KR20180103785A - Light source device - Google Patents

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KR20180103785A
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페닉스덴키가부시키가이샤
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Abstract

Provided are an exposure device such as a printed wiring board capable of detecting whether or not a discharge lamp serving as a light source is a genuine product; and an inspection method thereof. The exposure device (100) comprises: one or a plurality of light source devices (4) composed of a discharge lamp (1), an incandescent lamp (2), and a reflector container (3); a frame (5) on which the light source devices (4) are mounted; a constant-current power supply (8) which supplies a current to the incandescent lamp (2); a switch (10) which tums on and off the current supplied from the constant-current power supply (8); a controller (9) which turns on and off the switch (10) for a predetermined period; a measurement unit (11) which measures a voltage between both ends of the incandescent lamp (2); a comparator (12) which compares the voltage between both ends with a predetermined voltage range; a determination unit (13) which determines whether the discharge lamp (1) is a genuine product by using the result of the comparison; and a display unit (14).

Description

광원 장치{LIGHT SOURCE DEVICE}[0001] LIGHT SOURCE DEVICE [0002]

본 발명은, 프린트 배선 기판 등의 노광에 사용하는 노광 장치에 있어서, 광원이 되는 방전등이 순정품인지 여부를 검출하기 위한 백열등을 구비한 노광 장치와 그 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an exposure apparatus having an incandescent lamp for detecting whether or not a discharge lamp serving as a light source is a genuine article in an exposure apparatus used for exposure of a printed wiring board and the like, and a method of inspecting the same.

종래, 전자 기기에 부품을 실장하기 위해 수지나 유리 에폭시재의 기판 위에 구리 등의 금속으로 배선 패턴을 형성한 프린트 배선 기판이 사용되고 있다. 이들 프린트 배선 기판 위로의 배선 패턴의 형성에는 포토 에칭 기술이 사용되고 있다. 이것은, 배선이 되는 금속층이 전면에 형성된 기판 위 전면에, 감광성의 약제인 포토 레지스트를 도포하고, 이것에 배선 패턴과 동일한 포토 마스크를 통해서 노광 장치로부터의 조사광을 조사한다. 포토 레지스트에는, 조사광에 의해 포토 레지스트의 용해성이 저하되는 네거티브형 포토 레지스트와, 반대로 조사광에 의해 포토 레지스트의 용해성이 증대하는 포지티브형 포토 레지스트가 있다. 조사광에 의해 용해성이 상대적으로 증대한 포토 레지스트 부분을 화학 처리해서 제거하고, 노출된 금속층을 에칭에 의해 제거하면 포토 레지스트가 남은 부분의 아래에 있는 금속층만이 남고, 포토 레지스트를 제거함으로써 배선 패턴이 기판 위에 형성된다. 포지티브형, 네거티브형 어느 쪽의 포토 레지스트에 조사광을 조사하는 경우에도, 조사면 전면에 걸쳐서 균일한 노광량을 확보하기 위해서, 균일한 조도로 일정한 시간, 안정적인 조사광의 조사가 필요하다.BACKGROUND ART Conventionally, a printed wiring board in which a wiring pattern is formed of metal such as copper or the like on a substrate of a resin or a glass epoxy material is used for mounting components on electronic equipment. A photoetching technique is used to form wiring patterns on these printed wiring boards. This is done by coating a photoresist, which is a photosensitive agent, on the entire surface of the substrate on which the metal layer to be wired is formed on the whole surface, and irradiating light from the exposure apparatus through the same photomask as the wiring pattern. The photoresist includes a negative type photoresist whose solubility of the photoresist is lowered by the irradiation light and a positive type photoresist which increases the solubility of the photoresist by the irradiation light. When the photoresist portion having increased solubility by irradiation light is removed by chemical treatment and the exposed metal layer is removed by etching, only the metal layer under the remaining portion of the photoresist remains, and the photoresist is removed, Is formed on the substrate. Even in the case of irradiating the positive or negative photoresist with the irradiation light, it is necessary to irradiate the irradiation light stably for a constant time with a uniform illumination for securing a uniform exposure amount over the entire irradiation surface.

한편, 프린트 배선 기판에 있어서, 제조 공정의 효율화를 위해 프린트 배선 기판을 대형화하고, 기판 완성 후에 분할하여 소형화하고, 원하는 전자 기기에 사용하는 것이 행해지고 있다. 프린트 배선 기판의 대형화에 따라, 노광 장치 메이커는 광원인 방전등을 고조도로 대형화하거나, 또는 복수의 저조도의 소형의 방전등을 사용한 다등(多燈)의 광원으로서 균일한 노광량을 확보하려고 하고 있다. 예를 들어, 8kW의 고압 방전등의 광원을 1등 사용하는 대신에 2kW의 고압 방전등의 광원을 4등 사용하는 등이다. 저조도의 방전등은 고조도의 방전등에 비하여 제조 난이도나 제조 비용에 있어서 우위이며, 다등의 광원을 갖는 노광 장치가 다수 판매되어 있다.On the other hand, in a printed wiring board, a printed wiring board is enlarged in order to improve the manufacturing process, and the printed wiring board is divided and miniaturized after completion of the substrate, and used for desired electronic equipment. As the size of the printed wiring board increases, the exposure apparatus maker tries to enlarge the discharge lamp, which is a light source, with a high degree of illumination, or to secure a uniform exposure amount as a multiple light source using a plurality of small-sized discharge lamps. For example, instead of using a light source of a high-pressure discharge lamp of 8 kW, a light source of a high-pressure discharge lamp of 2 kW is used as a light source. A low-intensity discharge lamp is superior to a high-intensity discharge lamp in manufacturing difficulty and manufacturing cost, and many exposure apparatuses having a different light source are sold.

하지만, 광원의 다등화에 따라, 균일한 노광량의 확보의 필요성에서 복수의 방전등끼리의 균질성이 보다 중요해지고 있다. 그 때문에, 노광 장치의 성능을 안정시켜, 신뢰성이 높은 프린트 배선 기판을 제조하려면, 동일 메이커에 의해, 동일 재료, 동일 공법으로 제작된 순정품의 방전등만을 사용하는 것이 필요해져, 방전등이 순정품인지 여부를 식별하는 장치 및 검사 방법이 필요해졌다.However, the homogeneity of a plurality of discharge lamps becomes more important due to the necessity of securing a uniform exposure amount in accordance with the multiple illumination of the light sources. For this reason, in order to manufacture a printed wiring board having high reliability by stabilizing the performance of the exposure apparatus, it is necessary to use only a discharge lamp of a genuine product manufactured by the same material or the same method by the same maker to determine whether the discharge lamp is genuine A device for identifying and an inspection method have been required.

노광 장치에 한정되지 않고 광학 장치에 있어서, 사용되고 있는 방전등이나 광원을 식별하는 방법은 몇 가지 알려져 있다(예를 들어, 일본국 특허공보 특공평7-52677호(특허문헌 1), 일본국 공표특허공보 특표2010-527504호(특허문헌 2), 및 일본국 공개특허공보 특개소62-43059호(특허문헌 3) 참조.). 예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 램프 이상 검출 장치에서는, 할로겐 램프 등 필라멘트를 사용한 백열 전구에 소정의 전압을 공급하고, 필라멘트가 반 정도 나간 상태시의 전류값과, 필라멘트가 정상시의 전류값을 비교하여 이상이 있는 램프를 검출한다고 하고 있다. 하지만, 이래서는, 램프의 수명은 검출할 수 있어도, 램프가 순정품인지 여부를 식별하는 것은 곤란하다.There are several known methods for identifying a discharge lamp or a light source that are used in an optical apparatus, not limited to an exposure apparatus (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-52677 (Patent Document 1) Publication No. 2010-527504 (Patent Document 2), and Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-43059 (Patent Document 3)). For example, in the lamp abnormality detecting device disclosed in Patent Document 1, a predetermined voltage is supplied to an incandescent lamp using a filament such as a halogen lamp, and a current value at the time when the filament is slightly out of order and a current value And detects an abnormal lamp. However, even though the lifetime of the lamp can be detected, it is difficult to identify whether or not the lamp is a genuine product.

또한, 예를 들어 특허문헌 2에서는, 백열등 또는 형광등이란 광원과 병렬로 저항 및 콘덴서가 접속된 회로를 접속하고, 이 광원의 양단에 소정의 전압을 공급했을 때의 시간 상수(저항값과 용량값의 곱)를 측정하여 광원이 백열등인지 형광등인지를 검출한다고 하고 있다. 하지만, 이것으로는, 시간 상수가 큰 차이(백열등과 형광등에서는 시간 상수는 크게 다르다.)는 검출할 수 있어도, 동일 백열등 간에서의 순정품인지 여부를 식별하는 것은 곤란하다. 또한, 예를 들어 특허문헌 3에서는, 동일 백열 전구의 밸브 내에 봉입된 복수의 필라멘트에 자외선을 방사하면서, 그것들 필라멘트간의 방전 개시 전압을 측정하여, 불량품을 검출한다고 하고 있다. 하지만, 이것으로는 불량품은 검출할 수 있어도, 램프가 순정품인지 여부를 식별하는 것은 곤란하다.For example, in Patent Document 2, a circuit in which a resistor and a capacitor are connected in parallel with a light source such as an incandescent lamp or a fluorescent lamp is connected, and a time constant when the predetermined voltage is supplied to both ends of the light source And detects whether the light source is an incandescent lamp or a fluorescent lamp. However, this makes it difficult to discriminate whether or not it is a genuine article in the same incandescent lamp, even if it can detect a large difference in time constant (in incandescent lamps and fluorescent lamps, the time constant greatly differs). Further, for example, in Patent Document 3, ultraviolet rays are radiated to a plurality of filaments enclosed in the same incandescent lamp bulb, and the discharge start voltage between the filaments is measured to detect defective products. However, it is difficult to identify whether the lamp is a genuine article, even if it can detect a defective article.

일본국 특허공보 특공평7-52677호Japanese Patent Publication No. Hei 7-52677 일본국 공표특허공보 특표2010-527504호Japanese Patent Publication No. 2010-527504 일본국 공개특허공보 특개소62-43059호Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-43059

순정품의 광원을 다른 메이커에 의해 제조된 유사품의 광원과 식별하기 위해서는 특허문헌 1 및 3과 같이 , 광원이 불량인지 여부, 또는 특허문헌 2와 같이 다른 종류의 광원인지 여부를 식별하는 것보다도, 더욱 정밀도가 높은 식별 장치가 필요하다. 또한, 복수의 광원의 검사 시간이 노광 장치의 기동 시간(起動時間)을 크게 초과하지 않을 것과, 노광 장치 전체의 비용을 크게 늘리지 않을 것이라는 과제도 동시에 해결할 필요가 있다.In order to distinguish a light source of a genuine article from a light source of a similar product manufactured by another maker, it is preferable to determine whether the light source is defective or whether it is a different kind of light source as in Patent Document 2 A high-precision identification device is required. It is also necessary to solve the problem that the inspection time of a plurality of light sources does not greatly exceed the startup time (start-up time) of the exposure apparatus and that the cost of the entire exposure apparatus is not greatly increased.

본 발명은 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 프린트 배선 기판 등의 노광에 사용하는 노광 장치에 있어서, 광원이 되는 방전등이 순정품 인지 여부를 고정밀도, 단시간 및 저비용으로 식별하기 위한 백열등을 구비한 노광 장치와 그 검사 방법을 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an exposure apparatus for use in exposure of a printed wiring board or the like in which an incandescent lamp for discriminating whether a discharge lamp serving as a light source is a genuine product with high accuracy, And an inspection method thereof.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에서의 청구항 1에 기재된 발명은, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 노광 장치(100)를 다음과 같이 구성하였다. 즉, 제 1 노광 장치(100)는, In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 of the present invention is configured as follows, for example, as shown in Fig. 1, the first exposure apparatus 100 is constructed as follows. That is, in the first exposure apparatus 100,

광원이 되는 방전등(1)과, 상기 방전등(1)이 순정품 인지 여부를 검출하는 백열등(2)과, 상기 방전등(1) 및 상기 백열등(2)이 장착된 리플렉터 용기(3)로 구성된 1 내지 복수의 광원 장치(4)와, 상기 광원 장치(4)를 피조사물을 향해 장착하는 프레임(5)과, 상기 백열등(2)에 전류를 공급하는 정전류 전원(8)과, 상기 정전류 전원(8)으로부터의 상기 전류를 온·오프하는 스위치(10)와, 상기 방전등(1)의 점등 중에 상기 스위치(10)를 온·오프하여 상기 백열등(2)을 소정 시간 점등하는 제어부(9)와, 점등 중의 상기 백열등(2)의 양단 전압을 측정하는 측정부(11)와, 상기 측정부(11)에서 측정된 상기 양단 전압과 방전등(1)의 정품 여부를 판정하는 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위를 비교하는 비교부(12)와, 상기 비교부(12)로부터의 신호를 받아, 상기 양단 전압이 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위 내의 경우에는, 검사 대상 방전등이 순정품이라고 판정하고, 상기 양단 전압이 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위 외의 경우에는, 검사 대상 방전등이 비순정품이라고 판정하는 판정부(13)와, 판정 결과를 표시하는 표시부(14)를 구비하는 것을 특징으로 한다.And a reflector container (3) on which the discharge lamp (1) and the incandescent lamp (2) are mounted. The discharge lamp (1) A frame (5) for mounting the light source device (4) toward the living body; a constant current power source (8) for supplying current to the incandescent lamp (2); and the constant current power source A control unit 9 for turning on and off the switch 10 during lighting of the discharge lamp 1 to light the incandescent lamp 2 for a predetermined period of time, A voltage measuring unit 11 for measuring a voltage between both ends of the incandescent lamp 2 during a lighting operation and a voltage of a predetermined upper limit value and a lower limit value for determining whether the both ends voltage measured by the measuring unit 11 and the discharge lamp 1 are genuine, And a comparator (12) for comparing the voltage of both terminals of the capacitor And judges that the inspection target discharge lamp is a non-genuine product when the both-end voltage is outside the voltage range of the predetermined upper limit value and the lower limit value, when it is within the voltage range of the upper limit value and the lower limit value, And a display unit (14) for displaying a determination result.

또한, 청구항 2에 기재된 발명은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 제 2 노광 장치(101)를 다음과 같이 구성하였다. 즉, 제 2 노광 장치(101)는, In addition, in the invention described in claim 2, for example, as shown in Fig. 1, the second exposure apparatus 101 is configured as follows. That is, in the second exposure apparatus 101,

광원이 되는 방전등(1)과, 상기 방전등(1)이 순정품인지 여부를 검출하는 백열등(2)과, 상기 방전등(1) 및 상기 백열등(2)이 장착된 리플렉터 용기(3)로 구성된 1 내지 복수의 광원 장치(4)와, 상기 광원 장치(4)를 피조사물을 향해 장착하는 프레임(5)과, 상기 백열등(2)에 전류를 공급하는 정전류 전원(8)과, 상기 정전류 전원(8)으로부터의 상기 전류를 온·오프하는 스위치(10)와, 상기 방전등(1)의 점등 중에 상기 스위치(10)를 온·오프하여 상기 백열등(2)을 소정 시간 점등하는 제어부(9)와, 점등 중의 상기 백열등(2)의 양단 전압을 2회, 각각 소정 시간에 측정하는 측정부(15)와, 상기 측정부(15)에서 상기 백열등(2)의 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차와, 방전등의 정품 여부를 판정하는 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위를 비교하는 비교부(16)과, 상기 비교부(16)로부터의 신호를 받아, 상기 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차가 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위 내의 경우에는, 검사 대상 방전등이 순정품이라고 판정하고, 상기 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차가 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위 외의 경우에는, 검사 대상 방전등이 비순정품이라고 판정하는 판정부(17)와, 판정 결과를 표시하는 표시부(14)를 구비하는 것을 특징으로 한다.And a reflector container (3) on which the discharge lamp (1) and the incandescent lamp (2) are mounted. The discharge lamp (1) A frame (5) for mounting the light source device (4) toward the living body; a constant current power source (8) for supplying current to the incandescent lamp (2); and the constant current power source A control unit 9 for turning on and off the switch 10 during lighting of the discharge lamp 1 to light the incandescent lamp 2 for a predetermined period of time, A measuring unit 15 for measuring a voltage between both ends of the incandescent lamp 2 during lighting in two times and a predetermined time in each measurement; (16) for comparing a voltage difference between a predetermined upper limit value and a lower limit value for determining whether or not the discharge lamp is a genuine product, . When the difference between the voltage at the first measurement and the voltage at the second measurement is within the voltage difference range between the predetermined upper limit value and the lower limit value in response to the signal from the comparator (16), it is determined that the inspection target discharge lamp is a genuine product A determination section (17) that determines that the subject discharge lamp is a non-genuine product when the difference between the voltage at the first measurement and the voltage at the second measurement is outside the voltage difference range of the predetermined upper limit value and the lower limit value, And a display unit (14) for displaying the image.

또한, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 방전등(1)의 검사 방법에 관한 것으로,According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting the discharge lamp (1)

광원이 되는 상기 방전등(1)과, 상기 방전등(1)이 순정품인지 여부를 검출하는 상기 백열등(2)과, 상기 방전등(1) 및 상기 백열등(2)이 장착된 상기 리플렉터 용기(3)로 구성된 복수의 상기 광원 장치(4)가 장비된 청구항 1에 기재된 노광 장치(100) 또는 청구항 2에 기재된 노광 장치(101)에 있어서, 상기 제어부(9)는, 상기 방전등(1)의 점등 중에 상기 백열등(2)을 순차 온·오프하여 상기 방전등(1)의 정품 여부를 순차 검사하는 것을 특징으로 한다.(2) for detecting whether the discharge lamp (1) is a genuine article and the reflector container (3) equipped with the discharge lamp (1) and the incandescent lamp (2) The exposure apparatus (100) according to claim 1 or the exposure apparatus (101) according to claim 2, wherein a plurality of the light source devices (4) And the incandescent lamp (2) are sequentially turned on and off to sequentially check whether or not the discharge lamp (1) is authentic.

청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 동일한 리플렉터 용기에 수납된 방전등과 백열등에 있어서, 방전등은 광원으로서, 백열등은 방전등이 순정인지 여부를 식별하기 위한 고유의 전압을 발생하는 저항 장치와 같이 이용된다. 백열등을 리플렉터 용기에 내장하기 전에, 백열등 단체(單體)에 정전류를 공급하고, 소정 시간 경과 후의 백열등의 양단의 전압을 측정한다. 같은 조건으로 복수개의 백열등의 양단의 전압을 측정하고, 전압 분포 범위를 확정한다. 그 후, 동일한 리플렉터 용기에 수납된 방전등과 백열등에 있어서, 상기와 같은 조건으로 측정한 백열등의 양단의 전압과 상기의 전압 분포 범위를 비교하여, 측정한 전압이 그 전압 분포 범위 내이면, 측정한 백열등과 동일한 리플렉터 용기 내의 방전등은 순정품이라고 식별할 수 있다. 상기의 노광 장치에 있어서는, 상기의 비교 판정을 모든 방전등에 대하여 순차로 행하여, 단시간, 저비용 및 고정밀도로 방전등이 순정품인지 여부를 식별할 수 있다. 또한, 상기의 발명에서는, 백열등의 양단의 전압을 1회 측정하면 순정품인지 여부의 식별이 가능하다.According to the invention described in claim 1, in a discharge lamp and an incandescent lamp housed in the same reflector container, the discharge lamp is used as a light source, and the incandescent lamp is used as a resistance device for generating a unique voltage for discriminating whether or not a discharge lamp is genuine. Before incorporating an incandescent lamp into a reflector container, a constant current is supplied to a single incandescent lamp, and a voltage at both ends of the incandescent lamp after a predetermined time is measured. The voltage at both ends of the plurality of incandescent lamps is measured under the same conditions, and the voltage distribution range is determined. Thereafter, in the discharge lamp and the incandescent lamp housed in the same reflector container, the voltage at both ends of the incandescent lamp measured under the above conditions was compared with the voltage distribution range, and if the measured voltage was within the voltage distribution range, A discharge lamp in the same reflector vessel as an incandescent lamp can be identified as a genuine article. In the above-described exposure apparatus, it is possible to identify whether the discharge lamp is a genuine article in a short time, at a low cost, and at a high accuracy by sequentially performing the above comparison determination for all the discharge lamps. Further, in the above invention, it is possible to identify whether or not the product is a genuine product by measuring the voltage at both ends of the incandescent lamp once.

본 발명의 노광 장치에서 사용하는 것은 통상의 백열등이며, 그 필라멘트의 재질은 텅스텐 등으로 필라멘트가 발하는 열에 의해 필라멘트의 저항값은 고유의 온도 변화를 나타낸다. 그 때문에, 백열등에 정전류를 공급한 직후에서, 아직 필라멘트의 온도가 낮을 때에는 그 저항값이 매우 작고(수Ω 정도), 이때의 백열등의 양단의 전압을 측정하고, 다음에 필라멘트의 온도가 충분히 상승했을 때(섭씨 600도 이상)에는, 그 저항값은 수배로 증가되어 있고, 이때의 전압을 측정하여, 양자의 전압의 차를 측정하면 필라멘트에 고유한 전압차가 된다.The material used for the exposure apparatus of the present invention is a normal incandescent lamp. The material of the filament is tungsten or the like, and the resistance value of the filament exhibits an intrinsic temperature change due to the heat emitted by the filament. Therefore, immediately after the constant current is supplied to the incandescent lamp, when the temperature of the filament is still low, the resistance value is very small (on the order of several ohms), the voltage at both ends of the incandescent lamp is measured, , The resistance value is increased several times. When the voltage at this time is measured and the difference between the voltages is measured, a voltage difference inherent to the filament is obtained.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 상기의 필라멘트에 고유의 온도에 의한 전압차를 이용함으로써, 더욱 고정밀도로 순정품을 식별하는 것이 가능하다. 백열등을 리플렉터 용기에 내장하기 전에, 백열등 단체에 정전류를 공급하여, 우선 백열등으로의 정전류 공급 개시 직후에서 필라멘트의 온도가 낮을 때의 백열등의 양단의 전압을 측정하고, 다음에 소정 시간 경과 후에서 필라멘트의 온도가 충분히 상승했을 때의 양단의 전압을 측정하여, 양자의 전압차를 측정한다. 같은 조건으로 복수개의 백열등의 양단의 전압을 측정하여, 전압차 분포 범위를 확정한다. 그 후, 동일한 리플렉터 용기에 수납된 방전등과 백열등에 있어서, 상기와 같은 조건으로 측정한 백열등의 전압차와 상기의 전압차 분포 범위를 비교하여, 측정한 전압차가 그 전압차 분포 범위 내이면, 백열등과 동일한 리플렉터 용기 내의 방전등은 순정품이라고 식별할 수 있다. 상기의 노광 장치에 있어서는, 상기의 비교 판정을 모든 방전등에 대하여 순차로 행하여, 단시간, 저비용 및 보다 고정밀도로 방전등이 순정품인지 여부를 식별할 수 있다.According to the invention described in claim 2, by using the voltage difference due to the inherent temperature of the filament, it is possible to identify the genuine article with higher accuracy. Before the incandescent lamp is housed in the reflector container, a constant current is supplied to the incandescent lamp, and the voltage at both ends of the incandescent lamp when the temperature of the filament is low immediately after commencement of the supply of the constant current to the incandescent lamp is measured. And the voltage difference between the both ends is measured. The voltages at both ends of the plurality of incandescent lamps are measured under the same conditions to determine the voltage difference distribution range. Thereafter, in the discharge lamp and incandescent lamp housed in the same reflector container, the voltage difference of the incandescent lamp measured under the above conditions is compared with the voltage difference distribution range, and if the measured voltage difference is within the voltage difference distribution range, The discharge lamp in the same reflector vessel can be identified as a genuine article. In the above-described exposure apparatus, it is possible to identify whether the discharge lamp is a genuine article in a short time, at a low cost, and with a higher accuracy by performing the above-described comparison determination for all the discharge lamps in sequence.

상기의 발명에서는, 백열등의 양단의 전압을 2회 측정하고, 1회째와 2회째의 온도에 의한 전압차를 측정하여 비교하기 때문에, 백열등 대신에, 백열등의 필라멘트와 동일한 저항값을 갖는 고정 저항기 등이 접속된 순정품이 아닌 방전등을 구비한 광학 장치를 비교 판정한 경우에서도, 고정 저항기 등의 온도에 의한 전압차가 백열등과는 크게 다르기 때문에, 그 광학 장치의 방전등은 순정품이 아니라고 식별할 수 있다.In the above invention, since the voltage at both ends of the incandescent lamp is measured twice and the voltage difference between the first and second temperatures is measured and compared, a fixed resistor or the like having the same resistance value as the incandescent lamp filament The discharge lamp of the optical apparatus can be identified as being not a genuine article because the voltage difference due to the temperature of the fixed resistor or the like is significantly different from the incandescent lamp even when the optical apparatus having the discharge lamp other than the connected genuine article is compared.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 노광 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예의 광원부를 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예의 광원 장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1의 스위치의 온·오프와 백열등의 양단 전압 측정의 타이밍을 도시한 타이밍도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2의 스위치의 온·오프와 백열등의 양단 전압 측정의 타이밍을 도시한 타이밍도이다.1 is a schematic view showing an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view showing a light source unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating a light source device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a timing chart showing the on / off state of the switch and the timing of both-end voltage measurement of the incandescent lamp according to the first embodiment of the present invention.
5 is a timing chart showing the on / off state of the switch and the timing of measurement of both ends of the incandescent lamp according to the second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명을 도 1 내지 5에 의해 설명한다. 또한, 각 부호에 있어서, 각 부위를 상위 개념으로 나타내는 경우에는 알파벳의 순번을 붙이지 않고 아라비아 숫자만으로 나타내고, 각 부위를 구별할 필요가 있는 경우(즉 하위 개념으로 나타내는 경우)에는 알파벳 소문자의 순번을 아라비아 숫자로 붙여서 구별한다. 또한, 도면의 설명에서는, 동일 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to Figs. In addition, in each code, when each part is represented by a superordinate concept, it is represented by only Arabic numerals without the alphabetical order, and when it is necessary to distinguish each part (in other words, in the case of a sub concept) They are identified with Arabic numerals. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant explanations are omitted.

도 3은, 본 발명에 따른 일 실시예의 광원 장치(4)를 도시한 단면도이다. 방전등(1)은, 수은등의 발광 물질이 봉입된 내부 공간(1a)을 갖는 발광부(1b) 및 발광부(1b)의 내부 공간(1a)을 밀봉하는 한 쌍의 밀봉부(1c)를 갖는 발광관(1d)과, 발광부(1b) 내에 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 전극(1e)과, 급전에 사용되는 한 쌍의 급전 와이어(1f)를 갖는다. 백열등(2)은 통상의 백열등이며, 필라멘트(2a)에 는 텅스텐 등을 코일 형상으로 가공한 것이 사용된다. 텅스텐의 저항값은 상온에서는 매우 작지만, 필라멘트의 발열(섭씨 600도 이상)에 의해, 저항값이 수배로 커진다. 리플렉터 용기(3)의 재질로서는, 유리 또는 알루미늄 등을 생각할 수 있고, 내측에는 회전 포물면을 갖는 반사면(3a)이 형성된다. 리플렉터 용기(3)는 밥공기 형상 바닥부의 외측에 베이스부(3b)가 피복되고, 그 접합부는 접착제(3e)로 고착된다. 또한 베이스부(3b)의 바닥부는 커버부(3c)로 덮이고, 그 접합부는 꼭지쇠 구조로 고정된다. 베이스부(3b) 및 커버부(3c)는 내부에 백열등(2)을 수용하는 수용 공간(3g)을 갖는 부재이고, 절연성 및 열전도성이 높은 재료로 형성하는 것이 적합하다.3 is a cross-sectional view showing a light source device 4 according to an embodiment of the present invention. The discharge lamp 1 has a light emitting portion 1b having an internal space 1a in which a light emitting material such as a mercury lamp is sealed and a pair of sealing portions 1c sealing the internal space 1a of the light emitting portion 1b A light emitting tube 1d, a pair of electrodes 1e arranged to face each other in the light emitting portion 1b, and a pair of power supply wires 1f used for power supply. The incandescent lamp 2 is a normal incandescent lamp, and the filament 2a is formed by processing tungsten or the like into a coil shape. The resistance value of tungsten is very small at room temperature, but the resistance increases several times due to heat generation of the filament (600 degrees Celsius or more). As the material of the reflector container 3, glass or aluminum can be considered, and a reflecting surface 3a having a rotational paraboloid is formed inside. The reflector container 3 is covered with the base portion 3b on the outside of the rice air-shaped bottom portion, and the joint portion is fixed with the adhesive 3e. The bottom portion of the base portion 3b is covered with the cover portion 3c, and the joint portion is fixed with a vertex structure. The base portion 3b and the cover portion 3c are members having a housing space 3g for accommodating the incandescent lamp 2 therein and are preferably formed of a material having high insulating and thermal conductivity.

방전등(1)의 밀봉부(1c)의 한쪽이 리플렉터 용기(3)의 밥공기형상 바닥부에 형성된 삽입 구멍(3f)에 삽입되고, 삽입 구멍(3f)과는 접착제 등으로 고착되어 있다. 또한, 밀봉부(1c)의 한쪽은, 베이스부(3b)의 삽입 구멍(3d)을 관통하여 커버부(3c)의 내부 공간에 도달하도록 배치된다. 백열등(2)은, 베이스부(3b)와 커버부(3c)에 의해 형성되는 수용 공간(3g)에 배치된다. 광원 장치(4)에는, 방전등(1)의 한 쌍의 급전 와이어(1f)와 백열등(2)의 한 쌍의 급전 와이어(2b)의 합계 4개의 급전 와이어가 접속되어 있다.One of the sealing portions 1c of the discharge lamp 1 is inserted into the insertion hole 3f formed in the rice air-shaped bottom portion of the reflector container 3 and is fixed to the insertion hole 3f with an adhesive or the like. One of the sealing portions 1c is arranged so as to penetrate the insertion hole 3d of the base portion 3b and reach the inner space of the cover portion 3c. The incandescent lamp 2 is disposed in a receiving space 3g formed by the base portion 3b and the cover portion 3c. A total of four feeder wires of a pair of feeder wires 1f of the discharge lamp 1 and a pair of feeder wires 2b of an incandescent lamp 2 are connected to the light source device 4. [

도 2는, 본 발명에 따른 일 실시예의 광원부(6)의 평면도이다. 프레임(5)에 광원 장치(4)가 세로 방향으로 4열, 가로 방향으로 6열씩 각각 장착되어 광원부(6)를 구성하고 있다.2 is a plan view of the light source unit 6 according to an embodiment of the present invention. The light source unit 4 is mounted on the frame 5 in four rows in the vertical direction and six columns in the horizontal direction to constitute the light source unit 6. [

도 1은, 본 발명의 실시예 1 및 2의 노광 장치를 도시한 개략도이고, 피조사물에 조사광을 조사하는 광원부(6)에는 복수의 광원 장치(4)가 장착되고, 각각의 광원 장치(4)에는, 방전등(1)에 전력을 공급하는 점등 회로(7) 및 백열등(2)에 정전류를 공급하는 정전류 전원(8)이 접속되어 있다. 정전류 전원(8)과 백열등(2) 사이에는 정전류를 온·오프하는 스위치(10)가 직렬로 접속되고, 이 스위치(10)는 제어부(9)에 의해 온·오프된다. 또한, 정전류 전원(8)과 백열등(2) 사이에는 직렬로 저항(30)이 접속되어, 백열등(2)이 단락 고장난 경우, 정전류 전원(8)을 보호한다. 백열등(2)의 양단은 전압이 측정 가능하도록 측정부(11)에도 접속되고, 저항(1la)은 측정부(11)의 내부 저항을 나타내고 있고, 백열등(2)의 필라멘트(2a)의 저항값에 비하여 충분히 큰 저항값(수MΩ 정도)이고, 그 때문에 측정부(11)는 필라멘트(2a)에서 발생하는 전압을 정확하게 측정할 수 있다.FIG. 1 is a schematic view showing exposure apparatuses according to Embodiments 1 and 2 of the present invention. A plurality of light source units 4 are mounted on a light source unit 6 for irradiating illumination light to an irradiated object, 4 are connected with a lighting circuit 7 for supplying electric power to the discharge lamp 1 and a constant current power source 8 for supplying a constant current to the incandescent lamp 2. [ A switch 10 for turning on and off a constant current is connected in series between the constant current power source 8 and the incandescent lamp 2. The switch 10 is turned on and off by the control unit 9. [ A resistor 30 is connected in series between the constant current power source 8 and the incandescent lamp 2 to protect the constant current power source 8 when the incandescent lamp 2 is short-circuited. The both ends of the incandescent lamp 2 are connected to the measuring section 11 so that the voltage can be measured and the resistance 1 la indicates the internal resistance of the measuring section 11 and the resistance value of the filament 2a of the incandescent lamp 2 (About several MΩ) as compared with the filament 2a. Therefore, the measuring portion 11 can accurately measure the voltage generated in the filament 2a.

비교부(12)에는 미리 소정의 조건으로 측정된 복수의 순정품 검출용의 백열등의 전압 분포 범위가 등록되어 있고, 판정부(13)는 비교부(12)의 비교 결과에서 방전등이 순정품인지 여부를 판정하고, 표시부(14)는 그 판정 결과를 표시한다. 도 1에 있어서, 참조 번호가 괄호로 기재되어 있는 측정부(15), 비교부(16), 판정부(17) 및 노광 장치(101)는 실시예 2에 있어서, 실시예 1의 측정부(11), 비교부(12), 판정부(13)와 각각 동일한 구성으로 사용되고, 그 경우에는 노광 장치(101)인 것을 나타내고 있다. 비교부(16)에는 미리 소정의 조건으로, 복수의 순정품 검출용의 백열등을 소정의 시간 간격으로 2회 측정했을 때의 전압차의 분포 범위가 등록되어 있다.A plurality of voltage distribution ranges of incandescent lamps for detecting a genuine article measured in advance under predetermined conditions are registered in the comparison section 12. The determination section 13 determines whether or not the discharge lamp is a genuine article in the comparison result of the comparison section 12 And the display unit 14 displays the determination result. The measuring unit 15, the comparing unit 16, the determining unit 17 and the exposure apparatus 101, which are denoted by parentheses in FIG. 1, are the same as the measuring unit 11, comparator 12, and determination section 13, respectively. In this case, the exposure apparatus 101 is used. The distribution range of the voltage difference when two or more incandescent lamps for detecting a genuine article are measured twice at predetermined time intervals under predetermined conditions is registered in the comparator 16.

도 1에 있어서, 노광 장치(100)의 전원 스위치가 투입되면, 점등 회로(7)는 모든 방전등(1)에 전력을 공급한다. 통상 방전등(1)이 완전하게 동작개시하는데는 몇 분이 필요하다. 노광 장치(100)의 전원 스위치 투입 직후에 제어부(9)는 광원 장치(4) 내의 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)를 온으로 하고, 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 제 1 스위치(10)의 온시부터 소정 시간 후, 예를 들어 10초 후에 제 1 백열등(2)의 양단 전압을 측정부(11)가 측정하고, 그 결과를 비교부(12)에 보내고, 비교부(12)는 그 결과와 비교부(12F)에 미리 등록된 복수의 순정품 검출용의 백열등의 전압 분포 범위를 비교하여, 등록 전압 범위 내인지 여부를 판정부(13)에 보내고, 등록 전압 범위 내이면 판정부(13)는 대응하는 방전등(1)은 순정품이라고 판정하고, 등록 범위 외라면 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정하여, 그 판정 결과를 표시부(14)에 표시한다. 측정에서 표시까지의 검사는 자동으로 이루어지기 때문에 극히 단시간에 종료한다.1, when the power switch of the exposure apparatus 100 is turned on, the lighting circuit 7 supplies power to all the discharge lamps 1. It usually takes several minutes for the discharge lamp 1 to start operating completely. Immediately after the power switch of the exposure apparatus 100 is turned on, the control unit 9 turns on the first switch 10 connected to the first incandescent lamp 2 in the light source unit 4 and turns off the constant current from the constant current power source 8 Supply. The voltage measuring unit 11 measures the voltage across the first incandescent lamp 2 at a predetermined time after the first switch 10 is turned on for example 10 seconds and sends the result to the comparing unit 12, The unit 12 compares the result and the voltage distribution ranges of a plurality of genuine article incandescent lamps registered in advance in the comparator 12F and sends to the judging unit 13 whether the voltage distribution range is within the registered voltage range, The inner judgment unit 13 judges that the corresponding discharge lamp 1 is a genuine product and judges that the corresponding discharge lamp 1 is a non-genuine article if the registration lamp is out of the registration range and displays the judgment result on the display unit 14. [ Since the inspection from measurement to display is done automatically, it ends in an extremely short time.

제 1 백열등(2)의 전압 측정 종료 후, 제어부(9)는 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)를 오프로 하고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)를 온으로 하고, 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 이후는, 제 1 백열등(2)의 경우와 마찬가지로 대응하는 방전등(1)이 순정품인지 여부를 판정하고, 모든 백열등(2)의 검사를 종료할 때까지 동일한 검사를 수행한다.After the completion of the voltage measurement of the first incandescent lamp 2, the control unit 9 turns off the first switch 10 connected to the first incandescent lamp 2 and turns off the second switch connected to the second incandescent lamp 2 10) are turned on, and the constant current is supplied from the constant current power source (8). Thereafter, it is determined whether or not the corresponding discharge lamp 1 is a genuine article as in the case of the first incandescent lamp 2, and the same inspection is performed until the inspection of all the incandescent lamps 2 is completed.

광원부(6)가 24등의 방전등으로 구성되어 있는 경우에는, 1등당 예를 들어 10초 걸리고, 이 경우에는 240초(4분)로 검사를 종료한다. 그 때문에, 일반적인 방전등의 동작개시 시간이 몇 분 정도이고, 노광 장치 전체의 기동 시간이 통상 10분 정도인 것을 고려하면, 충분히 짧은 시간에 검사를 종료할 수 있다.In the case where the light source unit 6 is composed of a discharge lamp of 24 or the like, for example, 10 seconds is required per square, and in this case, the inspection is terminated at 240 seconds (4 minutes). Therefore, considering that the operation start time of a general discharge lamp is several minutes and the start time of the entire exposure apparatus is usually about 10 minutes, the inspection can be completed in a sufficiently short time.

이때, 백열등(2)의 전압이 등록 전압 범위 밖이고, 판정부(13)가 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정한 경우에는, 표시부(14)가 해당하는 방전등의 위치를 특정하는 정보의 표시 및 그 방전등이 비순정품인지를 표시하여, 제어부(9)가 검사를 일단 중단하고, 그 후, 오퍼레이터 등에 의한 확인 후, 검사를 재스타트할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 다른 대응으로서, 비순정품의 방전 등을 검출한 경우도 검사를 중단하지 않고 모든 방전등의 검사를 행하여, 검사 결과를 표시부(14)에서 표시하는 경우와 동일한 정보를 별도, 기억 장치 등에 저장하고, 모든 방전등의 검사 종료 후, 비순정품의 방전등의 위치 정보 등을 일괄 표시할 수 있도록 하는 것이 보다 바람직하다.At this time, when the voltage of the incandescent lamp 2 is outside the registered voltage range and the judging section 13 judges that the corresponding discharge lamp 1 is a non-genuine article, information indicating the position of the discharge lamp corresponding to the display section 14 And that the discharge lamp is a non-genuine article so that the control section 9 can stop the inspection once and then restart the inspection after confirmation by an operator or the like. As a different countermeasure, even when a discharge or the like of a non-genuine article is detected, all the discharge lamps are inspected without interrupting the inspection, and the same information as in the case of displaying the inspection result on the display section 14 is stored separately in a storage device or the like , It is more preferable to be able to collectively display the position information of the discharge lamp of the non-genuine article after the inspection of all the discharge lamps.

도 4에는, 스위치(10)의 온·오프의 타이밍과 측정부(11)에서의 측정 타이밍의 관계를 도시하고 있다. 도 4에서는 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 온이 되었을 때부터 소정 시간 후에 제 1 백열등(2)의 양단의 전압이 측정되고, 측정 직후에 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 오프가 되고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)가 온이 되고, 소정 시간 후에 제 2 백열등(2)의 양단의 전압이 측정되고, 이후 마찬가지로 모든 백열등(2)의 양단 전압이 측정되는 것을 나타내고 있다. 상기의 구성은, 종래의 다등 타입의 노광 장치에, 정전류 전원(8), 스위치(10), 제어부(9), 측정부(11), 비교부(12), 판정부(13), 표시부(14)를 추가한 구성이며, 특히 제어부(9), 비교부(12), 판정부(13)는 1대의 마이크로 컴퓨터 등에서도 실현 가능하여, 노광 장치의 비용을 크게 늘리지 않는다.Fig. 4 shows the relationship between the on / off timing of the switch 10 and the measurement timing in the measuring section 11. Fig. 4, the voltage at both ends of the first incandescent lamp 2 is measured after a predetermined time from when the first switch 10 connected to the first incandescent lamp 2 is turned on, and the voltage at both ends of the first incandescent lamp 2 is measured immediately after the measurement. The first switch 10 connected to the second incandescent lamp 2 is turned off and the second switch 10 connected to the second incandescent lamp 2 is turned on so that the voltage at both ends of the second incandescent lamp 2 is measured after a predetermined time , And similarly, both ends of all the incandescent lamps 2 are measured. The above configuration is similar to the conventional exposure apparatus of the different type except that the constant current power supply 8, the switch 10, the control unit 9, the measuring unit 11, the comparing unit 12, the determining unit 13, In particular, the control unit 9, the comparing unit 12, and the determining unit 13 can be realized by a single microcomputer or the like, so that the cost of the exposure apparatus is not greatly increased.

도 1에 있어서, 실시예 1과 다른 요소는 측정부(15)(내부 저항은 저항(15a)), 비교부(16), 판정부(17)이며, 다른 요소는 동일하다. 실시예 1과 동일한 요소는 설명을 생략한다. 노광 장치(101)의 전원 스위치 투입 직후에, 광원 장치(4) 안의 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)를 온으로 하고 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 그 직후에 제 1 백열등(2)의 양단 전압을 측정부(15)가 1회째의 측정을 하고, 그 결과를 비교부(16)에 보낸다. 다음에 1회째의 측정으로부터 소정 시간 후, 예를 들어 10초 후에 제 1 백열등(2)의 양단 전압을 측정부(15)가 2회째의 측정을 하여, 그 결과를 비교부(16)에 보내고, 비교부(16)는 2회의 측정 전압의 차의 전압과, 비교부(16)에 미리 등록된 복수의 순정품 검출용의 백열등의 전압차 분포 범위를 비교하여, 등록한 전압차 범위 내인지 여부를 판정부(17)에 보내고, 등록 범위 내이면 판정부(17)가 대응하는 방전등(1)은 순정품이라고 판정하고, 등록 범위 외라면 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정하여, 그 판정 결과를 표시부(14)에 표시한다. 측정에서 표시까지의 검사는 자동으로 이루어지기 때문에 극히 단시간에 종료한다.1, the elements different from those of the first embodiment are the measuring section 15 (the internal resistance is the resistor 15a), the comparing section 16, and the determining section 17, and the other elements are the same. The same elements as those in the first embodiment are not described. The first switch 10 connected to the first incandescent lamp 2 in the light source device 4 is turned on and the constant current is supplied from the constant current power source 8 immediately after the power source switch of the exposure apparatus 101 is turned on. Immediately thereafter, the voltage measuring unit 15 measures the voltage across the first incandescent lamp 2 for the first time, and sends the result to the comparing unit 16. Next, the measuring unit 15 measures the voltage across the first incandescent lamp 2 for a second time after a predetermined time, for example, 10 seconds after the first measurement, and sends the result to the comparing unit 16 , The comparator 16 compares the difference of the voltage difference between the two measured voltages and the voltage difference distribution range of the plurality of genuine article detecting incandescent lamps registered in advance in the comparator 16 and determines whether or not the difference is within the registered voltage difference range It is determined that the corresponding discharge lamp 1 is a genuine article. If it is outside the registration range, the corresponding discharge lamp 1 is determined to be a non-genuine article, and the determination result Is displayed on the display section (14). Since the inspection from measurement to display is done automatically, it ends in an extremely short time.

제 1 백열등(2)의 2회의 전압 측정 종료 후, 제어부(9)는 제 1 백열등(2)에 제 1 스위치(10)를 오프로 하고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)를 온으로 하여, 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 이후는, 제 1 백열등(2)의 경우와 동일하게 대응하는 방전등(1)이 순정품인지 여부를 판정하고, 모든 백열등의 검사를 종료할 때까지 동일한 검사를 행한다.The control unit 9 turns off the first switch 10 to the first incandescent lamp 2 and turns off the second switch 2 connected to the second incandescent lamp 2 10 are turned on to supply a constant current from the constant current power source 8. Thereafter, it is determined whether or not the corresponding discharge lamp 1 is a genuine article as in the case of the first incandescent lamp 2, and the same inspection is performed until the inspection of all incandescent lamps is completed.

도 5에는, 스위치(10)의 온·오프의 타이밍과 측정부(15)에서의 측정 타이밍의 관계를 도시하고 있다. 도 5에서는 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 온이 된 직후에 1회째의 제 1 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 또한 소정 시간 후에 2회째의 제 1 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 2회째의 측정 직후에 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 오프가 되고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)가 온이 되고, 그 직후에 1회째의 제 2 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 또한 소정 시간 후에 2회째의 제 2 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 2회째의 측정 직후에 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)가 오프가 되고, 이후 마찬가지로 모든 백열등(2)의 양단 전압이 2회씩 측정되는 것을 나타내고 있다.Fig. 5 shows the relationship between the on / off timing of the switch 10 and the measurement timing in the measuring section 15. Fig. In Fig. 5, the voltage at both ends of the first incandescent lamp 2 is measured immediately after the first switch 10 connected to the first incandescent lamp 2 is turned on, and at the same time, The voltage at both ends of the incandescent lamp 2 is measured and the first switch 10 connected to the first incandescent lamp 2 is turned off immediately after the second measurement and the second switch 2 connected to the second incandescent lamp 2 is turned off, The voltage at both ends of the second incandescent lamp 2 is measured immediately after the first incandescent lamp 2 is turned on and the voltage at both ends of the second incandescent lamp 2 is measured after a predetermined time, The second switch 10 connected to the second incandescent lamp 2 is turned off immediately after the second measurement, and similarly, both the voltages of all the incandescent lamps 2 are measured twice.

실시예 2에서는, 1회째 및 2회째의 전압 측정 시간의 설정은 스위치(10)가 온 상태인 시간대는 어느 시간이라도 설정 가능하다. 백열등의 전압차가 등록한 전압차 범위 밖이고, 판정부(17)가 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정한 경우에는, 실시예 1의 경우와 동일한 대응을 취하는 것이 바람직하다. 또한, 실시 예 1에 있어서, 제어부(9), 측정부(11), 비교부(12), 판정부(13), 표시부(14)를 컨트롤하는 컴퓨터 프로그램의 변경으로 하드웨어 구성을 변경하지 않고, 실시예 2를 실현하는 것도 가능하다.In the second embodiment, the setting of the first and second voltage measurement times can be set at any time during the time period when the switch 10 is on. When the voltage difference of the incandescent lamp is out of the registered voltage difference range and the judging section 17 judges that the corresponding discharge lamp 1 is a non-genuine article, it is preferable to take the same correspondence as in the case of the first embodiment. In the first embodiment, the hardware configuration is not changed by changing the computer program for controlling the control unit 9, the measurement unit 11, the comparison unit 12, the determination unit 13, and the display unit 14, It is also possible to realize the second embodiment.

본 발명의 노광 장치(100)(101)에서는 광원 장치(4)의 대수가 많고, 그것들의 백열등(2)의 검사 시간이 노광 장치(100)(101)의 기동 시간을 크게 초과하는 경우에는, 제어부(9), 정전류 전원(8), 측정부(11)(15), 비교부(12)(16), 판정부(13)(17), 표시부(14)를 백열등(2)의 검사에 필요한 대수분을 증설하고, 이것들을 병렬로 가동시켜, 백열등(2)의 검사를 병행하여 행함으로써, 검사 시간을 증가시키지 않고 광원 장치(4)의 대수 증가에 대응하여 검사를 할 수 있다.In the exposure apparatuses 100 and 101 of the present invention, when the number of the light source devices 4 is large and the inspection time of the incandescent lamps 2 greatly exceeds the startup time of the exposure apparatuses 100 and 101, The control section 9, the constant current power source 8, the measuring section 11 and the comparator section 12, the judging sections 13 and 17 and the display section 14 to the inspection of the incandescent lamp 2 It is possible to carry out the inspection corresponding to the increase in the number of the light source devices 4 without increasing the inspection time by enlarging the necessary large amount of water and running them in parallel and inspecting the incandescent lamp 2 in parallel.

본 발명은, 프린트 배선 기판 위에 배선 패턴을 형성하는 노광 공정용의 노광 장치뿐만 아니라, 방전등을 이용한 액정 표시 패널용, 반도체 디바이스용 등, 모든 노광 장치와 부품의 외관 검사 장치 등 복수의 램프를 갖는 광원 장치에 있어서, 순정품의 방전 등이 필요한 장치에 이용 가능하다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied not only to an exposure apparatus for an exposure process for forming a wiring pattern on a printed wiring board but also to a plurality of lamps such as a liquid crystal display panel using a discharge lamp and a semiconductor device, In the light source apparatus, it can be used for an apparatus requiring discharge of a genuine article or the like.

Claims (1)

광원이 되는 방전등과,
텅스텐 필라멘트(2a)를 갖는, 상기 방전등이 순정품인지 여부를 검출하는 백열등과,
상기 방전등 및 백열등이 장착된 리플렉터 용기로 구성되고,
상기 백열등은, 상기 방전등의 점등시의 동작개시 시간 중에 제 1 회째의 점등이 이루어지고, 상기 백열등의 제 1 회째의 전압 측정이 행해지고, 그런 후, 소정 시간의 경과 후, 제 2 회째의 점등이 이루어져 상기 백열등의 제 2 회째의 전압 측정이 행해지고, 전후 2회의 상기 전압 측정의 결과가, 상기 방전등과 함께 사용되는 복수의 백열등을 미리 측정하여 등록된 전압 분포의 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위 내인지 여부를 상기 방전등의 특성에 관계없이 검출함으로써, 상기 방전등이 순정품인지 여부를 판정하는 것인 것을 특징으로 하는, 광원 장치.
A discharge lamp serving as a light source,
An incandescent lamp having a tungsten filament 2a for detecting whether the discharge lamp is a genuine product,
And a reflector container on which the discharge lamp and the incandescent lamp are mounted,
The incandescent lamp is turned on during the first time during the operation start time when the discharge lamp is turned on and the first time voltage measurement of the incandescent lamp is performed and after the lapse of a predetermined time, And the result of the previous two times of the voltage measurement is obtained by measuring in advance a plurality of incandescent lamps to be used together with the discharge lamp so as to be within a predetermined upper limit value and a lower limit value voltage range of the registered voltage distribution Whether or not the discharge lamp is a genuine article, by detecting whether or not the discharge lamp is a genuine article regardless of the characteristics of the discharge lamp.
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