KR20180050438A - 이방성 도전 필름, 이방성 도전 필름의 제조 방법, 접속체의 제조 방법 및 접속 방법 - Google Patents
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- C09J7/10—Adhesives in the form of films or foils without carriers
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- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
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- B29C71/00—After-treatment of articles without altering their shape; Apparatus therefor
- B29C71/04—After-treatment of articles without altering their shape; Apparatus therefor by wave energy or particle radiation, e.g. for curing or vulcanising preformed articles
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- B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
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- B32B3/02—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by features of form at particular places, e.g. in edge regions
- B32B3/08—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by features of form at particular places, e.g. in edge regions characterised by added members at particular parts
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- B32B3/30—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a particular shape of the outline of the cross-section of a continuous layer; characterised by a layer with cavities or internal voids ; characterised by an apertured layer characterised by a layer formed with recesses or projections, e.g. hollows, grooves, protuberances, ribs
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B33/00—Layered products characterised by particular properties or particular surface features, e.g. particular surface coatings; Layered products designed for particular purposes not covered by another single class
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
- B32B7/04—Interconnection of layers
- B32B7/12—Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J201/00—Adhesives based on unspecified macromolecular compounds
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09J9/00—Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
- C09J9/02—Electrically-conducting adhesives
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
- G02F1/13452—Conductors connecting driver circuitry and terminals of panels
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
- G02F1/13454—Drivers integrated on the active matrix substrate
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2457/00—Electrical equipment
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- B32B2457/202—LCD, i.e. liquid crystal displays
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- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/02—Elements
- C08K3/08—Metals
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- C09J2201/36—
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- C09J2201/602—
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2203/00—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
- C09J2203/318—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for the production of liquid crystal displays
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- C09J2203/00—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
- C09J2203/326—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
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- C09J2205/102—
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/20—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
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- C09J2301/314—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier the adhesive layer and/or the carrier being conductive
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/40—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components
- C09J2301/408—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components additives as essential feature of the adhesive layer
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/13138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/13144—Gold [Au] as principal constituent
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
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- H—ELECTRICITY
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- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29301—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of less than 400°C
- H01L2224/29311—Tin [Sn] as principal constituent
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29301—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of less than 400°C
- H01L2224/29316—Lead [Pb] as principal constituent
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- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29317—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/29324—Aluminium [Al] as principal constituent
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/29339—Silver [Ag] as principal constituent
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/29344—Gold [Au] as principal constituent
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/29347—Copper [Cu] as principal constituent
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/29355—Nickel [Ni] as principal constituent
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- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/29357—Cobalt [Co] as principal constituent
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- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
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- H01L2224/29363—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
- H01L2224/29371—Chromium [Cr] as principal constituent
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- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29499—Shape or distribution of the fillers
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/75301—Bonding head
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8138—Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
- H01L2224/81399—Material
- H01L2224/81486—Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
- H01L2224/81488—Glasses, e.g. amorphous oxides, nitrides or fluorides
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/819—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector with the bump connector not providing any mechanical bonding
- H01L2224/81901—Pressing the bump connector against the bonding areas by means of another connector
- H01L2224/81903—Pressing the bump connector against the bonding areas by means of another connector by means of a layer connector
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/832—Applying energy for connecting
- H01L2224/83201—Compression bonding
- H01L2224/83203—Thermocompression bonding, e.g. diffusion bonding, pressure joining, thermocompression welding or solid-state welding
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Abstract
본 발명은 이방성 도전 필름을 사용한 접속에 있어서, 접속 후의 기판 휨의 저감을 도모하는 것을 목적으로 한다. 이방성 도전 필름(23)은 제1 절연성 접착제층(30)과, 제2 절연성 접착제층(31)과, 제1 절연성 접착제층(30) 및 제2 절연성 접착제층(31)에 끼움 지지되고, 도전성 입자(32)가 절연성 접착제(33)에 함유된 도전성 입자 함유층(34)을 갖고, 도전성 입자 함유층(34)과 제1 절연성 접착제층(30) 사이에 기포(41)가 함유되고, 도전성 입자 함유층(34)은 제2 절연성 접착제층(31)과 접하는, 도전성 입자(32)의 하부의 경화도가 다른 부위의 경화도보다도 낮은 것이다.
Description
본 발명은 전자 부품을 이방성 도전 접속하는 이방성 도전 필름에 관한 것으로, 특히 전자 부품의 접속 후에 있어서의 기판의 휨을 해소하고, 접속 신뢰성이 향상된 이방성 도전 필름, 이방성 도전 필름의 제조 방법, 접속체의 제조 방법 및 접속 방법에 관한 것이다. 본 출원은 일본에 있어서 2012년 9월 18일에 출원된 일본 특허 출원 번호 특원2012-203958 및 일본에 있어서 2013년 9월 13일에 출원된 특원2013-190904를 기초로 하여 우선권을 주장하는 것이고, 이들 출원을 참조함으로써, 본 출원에 원용된다.
종래부터, 텔레비전이나 PC 모니터, 휴대 전화, 태블릿 PC, 휴대형 게임기 혹은 차량 탑재용 모니터 등의 각종 표시 수단으로서, 액정 표시 장치가 많이 사용되고 있다. 최근, 이와 같은 액정 표시 장치에 있어서는, 파인 피치화, 초경량화 등의 관점에서, 액정 구동용 IC를 직접 액정 표시 패널의 기판 상에 실장하는, 소위 COG(chip on glass; 칩 온 글래스)나, 액정 구동 회로가 형성된 플렉시블 기판을 직접 액정 표시 패널의 기판 상에 실장하는, 소위 FOG(film on glass; 필름 온 글래스)가 채용되고 있다.
예를 들어, COG 실장 방식이 채용된 액정 표시 장치(100)는, 도 10에 도시한 바와 같이 액정 표시를 위한 주기능을 행하는 액정 표시 패널(104)을 갖고 있고, 이 액정 표시 패널(104)은 유리 기판 등을 포함하는 서로 대향하는 2매의 투명 기판(102, 103)을 갖고 있다. 그리고, 액정 표시 패널(104)은 이들 양 투명 기판(102, 103)이 프레임 형상의 시일(105)에 의해 서로 접합됨과 함께, 양 투명 기판(102, 103) 및 시일(105)에 의해 둘러싸인 공간 내에 액정(106)이 봉입된 패널 표시부(107)가 설치되어 있다.
투명 기판(102, 103)은 서로 대향하는 양 내측 표면에, ITO(산화인듐주석) 등을 포함하는 줄무늬 형상의 한 쌍의 투명 전극(108, 109)이 서로 교차하도록 형성되어 있다. 그리고, 양 투명 기판(102, 103)은 이들 양 투명 전극(108, 109)의 당해 교차 부위에 따라 액정 표시의 최소 단위로서의 화소가 구성되도록 되어 있다.
양 투명 기판(102, 103) 중, 한쪽의 투명 기판(103)은 다른 쪽의 투명 기판(102)보다도 평면 치수가 크게 형성되어 있고, 이 크게 형성된 투명 기판(103)의 테두리부(103a)에는 투명 전극(109)의 단자부(109a)가 형성되어 있다. 또한, 양 투명 전극(108, 109) 상에는 소정의 러빙 처리가 실시된 배향막(111, 112)이 형성되어 있고, 이 배향막(111, 112)에 의해 액정 분자의 초기 배향이 규제되도록 되어 있다. 또한, 양 투명 기판(108, 109)의 외측에는 한 쌍의 편광판(118, 119)이 배치되어 있고, 이들 양 편광판(118, 119)에 의해 백라이트 등의 광원(120)으로부터의 투과광의 진동 방향이 규제되도록 되어 있다.
단자부(109a) 상에는 이방성 도전 필름(114)을 통해 액정 구동용 IC(115)가 열 압착되어 있다. 이방성 도전 필름(114)은 열경화형의 바인더 수지에 도전성 입자를 혼입하여 필름 형상으로 한 것으로, 2개의 도체 사이에서 가열 압착됨으로써 도전 입자로 도체 사이의 전기적 도통이 취해지고, 바인더 수지에 의해 도체 사이의 기계적 접속이 유지된다. 액정 구동용 IC(115)는 화소에 대해 액정 구동 전압을 선택적으로 인가함으로써, 액정의 배향을 부분적으로 변화시켜 소정의 액정 표시를 행할 수 있도록 되어 있다. 또한, 이방성 도전 필름(114)을 구성하는 접착제로서는, 통상, 가장 신뢰성이 높은 열경화성의 접착제를 사용하도록 되어 있다.
이와 같은 이방성 도전 필름(114)을 통해 액정 구동용 IC(115)를 단자부(109a)로 접속하는 경우는, 우선, 투명 전극(109)의 단자부(109a) 상에 이방성 도전 필름(114)을 도시하지 않은 가압착 수단에 의해 가압착한다. 계속해서, 이방성 도전 필름(114) 상에 액정 구동용 IC(115)를 적재한 후, 도 11에 도시한 바와 같이 열 압착 헤드 등의 열 압착 수단(121)에 의해 액정 구동용 IC(115)를 이방성 도전 필름(114)과 함께 단자부(109a)측으로 가압하면서 열 압착 수단(121)을 발열시킨다. 이 열 압착 수단(121)에 의한 발열에 의해, 이방성 도전 필름(114)은 열경화 반응을 일으키고, 이에 의해, 이방성 도전 필름(114)을 통해 액정 구동용 IC(115)가 단자부(109a) 상에 접착된다.
그런데, 최근에는 표시 장치의 박형ㆍ경량화의 경향으로부터, 액정 표시 장치(100) 자체의 소형ㆍ경량화에 수반하여, 유리 기판 등의 투명 기판(102, 103)도 박형화가 요구되고 있다.
여기서, 액정 표시 패널(104)에 사용하는 투명 기판(103)에 액정 구동용 IC(115)를 COG 실장하는 경우, 투명 기판(103)의 테두리부(103a)의 실장 영역의 협소화나, 투명 기판(103)의 박형화에 의해, 열 가압에 의한 투명 기판(103)의 휨이 발생하기 쉽다. 투명 기판(103)에 휨이 발생하면, COG 실장 영역 주변의 액정 화면에 색 불균일이 생겨 버린다.
이 투명 기판(103)의 휨은 이방성 도전 필름(114)의 접착제 성분의 경화 수축에 수반하는 응력의 발생에 기인하므로, 접착제 성분 중에 고무 성분 등의 응력 완화제를 첨가함으로써 휨의 저감을 도모하는 방법도 생각된다. 그러나, 응력 완화제를 첨가함으로써, 접착제 성분의 응집력이 저하되어 버려, 접속 신뢰성의 저하, 도통 저항의 상승을 초래할 우려가 있다.
또한, 접착제 성분의 종류나 양, 실장 조건의 변경 등에 의해 휨의 저감을 도모하는 경우에도, 접속 신뢰성의 유지, 택트 타임의 단축, 액정 구동용 IC(115) 등의 전자 부품으로의 열충격의 완화 등, 다양한 요소가 가해져, 최적인 조건을 찾아내는 것은 곤란하다.
따라서, 본 발명은 이방성 도전 필름을 사용한 전자 부품의 접속 공정에 있어서, 접속 후의 휨의 저감을 용이하게 도모할 수 있는 이방성 도전 필름, 이방성 도전 필름의 제조 방법, 접속체의 제조 방법 및 접속 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 이방성 도전 필름은 제1 절연성 접착제층과, 제2 절연성 접착제층과, 상기 제1 절연성 접착제층 및 상기 제2 절연성 접착제층에 끼움 지지되고, 도전성 입자가 절연성 접착제에 함유된 도전성 입자 함유층을 갖고, 상기 도전성 입자 함유층과 상기 제1 절연성 접착제층 사이에 기포가 함유되고, 상기 도전성 입자 함유층은 상기 제2 절연성 접착제층과 접하는, 상기 도전성 입자의 하부의 경화도가 다른 부위의 경화도보다도 낮은 것이다.
또한, 본 발명에 관한 이방성 도전 필름의 제조 방법은 개구를 갖는 형틀의 상기 개구에 도전성 입자를 배열시키고, 상기 형틀의 상기 도전성 입자가 배열된 면에, 광경화형의 접착제층이 박리 기재에 지지된 접착 필름의 상기 접착제층을 라미네이트하고, 상기 박리 기재의 상면으로부터 상기 접착제층을 상기 형틀에 가압하고, 상기 접착제층을 상기 개구에 압입하고, 상기 접착 필름을 상기 형틀로부터 박리하고, 상기 접착제층의 표면에 상기 도전성 입자를 상기 표면보다 일부 노출시켜 접착시킴과 함께 상기 형틀에 따른 요철 형상이 성형된 도전성 입자 함유층을 형성하고, 상기 도전성 입자 함유층의 요철 형상이 형성된 표면에 광을 조사하여, 상기 표면을 경화시키고, 상기 도전성 입자 함유층의 상기 표면에 제1 절연성 접착제층을 라미네이트하여, 상기 도전성 입자 함유층과 상기 제1 절연성 접착제층 사이에 기포를 함유시키고, 상기 도전성 입자 함유층의 상기 표면과 반대측의 이면에 제2 절연성 접착제층을 라미네이트한다.
또한, 본 발명에 관한 접속체의 제조 방법은 상기 이방성 도전 필름을 사용하여, 제1 전자 부품의 단자와 제2 전자 부품의 단자가 이방성 도전 접속된 접속체의 제조 방법에 있어서, 상기 제1 전자 부품 상에 상기 이방성 도전 필름의 상기 제1 절연성 접착제층을 가부착하고, 상기 제2 절연성 접착제층 상에 상기 제2 전자 부품을 가탑재하고, 상기 제2 전자 부품 상으로부터 가열 가압 또는 광조사로 접합하는 것이다.
또한, 본 발명에 관한 접속 방법은 상기 이방성 도전 필름을 사용하여, 제1 전자 부품의 단자와 제2 전자 부품의 단자를 이방성 도전 접속하는 접속 방법에 있어서, 상기 제1 전자 부품 상에 상기 이방성 도전 필름의 상기 제1 절연성 접착제층을 가부착하고, 상기 제2 절연성 접착제층 상에 상기 제2 전자 부품을 가탑재하고, 상기 제2 전자 부품 상으로부터 가열 가압 또는 광조사로 접합하는 것이다.
본 발명에 따르면, 이방성 도전 필름은 각 층의 접착제 성분의 경화 수축에 수반하여 응력이 발생하지만, 도전성 입자 함유층과 제1 절연성 접착제층 사이에 함유된 기포에 의한 응력 완화 작용에 의해 전자 부품의 휨을 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명이 적용된 이방성 도전 필름의 일 실시 형태가 사용된 액정 표시 장치를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명이 적용된 이방성 도전 필름의 일 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명이 적용된 이방성 도전 필름의 다른 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 4는 개구에 도전성 입자가 단층 배열된 금형을 도시하는 단면도이다.
도 5는 금형에 접착제층이 라미네이트된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 6은 박리 기재에 지지된 도전성 입자 함유층을 도시하는 단면도이다.
도 7은 도전성 입자 함유층에 제1 절연성 접착제층이 라미네이트된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명이 적용된 이방성 도전 필름의 일 실시 형태를 사용한 전자 부품의 접속 상태를 도시하는 단면도이다.
도 9는 개구에 도전성 입자가 배열된 금형을 도시하는 평면도이다.
도 10은 종래의 액정 표시 패널을 도시하는 단면도이다.
도 11은 종래의 액정 표시 패널의 COG 실장 공정을 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명이 적용된 이방성 도전 필름의 일 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명이 적용된 이방성 도전 필름의 다른 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 4는 개구에 도전성 입자가 단층 배열된 금형을 도시하는 단면도이다.
도 5는 금형에 접착제층이 라미네이트된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 6은 박리 기재에 지지된 도전성 입자 함유층을 도시하는 단면도이다.
도 7은 도전성 입자 함유층에 제1 절연성 접착제층이 라미네이트된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명이 적용된 이방성 도전 필름의 일 실시 형태를 사용한 전자 부품의 접속 상태를 도시하는 단면도이다.
도 9는 개구에 도전성 입자가 배열된 금형을 도시하는 평면도이다.
도 10은 종래의 액정 표시 패널을 도시하는 단면도이다.
도 11은 종래의 액정 표시 패널의 COG 실장 공정을 도시하는 단면도이다.
이하, 본 발명에 관한 이방성 도전 필름, 이방성 도전 필름의 제조 방법, 접속체의 제조 방법 및 접속 방법의 일 실시 형태에 대해, 액정 표시 장치의 제조에 적용한 경우를 예로 들어, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 이하의 실시 형태만으로 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 다양한 변경이 가능한 것은 물론이다. 또한, 도면은 모식적인 것이고, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 다른 경우가 있다. 구체적인 치수 등은 이하의 설명을 참작하여 판단해야 하는 것이다. 또한, 도면 상호간에 있어서도 서로의 치수 관계나 비율이 다른 부분이 포함되어 있는 것은 물론이다.
[액정 표시 장치]
본 발명에 관한 이방성 도전 필름의 일 실시 형태를 사용하여 제조된 접속체인 액정 표시 장치는, 소위 COG(칩 온 글래스) 실장에 의해 액정 구동용 IC가 직접 액정 표시 패널의 기판 상에 실장되고, 또한, 소위 FOG(필름 온 글래스) 실장에 의해 액정 구동 회로가 형성된 플렉시블 기판이 직접 액정 표시 패널의 기판 상에 실장된다.
액정 표시 장치는, 도 1에 도시한 바와 같이 액정 표시를 위한 주기능을 행하는 액정 표시 패널(10)을 갖는다. 이 액정 표시 패널(10)은 상기 액정 표시 패널(104)과 마찬가지로, 유리 기판 등을 포함하는 2매의 투명 기판(11, 12)이 대향 배치되고, 이들 투명 기판(11, 12)이 프레임 형상의 시일(13)에 의해 서로 접합되어 있다. 그리고, 액정 표시 패널(10)은 투명 기판(11, 12)에 의해 둘러싸인 공간 내에 액정(14)이 봉입됨으로써 패널 표시부(15)가 형성되어 있다.
투명 기판(11, 12)은 서로 대향하는 양 내측 표면에, ITO(산화인듐주석) 등을 포함하는 줄무늬 형상의 한 쌍의 투명 전극(16, 17)이 서로 교차하도록 형성되어 있다. 그리고, 양 투명 기판(16, 17)은 이들 양 투명 전극(16, 17)의 당해 교차 부위에 따라 액정 표시의 최소 단위로서의 화소가 구성되도록 되어 있다.
양 투명 기판(11, 12) 중, 한쪽의 투명 기판(12)은 다른 쪽의 투명 기판(11)보다도 평면 치수가 크게 형성되어 있고, 이 크게 형성된 투명 기판(12)의 테두리부(12a)에는 액정 구동용 IC 등의 전자 부품(18)이 실장되는 COG 실장부(20)가 설치되고, 또한 COG 실장부(20)의 외측 근방에는 액정 구동 회로가 형성된 플렉시블 기판(21)이 실장되는 FOG 실장부(22)가 설치되어 있다.
또한, 액정 구동용 IC나 액정 구동 회로는 화소에 대해 액정 구동 전압을 선택적으로 인가함으로써, 액정의 배향을 부분적으로 변화시켜 소정의 액정 표시를 행할 수 있도록 되어 있다.
각 실장부(20, 22)에는 투명 전극(17)의 단자부(17a)가 형성되어 있다. 단자부(17a) 상에는 이방성 도전 필름(23)을 통해 액정 구동용 IC 등의 전자 부품(18)이나 플렉시블 기판(21)이 열 압착된다. 이방성 도전 필름(23)은 도전성 입자를 함유하고 있고, 전자 부품(18)이나 플렉시블 기판(21)의 전극과 투명 기판(12)의 테두리부(12a)에 형성된 투명 전극(17)의 단자부(17a)를, 도전성 입자를 통해 전기적으로 접속시키는 것이다. 이 이방성 도전 필름(23)은 열경화형 접착제이고, 일례로서, 후술하는 가열 가압 헤드(3)에 의해 열 압착됨으로써, 도전성 입자가 압궤된 상태로 경화되고, 투명 기판(12)과 전자 부품(18)이나 플렉시블 기판(21)을 접속시킨다.
또한, 양 투명 전극(16, 17) 상에는 소정의 러빙 처리가 실시된 배향막(24)이 형성되어 있고, 이 배향막(24)에 의해 액정 분자의 초기 배향이 규제되도록 되어 있다. 또한, 양 투명 기판(11, 12)의 외측에는 한 쌍의 편광판(25, 26)이 배치되어 있고, 이들 양 편광판(25, 26)에 의해 백라이트 등의 광원(도시하지 않음)으로부터의 투과광의 진동 방향이 규제되도록 되어 있다.
[이방성 도전 필름]
계속해서, 이방성 도전 필름(23)에 대해 설명한다. 이방성 도전 필름(23)은, 도 2에 도시한 바와 같이 제1 절연성 접착제층(30)과, 제2 절연성 접착제층(31)과, 제1 절연성 접착제층(30) 및 제2 절연성 접착제층(31)에 끼움 지지되고, 도전성 입자(32)가 절연성 접착제(33)에 함유된 도전성 입자 함유층(34)을 갖는다.
[제1, 제2 절연성 접착제층]
제1, 제2 절연성 접착제층(30, 31)은 모두 열경화성의 접착제이고, 막 형성 수지와, 열경화성 수지와, 경화제를 함유하는 유기 수지 결합제가 박리 기재(35, 36)에 지지되어 이루어진다. 또한, 제1, 제2 절연성 접착제층(30, 31)은 열경화성과 광경화성을 모두 포함하는 접착제여도 되고, 광경화성의 접착제만이어도 된다. 이 경우라도, 막 형성 수지 등은 공지의 재료를 사용할 수 있다. 박리 기재(35, 36)에 대해서도 마찬가지이다.
막 형성 수지는 평균 분자량이 10000 이상인 고분자량 수지에 상당하고, 필름 형성성의 관점에서, 10000 내지 80000 정도의 평균 분자량인 것이 바람직하다. 막 형성 수지로서는, 에폭시 수지, 페녹시 수지, 폴리에스테르우레탄 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리우레탄 수지, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지, 부티랄 수지 등의 다양한 수지를 들 수 있고, 이들은 단독으로 사용해도 되고, 2종류 이상을 조합하여 사용해도 된다. 이들 중에서도 막 형성 상태, 접속 신뢰성 등의 관점에서 페녹시 수지가 적절하게 사용된다.
열경화성 수지로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 시판의 에폭시 수지나 상온에서 유동성을 갖는 액상 에폭시 수지, 아크릴 수지 등을 들 수 있다.
에폭시 수지로서는, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지나, 고무, 우레탄 등의 각종 변성 에폭시 수지 등이 예시되고, 이들은 단독이어도 되고, 2종 이상을 혼합하여 사용해도 된다. 또한, 액상 에폭시 수지로서는, 비스페놀형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 스틸벤형 에폭시 수지, 트리페놀메탄형 에폭시 수지, 페놀아르알킬형 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 디시클로펜타디엔형 에폭시 수지, 트리페닐메탄형 에폭시 수지 등을 사용할 수 있고, 이들은 단독이어도 되고, 2종 이상을 혼합하여 사용해도 된다.
아크릴 수지로서는, 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 아크릴 화합물, 액상 아크릴레이트 등을 적절히 선택할 수 있다. 예를 들어, 메틸아크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 이소프로필아크릴레이트, 이소부틸아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트, 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 디메틸올트리시클로데칸디아크릴레이트, 테트라메틸렌글리콜테트라아크릴레이트, 2-히드록시-1,3-디아크릴옥시프로판, 2,2-비스[4-(아크릴옥시메톡시)페닐]프로판, 2,2-비스[4-(아크릴옥시에톡시)페닐]프로판, 디시클로펜테닐아크릴레이트, 트리시클로데카닐아크릴레이트, 트리스(아크릴옥시에틸)이소시아누레이트, 우레탄아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트 등을 들 수 있다. 또한, 아크릴레이트를 메타크릴레이트로 한 것을 사용할 수도 있다. 이들은 1종 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다.
경화제는, 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적절히 선택할 수 있고, 예를 들어 열이나 광에 의해 활성화하는 잠재성 경화제를 사용할 수 있다. 잠재성 경화제로서는, 예를 들어 술포늄염 등의 양이온계 경화제, 폴리아민, 이미다졸 등의 음이온계 경화제, 유기 과산화물 등의 라디칼계 경화제 등을 들 수 있다.
그 밖의 첨가 조성물로서, 실란 커플링제를 첨가하는 것이 바람직하다. 실란 커플링제로서는, 에폭시계, 아미노계, 머캅토ㆍ술피드계, 우레이드계 등을 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 본 실시 형태에서는 에폭시계 실란 커플링제가 바람직하게 사용된다. 이에 의해, 유기 재료와 무기 재료의 계면에 있어서의 접착성을 향상시킬 수 있다. 또한, 무기 필러를 첨가시켜도 된다. 무기 필러로서는, 실리카, 탈크, 산화티타늄, 탄산칼슘, 산화마그네슘 등을 사용할 수 있고, 무기 필러의 종류는 특별히 한정되는 것은 아니다. 무기 필러의 함유량에 의해, 유동성을 제어하여, 입자 포착률을 향상시킬 수 있다. 또한, 고무 성분 등도 접합체의 응력을 완화시키는 목적으로, 적절히 사용할 수 있다.
제1, 제2 절연성 접착제층(30, 31)은 이들 막 형성 수지와, 열경화성 수지와, 경화제, 그 밖의 첨가제를 유기 용제에 의해 용해함으로써 얻은 유기 수지 결합제를 박리 기재(35, 36) 상에 도포하고, 유기 용제를 휘발시킴으로써 형성된다. 또한, 막 형성 수지와, 열경화성 수지와, 경화제, 그 밖의 첨가제를 배합할 때, 이들을 용해시키는 유기 용제로서는, 톨루엔, 아세트산에틸, 또는 이들의 혼합 용제, 그 밖의 각종 유기 용제를 사용할 수 있다.
박리 기재(35, 36)로서는, 이방성 도전 필름(ACF)에 있어서 일반적으로 사용되고 있는, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 등의 기재를 사용할 수 있다.
[도전성 입자 함유층]
제1 절연성 접착제층(30) 및 제2 절연성 접착제층(31)은 도전성 입자 함유층(34)을 끼움 지지한다. 도전성 입자 함유층(34)은 자외선 경화형의 접착제이고, 막 형성 수지와, 열경화성 수지와, 경화제와, 도전성 입자(32)를 함유한다.
도전성 입자 함유층(34)을 구성하는 막 형성 수지, 열경화성 수지, 경화제, 그 밖의 첨가제로서는, 상술한 제1, 제2 절연성 접착제층(30, 31)과 동일한 것을 사용할 수 있다.
도전성 입자(32)로서는, 이방성 도전 필름에 있어서 사용되고 있는 공지의 어떤 도전성 입자를 들 수 있다. 도전성 입자(32)로서는, 예를 들어 니켈, 철, 구리, 알루미늄, 주석, 납, 크롬, 코발트, 은, 금 등의 각종 금속이나 금속 합금의 입자, 금속 산화물, 카본, 그래파이트, 유리, 세라믹, 플라스틱 등의 입자의 표면에 금속을 코트한 것, 혹은 이들 입자의 표면에 절연 박막을 더 코트한 것 등을 들 수 있다. 수지 입자의 표면에 금속을 코트한 것인 경우, 수지 입자로서는, 예를 들어 에폭시 수지, 페놀 수지, 아크릴 수지, 아크릴로니트릴ㆍ스티렌(AS) 수지, 벤조구아나민 수지, 디비닐벤젠계 수지, 스티렌계 수지 등의 입자를 들 수 있다.
도전성 입자 함유층(34)은 제1 절연성 접착제층(30)과 접하는 일면(34a)에, 후술하는 금형(50)의 개구(51)의 패턴에 따라서, 요철 패턴(40)이 형성되어 있다. 요철 패턴(40)의 볼록부(40a)에는 도전성 입자(32)가 배치되어 있다. 즉, 도전성 입자 함유층(34)은 요철 패턴(40)에 따라서, 도전성 입자(32)가 단층이고 또한 규칙적으로 배치되어 있다. 또한, 요철 패턴(40)의 볼록부(40a)에는 도전성 입자(32)의 정상부가 노출되어, 제1 절연성 접착제층(30)과 접하고 있다.
[경화도]
또한, 도전성 입자 함유층(34)은, 후술하는 바와 같이 도전성 입자(32)가 전착된 후, 일면(34a)에 미리 자외선이 조사되고, 그 후에 제1 절연성 접착제층(30)이 라미네이트된다. 따라서, 도전성 입자 함유층(34)은 일면(34a)측의 경화 반응이 진행되고 있다. 또한, 도전성 입자 함유층(34)은 자외광이 차단되는 도전성 입자(32)의 하부, 즉 도전성 입자(32)보다 제2 절연성 접착제층(31)과 접하는 타면(34b)측의 경화도는, 다른 부위의 경화도보다도 낮다.
[기포]
도전성 입자 함유층(34)은 제1 절연성 접착제층(30)과의 사이에 기포(41)가 함유되어 있다. 기포(41)는 이방성 도전 필름(23)을 사용한 전자 부품(18)의 접속 후에, 이방성 도전 필름(23)에 있어서의 내부 응력을 완화시키고, 이에 의해 투명 기판(12)의 휨을 방지하는 것이다. 즉, 이방성 도전 필름(23)은 각 층(30, 31, 34)의 접착제 성분의 경화 수축에 수반하여 응력이 발생하지만, 도전성 입자 함유층(34)과 제1 절연성 접착제층(30) 사이에 함유된 기포(41)에 의한 응력 완화 작용에 의해 투명 기판(12)의 휨을 억제할 수 있다.
이때, 기포(41)의 위치는 도전성 입자(32)의 근방에 있고, 당해 도전성 입자(32)에 접촉하지 않는 위치에 있는 것이 바람직하다. 이는, 접속 시에는 도전성 입자(32)에 응력이 집중하기 쉬운 것과 관계된다. 기포(41)가 도전성 입자(32)에 지나치게 가까운 경우에는, 응력 변화가 급준할 우려가 있으므로, 적절하게 거리를 두고 설치되어 있는 편이 비교적 바람직하다. 이 거리는 가장 근접하는 도전성 입자(32)의 입자 직경의 0.2배보다 커지는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.3배보다 커지는 것이다. 이 경우, 기포(41)와 도전성 입자(32)의 거리의 상한을 설정하지 않는 것은, 도전성 입자(32)가 배열되어 있기 때문이고, 그 입자간 거리에 따라 상한이 변동되는 것을 이유로서 들 수 있다. 또한, 여기서 언급하는 기포(41)와 도전성 입자(32)의 거리란, 기포(41)의 단부와 도전성 입자(32)의 단부의 최단 거리를 나타내는 것으로 한다.
또한, 가장 인접하고 있는 도전성 입자(32)의 거리가 입자 직경의 2배 이상으로 이격되어 있는 경우에는, 도전성 입자(32)와 기포(41)의 거리는 그 중간의 영역에 존재하고 있는 것이 바람직하다. 이 경우에도, 기포(41)는 한쪽의 도전성 입자(32)로부터 입자 직경의 0.2배 이격되어 있는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.3배 이격되어 있는 것이 보다 바람직하다. 또한, 기포(41)는 도전성 입자(32)의 입자 사이의 중앙 영역에 있어서, 그 중간점으로부터 입자간 거리의 0.4배 이내의 범위에 존재하고 있는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.3배 이내의 범위에 존재하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우에 있어서의 기포(41)의 존재 범위는 당해 중간점을 기점으로 하고 있으므로, 최대 0.5배로 된다.
기포(41)는 도전성 입자 함유층(34)의 일면(34a)이 자외선 조사에 의해 경화되고, 그 후에 제1 절연성 접착제층(30)이 라미네이트됨으로써, 당해 일면(34a)에 형성되어 있는 요철 패턴(40)의 오목부(40b)와 제1 절연성 접착제층(30) 사이에 함유된다. 또한, 기포(41)는 요철 패턴(40)의 오목부(40b)의 배열에 따라서, 도전성 입자 함유층(34)과 제1 절연성 접착제층(30) 사이에 규칙적으로 내포된다. 이때, 기포(41) 및 도전성 입자(32)는 복수 혼재하고 있지만, 반드시 기포(41)와 도전성 입자(32)의 각각의 거리가 동등하게 배치되어 있을 필요는 없다. 또한, 기포(41)의 군은 직선 형상이나 곡선적으로 존재해도 되고, 이와 같은 선이 교차한 격자 형상으로 되어 있어도 된다. 또한, 이와 같은 기포군 내의 간격은 일정하지 않아도 되고, 간헐적이어도 된다.
또한, 기포(41)는 그 최대 길이가 1㎛ 미만의 미소한 사이즈의 미세 거품도 포함된다. 즉, 기포(41)는, 예를 들어 이방성 도전 필름(23)을 제조하는 과정에서 라미네이트나 연신했을 때에 있어서의 외력에 의해, 1㎛ 이상의 크기의 거품이 확산되어 최대 길이가 1㎛ 미만인 미세 거품으로 된 것이어도 된다. 이와 같이, 이방성 도전 필름(23)에 함유되는 기포(41)가, 상술한 바와 같은 미세 거품이 대부분을 차지하는 구성이라도, 기포(41)에 의한 본 발명의 효과는 손상되는 것이 아니다. 또한, 기포(41)의 최대 길이는 5㎛보다 큰 경우, 접속 시의 수지 유동에 의한 혼입이나, 그것에 수반하는 접속 후의 보이드 발생 등의 요인으로 연결되는 경우가 있으므로, 기포(41)의 최대 길이는 5㎛ 미만인 것이 바람직하다.
또한, 미세 거품으로 된 기포(41)가 도전성 입자(32)의 근방에 배치되는 경우에, 기포(41)에 의한 응력 완화의 효과도 그것에 준하여 발현한다. 예를 들어, 기포(41)가 도전성 입자(32)의 근방의 4개소에 편재되어 있던 경우, 그 4개소에 있어서 이방성 도전 필름(23)의 내부 응력을 분산시키면서 완화시킨다. 이로 인해, 접속체의 휨을 억제할 수 있다. 또한, 기포(41)는 상술한 바와 같이, 이방성 도전 필름(23)의 제조 과정에서 라미네이트나 연신에 의해 확산되어 미세 거품으로 된 것을 포함하므로, 그 형상은 특별히 한정되지 않는다.
또한, 본 발명의 이방성 도전 필름(123)의 다른 실시 형태로서, 도전성 입자(132)의 독립성을 확보하여 쇼트 발생을 방지하기 위해, 도 3에 도시한 바와 같이, 도전성 입자 함유층(134)에 포함되는 절연성 접착제(133)와 도전성 입자(132) 사이에 액상 조성물(142)이 설치되는 구성으로 해도 된다. 액상 조성물(142)로서는, 공지의 수지 및 용제 등이 적용된다. 예를 들어, 액상 조성물(142)로서 접속 시에 경화에 기여하는 재질이 사용되는 경우는, 저분자량의 에폭시 수지로 바람직하게는 단관능 또는 2관능의 것이나, 저분자량의 아크릴 단량체가 사용된다. 한편, 액상 조성물(142)로서 접속 시에 경화에 기여하지 않는 재질이 사용되는 경우는, 희석한 저분자량 고무나 페녹시 수지, 분자량이 수백 내지 수천인 점착 부여제, 비점 200℃ 이상의 용제, 레벨링제 등을 들 수 있다.
액상 조성물(142)로서 경화에 기여하는 재질을 사용한 경우는, 접속 시에 액상 조성물(142)이 경화되므로, 도전성 입자(132)가 도 3에 도시하는 이방성 도전 필름(123)의 폭 방향으로 이동하기 어려워져, 접속 후의 도전성 입자(132)의 독립성이 촉진된다. 즉, 도전성 입자(132)의 연결 방지에 기여하게 된다. 한편, 액상 조성물(142)로서 경화에 기여하지 않는 재질을 사용한 경우는, 접속 시에 도 3에 도시하는 이방성 도전 필름(123)의 두께 방향의 유동성을 촉진하여, 도전성 입자(132)가 압입하는 것에 기여하게 된다. 이로 인해, 도전성 입자(132)의 면(가로) 방향[도 3에 도시하는 이방성 도전 필름(123)의 폭 방향]으로의 이동이 상대적으로 억제되게 된다. 즉, 액상 조성물(142)이 경화에 기여하는 것인지 여부에 관계없이, 접속 구조체의 도통 성능의 향상에 기여한다.
또한, 액상 조성물(142)은 라미네이트나 연신, 또는 이방성 도전 필름(123)으로 접속했을 때에 있어서의 외력에 의해 확산됨으로써 기포(141)와 동일한 효과를 나타낸다. 즉, 액상 조성물을 포함한다고 생각되는 거품에 있어서도 전술한 기포(141)와 마찬가지로 하여, 이방성 도전 필름(123)의 내부 응력을 완화시킨다. 환언하면, 거품은 기포(141)로 한정되지 않고, 액상 조성물(142)로부터 생성되는 것도 포함된다. 액상 조성물(142)을 포함하는 거품의 경우는, 제법상의 사정으로부터 도전성 입자(132)와 접촉할 확률이 높다. 그러나, 액상 조성물(142)을 포함하는 거품은 기포(141)와 달리 액상이므로, 상기한 급준한 응력 변화는 발생하기 어렵다고 추정되므로, 이 경우는 거품과 도전성 입자(132)의 접촉 상태에 대해서는 특별히 제한은 되지 않는다.
또한, 액상 조성물(142)이 설치되는 부위는 그 제법상의 사정으로부터 반드시 절연성 접착제(133)와 도전성 입자(132) 사이로 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 절연성 접착제층(130)과 도전성 입자(132) 사이나, 제2 절연성 접착제층(131)과 도전성 입자(132) 사이 중 어느 하나의 부위에 형성해도 되고, 또한 액상 조성물(142)을 설치할 때에 기포(141)에 액상 조성물(142)이 포함되는 구성으로 되어도, 상기와 동일한 효과를 발휘한다. 이는 구성물의 주된 부분을 점성이 높은 수지가 차지함으로써, 상대적으로 액상 조성물(142)을 포함하는 거품의 이동도가 높아지는 것에 의해, 그 위치를 특정시키는 것은 곤란하기 때문이다.
[이방성 도전 필름의 제조 공정]
계속해서, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 이방성 도전 필름(23)의 제조 방법에 대해 설명한다. 우선, 도전성 입자를 배열하기 위한 형틀을 준비한다. 형틀은, 도 4에 도시한 바와 같이, 예를 들어 도전성 입자가 충전되는 개구(51)가 규칙적으로 형성된 금형(50)이 사용된다. 금형(50)은 스퀴지 등을 사용하여 도전성 입자(32)가 충전된다. 이에 의해, 도전성 입자(32)는 금형(50)의 표면에, 개구(51)의 패턴에 따른 패턴으로 배열된다.
금형(50)은 개구(51)의 간격 a가, 예를 들어 3 내지 6㎛로 된다. 후술하는 바와 같이, 도전성 입자 함유층(34)과 제1 절연성 접착제층(30) 사이에 함유되는 기포(41)의 크기는 이 개구(51)의 간격 a에 따라서 제어되고, 간격이 3 내지 6㎛인 개구(51)에 따라서 1 내지 5㎛로 된다. 또한, 전술한 바와 같이, 기포(41)의 크기는 이방성 도전 필름(23)을 제조하는 과정에서 라미네이트나 연신했을 때에 있어서의 외력에 의해, 1㎛ 이상의 크기의 거품이 확산되어 최대 길이가 1㎛ 미만인 미세 거품으로 되는 경우도 있다. 또한, 금형(50)의 개구(51)의 간격 a나 형상 등을 조정함으로써, 기포(41)의 크기, 즉 최대 길이를 1㎛ 이하로 하는 것도 가능하다.
또한, 금형(50)은 개구(51)가 규칙적으로 배열됨과 함께, 각 개구(51)의 개구 직경이 도전성 입자(32)의 직경보다도 약간 넓고, 깊이가 도전성 입자(32)의 직경과 대략 동일하게 형성되어 있다. 이에 의해, 금형(50)은 도전성 입자(32)가 충전되면, 도전성 입자(32)를 단층이고 또한 규칙적으로 배열시킬 수 있다.
도 5에 도시한 바와 같이, 금형(50)은 개구(51)에 도전성 입자(32)가 충전된 면에, 광경화형의 접착제층(55)이 라미네이트된다. 접착제층(55)은 나중에 상술한 도전성 입자 함유층(34)을 구성하는 막 형성 수지, 열경화성 수지, 경화제, 그 밖의 첨가제가 혼합된 유기 수지 바인더를 포함하고, 박리 기재(56)에 지지되어 있다. 박리 기재(56)는 이방성 도전 필름(ACF)에 있어서 일반적으로 사용되고 있는, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 등의 기재를 사용할 수 있다.
접착제층(55)은 박리 기재(56)측으로부터 가열 가압 헤드에 의해 가압되고, 금형(50)의 개구(51)가 형성된 일면에 라미네이트됨과 함께, 개구(51)에 압입된다. 이에 의해, 접착제층(55)은 개구(51)의 패턴에 따른 요철 패턴(40)이 성형됨과 함께, 요철 패턴(40)의 볼록부(40a)에, 개구(51)에 충전된 도전성 입자(32)가 전착된다.
계속해서, 박리 기재(56)와 함께 접착제층(55)이 금형(50)으로부터 박리된다. 이에 의해, 도 6에 도시한 바와 같이, 박리 기재(56)에 지지된 미경화의 도전성 입자 함유층(34)이 형성된다. 도전성 입자 함유층(34)은 박리 기재(56)에 지지된 면과 반대측의 일면(34a)에, 개구(51)의 패턴에 따라서 요철 패턴(40)이 형성되어 있다.
요철 패턴(40)은 볼록부(40a)에 도전성 입자(32)가 전착되어 있다. 도전성 입자(32)는 일부(32a)가 볼록부(40a)의 상면보다 외측으로 노출되어 있다. 또한, 요철 패턴(40)은 개구(51)의 간격에 따라서 오목부(40b)가 형성되어 있다.
계속해서, 도전성 입자 함유층(34)은 요철 패턴(40)이 형성된 일면(34a)측으로부터 자외선이 조사되어, 경화된다. 여기서, 도전성 입자 함유층(34)은, 볼록부(40a)의 도전성 입자(32)의 이면측에는 자외선의 조사가 불충분해지므로, 도전성 입자(32)보다도 하측, 즉 도전성 입자(32)보다 타면(34b)측이 미경화의 상태로 된다.
계속해서, 도 7에 도시한 바와 같이, 도전성 입자 함유층(34)은 일면(34a)에, 박리 기재(35)에 지지된 제1 절연성 접착제층(30)이 라미네이트된다. 이때, 도전성 입자 함유층(34)은 자외선 조사에 의해 경화되어 있으므로 제1 절연성 접착제층(30)이 라미네이트되면, 요철 패턴(40)의 오목부(40b)와 제1 절연성 접착제층(30) 사이에 기포(41)를 내포시킬 수 있다. 또한, 도전성 입자 함유층(34)은 요철 패턴(40)의 볼록부(40a)보다 노출되어 있는 도전성 입자(32)의 일부(32a)를 제1 절연성 접착제층(30)에 접촉시킬 수 있다.
또한, 기포(41)의 위치는 금형(50)의 요철 패턴(40)의 볼록부(40)의 위치에 의존하게 되므로, 도전성 입자(32) 사이에 배치되게 된다. 이로 인해, 기포(41)는 도전성 입자(32)의 근처에 배치되지만, 도전성 입자(32)에 직접 접하는 배치로는 되지 않는다. 구체적으로는, 기포(41)는 도전성 입자(32)의 외경 0.2 내지 0.3배 정도의 크기의 거리를 통해, 도전성 입자(32)의 외측에 위치하는 것이 대부분을 차지한다. 이는, 금형(50)의 개구부(51)의 단부에 있어서, 도전성 입자 함유층(34)에 포함되는 절연성 접착제(33)와의 접촉 및 박리에 기인하기 때문이라고 생각된다. 이로 인해, 기포(41)는 도전성 입자(32)와 인접하기 어려워져, 당해 도전성 입자(32)의 근방에 위치하는 것이 적어진다. 즉, 기포(41)는 도전성 입자(32) 사이에 존재하는 것의 비율이 높아진다. 그러나, 상술한 도 3에 도시하는 액상 조성물(142)에 의한 액포를 포함하는 형태이면, 제법의 특징으로부터 당해 액포가 도전성 입자(132)에 접촉하게 된다.
계속해서, 도전성 입자 함유층(34)은 박리 기재(56)가 박리되어, 노출된 타면(34b)에, 박리 기재(36)에 지지된 제2 절연성 접착제층(31)이 라미네이트된다. 이에 의해, 도 2에 도시한 바와 같이, 이방성 도전 필름(23)이 형성된다.
또한, 도전성 입자(132)의 독립성을 확보하여 쇼트 발생을 방지하므로, 도 3에 도시하는 본 발명에 관한 다른 실시 형태의 이방성 도전 필름(123)을 제조할 때에는, 도전성 입자(132)와 제1 절연성 접착제층(130) 사이, 또는 도전성 입자(132)와 도전성 입자 함유층(134)의 절연성 접착제(133) 사이 중 적어도 어느 한쪽에 액체 조성물(142)을 도포 또는 분무한다. 액체 조성물(142)을 도전성 입자(132)와 제1 절연성 접착제층(130) 사이에 도포 또는 분무하는 경우에는, 도전성 입자(132)를 금형(50)(도 4 참조)에 충전한 후에, 절연성 접착제층(130)에서 라미네이트하기 전에, 금형(50)의 저면까지는 도달하지 않을 정도의 극미량의 액체 조성물(142)을 도포 또는 분무한다. 금형(50)의 개구부(51)의 단부에 있어서의 제1 절연성 접착제층(130)이나 절연성 접착제(133)의 접촉을 완화시킨다.
또한, 액상 조성물(142)이 경화에 기여하는 경우에는, 경화 시의 도전성 입자(132)의 독립성을 촉진하기 위해, 접속 시의 도전성 입자(132)의 연결 방지에 기여한다. 한편, 액상 조성물(142)이 경화에 기여하지 않는 경우에는, 접속 시에 도전성 입자(132)의 압입에 기여하므로, 이방성 도전 필름(123)의 두께 방향의 유동성을 촉진시켜, 면(가로) 방향으로의 이동이 상대적으로 억제된다. 즉, 액상 조성물(142)이 경화에 기여하는 것인지 여부에 관계없이, 접속 구조체의 도통 성능의 향상에 기여한다.
[이방성 도전 필름을 사용한 접속 공정]
계속해서, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 이방성 도전 필름(23)을 사용한 접속 공정에 대해 설명한다. 이방성 도전 필름(23)을 통해 전자 부품(18)을 단자부(17a)로 접속하는 경우는, 우선, 박리 기재(35)를 박리하고, 노출된 제1 절연성 접착제층(30)을 투명 전극(17)의 단자부(17a) 상에 적재하고, 박리 기재(36) 상으로부터 이방성 도전 필름(23)을 도시하지 않은 가압착 수단에 의해 가압착한다.
계속해서, 박리 기재(36)를 박리하고, 이방성 도전 필름(23) 상에 전자 부품(18)을 적재한 후, 열 압착 수단된 가열 가압 헤드(3)에 의해 전자 부품(18)을 이방성 도전 필름(23)과 함께 단자부(17a)측으로 가압하면서 가열 가압 헤드(3)를 발열시킨다. 이 가열 가압 헤드(3)에 의한 열 가압에 의해, 이방성 도전 필름(23)은 제1, 제2 절연성 접착제층(30, 31)이 유동성을 나타내고, 투명 기판(12)의 단자부(17a)와 전자 부품(18)의 접속 단자(18a) 사이로부터 유출된다.
여기서, 도전성 입자 함유층(34)은 도전성 입자(32)가 볼록부(40a)보다 노출되어, 제1 절연성 접착제층(30)에 접촉하고 있으므로, 제1 절연성 접착제층(30)이 유출됨으로써 도전성 입자(32)가 단자부(17a)와 접촉한다. 또한, 도전성 입자 함유층(34)은, 도전성 입자(32)의 이면측은 자외선의 조사가 불충분해 미경화 상태이므로, 가열 가압 헤드(3)에 의한 열 가압에 의해, 제2 절연성 접착제층(31)과 함께 유출됨으로써 도전성 입자(32)가 전자 부품(18)의 접속 단자(18a)와도 접촉한다.
따라서, 도 8에 도시한 바와 같이, 이방성 도전 필름(23)은 도전성 입자(32)가 투명 기판(12)의 단자부(17a)와 전자 부품(18)의 접속 단자(18a)에 의해 끼움 지지되고, 이 상태에서 열경화된다. 이에 의해, 이방성 도전 필름(23)을 통해 전자 부품(18)이 단자부(17a) 상에 전기적, 기계적으로 접속된다. 또한, 투명 기판(12)의 단자부(17a)와 전자 부품(18)의 접속 단자(18a)의 전기적, 기계적인 접속은 가열 가압으로 한정되지 않는다. 즉, 가열 가압과 광조사의 병용에 의해 경화시켜 접합해도 되고, 광조사만에 의한 접합이어도 된다. 또한, 가압착에 있어서도 광열 병용 또는 광조사에 의한 경화를 이용해도, 특별히 문제는 없다.
이때, 이방성 도전 필름(23)은 도전성 입자 함유층(34)과 제1 절연성 접착제층(30) 사이에, 오목부(40b)의 배열에 따라서 규칙적으로 기포(41)를 함유하고 있으므로, 전자 부품(18)과 단자부(17a) 사이에서 경화 수축에 수반하는 내부 응력이 발생한 경우에도, 기포(41)의 응력 완화 작용에 의해, 접속 후의 투명 기판(12)의 휨을 저감할 수 있다. 따라서, 박형화가 도모된 투명 기판(12)을 사용한 액정 표시 패널(10)에 있어서도 휨의 발생을 억제하고, 이에 의해 색 불균일을 저감할 수 있다.
또한, 이방성 도전 필름(23)은 도전성 입자(32)가 요철 패턴(40)에 따라서 규칙적으로 단층 배열되어 있으므로, 도전성 입자가 불규칙하게 배합되어 있는 종래의 이방성 도전 필름에 비해, 전자 부품(18)과 단자부(17a)의 전기적 접속에 관여하지 않는 불필요한 도전성 입자를 최대한 줄일 수 있다. 또한, 도전성 입자(32)의 근접에 배치된 거품에 의해, 응력 완화는 도전성 입자(32)의 주변 영역에서 국소적으로 일어나게 되지만, 이들 도전성 입자(32) 그 자체가 규칙 배열되어 있으므로, 그 규칙성에 의해 효과의 발현은 전체에 균일적으로 미치게 되고, 이를 제어할 수 있게 된다.
실시예
계속해서, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 이방성 도전 필름의 실시예에 대해 설명한다. 본 실시예에서는 기포의 사이즈 및 절연성 접착제층의 경화계를 바꾼 복수의 이방성 도전 필름의 샘플(실시예 1 내지 10)과, 기포가 포함되어 있지 않은 이방성 도전 필름의 샘플(비교예 1, 2)을 준비하여, 각각 유리 기판에 IC 칩을 탑재했을 때의 유리 기판의 휨량과 도통 저항을 측정하였다.
실시예 및 비교예의 샘플은 모두 제1, 제2 절연성 접착제층에 도전성 입자 함유층이 끼움 지지된 이방성 도전 필름이고, 각 도전성 입자 함유층은 제1 절연성 접착제층과 접하는 일면측에 요철 패턴이 형성됨과 함께, 오목부에 도전성 입자가 단층이고 또한 규칙적으로 배열되어 있다. 단, 각 실시예에 관한 샘플에서는 도전성 입자 함유층과 제1 절연성 접착제층 사이에 기포가 내포되고, 비교예에 관한 샘플에서는 기포가 내포되어 있지 않다.
[도전성 입자 함유층의 작성]
도전성 입자 함유층은 하기 표 1 및 표 2에 나타내는 배합 조성을 포함하는 유기 수지 결합제(고형분 50%)를 PET 필름에 바 코터로 도포하고, 70℃ 5분으로 열풍 건조하여, 두께가 5㎛인 접착층 필름을 작성하였다.
또한, 실시예 및 비교예에 관한 금형은, 도 9에 도시한 바와 같이 구멍 직경이 5㎛, 구멍 깊이가 3㎛인 개구가 규칙적으로 형성되고, 개구의 간격 a가 3㎛(실시예 1 및 실시예 6), 4㎛(실시예 2, 4, 5, 7, 9, 10, 비교예 1, 2), 6㎛(실시예 3 및 실시예 8)의 3종류를 준비했다. 각 금형의 개구부에 충전되는 도전성 입자는 세끼스이 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제의 Au-203A(평균 입경 3㎛)를 사용하여, 스퀴지로 충전하였다.
그리고, 앞서 작성한 접착층 필름을, 도전성 입자가 충전된 금형으로, 롤 표면 온도 45℃의 라미네이터로 라미네이트를 행하고, 그 후, 금형으로부터 박리하였다. 이에 의해, 접착층 필름에는 일면에 금형의 개구 패턴에 따른 요철 패턴이 형성됨과 함께, 볼록부에 도전성 입자가 전착되었다. 도전성 입자는 규칙적으로 단층 배열됨과 함께, 볼록부보다 그 일부가 외측으로 노출되어 있다.
이 접착층 필름을, 요철 패턴이 형성된 일면측으로부터, 파장 365㎚, 적산 광량 4000mJ/㎠의 UV광을 조사하여, 도전성 입자 함유층을 형성하였다. 도전성 입자 함유층은 요철 패턴이 형성된 일면측이 UV 경화되어 있지만, 도전성 입자의 이면측에서는 UV의 조사량이 낮고, 미경화의 상태로 되어 있다.
[절연성 접착제층의 작성]
절연성 접착제층은 하기 표 1 및 표 2에 나타내는 배합 조성을 포함하는 유기 수지 결합제를 PET 필름에 바 코터로 도포하고, 80℃ 3분으로 열풍 건조하여, 두께가 5㎛인 접착층 필름을 작성하였다.
이에 의해, PET 필름에 지지된 제1, 제2 절연성 접착제층을 작성하였다.
[도전성 입자 함유층과 절연성 접착제층의 라미네이트 공정]
계속해서, 도전성 입자 함유층과 절연성 접착제층을 라미네이트하여 이방성 도전 필름의 샘플을 제작하였다. 우선, 도전성 입자 함유층의 요철 패턴이 형성된 일면측에 제1 절연성 접착제층을, 롤 표면 온도 45℃의 라미네이터로 라미네이트하였다.
이때, 실시예 1 내지 5에서는, 이때, 요철 패턴의 오목부에 기포가 내포되었다. 한편, 비교예 1, 2에서는 기포가 혼입되지 않도록 라미네이트를 행하였다. 또한, 실시예 6 내지 10에서는 마찬가지로 하여 1㎛ 미만의 미세 거품을 내재시키도록 라미네이트를 행하였다.
계속해서, 도전성 입자 함유층의 요철 패턴이 형성된 일면과 반대측의 타면으로부터 PET 필름을 박리하고, 제2 절연성 접착제층을, 롤 표면 온도 45℃의 라미네이터로 라미네이트하였다.
이에 의해, 각 실시예 및 비교예에 관한 총 두께 20㎛의 이방성 도전 필름을 작성하였다.
[특성 평가]
평가 소자로서,
외형;1.8㎜×20㎜
두께;0.5㎜
Au-플레이티드(plated) 범프 외형;30㎛×85㎛
Au-플레이티드 범프 높이;15㎛
의 평가용 IC를 사용하였다.
평가용 IC가 접속되는 평가 기재로서, 유리 두께 0.7㎜의 ITO 코팅 글래스를 사용하였다.
이 ITO 코팅 글래스에 실시예 및 비교예에 관한 이방성 도전 필름(35㎜×24㎜)을 통해 평가용 IC를 열 가압에 의해 접속한 접속체 샘플을 형성하였다. 각 실시예 및 비교예에 관한 실장 조건은 이하와 같다.
실시예 1 내지 3, 실시예 6 내지 8 및 비교예 1, 2(양이온 경화계)에서는, 180℃-70㎫-5초이고, 가열 가압 헤드와 평가용 IC 사이에 완충재로서 두께 50㎛의 테플론(등록 상표)을 개재시켰다.
실시예 4 및 실시예 9(음이온 경화계)에서는, 200℃-70㎫-5초이고, 가열 가압 헤드와 평가용 IC 사이에 완충재로서 두께 50㎛의 테플론(등록 상표)을 개재시켰다.
실시예 5 및 실시예 10(라디칼 경화계)에서는, 160℃-70㎫-5초이고, 가열 가압 헤드와 평가용 IC 사이에 완충재로서 두께 50㎛의 테플론(등록 상표)을 개재시켰다.
이상의 실시예 및 비교예의 각 접속체 샘플에 대해, 디지털 멀티 미터를 사용하여 4단자법으로 전류 2㎃를 흘렸을 때의 접속 저항을, 접속 초기와, TCT(80℃ 85% 250H) 후에 측정하였다. 또한, 각 접속체 샘플에 대해, 촉침식 표면 조도계(CL-830:가부시끼가이샤 고사까 겐뀨쇼제)를 사용하여 평가 기재의 ITO 코팅 글래스 하면으로부터 스캔하고, 평가용 IC의 접속 전후의 ITO 코팅 글래스의 휨량(㎛)을 측정하여, 그 차를 구하였다. 측정 결과를 표 1 및 표 2에 나타낸다.
표 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 모두 도전성 입자 함유층의 요철 패턴의 오목부에 기포를 내포시키고 있으므로, 평가용 IC의 접속 후에 접속 개소에 발생한 내부 응력을 완화할 수 있었다. 따라서, 접속 초기 및 TCT 후의 휨량을 억제할 수 있고, 또한 TCT 후의 도통 저항도 최대 6.0Ω 이하로 억제할 수 있어, 양호한 도통 저항을 실현할 수 있었다.
한편, 비교예 1에서는 기포가 내포되어 있지 않으므로, 평가용 IC의 접속 개소에 발생한 내부 응력의 완화 작용이 작용하지 않고, 접속 초기에 있어서의 휨량이 15㎛로 커졌다. 또한, 비교예 2에서는 응력 완화제를 첨가하고 있지만, 기포를 내포시킨 실시예 1 내지 5에 비해, 접속 초기에 있어서의 휨량이 10㎛로 크게 휨을 저감하는 효과는 작다. 또한, 비교예 2에서는 응력 완화제를 첨가함으로써, 접착제 성분의 응집력이 저하되어 버려, 접속 신뢰성이 저하되고, TCT 후의 도통 저항도 10Ω으로 높아졌다.
실시예 4에서는 휨량이 약간 저하되었다. 이는, 실시예 2의 경화계를 양이온계로부터 음이온계로 바꾸었기 때문에, 경화 속도가 양이온계에 비해 느리기 때문이라고 생각된다. 또한, 실시예 5에서는 실시예 2의 경화계를 양이온계로부터 라디칼계로 바꾼바, 저온 속경화성이 우수하지만, 약간 휨량이 증가하였다.
또한, 표 2에 나타낸 바와 같이, 실시예 6 내지 10에 의하면, 모두 도전성 입자 함유층의 요철 패턴의 오목부나, 도전성 입자와 제1 절연성 접착제층 사이에 미세 거품을 내포시키고 있으므로, 실시예 1 내지 5에 비해 평가용 IC의 접속 후에 접속 개소에 발생한 내부 응력을 보다 완화할 수 있었다. 즉, 미세 거품의 쪽이 큰 기포보다도 어느 정도 휨량을 저감하여, 접속 개소에 발생한 내부 응력을 완화할 수 있는 것을 알 수 있었다. 이는, 기포를 미세 거품으로 함으로써, 당해 내부 응력의 완화 작용을 발휘하는 거품이 다수 존재함으로써, 응력의 분산 효과가 보다 높아졌기 때문이라고 추측된다.
또한, 실시예 4와 마찬가지로 실시예 9에서는, 마찬가지로 휨량이 약간 저하되었다. 이는 실시예 7의 경화계를 양이온계로부터 음이온계로 바꾸었기 때문에, 경화 속도가 양이온계에 비해 느리기 때문이라고 생각된다. 또한 실시예 5와 10에서는 경화계를 실시예 2나 7의 양이온계로부터 라디칼계로 바꾼바, 저온 속경화성이 우수하지만, 약간 휨량이 증가하였다.
1 : 액정 표시 장치
3 : 가열 가압 헤드
10 : 액정 표시 패널
11, 12 : 투명 기판
12a : 테두리부
16, 17 : 투명 전극
17a : 단자부
18 : 전자 부품
18a : 접속 단자
20 : COG 실장부
23, 123 : 이방성 도전 필름
30, 130 : 제1 절연성 접착제층
31, 131 : 제2 절연성 접착제층
32, 132 : 도전성 입자
33, 133 : 절연성 접착제
34, 134 : 도전성 입자 함유층
34a, 134a : 일면
34b, 134b : 타면
35, 36, 135, 136 : 박리 기재
40, 140 : 요철 패턴
40a, 140a : 볼록부
40b, 140b : 오목부
41, 141 : 기포
50 : 금형
51 : 개구
55 : 접착제층
56 : 박리 기재
142 : 액상 조성물
3 : 가열 가압 헤드
10 : 액정 표시 패널
11, 12 : 투명 기판
12a : 테두리부
16, 17 : 투명 전극
17a : 단자부
18 : 전자 부품
18a : 접속 단자
20 : COG 실장부
23, 123 : 이방성 도전 필름
30, 130 : 제1 절연성 접착제층
31, 131 : 제2 절연성 접착제층
32, 132 : 도전성 입자
33, 133 : 절연성 접착제
34, 134 : 도전성 입자 함유층
34a, 134a : 일면
34b, 134b : 타면
35, 36, 135, 136 : 박리 기재
40, 140 : 요철 패턴
40a, 140a : 볼록부
40b, 140b : 오목부
41, 141 : 기포
50 : 금형
51 : 개구
55 : 접착제층
56 : 박리 기재
142 : 액상 조성물
Claims (29)
- 제1 절연성 접착제층과,
개개의 도전성 입자가 독립하여 절연성 접착제에 함유된 도전성 입자 함유층을 갖고,
상기 도전성 입자 함유층과 상기 제1 절연성 접착제층 사이에 기포가 함유되고,
상기 도전성 입자와 상기 기포는 일면에 존재하고 있는 이방성 도전 필름. - 제1항에 있어서, 상기 기포는 상기 도전성 입자를 따라 함유되어 있는 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 상기 기포는 상기 도전성 입자의 근방에 내포되어 있는 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 상기 기포는 인접하는 상기 도전성 입자의 중간에 내포되어 있는 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 상기 기포는 최대 길이가 1㎛ 미만인 기포를 포함하는 이방성 도전 필름.
- 제5항에 있어서, 상기 기포가 군을 형성하고 있는 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 상기 도전성 입자 함유층은 상기 도전성 입자의 일부가 상기 제1 절연성 접착제층과의 계면에 노출되어 있는 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 상기 기포의 사이즈가 5㎛ 미만인 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 절연성 접착제층과 상기 도전성 입자 사이의 부위에 액상 조성물이 설치되는 이방성 도전 필름.
- 제9항에 있어서, 상기 기포에 상기 액상 조성물이 포함되는 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 상기 도전성 입자는 규칙적으로 배치되어 있는 이방성 도전 필름.
- 제1항에 있어서, 추가로 제2 절연성 접착제층을 갖고,
상기 도전성 입자는 상기 제1 절연성 접착제층 및 상기 제2 절연성 접착제층에 끼움 지지되어 있는 이방성 도전 필름. - 일면에 복수의 개구를 갖는 형틀의 상기 개구 마다 하나의 도전성 입자를 충전시키고, 상기 형틀의 상기 도전성 입자가 충전된 면에, 접착제층이 박리 기재에 지지된 접착 필름의 상기 접착제층을 라미네이트하고,
상기 박리 기재의 상면으로부터 상기 접착제층을 상기 형틀에 가압하고, 상기 접착제층을 상기 개구에 압입하고,
상기 접착 필름을 상기 형틀로부터 박리하고, 상기 접착제층의 표면에 상기 도전성 입자를 접착시킨 도전성 입자 함유층을 형성하고,
상기 도전성 입자 함유층의 상기 표면에 제1 절연성 접착제층을 라미네이트하는 것으로, 상기 도전성 입자 함유층과 상기 제1 절연성 접착제층 사이에 기포를 함유시키는 이방성 도전 필름의 제조 방법이며,
상기 도전성 입자 함유층은 상기 도전성 입자를 접착시킬 때에 상기 개구에 따른 수지의 표면 형상이 형성되는 것으로, 상기 기포를 일면에 함유시키는 이방성 도전 필름의 제조 방법. - 제13항에 있어서, 상기 도전성 입자 함유층의 상기 표면에 상기 제1 절연성 접착제층을 라미네이트할 때의 외력에 의해, 상기 기포를 일면에 함유시키는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
- 제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 도전성 입자 함유층의 상기 표면과 반대측의 이면에 제2 절연성 접착제층을 라미네이트하는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
- 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 이방성 도전 필름을 사용하여, 제1 전자 부품의 단자와 제2 전자 부품의 단자가 이방성 도전 접속된 접속체.
- 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 이방성 도전 필름을 사용하여, 제1 전자 부품의 단자와 제2 전자 부품의 단자가 이방성 도전 접속된 접속체의 제조 방법에 있어서,
상기 제1 전자 부품과 상기 제2 전자 부품을, 상기 이방성 도전 필름을 개재하여 가열 가압 또는 광조사로 접합하는 접속체의 제조 방법. - 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 이방성 도전 필름을 사용하여, 제1 전자 부품의 단자와 제2 전자 부품의 단자를 이방성 도전 접속하는 접속 방법에 있어서,
상기 제1 전자 부품과 상기 제2 전자 부품을, 상기 이방성 도전 필름을 개재하여 가열 가압 또는 광조사로 접합하는 접속 방법. - 이방성 도전 필름을 개재하여 서로 대향하는 제1 전자 부품과 제2 전자 부품을 적층시키고, 가열 가압 또는 광조사로 접합하는 것으로 이방성 도전 접속시키는 접속체의 제조 방법이며,
상기 이방성 도전 필름은 상기 제1 전자 부품과 제2 전자 부품 중 어느 하나에 가압착되고,
상기 이방성 도전 필름이 가압착된 상기 제1 전자 부품 또는 제2 전자 부품을 상기 적층시킨 방향으로부터 평면시(平面視)한 경우에 있어서, 도전성 입자는 개개로 독립하여 존재하고, 또한 기포가 일면에 존재하고 있는 것을 특징으로 하는,
접속체의 제조 방법. - 제19항에 있어서, 상기 기포는 상기 도전성 입자를 따라 함유되어 있는 접속체의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 상기 도전성 입자는 규칙적으로 배열되어 있는 접속체의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 상기 기포는 상기 도전성 입자의 근방에 존재하고 있는 접속체의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 상기 기포는 최대 길이가 1㎛ 미만인 기포를 포함하는 접속체의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 상기 기포의 사이즈가 5㎛ 미만인 접속체의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 상기 기포에 액상 조성물이 포함되는 접속체의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 제1 전자 부품과 제2 전자 부품의 접합은 가열 가압과 광조사를 병용하여 행하는 접속체의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 제1 전자 부품 또는 제2 전자 부품의 상기 이방성 도전 필름이 가압착되는 어느 한쪽은 투명 기판인 접속체의 제조 방법.
- 제19항 내지 제27항 중 어느 한 항에 기재된 접속체의 제조 방법을 사용하여, 상기 제1 전자 부품의 단자와 상기 제2 전자 부품의 단자가 이방성 도전 접속된 접속체.
- 이방성 도전 필름을 개재하여 서로 대향하는 제1 전자 부품과 제2 전자 부품을 적층시키고, 가열 가압 또는 광조사로 접합하는 것으로 이방성 도전 접속시키는 전자 부품의 접속 방법이며,
상기 이방성 도전 필름은 상기 제1 전자 부품과 제2 전자 부품 중 어느 하나에 가압착되고,
상기 이방성 도전 필름이 가압착된 상기 제1 전자 부품 또는 제2 전자 부품을 상기 적층시킨 방향으로부터 평면시(平面視)한 경우에 있어서, 도전성 입자는 개개로 독립하여 존재하고, 또한 기포가 일면에 존재하고 있는 것을 특징으로 하는,
전자 부품의 접속 방법.
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