KR20180071938A - 도포 장치, 및 도포 방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 기판을 스테이지에 확실하게 유지하는 것에 의해, 정밀도 양호하게 도포하는 것.
[해결 수단] 도포 장치 (1) 는, 기판 (S) 을 재치하는 스테이지 (4) 와, 스테이지 (4) 상의 기판 (S) 에 액상체 (L) 를 도포하는 도포부 (6) 와, 스테이지 (4) 에 형성되고, 재치된 기판 (S) 을 흡착하는 흡착부 (9) 와, 스테이지 (4) 의 상방에 대해 진퇴 가능하고, 또한 진출한 위치에 있어서 스테이지 (4) 에 재치된 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4) 에 압박하는 클램프 기구 (10) 와, 스테이지 (4) 와 도포부 (6) 를 상대적으로 이동시키는 구동부 (5) 를 구비한다.

Description

도포 장치, 및 도포 방법{COATING APPARATUS AND COATING METHOD}

본 발명은, 도포 장치, 및 도포 방법에 관한 것이다.

스테이지에 재치 (載置) 된 기판에 액상체를 도포하는 도포 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 기판에 도포액을 도포하고 있는 동안, 기판 이면의 복수의 위치를 흡착 유지한 상태에서, 기판을 스테이지의 표면에 압박하고, 기판을 스테이지에 대해 평탄하게 유지하는 복수의 흡착부를 구비하는 도포 장치가 제안되어 있다 (예를 들어, 하기 특허문헌 1).

일본 공개특허공보 2013-069969호

기판은, 재질, 혹은 크기 등에 따라서는, 휘어져 있는 경우가 있다. 기판이 휘어져 있는 경우, 기판을 스테이지 상에 완전히 유지할 수 없는 경우가 있다. 기판을 스테이지 상에 완전히 유지할 수 없는 경우, 도포의 정밀도가 악화되고, 또 기판과 노즐이 충돌하여 기판 혹은 노즐이 파손될 우려도 있다.

이상과 같은 사정을 감안하여 본 발명은, 기판을 스테이지에 확실히 유지하는 것에 의해, 정밀도 양호하게 도포가 가능한 도포 장치, 및 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 양태에 따르면, 기판을 재치하는 스테이지와, 스테이지 상의 기판에 액상체를 도포하는 도포부와, 스테이지에 형성되고, 재치된 기판을 흡착하는 흡착부와, 스테이지의 상방에 대해 진퇴 가능하고, 또한 진출한 위치에 있어서 스테이지에 재치된 기판의 일부를 스테이지에 압박하는 클램프 기구와, 스테이지와 도포부를 상대적으로 이동시키는 구동부를 구비하는, 도포 장치가 제공된다.

본 발명의 제 2 양태에 따르면, 기판에 액상체를 도포하는 방법으로서, 기판을 스테이지에 재치하는 것과, 클램프 기구를 스테이지의 상방으로 진출시켜, 스테이지에 재치된 기판의 일부를 클램프 기구에 의해 스테이지에 압박하는 것과, 기판을 흡착부에 의해 스테이지에 흡착하는 것과, 클램프 기구를 스테이지의 상방에서 퇴피시켜, 스테이지와 도포부를 상대적으로 이동시키면서, 스테이지에 흡착된 기판에 도포부에 의해 액상체를 도포하는 것을 포함하는, 도포 방법이 제공된다.

본 발명의 제 3 양태에 따르면, 기판을 재치하는 스테이지와, 스테이지 상의 기판에 액상체를 도포하는 도포부와, 스테이지에 형성되고, 재치된 기판을 흡착하는 흡착부와, 스테이지의 상방에 대해 진퇴 가능하고, 또한 진출한 위치에 있어서 스테이지에 재치된 기판의 일부를 스테이지에 압박하는 클램프 기구와, 스테이지와 도포부를 상대적으로 이동시키는 구동부를 구비하는, 도포 장치가 제공된다.

본 발명에 의하면, 기판을 스테이지에 확실하게 유지하는 것에 의해, 정밀도양호하게 액상체를 도포하는 것이 가능하다.

도 1 은 제 1 실시형태에 관련된 도포 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2 의 (A) 및 (B) 는, 기판에 액상체를 도포할 때의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3 은 흡착부의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4 의 (A) 및 (B) 는, 흡착 패드의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 흡착 패드가 기판을 흡착하기 전의 상태를 나타내는 도면이고, (B) 는 흡착 패드가 기판을 흡착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 5 의 (A) ∼ (C) 는, 클램프 기구의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 6 은 제 1 실시형태에 관련된 도포 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 7 은 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8 은 도 7 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 9 는 도 8 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10 은 도 9 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11 은 도 10 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12 의 (A) 및 (B) 는, 제 2 실시형태에 관련된 도포 장치의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 상방으로부터 본 도면이고, (B) 는 (A) 의 G-G 선을 따른 단면을 나타내는 도면이다.
도 13 의 (A) 및 (B) 는, 제 2 실시형태의 클램프 기구의 동작의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 상방으로부터 본 도면, (B) 는 (A) 의 H-H 선을 따른 단면을 나타내는 도면이다.
도 14 는 제 2 실시형태에 관련된 도포 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 15 는 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 16 은 도 15 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 17 은 도 16 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 18 은 도 17 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 19 는 도 18 에 계속해서, 도포 장치의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 20 은 제 3 실시형태에 관련된 도포 장치의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 상방으로부터 본 도면이고, (B) 는 측방으로부터 본 도면이다.
도 21 은 제 4 실시형태에 관련된 도포 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
도 22 는 제 1 클램프 기구의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 23 은 도 22 에 계속해서, 제 1 클램프 기구의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 24 는 제 2 클램프 기구의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 25 는 도 24 에 계속해서, 제 1 클램프 기구의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 26 은 제 1 클램프 기구 및 제 2 클램프 기구의 동작을 나타내는 도면이다.
도 27 은 제 4 실시형태에 관련된 도포 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 28 은 제 5 실시형태에 관련된 도포 장치의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 29 는 도 28 에 계속해서, 제 5 실시형태에 관련된 도포 장치의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다.

[제 1 실시형태]

제 1 실시형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 적절히 도 1 등에 나타내는 XYZ 직교 좌표계를 참조한다. 이 XYZ 직교 좌표계는, X 방향 및 Y 방향이 수평 방향 (횡 방향) 이고, Z 방향이 연직 방향이다. 또, 각 방향에 있어서, 적절히 화살표의 선단과 동일한 측을 ＋측 (예, ＋Z 측), 화살표의 선단과 반대측을 -측 (예, -Z 측) 으로 칭한다. 예를 들어, 연직 방향 (Z 방향) 에 있어서, 상방이 ＋Z 측이고, 하방이 -Z 측이다. 또한, 도면에 있어서는, 실시형태를 설명하기 위하여 일부 또는 전부를 모식적으로 기재함과 함께, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현한 부분을 포함한다.

도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 도포 장치를 나타내는 사시도이다. 도포 장치 (1) 는, 기판 (S) 에 액상체 (L)(도 2(A) 참조) 를 도포한다. 도포 장치 (1) 는, 예를 들어 프레임 (2) 과, 제어부 (3) 와, 스테이지 (4) 와, 스테이지 구동부 (5)(구동부) 와, 도포부 (6) 와, 액상체 공급부 (7) 와, 승강 구동부 (8) 와, 흡착부 (9) 와, 클램프 기구 (10) 를 구비한다. 기판 (S) 은, 예를 들어 사각형상이다. 기판 (S) 의 형성 재료는, 특별히 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 기판 (S) 은, 실리콘, 각종 유리 재료 등에 의해 형성되는 것을 사용할 수 있다. 액상체 (L) 는, 특별히 제한되지 않고, 임의이다.

프레임 (2) 은, 각 부를 지지한다. 프레임 (2) 은, 예를 들어 기대 (11) 와, 갠트리 (12) 를 포함한다. 기대 (11) 는, 예를 들어 도포 장치 (1) 의 최하부에 배치된다. 기대 (11) 는, 예를 들어 플로어면에 설치된다. 기대 (11) 는, 예를 들어 스테이지 (4), 및 갠트리 (12) 를 지지한다. 기대 (11) 는, 예를 들어 상방으로부터 볼 때 사각형상이다. 갠트리 (12) 는, 1 쌍의 지주부 (12a) 와, 가교부 (12b) 를 갖는다. 지주부 (12a) 는 스테이지 (4) 를 Y 방향으로 사이에 두고 2 개 설치되어 있다. 각 지주부 (12a) 는, 각각 기대 (11) 에 지지되고 있다. 각 지주부 (12a) 는, 가교부 (12b) 를 지지한다. 가교부 (12b) 는, Y 방향과 평행한 방향으로 연장되어 있다. 가교부 (12b) 는, 그 양단이, 각각 각 지주부 (12a) 의 상단측 (＋Z 측) 의 측면에 접속되어 있다. 가교부 (12b) 는, 후에 설명하는 도포부 (6) 를 지지한다. 또한, 갠트리 (12) 는 이동 가능하게 형성되어 있어도 된다.

제어부 (3) 는, 각 부를 제어한다. 제어부 (3) 는, 도포 장치 (1) 의 각 부와 통신 가능하게 접속된다. 제어부 (3) 는, 예를 들어 CPU (도시 생략), 하드 디스크나 메모리 등의 기억 장치 (도시 생략) 를 구비하는 컴퓨터 장치이다. 제어부 (3) 는, 예를 들어 도포 장치 (1) 의 각 부를 제어하는 프로그램을 실행 가능하다. 이 프로그램은, 예를 들어 미리 기억 장치에 기억된다.

스테이지 (4) 는, 기판 (S) 을 재치한다. 스테이지 (4) 는, 기대 (11) 의 상방에 배치된다. 스테이지 (4) 는, 예를 들어 상방으로부터 볼 때 사각형상이다. 스테이지 (4) 는, 예를 들어 XY 평면 (수평면) 과 평행한 상면 (4a) 을 포함한다. 상면 (4a) 은, 예를 들어 정반이다. 기판 (S) 은, 상면 (4a) 에 재치됨으로써, 기판 (S) 은 XY 평면과 평행 (수평면) 인 면에 배치된다. 또, 스테이지 (4) 는, 예를 들어 기대 (11) 에 대해 X 방향과 평행한 방향으로 이동 가능하게, 가이드 (도시 생략) 등을 개재하여, 기대 (11) 에 지지되고 있다.

스테이지 구동부 (5)(구동부) 는, 도포부 (6) 에 대해 스테이지 (4) 를 이동시킨다. 스테이지 구동부 (5) 는, 예를 들어 전동 모터 등이다. 스테이지 구동부 (5) 는, 예를 들어 스테이지 (4) 를 기대 (11) 에 대해 X 방향과 평행한 방향으로 이동시킨다. 스테이지 구동부 (5) 는, 예를 들어 제어부 (3) 와 통신 가능하게 접속되어, 제어부 (3) 에서 제어된다. 스테이지 구동부 (5) 는, 예를 들어 구동의 타이밍, 구동량, 구동 방향, 구동의 속도 등이 제어부 (3) 에서 제어되어, 스테이지 (4) 를 소정 위치로 이동시킨다.

도포부 (6) 는, 스테이지 (4) 상의 기판 (S) 에 액상체 (L) 를 도포한다. 도포부 (6) 는, 예를 들어 슬릿 노즐이다. 도포부 (6) 는, 액상체 (L) 를 토출하는 토출구 (14)(도 2(B) 참조) 를 갖는다. 예를 들어, 토출구 (14) 는, 하 방향을 향한 개구이고, Y 방향과 평행한 방향으로 배치되어 있다. 또한, 도포부 (6) 는, 슬릿 노즐로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 도포부 (6) 는, 잉크젯 등을 사용해도 된다.

도포부 (6) 는, 예를 들어 스테이지 (4) 의 상방에 배치된다. 도포부 (6) 는, 예를 들어 도포부 (6) 를 연직 방향 (Z 방향과 평행한 방향) 으로 가이드하는 가이드부 (16) 를 개재하여, 갠트리 (12) 에 대해 연직 방향 (Z 방향과 평행한 방향) 으로 이동 가능하게 지지된다. 도포부 (6) 는, 예를 들어 승강 구동부 (8) 와 접속되어, 승강 구동부 (8) 의 구동에 의해 이동한다. 승강 구동부 (8) 는, 도포부 (6) 를 구동한다. 승강 구동부 (8) 는, 예를 들어 전동 모터 등이다. 승강 구동부 (8) 는, 예를 들어 제어부 (3) 와 통신 가능하게 접속되어, 제어부 (3) 에서 제어된다. 승강 구동부 (8) 는, 예를 들어 구동의 타이밍, 구동량, 구동 방향, 구동의 속도 등이 제어부 (3) 에서 제어되어, 도포부 (6) 를 소정 위치로 이동시킨다.

또, 도포부 (6) 는, 예를 들어 배관 (도시 생략) 에 의해, 액상체 공급부 (7) 와 접속된다. 액상체 공급부 (7) 는, 도포부 (6) 에 액상체 (L) 를 공급한다. 액상체 공급부 (7) 는, 예를 들어 액상체 (L) 를 유지하는 액상체 유지부 (도시 생략) 와, 펌프 (도시 생략) 를 갖는다. 액상체 공급부 (7) 는, 제어부 (3) 와 통신 가능하게 접속되고, 제어부 (3) 에 의해 그 동작이 제어된다. 액상체 공급부 (7) 는, 예를 들어 도포부 (6) 에 액상체 (L) 를 공급하는 타이밍, 도포부 (6) 에 공급하는 액상체 (L) 의 양 등이, 제어부 (3) 에 의해 제어된다. 액상체 공급부 (7) 는, 예를 들어 제어부 (3) 의 제어에 의해, 펌프가 구동하고, 액상체 유지부에 유지된 소정 양의 액상체 (L) 를, 도포부 (6) 에 공급한다.

다음으로, 기판 (S) 에 액상체 (L) 를 도포할 때에 있어서의, 스테이지 (4) 및 도포부 (6) 의 동작을 설명한다. 도 2(A) 및 도 2(B) 는, 각각 기판 (S) 에 액상체 (L) 를 도포할 때에 있어서의, 스테이지 (4) 및 도포부 (6) 의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.

기판 (S) 에 액상체 (L) 를 도포할 때, 먼저 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 스테이지 구동부 (5) 가 구동하여, 기판 (S) 의 X 방향과 평행한 방향에 있어서의 소정 위치의 상방에 토출구 (14) 가 배치되도록, 스테이지 (4) 가 X 방향과 평행한 방향으로 이동한다. 계속해서, 제어부 (3) 의 제어에 의해, 승강 구동부 (8) 가 구동하여, 토출구 (14) 가 기판 (S) 의 근방에 배치되도록, 도포부 (6) 가 하방으로 이동한다. 계속해서, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해, 스테이지 구동부 (5) 가 구동되어, 스테이지 (4) 를 ＋X 방향과 평행한 방향으로 소정의 속도로 이동시키면서, 액상체 공급부 (7) 의 펌프가 구동되어, 소정량의 액상체 (L) 가 도포부 (6) 에 공급됨으로써, 도포부 (6) 는 토출구 (14) 로부터 소정량의 액상체 (L) 를 기판 (S) 에 대해 토출한다. 이로써, 기판 (S) 의 상면에 액상체 (L) 가 도포된다.

다음으로, 도 1 의 설명으로 돌아가, 흡착부 (9) 에 대해 설명한다. 흡착부 (9) 는, 스테이지 (4) 에 재치된 기판 (S) 을 흡착한다. 기판 (S) 은, 흡착부 (9) 의 흡착에 의해, 스테이지 (4) 에 고정된다. 흡착부 (9) 는, 예를 들어 진공 홈 (18) 과, 흡착 패드 (19) 를 구비한다. 도 3 은, 흡착부 (9) 의 일례를 나타내는 도면이다. 진공 홈 (18) 은, 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 에, 홈상으로 형성된다. 예를 들어, 진공 홈 (18) 은, 상방으로부터 볼 때 X 방향과 평행한 방향의 복수의 직선의 홈, 및 Y 방향과 평행한 방향의 복수의 직선의 홈으로 형성된다. 예를 들어, 진공 홈 (18) 은, 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 의 전체에 걸쳐서 배치되어 있다.

또, 진공 홈 (18) 은, 기판 (S) 의 중앙 영역에 대해, 그 중앙 영역의 외측인 외측 영역쪽이 많아지도록 배치되도록, 스테이지 (4) 에 형성된다. 이 경우, 기판 (S) 의 외측 영역을 스테이지 (4) 에 효과적으로 흡착할 수 있다. 그런데, 기판 (S) 의 외측 영역이 스테이지 (4) 에 흡착되지 않는 경우, 기판 (S) 의 외측 영역의 하부와 스테이지 (4) 사이에 간극이 생겨 리크가 발생하기 때문에, 기판 (S) 의 하부와 스테이지 (4) 사이를 인압 (引壓) 상태로 할 수 없어, 기판 (S) 의 외측 영역의 스테이지 (4) 에 대한 흡착이 불량으로 된다. 또한, 기판 (S) 의 중심 영역이 스테이지 (4) 에 흡착되지 않는 경우, 기판 (S) 의 중심 영역의 하면에 간극이 있었다고 해도, 기판 (S) 의 하면의 외측 영역과 스테이지 (4) 는 밀착되어 있으므로, 기판 (S) 의 하면과 스테이지 (4) 사이에는 밀폐된 공간이 형성된다. 이 밀폐된 공간은, 진공 펌프 (21) 의 구동에 의해 인압 상태가 되므로, 최종적으로 기판 (S) 의 중심 영역의 하면은 스테이지 (4) 에 흡착된다.

진공 홈 (18) 은, 예를 들어 이들의 X 방향과 평행한 방향의 복수의 직선이, 각각 Y 방향과 평행한 방향의 복수의 직선에 교차하고, 서로 연결되어 있다. 진공 홈 (18) 은, 예를 들어 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 에 기판 (S) 을 재치했을 때에, 기판 (S) 아래에 배치되도록 형성된다. 진공 홈 (18) 은, 예를 들어 기판 (S) 이 배치되면, 기판 (S) 의 하면과 진공 홈 (18) 에 의한 기체의 유로가 형성된다. 진공 홈 (18) 에는, 배관 (도시 생략) 을 개재하여, 진공 펌프 (21) 에 접속된다.

진공 펌프 (21) 는, 진공의 압력을 발생시킨다. 진공 펌프 (21) 는, 예를 들어 제어부 (3) 와 통신 가능하게 접속되어, 제어부 (3) 에서 제어된다. 진공 펌프 (21) 는, 예를 들어 구동의 타이밍이 제어부 (3) 에서 제어된다. 진공 펌프 (21) 의 구동에 의해, 기판 (S) 의 하면과 진공 홈 (18) 에서 형성되는 기체의 유로가 인압으로 되고, 기판 (S) 의 하면은 스테이지 (4) 에 흡착된다.

또한, 진공 홈 (18) 의 형상이나 크기는, 각각 도 3 에 나타내는 예로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 진공 홈 (18) 은, 적어도 일부분이, 상방으로부터 볼 때 곡선상으로 형성되어도 된다. 또, 진공 홈 (18) 에 있어서의 홈의 수는, 특별히 한정되지 않고, 임의이다. 또, 진공 펌프 (21) 는, 제어부 (3) 에서 제어되지 않고, 유저가 수동에 의해 구동하는 구성이라도 된다.

흡착 패드 (19) 는, 스테이지 (4) 에 형성된다. 흡착 패드 (19) 는, 스테이지 (4) 에 복수 형성된다. 흡착 패드 (19) 는, 스테이지 (4) 에 재치된 기판 (S) 을 흡착 가능하다. 도 4(A) 및 도 4(B) 는, 각각 흡착 패드의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 흡착 패드가 기판을 흡착하기 전의 상태를 나타내는 도면이고, (B) 는 흡착 패드가 기판을 흡착한 상태를 나타내는 도면이다. 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (19) 는, 예를 들어 관부 (22) 와, 신축부 (23) 와, 개구부 (23a) 를 구비한다. 흡착 패드 (19) 는, 스테이지 (4) 에 형성된 구멍부 (4b) 에 배치된다.

관부 (22) 는, 흡착 패드 (19) 에 있어서의 하부에 배치된다. 관부 (22) 는, 배관 (도시 생략) 을 개재하여, 진공 이젝터 (26) 와 접속된다. 신축부 (23) 는, 예를 들어 관부 (22) 의 상단 부분에 접속된다. 신축부 (23) 는 신축 가능하다. 신축부 (23) 는, 그 내부에 공간 (도시 생략) 을 갖는다. 신축부 (23) 는, 예를 들어 탄성 변형이 가능한 수지 등의 재료에 의해 형성되어, 탄성 변형에 의해 신축 가능하다. 신축부 (23) 는, 예를 들어 주름 상자 구조이다.

개구부 (23a) 는, 신축부 (23) 의 상단부 (23b) 에 형성되는 개구이다. 개구부 (23a) 는, 그 개구가 상방을 향하도록 형성되어 있다. 상단부 (23b) 는, 기판 (S) 과 밀착 가능하게 형성되어 있다.

진공 이젝터 (26) 는, 진공의 압력을 발생시킨다. 예를 들어, 진공 이젝터 (26) 는, 상단부 (23b) 가 기판 (S) 에 밀착된 상태에 있어서, 진공의 압력을 발생시킴으로써, 관부 (22) 및 신축부 (23) 의 내부를 진공 상태로 한다. 진공 이젝터 (26) 는, 예를 들어 제어부 (3) 와 통신 가능하게 접속되어, 제어부 (3) 에서 제어된다. 진공 이젝터 (26) 는, 예를 들어 구동의 타이밍이 제어부 (3) 에서 제어된다. 또한, 흡착 패드 (19) 는, 진공 이젝터 (26) 대신에, 진공 펌프 (21) 에 접속되어도 된다. 또, 진공 이젝터 (26) 는, 제어부 (3) 에서 제어되지 않고, 유저가 수동에 의해 구동하는 구성이라도 된다.

또, 흡착 패드 (19) 는, 예를 들어 스테이지 (4) 로부터 돌출 및 몰입 가능하게 형성된다. 흡착 패드 (19) 는, 기판 (S) 을 흡착했을 때에 몰입한다. 신축부 (23) 는, 예를 들어 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 스테이지 (4) 의 상단으로부터 돌출 가능하게 형성된다. 이 경우, 신축부 (23) 는, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 재치했을 때, 상단부 (23b) 를 기판 (S) 의 하면에 밀착시키는 것이 용이해진다. 신축부 (23) 는, 예를 들어 신장 시에 있어서, 스테이지 (4) 의 상단으로부터 길이 L2 돌출되도록 형성된다. 이 길이 L2 는, 한정되지 않지만, 예를 들어 1 mm ∼ 3 mm 정도이다. 예를 들어, 스테이지 (4) 의 상단으로부터 신축부 (23) 가 돌출되는 길이 L2 는, 예를 들어 각 흡착 패드 (19) 에 있어서 동일하다. 또한, 이 길이 L2 는, 각 흡착 패드 (19) 에 있어서 상이해도 된다. 예를 들어, 이 길이 L2 는, 기판 (S) 의 중앙 영역에 배치되는 흡착 패드 (19) 에 있어서의 길이 L2 에 대해, 중앙 영역의 외측인 외측 영역에 배치되는 흡착 패드 (19) 에 있어서의 길이 L2 를 길게 하도록 설정해도 된다.

흡착 패드 (19) 의 동작을 설명한다. 흡착 패드 (19) 는, 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 신축부 (23) 가 스테이지 (4) 로부터 돌출되도록 배치된다. 스테이지 (4) 에 기판 (S) 을 재치하면, 상단부 (23b) 가 기판 (S) 의 하면에 밀착된다. 계속해서, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (19) 는, 상단부 (23b) 가 기판 (S) 의 하면에 밀착한 상태에서, 진공 이젝터 (26) 를 구동하면, 신축부 (23) 의 내부가 인압으로 되고, 상단부 (23b) 가 기판 (S) 의 하면에 흡착된다. 그 후, 신축부 (23) 내부의 압력이 더욱 낮아지면, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 신축부 (23) 는 탄성 변형에 의해 수축하고, 스테이지 (4) 의 구멍부 (4b) 에 몰입한다. 이때, 상단부 (23b) 는 기판 (S) 의 하면에 흡착되어 있으므로, 신축부 (23) 가 수축함으로써, 기판 (S) 이 하방으로 이동하여, 스테이지 (4) 에 흡착된다.

또한, 신축부 (23) 를 스테이지 (4) 로부터 돌출 및 몰입 가능하게 형성하는 경우, 예를 들어 신축부 (23) 의 신장 시에 있어서의 그 상단으로부터 하단까지의 길이를 L1 (도 4(A) 참조), 신축부 (23) 의 스테이지 (4) 로부터 돌출되는 부분의 길이를 L2 (도 4(A) 참조), 신축부 (23) 의 신장 시에 있어서의 그 상단으로부터 하단까지의 길이를 L3 (도 4(B) 참조) 으로 했을 때, L3 ≤ L1 - L2 의 관계를 만족하도록 신축부 (23) 는 형성된다.

다음으로, 도 3 의 설명으로 돌아가, 흡착 패드 (19) 의 배치에 대해 설명한다. 흡착 패드 (19) 는, 스테이지 (4) 에 복수 구비된다. 복수의 흡착 패드 (19) 는, 예를 들어 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 에 균일하게 배치되어 있다. 복수의 흡착 패드 (19) 는, 예를 들어 스테이지 (4) 의 가장자리부에 있어서는, 소정 간격으로 배치되고, 스테이지 (4) 의 가장자리부보다 내측에 있어서는, 스테이지 (4) 의 중심을 중심으로 하는 복수의 동심원 (도시 생략) 상의 어디에 배치된다. 또, 복수의 흡착 패드 (19) 는, 예를 들어 단위면적당의 배치수가, 기판 (S) 의 중앙 영역에 대해, 중앙 영역의 외측인 외측 영역쪽이 많아지도록 배치된다. 이 경우, 기판 (S) 의 외측 영역을 효과적으로 흡착할 수 있다.

또한, 흡착 패드 (19) 의 구성, 크기, 수, 및 위치는, 각각 도 3 에 나타낸 예로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 흡착 패드 (19) 는, 스테이지 (4) 의 중심을 중심으로 하는 복수의 동심원 상의 어디에 배치되지 않아도 된다. 예를 들어, 복수의 흡착 패드 (19) 는, 소정 간격으로 나란히 배치되어도 된다. 또, 흡착 패드 (19) 는, 구동 장치에 의해, 연직 방향으로 구동 가능하게 구성되는 것이라도 된다. 이 경우, 예를 들어 흡착 패드 (19) 가 기판 (S) 에 흡착된 후, 구동 장치에 의해 하 방향으로 흡착 패드 (19) 가 구동함으로써, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 흡착하는 구성이라도 된다. 또, 도포 장치 (1) 는, 진공압을 측정 가능한 센서를 구비하고, 이 센서에 의해, 흡착부 (9) 에 의한 기판 (S) 의 흡착 상태를 검출하는 기구를 구비해도 된다.

다음으로, 도 1 의 설명으로 돌아가, 클램프 기구 (10) 에 대해 설명한다. 클램프 기구 (10) 는, 스테이지 (4) 에 재치된 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4) 에 압박한다. 도포 장치 (1) 는, 예를 들어 복수의 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 를 구비한다. 예를 들어, 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 각각 기판 (S) 에 대해 사방에 설치된다. 예를 들어, 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 각각 스테이지 (4) 의 어느 사방에 있어서의 중앙 부분에 배치된다.

각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 예를 들어 각각 지지부 (25) 와, 아암 지지부 (27) 와, 아암 (28) 과, 승강 구동부 (29) 와, 회전 구동부 (30) 와, 누름부 (31) 를 구비한다. 또한, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 각각 동일한 구성이다.

각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 각각 지지부 (25) 를 개재하여, 스테이지 (4) 에 장착되어 있다. 지지부 (25) 는, 아암 지지부 (27) 를 지지한다. 지지부 (25) 는, 예를 들어 아암 지지부 (27) 를 사이에 두고 설치되는 1 쌍의 부재이다. 지지부 (25) 는, 아암 지지부 (27) 를, 아암 지지부 (27) 의 장축과 평행한 축 (AX) 둘레로 회전 가능하게 지지한다. 지지부 (25) 는, 예를 들어 축 (AX) 과 동일한 축에 배치되는 축부 (27a) 를 개재하여, 아암 지지부 (27) 를 축 (AX) 둘레로 회전 가능하게 지지한다.

아암 지지부 (27) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을 지지한다. 아암 지지부 (27) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을, 연직 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 아암 지지부 (27) 는, 회전 구동부 (30) 의 구동에 의해, 축 (AX) 둘레로 회전한다. 이 아암 지지부 (27) 의 회전에 의해 클램프 기구 (10) 는, 스테이지 (4) 의 상방에 대해 진퇴한다.

회전 구동부 (30) 는, 아암 지지부 (27) 를 구동한다. 회전 구동부 (30) 는, 예를 들어 전동 모터 등의 액추에이터이다. 회전 구동부 (30) 는, 제어부 (3) 와 통신 가능하게 접속되고, 제어부 (3) 에 의해 그 구동이 제어된다. 회전 구동부 (30) 는, 예를 들어 구동의 타이밍, 구동량, 구동 방향, 구동의 속도 등이 제어부 (3) 에 의해 제어된다. 또한, 회전 구동부 (30) 는 없어도 된다. 이 경우, 아암 지지부 (27) 는, 예를 들어 수동에 의해 회전하는 기구라도 된다.

1 쌍의 아암 (28) 은, 누름부 (31) 를 지지한다. 1 쌍의 아암 (28) 은, 승강 구동부 (29) 의 구동에 의해, 연직 방향으로 이동한다. 승강 구동부 (29) 의 구동에 의해, 1 쌍의 아암 (28) 및 누름부 (31) 는 연직 방향으로 구동한다.

승강 구동부 (29) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을 구동한다. 승강 구동부 (29) 는, 예를 들어 전동 모터 등의 액추에이터이다. 승강 구동부 (29) 는, 제어부 (3) 와 통신 가능하게 접속되고, 제어부 (3) 에 의해 그 구동이 제어된다. 승강 구동부 (29) 는, 예를 들어 구동의 타이밍, 구동량, 구동 방향, 구동의 속도 등이 제어부 (3) 에 의해 제어된다. 또한, 승강 구동부 (29) 는 없어도 된다. 이 경우, 예를 들어 1 쌍의 아암 (28) 이 수동에 의해 연직 방향으로 구동하는 기구라도 된다.

누름부 (31) 는, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 압박하는 것이 가능하게 형성되어 있다. 예를 들어, 누름부 (31) 는, 평탄한 면 (31a) 을 갖는다. 이 면 (31a) 은, 예를 들어 1 쌍의 아암 (28) 이 장착되는 기단측에 대해, 선단측의 하부에 배치된다. 누름부 (31) 는, 면 (31a) 과 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 끼워 넣음으로써, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 압박하는 것이 가능하다. 누름부 (31) 는, 승강 구동부 (29) 의 구동에 의해 1 쌍의 아암 (28) 이 하방으로 구동함으로써, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4) 에 압박하는 것이 가능하다.

다음으로, 클램프 기구의 동작을 설명한다. 도 5(A) ∼ 도 5(C) 는, 클램프 기구의 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 또한, 도 5(A) ∼ 도 5(C) 에 있어서는, 도 1 에 나타내는 4 개의 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 중, 스테이지 (4) 의 ＋X 측 및 -X 측에 장착된 2 개의 클램프 기구 (10b, 10d) 를 나타내고 있고, 스테이지 (4) 의 ＋Y 측 및 -Y 측에 장착된 2 개의 클램프 기구 (10a, 10d) 는 도시를 생략하고 있다.

각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 각각 스테이지 (4) 에 재치된 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4) 에 압박하기 전에 있어서, 도 5(A) 에 나타내는 바와 같이, 스테이지 (4) 의 상방에 대해 퇴피하고 있다 (퇴피 상태). 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4) 에 압박할 때, 먼저 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 에 있어서, 제어부 (3) 의 제어에 의해 회전 구동부 (30) 가 구동함으로써, 아암 지지부 (27) 가 회전하여, 누름부 (31) 가 스테이지 (4) 의 상방으로 진출한다 (진출 상태). 제어부 (3) 는, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 의 동작이 동기하도록 제어한다. 계속해서, 도 5(C) 에 나타내는 바와 같이, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 에 있어서, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (29) 가 구동함으로써, 아암 (28) 및 누름부 (31) 가 하방으로 이동하여, 면 (31a) 으로 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4) 에 압박한다.

그런데, 기판 (S) 은, 완전히 평탄하지 않고, 변형되어 있는 경우가 있다. 예를 들어, 도 5(A) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (S) 은, 그 단부 (端部) 가 상방으로 휘어져 있는 경우가 있다. 이것은, 예를 들어 기판 (S) 의 형성 재료, 기판 (S) 의 제조 방법, 기판 (S) 의 처리 방법 등에 따라서는, 높은 빈도로 일어나는 것이다. 기판 (S) 의 단부가 상방으로 휘어져 있는 경우, 기판 (S) 의 단부와 스테이지 (4) 사이에 간극이 생기기 때문에, 진공 홈 (18) 에 의한 기판 (S) 의 하면과 스테이지 (4) 사이의 진공 상태를 형성할 수 없고, 그 결과 기판 (S) 의 단부를 스테이지 (4) 에 흡착할 수 없는 경우가 있다. 또, 기판 (S) 의 단부가 상방으로 휘어져 있는 경우, 흡착 패드 (19) 가 스테이지 (4) 로부터 돌출되어 있어도, 기판 (S) 의 하면에 닿지 않기 때문에, 흡착 패드 (19) 에 의한 기판 (S) 의 흡착이 되지 않고, 그 결과 기판 (S) 의 단부를 스테이지 (4) 에 흡착할 수 없는 경우가 있다. 기판 (S) 의 단부를 스테이지 (4) 에 흡착할 수 없는 경우, 기판 (S) 단부의 도포 정밀도가 불량이 되는 것에 추가로, 도포 시에 기판 (S) 과 도포부 (6) 가 충돌하여 기판이 파손될 우려가 있다.

본 실시형태의 도포 장치 (1) 에서는, 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 클램프 기구 (10) 가 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4) 에 압박하는 것에 의해, 기판 (S) 의 단부가 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 을 따라 수평으로 변형되므로, 기판 (S) 의 단부를 확실히 스테이지 (4) 에 밀착시킬 수 있다. 이로써, 도포 장치 (1) 는 기판 (S) 을 그 단부까지 정밀도 양호하게 도포할 수 있다.

클램프 기구 (10) 는, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4) 에 압박한 후, 승강 구동부 (29) 의 구동의 구동에 의해 누름부 (31) 가 상 방향으로 이동하고, 회전 구동부 (30) 의 구동에 의해 아암 지지부 (27) 가 회전하여, 누름부 (31) 가 스테이지 (4) 의 상방으로부터 퇴피한다. 승강 구동부 (29) 및 회전 구동부 (30) 는, 각각 그들의 구동이 제어부 (3) 에서 제어된다. 본 실시형태의 도포 장치 (1) 에서는, 기판 (S) 의 단부를 확실히 스테이지 (4) 에 밀착시킬 수 있고, 또한 클램프 기구 (10) 가 스테이지 (4) 의 상방으로부터 퇴피하므로, 기판 (S) 의 양단 근방까지, 정밀도 양호하게 도포할 수 있다.

또한, 클램프 기구 (10) 는, 스테이지 (4) 에 재치된 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4) 에 압박 가능한 구성을 가지면, 상기한 도 1 등에 나타내는 구성으로 한정되지 않고, 그 구성은 임의이다. 예를 들어, 클램프 기구 (10) 는, 누름부 (31) 를 2 개 이상 구비하고 있어도 된다. 또, 예를 들어 아암 (28) 은 1 쌍이 아니고, 1 개라도 되고, 3 개 이상이라도 된다. 또, 클램프 기구 (10) 는, 예를 들어 스테이지 (4) 의 사방의 각각의 중앙부에 배치되지 않아도 된다. 예를 들어, 클램프 기구 (10) 는, 기판 (S) 의 코너부에 배치되어도 된다. 또, 예를 들어 클램프 기구 (10) 의 수는, 4 개가 아니어도 된다. 예를 들어, 클램프 기구 (10) 는, 1 개 ∼ 3 개라도 되고, 5 개 이상이라도 된다.

다음으로, 도포 장치 (1) 의 동작에 기초하여, 제 1 실시형태에 관련된 도포 방법을 설명한다. 도 6 은, 본 실시형태에 관련된 도포 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다. 도 7 ∼ 도 11 은, 각각 도포 장치 (1) 의 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 또한, 도 6 을 설명할 때, 적절히 도 1, 도 2, 도 4, 및 도 7 ∼ 도 11 을 참조한다.

본 실시형태의 도포 방법은, 도 6 에 나타내는 스텝 S1 에 있어서, 스테이지 (4) 에 기판 (S) 을 재치한다. 예를 들어, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 의 소정 위치에 재치한다. 기판 (S) 의 재치는, 예를 들어 유저가 인력에 의해 실시해도 되고, 반송 장치 등의 장치에 의해 실시해도 된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S2 에 있어서, 흡착부 (9) 를 구동한다. 예를 들어, 도 7(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해, 진공 펌프 (21) 및 진공 이젝터 (26) 가 구동되고, 진공 홈 (18) 및 흡착 패드 (19) 가 구동된다. 진공 홈 (18) 의 구동에 의해, 진공 홈 (18) 의 부분과 기판 (S) 의 하면 사이가 인압 상태가 됨과 함께, 기판 (S) 의 하면과 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 사이의 부분이 인압 상태가 되고, 기판 (S) 은 스테이지 (4) 에 흡착된다. 또, 도 4(A) 및 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (19) 의 구동에 의해, 흡착 패드 (19) 가 기판 (S) 에 흡착되고, 흡착 패드 (19) 가 스테이지 (4) 에 몰입됨으로써, 기판 (S) 은 스테이지 (4) 에 흡착된다. 그러나, 흡착부 (9) 를 구동해도, 도 7(B) 에 나타내는 바와 같이, 상기 서술한 기판 (S) 의 단부가 상방을 향해 휘어져 있는 경우, 기판 (S) 의 단부 근방의 흡착 패드 (19) 및 진공 홈 (18) 이 기판 (S) 과 접촉하지 않는 경우가 있다.

또한, 진공 펌프 (21) 및 진공 이젝터 (26) 의 구동은, 동시에 실시해도 되고, 동시에 실시하지 않아도 된다. 예를 들어, 진공 펌프 (21) 를 진공 이젝터 (26) 보다 먼저 구동해도 되고, 진공 이젝터 (26) 를 진공 펌프 (21) 보다 먼저 구동해도 된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S3 에 있어서, 클램프 기구 (10) 를 스테이지 (4) 의 상방으로 진출시킨다. 예를 들어, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 각각 제어부 (3) 의 제어에 의해 회전 구동부 (30) 가 구동함으로써, 아암 지지부 (27) 가 회전하고, 누름부 (31) 가 스테이지 (4) 의 상방으로 진출한다. 예를 들어, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 의 각 동작은, 하기에 기재하는 동작을 포함하여, 제어부 (3) 에 의해 동기하도록 제어된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S4 에 있어서, 스테이지 (4) 에 재치된 기판 (S) 의 일부를 클램프 기구 (10) 에 의해 스테이지 (4) 에 압박한다. 예를 들어, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 에 있어서, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (29) 가 구동함으로써, 아암 (28) 및 누름부 (31) 가 하방으로 이동한다. 이로써, 클램프 기구 (10) 는, 누름부 (31) 의 면 (31a) 으로 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4) 에 압박한다. 이 누름부 (31) 의 하방의 이동에 의해, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 가 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 을 따라 수평으로 변형된다. 이로써, 기판 (S) 의 단부가, 흡착 패드 (19) 및 진공 홈 (18) 에 확실히 접촉하고, 흡착된다. 기판 (S) 의 단부가 흡착 패드 (19) 및 진공 홈 (18) 에 확실히 접촉하는 경우, 기판 (S) 의 하부를 확실히 진공 상태로 할 수 있으므로, 기판 (S) 전체를 확실히 스테이지 (4) 에 흡착할 수 있다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S5 에 있어서, 클램프 기구 (10) 를 상승시킨다. 예를 들어, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 에 있어서, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (29) 가 구동하여, 아암 지지부 (27) 및 누름부 (31) 가 상방으로 이동하고, 누름부 (31) 가 기판 (S) 으로부터 멀어진다. 이 상태에 있어서도, 흡착부 (9) 가 구동하고 있으므로, 기판 (S) 은 스테이지 (4) 에 흡착한 상태를 유지하고 있다. 또한, 스텝 S5 는 실시하지 않아도 된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S6 에 있어서, 클램프 기구 (10) 를 스테이지 (4) 의 상방으로부터 퇴피시킨다. 예를 들어, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 각 클램프 기구 (10a ∼ 10d) 는, 각각 제어부 (3) 의 제어에 의해 회전 구동부 (30) 가 구동함으로써, 아암 지지부 (27) 가 회전하여, 누름부 (31) 가 스테이지 (4) 의 상방으로부터 퇴피한다. 또한, 스텝 S3 및 스텝 S6 의 회전 구동부 (30) 의 구동은, 유저가 수동에 의해 실시해도 된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S7 에 있어서, 스테이지 (4) 와 도포부 (6) 를 상대적으로 이동시키면서, 스테이지 (4) 에 흡착된 기판 (S) 에 도포부 (6) 에 의해 액상체 (L) 를 도포한다. 예를 들어, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 스테이지 구동부 (5) 가 구동되어, 기판 (S) 의 X 방향과 평행한 방향에 있어서의 소정의 위치의 상방에 토출구 (14) 가 배치되도록, 스테이지 (4) 가 X 방향과 평행한 방향으로 이동한다. 계속해서, 제어부 (3) 의 제어에 의해, 승강 구동부 (8) 가 구동하여, 토출구 (14) 가 기판 (S) 의 근방에 배치되도록, 도포부 (6) 가 하방으로 이동한다. 그리고, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 액상체 공급부 (7) 의 펌프가 구동되어, 액상체 공급부 (7) 로부터 소정량의 액상체 (L) 가 도포부 (6) 에 공급되고, 도포부 (6) 는 토출구 (14) 로부터 소정의 양의 액상체 (L) 를 기판 (S) 에 대해 토출함과 함께, 제어부 (3) 의 제어에 의해 스테이지 구동부 (5) 가 구동하여, 스테이지 (4) 가 ＋X 방향으로 이동함으로써, 기판 (S) 의 상면에 액상체 (L) 가 도포된다. 도포부 (6) 는, 도포가 종료한 후, 제어부 (3) 의 제어에 의해 액상체 공급부 (7) 로부터의 액상체 (L) 의 공급이 정지되고, 그 후 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (8) 가 구동되고, 도포부 (6) 는 상승한다. 본 실시형태의 도포 장치 (1) 는, 기판 (S) 이 단부까지 스테이지 (4) 에 흡착되어 있고, 또한, 클램프 기구 (10) 가 퇴피하므로, 기판 (S) 의 양단의 근방까지 정밀도 양호하게 액상체 (L) 를 도포할 수 있다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S8 에 있어서, 흡착부 (9) 의 구동을 정지한다. 예를 들어, 도포부 (6) 에 의한 도포가 종료한 시점에서, 흡착부 (9) 의 구동을 정지한다. 이로써, 기판 (S) 의 스테이지 (4) 에 대한 흡착이 종료한다. 흡착부 (9) 의 구동의 정지는, 예를 들어 제어부 (3) 에 의해 진공 펌프 (21)(도 1 참조) 및 진공 이젝터 (26)(도 1 참조) 의 구동을 정지함으로써 실시한다. 또한, 진공 펌프 (21) 및 진공 이젝터 (26) 의 구동의 정지는, 유저가 수동에 의해 실시해도 된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S9 에 있어서, 기판 (S) 을 반출한다. 또한, 기판 (S) 의 반출은, 예를 들어 유저가 수동에 의해 실시해도 되고, 반송 장치 등에 의해 실시해도 된다.

또한, 스텝 S2 에 있어서의 흡착부 (9) 의 구동은, 스텝 S3 에 있어서의 클램프 기구 (10) 를 스테이지 (4) 의 상방으로 진출시키기 전에 실시하는 예를 설명했지만, 스텝 S2 를 실시하는 타이밍은, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 스텝 S3 및 스텝 S4 를 실시한 후에, 스텝 S2 에 있어서의 흡착부 (9) 의 구동을 실시해도 된다.

이상과 같이, 본 실시형태의 도포 장치 및 도포 방법은, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 확실하게 유지하는 것에 의해, 정밀도 양호하게 액상체 (L) 를 도포할 수 있다.

[제 2 실시형태]

제 2 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략 혹은 간략화한다.

도 12 는, 제 2 실시형태에 관련된 도포 장치 (1A) 의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 상방으로부터 본 도면이고, (B) 는 (A) 의 G-G 선을 따른 단면을 나타내는 도면이다. 본 실시형태의 도포 장치 (1A) 는, 예를 들어 프레임 (2) 과, 제어부 (3) 와, 스테이지 (4A) 와, 스테이지 구동부 (5)(구동부) 와, 도포부 (6) 와, 액상체 공급부 (7) 와, 승강 구동부 (8) 와, 흡착부 (9) 와, 클램프 기구 (10A) 를 구비한다. 또한, 프레임 (2), 제어부 (3), 스테이지 구동부 (5), 도포부 (6), 액상체 공급부 (7), 승강 구동부 (8), 및 흡착부 (9) 는, 각각 제 1 실시형태와 동일하고, 이들의 설명은 생략한다.

스테이지 (4A) 는, 도 12(A) 에 나타내는 바와 같이, 측부 (4c) 에 절결부 (33) 를 구비한다. 예를 들어, 절결부 (33) 는 복수 형성된다. 예를 들어, 절결부 (33) 는, 스테이지 (4A) 의 -Y 측의 단부에 2 개, 및 스테이지 (4A) 의 ＋X 측의 단부에 2 개 형성된다. 각 절결부 (33) 는, 예를 들어 각 클램프 기구 (10A) 가 스테이지 (4A) 에 진출했을 때에, 후에 설명하는 위치 결정부 (34) 가 절결부 (33) 에 들어가도록 형성되고, 위치 결정부 (34) 를 소정 위치에 배치한다. 예를 들어, 스테이지 (4A) 의 -Y 측의 단부의 절결부 (33) 는, 클램프 기구 (10Ac) 의 위치 결정부 (34) 에 대응하여 배치되고, 클램프 기구 (10Ac) 의 위치 결정부 (34) 를 배치한다. 예를 들어, 스테이지 (4A) 의 ＋X 측의 단부의 절결부 (33) 는, 클램프 기구 (10Ab) 의 위치 결정부 (34) 에 대응하여 배치되고, 클램프 기구 (10Ac) 의 위치 결정부 (34) 를 배치한다.

클램프 기구 (10A) 는, 예를 들어 복수 형성되어 있다. 예를 들어, 복수의 클램프 기구 (10A) 는, 스테이지 (4A) 의 ＋X 측에 설치되는 클램프 기구 (10Ab), 및 스테이지 (4A) 의 -Y 측에 설치되는 클램프 기구 (10Ac) 이다. 예를 들어, 각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 는, 위치 결정부 (34) 와, 지지부 (25) 와, 아암 지지부 (27) 와, 아암 (28A) 과, 승강 구동부 (29) 와, 회전 구동부 (30) 와, 누름부 (31) 를 구비한다. 지지부 (25), 아암 지지부 (27), 승강 구동부 (29), 회전 구동부 (30), 및 누름부 (31) 는, 각각 제 1 실시형태와 동일하고, 이들의 설명은, 생략한다.

각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 에 있어서, 위치 결정부 (34) 는, 예를 들어 아암 (28A) 에 배치된다. 아암 (28A) 은, 위치 결정부 (34) 가 배치되는 것 이외에는, 도 1 에 나타내는 아암 (28) 과 동일하다. 위치 결정부 (34) 는, 예를 들어 평탄한 면 (34c) 을 갖는다 (도 12(B) 참조). 예를 들어, 이 평탄한 면 (34c) 은, 클램프 기구 (10A) 가 스테이지 (4) 의 상방으로 진출했을 때에, 기판 (S) 의 측면을 향하도록, 아암 (28A) 에 배치되어 있다.

각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 에 있어서, 지지부 (25)(도시 생략) 및 아암 지지부 (27) 는, 도 12(B) 에 나타내는 바와 같이, 스테이지 (4A) 의 하방에 배치된다. 이로써, 위치 결정부 (34) 는, 클램프 기구 (10A) 가 스테이지 (4A) 의 상방으로 진출했을 때에, 절결부 (33) 로 들어가, 절결부 (33) 에 배치 가능하게 된다.

다음으로, 클램프 기구 (10A) 의 동작에 대해 설명한다. 도 13(A) 및 도 13(B) 는, 클램프 기구 (10A) 의 동작의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 상방으로부터 본 도면, (B) 는 (A) 의 H-H 선을 따른 단면을 나타내는 도면이다.

각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 는, 회전 구동부 (30) 가 구동하여 스테이지 (4A) 의 상방으로 진출했을 때, 위치 결정부 (34) 가, 절결부 (33) 에 들어가, 절결부 (33) 에 배치된다. 이 상태에 있어서, 기판 (S) 의 단부를, 위치 결정부 (34) 에 맞댐으로써, 기판 (S) 은 위치 결정된다. 또한, 이 기판 (S) 의 위치 결정부 (34) 에의 맞댐은, 유저가 수동에 의해 실시해도 되고, 기판 (S) 을 이동시키는 것이 가능한 장치에 의해 실시해도 된다.

다음으로, 도포 장치 (1A) 의 동작에 기초하여, 제 2 실시형태에 관련된 도포 방법을 설명한다. 도 14 는, 본 실시형태에 관련된 도포 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다. 도 15 ∼ 도 19 는, 도포 장치 (1) 의 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 또한, 도 14 를 설명할 때, 적절히 도 15 ∼ 도 19 를 참조한다.

본 실시형태의 도포 방법은, 도 6 에 나타내는 스텝 S1 에 계속되는 도 14 에 나타내는 스텝 S10 에 있어서, 클램프 기구 (10A) 를 진출시킨다. 예를 들어, 도 15 에 나타내는 퇴피 상태의 각 클램프 기구 (10Ab (도시 생략), 10Ac) 를, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3)(도 1 참조) 의 제어에 의해 회전 구동부 (30) 가 구동함으로써, 아암 지지부 (27) 가 회전하여, 누름부 (31) 가 스테이지 (4A) 의 상방으로 진출한다. 이때, 각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 의 위치 결정부 (34) 는, 각각 절결부 (33) 에 배치된다. 또한, 각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 는, 예를 들어 제어부 (3) 에 의해, 후에 설명하는 동작을 포함한 각 동작이 동기하도록 제어된다.

계속해서, 도 14 에 나타내는 스텝 S11 에 있어서, 기판 (S) 을 위치 결정부 (34) 에 맞댐으로써, 기판 (S) 을 위치 결정한다. 예를 들어, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 기판 (S) 의 단부를 각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 의 위치 결정부 (34) 에 대해 맞댄다. 이로써, 기판 (S) 은 위치 결정된다.

계속해서, 도 14 에 나타내는 스텝 S12 에 있어서, 흡착부 (9) 를 구동한다. 스텝 S12 는, 예를 들어 도 6 에 나타내는 스텝 S2 와 동일하게 실시한다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S4 에 있어서, 도 18 에 나타내는 바와 같이, 각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 는, 제어부 (3) 의 제어에 의해, 스테이지 (4A) 에 재치된 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 누름부 (31) 에 의해 스테이지 (4A) 에 압박한다. 이로써, 기판 (S) 은 위치 결정된 상태에서, 스테이지 (4A) 에 흡착된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S5 에 있어서, 도 19 에 나타내는 바와 같이, 각 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 를 스테이지 (4A) 의 상방으로부터 퇴피시킨다. 계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S6 ∼ 스텝 S9 를 실시함으로써, 기판 (S) 에 액상체 (L) 를 도포한다.

이상과 같이, 본 실시형태의 도포 장치 (1A) 및 도포 방법은, 기판 (S) 을 스테이지 (4A) 에 대해 위치 결정한 상태에서 스테이지 (4A) 에 확실하게 유지함으로써, 정밀도 양호하게 액상체 (L) 를 도포할 수 있다.

또한, 위치 결정부 (34) 는, 아암 (28A) 에 배치되지 않아도 된다. 예를 들어, 위치 결정부 (34) 는, 누름부 (31) 에 배치되어도 된다. 또, 클램프 기구 (10A) 의 수, 및 위치는 상기한 예로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 클램프 기구 (10Ab, 10Ac) 는, 각각 스테이지 (4A) 의 사방 중, 스테이지 (4A) 의 코너를 사이에 둔 위치에 배치되어 있으면 된다. 또, 예를 들어 클램프 기구 (10A) 는, 복수가 아니고 1 개라도 된다. 이 경우, 예를 들어 클램프 기구 (10A) 는, 스테이지 (4A) 의 사방 중 어디에 배치되어 있으면 된다.

[제 3 실시형태]

제 3 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략 혹은 간략화한다.

도 20 은, 제 3 실시형태에 관련된 도포 장치 (1B) 의 일례를 나타내는 도면이고, (A) 는 상방으로부터 본 도면이고, (B) 는 측방으로부터 본 도면이다. 본 실시형태의 도포 장치 (1B) 는, 예를 들어 프레임 (2) 과, 제어부 (3) 와, 스테이지 (4) 와, 스테이지 구동부 (5)(구동부) 와, 도포부 (6) 와, 액상체 공급부 (7) 와, 승강 구동부 (8) 와, 흡착부 (9) 와, 클램프 기구 (10B) 를 구비한다. 또한, 프레임 (2), 제어부 (3), 스테이지 (4), 스테이지 구동부 (5), 도포부 (6), 액상체 공급부 (7), 승강 구동부 (8), 및 흡착부 (9) 는, 각각 제 1 실시형태와 동일하고, 이들의 설명은 생략한다.

클램프 기구 (10B) 는, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 복수의 클램프 기구 (10Ba ∼ 10Bd) 가 설치되어 있다. 또한, 복수의 클램프 기구 (10Ba ∼ 10Bd) 는, 각각 동일한 구성이므로, 이하의 설명에 있어서는, 복수의 클램프 기구 (10Ba ∼ 10Bd) 중 클램프 기구 (10Bc) 를 예로 설명한다.

예를 들어, 클램프 기구 (10Ba ∼ 10Bd) 는, 각각 제 1 실시형태와 마찬가지로, 스테이지 (4) 의 사방에 설치되어 있다. 예를 들어, 각 클램프 기구 (10Ba ∼ 10Bd) 는, 지지부 (25B) 와, 아암 지지부 (27B) 와, 아암 (28) 과, 승강 구동부 (29) 와, 슬라이드 구동부 (37) 와, 누름부 (31) 를 구비한다. 아암 (28) 과, 승강 구동부 (29), 및 누름부 (31) 는, 각각 제 1 실시형태와 동일하고, 이들의 설명은 생략한다.

각 클램프 기구 (10Ba ∼ 10Bd) 는, 지지부 (25B) 에 의해 스테이지 (4) 에 장착되어 있다. 지지부 (25B) 는, 예를 들어 도 20(A) 및 (B) 에 나타내는 바와 같이, 아암 지지부 (27B) 를, 스테이지 (4) 에 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 예를 들어, 지지부 (25B) 는, 1 쌍의 가이드 (38) 를 구비한다. 1 쌍의 가이드 (38) 는, 아암 지지부 (27B) 의 하부에 배치되고, 아암 지지부 (27B) 를 스테이지 (4) 에 대해, 근접하는 방향 및 이간하는 방향으로 가이드한다. 예를 들어, 클램프 기구 (10Bc) 의 1 쌍의 가이드 (38) 는, Y 방향과 평행한 방향으로 배치된다. 클램프 기구 (10Bc) 의 아암 지지부 (27B) 는, 1 쌍의 가이드 (38) 에 의해 Y 방향으로 이동 가능하게 지지된다.

아암 지지부 (27B) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을, 연직 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 아암 지지부 (27B) 는, 예를 들어 슬라이드 구동부 (37) 의 구동에 의해, Y 방향으로 이동한다.

슬라이드 구동부 (37) 는, 아암 지지부 (27B) 를 구동한다. 예를 들어, 슬라이드 구동부 (37) 는, 제어부 (3) 에 통신 가능하게 접속되고, 제어부 (3) 의 제어에 의해 아암 지지부 (27) 를 구동한다. 또한, 아암 지지부 (27B) 의 구동은, 유저가 수동에 의해 구동하는 구성이라도 된다.

다음으로, 클램프 기구 (10B) 의 동작에 대해 설명한다. 클램프 기구 (10B) 는, 스테이지 (4) 에 대해 진출할 때, 예를 들어 제어부 (3) 의 제어에 의해 슬라이드 구동부 (37) 가 구동함으로써, 아암 지지부 (27B) 가 ＋Y 방향 (스테이지 (4) 에 접근하는 방향) 으로 이동하여, 누름부 (31) 가 스테이지 (4) 의 상방으로 진출한다 (도 20(A), 도 20(B) 에 점선으로 나타낸다). 또, 클램프 기구 (10B) 는, 스테이지 (4) 에 대해 퇴피할 때, 예를 들어 제어부 (3) 의 제어에 의해 슬라이드 구동부 (37) 가 구동함으로써, 아암 지지부 (27B) 가 -Y 방향 (스테이지 (4) 로부터 이간하는 방향) 으로 이동하여, 누름부 (31) 가 스테이지 (4) 의 상방으로부터 퇴피한다 (도 20(A), 도 20(B) 에 실선으로 나타낸다). 클램프 기구 (10B) 는, 제어부 (3) 에서 제어에 의해 승강 구동부 (29)(도 1 참조) 가 구동함으로써, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 압박한다. 또한, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태의 도포 방법에 있어서의, 스텝 S3 의 클램프 기구의 진출 및 스텝 S6 의 클램프 기구의 퇴피는, 상기한 클램프 기구 (10B) 의 동작 대신에 실시해도 된다.

이상과 같이, 본 실시형태의 도포 장치 (1B) 는, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 확실하게 유지함으로써, 정밀도 양호하게 액상체 (L) 를 도포할 수 있다.

또한, 클램프 기구 (10B) 의 수, 및 위치는 상기한 예로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 클램프 기구 (10B) 의 수는, 1 개 ∼ 3 개라도 된다. 이 경우, 클램프 기구 (10B) 가 배치되는 위치는 임의이고, 예를 들어 스테이지 (4) 의 사방 중 어디에 배치되어 있으면 된다. 또한, 클램프 기구 (10B) 는, 도 13 에 나타내는 위치 결정부 (34) 를 구비하고 있어도 된다.

[제 4 실시형태]

제 4 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략 혹은 간략화한다.

도 21 은, 제 4 실시형태에 관련된 도포 장치 (1C) 의 일례를 나타내는 상면도이다. 본 실시형태의 도포 장치 (1C) 는, 예를 들어 프레임 (2) 과, 제어부 (3) 와, 스테이지 (4C) 와, 스테이지 구동부 (5)(구동부)(도 1 참조) 와, 도포부 (6)(도 1 참조) 와, 액상체 공급부 (7)(도 1 참조) 와, 승강 구동부 (8)(도 1 참조) 와, 흡착부 (9)(도 1 참조) 와, 클램프 기구 (10C) 를 구비한다. 이 도포 장치 (1C) 는, 스테이지 (4C) 및 클램프 기구 (10C) 가, 상기한 도포 장치 (1, 1A, 1B) 와 상이하다. 프레임 (2), 제어부 (3), 스테이지 구동부 (5), 도포부 (6), 액상체 공급부 (7), 승강 구동부 (8), 및 흡착부 (9) 는, 각각 제 1 실시형태와 동일하고, 이들의 설명은 생략한다. 이하, 상기한 제 1 실시형태 내지 제 3 실시형태와의 상위점을 중심으로 설명한다.

스테이지 (4C) 는, 측부 (4c) 에 절결부 (33) 를 구비한다. 예를 들어, 절결부 (33) 는, 복수 형성된다. 예를 들어, 절결부 (33) 는, 스테이지 (4C) 의 ＋Y 측의 단부에 2 개, 스테이지 (4C) 의 -Y 측의 단부에 1 개, 및 스테이지 (4C) 의 ＋X 측의 단부와 -X 측의 단부에 각각 1 개씩 형성된다. 각 절결부 (33) 는, 예를 들어 후에 설명하는 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 가 스테이지 (4C) 에 진출했을 때에, 각각의 위치 결정부 (43C, 54C) 가 절결부 (33) 에 들어가도록 형성되어, 각 위치 결정부 (43C, 54C) 를 소정 위치에 배치한다. 예를 들어, 스테이지 (4C) 의 ＋Y 측의 단부의 2 개의 절결부 (33) 는, 제 1 클램프 기구 (CA) 의 2 개의 위치 결정부 (43C) 에 대응하여 형성되고, 제 1 클램프 기구 (CA) 의 2 개의 위치 결정부 (43C) 를 소정 위치에 배치한다. 스테이지 (4C) 의 -Y 측의 단부의 절결부 (33) 는, 제 2 클램프 기구 (CB) 의 위치 결정부 (43C) 에 대응하여 형성되고, 제 2 클램프 기구 (CB) 의 위치 결정부 (43C) 를 소정 위치에 배치한다. 스테이지 (4C) 의 -X 측의 단부의 절결부 (33) 는, 제 3 클램프 기구 (CC) 의 위치 결정부 (43C) 에 대응하여 형성되고, 제 3 클램프 기구 (CC) 의 위치 결정부 (43C) 를 소정 위치에 배치한다. 스테이지 (4C) 의 ＋X 측의 단부의 절결부 (33) 는, 제 4 클램프 기구 (CD) 의 위치 결정부 (43C) 에 대응하여 배치되고, 제 4 클램프 기구 (CD) 의 위치 결정부 (43C) 를 소정 위치에 배치한다. 또한, 스테이지 (4C) 는, 상기 점 이외에는 제 1 실시형태의 스테이지 (4) 와 동일하다.

클램프 기구 (10C) 는, 예를 들어 복수 설치되어 있다. 예를 들어, 클램프 기구 (10C) 는, 제 1 클램프 기구 (CA), 제 2 클램프 기구 (CB), 제 3 클램프 기구 (CC), 및 제 4 클램프 기구 (CD) 를 갖는다.

각 클램프 기구 (10C)(제 1 클램프 기구 (CA), 제 2 클램프 기구 (CB), 제 3 클램프 기구 (CC), 및 제 4 클램프 기구 (CD)) 는, 각각 기판 (S) 에 대해 사방에 설치된다. 각 클램프 기구 (10C) 는, 각각 스테이지 (4C) 의 어느 사방에 설치된다. 각 클램프 기구 (10C) 는, 각각 스테이지 (4C) 의 어느 사방의 중앙 부분에 설치된다. 예를 들어, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 스테이지 (4C) 의 ＋Y 측에 설치된다. 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 스테이지 (4C) 의 -Y 측에 설치된다. 제 3 클램프 기구 (CC) 는, 스테이지 (4C) 의 -X 측에 설치된다. 제 4 클램프 기구 (CD) 는, 스테이지 (4C) 의 ＋X 측에 설치된다.

다음으로, 각 클램프 기구 (10C) 의 구성 및 동작에 대해 설명한다. 본 실시형태에서는, 제 1 클램프 기구 (CA) 및 제 3 클램프 기구 (CC) 는, 동일한 구성이고, 후에 설명하는 바와 같이 기판 (S) 의 일부를 연직 방향으로 압박한다. 또, 제 2 클램프 기구 및 제 4 클램프 기구는, 동일한 구성이고, 후에 설명하는 바와 같이 누름부 (31) 가 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 이동하여, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 대해 압박한다. 본 실시형태에서는, 클램프 기구 (10C) 는, 2 개의 상이한 종류의 클램프 기구가, 대향하여 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제 1 클램프 기구 (CA) 와 제 2 클램프 기구 (CB) 가 대향하여 설치되고, 제 3 클램프 기구 (CC) 와 제 4 클램프 기구 (CD) 가 대향하여 설치되어 있다.

먼저, 제 1 클램프 기구 (CA) 에 대해 설명한다. 도 22(A), (B), 및 도 23(A), (B) 는, 각각 제 1 클램프 기구의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 도 21 혹은 도 22(A) 에 나타내는 바와 같이, 아암 지지부 (42C), 아암 (28), 누름부 (31), 위치 결정부 (43C), 및 구동부 (44C) 를 구비한다. 또한, 제 3 클램프 기구 (CC) 는, 위치 결정부 (43C) 가 1 개인 점 이외에는, 상기한 바와 같이 제 1 클램프 기구 (CA) 와 동일하게 구성되므로, 설명을 생략한다.

제 1 클램프 기구 (CA) 에 있어서, 아암 지지부 (42C) 는, 스테이지 (4C) 의 근방에 배치된다. 아암 지지부 (42C) 는, X 방향을 따라 소정의 간격으로 배치되는 1 쌍의 아암 (28) 을 지지한다. 아암 지지부 (42C) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을, 가이드 (도시 생략) 에 의해, 연직 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 또, 아암 지지부 (42C) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을, 가이드 (도시 생략) 에 의해, 스테이지 (4C) 에 대해, 근접하는 방향 및 이간하는 방향 (X 방향) 으로 이동 가능하게 지지한다.

1 쌍의 아암 (28) 은, 제 1 실시형태와 동일하게 구성되어 있고, 누름부 (31) 를 하방으로부터 지지한다. 1 쌍의 아암 (28) 은, 구동부 (44C) 의 구동에 의해, 연직 방향 및 X 방향으로 구동한다.

누름부 (31) 는, 제 1 실시형태와 동일하게 구성되어 있고, 평탄한 면 (31a)(도 7(A) 참조) 을 갖고, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박할 수 있게 형성되어 있다.

위치 결정부 (43C) 는, 누름부 (31) 의 하부에 X 방향으로 나란히 2 개 설치된다. 위치 결정부 (43C) 는, 기판 (S) 을 위치 결정 (얼라이먼트) 한다. 위치 결정부 (43C) 는, 예를 들어 롤러이다. 위치 결정부 (43C) 는, 연직 방향과 평행한 축 둘레로 회전 가능하다. 위치 결정부 (43C) 는, 제 1 클램프 기구 (CA) 가 스테이지 (4C) 의 상방으로 진출했을 때에, 절결부 (33) 에 배치되어, 기판 (S) 의 측면에 대향하여 접촉하도록 설치되어 있다. 이와 같이, 위치 결정부 (43C) 가 롤러인 경우, 위치 결정부 (43C) 는, 기판 (S) 에 대해, 기판 (S) 과 위치 결정부 (43C) 가 대향하는 방향 (Y 방향) 의 기판 (S) 의 움직임을 규제하지만, 기판 (S) 과 위치 결정부 (43C) 가 대향하는 방향과 직교하는 방향 (X 방향) 의 기판 (S) 의 움직임은 규제하지 않기 때문에, 기판 (S) 은, 위치 결정 시에 원활하게 움직여 위치 결정된다. 또, 위치 결정부 (43C) 가, 기판 (S) 을 위치 결정하는 방향과 직교하는 방향 (예, X 방향) 에 있어서 복수 설치되는 경우, 확실하게 기판 (S) 을 위치 결정할 수 있다.

구동부 (44C) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을 구동한다. 구동부 (44C) 는, 1 쌍의 아암 (28) 을 연직 방향으로 구동하는 승강 구동부 (44Ca), 및 1 쌍의 아암 (28) 을 스테이지 (4C) 에 대해, 근접하는 방향 및 이간하는 방향 (Y 방향) 으로 구동하는 슬라이드 구동부 (44Cb) 를 구비한다. 승강 구동부 (44Ca) 및 슬라이드 구동부 (44Cb) 는, 각각 구동력을 공급하는 구동원 및 구동력을 전달하는 구동력 전달 기구에 의해 구성된다. 예를 들어, 승강 구동부 (44Ca) 및 슬라이드 구동부 (44Cb) 는, 각각 에어 실린더에 의해 구성된다. 승강 구동부 및 슬라이드 구동부는, 각각 제어부 (3)(도 21 참조) 에 통신 가능하게 접속되고, 제어부 (3) 의 제어에 의해 구동한다. 이로써, 1 쌍의 아암 (28) 은, 연직 방향 혹은 Y 방향으로 구동 (이동) 한다. 또한, 구동부 (44C) 의 구성은, 상기한 구성으로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 승강 구동부 (44Ca) 및 슬라이드 구동부 (44Cb) 중 하나는, 에어 실린더 이외라도 되고, 예를 들어 전동 모터 등의 액추에이터 등이라도 된다. 또, 구동부 (44C) 의 구동원은 없어도 되고, 아암 (28) 의 구동은 유저가 수동에 의해 구동하는 구성이라도 된다.

다음으로, 제 1 클램프 기구 (CA) 의 동작을 설명한다. 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 스테이지 (4C) 에 재치된 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 압박하기 전에 있어서, 도 22(A) 에 나타내는 바와 같이, 스테이지 (4C) 의 상방에 대해 퇴피하고 있다 (퇴피 상태). 이때, 1 쌍의 아암 (28) 은, 스테이지 (4C) 의 상면 (4a) 보다 하방에 배치된다.

제 1 클램프 기구 (CA) 는, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 압박할 때, 먼저 도 22(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (44Ca) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28) 이 연직 상방으로 상승한다. 이때, 누름부 (31) 는, 스테이지 (4C) 의 상면 (4a) 보다 상방에 배치되고, 위치 결정부 (43C) 의 하단은, 절결부 (33) 의 하단보다 상방에 배치된다.

계속해서, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 도 23(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 슬라이드 구동부 (44Cb) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28) 이, 스테이지 (4C) 에 대해, 근접하는 방향 (-Y 방향) 의 소정 위치로 이동한다. 이때, 위치 결정부 (43C) 는, 절결부 (33) 에 배치된다. 이로써, 기판 (S) 은, 위치 결정부 (43C) 에 접촉하여 스테이지 (4C) 의 중앙 부분의 방향 (-Y 방향) 으로 이동하고, 기판 (S) 의 ＋Y 측이 위치 결정된다.

계속해서, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 도 23(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (44Ca) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28) 이, 연직 하방으로 이동하고, 누름부 (31) 의 면 (31a) 으로 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이때, 누름부 (31)(1 쌍의 아암 (28)) 는, 연직 하방으로 이동하므로, 위치 결정부 (43C) 의 -Y 측의 위치는 변함없이 이동한다. 이로써, 기판 (S) 의 ＋Y 측은 위치 결정된 상태가 유지된다. 또, 위치 결정부 (43C) 는, 롤러에 의해 구성되므로, 기판 (S) 과의 접촉 면적이, 면접촉하는 경우와 비교하면 작기 때문에, 위치 결정부 (43C) 는 기판 (S) 과 접촉한 상태에서, 용이하게 연직 방향으로 이동할 수 있다. 이와 같이, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 기판 (S) 의 ＋Y 측이 위치 결정된 상태에서, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이로써, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를, 위치 결정한 상태에서 확실하게 스테이지 (4C) 에 밀착시킬 수 있다.

또한, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박한 후, 퇴피 상태로 돌아간다. 이때, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 상기와 반대의 동작을 실시함으로써, 퇴피 상태로 돌아간다.

다음으로, 제 2 클램프 기구 (CB) 에 대해 설명한다. 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 도 21 에 나타내는 바와 같이, 제 1 클램프 기구 (CA) 에 대향하는 측에 설치되어 있다. 도 24(A), (B), 및 도 25(A), (B) 는, 각각 제 2 클램프 기구의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 상기한 바와 같이, 누름부 (31) 가 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 이동하여, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 대해 압박한다. 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 도 21 혹은 도 24(A) 에 나타내는 바와 같이, 아암 지지부 (52C), 아암 (28C), 누름부 (31), 위치 결정부 (43C), 및 구동부 (55C) 를 구비한다. 또한, 제 4 클램프 기구 (CD) 는, 상기한 바와 같이, 제 2 클램프 기구 (CB) 와 동일하게 구성되므로, 설명을 생략한다.

제 2 클램프 기구 (CB) 에 있어서, 아암 지지부 (52C) 는, 스테이지 (4C) 의 근방에 배치된다. 아암 지지부 (52C) 는, X 방향을 따라 소정의 간격으로 배치되는 1 쌍의 아암 (28C) 을 지지한다. 아암 지지부 (52C) 는, 1 쌍의 아암 (28C) 을, 가이드 (도시 생략) 에 의해, 아암 지지부 (52C) 를 기점으로 하여 상방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 근접하는 방향, 및 스테이지 (4C) 를 기점으로 하여 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향 (Z 방향 또한 Y 방향, YZ 방향, 이하 이 방향을 「YZ 방향」이라고 간략화하여 칭하는 경우가 있다.) 으로 진퇴 이동이 가능하게 지지한다. 즉, 아암 지지부 (52C) 는, 1 쌍의 아암 (28C) 을 수평면에 대해 비스듬한 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 이때, 1 쌍의 아암 (28C) 의 수평면에 대한 경사는, 특별히 한정되지 않고, 임의로 설정 가능하다. 또, 아암 지지부 (52C) 는, 1 쌍의 아암 (28C) 을, 가이드 (도시 생략) 에 의해, 스테이지 (4C) 에 대해 근접하는 방향 및 이간하는 방향 (Y 방향) 으로도 이동 가능하게 지지한다.

1 쌍의 아암 (28C) 은, 아암 지지부 (52C) 를 기점으로 하여 비스듬하게 상방 또한 스테이지에 근접하는 방향 (YZ 방향) 으로 연장되어 있다. 1 쌍의 아암 (28C) 은, 누름부 (31) 를 하방으로부터 지지한다. 1 쌍의 아암 (28C) 은, 구동부 (55C) 의 구동에 의해, YZ 방향 및 Y 방향으로 구동한다. 1 쌍의 아암 (28C) 은, 상기 점 이외에는 제 1 실시형태의 아암 (28) 과 동일하게 구성된다.

누름부 (31) 는, 제 1 클램프 기구 (CA) 와 동일하고, 1 쌍의 아암 (28C) 에 장착되고, 평탄한 면 (31a)(도 7(A) 참조) 을 갖고, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박하는 것이 가능하게 형성되어 있다.

제 2 클램프 기구 (CB) 의 위치 결정부 (43C) 는, 누름부 (31) 의 하부의 중앙 부분에 1 개 설치되어 있다 (도 21 참조). 제 2 클램프 기구 (CB) 의 위치 결정부 (43C) 는, 이 점 이외에 제 1 클램프 기구 (CA) 의 위치 결정부 (43C) 와 동일하게 구성되고, 스테이지 (4C) 의 상방으로 진출할 때에, 절결부 (33) 에 배치되어, 기판 (S) 의 측면으로 대향하여 접촉하고, 기판 (S) 을 위치 결정 (얼라이먼트) 한다.

구동부 (55C) 는, 1 쌍의 아암 (28C) 을 구동한다. 구동부 (55C) 는, 1 쌍의 아암 (28C) 을 상기한 YZ 방향으로 구동하는 승강 구동부 (55Ca), 및 1 쌍의 아암 (28C) 을 스테이지 (4C) 에 대해, 근접하는 방향 및 이간하는 방향 (Y 방향) 으로 구동하는 슬라이드 구동부 (55Cb) 를 구비한다. 승강 구동부 (55Ca) 및 슬라이드 구동부 (55Cb) 는, 각각 구동력을 공급하는 구동원 및 구동력을 전달하는 구동력 전달 기구에 의해 구성된다. 예를 들어, 승강 구동부 (55Ca) 및 슬라이드 구동부 (55Cb) 는, 각각 에어 실린더에 의해 구성된다. 승강 구동부 (55Ca) 및 슬라이드 구동부 (55Cb) 는, 각각 제어부 (3)(도 21 참조) 에 통신 가능하게 접속되고, 제어부 (3) 의 제어에 의해, 구동한다. 이로써, 1 쌍의 아암 (28C) 은, YZ 방향 혹은 Y 방향으로 구동된다.

또한, 구동부 (55C) 의 구성은, 각각 상기한 구성으로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 승강 구동부 (55Ca), 및 슬라이드 구동부 (55Cb) 중 적어도 1 개는, 에어 실린더 이외라도 되고, 전동 모터 등의 액추에이터 등이라도 된다. 또, 구동부 (55C) 는, 1 개의 구동원을 공용하는 기구라도 된다. 또, 구동부 (55C) 는, 구동원 (본 예에서는, 에어 실린더) 은 없어도 되고, 예를 들어 아암 (28C) 은, 유저의 수동에 의한 구동력으로 구동 (이동) 하는 구성이라도 된다.

다음으로, 제 2 클램프 기구 (CB) 의 동작을 설명한다. 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 상기한 제 1 클램프 기구 (CA) 의 동작 후에 구동한다. 즉, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 제 1 클램프 기구 (CA) 에 의해, 기판 (S) 의 ＋Y 측의 단부를 위치 결정한 상태에서, 스테이지 (4C) 에 압박한 후에, 기판 (S) 의 -Y 측의 단부를 위치 결정한 상태에서, 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이로써, 기판 (S) 은, Y 방향의 양단 부분이 위치 결정되어, 스테이지 (4C) 에 압박된다.

제 2 클램프 기구 (CB) 는, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4) 에 압박하기 전에 있어서, 도 24(A) 에 나타내는 바와 같이, 스테이지 (4) 의 상방에 대해 퇴피하고 있다 (퇴피 상태). 이때, 1 쌍의 아암 (28C) 은, 스테이지 (4C) 의 상면 (4a) 보다 하방에 배치된다.

제 2 클램프 기구 (CB) 는, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 압박할 때, 먼저 도 24(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (55Ca) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28C) 이 상방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 근접하는 방향 (＋Y 방향 또한 ＋Z 방향) 으로 상승한다. 이때, 누름부 (31) 는, 기판 (S) 의 상면보다 상방이 되도록 배치된다.

계속해서, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 도 25(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 슬라이드 구동부 (55Cb) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28C) 이, 스테이지 (4C) 에 대해, 근접하는 방향 (＋Y 방향) 의 소정 위치로 이동한다. 이때, 누름부 (31) 는 기판 (S) 의 상방으로, 또한 기판 (S) 의 -Y 측의 단부보다 중앙측 (＋Y 측) 으로 이동한다.

계속해서, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 도 25(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (55Cb) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28C) 이, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향 (-Y 방향 또한 -Z 방향, 이하 이 방향 이동을 「비스듬하게 후방」이라고 칭하는 경우도 있다.) 으로 이동하여, 누름부 (31) 의 면 (31a) 으로 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다.

또한, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박한 후, 퇴피 상태로 돌아간다. 이때, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 상기와 반대의 동작을 실시함으로써, 퇴피 상태로 돌아간다.

여기서, 제 1 클램프 기구 (CA) 및 제 2 클램프 기구 (CB) 의 동작을 설명한다. 도 26(A) 내지 (D) 는, 제 1 클램프 기구 (CA) 및 제 2 클램프 기구 (CB) 의 동작의 설명도이다.

기판 (S) 은, 상기한 바와 같이 그 양 단부가 상방으로 휘어져 있는 경우가 있다. 본 실시형태의 도포 장치 (1C) 에서는, 먼저 도 26(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 클램프 기구 (CA) 에 의해, 기판 (S) 의 일방의 단부를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 양 단부가 크게 휘어져 있는 기판 (S) 의 일방의 단부를 스테이지 (4C) 에 압박한 경우, 도 26(B) 에 나타내는 바와 같이, 타방의 단부의 위치가 더욱 상승하고, 기판 (S) 의 타방의 단부의 위치가 수평면에 대해 어긋나는 경우가 있다. 이 경우, 예를 들어 도 26(C) 에 나타내는 바와 같이, 만일 제 2 클램프 기구 (CB) 가 연직 하방으로 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박하면, 누름부 (31) 로부터 기판 (S) 에 대해 작용하는 힘이 커지고, 기판 (S) 이 위치 어긋남, 변형, 파손될 우려가 있다. 본 실시형태에서는, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 도 26(D) 에 나타내는 바와 같이, 누름부 (31) 가, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 이동하여, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박하기 때문에, 누름부 (31) 로부터 기판 (S) 에 대해 작용하는 힘을 작게 할 수 있고, 그 결과 상기한 기판 (S) 의 위치 어긋남, 변형, 파손을 억제할 수 있다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 제 2 클램프 기구 (CB)(제 4 클램프 기구 (CD)) 가 누름부 (31) 로부터 기판 (S) 에 대해 작용하는 힘을 억제하여, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박하므로, 기판 (S) 의 왜곡 (변형량) 이 많아도, 기판 (S) 의 단부 (변부 (Sa)) 를, 위치 어긋남, 변형, 파손을 억제하고, 확실히 스테이지 (4C) 에 밀착시킬 수 있다. 또, 본 실시형태에서는, 기판 (S) 의 사방에 있어서의 대향하지 않는 방향 (X 방향 및 Y 방향) 의 각각에, 기판 (S) 을, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 이동하여, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박하는 클램프 기구 (예, 제 2 클램프 기구 (CB), 제 4 클램프 기구 (CD)) 가 설치되므로, 기판 (S) 의 4 방의 단부를, 위치 어긋남, 변형, 파손을 억제하고, 확실히 스테이지 (4C) 에 밀착시킬 수 있다.

또한, 각 클램프 기구 (10C) 는, 상기 점 이외에는 제 1 실시형태의 클램프 기구 (10) 와 동일하게 동작한다.

다음으로, 본 실시형태의 도포 장치 (1C) 의 동작에 기초하여, 제 4 실시형태에 관련된 도포 방법을 설명한다. 도 27 은, 제 4 실시형태에 관련된 도포 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다. 또한, 도 27 을 설명할 때, 적절히 도 21 ∼ 도 26 을 참조한다.

본 실시형태의 도포 방법은, 도 6 의 스텝 S2 에 계속해서, 스텝 S21 에 있어서, 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 를 상승시킨다. 이때의 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 등의 동작은, 상기와 같다. 이로써, 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 는, 퇴피 상태로부터 상승하고, 각각의 누름부 (31) 가, 스테이지 (4C) 의 상면 (4a) 보다 상방에 배치되고, 또 각각의 위치 결정부 (43C) 의 하단이, 절결부 (33) 의 하단보다 상방에 배치된다 (도 22(A), 도 24(A) 참조).

계속해서, 스텝 S22 에 있어서, 제 1 클램프 기구 (CA) 를 스테이지 (4C) 의 상방으로 진출시키고, 기판 (S) 을 위치 결정부 (43C) 에 맞대어 위치 결정한다. 제 1 클램프 기구 (CA) 등의 동작은, 상기와 같다. 이로써, 기판 (S) 은, 위치 결정부 (43C) 에 접촉하여 스테이지 (4C) 의 중앙 부분의 방향 (-Y 방향) 으로 이동하고, 기판 (S) 의 ＋Y 측이 위치 결정된다 (도 23(A) 참조).

계속해서, 스텝 S23 에 있어서, 제 1 클램프 기구 (CA) 가 하강하여, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이때의 제 1 클램프 기구 (CA) 등의 동작은, 상기와 같다. 이로써, 제 1 클램프 기구 (CA) 는, 기판 (S) 의 ＋Y 측이 위치 결정된 상태에서, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 그 결과, 기판 (S) 의 단부가 스테이지 (4C) 의 상면 (4a) 을 따라 수평으로 변형되므로, 기판 (S) 의 단부는, 위치 결정한 상태에서 확실하게 스테이지 (4C) 에 밀착된다 (도 23(B) 참조).

계속해서, 스텝 S24 에 있어서, 제 2 클램프 기구 (CB) 를 스테이지 (4C) 의 상방으로 진출시키고, 기판 (S) 을 위치 결정부 (43C) 에 맞대어 위치 결정한다. 이때의 제 2 클램프 기구 (CB) 등의 동작은, 상기와 같다. 이로써, 기판 (S) 은, 위치 결정부 (43C) 에 접촉하여 스테이지 (4C) 의 중앙 방향 (＋Y 방향) 으로 이동하고, 기판 (S) 의 -Y 측이 위치 결정된다 (도 25(A) 참조).

계속해서, 스텝 S25 에 있어서, 제 2 클램프 기구 (CB) 가 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 하강하여, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이때의 제 2 클램프 기구 (CB) 등의 동작은, 상기와 같다. 이로써, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 기판 (S) 의 -Y 측이 위치 결정된 상태에서, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 압박한다 (도 25(B) 참조). 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 상기한 바와 같이 누름부 (31) 로부터 기판 (S) 에 대해 작용하는 힘을 억제하여, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박하므로, 기판 (S) 의 왜곡 (변형량) 이 많아도, 기판 (S) 의 단부를, 위치 어긋남, 변형, 파손을 억제하고, 확실히 스테이지 (4C) 에 밀착시킬 수 있다.

계속해서, 스텝 S26 에 있어서, 제 3 클램프 기구 (CC) 를 스테이지 (4C) 의 상방으로 진출시키고, 기판 (S) 을 위치 결정부 (43C) 에 맞대어 위치 결정한다. 제 3 클램프 기구 (CC) 등의 동작은, 상기한 제 1 클램프 기구 (CA) 와 동일하다. 이로써, 기판 (S) 은, 위치 결정부 (43C) 에 접촉하여 스테이지 (4C) 의 중앙 부분의 방향 (＋X 방향) 으로 이동하여, 기판 (S) 의 -X 측이 위치 결정된다.

계속해서, 스텝 S27 에 있어서, 제 3 클램프 기구 (CC) 가 하강하여, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이때의 제 3 클램프 기구 (CC) 등의 동작은, 상기한 제 1 클램프 기구 (CA) 와 동일하다. 이로써, 제 3 클램프 기구 (CC) 는, 기판 (S) 의 -X 측이 위치 결정된 상태에서, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 그 결과, 기판 (S) 의 단부가 스테이지 (4) 의 상면 (4a) 을 따라 수평으로 변형되므로, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 는, 위치 결정한 상태에서 확실하게 스테이지 (4C) 에 밀착된다.

계속해서, 스텝 S28 에 있어서, 제 4 클램프 기구 (CD) 를 스테이지 (4C) 의 상방으로 진출시키고, 기판 (S) 을 위치 결정부 (43C) 에 맞대어 위치 결정한다. 이때의 제 4 클램프 기구 (CD) 등의 동작은, 상기한 제 2 클램프 기구 (CB) 와 동일하다. 이로써, 기판 (S) 은, 위치 결정부 (43C) 에 접촉하여 스테이지 (4C) 의 중앙 부분의 방향 (-X 방향) 으로 이동하고, 기판 (S) 의 ＋X 측이 위치 결정된다.

계속해서, 스텝 S29 에 있어서, 제 4 클램프 기구 (CD) 가 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 하강하여, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이때의 제 4 클램프 기구 (CD) 등의 동작은, 상기한 제 2 클램프 기구 (CB) 와 동일하다. 이로써, 제 4 클램프 기구 (CD) 는, 기판 (S) 의 ＋X 측이 위치 결정된 상태에서, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 압박한다. 상기한 바와 같이, 제 4 클램프 기구 (CD) 는, 누름부 (31) 로부터 기판 (S) 에 대해 작용하는 힘을 억제하여, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박하므로, 기판 (S) 의 왜곡 (변형량) 이 많아도, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를, 위치 어긋남, 변형, 파손을 억제하고, 확실하게 스테이지 (4C) 에 밀착시킬 수 있다.

계속해서, 스텝 S30 에 있어서, 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 를 상승시킨다. 이때의 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 등의 동작은, 상기와 같다.

계속해서, 스텝 S31 에 있어서, 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 를 스테이지 (4C) 의 상방으로부터 퇴피시킨다. 이때의 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 등의 동작은, 상기와 같다. 이로써, 제 1 클램프 기구 (CA) ∼ 제 4 클램프 기구 (CD) 는, 퇴피 상태가 된다.

계속해서, 도 6 에 나타내는 스텝 S7 내지 스텝 S9 가 실시되고, 기판 (S) 은, 스테이지 (4C) 에 확실하게 유지된 상태에서 액상체 (L) 가 도포된 후, 스테이지 (4C) 로부터 반출된다.

또한, 상기한 바와 같이, 제 1 클램프 기구 (CA) 및 제 3 클램프 기구 (CC) 는 각각 동일하고, 제 2 클램프 기구 (CB) 및 제 4 클램프 기구 (CD) 는 각각 동일하므로, 스텝 S26 내지 스텝 S29 를 실시한 후에, 스텝 S22 내지 스텝 25 를 실시해도 된다.

이상과 같이, 본 실시형태의 도포 장치 (1C) 는, 상기한 바와 같이, 누름부 (31) 로부터 기판 (S) 에 대해 작용하는 힘을 억제하여, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박하므로, 기판 (S) 의 왜곡 (변형량) 이 많아도, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를, 위치 어긋남, 변형, 파손을 억제하고, 확실하게 스테이지 (4) 에 밀착시킬 수 있다. 그 결과, 기판 (S) 을 스테이지 (4) 에 확실하게 유지하는 것에 의해, 정밀도 양호하게 액상체 (L) 를 도포할 수 있다.

또한, 제 1 클램프 기구 (CA) 및 제 3 클램프 기구 (CC) 중 적어도 1 개는, 제 2 클램프 기구 (CB) 와 동일한 구성이라도 된다. 클램프 기구 (10C) 의 수 및 위치는, 상기한 예로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 클램프 기구 (10C) 의 수는, 1 개 ∼ 3 개라도 된다. 이 경우, 클램프 기구 (10C) 가 배치되는 위치는 임의이고, 예를 들어 스테이지 (4C) 의 사방 중 어디에 배치되어 있으면 된다.

[제 5 실시형태]

제 5 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략 혹은 간략화한다.

도 28 및 도 29 는, 제 5 실시형태에 관련된 도포 장치 (1D) 의 제 5 실시형태에 관련된 도포 장치의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 본 실시형태의 도포 장치 (1D) 는, 예를 들어 프레임 (2)(도 1 참조) 과, 제어부 (3) 와, 스테이지 (4C) 와, 스테이지 구동부 (5)(구동부) 와, 도포부 (6)(도 1 참조) 와, 액상체 공급부 (7)(도 1 참조) 와, 승강 구동부 (8)(도 1 참조) 와, 흡착부 (9)(도 1 참조) 와, 클램프 기구 (10D) 를 구비한다. 본 실시형태의 도포 장치 (1D) 는, 제 4 실시형태의 클램프 기구 (10C) 대신에, 클램프 기구 (10D) 를 구비한다. 이하, 상기한 제 1 실시형태 내지 제 4 실시형태와의 상위점을 중심으로 설명한다.

클램프 기구 (10D) 는, 제 1 클램프 기구 (CA)(도 21 참조), 제 2 클램프 기구 (DB)(도 28(A) 참조), 제 3 클램프 기구 (CC)(도 21 참조), 및 제 4 클램프 기구 (DD)(도시 생략) 를 구비한다. 제 1 클램프 기구 (CA) 및 제 3 클램프 기구 (CC) 는, 제 4 실시형태와 동일하다. 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 도 21 에 나타내는 제 2 클램프 기구 (CB) 대신에 설치되어 있다. 제 4 클램프 기구 (DD) 는, 도 21 에 나타내는 제 4 클램프 기구 (CD) 대신에 설치되어 있다.

제 2 클램프 기구 (DB) 에 대해 설명한다. 도 28(A), (B), 및 도 29(A), (B) 는, 각각 제 2 클램프 기구 (DB) 의 구성 및 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 누름부 (31D) 가 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 이동하여, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 대해 압박한다. 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 도 28(A) 에 나타내는 바와 같이, 아암 지지부 (52D), 아암 (28C), 누름부 (31D), 위치 결정부 지지부 (53D), 위치 결정부 (54D), 구동부 (55C), 및 구동부 (56D) 를 구비한다. 또한, 제 4 클램프 기구 (DD) 는, 제 2 클램프 기구 (DB) 와 동일하게 구성되므로, 설명을 생략한다.

제 2 클램프 기구 (DB) 에 있어서, 아암 지지부 (52D) 는, 스테이지 (4C) 의 근방에 배치된다. 아암 지지부 (52D) 는, 제 4 실시형태의 아암 지지부 (52C) 와 마찬가지로, 1 쌍의 아암 (28C) 을, 아암 지지부 (52D) 를 기점으로 하여 상방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 근접하는 방향 및 스테이지 (4C) 를 기점으로 하여 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 진퇴 이동이 가능하게 지지한다. 또, 아암 지지부 (52D) 는, 1 쌍의 아암 (28C) 을, 제 4 실시형태의 아암 지지부 (52C) 와 마찬가지로, 가이드 (도시 생략) 에 의해, 스테이지 (4C) 에 대해 근접하는 방향 및 이간하는 방향 (Y 방향) 으로 이동 가능하게 지지한다.

아암 지지부 (52D) 는, 위치 결정부 지지부 (53D) 를, 가이드 (도시 생략) 에 의해, 연직 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 또, 아암 지지부 (52D) 는, 위치 결정부 지지부 (53D) 를, 가이드 (도시 생략) 에 의해, 스테이지 (4C) 에 근접하는 방향 및 이간하는 방향 (Y 방향) 으로 이동 가능하게 지지한다.

위치 결정부 지지부 (53D) 는, 위치 결정부 (54D) 를 하방으로부터 지지한다. 위치 결정부 지지부 (53D) 는, 연직 방향으로 연장되는 축부 (57), 및 축부 (57) 의 상부에 접속되는 접속부 (58) 를 구비한다. 축부 (57) 는, 아암 지지부 (52D) 에 지지된다. 접속부 (58) 는, 일방의 단부가 축부 (57) 와 접속되고, 타방의 단부가 위치 결정부 (54D) 와 접속된다. 축부 (57) 는, 후에 설명하는 구동부 (56D) 에 접속된다. 위치 결정부 지지부 (53D) 는, 구동부 (56D) 의 구동에 의해, 연직 방향 및 X 방향으로 구동한다.

누름부 (31D) 는, 평탄한 면 (31a)(도 7(A) 참조) 을 갖고, 기판 (S) 을 스테이지 (4C)(도 21 참조) 에 압박하는 것이 가능하게 형성되어 있다. 누름부 (31D) 는, X 방향에 있어서의 중앙 부분에 하방으로부터 상방을 향해 오목하게 되어 있는 오목부 (31Da) 가 형성된다. 오목부 (31Da) 는, 위치 결정부 (54D) 의 상부의 일부가 수용 가능하게 형성되어 있다. 이 오목부 (31Da) 는, 누름부 (31D) 와 위치 결정부 (54D) 가 간섭하지 않도록 형성되어 있다. 오목부 (31Da) 에 위치 결정부 (54D) 가 수용되는 기구에 대해서는, 제 2 클램프 기구 (DB) 의 동작의 부분에서 설명한다.

위치 결정부 (54D) 는, 기판 (S) 을 위치 결정 (얼라이먼트) 한다. 위치 결정부 (54D) 는, 제 4 실시형태의 위치 결정부 (43C) 와 마찬가지로, 롤러이다. 위치 결정부 (54D) 는, 연직 방향과 평행한 축 둘레로 회전 가능하다. 위치 결정부 (54D) 는, 제 2 클램프 기구 (DB) 가 스테이지 (4C) 의 상방으로 진출할 때에, 절결부 (33)(도 21 참조) 에 배치되어, 기판 (S) 의 측면에 대향하여 접촉하도록 형성되어 있다.

구동부 (55C) 는, 제 4 실시형태와 동일하고, 1 쌍의 아암 (28C) 을 구동한다.

구동부 (56D) 는, 위치 결정부 지지부 (53D) 를 구동한다. 구동부 (56D) 는, 위치 결정부 지지부 (53D) 를 연직 방향으로 구동하는 승강 구동부 (56Da) 및 위치 결정부 지지부 (53D) 를, 스테이지 (4C) 에 대해 근접하는 방향 및 이간하는 방향 (Y 방향) 으로 구동하는 슬라이드 구동부 (56Db) 를 구비한다 (도 28(B) 참조). 승강 구동부 (56Da) 및 슬라이드 구동부 (56Db) 는, 각각 구동력을 공급하는 구동원 및 구동력을 전달하는 구동력 전달 기구를 구비한다. 예를 들어, 승강 구동부 (56Da) 및 슬라이드 구동부 (56Db) 는, 각각 에어 실린더에 의해 구성된다. 승강 구동부 (56Da) 및 슬라이드 구동부 (56Db) 는, 각각 제어부 (3)(도 21 참조) 에 통신 가능하게 접속되어, 제어부 (3) 의 제어에 의해 구동한다. 이로써, 위치 결정부 지지부 (53D) 는, 연직 방향 혹은 Y 방향으로 구동된다.

또한, 구동부 (56D) 의 구성은, 각각 상기한 구성으로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 승강 구동부 (56Da), 슬라이드 구동부 (56Db) 중 적어도 1 개는, 에어 실린더 이외라도 되고, 전동 모터 등의 액추에이터 등이라도 된다. 또, 구동부 (55C) 및 구동부 (56D) 는, 1 개의 구동원을 공용하는 기구라도 된다. 또, 구동부 (56D) 는, 구동원 (본 예에서는, 에어 실린더) 이 없어도 되고, 예를 들어 위치 결정부 지지부 (53D) 는, 유저의 수동에 의한 구동력으로 구동하는 구성이라도 된다.

다음으로, 제 2 클램프 기구 (DB) 의 동작을 설명한다. 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 상기한 제 1 클램프 기구 (CA)(도 21 참조) 의 동작 후에 구동한다. 즉, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 제 1 클램프 기구 (CA) 에 의해, 기판 (S) 의 ＋Y 측의 단부를 위치 결정한 상태에서, 스테이지 (4C) 에 압박한 후에, 기판 (S) 의 -Y 측의 단부를 위치 결정한 상태에서, 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이로써, 기판 (S) 은, Y 방향의 양단 부분이 위치 결정되어, 스테이지 (4C) 에 압박된다.

제 2 클램프 기구 (DB) 는, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 압박하기 전에 있어서, 도 28(A) 에 나타내는 바와 같이, 스테이지 (4C) 의 상방에 대해 퇴피하고 있다 (퇴피 상태). 이때, 1 쌍의 아암 (28C) 및 위치 결정부 (54D) 는, 각각 스테이지 (4C) 의 상면 (4a) 보다 하방에 배치된다. 또, 이때 위치 결정부 (54D) 의 상방의 일부가 오목부 (31Da) 에 수용된다. 이 경우, 누름부 (31D) 의 사이즈를 보다 컴팩트하게 할 수 있다.

제 2 클램프 기구 (DB) 는, 기판 (S) 의 일부를 스테이지 (4C) 에 압박할 때, 먼저 도 28(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (55Ca) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28C) 이 연직 상방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 근접하는 방향 (＋Y 방향 또한 ＋Z 방향) 으로 상승한다. 이때, 누름부 (31D) 는, 기판 (S) 의 상면보다 상방이 되도록 배치된다.

또, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (56Da) 가 구동함으로써, 위치 결정부 지지부 (53D) 가 연직 상방으로 이동한다. 이때, 위치 결정부 (54D) 의 하단은, 절결부 (33) 의 하단보다 상방에 배치된다.

계속해서, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 도 29(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 슬라이드 구동부 (55Cb) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28C) 이, 스테이지 (4C) 에 대해, 근접하는 방향 (＋Y 방향) 의 소정 위치로 이동한다. 이때, 누름부 (31D) 는, 기판 (S) 의 상방이고, 또한 기판 (S) 의 -Y 측의 단부보다 중앙측으로 이동한다.

또, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 제어부 (3) 의 제어에 의해 슬라이드 구동부 (56Db) 가 구동함으로써, 위치 결정부 지지부 (53D) 는, 위치 결정부 (54D) 가 절결부 (33) 에 배치되도록 이동한다. 이로써, 기판 (S) 은, 위치 결정부 (53D) 에 접촉하여 스테이지 (4C) 의 중앙 부분의 방향 (＋Y 방향) 으로 이동하고, 기판 (S) 의 -Y 측이 위치 결정된다.

계속해서, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 도 29(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 의 제어에 의해 승강 구동부 (55Cb) 가 구동함으로써, 1 쌍의 아암 (28C) 이, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향 (-Y 방향 또한 -Z 방향) 으로 이동하여, 누름부 (31D) 의 면 (31a) 으로 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이때, 위치 결정부 (53D) 는, 이동하지 않기 때문에, 기판 (S) 의 -X 측은 위치 결정된 상태가 유지된다. 또, 이때 위치 결정부 (54D) 의 상부의 일부가 오목부 (31Da) 에 수용된다. 이 경우, 위치 결정부 (54D) 가 기판 (S) 의 위치 결정을 하고 있는 상태에 있어서, 누름부 (31D) 가, 위치 결정부 (53C) 와 간섭하지 않고, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 확실히 압박할 수 있다. 이와 같이, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 기판 (S) 의 -Y 측의 단부가 위치 결정된 상태에서, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이로써, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 위치 결정한 상태에서 확실하게 스테이지 (4C) 에 밀착시킬 수 있다.

또한, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 기판 (S) 을 스테이지 (4C) 에 압박한 후, 퇴피 상태로 돌아간다. 이때, 제 2 클램프 기구 (CB) 는, 상기와 반대의 동작을 실시함으로써, 퇴피 상태로 돌아간다. 또한, 제 4 클램프 기구 (DD) 는, 제 2 클램프 기구 (DB) 와 동일하게 동작한다.

본 실시형태의 도포 장치 (1D) 의 동작은, 상기한 제 2 클램프 기구 (DB) 및 제 4 클램프 기구 (DD) 의 동작 이외에는, 제 4 실시형태의 도포 장치 (1C) 의 동작과 동일하고, 도 27 과 동일하게 동작한다.

이상과 같이, 본 실시형태의 도포 장치 (1D) 는, 위치 결정부 (54D) 가 기판 (S) 의 위치 결정을 하고 있는 상태에 있어서, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를, 하방 또한 스테이지 (4C) 에 대해 이간하는 방향으로 스테이지 (4C) 에 압박한다. 이로써, 제 2 클램프 기구 (DB) 는, 기판 (S) 의 변부 (Sa) 를 위치 결정한 상태에서 확실히 스테이지 (4C) 에 밀착시킬 수 있다.

또한, 제 1 클램프 기구 (CA) 및 제 3 클램프 기구 (CC) 중 적어도 1 개는, 제 2 클램프 기구 (DB) 와 동일한 구성이라도 된다. 클램프 기구 (10D) 의 수 및 위치는, 상기한 예로 한정되지 않고, 임의이다. 예를 들어, 클램프 기구 (10D) 의 수는, 1 개 ∼ 3 개라도 된다. 이 경우, 클램프 기구 (10D) 가 배치되는 위치는 임의이고, 예를 들어 스테이지 (4C) 의 사방 중 어디에 배치되어 있으면 된다.

또한, 본 발명의 기술 범위는, 상기 서술한 실시형태 등에서 설명한 양태로 한정되는 것은 아니다. 상기 서술한 실시형태 등에서 설명한 요건의 하나 이상은, 생략되는 경우가 있다. 또, 상기 서술한 실시형태 등에서 설명한 요건은, 적절히 조합할 수 있다. 또, 법령에서 허용되는 한에 있어서, 상기 서술한 실시형태 등에서 인용한 모든 문헌의 개시를 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.

예를 들어, 상기 서술한 실시형태에서는, 도포 장치 (1, 1A ∼ 1D) 가, 도포부 (6) 에 대해, 스테이지 (4, 4A, 4C) 가 이동하는 구성을 예로 설명했지만, 도포 장치 (1, 1A ∼ 1C) 의 구성은, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도포 장치 (1, 1A ∼ 1D) 는, 스테이지 (4, 4A, 4C) 에 대해, 도포부 (6) 가 이동하는 구성이라도 된다.

또, 예를 들어 상기 서술한 실시형태에서는, 클램프 기구 (10, 10A, 10B) 가, 스테이지 (4, 4A) 에 장착되어 있는 구성을 예로 설명했지만, 클램프 기구 (10, 10A, 10B) 는, 스테이지 (4, 4A) 에 장착되어 있지 않아도 된다. 예를 들어, 클램프 기구 (10, 10A, 10B) 는, 기대 (11)(프레임) 에 장착되어 있어도 된다. 이 경우, 예를 들어 스테이지 (4, 4A) 를 소정 위치로 이동시킴으로써, 클램프 기구 (10, 10A, 10B) 에 의해, 기판 (S) 을 스테이지 (4, 4A) 에 압박할 수 있다.

또, 예를 들어 도포 장치 (1, 1A ∼ 1D) 는, 도포부 (6) 를 메인터넌스하는 메인터넌스부를 구비해도 된다. 예를 들어, 메인터넌스부는, 노즐의 딥, 노즐로부터의 액상체의 예비 토출 등을 실시하는 것이다. 예를 들어, 도포 장치 (1, 1A ∼ 1D) 는, 스테이지 (4, 4A, 4C) 의 ＋X 측 혹은 -X 측에 메인터넌스부를 배치하고, 스테이지 구동부 (5) 의 구동에 의해, 도포부 (6) 를 메인터넌스부로 이동시켜, 도포부 (6) 의 메인터넌스를 실시해도 되고, 갠트리 (12) 가 이동 가능한 경우에는 갠트리 (12) 가 이동함으로써, 도포부 (6) 의 메인터넌스를 실시해도 된다. 또, 예를 들어 도포 장치 (1, 1A ∼ 1D) 는, 도포부 (6) 의 근방에 이동 가능한 메인터넌스부를 구비해도 된다.

1, 1A, 1B, 1C, 1D : 도포 장치
4, 4A, 4C : 스테이지
4c : 측부 (스테이지)
5 : 스테이지 구동부 (구동부)
6 : 도포부
9 : 흡착부
10 (10a ∼ 10d), 10A (10Ab, 10Ac), 10B (10Ba ∼ 10Bd), 10C (CA ∼ CD), 10D (CA, DB, CC, DD) : 클램프 기구
18 : 진공 홈 (흡착부)
19 : 흡착 패드 (흡착부)
33 : 절결부
34, 43C, 53D : 위치 결정부
L : 액상체
S : 기판
Sa : 변부 (기판)

Claims (17)

1. 기판을 재치하는 스테이지와,
   상기 스테이지 상의 상기 기판에 액상체를 도포하는 도포부와,
   상기 스테이지에 형성되고, 재치된 상기 기판을 흡착하는 흡착부와,
   상기 스테이지의 상방에 대해 진퇴 가능하고, 또한 진출한 위치에 있어서 상기 스테이지에 재치된 상기 기판의 일부를 상기 스테이지에 압박하는 클램프 기구와,
   상기 스테이지와 상기 도포부를 상대적으로 이동시키는 구동부를 구비하는, 도포 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 도포부는, 액상체를 토출하는 슬릿 노즐을 갖는, 도포 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 흡착부는, 상기 스테이지에 형성된 진공 홈인, 도포 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 흡착부는, 상기 스테이지에 형성된 복수의 흡착 패드인, 도포 장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 흡착 패드는, 상기 스테이지로부터 돌출 및 몰입 가능하게 형성되고, 상기 기판을 흡착했을 때에 몰입하는, 도포 장치.
6. 제 4 항에 있어서,
   복수의 상기 흡착 패드는, 단위면적당의 배치수가, 상기 기판의 중앙 영역에 대해, 그 중앙 영역의 외측인 외측 영역쪽이 많아지도록 배치되는, 도포 장치.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 클램프 기구는, 사각형상의 상기 기판 중 적어도 하나의 변부를 상기 스테이지와의 사이에서 사이에 두도록 형성되는, 도포 장치.
8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 클램프 기구는, 상기 스테이지 상의 상기 기판을 맞댐으로써 상기 기판을 위치 결정하는 위치 결정부를 구비하는, 도포 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 스테이지는, 측부에 절결부를 구비하고,
   상기 클램프 기구가 진출했을 때에 상기 절결부에 들어감으로써 상기 위치 결정부를 소정 위치에 배치하는, 도포 장치.
10. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 클램프 기구는, 복수 설치되는, 도포 장치.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수의 클램프 기구 중 적어도 1 개는, 상기 기판을 상기 스테이지에, 하방 또한 상기 스테이지에 대해 이간하는 방향으로 압박하는, 도포 장치.
12. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 도포부에 대해 상기 스테이지를 이동시키는, 도포 장치.
13. 기판에 액상체를 도포하는 방법으로서,
    상기 기판을 스테이지에 재치하는 것과,
    클램프 기구를 상기 스테이지의 상방으로 진출시켜, 상기 스테이지에 재치된 상기 기판의 일부를 클램프 기구에 의해 상기 스테이지에 압박하는 것과,
    상기 기판을 흡착부에 의해 상기 스테이지에 흡착하는 것과,
    클램프 기구를 상기 스테이지의 상방에서 퇴피시켜, 상기 스테이지와 상기 도포부를 상대적으로 이동시키면서, 상기 스테이지에 흡착된 상기 기판에 도포부에 의해 액상체를 도포하는 것을 포함하는, 도포 방법.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 클램프 기구에 의해 상기 기판의 일부를 상기 스테이지에 압박한 후에, 상기 흡착부에 의해 상기 기판을 상기 스테이지에 흡착하는 것을 포함하는, 도포 방법.
15. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
    상기 스테이지에 재치된 상기 기판을, 상기 클램프 기구의 일부에 맞대어 상기 기판을 위치 결정하는 것을 포함하는, 도포 방법.
16. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
    상기 도포부에 대해 상기 스테이지를 이동시킴으로써, 상기 기판에 액상체를 도포하는 것을 포함하는, 도포 방법.
17. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
    상기 복수의 클램프 기구 중 적어도 1 개는, 상기 기판을 상기 스테이지에, 하방 또한 상기 스테이지에 대해 이간하는 방향으로 압박하는 것을 포함하는, 도포 방법.

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