형의 상부 링(20)과, 타원 링형의 하부 링(21)과, 상하에 배치되는 상부 링(20)과 하부 링(21)을 연결하는 통형 주름 상자천(22)과, 상부 링(20)과 하부 링(21) 사이에 평행하게 복수개 배치되어 통형 주름 상자천(22)을 보강하는 보강 링(23)을 구비하고, 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 링형으로 연결 및 링형으로 연결된 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)의 분리를 가능하게 하는 착탈부(28)를 구비하고, 통형 주름 상자천(22)은, 상단부와 하단부를 접속하는 패스너(27)를 구비하였기 때문에, 패스너(27)의 개폐에 의해 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이에서의 탈착(장착 및 제거)을 용이하게 행하는 것이 가능해져, 작업 시간을 단축할 수 있다.

Description

통형 주름 상자 커버{CYLINDRICAL PLEATED BOX COVER}
본 발명은 구동 기구를 커버하는 통형 주름 상자 커버에 관한 것이다.
연마 패드에 의해 웨이퍼를 연마하는 웨이퍼의 연마 가공에 있어서는, 유지 테이블에 유지된 웨이퍼의 상면에 대하여 수직 방향을 축으로 한 회전축의 선단에 장착한 연마 패드를 웨이퍼에 압박하며 연마 패드를 웨이퍼의 상면에 대하여 평행한 수평 방향으로 이동시켜 웨이퍼를 연마하고 있다. 그 때문에, 웨이퍼의 연마 가공 중에 발생하는 연마 부스러기를 가공실 내로부터 비산시키지 않도록 유지 테이블과 연마 패드를 포위하는 통형 주름 상자 커버가 배치되어 있다(예컨대, 하기의 특허문헌 1을 참조). 이 통형 주름 상자 커버는, 통형의 주름 상자천에 있어서 복수의 링이 평행하게 계단형으로 배치되어 있고, 주름 상자천의 하단부가 가공실의 개구의 둘레 가장자리에 장착되고, 주름 상자천의 상단부가 회전축을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 유닛에 장착되어 사용된다.
특허문헌 1: 일본 특허 제4464113호 공보
그러나, 웨이퍼를 연마 가공할 때에는, 연마 패드의 하강 동작에 추종하여 통형 주름 상자 커버가 수직 방향으로 줄어들어 복수의 링이 접근하고, 이 상태로 연마 패드를 수평 방향으로 이동시키기 때문에, 줄어든 상태의 통형 주름 상자 커버가 수평 방향으로도 변형한다. 또한, 통형 주름 상자 커버는, 연마 패드의 연마면을 드레싱할 때에도 상기와 마찬가지로 연마 패드의 수직 이동 및 수평 이동에 추종하여 변형한다. 특히, 연마 패드의 수평 이동 시에는, 접근한 복수의 링이 기울어짐으로써, 링과 링 사이에서 주름 상자천이 스쳐 찢어지는 문제가 있다. 주름 상자천이 찢어졌다면, 새로운 통형 주름 상자 커버로 교환하고 있지만, 종래의 통형 주름 상자 커버 및 가공실의 구성에 있어서는 교환 작업을 간단히 행할 수 없다고 하는 문제가 있다. 특수한 재질을 이용하면 주름 상자천의 스침을 저감할 수 있지만, 주름 상자천의 찢어짐 자체를 방지하는 것은 곤란하고, 특수한 재질을 이용하기 때문에, 통형 주름 상자 커버의 제조 비용이 비싸진다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 구동 기구의 동작 영역에 대하여 통형 주름 상자 커버의 탈착을 용이하게 행할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명은 상하 좌우 방향으로 동작하는 구동 기구의 동작 영역을 커버하는 통형 주름 상자 커버로서, 원 링형의 상부 링과, 원 링형의 하부 링과, 상하에 배치되는 상기 상부 링과 상기 하부 링을 연결하는 통형 주름 상자천과, 상기 상부 링과 상기 하부 링 사이에 평행하게 복수개 배치되어 상기 통형 주름 상자천을 보강하는 보강 링을 구비하고, 상기 상부 링과 상기 보강 링과 상기 하부 링을 링형으로 연결 및 상기 링형으로 연결된 상기 상부 링과 상기 보강 링과 상기 하부 링의 분리를 가능하게 하는 착탈부를 구비하고, 상기 통형 주름 상자천은, 상단부와 하단부를 접속하는 패스너를 구비한다. 상기 하부 링은, 타원 링형으로 형성되어도 좋다.
본 발명에 따른 통형 주름 상자 커버는, 원 링형의 상부 링과, 원 링형의 하부 링과, 상하에 배치되는 상부 링과 하부 링을 연결하는 통형 주름 상자천과, 상부 링과 하부 링 사이에 평행하게 복수개 배치되어 통형 주름 상자천을 보강하는 보강 링을 구비하고, 상부 링과 보강 링과 하부 링을 링형으로 연결 및 링형으로 연결된 상부 링과 보강 링과 하부 링의 분리를 가능하게 하는 착탈부를 구비하고, 통형 주름 상자천은, 상단부와 하단부를 접속하는 패스너를 구비하였기 때문에, 착탈부에서 상부 링과 보강 링과 하부 링을 링형으로 연결하면서 패스너를 폐쇄하는 것만으로, 구동 기구의 동작 영역에 통형 주름 상자 커버를 장착할 수 있고, 링형으로 연결된 상부 링과 보강 링과 하부 링을 착탈부에서 분리하면서 패스너를 개방하는 것만으로, 구동 기구의 동작 영역으로부터 통형 주름 상자 커버를 제거할 수 있다. 이와 같이, 통형 주름 상자 커버는, 간이한 구조로 되어 있기 때문에, 통형 주름 상자 커버의 교환을 용이하게 행할 수 있어, 작업 시간을 단축할 수 있다.
도 1은 가공 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 통형 주름 상자 커버가 연마 수단과 가공실 사이에 장착되기 전의 상태를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 통형 주름 상자 커버의 구성을 나타내며, 통형 주름 상자천의 패스너를 개방한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 4는 통형 주름 상자천의 패스너를 폐쇄하는 상태를 나타내는 사시도이다.
1. 가공 장치
도 1에 나타내는 가공 장치(1)는, 본 발명에 따른 통형 주름 상자 커버(2)가 적용되는 가공 장치의 일례이다. 가공 장치(1)는, Y축 방향으로 연장되는 장치 베이스(10)를 가지고, 장치 베이스(10)의 중앙부에는, 회전 가능한 턴 테이블(11)이 배치되어 있다. 턴 테이블(11) 위에는, 웨이퍼(W)를 유지하고 자전 가능한 유지 테이블(12)이 복수개 배치되어 있다. 유지 테이블(12)의 상면은, 웨이퍼(W)를 흡인 유지하는 유지면(120)으로 되어 있다. 그리고, 턴 테이블(11)이 회전함으로써, 유지 테이블(12)을 공전시킬 수 있다.
장치 베이스(10)의 Y축 방향 전방부에는, 스테이지(13a, 13b)가 부착되어 있다. 스테이지(13a)에는 가공 전의 웨이퍼(W)가 수용된 카세트(14a)가 배치되고, 스테이지(13b)에는 가공 후의 웨이퍼(W)가 수용된 카세트(14b)가 배치되어 있다. 카세트(14a, 14b)에 대면하는 위치에는, 카세트(14a)로부터의 웨이퍼(W)의 반출을 행하며 카세트(14b)에의 웨이퍼(W)의 반입을 행하는 반출입 수단(15)이 배치되어 있다. 반출입 수단(15)의 가동 범위에는, 웨이퍼(W)를 가배치하기 위한 가배치 수단(16)과, 가공 후의 웨이퍼(W)에 부착한 가공 부스러기를 세정하는 세정 수단(17)이 배치되어 있다.
가배치 수단(16)의 근방에는, 가배치 수단(16)에 가배치된 가공 전의 웨이퍼(W)를 유지 테이블(12)에 반송하는 제1 반송 수단(18a)이 배치되어 있다. 또한, 세정 수단(17)의 근방에는, 유지 테이블(12)에 유지된 가공 후의 웨이퍼(W)를 세정 수단(17)에 반송하는 제2 반송 수단(18b)이 배치되어 있다.
장치 베이스(10)의 Y축 방향 후방부측에는, 유지 테이블(12)이 유지한 웨이퍼(W)를 조연삭하는 제1 연삭 수단(30a)과, 제1 연삭 수단(30a)을 Z축 방향으로 연삭 이송하는 제1 연삭 이송 수단(31a)과, 조연삭 후의 웨이퍼(W)를 마무리 연삭하는 제2 연삭 수단(30b)과, 제2 연삭 수단(30b)을 Z축 방향으로 연삭 이송하는 제2 연삭 이송 수단(31b)을 구비하고 있다.
장치 베이스(10)의 X축 방향 후방부측이며, 또한, 제2 연삭 수단(30b)과 세정 수단(17) 사이에는, 유지 테이블(12)이 유지한 마무리 연삭 후의 웨이퍼(W)를 연마하는 연마 수단(32)과, 연마 수단(32)을 유지 테이블(12)의 유지면(120)에 대하여 수직 방향과 수평 방향으로 이동시키는 이동 기구와, 후술하는 연마 수단(32)의 연마 패드(38)와 유지 테이블(12)을 수용하는 가공실(60)과, 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이를 커버하는 본 발명에 따른 통형 주름 상자 커버(2)를 구비하고 있다.
연마 수단(32)은, 장치 베이스(10)의 X축 방향 단부에 세워서 설치된 칼럼(19)에 있어서 이동 기구를 통해 배치되어 있다. 연마 수단(32)은, Z축 방향의 축심을 갖는 도 2에 나타내는 회전축(33)과, 회전축(33)을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 유닛(34)과, 스핀들 유닛(34)을 유지하는 홀더(35)와, 회전축(33)에 부착된 모터(36)와, 회전축(33)의 선단에 마운트를 통해 착탈 가능하게 장착된 연마 휠(37)과, 연마 휠(37)의 하면에 접착 고정된 연마 패드(38)를 구비하고 있다. 그리고, 모터(36)에 의해 회전축(33)이 회전함으로써 연마 패드(38)를 미리 정해진 회전 속도로 회전시킬 수 있다.
이동 기구는, 연마 수단(32)을 유지 테이블(12)의 유지면(120)에 대하여 수직 방향으로 이동시키는 승강 수단(40)과, 연마 수단(32)을 유지면(120)에 대하여 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동 수단(50)을 구비하고 있다. 승강 수단(40)은, Z축 방향으로 연장되는 볼나사(41)와, 볼나사(41)의 일단에 접속된 모터(42)와, 볼나사(41)와 평행하게 연장되는 한쌍의 가이드 레일(43)과, 한쪽의 면에 홀더(35)가 연결된 승강판(44)을 구비하고 있다. 승강판(44)의 다른쪽의 면에는 한쌍의 가이드 레일(43)이 미끄럼 접촉하고, 승강판(44)의 중앙에 형성된 너트에는 볼나사(41)가 나사 결합하고 있다. 모터(42)가 볼나사(41)를 구동함으로써, 한쌍의 가이드 레일(43)을 따라 승강판(44)과 함께 연마 수단(32)을 Z축 방향으로 수직 이동시킬 수 있다.
수평 이동 수단(50)은, 칼럼(19)의 전면에 배치되어 Y축 방향으로 연장되는 볼나사(51)와, 볼나사(51)의 일단에 접속된 모터(52)와, 볼나사(51)와 평행하게 연장되는 한쌍의 가이드 레일(53)과, 한쪽의 면에 승강 수단(40)을 통해 연마 수단(32)이 배치된 이동판(54)을 구비하고 있다. 이동판(54)의 다른쪽의 면에는 한쌍의 가이드 레일(53)이 미끄럼 접촉하고, 이동판(54)의 중앙에 형성된 너트에는 볼나사(51)가 나사 결합하고 있다. 모터(52)가 볼나사(51)를 구동함으로써, 한쌍의 가이드 레일(53)을 따라 이동판(54)과 함께 연마 수단(32)을 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 가공실(60)은, 예컨대 직방체의 상자형으로 형성되어 있고, 상판(60a)과 바닥판(60b)과 측판(60c)에 의해 위요되어 연마 가공이 실시되는 내부 공간을 갖는다. 가공실(60)의 상판(60a)에는, 회전축(33)을 관통시켜 연마 수단(32)의 수평 이동을 가능하게 하는 타원 개구(61)가 형성되어 있다. 타원 개구(61)의 X축 방향의 폭은, 적어도 연마 패드(38)가 통과할 수 있는 폭으로 설정되어 있다. 또한, 가공실(60)은, 타원 개구(61)로부터 상승한 타원 고리 세움부(62)를 구비하고 있다. 타원 고리 세움부(62)는, 예컨대, 대략 L자 형상으로 형성되고, 그 외측에 오목형의 홈(63)이 형성되어 있다. 홈(63)은, 후술하는 통형 주름 상자 커버(2)의 통 하단부를 장착하기 위한 부착홈이다. 또한, 가공실(60)의 측판(60c)에는, 도시하지 않지만, 턴 테이블(11)의 회전 시에 유지 테이블(12)이 접촉하지 않도록 부분적으로 유지 테이블(12)이 통과 가능한 개구가 형성되어 있다.
2. 통형 주름 상자 커버
통형 주름 상자 커버(2)는, 상하 좌우 방향으로 동작하는 구동 기구의 동작 영역을 커버하는 커버 부재이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 통형 주름 상자 커버(2)는, 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이에 장착되어, 이동 기구[승강 수단(40) 및 수평 이동 수단(50)]에 의한 연마 수단(32)의 수직 이동 및 수평 이동에 추종하여 변형 가능하게 되어 있다. 통형 주름 상자 커버(2)는, 원 링형의 상부 링(20)과, 원 링형의 하부 링(21)과, 상하에 배치되는 상부 링(20)과 하부 링(21)을 연결하는 통형 주름 상자천(22)과, 상부 링(20)과 하부 링(21) 사이에 평행하게 복수개 배치되어 통형 주름 상자천(22)을 보강하는 보강 링(23)을 구비하고 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 상부 링(20)은, 통형 주름 상자천(22)의 통 상단부에 형성된 제1 개구(24)를 위요하는 환형 주머니이다. 제1 개구(24)는, 스핀들 유닛(34)의 외형에 맞추어 원형상으로 형성되어 있다. 상부 링(20)은, 임의의 위치에서 절단되어, 끈(25a)이 삽입 관통되는 한쌍의 끈 통과구(20a)를 가지고 있다. 끈(25a)은, 예컨대 고무끈으로 이루어지고, 상부 링(20)의 내부에 삽입 관통되어 한쌍의 끈 통과구(20a)로부터 끈(25a)의 단부가 돌출하고 있다. 통형 주름 상자 커버(2)에서는, 상부 링(20) 내에 끈(25a)이 삽입 관통된 상태의 통형 주름 상자천(22)의 통 상단부가 제1 개구(24)의 크기를 확장 및 축소시키는 신축 부재로서 기능한다.
하부 링(21)은, 통형 주름 상자천(22)의 통 하단부에 형성된 제2 개구(26)를 위요하는 환형 주머니이다. 제2 개구(26)는, 가공실(60)의 타원 개구(61)의 형상에 맞추어 타원 형상으로 형성되어 있다. 하부 링(21)은, 임의의 위치에서 절단되어, 끈(25b)이 삽입 관통되는 한쌍의 끈 통과구(21a)를 가지고 있다. 끈(25b)은, 하부 링(21)의 내부에 삽입 관통되어 한쌍의 끈 통과구(21a)로부터 끈(25b)의 단부가 돌출하고 있다. 통형 주름 상자 커버(2)에서는, 하부 링(21) 내에 끈(25b)이 삽입 관통된 상태의 통형 주름 상자천(22)의 통 하단부가 제2 개구(26)의 크기를 확장 및 축소시키는 신축 부재로서 기능한다. 본 실시형태에 나타내는 하부 링(21)은, 타원 링형으로 형성된 경우를 나타내었지만, 가공실의 개구가 원형 개구로 되어 있는 경우는, 이 형상에 맞추어 하부 링(21)도 원형상으로 형성된다.
통형 주름 상자천(22)의 내측에는, 복수의 보강 링(23)이 상하 방향으로 미리 정해진 간격을 마련하여 배치되어, 산곡(山谷) 형상으로 절곡되어 있다. 복수의 보강 링(23)의 직경은, 통형 주름 상자천(22)의 상방측으로부터 하방측에 걸쳐 단계적으로 크게 형성되어 있고, 보강 링(23)의 직경에 따라 통형 주름 상자천(22)도 통 상단부로부터 통 하단부에 걸쳐 넓어지고 있다. 통형 주름 상자천(22)의 재질은 특별히 한정되지 않는다. 또한, 보강 링(23)의 재질에 대해서도 특별히 한정되지 않고, 예컨대, 가요성을 갖는 합성 수지제의 와이어에 의해 구성되어 있다.
통형 주름 상자천(22)은, 임의의 위치에서, 통 상단부로부터 통 하단부에 걸쳐 절단되어 있고, 이 절단 부분에 있어서 통 상단부와 통 하단부를 접속하는 패스너(27)를 구비하고 있다. 패스너(27)는, 한쌍의 지퍼 이(27a, 27b)와, 한쌍의 지퍼 이(27a, 27b)를 서로 맞물게 하거나, 그 맞물림을 해제하거나 하는 슬라이더(27c)에 의해 구성되어 있다. 본 실시형태에 나타내는 패스너(27)는, 지퍼식의 선 패스너에 의해 구성되어 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 면 패스너에 의해 구성하여도 좋다.
통형 주름 상자 커버(2)는, 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 링형으로 연결 및 링형으로 연결된 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)의 분리를 가능하게 하는 착탈부(28)를 구비하고 있다. 본 실시형태에 나타내는 착탈부(28)는, 보강 링(23)의 일단부(28a)와, 보강 링(23)의 타단부(도시하지 않음)에 부착된 통형의 결합부(28b)에 의해 구성되어 있다. 결합부(28b)의 내직경은, 보강 링(23)의 외직경과 대략 동일하게 되어 있다. 이에 의해, 일단부(28a)를 결합부(28b)에 삽입함으로써, 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 링형으로 연결할 수 있어, 결합부(28b)로부터 일단부(28a)를 인출함으로써, 링형으로 형성된 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 분리할 수 있다. 도시된 예에서는, 보강 링(23)의 수에 따라 착탈부(28)를 복수 구비하였지만, 이러한 구성에 한정되지 않는다.
여기서, 통형 주름 상자 커버(2)를 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이에 장착하는 경우는, 통형 주름 상자 커버(2)의 통 상단부와 통 하단부가 개방된 상태로, 통형 주름 상자 커버(2)를 도 2에 나타낸 연마 수단(32)의 스핀들 유닛(34)과 가공실(60)의 타원 개구(61) 사이에 위치시킨다. 계속해서, 예컨대 작업자의 손으로 상부 링(20)을 파지하여 외측으로 넓힘으로써 제1 개구(24)를 적어도 스핀들 유닛(34)의 직경 이상으로 확장시켜, 넓어진 제1 개구(24)의 내측에 스핀들 유닛(34)의 하단부를 위치시킨다. 상부 링(20)측의 끈(25a)을 잡아당김으로써, 상부 링(20)이 내측으로 수축하여 제1 개구(24)를 축소시킨다. 그 결과, 상부 링(20)을 스핀들 유닛(34)의 외측면에 장착할 수 있다.
또한, 예컨대 작업자의 손으로 하부 링(21)을 파지하여 외측으로 넓힘으로써 제2 개구(26)를 적어도 타원 고리 세움부(62)보다 크게 확장시켜, 넓어진 제2 개구(26)의 내측에 타원 고리 세움부(62)를 위치시킨다. 하부 링(21)측의 끈(25b)을 잡아당김으로써, 하부 링(21)이 내측으로 수축하여 제2 개구(26)를 축소시킨다. 그 결과, 하부 링(21)을 타원 고리 세움부(62)의 주위, 즉, 홈(63)에 장착할 수 있다.
계속해서, 도 4에 나타내는 바와 같이, 예컨대 작업자의 손으로 패스너(27)의 슬라이더(27c)를 파지하여 끌어올려 간다. 이때, 보강 링(23)마다 일단부(28a)를 결합부(28b)에 삽입하면서, 슬라이더(27c)를 통형 주름 상자천(22)의 통 상단부에 이를 때까지 끌어올림으로써 통 상단부와 통 하단부를 접속하여, 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 전체로서 링형으로 연결한다. 이와 같이 하여 통형 주름 상자 커버(2)를 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이에 장착함으로써, 스핀들 유닛(34)의 하단측의 주위와 가공실(60)의 타원 개구(61)를 커버한다. 또한, 끈(25a, 25b)은 연결하여도 좋다.
한편, 통형 주름 상자 커버(2)를 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이로부터 제거하는 경우는, 예컨대 작업자의 손으로 패스너(27)의 슬라이더(27c)를 파지하여 끌어내려 간다. 이때, 보강 링(23)마다 결합부(28b)로부터 일단부(28a)에 인출하면서, 슬라이더(27c)를 통형 주름 상자천(22)의 통 하단부에 이를 때까지 끌어내림으로써, 통 상단부와 통 하단부를 이격시켜, 전체로서 링형으로 연결된 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 분리한다. 그 후는, 상부 링(20)측의 끈(25a)을 느슨하게 하고 나서, 수축한 상부 링(20)을 작업자의 손으로 파지하여 외측으로 넓힘으로써 제1 개구(24)를 적어도 스핀들 유닛(34)의 직경 이상으로 확장시켜, 스핀들 유닛(34)의 하단부로부터 상부 링(20)을 제거한다. 또한, 하부 링(21)측의 끈(25b)을 느슨하게 하고 나서, 수축한 하부 링(21)을 작업자의 손으로 파지하여 외측으로 넓힘으로써 제2 개구(26)를 적어도 타원 고리 세움부(62)보다 크게 확장시켜, 홈(63)으로부터 하부 링(21)을 제거한다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 통형 주름 상자 커버(2)는, 원 링형의 상부 링(20)과, 원 링형의 하부 링(21)과, 상하에 배치되는 상부 링(20)과 하부 링(21)을 연결하는 통형 주름 상자천(22)과, 상부 링(20)과 하부 링(21) 사이에 평행하게 복수개 배치시켜 통형 주름 상자천(22)을 보강하는 보강 링(23)을 구비하고, 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 링형으로 연결 및 링형으로 연결된 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)의 분리를 가능하게 하는 착탈부(28)를 구비하고, 통형 주름 상자천(22)은, 상단부와 하단부를 접속하는 패스너(27)를 구비하였기 때문에, 착탈부(28)에서 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 링형으로 연결하면서 패스너(27)를 폐쇄하는 것만으로, 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이에 통형 주름 상자 커버(2)를 장착할 수 있고, 링형으로 연결된 상부 링(20)과 보강 링(23)과 하부 링(21)을 착탈부(28)에서 분리하면서 패스너(27)를 개방하는 것만으로, 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이에서 통형 주름 상자 커버(2)를 제거할 수 있다. 따라서, 통형 주름 상자 커버(2)는, 간이한 구조이며 조작성이 우수하기 때문에, 연마 수단(32)과 가공실(60) 사이에서의 탈착(장착 및 제거)을 용이하게 행하는 것이 가능해져, 통형 주름 상자 커버(2)의 교환 작업 시간을 단축할 수 있다.
1: 가공 장치 10: 장치 베이스
11: 턴 테이블 12: 유지 테이블
120: 유지면 13a, 13b: 스테이지
14a, 14b: 카세트 15: 반입출 수단
16: 가배치 수단 17: 세정 수단
18a: 제1 반송 수단 18b: 제2 반송 수단
19: 칼럼 2: 통형 주름 상자 커버
20: 상부 링 21: 하부 링
22: 통형 주름 상자천 23a, 23b: 보강 링
24: 제1 개구 25a, 25b: 끈
26: 제2 개구 27: 패스너
27a, 27b: 지퍼 이 27c: 슬라이더
28: 착탈부 28a: 일단부
28b: 결합부 30a: 제1 연삭 수단
30b: 제2 연삭 수단 31a: 제1 연삭 이송 수단
31b: 제2 연삭 이송 수단 32: 연마 수단
33: 회전축 34: 스핀들 유닛
35: 홀더 36: 모터
37: 연마 휠 38: 연마 패드
40: 승강 수단 41: 볼나사
42: 모터 43: 가이드 레일
44: 승강판 50: 수평 이동 수단
51: 볼나사 52: 모터
53: 가이드 레일 54: 이동판
60: 가공실 61: 타원 개구
62: 타원 고리 세움부 63: 홈

Claims (2)

  1. 상하 좌우 방향으로 동작하는 구동 기구의 동작 영역을 커버하는 통형 주름 상자 커버로서,
    원 링형의 상부 링과,
    원 링형의 하부 링과,
    상하에 배치되는 상기 상부 링과 상기 하부 링을 연결하는 통형 주름 상자천과,
    상기 상부 링과 상기 하부 링 사이에 평행하게 복수개 설치된 상기 통형 주름 상자천을 보강하는 보강 링을 포함하고,
    상기 상부 링과 상기 보강 링과 상기 하부 링을 링 형상으로 연결 및 상기 링 형상으로 연결되는 상기 상부 링과 상기 보강 링과 상기 하부 링의 분리를 가능하게 하는 착탈부를 포함하며,
    상기 통형 주름 상자천은, 상단부와 하단부를 접속하는 패스너를 포함하는 것인 통형 주름 상자 커버.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하부 링은, 타원 링형으로 형성되는 것인 통형 주름 상자 커버.
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