JP6564345B2 - 電気検査方法及び電気検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気検査方法及び電気検査装置に関する。

プリント基板の製造現場では、複数のプローブ（電気接触子）を有する電気検査ヘッドをプリント基板に圧接し、プローブをプリント基板の測定点に接触させてプリント基板の電気的な特性を検査する電気検査装置が使用されている。従来の電気検査装置では、検査するプリント基板に反りやうねりがあると、電気検査ヘッドを圧接する際にプリント基板が位置ずれする場合がある。

そこで、例えば特開２０１０−２３７０６１公報には、プローブを案内する複数の貫通孔を有し、基板の一部の領域に圧接されるトレイ（板状体）を用いる電気検査装置が提案されている。前記公報には、基板の一部の領域を圧接することにより、基板全体を圧接する場合に比べて基板の位置ずれを抑制できると記載されている。

近年、プリント基板の配線密度がますます大きくなっており、前記公報に記載されるようにプリント基板の比較的小さい領域に板状体を圧接する場合でも、プリント基板の反りやうねりに起因する位置ずれにより、プローブがプリント基板の測定点から外れてプリント基板の特性を正確に検査できないことがある。

特開２０１０−２３７０６１公報

前記不都合に鑑みて、本発明は、プリント基板の特性を比較的確実に検査できる電気検査方法及び電気検査装置を提供することを課題とする。

前記課題を解決するためになされた発明は、プリント基板と当接する当接面に複数のプローブが配設されている第１電気検査ヘッド及び第２電気検査ヘッドでプリント基板を挟み込むことにより、前記複数のプローブをプリント基板の導電パターンに当接させる電気検査方法であって、前記プリント基板の外縁部を把持する把持工程と、前記第１電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接する第１圧接工程と、前記第１圧接工程後に第２電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接する第２圧接工程とを備え、前記第１圧接工程でプリント基板の外縁部の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面より第２電気検査ヘッド側に第１電気検査ヘッドの当接面を突出させることを特徴とする電気検査方法である。

前記第１電気検査ヘッドをプリント基板の導電パターンの配線幅が大きい側に圧接するとよい。

前記第１圧接工程での第１電気検査ヘッドの当接面の基準平面からの突出量としては、対向する把持位置の平均間隔の０．１％以上１％以下が好ましい。

前記課題を解決するためになされた別の発明は、プリント基板と当接する当接面に複数のプローブが配設され、プリント基板を挟み込む第１電気検査ヘッド及び第２電気検査ヘッドと、前記第１電気検査ヘッド及び第２電気検査ヘッドを駆動する第１駆動機構及び第２駆動機構と、前記プリント基板の外縁部を把持する把持機構と、前記第１駆動機構及び第２駆動機構を制御するコントローラーとを備え、前記コントローラーが、前記第１電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接するよう第１駆動機構を制御する第１圧接制御要素と、前記第１電気検査ヘッドの位置決め及び圧接後に、第２電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接するよう第２駆動機構を制御する第２圧接制御要素とを有し、前記第１圧接制御要素が、プリント基板の外縁部の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド側に第１電気検査ヘッドの当接面を突出させるよう構成されることを特徴とする電気検査装置である。

本発明の電気検査方法及び電気検査装置は、プリント基板の外縁部の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド側に第１電気検査ヘッドの当接面を突出させることによりプリント基板に張力を作用させて反りやうねりを除去した状態で、第２電気検査ヘッドを押圧するので、特に第２電気検査ヘッドをプリント基板に対して正確に位置決めして圧接することができる。このため、当該電気検査方法及び電気検査装置は、プリント基板の特性を比較的確実に検査できる。

本発明の一実施形態の電気検査装置の構成を示す模式図である。 図１の電気検査装置のコントローラーの第１圧接制御要素による制御時の様子を示す模式図である。 図１の電気検査装置のコントローラーの第２圧接制御要素による制御時の様子を示す模式図である。 図１の電気検査装置を用いる電気検査方法の手順を示すフローチャートである。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。

［電気検査装置］
図１に示す本発明の一実施形態に係る電気検査装置は、可撓性を有し、反りやうねりが生じ得るプリント基板Ｐの電気的特性を検査することができる。

当該電気検査装置は、プリント基板Ｐを挟み込む第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と、この第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ駆動する第１駆動機構３及び第２駆動機構４と、プリント基板Ｐの外縁部を把持する把持機構５と、プリント基板Ｐを撮影する第１カメラ６及び第２カメラ７と、第１駆動機構３及び第２駆動機構４を制御するコントローラー８とを備える。

また、当該電気検査装置は、各構成要素を支持する不図示のフレーム等をさらに備えることができる。

＜プリント基板＞
当該電気検査装置により電気的特性を検査するプリント基板Ｐとしては、典型的には、平面視方形状の可撓性を有するシート状の基材の上に複数の機能部が形成され、最終的に各機能部を含む部分を切り出して複数の電子部品を得るものが想定される。

このようなプリント基板Ｐは、個々の機能部又は少数の機能部を含む比較的小さい領域が第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって検査される検査対象部とされる。換言すると、プリント基板Ｐは、複数の検査対象部を有する。このため、プリント基板Ｐは、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって場所を変えて繰り返し挟持されて、各検査対象部の電気的特性が順番に検査される。

＜電気検査ヘッド＞
第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、プリント基板Ｐを挟んで対向するよう配設され、複数のプローブ９と、この複数のプローブ９がそれぞれ挿入される複数のガイド孔を有するガイドプレート１０とをそれぞれ有する。

（プローブ）
複数のプローブ９は、ガイドプレート１０に垂直、かつそれぞれの先端がガイドプレート１０から僅かに突出するよう保持される。また、複数のプローブ９は、プリント基板Ｐの導電パターンの所定の測定点に当接できるよう配置される。

（ガイドプレート）
ガイドプレート１０は、絶縁性を有する材料から形成され、プリント基板Ｐに対向し、電気検査の際にプリント基板と当接する平坦な当接面１１を有する。

また、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、複数のプローブ９を介してプリント基板Ｐの電気的特性を測定するための回路を有するものとすることが好ましい。つまり、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、プリント基板Ｐの電気的特性を測定し、測定結果を比較的少数の配線を介してコントローラー８に出力することができるような測定回路を有するとよい。

さらに、後で詳しく説明するように先にプリント基板Ｐに圧接される第１電気検査ヘッド１は、プリント基板Ｐの表裏面のうち導電パターンの配線幅が相対的に大きい側の面に圧接されることが好ましい。逆に言うと、当該電気検査装置を使用するときは、プリント基板Ｐを導電パターンの配線幅が大きい側が第１電気検査ヘッド１に対向するよう配置することが好ましい。

また、当該電気検査装置では、後述するように、第１電気検査ヘッド１によりプリント基板Ｐに張力を付与することでプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に重力によってプリント基板Ｐが当接面１１に密着しやすいよう、第１電気検査ヘッド１が第２電気検査ヘッド２の下方に配置されることが好ましい。換言すると、当該電気検査装置では、プリント基板Ｐが略水平に保持され、第１電気検査ヘッド１がプリント基板Ｐに下方から圧接され、第２電気検査ヘッド２がプリント基板Ｐに上方から圧接されるものであることが好ましい。

＜駆動機構＞
第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の３次元の位置決めを行うことができるものであればよく、さらにプリント基板Ｐの法線方向の軸を中心に第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の回転位置決めを行うことができるものが好ましい。

第１駆動機構３及び第２駆動機構４としては、多関節ロボットを用いてもよいが、コスト及び占有スペースが比較的小さい直交座標型駆動システムを採用することが好ましい。この直交座標型駆動システムとしては、プリント基板Ｐの平面方向に２軸の位置決めが可能な直交座標型ロボットと、この直交座標型ロボットの末端に配設される昇降デバイスと、この昇降デバイスにより昇降可能に保持され、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ回転位置決め可能に保持する回転位置決めデバイスとを備える構成とすることができる。

また、第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりプリント基板Ｐを挟持する際、プリント基板Ｐに作用する圧接力を適正化できるよう、プリント基板Ｐの法線方向に弾性変形する緩衝部を有してもよい。

＜把持機構＞
把持機構５は、プリント基板Ｐの外縁部を把持することにより、プリント基板Ｐを法線方向に第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による挟持位置に概略保持する。

この把持機構としては、例えばプリント基板の周縁を全周に亘って挟持する１対の枠体、プリント基板Ｐの四辺をそれぞれ連続的に把持する幅広の４つのクリップ、プリント基板Ｐの四辺にそれぞれ間隔を空けて複数配設される多数のクリップ等を用いることができる。

＜カメラ＞
第１カメラ６及び第２カメラ７は、プリント基板Ｐの位置情報を取得するために、プリント基板Ｐの画像を撮影し、後述するコントローラー８に画像データを提供する。

第１カメラ６及び第２カメラ７は、当該電気検査装置の不図示のフレーム等に保持されてもよいが、第１駆動機構３及び第２駆動機構４によって第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に少なくともプリント基板Ｐの平面方向に移動可能に保持されるとよい。第１カメラ６及び第２カメラ７を第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に移動させることにより画像処理の範囲を限定し、必要とされるカメラの画素数及びコントローラーの演算能力が比較的小さくなるので、当該電気検査装置を比較的安価にできると共に、プリント基板Ｐの検査サイクルを短縮することができる。

第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データは、コントローラー８において公知の画像処理技術によって解析され、プリント基板Ｐの検査対象部の特徴点の座標を特定するために用いられる。具体的には、第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データから、第１カメラ６又は第２カメラ７とプリント基板Ｐの検査対象部との相対位置、ひいてはプリント基板Ｐの検査対象部の絶対位置が特定される。

なお、第１カメラ６及び第２カメラ７によってプリント基板Ｐのディジタル画像を撮影する際、第１カメラ６及び第２カメラ７のプリント基板Ｐの法線方向の位置（プリント基板Ｐからの離間距離）を一定にすることによって、第１カメラ６及び第２カメラ７とプリント基板Ｐの検査対象部との平面方向の相対位置を比較的容易に算出することができる。

画像処理において抽出する特徴点は、プリント基板Ｐの導電パターンの中で予め設定される特徴的な形状の部分であってもよく、プロント基板Ｐに画像処理専用に設けられるマーキングであってもよい。

＜コントローラー＞
コントローラー８としては、例えばプログラマブルロジックコントローラー、パーソナルコンピューター等が用いられる。

コントローラー８は、第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第１駆動機構３を制御する第１圧接制御要素と、第１電気検査ヘッド１の位置決め及び圧接後に、第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第２駆動機構４を制御する第２圧接制御要素とを有する。

前記第１圧接制御要素及び第２圧接制御要素は、例えばパートプログラム、サブルーチン等のソフトウェアによって実現することができる。

（第１圧接制御要素）
第１圧接制御要素は、第１カメラ６を用いてプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第１位置情報取得ステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第１平面方向位置決めステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐの法線方向に移動させてプリント基板Ｐに圧接するステップ〔第１圧接ステップ〕とを順番に行うものである。

〔第１位置情報取得ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１位置情報取得ステップにおいて、第１カメラ６によりプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第１カメラ６に対するプリント基板Ｐの測定対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐの測定対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。

〔第１平面方向位置決めステップ〕
第１圧接制御要素は、第１平面方向位置決めステップにおいて、第１駆動機構３により、第１位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。

〔第１圧接ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１圧接ステップにおいて、第１電気検査ヘッド１の当接面１１をプリント基板Ｐに圧接することにより、第１電気検査ヘッド１の複数のプローブ９をプリント基板Ｐの一方の面の複数の測定点に圧接する。

また、第１圧接ステップでは、図２に示すように、把持機構５によるプリント基板Ｐの外縁部の各把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させる。

このように第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることによって、プリント基板Ｐに張力が作用することで、プリント基板Ｐの測定対象部が第１電気検査ヘッド１の当接面１１に密着する。つまり、第１圧接制御要素は、第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることにより、プリント基板Ｐの測定対象部を当接面１１に沿う平板状に引き延ばすことで反りやうねりを除去することができる。

この第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の下限としては、プリント基板Ｐの把持機構５による対向する把持位置の平均間隔の０．１％が好ましく、０．２％がより好ましい。一方、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の上限としては、プリント基板Ｐの把持機構５による対向する把持位置の平均間隔の１％が好ましく、０．５％がより好ましい。第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記下限に満たない場合、プリント基板Ｐの反りやうねりを十分に除去できないおそれがある。逆に、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記上限を超える場合、プリント基板Ｐに過剰な応力が作用してプリント基板Ｐを損傷するおそれがある。なお、「把持位置の平均間隔」とは、対向する把持領域の間隔の極小値の平均を意味し、把持領域の間隔が極小となる部分が連続する場合には間隔の極小値を間隔が極小となる部分の長さで加重平均した値（例えばプリント基板Ｐの各片を平行な棒状の部材で挟み込んで保持する場合、棒状の部材の間隔を長さで重み付けした平均値）を意味するものとする。

また、この第１圧接ステップでは、第１電気検査ヘッド１の圧接によりプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に、プリント基板Ｐが僅かに位置ずれするおそれがある。このため、この第１圧接ステップにおいては、第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側に圧接することが好ましい。

（第２圧接制御要素）
第２圧接制御要素は、第２カメラ７を用いてプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第２位置情報取得ステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第２平面方向位置決めステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの法線方向に移動させてプリント基板Ｐに圧接することで、第１電気検査ヘッド１との間にプリント基板Ｐを挟持するステップ〔第２圧接ステップ〕とを順番に行うものである。

〔第２位置情報取得ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２位置情報取得ステップにおいて、第２カメラ７によりプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第２カメラ７に対するプリント基板Ｐの測定対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの測定対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。

〔第２平面方向位置決めステップ〕
第２圧接制御要素は、第２平面方向位置決めステップにおいて、第２駆動機構３により、第２位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。

〔第２圧接ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２圧接ステップにおいて、図３に示すように、第２駆動機構４により第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐに圧接し、第１電気検査ヘッド１の当接面１１と第２電気検査ヘッド２の当接面１１との間にプリント基板Ｐを挟持する。

また、この第２圧接ステップは、第１圧接ステップにおいてプリント基板Ｐの反りやうねりが除去された後に行われるため、プリント基板Ｐが殆ど位置ずれしない。このため、この第２圧接ステップにおいては、第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側に圧接することが好ましい。

つまり、プリント基板Ｐの反りやうねりに起因してプローブ９の当接位置が僅かにずれるおそれがある第１圧接ステップでは、プリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側の面にプローブ９を当接させることで、プローブ９の当接位置のずれによる測定不良を抑制することができる。一方、プリント基板Ｐの反りやうねりに起因するプローブ９の当接位置のずれが生じ難い第２圧接ステップでは、プリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側の面にプローブ９を当接させることで、測定不良を防止することができる。

［電気検査方法］
本発明の実施形態に係る電気検査方法は、図１の電気検査装置を用いて行うことができる。

当該電気検査方法は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２でプリント基板Ｐを挟み込むことにより、複数のプローブ９をプリント基板Ｐの導電パターンの測定点に当接させることによって、プリント基板Ｐの電気的特性を検査する方法である。

当該電気検査方法は、図４に示すように、把持機構５でプリント基板Ｐの外縁部を把持する工程＜ステップＳ１：把持工程＞と、第１電気検査ヘッド１をプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接する工程＜ステップＳ２：第１圧接工程＞と、第１圧接工程後に第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接する工程＜ステップＳ３：第２圧接工程＞と、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりプリント基板Ｐの各部の電気的特性を測定する工程＜ステップＳ４：測定工程＞とを備える。

また、当該電気検査方法は、ステップＳ４の測定工程後に第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐから離間させる工程＜ステップＳ５：離間工程＞を備える。この離間工程により、当該電気検査装置は、前記把持工程から測定工程までを再度行うことが可能となる。つまり、当該電気検査装置を用いる検査方法は、ステップＳ２の第１圧接工程、ステップＳ３の第２圧接工程及びステップＳ４の測定工程を再度行うことができる。

つまり、当該電気検査方法は、同一のプリント基板Ｐに対して、ステップＳ２の第１圧接工程、ステップＳ３の第２圧接工程及びステップＳ４の測定工程及びステップＳ５の離間工程を測定対象部を変えながら繰り返して行うことで、プリント基板Ｐの全ての測定対象部の電気的特性を順に検査することが好ましい。

ステップＳ１の把持工程は、自動化してもよいが、自動化には過大な設備コストが必要となるため、オペレーターがマニュアルで行ってもよい。一方、ステップＳ２の第１圧接工程、ステップＳ３の第２圧接工程、ステップＳ４の測定工程及びステップＳ５の離間工程は、コントローラー８によって自動的に行われることが好ましい。

＜把持工程＞
ステップＳ１の把持工程では、把持機構５によってプリント基板Ｐの外縁部を把持させることで、プリント基板Ｐの厚さ方向中心を略基準平面上に保持する。

＜第１圧接工程＞
ステップＳ２の第１圧接工程では、コントローラー８の第１圧接制御要素によって、第１カメラ６及び第１駆動機構３を用いて、上述の第１位置情報取得ステップ、第１平面方向位置決めステップ及び第１圧接ステップを行う。

これにより、第１電気検査ヘッド１の複数のプローブ９をプリント基板Ｐの一方の面の複数の測定点に当接させると共に、プリント基板Ｐの反りやうねりを取り除く。

＜第２圧接工程＞
ステップＳ３の第２圧接工程では、コントローラー８の第２圧接制御要素によって、第２カメラ７及び第２駆動機構４を用いて、上述の第２位置情報取得ステップ、第２平面方向位置決めステップ及び第２圧接ステップを行う。

＜測定工程＞
ステップＳ４の測定工程では、例えば複数のプローブ９間に電圧を印可して電流値を測定する等の方法により、プリント基板Ｐの回路の各部の電気的特性をそれぞれ測定する。

＜離間工程＞
ステップＳ５の離間工程では、第１駆動機構３及び第２駆動機構４により、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐから離間させる。

＜利点＞
当該電気検査装置及び当該電気検査方法は、プリント基板Ｐの外縁部の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させることにより、プリント基板Ｐに張力を作用させて反りやうねりを除去することができる。また、当該電気検査装置及び当該電気検査方法は、第１電気検査ヘッド１の圧接によりプリント基板Ｐの反りやうねりを除去した状態で、第２電気検査ヘッド２を押圧するので、特に第２電気検査ヘッド２の複数のプローブ９をプリント基板Ｐの測定点に対してより正確に位置決めして圧接することができる。このため、当該電気検査方法及び電気検査装置は、プリント基板Ｐの特性を比較的確実に検査することができる。

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。

当該電気検査装置は、第２電気検査ヘッド側にのみカメラを備え、このカメラを用いて取得した位置情報に基づいて第１電気検査ヘッドをプリント基板に対して位置決めしてもよい。

当該電気検査装置及び当該電気検査方法により検査するプリント基板は、表裏で粗密の差がないものであってもよく、一方の面にのみ導電パターンを有する片面基板であってもよい。片面基板の検査をする場合には、第１電気検査ヘッドをプリント基板の導電パターンがない側の面に圧接するとよい。

本発明に係る電気検査装置は、可撓性を有し、反りやうねりを生じ得るプリント基板の電気検査に好適に利用することができる。

１ 第１電気検査ヘッド
２ 第２電気検査ヘッド
３ 第１駆動機構
４ 第２駆動機構
５ 把持機構
６ 第１カメラ
７ 第２カメラ
８ コントローラー
９ プローブ
１０ ガイドプレート
１１ 当接面
Ｐ プリント基板
Ｓ１ 把持工程
Ｓ２ 第１圧接工程
Ｓ３ 第２圧接工程
Ｓ４ 測定工程
Ｓ５ 離間工程

Claims (4)

1. プリント基板と当接する当接面に複数のプローブが配設されている第１電気検査ヘッド及び第２電気検査ヘッドでプリント基板を挟み込むことにより、前記複数のプローブをプリント基板の導電パターンに当接させる電気検査方法であって、
   前記プリント基板の外縁部を把持する把持工程と、
   前記第１電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接する第１圧接工程と、
   前記第１圧接工程後に第２電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接する第２圧接工程と
   を備え、
   前記第１圧接工程において、プリント基板の外縁部の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面より第２電気検査ヘッド側に第１電気検査ヘッドの当接面を突出させ、プリント基板を当接面に沿う平板状に引き延ばし、プリント基板の反り及び／又はうねりを除去し、
   前記第２圧接工程において、前記第２電気検査ヘッドを、前記第１圧接工程において反り及び／又はうねりが除去されたプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接することを特徴とする電気検査方法。
2. 前記第１電気検査ヘッドをプリント基板の導電パターンの配線幅が大きい側に圧接する請求項１に記載の電気検査方法。
3. 前記第１圧接工程での第１電気検査ヘッドの当接面の基準平面からの突出量が対向する把持位置の平均間隔の０．１％以上１％以下である請求項１又は請求項２に記載の電気検査方法。
4. プリント基板と当接する当接面に複数のプローブが配設され、プリント基板を挟み込む第１電気検査ヘッド及び第２電気検査ヘッドと、
   前記第１電気検査ヘッド及び第２電気検査ヘッドを駆動する第１駆動機構及び第２駆動機構と、
   前記プリント基板の外縁部を把持する把持機構と、
   前記第１駆動機構及び第２駆動機構を制御するコントローラーと
   を備え、
   前記コントローラーが、
   前記第１電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接するよう第１駆動機構を制御する第１圧接制御要素と、
   前記第１電気検査ヘッドの位置決め及び圧接後に、第２電気検査ヘッドをプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接するよう第２駆動機構を制御する第２圧接制御要素と
   を有し、
   前記第１圧接制御要素が、プリント基板の外縁部の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド側に第１電気検査ヘッドの当接面を突出させ、プリント基板を当接面に沿う平板状に引き延ばし、プリント基板の反り及び／又はうねりを除去するよう構成され、
   前記第２圧接制御要素が、第２電気検査ヘッドを前記反り及び／又はうねりが除去されたプリント基板に対して平面方向に位置決めして法線方向に圧接するよう第２駆動機構を制御することを特徴とする電気検査装置。
   

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