KR20180041075A

KR20180041075A - 처리 장치 및 처리 방법

Info

Publication number: KR20180041075A
Application number: KR1020170132950A
Authority: KR
Inventors: 도루 이시이
Original assignee: 야마하 파인 테크 가부시키가이샤
Priority date: 2016-10-13
Filing date: 2017-10-13
Publication date: 2018-04-23
Also published as: JP6726077B2; CN107949168B; JP2018063169A; KR101973864B1; CN107949168A

Abstract

본 발명은, 파지부의 에지에 의하여 플렉시블 워크가 손상되는 것을 방지할 수 있는 처리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따른 처리 장치는, 판형 플렉시블 워크의 외연을 파지하는 복수의 파지부와, 상기 각 파지부를 지지하고, 지지하는 파지부에 대하여 1자유도 이상의 평행 이동 기구 또는 스윙 기구를 갖는 지지부를 구비한다.

Description

처리 장치 및 처리 방법{PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING METHOD}

본 발명은, 처리 장치 및 처리 방법에 관한 것이다.

사각 판형 또는 띠판형 플렉시블 워크의 외연을 파지하여 검사 또는 가공하는 처리 장치가 사용되고 있다. 이러한 처리 장치로서는, 예를 들어 플렉시블 프린트 기판의 검사 장치나 천공 장치 등을 들 수 있다(예를 들어 일본 특허 공개 제2000-202799호 공보, 일본 특허 공개 제2006-332422호 공보).

이러한 처리 장치에 있어서, 검사 헤드 또는 가공 헤드가 플렉시블 워크와 맞닿는 위치가, 플렉시블 워크의 외연을 파지하는 위치로부터 플렉시블 워크의 표면의 법선 방향으로 어긋나게 되는 경우가 있다. 이러한 위치 어긋남이 일어나면, 플렉시블 워크가 파지부의 에지에 강하게 밀어붙여져 손상될 우려가 있다.

일본 특허 공개 제2000-202799호 공보 일본 특허 공개 제2006-332422호 공보

상기 문제를 감안하여, 본 발명은, 파지부의 에지에 의하여 플렉시블 워크가 손상되는 것을 방지할 수 있는 처리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 발명은, 판형 플렉시블 워크의 외연을 파지하는 복수의 파지부와, 상기 각 파지부를 지지하고, 지지하는 파지부에 대하여 1자유도 이상의 평행 이동 기구 또는 스윙 기구를 갖는 지지부를 구비하는 처리 장치이다.

상기 지지부가 상기 플렉시블 워크를 그 표면의 법선 방향으로 평행 이동시키는 평행 이동 기구를 가지면 된다.

상기 평행 이동 기구가 1자유도의 운동 기구이면 된다.

상기 지지부가 상기 플렉시블 워크를 그 표면과 평행인 축 중심으로 선회시키는 스윙 기구를 가지면 된다.

상기 스윙 기구가 2자유도의 운동 기구이면 된다.

상기 지지부가 지지하는 파지부를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 가지면 된다.

당해 처리 장치는, 상기 플렉시블 워크를 검사 또는 가공하기 위하여 사용되면 된다.

당해 처리 장치는, 상기 플렉시블 워크의 표면과 맞닿도록 이동 가능하게 구성되는 검사 헤드 또는 가공 헤드를 더 구비하면 된다.

당해 처리 장치는, 상기 플렉시블 워크에 대하여 검사 또는 가공을 하는 수단을 더 구비하고 있어도 된다.

상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 다른 발명은, 판형 플렉시블 워크의 외연을 복수의 파지부로 파지하는 공정과, 상기 각 파지부를 지지하고, 상기 복수의 파지부를 1자유도 이상의 평행 이동 또는 스윙을 시키는 공정을 구비하는 처리 방법이다.

본 발명의 처리 장치는, 상기 플렉시블 워크의 외연을 파지하는 복수의 파지부와, 상기 각 파지부를 지지하는 지지부를 구비하고 있고, 상기 지지부가, 지지하는 파지부에 대하여 1자유도 이상의 평행 이동 기구 또는 스윙 기구를 갖고 있다. 이것에 의하여, 당해 처리 장치는, 플렉시블 워크의 검사 또는 가공 시에, 검사 헤드 또는 가공 헤드의 플렉시블 워크에 대한 맞닿음 위치와 복수의 파지부에 의한 플렉시블 워크의 파지 위치의 플렉시블 워크의 법선 방향의 위치 어긋남을 흡수하여, 파지부의 에지에 의하여 플렉시블 워크가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 처리 장치를 도시하는 모식도이다.
도 2는 도 1의 처리 장치에 있어서의 파지 디바이스의 모식적 측면도이다.
도 3은 도 1의 처리 장치에 의한 전기 검사의 일 공정을 도시하는 모식도이다.
도 4는 도 1의 처리 장치에 의한 전기 검사의, 도 3 다음의 공정을 도시하는 모식도이다.
도 5는 본 발명의 도 1과는 상이한 실시 형태의 처리 장치를 도시하는 모식도이다.
도 6은 도 5의 처리 장치에 있어서의 파지 디바이스의 모식적 측면도이다.
도 7은 도 2 및 도 6과는 상이한 실시 형태에 따른 파지 디바이스의 모식적 측면도이다.
도 8은 도 2, 도 6 및 도 7과는 상이한 실시 형태에 따른 파지 디바이스의 모식적 측면도이다.
도 9는 도 2, 도 6, 도 7 및 도 8과는 상이한 실시 형태에 따른 파지 디바이스의 모식적인 평면도이다.
도 10은 도 9의 파지 디바이스의 모식적 측면도(A 방향에서 본 도면)이다.
도 11은 도 9의 파지 디바이스의 모식적 정면도(B 방향에서 본 도면)이다.
도 12는 도 2, 도 6, 도 7, 도 8 및 도 9와는 상이한 실시 형태에 따른 파지 디바이스의 모식적인 평면도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 처리 방법의 수순을 도시하는 흐름도이다.

본 발명의 처리 장치는, 판형 플렉시블 워크의 외연을 파지하는 복수의 파지부와, 상기 각 파지부를 지지하고, 지지하는 파지부에 대하여 1자유도 이상의 평행 이동 기구 또는 스윙 기구를 갖는 지지부를 구비한다.

당해 처리 장치는, 상기 플렉시블 워크의 외연을 파지하는 복수의 파지부와, 상기 각 파지부를 지지하는 지지부를 구비하고 있고, 상기 지지부가, 지지하는 파지부에 대하여 1자유도 이상의 평행 이동 기구 또는 스윙 기구를 갖고 있다. 이에 의해, 당해 처리 장치는, 플렉시블 워크의 처리 시에, 처리용 헤드의 플렉시블 워크에 대한 맞닿음 위치와 복수의 파지부에 의한 플렉시블 워크의 파지 위치의 플렉시블 워크의 법선 방향의 위치 어긋남을 흡수하여, 파지부의 에지에서 플렉시블 워크가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 「판형」이란, 띠형, 시트형, 필름형을 포함하는 개념이다. 또한, 「플렉시블 워크」란, 가요성 또는 굴곡성을 갖고, 처리의 대상으로 될 수 있는 것이면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 이하에서는, 처리 대상인 플렉시블 워크로서 플렉시블 프린트 기판을 예로 들어서 본 발명의 실시 형태를 설명하지만, 본 발명의 처리 대상이 플렉시블 프린트 기판에 한정되는 것은 아니다.

당해 처리 장치는, 플렉시블 워크를 검사 또는 가공을 하기 위해서도 사용할 수 있다.

이하, 적절히 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 상세히 설명한다.

[제1 실시 형태]

도 1에 본 발명의 일 실시 형태에 따른 처리 장치의 구성을 도시한다. 도 1의 처리 장치는, 얇은 사각 판형 플렉시블 워크인 플렉시블 프린트 기판 P의 전기적 특성을 검사하는 전기 검사 장치이다.

당해 처리 장치는, 이격하여 대향하여 배치되며, 서로 접근하도록 이동 가능한 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)와, 이 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)를 각각 구동하는 제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)와, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지하는 복수의 파지 디바이스(5)와, 플렉시블 프린트 기판 P를 촬영하는 제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)와, 제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)를 제어하는 컨트롤러(8)를 구비한다. 상기 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)는 도 1에 도시한 바와 같이, 그들 사이에 플렉시블 프린트 기판 P가 배치되었을 때에, 플렉시블 프린트 기판 P의 표면에 맞닿도록 이동 가능하다.

또한, 당해 처리 장치는, 각 구성 요소를 지지하는 도시하지 않은 프레임 등을 더 구비할 수 있다.

<플렉시블 프린트 기판>

당해 처리 장치에 의하여 전기적 특성을 검사하는 플렉시블 프린트 기판 P로서는, 전형적으로는, 평면에서 보아 사각형의 가요성을 갖는 시트형 기재 상에 복수의 기능부가 형성되고, 최종적으로 각 기능부를 포함하는 부분을 잘라내어 복수의 전자 부품을 얻는 것이 상정된다.

이러한 플렉시블 프린트 기판 P는, 개개의 기능부 또는 소수의 기능부를 포함하는 비교적 작은 영역이 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의하여 검사되는 검사 대상부로 된다. 달리 말하면, 플렉시블 프린트 기판 P는, 복수의 검사 대상부를 갖는다. 이 때문에, 플렉시블 프린트 기판 P는, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의하여 장소를 바꾸어 반복하여 끼움 지지되어, 각 검사 대상부의 전기적 특성이 차례로 검사된다.

<전기 검사 헤드>

제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)는, 이격하여 대향하도록 배치되며, 복수의 프로브(9)와, 이 복수의 프로브(9)가 각각 삽입되는 복수의 가이드 구멍을 갖는 가이드 플레이트(10)를 각각 갖는다.

(프로브)

복수의 프로브(9)는, 가이드 플레이트(10)에 수직으로, 또한 각각의 선단부가 가이드 플레이트(10)로부터 약간 돌출되도록 보유 지지된다. 또한, 복수의 프로브(9)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 도전 패턴의 소정의 측정점과 맞닿을 수 있도록 배치된다.

(가이드 플레이트)

가이드 플레이트(10)는, 절연성을 갖는 재료로 형성되며, 플렉시블 프린트 기판 P에 대향하고, 전기 검사 시에 플렉시블 프린트 기판 P와 맞닿는 평탄한 맞닿음면(11)을 갖는다.

또한, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)는, 복수의 프로브(9)를 통하여 플렉시블 프린트 기판 P의 전기적 특성을 측정하기 위한 회로를 갖는 것으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 전기적 특성을 측정하고, 측정 결과를 비교적 소수의 배선을 통하여 컨트롤러(8)에 출력할 수 있는 측정 회로를 가지면 된다.

또한, 나중에 상세히 설명하는 바와 같이, 먼저 플렉시블 프린트 기판 P에 압접되는 제1 전기 검사 헤드(1)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 표리면 중 도전 패턴의 배선 폭이 상대적으로 큰 쪽의 면에 압접되는 것이 바람직하다. 반대로 말하면, 당해 처리 장치를 사용할 때는, 플렉시블 프린트 기판 P를 도전 패턴의 배선 폭이 큰 쪽이 제1 전기 검사 헤드(1)에 대향하도록 배치하는 것이 바람직하다.

또한, 당해 처리 장치에서는, 후술하는 바와 같이, 제1 전기 검사 헤드(1)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P에 장력을 부여함으로써 플렉시블 프린트 기판 P의 휨이나 굴곡을 제거할 때 중력에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P가 맞닿음면(11)에 밀착되기 쉽도록, 제1 전기 검사 헤드(1)가 제2 전기 검사 헤드(2)의 하방에 배치되는 것이 바람직하다. 달리 말하면, 당해 처리 장치에서는, 플렉시블 프린트 기판 P가 대략 수평으로 보유 지지되며, 제1 전기 검사 헤드(1)가 플렉시블 프린트 기판 P에 하방으로부터 압접되고, 제2 전기 검사 헤드(2)가 플렉시블 프린트 기판 P에 대하여 상방으로부터 압접되는 것임이 바람직하다.

<구동 기구>

제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)는, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 3차원의 위치 결정을 행할 수 있는 것이면 되며, 또한 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 축을 중심으로 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)의 회전 위치 결정을 행할 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향이란, 복수의 파지 디바이스(5)가 플렉시블 프린트 기판 P의 표면이 평면형으로 되도록 파지하는 이상적인 상태에 있어서의 플렉시블 프린트 기판 P의 표면의 법선 방향을 의미하는 것으로 한다.

제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)로서는, 다관절 로봇을 사용해도 되지만, 비용 및 점유 공간이 비교적 작은 직교 좌표형 구동 시스템을 채용하는 것이 바람직하다. 이 직교 좌표형 구동 시스템으로서는, 플렉시블 프린트 기판 P의 평면 방향으로 2축의 위치 결정이 가능한 직교 좌표형 로봇과, 이 직교 좌표형 로봇의 말단부에 배치되는 승강 디바이스와, 이 승강 디바이스에 의하여 승강 가능하게 보유 지지되고, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)를 각각 회전 위치 결정 가능하게 보유 지지하는 회전 위치 결정 디바이스를 구비하는 구성으로 할 수 있다.

또한, 제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)는, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P를 끼움 지지할 때, 플렉시블 프린트 기판 P에 작용하는 압접력을 적정화할 수 있도록, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향으로 탄성 변형되는 완충부를 가져도 된다.

<파지 디바이스>

복수의 파지 디바이스(5)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지함으로써, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 위치를, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의한 검사 위치에 개략 유지한다.

각 파지 디바이스(5)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지하는 파지부(12)와, 파지부(12)를 지지하는 지지부(13)를 구비하고 있다. 파지 디바이스(5)의 지지부(13)는, 지지하는 파지부(12)에 대하여 1자유도의 수동적인 운동 기구인 스윙 기구를 갖고 있다. 즉, 파지 디바이스(5)에 있어서, 파지부(12)는, 지지부(13)에 의하여 스윙 가능하게 지지되어 있다.

(파지부)

파지부(12)는, 지지부(13)에 의하여 지지되며, 한쪽 단부의 상면에서 플렉시블 프린트 기판 P와 맞닿는 클램프 베이스(14)와, 이 클램프 베이스(14) 상에 가동식으로 배치되고, 클램프 베이스(14)의 플렉시블 프린트 기판 P와 맞닿는 부분에 대향하는 면이 플렉시블 프린트 기판 P와 맞닿고 클램프 베이스(14)와의 사이에 플렉시블 프린트 기판 P를 무는 클램프 아암(15)과, 이 클램프 아암(15)의 한쪽 단부와 클램프 베이스(14)가 맞닿거나 이격되도록 클램프 아암(15)을 구동하는 액추에이터(16)를 구비하는 구성으로 할 수 있다. 즉, 액추에이터(16)의 동작에 의하여, 클램프 베이스(14)의 선단부와 클램프 아암(15)의 선단부가 압접 또는 이격됨으로써, 파지부(12)는 플렉시블 프린트 기판 P를 파지 또는 해방한다.

이 파지부(12)의 구성, 특히 클램프 아암(15)의 구동 기구에 대해서는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2006-281432호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 액추에이터(16)에 의하여 구동되는 캠 기구 등을 사용하여 행하도록 구성할 수 있다. 구체적으로는, 클램프 베이스(14)에 캠 홈이 배치되고, 이 캠 홈에 걸림 결합되는 핀이 클램프 아암(15)에 배치됨으로써, 클램프 베이스(14)에 대한 클램프 아암(15)의 상대 이동이 안내되고, 액추에이터(16)에 의하여 구동되는 캠에 의하여 클램프 아암(15)의 클램프 베이스(14)에 대한 상대 이동이 구동되는 구성으로 할 수 있다.

(지지부)

지지부(13)는, 스윙 기구로서, 지지 축(17)을 중심으로 회동 가능하게 파지부(12)의 클램프 베이스(14)를 지지하는 구성을 갖는다. 지지 축(17)은, 파지부(12)가 파지하는 박판형 플렉시블 프린트 기판 P의 측연과 평행으로 되도록 배치된다. 즉, 지지부(13)의 스윙 기구에 의한 파지부(12)의 스윙은, 플렉시블 프린트 기판 P의 표면과, 보다 상세하게는 파지하는 부분의 측연과 평행인 지지 축(17)을 중심으로 하는 선회 동작이다. 또한, 지지 축(17)은, 파지부(12)의 플렉시블 프린트 기판 P를 파지하기 위한 구조와 완충하지 않는 위치에 배치하면 된다.

또한, 지지부(13)는, 파지부(12)를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 갖는다. 지지부(13)가 복원 기구를 가짐으로써, 파지하는 플렉시블 프린트 기판 P의 복수의 파지 디바이스(5)의 파지부(12)에 의하여 파지되는 부분의 표면을 동일한 평면 상에 배치하여, 플렉시블 프린트 기판 P에 불필요한 응력을 작용시키는 파지부(12)의 경사를 억제할 수 있다.

이 복원 기구로서는, 도시한 바와 같이, 파지부(12)의 클램프 베이스(14)를 지지 축(17)의 둘레로 일 방향으로 회동시키도록 압박하는 스프링(18)과, 지지 축(17)의 스프링(18)과 반대측에 배치되고, 클램프 베이스(14)와 맞닿아 스프링(18)의 압박력에 대항하여 클램프 베이스(14)의 회동을 제지하는 스토퍼(19)를 갖는 구성으로 할 수 있다. 이러한 복원 기구는, 파지부(12)를 초기 위치로부터 일방측으로만 이동 가능하게 한다. 이 파지부(12)의 초기 위치로부터의 이동 가능 방향으로서는, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향이며 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P를 무는 위치측으로 되며, 전형적으로는 상측으로 된다.

상기 스프링(18)으로서는, 예를 들어 압축 스프링 등을 사용할 수 있다. 또한, 클램프 베이스(14)의 스토퍼(19)와 맞닿는 부분 또는 스토퍼(19)에 클램프 베이스(14)를 걸림 지지하는, 각도 위치를 조절 가능한 맞닿음 부재(20)를 설치해도 된다.

<카메라>

제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 위치 정보를 취득하기 위하여, 플렉시블 프린트 기판 P의 화상을 촬영하여, 후술하는 컨트롤러(8)에 화상 데이터를 제공한다.

제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)는, 당해 처리 장치의 도시하지 않은 프레임 등에 보유 지지되어도 되지만, 제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)에 의하여 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)와 함께 적어도 플렉시블 프린트 기판 P의 평면 방향으로 이동 가능하게 보유 지지되면 된다. 제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)를 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)와 함께 이동시킴으로써 화상 처리의 범위를 한정하여, 필요로 하는 카메라의 화소 수 및 컨트롤러의 연산 능력이 비교적 작아지므로, 당해 처리 장치를 비교적 저렴하게 할 수 있음과 함께, 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 사이클을 단축할 수 있다.

제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)가 촬영한 화상 데이터는, 컨트롤러(8)에 있어서 공지된 화상 처리 기술에 의하여 해석되어, 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부의 특징점의 좌표를 특정하기 위하여 사용된다. 구체적으로는, 제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)가 촬영한 화상 데이터로부터, 제1 카메라(6) 또는 제2 카메라(7)와 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부와의 상대 위치, 나아가서는 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부의 절대 위치가 특정된다.

또한, 제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P의 디지털 화상을 촬영할 때, 제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)의 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 위치(플렉시블 프린트 기판 P로부터의 이격 거리)를 일정하게 함으로써, 제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)와 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부와의 평면 방향의 상대 위치를 비교적 용이하게 산출할 수 있다.

화상 처리에 있어서 추출하는 특징점은, 플렉시블 프린트 기판 P의 도전 패턴 중에서 미리 설정되는 특징적인 형상의 부분이어도 되고, 플렉시블 프린트 기판 P에 화상 처리 전용으로 형성되는 마킹이어도 된다.

<컨트롤러>

컨트롤러(8)로서는, 예를 들어 프로그래머블 로직 컨트롤러, 퍼스널 컴퓨터 등이 사용된다.

컨트롤러(8)는, 제1 전기 검사 헤드(1)를 플렉시블 프린트 기판 P에 대하여 평면 방향으로 위치 결정하고 나서 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향으로 압접하도록 제1 구동 기구(3)를 제어하는 제1 압접 제어 요소와, 제1 전기 검사 헤드(1)의 위치 결정 및 압접 후에, 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P에 대하여 평면 방향으로 위치 결정하고 나서 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향으로 압접하도록 제2 구동 기구(4)를 제어하는 제2 압접 제어 요소를 갖는다.

상기 제1 압접 제어 요소 및 제2 압접 제어 요소는, 예를 들어 파트 프로그램, 서브루틴 등의 소프트웨어에 의하여 실현할 수 있다.

(제1 압접 제어 요소)

제1 압접 제어 요소는, 제1 카메라(6)를 사용하여 플렉시블 프린트 기판 P의 위치 정보를 취득하는 스텝〔제1 위치 정보 취득 스텝〕과, 제1 구동 기구(3)를 사용하여 제1 전기 검사 헤드(1)를 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부에 정면 대향하도록 평면 방향으로 위치 결정하는 스텝〔제1 평면 방향 위치 결정 스텝〕과, 제1 구동 기구(3)를 사용하여 제1 전기 검사 헤드(1)를 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향으로 이동시켜 플렉시블 프린트 기판 P에 압접하는 스텝〔제1 압접 스텝〕을 차례로 행하는 것이다.

〔제1 위치 정보 취득 스텝〕

제1 압접 제어 요소는, 제1 위치 정보 취득 스텝에 있어서, 제1 카메라(6)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P를 촬영하고, 촬영한 화상 데이터를 화상 처리함으로써, 제1 카메라(6)에 대한 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부의 평면 방향의 상대 위치를 특정한다. 이것에 의하여, 제1 전기 검사 헤드(1)를 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부에 정면 대향시키기 위하여 필요한 평면 방향의 이동량을 산출한다.

〔제1 평면 방향 위치 결정 스텝〕

제1 압접 제어 요소는, 제1 평면 방향 위치 결정 스텝에 있어서, 제1 구동 기구(3)에 의하여, 제1 위치 정보 취득 스텝에서 산출한 필요한 이동량만큼 제1 전기 검사 헤드(1)를 플렉시블 프린트 기판 P의 평면 방향으로 이동시킴으로써, 제1 전기 검사 헤드(1)를 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부에 정면 대향시킨다.

〔제1 압접 스텝〕

제1 압접 제어 요소는, 제1 압접 스텝에 있어서, 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)을 플렉시블 프린트 기판 P에 압접함으로써, 제1 전기 검사 헤드(1)의 복수의 프로브(9)를 플렉시블 프린트 기판 P의 한쪽 면의 복수의 측정점에 압접한다.

또한, 제1 압접 스텝에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 파지 디바이스(5)에 의한 플렉시블 프린트 기판 P의 외연의 각 파지 위치의 두께 방향 중심을 포함하는 기준 평면보다도 제2 전기 검사 헤드(2)측으로 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)을 돌출시킨다.

이와 같이 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)을 기준 평면보다도 돌출시킴으로써, 플렉시블 프린트 기판 P에 장력이 작용함으로써, 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부가 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)에 밀착된다. 즉, 제1 압접 제어 요소는, 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)을 기준 평면보다도 돌출시킴으로써, 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부를 맞닿음면(11)을 따른 평판형으로 잡아늘임으로써 휨이나 굴곡을 제거할 수 있다.

이 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)의 기준 평면으로부터의 돌출량의 하한으로서는, 플렉시블 프린트 기판 P가 대향하는 파지 디바이스(5)에 의한 파지 위치의 평균 간격의 0.1%가 바람직하고, 0.2%가 보다 바람직하다. 한편, 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)의 기준 평면으로부터의 돌출량의 상한으로서는, 플렉시블 프린트 기판 P가 대향하는 파지 디바이스(5)에 의한 파지 위치의 평균 간격의 1%가 바람직하고, 0.5%가 보다 바람직하다. 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)의 기준 평면으로부터의 돌출량이 상기 하한에 미치지 못하는 경우, 플렉시블 프린트 기판 P의 휨이나 굴곡을 충분히 제거하지 못할 우려가 있다. 반대로, 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)의 기준 평면으로부터의 돌출량이 상기 상한을 초과하는 경우, 플렉시블 프린트 기판 P에 과잉된 응력이 작용하여 플렉시블 프린트 기판 P를 손상시킬 우려가 있다. 또한, 「파지 위치의 평균 간격」이란, 대향하는 파지 디바이스(5)에 의한 파지 영역의 간격의 극소값의 평균을 의미하며, 파지 디바이스(5)에 의한 파지 영역의 간격이 극소로 되는 부분이 연속되는 경우에는, 간격의 극소값을 간격이 극소로 되는 부분의 길이로 가중 평균한 값(예를 들어 플렉시블 프린트 기판 P를 복수 쌍의 파지 디바이스(5) 사이에 끼워 넣어 보유 지지하는 경우, 각 쌍의 파지 디바이스(5)의 간격을, 파지 디바이스(5)의 유효 폭으로 가중치 부여한 평균값)을 의미하는 것으로 한다.

또한, 이 제1 압접 스텝에서는, 제1 전기 검사 헤드(1)의 압접에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P의 휨이나 굴곡을 제거할 때, 플렉시블 프린트 기판 P가 약간 위치 어긋나게 될 우려가 있다. 이 때문에, 이 제1 압접 스텝에 있어서는, 제1 전기 검사 헤드(1)를 플렉시블 프린트 기판 P의 도전 패턴의 배선 폭이 큰 쪽에 압접하는 것이 바람직하다.

(제2 압접 제어 요소)

제2 압접 제어 요소는, 제2 카메라(7)를 사용하여 플렉시블 프린트 기판 P의 위치 정보를 취득하는 스텝〔제2 위치 정보 취득 스텝〕과, 제2 구동 기구(4)를 사용하여 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부에 정면 대향하도록 평면 방향으로 위치 결정하는 스텝〔제2 평면 방향 위치 결정 스텝〕과, 제2 구동 기구(4)를 사용하여 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향으로 이동시켜 플렉시블 프린트 기판 P에 압접함으로써 제1 전기 검사 헤드(1)와의 사이에 플렉시블 프린트 기판 P를 끼움 지지하는 스텝〔제2 압접 스텝〕을 차례로 행하는 것이다.

〔제2 위치 정보 취득 스텝〕

제2 압접 제어 요소는, 제2 위치 정보 취득 스텝에 있어서, 제2 카메라(7)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P를 촬영하고, 촬영한 화상 데이터를 화상 처리함으로써, 제2 카메라(7)에 대한 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부의 평면 방향의 상대 위치를 특정한다. 이것에 의하여, 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부에 정면 대향시키기 위하여 필요한 평면 방향의 이동량을 산출한다.

〔제2 평면 방향 위치 결정 스텝〕

제2 압접 제어 요소는, 제2 평면 방향 위치 결정 스텝에 있어서, 제2 구동 기구(4)에 의하여, 제2 위치 정보 취득 스텝에서 산출한 필요한 이동량만큼 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P의 평면 방향으로 이동시킴으로써, 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P의 검사 대상부에 정면 대향시킨다.

〔제2 압접 스텝〕

제2 압접 제어 요소는, 제2 압접 스텝에 있어서, 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 구동 기구(4)에 의하여 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P에 압접하고, 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)과 제2 전기 검사 헤드(2)의 맞닿음면(11) 사이에 플렉시블 프린트 기판 P를 끼움 지지한다.

또한, 이 제2 압접 스텝은, 제1 압접 스텝에 있어서 플렉시블 프린트 기판 P의 휨이나 굴곡이 제거된 후에 행해지기 때문에, 플렉시블 프린트 기판 P가 거의 위치 어긋나게 되지 않는다. 이 때문에, 이 제2 압접 스텝에 있어서는, 제2 전기 검사 헤드(2)를 플렉시블 프린트 기판 P의 도전 패턴의 배선 폭이 작은 쪽의 면에 압접하는 것이 바람직하다.

즉, 플렉시블 프린트 기판 P의 휨이나 굴곡에 기인하여 프로브(9)의 맞닿음 위치가 약간 어긋날 우려가 있는 제1 압접 스텝에서는, 플렉시블 프린트 기판 P의 도전 패턴의 배선 폭이 큰 쪽의 면에 프로브(9)를 접촉시킴으로써, 프로브(9)의 맞닿음 위치의 어긋남에 의한 측정 불량을 억제할 수 있다. 한편, 플렉시블 프린트 기판 P의 휨이나 굴곡에 기인하는 프로브(9)의 맞닿음 위치의 어긋남이 발생하기 어려운 제2 압접 스텝에서는, 플렉시블 프린트 기판 P의 도전 패턴의 배선 폭이 작은 쪽의 면에 프로브(9)를 접촉시킴으로써, 측정 불량을 방지할 수 있다.

<이점>

당해 처리 장치는, 제1 전기 검사 헤드(1)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P를 그 법선 방향으로 압박하더라도, 파지부(12)가 회동하여, 파지부(12)의 에지에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P에 불필요한 굽힘 응력이나 전단 응력이 작용하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 당해 처리 장치는, 파지부(12)의 에지에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

이 때문에, 당해 처리 장치는, 파지 디바이스(5)의 파지부(12)에 의한 플렉시블 프린트 기판 P의 외연의 파지 위치의 두께 방향 중심을 포함하는 기준 평면보다도 제2 전기 검사 헤드(2)측으로 제1 전기 검사 헤드(1)의 맞닿음면(11)을 돌출시킴으로써, 플렉시블 프린트 기판 P를 손상시키지 않고 장력을 작용시켜 휨이나 굴곡을 제거할 수 있다. 이것에 의하여, 당해 처리 장치는, 플렉시블 프린트 기판 P에 대하여 제2 전기 검사 헤드(2)를 고정밀도로 압접하여, 플렉시블 프린트 기판 P의 전기적 특성을 비교적 정확하게 검사할 수 있다.

[제2 실시 형태]

도 5에 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 처리 장치의 구성을 도시한다. 도 5의 처리 장치는, 긴 대판형 플렉시블 워크인 플렉시블 프린트 기판 Pa에 펀칭 가공(천공)을 행하는 가공 장치이다.

당해 처리 장치는, 이격하여 대향하여 배치되며, 서로 접근하도록 이동 가능한 제1 가공 헤드인 다이(21) 및 제2 가공 헤드인 펀치(22)와, 이 다이(21) 및 펀치(22)를 각각 구동하는 제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)와, 플렉시블 프린트 기판 Pa의 외연을 파지하는 복수의 파지 디바이스(5a)와, 플렉시블 프린트 기판 Pa를 촬영하는 제1 카메라(6) 및 제2 카메라(7)와, 제1 구동 기구(3) 및 제2 구동 기구(4)를 제어하는 컨트롤러(8)를 구비한다. 상기 다이(21) 및 펀치(22)는 도 5에 도시한 바와 같이, 그들 사이에 플렉시블 프린트 기판 Pa가 배치되었을 때에, 플렉시블 프린트 기판 Pa의 표면에 맞닿도록 이동 가능하다.

도 5의 처리 장치에 있어서의 제1 구동 기구(3), 제2 구동 기구(4), 제1 카메라(6), 제2 카메라(7) 및 컨트롤러(8)는, 도 1의 처리 장치에 있어서의 제1 구동 기구(3), 제2 구동 기구(4), 제1 카메라(6), 제2 카메라(7) 및 컨트롤러(8)와 마찬가지로 할 수 있다. 이 때문에, 도 5의 처리 장치에 대하여, 도 1의 처리 장치와 중복되는 설명은 생략한다.

<플렉시블 프린트 기판>

당해 처리 장치에 의하여 구멍이 뚫리는 플렉시블 프린트 기판 Pa는, 릴형으로 권취되어 제공되고, 조출되어 길이 방향 일 단부측부터 순서대로 파지 디바이스(5a)에 보유 지지된 상태에서 다이(21) 및 펀치(22)에 의하여 관통 구멍이 형성되고, 릴형으로 권취된다.

<가공 헤드>

다이(21) 및 펀치(22)는, 이격하여 대향하도록 배치되며, 펀치(22)의 단면 형상이 다이(21)에 형성되는 펀치 구멍(23)과 합치되도록 형성된다. 당해 처리 장치는, 다이(21) 상에 플렉시블 프린트 기판 Pa를 배치한 상태에서, 펀치 구멍(23)에 펀치(22)를 삽입하도록 하여 플렉시블 프린트 기판 Pa에 구멍을 형성한다.

<파지 디바이스>

복수의 파지 디바이스(5a)는, 플렉시블 프린트 기판 Pa의 외연(양 측연)을 파지함으로써, 플렉시블 프린트 기판 Pa의 법선 방향의 위치를, 다이(21) 및 펀치(22)에 의한 가공 위치로 개략 유지한다.

각 파지 디바이스(5a)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 플렉시블 프린트 기판 Pa의 외연을 파지하는 파지부(12a)와, 파지부(12a)를 지지하는 지지부(13a)를 구비하고 있다. 파지 디바이스(5a)의 지지부(13a)는, 지지하는 파지부(12a)에 대하여 1자유도의 수동적인 운동 기구인 평행 이동 기구를 갖고 있다. 즉, 파지 디바이스(5a)에 있어서, 파지부(12a)는, 지지부(13a)에 의하여 평행 이동 가능하게 지지되어 있다.

(파지부)

파지부(12a)는, 지지부(13a)에 의하여 지지되는 클램프 베이스(14a)와, 이 클램프 베이스(14a)에 가동식으로 배치되고, 클램프 베이스(14a)와의 사이에 플렉시블 프린트 기판 Pa를 무는 클램프 아암(15)과, 이 클램프 아암(15)을 구동하는 액추에이터(16)를 구비하는 구성으로 할 수 있다. 도 6의 파지부(12a)의 플렉시블 프린트 기판 Pa를 파지하기 위한 구조로서는, 도 2의 파지부(12)의 플렉시블 프린트 기판 P를 파지하기 위한 구조와 마찬가지로 할 수 있다.

(지지부)

지지부(13a)는, 평행 이동 기구로서, 도시한 바와 같이, 리니어 가이드(24)(가이드 레일과 슬라이더의 조합)를 갖는 구성으로 할 수 있다. 리니어 가이드(24)는, 파지부(12a)를 플렉시블 프린트 기판 Pa의 법선 방향(펀치(22)의 동작 방향)으로 이동 가능하게 지지한다. 즉, 지지부(13a)의 평행 이동 기구에 의한 파지부(12a)의 평행 이동은, 플렉시블 프린트 기판 Pa의 법선 방향의 평행 이동이다.

또한, 지지부(13a)는, 파지부(12a)를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 갖는다. 지지부(13a)가 복원 기구를 가짐으로써, 파지하는 플렉시블 프린트 기판 P의 복수의 파지 디바이스(5a)의 파지부(12a)에 의하여 파지되는 부분의 표면을 동일한 평면 상에 배치하여, 플렉시블 프린트 기판 P에 불필요한 응력을 작용시키는 파지부(12a) 사이의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.

이 복원 기구로서는, 도시한 바와 같이, 파지부(12a)의 클램프 베이스(14a)를 리니어 가이드(24)에 따라 일 방향으로 평행 이동시키도록 압박하는 스프링(18a)과, 클램프 베이스(14a)와 맞닿아 스프링(18a)의 압박력에 대항하여 클램프 베이스(14a)의 평행 이동을 제지하는 스토퍼(19)를 갖는 구성으로 할 수 있다. 이러한 복원 기구는, 파지부(12a)를 초기 위치로부터 일방측으로만 이동 가능하게 한다. 이 파지부(12a)의 초기 위치로부터의 이동 가능 방향으로서는, 펀치(22)측으로 되며, 전형적으로는 상측으로 된다.

<이점>

당해 처리 장치는, 다이(21)에 의하여 플렉시블 프린트 기판 Pa를 그 법선 방향으로 압박하더라도, 파지부(12a)가 평행 이동함으로써, 파지부(12a)의 에지에 의하여 플렉시블 프린트 기판 Pa가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 당해 처리 장치는, 다이(21)의 맞닿음면을, 파지부(12a)에 의한 플렉시블 프린트 기판 Pa의 외연의 파지 위치의 두께 방향 중심을 포함하는 기준 평면보다도 펀치(22)측으로 돌출시키도록 압접함으로써, 플렉시블 프린트 기판 Pa에 장력을 작용시켜 휨이나 굴곡을 제거하여, 고정밀도로 펀칭 가공을 행할 수 있다.

[제3 실시 형태]

도 7에, 본 발명의 또 다른 실시 형태의 처리 장치에 따른 파지 디바이스(5b)를 도시한다. 이 파지 디바이스(5b)는, 도 1의 처리 장치의 파지 디바이스(5) 대신 사용함으로써, 도 1과는 상이한 실시 형태의 처리 장치를 구성한다.

<파지 디바이스>

복수의 파지 디바이스(5b)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지함으로써, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 위치를, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의한 검사 위치로 개략 유지한다.

파지 디바이스(5b)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지하는 파지부(12b)와, 파지부(12b)를 지지하는 지지부(13b)를 구비하고 있다. 파지 디바이스(5b)의 지지부(13b)는, 지지하는 파지부(12b)에 대하여 1자유도의 수동적인 운동 기구인 스윙 기구를 갖고 있다. 즉, 파지 디바이스(5b)에 있어서, 파지부(12b)는, 지지부(13b)에 의하여 스윙 가능하게 지지되어 있다.

(파지부)

파지부(12b)는, 지지부(13b)에 의하여 지지되는 클램프 베이스(14b)와, 이 클램프 베이스(14b)에 가동식으로 배치되고, 클램프 베이스(14b)와의 사이에 플렉시블 프린트 기판 P를 무는 클램프 아암(15)과, 이 클램프 아암(15)을 구동하는 액추에이터(16)를 구비하는 구성으로 할 수 있다. 도 7의 파지부(12b)의 플렉시블 프린트 기판 P를 파지하기 위한 구조로서는, 도 2의 파지부(12)의 플렉시블 프린트 기판 P를 파지하기 위한 구조와 마찬가지로 할 수 있다.

(지지부)

지지부(13b)는, 스윙 기구로서, 지지 축(17)을 중심으로 회동 가능하게 파지부(12b)의 클램프 베이스(14b)를 지지하는 구성을 갖는다. 지지 축(17)은, 파지부(12b)가 파지하는 플렉시블 프린트 기판 P의 측연과 평행으로 되도록, 클램프 아암(15)의 동작을 저해하지 않는 위치에 배치된다. 따라서, 지지부(13b)의 스윙 기구에 의한 파지부(12b)의 스윙은, 플렉시블 프린트 기판 P의 표면과 평행인, 보다 상세하게는 파지하는 부분의 측연과 평행인 지지 축(17)을 중심으로 하는 선회 동작이다.

또한, 지지부(13b)는, 파지부(12b)를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 갖는다. 이 복원 기구로서는, 도시한 바와 같이, 파지부(12b)의 클램프 베이스(14b)의 지지 축(17)에 수직인 방향으로 개구되도록 형성되는 오목부(25)에 스프링(26)에 의하여 걸림 결합편(27)을 압박하는 구성으로 할 수 있다.

오목부(25)는, 지지 축(17)으로부터 일정한 거리를 띄운 위치에 배치하면 된다. 걸림 결합편(27)은, 지지부(13b)에, 지지 축(17)과 수직인 방향(직경 방향)으로 이동 가능하게, 즉 지지 축(17)을 향하여 돌출 및 후퇴할 수 있도록 배치되면 된다. 또한, 스프링(26) 및 걸림 결합편(27)은, 지지부(13b)에 내장할 수 있다. 이러한 복원 기구는, 지지 축(17)을 중심으로 하여 파지부(12b)를 초기 위치로부터 어느 쪽 방향으로도 선회 가능하게 한다.

오목부(25)의 형상으로서는, 지지 축(17)에 수직인 단면 형상이 대략 V자형인 홈이 바람직하다. 이 V자형의 1쌍의 경사면 사이의 각도로서는 120° 이상 160° 이하로 할 수 있다. 또한, 스프링(25)으로서는, 압축 스프링을 사용할 수 있다. 또한, 걸림 결합편(27)은, 지지 축(17)에 직교하는 방향으로 이동 가능하게 되도록 지지부(13b)에 배치되며, 오목부(25)와 맞닿는 구면 또는 원통면을 갖는 부재로 할 수 있다.

이와 같은 구성에 의하여, 클램프 베이스(14b)의 선회에 의하여 오목부(25)의 경사면이 걸림 결합편(27)을 지지 축(17)으로부터 이격되는 방향으로 압출하여 스프링(26)을 압축하여 복원력을 축적할 수 있다. 이 상태에서, 클램프 베이스(14b)를 선회시키는 힘이 제거된 경우, 스프링(26)이 신장하여 걸림 결합편(27)에 의하여 오목부(25)의 경사면을 압박하여 클램프 베이스(14b)를 선회시킴으로써, 걸림 결합편(27)을 오목부(25) 내의 1쌍의 경사면의 양쪽과 맞닿게 한다. 이것에 의하여, 클램프 베이스(14b), 나아가서는 파지부(12b)를 초기 위치로 자동 복귀시킨다.

[제4 실시 형태]

도 8에, 본 발명의 또 다른 실시 형태의 처리 장치에 따른 파지 디바이스(5c)를 도시한다. 이 파지 디바이스(5c)는, 도 1의 처리 장치의 파지 디바이스(5) 대신 사용함으로써, 도 1과는 상이한 실시 형태의 처리 장치를 구성한다.

<파지 디바이스>

복수의 파지 디바이스(5c)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지함으로써, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 위치를, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의한 검사 위치로 개략 유지한다.

각 파지 디바이스(5c)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지하는 파지부(12c)와, 파지부(12c)를 지지하는 지지부(13c)를 구비하고 있다. 파지 디바이스(5c)의 지지부(13c)는, 지지하는 파지부(12c)에 대하여 1자유도의 수동적인 운동 기구인 평행 이동 기구를 갖고 있다. 즉, 파지 디바이스(5c)에 있어서, 파지부(12c)는, 지지부(13c)에 의하여 평행 이동 가능하게 지지되어 있다.

(파지부)

파지부(12c)는, 지지부(13c)에 의하여 지지되는 클램프 베이스(14c)와, 이 클램프 베이스(14c)에 가동식으로 배치되고, 클램프 베이스(14c)와의 사이에 플렉시블 프린트 기판 P를 무는 클램프 아암(15)과, 이 클램프 아암(15)을 구동하는 액추에이터(16)를 구비하는 구성으로 할 수 있다. 도 8의 파지부(12c)의 플렉시블 프린트 기판 P를 파지하기 위한 구조로서는, 도 2의 파지부(12)의 플렉시블 프린트 기판 P를 파지하기 위한 구조와 마찬가지로 할 수 있다.

(지지부)

지지부(13c)는, 평행 이동 기구로서, 도시한 바와 같이, 리니어 가이드(24)를 갖는 구성으로 할 수 있다. 리니어 가이드(24)는, 파지부(12c)를 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 즉, 지지부(13c)의 평행 이동 기구에 의한 파지부(12c)의 평행 이동은, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 평행 이동이다.

또한, 지지부(13c)는, 파지부(12c)의 초기 위치로부터 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향 양측으로의 평행 이동을 허용함과 함께, 파지부(12c)를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 갖는다. 이와 같이, 지지부(13c)가 복원 기구를 가짐으로써, 파지부(12c)의 에지에 의하여 플렉시블 프린트 기판 P에 플렉시블 워크가 손상되는 것을 억제할 수 있다.

이 복원 기구로서는, 도시한 바와 같이, 파지부(12c)의 클램프 베이스(14c)의 리니어 가이드(24)의 가동 방향에 수직인 방향으로 개구되도록 형성되는 오목부(25)에 스프링(26)에 의하여 걸림 결합편(27)을 압박하는 구성으로 할 수 있다. 도 8의 파지 디바이스(5c)에 있어서의 복원 기구의 오목부(25), 스프링(26) 및 걸림 결합편(27)의 구성으로서는, 도 7의 파지 디바이스(5b)에 있어서의 복원 기구의 오목부(25), 스프링(26) 및 걸림 결합편(27)의 구성과 마찬가지로 할 수 있다.

[제5 실시 형태]

도 9 내지 도 11에, 본 발명의 또 다른 실시 형태의 처리 장치에 따른 파지 디바이스(5d)를 도시한다. 이 파지 디바이스(5d)는, 도 1의 처리 장치의 파지 디바이스(5) 대신 사용함으로써, 도 1과는 상이한 실시 형태의 처리 장치를 구성한다.

<파지 디바이스>

복수의 파지 디바이스(5d)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지함으로써, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 위치를, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의한 검사 위치에 개략 유지한다.

파지 디바이스(5d)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지하는 파지부(12)와, 파지부(12)를 지지하는 지지부(13d)를 구비하고 있다. 파지 디바이스(5d)의 지지부(13d)는, 지지하는 파지부(12)에 대하여 2자유도의 수동적인 운동 기구인 스윙 기구를 갖고 있다. 즉, 파지 디바이스(5d)에 있어서, 파지부(12)는, 지지부(13d)에 의하여 2방향으로 스윙 가능하게 지지되어 있다. 또한, 도 9 내지 도 11의 파지 디바이스(5d)의 파지부(12)의 구성은, 도 2의 파지 디바이스(5)의 파지부(12)의 구성과 마찬가지로 할 수 있다. 이 때문에, 도 9 내지 도 11의 파지 디바이스(5d)의 파지부(12)의 구성 요소에는, 도 2의 파지 디바이스(5)의 구성 요소와 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

(지지부)

지지부(13d)는, 스윙 기구로서, 제1 지지 축(28)을 중심으로 회동 가능하게 파지부(12)의 클램프 베이스(14)를 지지하는 제1 지지 부재(29)와, 제2 지지 축(30)을 중심으로 회동 가능하게 상기 제1 지지 부재(29)를 지지하는 제2 지지 부재(31)를 갖는다.

제1 지지 축(28)은, 파지부(12)가 파지하는 플렉시블 프린트 기판 P의 측연과 평행으로 되도록 배치된다. 또한, 제2 지지 축(30)은, 플렉시블 프린트 기판 P와 평행이고 또한 제1 지지 축(28)과 수직으로 되도록 배치된다. 즉, 지지부(13d)의 스윙 기구에 의한 파지부(12)의 스윙은, 서로 직교하는 2방향의 스윙 동작이다.

또한, 지지부(13d)는, 파지부(12)를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 갖는다. 이 복원 기구로서는, 도시한 바와 같이, 파지부(12)의 클램프 베이스(14)를 제1 지지 축(28)의 둘레로 일 방향으로 회동시키도록 압박하는 제1 스프링(32)과, 제1 지지 부재(29)에 설치되고, 클램프 베이스(14)와 맞닿아 제1 스프링(32)의 압박력에 대항하여 클램프 베이스(14)의 회동을 제지하는 제1 스토퍼(33)와, 제1 지지 부재(29)를 제2 지지 축(30)의 둘레로 일 방향으로 회동시키도록 압박하는 제2 스프링(34)과, 제2 지지 부재(31)에 설치되고, 제1 지지 부재(29)와 맞닿아 제2 스프링(34)의 압박력에 대항하여 제1 지지 부재(29)의 회동을 제지하는 제2 스토퍼(35)를 갖는 구성으로 할 수 있다.

또한, 파지부(12)의 초기 위치를 조절 가능하게 하기 위하여, 클램프 베이스(14)의 제1 스토퍼(33)와 맞닿는 부분 또는 제1 스토퍼(33)에 제1 맞닿음 부재(36)를 설치하고, 제1 지지 부재(29)의 제2 스토퍼(35)와 맞닿는 부분 또는 제2 스토퍼(35)에 제2 맞닿음 부재(37)를 설치해도 된다.

[제6 실시 형태]

도 12에, 본 발명의 또 다른 실시 형태의 처리 장치에 따른 파지 디바이스(5e)를 도시한다. 이 파지 디바이스(5e)는, 도 1의 처리 장치의 파지 디바이스(5) 대신 사용함으로써, 도 1과는 상이한 실시 형태의 처리 장치를 구성한다.

<파지 디바이스>

복수의 파지 디바이스(5e)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지함으로써, 플렉시블 프린트 기판 P의 법선 방향의 위치를, 제1 전기 검사 헤드(1) 및 제2 전기 검사 헤드(2)에 의한 검사 위치로 개략 유지한다.

파지 디바이스(5e)는, 플렉시블 프린트 기판 P의 외연을 파지하는 파지부(12b)와, 파지부(12b)를 지지하는 지지부(13e)를 구비하고 있다. 파지 디바이스(5e)의 지지부(13e)는, 지지하는 파지부(12b)에 대하여 2자유도의 수동적인 운동 기구인 스윙 기구를 갖고 있다. 즉, 파지 디바이스(5e)에 있어서, 파지부(12b)는, 지지부(13e)에 의하여 2방향으로 스윙 가능하게 지지되어 있다. 또한, 도 12의 파지 디바이스(5e)의 파지부(12b)의 구성은, 도 7의 파지 디바이스(5b)의 파지부(12b)의 구성과 마찬가지로 할 수 있다. 이 때문에, 도 12의 파지 디바이스(5e)의 파지부(12b)의 구성 요소에는, 도 7의 파지 디바이스(5b)의 구성 요소와 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

(지지부)

지지부(13e)는, 스윙 기구로서, 제1 지지 축(28)을 중심으로 회동 가능하게 파지부(12b)의 클램프 베이스(14b)를 지지하는 제1 지지 부재(29e)와, 제2 지지 축(30)을 중심으로 회동 가능하게 상기 제1 지지 부재(29e)를 지지하는 제2 지지 부재(31e)를 갖는다.

제1 지지 축(28)은, 파지부(12b)가 파지하는 플렉시블 프린트 기판 P의 측연과 평행으로 되도록 배치된다. 또한, 제2 지지 축(30)은, 플렉시블 프린트 기판 P와 평행이고 또한 제1 지지 축(28)과 수직으로 되도록 배치된다. 즉, 지지부(13e)의 스윙 기구에 의한 파지부(12b)의 스윙은, 서로 직교하는 2방향의 스윙 동작이다.

또한, 지지부(13e)는, 파지부(12b)를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 갖는다. 이 복원 기구로서는, 도시한 바와 같이, 클램프 베이스(14b)의 제1 지지 축(28)에 수직인 방향으로 개구되도록 형성되는 제1 오목부(38)에 제1 스프링(39)에 의하여 제1 걸림 결합편(40)을 압박함과 함께, 제1 지지 부재(29e)의 제2 지지 축(30)에 수직인 방향으로 개구되도록 형성되는 제2 오목부(41)에 제2 스프링(42)에 의하여 제2 걸림 결합편(43)을 압박하는 구성으로 할 수 있다.

<처리 방법>

본 발명의 일 실시 형태에 따른 처리 방법은, 도 13에 도시한 바와 같이, 판형 플렉시블 워크의 외연을 복수의 파지부로 파지하는 공정<파지 공정>과, 상기 각 파지부를 지지하고, 상기 복수의 파지부를 1자유도 이상의 평행 이동 또는 스윙을 시키는 공정<평행 이동 또는 스윙 공정>을 주로 구비한다. 당해 처리 방법은, 판형 플렉시블 워크의 처리를 행하는 방법이며, 상술한 처리 장치를 사용하여 행할 수 있다. 상기 처리로서는, 특별히 한정되지 않지만, 판형 플렉시블 워크의 검사, 가공 등을 들 수 있다.

당해 처리 방법에 의하면, 상술한 공정을 구비함으로써, 플렉시블 워크의 처리 시에, 처리용 헤드(검사 헤드, 가공 헤드 등)의 플렉시블 워크에 대한 맞닿음 위치와 복수의 파지부에 의한 플렉시블 워크의 파지 위치의 플렉시블 워크의 법선 방향의 위치 어긋남을 흡수하여, 파지부의 에지에서 플렉시블 워크가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

<파지 공정>

파지 공정에서는, 복수의 파지부에 의해 판형 플렉시블 워크의 외연을 파지한다. 이에 의해, 판형 플렉시블 워크의 법선 방향의 위치가, 처리용 헤드에 의한 처리 위치에 개략 유지된다.

<평행 이동 또는 스윙 공정>

평행 이동 또는 스윙 공정에서는, 상기 각 파지부를 지지하고, 상기 복수의 파지부를 1자유도 이상의 평행 이동 또는 스윙을 시킨다. 이 공정에 의해, 처리 시에 처리용 헤드의 플렉시블 워크에 대한 맞닿음 위치와 복수의 파지부에 의한 플렉시블 워크의 파지 위치의 플렉시블 워크의 법선 방향의 위치 어긋남이 흡수된다.

당해 처리 방법에 의하면, 이와 같이 플렉시블 워크의 법선 방향의 위치 어긋남이 흡수된 상태에서 플렉시블 워크에 대한 처리가 행하여진다.

[그 외의 실시 형태]

상기 실시 형태는, 본 발명의 구성을 한정하는 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태는, 본 명세서의 기재 및 기술 상식에 기초하여 상기 실시 형태의 각 부의 구성 요소의 생략, 치환 또는 추가가 가능하며, 그들은 모두 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.

당해 처리 장치의 지지부는, 파지부를 3자유도 이상의 자유도로 지지하도록 구성되어도 된다.

당해 처리 장치에 있어서, 복원 기구는 생략해도 된다.

당해 처리 장치는, 플렉시블 워크에 대하여 검사 또는 가공을 하는 수단을 더 구비해도 된다.

당해 처리 장치는, 전기 검사 헤드를 사용하는 전기 검사 이외의, 예를 들어 광학 센서를 사용하는 검사 등을 행하는 검사 장치여도 되고, 천공 이외의, 예를 들어 레이저 가공 등을 행하는 가공 장치여도 된다. 또한, 전기 검사 장치의 실시 형태의 파지 디바이스의 구성을 가공 장치에 적용해도 되고, 가공 장치의 실시 형태의 파지 디바이스의 구성을 검사 장치에 적용해도 된다.

본 발명에 따른 처리 장치는, 가요성 또는 굴곡성을 가져서, 휨이나 굴곡을 발생할 수 있는 플렉시블 워크의 검사, 가공 등에 적합하게 이용할 수 있다.

1: 제1 전기 검사 헤드
2: 제2 전기 검사 헤드
3: 제1 구동 기구
4: 제2 구동 기구
5, 5a, 5b, 5c, 5d, 5e: 파지 디바이스
6: 제1 카메라
7: 제2 카메라
8: 컨트롤러
9: 프로브
10: 가이드 플레이트
11: 맞닿음면
12, 12a, 12b, 12c: 파지부
13, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e: 지지부
14, 14a, 14b, 14c: 클램프 베이스
15: 클램프 아암
16: 액추에이터
17: 지지 축
18, 18a: 스프링
19: 스토퍼
20: 맞닿음 부재
21: 다이
22: 펀치
23: 펀치 구멍
24: 리니어 가이드
25: 오목부
26: 스프링
27: 걸림 결합편
28: 제1 지지 축
29, 29e: 제1 지지 부재
30: 제2 지지 축
31, 31e: 제2 지지 부재
32: 제1 스프링
33: 제1 스토퍼
34: 제2 스프링
35: 제2 스토퍼
36: 제1 맞닿음 부재
37: 제2 맞닿음 부재
38: 제1 오목부
39: 제1 스프링
40: 제1 걸림 결합편
41: 제2 오목부
42: 제2 스프링
43: 제2 걸림 결합편
P, Pa: 플렉시블 프린트 기판

Claims

판형 플렉시블 워크의 외연을 파지하는 복수의 파지부와,
상기 각 파지부를 지지하고, 지지하는 파지부에 대하여 1자유도 이상의 평행 이동 기구 또는 스윙 기구를 갖는 지지부
를 구비하는 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 지지부가 상기 플렉시블 워크를 그 표면의 법선 방향으로 평행 이동시키는 평행 이동 기구를 갖는 처리 장치.
제2항에 있어서,
상기 평행 이동 기구가 1자유도의 운동 기구인 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 지지부가 상기 플렉시블 워크를 그 표면과 평행인 축 중심으로 선회시키는 스윙 기구를 갖는 처리 장치.
제4항에 있어서,
상기 스윙 기구가 2자유도의 운동 기구인 처리 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지부가 지지하는 파지부를 초기 위치로 자동 복귀시키는 복원 기구를 더 갖는 처리 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플렉시블 워크를 검사 또는 가공하기 위하여 사용되는 처리 장치.
제7항에 있어서,
상기 플렉시블 워크의 표면과 맞닿도록 이동 가능하게 구성되는 검사 헤드 또는 가공 헤드를 더 구비하는 처리 장치.
제7항에 있어서,
상기 플렉시블 워크에 대하여 검사 또는 가공을 하는 수단을 더 구비하는 처리 장치.
판형 플렉시블 워크의 외연을 복수의 파지부로 파지하는 공정과,
상기 각 파지부를 지지하고, 상기 복수의 파지부를 1자유도 이상의 평행 이동 또는 스윙을 시키는 공정
을 구비하는 처리 방법.