KR20160104601A - 자기 어닐링 장치 - Google Patents

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magnetic
magnetic annealing
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유지 오노
도루 이시이
마코토 사이토
미츠루 오바라
야스시 다케우치
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 다수 매의 웨이퍼를 연속적으로 처리할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이러한 자기 어닐링 장치는, 한 그룹의 피처리체를 수납한 수납 용기를 반송하는 수납 용기 반송 영역과, 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 영역이 개폐 도어를 사이에 두고 형성되고, 제어부를 갖는 자기 어닐링 장치로서, 상기 수납 용기 반송 영역에는, 이 자기 어닐링 장치에 반입되는 수납 용기를 배치하는 제1 배치대와, 상기 개폐 도어를 통해 상기 수납 용기 반송 영역으로부터 상기 피처리체 반송 영역으로 기밀하게 상기 피처리체를 반송하기 위해 상기 수납 용기를 배치하는 복수의 제2 배치대와, 복수의 상기 수납 용기를 보관하는 보관부와, 상기 제1 배치대, 상기 제2 배치대 및 상기 보관부 사이에서 상기 수납 용기를 반출입하는 수납 용기 반송 기구가 배치되며, 상기 피처리체 반송 영역에는, 복수의 상기 피처리체의 위치 맞춤을 행하는 얼라이너와, 복수 그룹의 상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와, 상기 제2 배치대에 배치된 수납 용기, 상기 얼라이너 및 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와, 상기 피처리체를 가열하는 가열 수단과, 상기 피처리체에 자계를 인가하는 횡형 초전도 자석을 갖는 자계 발생 수단과, 상기 피처리체 유지구에 유지된 상기 피처리체를 상기 자계 발생 수단 내로 트랜스퍼하는 트랜스퍼 기구가 배치된 것이다.
또한, 본 발명은 효율적으로 웨이퍼를 자기 어닐링 장치로 반입할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이러한 자기 어닐링 장치는, 자계 발생 수단으로서 횡형의 초전도 자석을 이용하여, 피처리체를 자기 어닐링 처리하는 자기 어닐링 장치로서, 상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와, 상기 피처리체를 수납하는 수납 용기와 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와, 상기 피처리체 유지구에 접속부를 통해 접속되고, 상기 피처리체를 상기 피처리체 반송 기구로 반송할 때의 제1 위치와, 상기 피처리체를 자기 어닐링 처리할 때의 제2 위치와의 사이에서, 상기 피처리체 유지구를 트랜스퍼할 수 있는 트랜스퍼 기구를 구비하고, 상기 접속부는, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절할 수 있는 각도 조절부를 갖는 것이다.

Description

자기 어닐링 장치{MAGNETIC ANNEALING APPARATUS}
본 발명은 자기 어닐링 장치에 관한 것이다.
최근, 차세대 반도체 메모리 디바이스로서, 불휘발성 메모리의 하나인 MRAM(Magnetic Random Access Memory)이 주목받고 있다. MRAM은, 예컨대 반도체 웨이퍼(이후, 웨이퍼)인 피처리체 상에 형성된 자성체막을 강자장 속에서 열처리(자기 어닐링)하여, 그 자기 특성을 발현시킴으로써 제조된다.
예컨대 특허문헌 1에서는, 자기 어닐링하기 위한 자장 발생 수단으로서, 솔레노이드형의 자석을 사용한 설치 면적이 비교적 작은 자기 어닐링 장치가 개시되어 있다.
특허문헌 1 : 일본 특허공개 2004-263206호 공보
그러나, 특허문헌 1 등의 자기 어닐링 장치는 HDD(hard disk drive)용 또는 MRAM의 연구 개발용 소규모 장치이다. 앞으로 예상되는 MRAM의 시장 규모를 감안하면, 다수 매, 예컨대 100장의 웨이퍼를 (반)연속적으로 처리하는 것이 가능한 자기 어닐링 장치의 개발이 요구되고 있다.
단위 시간당 웨이퍼의 처리 매수를 향상시키기 위해서는 다수 매의 웨이퍼를 일괄 처리할 수 있을 뿐만 아니라, 다음 배치(batch)분의 웨이퍼를 단시간에 자기 어닐링 장치 내에 받아들이는 것이 가능한 장치 구성이 필요하여 진다.
상기한 과제와 관련하여서는, 다수 매의 웨이퍼를 연속적으로 자기 어닐링 처리할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 일반적으로, 반도체 디바이스용의 자기 어닐링 장치에 사용되는 초전도 자석은, 누설 자장을 억제하는 부재가 설치되기 때문에, 중량 및 점유 면적이 커지는 경향이 있다. 또한, 자기 어닐링 처리의 처리 효율이라는 관점에서, 단위시간당 웨이퍼의 처리 매수를 향상시키기 위해서는, 자기 어닐링 처리를 실시하는 초전도 자석을 대형화하는 것을 고려할 수 있다.
초전도 자석을 대형화하는 경우, 설치상의 제한 때문에, 초전도 자석을 대략 횡방향으로 배치하는 것이 바람직하다. 그러나, 대형의 자기 어닐링 장치를 횡방향으로 설치하는 경우, 초전도 자석의 축이 수평으로 되지 않는 경우가 있다. 특히, 자기 어닐링 처리시에 있어서는, 웨이퍼면과 자력선과의 사이의 위치 맞춤 정밀도에 대한 요구가 매우 크다. 이 때문에, 설치시의 솔레노이드형 자석의 축 방향이 수평에서 틀어져 있는 경우, 이 틀어짐에 따라서, 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지구를 초전도 자석으로 반송하는 트랜스퍼 기구를 경사지게 할 필요가 있다.
그러나, 트랜스퍼 기구를 경사지게 한 경우, 그에 따라서 웨이퍼 유지구도 경사지기 때문에, 종래의 웨이퍼 반송 기구로는 반송할 수 없는 경우가 있다고 하는 문제를 갖고 있었다.
상기한 과제와 관련하여서는, 효율적으로 웨이퍼를 자기 어닐링 장치로 반입할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 양태에 따르면, 한 그룹의 피처리체를 수납한 수납 용기를 반송(搬送)하는 수납 용기 반송 영역과, 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 영역이 개폐 도어를 사이에 두고 형성되고, 제어부를 갖는 자기 어닐링 장치로서,
상기 수납 용기 반송 영역에는,
이 자기 어닐링 장치에 반입되는 수납 용기를 배치하는 제1 배치대와,
상기 개폐 도어를 통해, 상기 수납 용기 반송 영역으로부터 상기 피처리체 반송 영역으로 기밀하게 상기 피처리체를 반송하기 위해, 상기 수납 용기를 배치하는 복수의 제2 배치대와,
복수의 상기 수납 용기를 보관하는 보관부와,
상기 제1 배치대, 상기 제2 배치대 및 상기 보관부 사이에서 상기 수납 용기를 반출입하는 수납 용기 반송 기구가 배치되고,
상기 피처리체 반송 영역에는,
복수의 상기 피처리체의 위치 맞춤을 행하는 얼라이너와,
복수 그룹의 상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와,
상기 제2 배치대에 배치된 수납 용기, 상기 얼라이너 및 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와,
상기 피처리체를 가열하는 가열 수단과,
상기 피처리체에 자계를 인가하는 횡형 초전도 자석을 갖는 자계 발생 수단과,
상기 피처리체 유지구에 유지된 상기 피처리체를 상기 자계 발생 수단 내로 트랜스퍼하는 트랜스퍼 기구가 배치된 것인 자기 어닐링 장치가 제공된다.
본 발명의 제2 양태에 따르면, 자계 발생 수단으로서 횡형의 초전도 자석을 이용하여, 피처리체를 자기 어닐링 처리하는 자기 어닐링 장치로서,
상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와,
상기 피처리체를 수납하는 수납 용기와, 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와,
상기 피처리체 유지구에 접속부를 통해 접속되어, 상기 피처리체를 상기 피처리체 반송 기구로 반송할 때의 제1 위치와, 상기 피처리체를 자기 어닐링 처리할 때의 제2 위치와의 사이에서, 상기 피처리체 유지구를 트랜스퍼할 수 있는 트랜스퍼 기구
를 포함하고,
상기 접속부는, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절할 수 있는 각도 조절부를 갖는 것인 자기 어닐링 장치가 제공된다.
*본 발명의 제1 양태에 따르면 다수 매의 웨이퍼를 연속적으로 처리할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따르면, 효율적으로 웨이퍼를 자기 어닐링 장치로 반입할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 웨이퍼(W)의 캐리어의 일례를 도시하는 개략 사시도이다.
도 2는 자기 어닐링 장치의 일례를 도시하는 개략 평면도이다.
도 3은 자기 어닐링 장치의 캐리어 반송 영역 근방의 개략 종단면도이다.
도 4는 자기 어닐링 장치의 웨이퍼 반송 영역 근방의 개략 평면도이다.
도 5는 웨이퍼 보트 내에 유지되는 웨이퍼의 배치예를 설명하기 위한 개략도이다.
도 6은 웨이퍼 보트의, 자계 발생 수단에 대한 반입 또는 반출을 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 형태를 설명한다.
(캐리어)
도 1에, 웨이퍼(W)의 캐리어(C)의 일례를 나타내는 개략 사시도를 도시한다. 한편, 본 실시형태에서는, 웨이퍼(W)를 수용하는 캐리어(C)로서, 밀폐형의 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 사용하는 경우에 관해서 설명하지만, 본 발명은 이 점에서 한정되지 않는다.
도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)의 캐리어(C)는, 일단부가 개구부로서 형성되고, 타단부가 예컨대 대략 반타원 형상으로 형성되어 있다.
캐리어(C)의 내벽면에는 웨이퍼(W)를 다단으로 배치할 수 있는 지지부가 형성되어 있다. 이 지지부에, 예컨대 직경 300 ㎜의 웨이퍼(W)의 주연부를 배치하여 지지함으로써, 대략 등(等)피치로 다단으로 웨이퍼(W)를 수납할 수 있다. 일반적으로, 하나의 캐리어(C)에 대하여 25장의 웨이퍼(W)를 수납할 수 있다.
*캐리어(C)의 천장부에는, 캐리어(C)를 파지할 때에 붙잡을 수 있는 손잡이(10)가 마련된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 캐리어(C)의 개구부에는, 이 개구부에 대응하는 개폐 덮개(12)가 착탈 가능하게 부착되어 있고, 캐리어(C) 내부는 개폐 덮개(12)에 의해서 실질적으로 기밀 상태로 된다. 일반적으로, 캐리어 내부의 분위기는 청정 가스(청정 공기)로 되어 있다.
개폐 덮개(12)에는 예컨대 2개의 로크 기구(14)가 설치되어 있고, 로크 기구(14)를 시정(施錠, lock) 또는 개정(開錠, unlock)함으로써, 개폐 덮개(12)를 개구부로부터 착탈할 수 있는 구성으로 되어 있다.
캐리어(C) 바닥부의 하면에는, 도시하지 않는 복수의 위치 결정 오목부가 형성되어 있어, 후술하는 배치대에 배치할 때에, 이 캐리어를 위치 결정할 수 있는 구성으로 되어 있다. 또한, 캐리어 바닥부의 하면에는, 도시하지 않는 로크 부재가 설치되어 있어, 배치대에 배치했을 때에 로크할 수 있는 구성으로 되어 있다.
(자기 어닐링 장치)
이어서, 본 실시형태의 자기 어닐링 장치에 관해서 설명한다. 도 2에, 자기 어닐링 장치의 일례의 개략 평면도를 도시한다. 한편, 후술하는 웨이퍼 보트(128), 단열부(134), 캡(136), 각도 조절 기구(137) 및 트랜스퍼 기구(138)에 관련하여, 실선은 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송할 때의 위치를 나타내고, 파선은 웨이퍼(W)를 자기 어닐링 처리할 때의 위치를 나타내고 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 자기 어닐링 장치(100)는 케이스(102)에 수용되어 구성된다. 케이스(102)는 자기 어닐링 장치의 외장체를 구성하고, 이 케이스(102) 내에, 캐리어 반송 영역(S1)과 웨이퍼 반송 영역(S2)이 형성되어 있다.
캐리어 반송 영역(S1)은, 피처리체인 웨이퍼(W)를 수납한 캐리어(C)가 자기 어닐링 장치에 대하여 반입, 반출되는 영역이다. 또한, 웨이퍼 반송 영역(S2)은, 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 반송하여, 후술하는 자기 어닐링로(magnetic annealing furnace) 안으로 반입하기 위한 트랜스퍼 영역이다.
캐리어 반송 영역(S1)과 웨이퍼 반송 영역(S2)은 격벽(104)에 의해 구획되어 있다.
캐리어 반송 영역(S1)은 대기 분위기 하에 있는 영역이며, 캐리어(C)에 수납한 웨이퍼(W)를 반송하는 영역이다. 각 처리 장치 사이의 영역이 캐리어 반송 영역(S1)에 해당하며, 본 실시형태에서는, 자기 어닐링 장치(100) 외부의 클린룸 내의 공간이 캐리어 반송 영역(S1)에 해당한다.
한편, 웨이퍼 반송 영역(S2)의 분위기로서는, 특별히 제한되지 않고, 대기 분위기라도 좋으며, 불활성 가스 분위기, 예컨대 질소(N2) 가스 분위기라도 좋다. 피처리체의 구성에 의해서, 보다 저산소 분위기 하에서의 처리가 필요한 경우, 예컨대 산화막 등이 형성되는 것을 막고 싶은 경우 등에는, 불활성 가스 분위기로 하여도 좋다. 또한, 웨이퍼 반송 영역(S2)은 일반적으로는 캐리어 반송 영역(S1)보다도 청정도가 높고, 또한, 저산소 농도로 유지되어 있다.
이후의 설명에서는, 도 2의 좌우 방향을 자기 어닐링 장치의 전후 방향으로 한다. 한편, 캐리어 반송 영역(S1) 측을 전방(도 2의 X 방향)으로 하고, 웨이퍼 반송 영역(S2) 측을 후방(도 2의 Y 방향)으로 한다.
[캐리어 반송 영역(S1)]
캐리어 반송 영역(S1)에 관해서 보다 상세히 설명한다. 도 3에, 자기 어닐링 장치의 캐리어 반송 영역 근방의 개략 종단면도를 도시한다.
캐리어 반송 영역(S1)은, 제1 반송 영역(106)과, 제1 반송 영역(106)의 후방측에 위치하는 제2 반송 영역(108)을 포함한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 반송 영역(106)의 좌우 방향(도 2의 XY축 방향과는 수직인 방향)으로는, 캐리어(C)를 각각 배치하는 2개의 제1 배치대(110a, 110b)가 설치되어 있다. 각 제1 배치대(110a, 110b)의 배치면에는, 캐리어(C)의 위치 결정 오목부에 대응하며, 캐리어(C)를 위치 결정하는 핀(112)이, 예컨대 3곳에 설치되어 있다.
제2 반송 영역(108)에는, 좌우의 제1 배치대 중 어느 한쪽[본 실시형태에서는 배치대(110a)]에 대하여 전후 방향으로 나란하고, 또한 도 3의 상하 방향으로 배치된, 2개의 제2 배치대(114a, 114b)가 설치되어 있다. 각 제2 배치대(114)는 전후 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.
제2 배치대(114)의 배치면에도 제1 배치대(110)와 마찬가지로, 캐리어(C)를 위치 결정하는 핀(112)이, 예컨대 3곳에 설치되어 있다. 또한, 상기 배치면에는, 캐리어(C)를 고정하기 위한 도시하지 않는 훅이 설치되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제2 반송 영역(108) 및/또는 제1 반송 영역(106)의 상부 측에는, 캐리어(C)를 보관하는 제1 캐리어 보관부(116a, 116b)가 형성되어 있다. 캐리어 보관부(116a, 116b)는 예컨대 2단 이상의 선반에 의해 구성되어 있고, 각 선반은 좌우 방향으로 예컨대 2개의 캐리어(C)를 배치할 수 있다.
또한, 도 2에 도시한 것과 같이, 제2 배치대(114)의 좌우 방향으로, 복수 단의 선반에 의해 구성된 제2 캐리어 보관부(116c)가 형성되어 있다.
제1 캐리어 보관부(116a, 116b)와 제2 캐리어 보관부(116c)가 설치되어 있음으로써, 캐리어 반송 영역(S1) 내에, 충분한 수의 캐리어(C)[즉, 웨이퍼(W)]를 유지할 수 있다. 이 때문에, 후술하는 웨이퍼 트랜스퍼 방법에 의해, 예컨대 100장의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 반송 영역(S2)으로 트랜스퍼하는 경우에도, 미리 캐리어 보관부(116a, 116b, 116c)에 캐리어(C)를 보관함으로써, 캐리어(C)의 수가 부족한 경우는 없다.
제2 반송 영역(108)에는, 캐리어(C)를, 제1 배치대, 제2 배치대, 및 제1 및 제2 캐리어 보관부와의 사이에서 반송하는 캐리어 반송 기구(118)가 설치되어 있다. 이 캐리어 반송 기구(118)는, 상하 방향으로 승강 가능한 가이드부(118a)와, 가이드부(118a)에 의해 가이드되면서 상하로 이동하는 이동부(118b)와, 이 이동부(118b)에 설치되어, 바닥부를 지지하여 수평 방향으로 반송하는 반송 아암(118c)을 구비한다.
격벽(104)에는, 캐리어 반송 영역(S1)과 웨이퍼 반송 영역(S2)을 연통시키는 웨이퍼(W)의 반송구(搬送口)(120)가 형성되어 있다. 반송구(120)에는, 이 반송구(120)를 웨이퍼 반송 영역(S2) 측에서 막는 개폐 도어(122)가 설치되어 있다. 개폐 도어(122)에는, 도시하지 않는 구동 기구가 접속되어 있고, 구동 기구에 의해 개폐 도어(122)는 전후 방향 및 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어, 반송구(120)가 개폐된다.
<캐리어 반송 영역(S1)에서의 캐리어(C)[웨이퍼(W)]의 반송>
캐리어 반송 영역(S1)에서 웨이퍼 반송 영역(S2)으로의 웨이퍼(W)의 반송에 관해서 설명한다. 우선, 전술한 반송 아암(118c)에 의해서, 캐리어(C)는, 제1 배치대(110), 제1 캐리어 보관부(116a, 116b) 또는 제2 캐리어 보관부(116c)에서부터 제2 배치대(114)로 옮겨진다. 캐리어(C)는 그 위치 결정 오목부와 핀(112)이 맞물리도록 배치된다. 제2 배치대(114)에 캐리어(C)가 배치되면, 제2 배치대(114)가 격벽(104) 측으로 이동되어, 캐리어(C)가 격벽(104)에 접촉한다. 캐리어(C)의 접촉 상태는 도시하지 않는 고정 기구에 의해 유지된다.
그 후, 격벽(104)에 형성된 개폐 도어(122) 및 캐리어(C)의 개폐 덮개(12)가 밀폐되어 있는 상태에서, 개폐 덮개(12)를 도시하지 않는 개폐 기구에 의해 개방한다. 웨이퍼 반송 영역(S2)의 분위기를 불활성 가스 분위기로 하는 경우는, 우선 캐리어(C)의 개폐 덮개(12)가 밀폐되어 있는 상태에서, 도시하지 않는 불활성 가스 치환 수단에 의해 불활성 가스 치환을 하고, 개폐 도어(122)와 개폐 덮개(12)의 사이의 대기를 제거하여 불활성 가스를 충전한다. 이어서, 캐리어(C) 내부를 불활성 가스 치환 수단에 의해 불활성 가스 치환을 한다.
그리고, 자기 어닐링 장치(100)의 격벽(104)에 형성된 개폐 도어(122)를 개방하여, 후술하는 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)가 반입, 반출된다.
캐리어(C)의 교환 및 웨이퍼(W)의 반출시에는, 전술한 것과 역의 동작이 실시된다.
[웨이퍼 반송 영역(S2)]
도 4에, 자기 어닐링 장치(100)의 웨이퍼 반송 영역(S2) 근방의 개략 평면도를 도시한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 반송 영역(S2)에는, 주로 웨이퍼 반송 기구(124), 얼라이너 장치(126), 웨이퍼 보트(128) 및 자계 발생 수단(130)(도 2 참조)이 설치된다.
웨이퍼 반송 기구(124)는, 웨이퍼 반송 영역(S2)에서의 웨이퍼(W)의 반송을 담당하고 있고, 웨이퍼 보트(128)와 격벽(104)의 반송구(120)와의 사이에 설치되어 있다. 웨이퍼 반송 기구(124)는, 상하로 뻗는 가이드 기구(124a)를 따라서 이동하며, 연직축 둘레로 회동하는 이동체(124b)에, 예컨대 5개의 진퇴 가능한 아암부(124c)를 설치하여 구성되고, 웨이퍼 보트(128)와, 제2 배치대(114) 상의 캐리어(C)와, 얼라이너 장치(126)와의 사이에서 웨이퍼를 반송한다.
얼라이너 장치(126)는, 예컨대 웨이퍼(W)의 에지를 파지하여 센터링과 노치 등의 각도 맞춤을 하는 것이다.
웨이퍼 보트(128)는, 일반적으로 원통형의 형상을 갖고, 복수의 캐리어(C), 예컨대 4개의 캐리어(C) 내의 다수 매의 웨이퍼(W)를 유지하는 것이 가능하다. 또한, 웨이퍼 보트(128)는, 단열부(134)를 통해 캡(136)의 후방측에 배치되어 있다. 캡(136)은, 트랜스퍼 기구(138)의 후방측에 지지되어 있고, 이 트랜스퍼 기구(138)에 의해 웨이퍼 보트(128)가 자계 발생 수단(130)에 대해 반입 또는 반출된다.
일반적으로는, 캡(136)과 단열부(134)는, 캡(136)의 주표면과 단열부(134)의 축 방향이 수직이 되도록 고정되어 구성된다. 또한, 단열부(134)의 축 방향과 웨이퍼 보트(128)의 축 방향은 평행하게 되도록 고정되어 구성된다.
본 실시형태의 자기 어닐링 장치(100)에서는, 캡(136)의 주표면과 단열부(134)의 축 방향과의 각도가 가변으로 되도록, 캡(136) 및 단열부(134) 중의 적어도 한쪽에 각도 조절 기구(137)가 설치된다. 즉, 각도 조절 기구(137)를 설치함으로써, 웨이퍼 보트(128)의 경사각을 변경할 수 있다.
또한, 각도 조절 기구(137)는, 바람직하게는 수평기를 갖고, 웨이퍼 보트(128)의 축이 수평인지 여부를 판정할 수 있으며, 수평이 아닌 경우, 각도 조절 기구(137)에 의하여, 단열부(134)를 통해 웨이퍼 보트(128)의 경사각을 변경하고, 그 축을 예컨대 수평으로 유지할 수 있는 구성으로 되어 있다.
후술하는 도 6에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 기구(138)는, 캡(136)에 접속된 접속부(138a)와, 이 접속부(138a)에 접속되어 트랜스퍼 기구(138)를 안내하는, 전술한 전후 방향을 따라서 형성된 안내 레일(138b)과, 도시하지 않는 구동 기구를 구비한다. 이에 따라, 트랜스퍼 기구(138)는, 안내 레일(138) 상에 슬라이드 이동 가능하게 되어 있다.
또한, 캡(136), 접속부(138a) 및 안내 레일(138b)은 강체(剛體)로 형성되며, 각각의 부재 사이의 상대 각도는 일정하게 되도록 구성된다.
웨이퍼 보트(128)의 후방측에는, 웨이퍼(W)에 자기 어닐링 처리를 실시하는, 자계 발생 수단(130)이 배치된다. 자계 발생 수단으로서는, 우측단이 노(爐) 입구인 횡형의 솔레노이드형 자석(초전도 자석)으로 구성되는 자기 어닐링로를 사용할 수 있다. 솔레노이드형 자석은, 그 중심선 축 방향이 실질적으로 수평이 되도록 배치되어, 도시하지 않는 전원 장치에 접속된다. 횡형의 솔레노이드형 자석에 의해 발생하는 자석 내의 자계의 방향(자력선의 방향)은 전술한 전후 방향으로 된다.
또한, 자계 발생 수단(130)에는 그 내주를 따라서 가열 수단(132)이 배치되어 있어, 웨이퍼(W)를 소정의 온도로 가열할 수 있다. 즉, 자계 발생 수단(130)에 의해, 웨이퍼(W)는 균일한 자계 하에서 가열 처리된다.
솔레노이드형 자석을 이용하여 복수 매, 예컨대 100장의 웨이퍼(W)에 같은 식의 자기 어닐링 처리를 실시하는 경우, 모든 웨이퍼(W)에 대하여 균일한 처리를 실시하기 위해서, 균일 자장 영역에 웨이퍼(W)를 배치할 필요가 있다. 솔레노이드형 자석의 균일 자장 영역은 그 축 방향 길이의 약 20% 정도이다. 이 때문에, 예컨대 100장의 φ 300 ㎜의 웨이퍼(W)를 자기 어닐링 장치에 의해 처리하는 경우, 횡형의 솔레노이드형 자석의 설계예로서는, 내경(보어 직경) φ 570 ㎜, 외경 φ 1900 ㎜, 길이 2500 ㎜(이 경우의 균일 자장 영역의 길이는 약 680 ㎜ 정도)로 할 수 있다.
또한, 상기 설계의 횡형의 솔레노이드형 자석의 중량은 대략 25 톤 정도가 된다. 이 때문에, 솔레노이드형 자석의 바닥부에는, 솔레노이드형 자석을 유지하기 위한, 도시하지 않는 유지대 및 이 유지대의 바닥부에 도시하지 않는 유지판이 마련된다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 이 자기 어닐링 장치(100)에는, 예컨대 컴퓨터로 이루어지는 제어부(140)가 설치되어 있다. 제어부(140)는 프로그램, 메모리, CPU로 이루어지는 데이터 처리부 등을 구비하고, 프로그램에는, 제어부로부터 자기 어닐링 장치의 각 부에 제어 신호를 보내어, 각 처리 공정을 진행시키도록 명령(각 스텝)이 짜넣어져 있다. 이 제어 신호에 의해 캐리어(C)의 반송, 각도 조절 기구(137)에 의한 웨이퍼 보트(128)의 경사각의 제어, 웨이퍼(W)의 반송, 개폐 도어의 개폐, 덮개의 개폐, 각 처리가 이루어진다. 이 프로그램은, 컴퓨터 기억 매체, 예컨대 플렉시블 디스크, 컴팩트 디스크, 하드디스크, MO(광자기 디스크) 및 메모리 카드 등의 기억 매체에 저장되어 제어부에 인스톨된다.
<웨이퍼 반송 영역(S2)에서의 웨이퍼(W)의 반송>
전술한 바와 같이, 본 실시형태의 자기 어닐링 장치는, 각도 조절 기구(137)(각도 조절부)에 의해, 캡(136)과 단열부(134)가 이루는 각도를 조절함으로써, 웨이퍼 보트(128)의 경사각을 조절할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송할 때와, 웨이퍼(W)를 수납한 웨이퍼 보트(128)를 자계 발생 수단(130)에 로드할 때에 있어서, 각각 독립적으로 캡(136)과 단열부(134)가 이루는 각도를 최적으로 조절할 수 있다.
구체적인 실시예를 들어, 각도 조절 기구(137)의 효과에 관해서 설명한다.
우선, 웨이퍼(W)를, 제2 배치대(114a, 114b)에 배치된 캐리어(C)로부터 웨이퍼 보트(128)로 반송할 때까지의 일련의 흐름에 관해서 설명한다.
웨이퍼 반송 영역(S2)으로 반입된 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해, 우선 얼라이너 장치(126)로 트랜스퍼되고, 센터링과 노치 등의 각도 맞춤이 행해진다. 이어서, 각도 맞춤이 행해진 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해, 얼라이너 장치(126)로부터 웨이퍼 보트(128)로 트랜스퍼된다. 웨이퍼 보트(128)로의 웨이퍼(W)의 트랜스퍼가 끝난 후, 웨이퍼 반송 기구(124)는 캐리어(C)로 되돌아가고, 다음 웨이퍼(W)가 트랜스퍼된다.
한편, 후술하는 바와 같이, 웨이퍼 반송 기구(124)에 의한 웨이퍼 보트(128)로의 웨이퍼(W)의 반송은, 웨이퍼 보트(128)가 실질적으로 수평인 상태에서 실시되는 것이 바람직하다.
하나의 캐리어(C) 내에 유지되는 웨이퍼(W)의 매수는 일반적으로 25장이며, 웨이퍼 반송 기구(124)에 의한 웨이퍼(W)의 반송 매수는 일반적으로 5장이다. 이 때문에, 하나의 캐리어(C)에 대하여, 캐리어(C)로부터 얼라이너 장치(126)를 경유한 웨이퍼 보트(128)로의 웨이퍼(W)의 트랜스퍼는 5회 행해진다. 한쪽의 제2 배치대[예컨대 제2 배치대(114a)]에 배치된 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 트랜스퍼가 끝난 뒤에는, 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해, 다른 쪽의 제2 배치대[예컨대 제2 배치대(114b)]에 배치된 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 트랜스퍼를 행한다. 이때, 제2 배치대(114a)에 배치된 빈 캐리어(C)는, 다른 쪽의 제2 배치대(114b)에 배치된 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 트랜스퍼를 행하고 있는 동안에, 캐리어 보관부(116)에 보관되어 있는 다른 캐리어(C)와 바뀌어진다.
도 5에, 웨이퍼 보트(128) 내에 유지되는 웨이퍼(W)의 배치예를 설명하기 위한 개략도를 도시한다.
도 5의 (a)는 웨이퍼(W)의 배치 방향이 전술한 전후 방향인 경우의 배치예이며, 도 5의 (b)는 웨이퍼(W)의 배치 방향이 연직 방향인 경우의 배치예이다.
웨이퍼(W)의 자기 어닐링 처리는, 웨이퍼(W)의 주표면에 대하여 수직한 방향으로 자계를 인가하는 수직 자화 방식과, 웨이퍼(W)의 주표면에 대하여 평행한 방향으로 자계를 인가하는 면내 자화 방식의 2 종류의 방식이 알려져 있다. 본 실시형태와 같이, 자계 발생 수단(130)으로서 횡형의 솔레노이드형 자석을 채용하는 경우, 자석 내의 자계(자력선)의 방향은 전술한 전후 방향으로 된다.
보다 구체적인 예로서, 100장의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송하는 예에 관해서 설명하지만, 본 발명은 이 점에서 한정되지 않는다. 웨이퍼(W)를 수직 자화 방식에 의해 자기 어닐링 처리하는 경우, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)의 적재 방향이 전술한 전후 방향이 되도록 배치한다. 예컨대 100장의 웨이퍼(W)를 처리하는 경우에는, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 100장의 웨이퍼(W)를 소정의 간격을 두고 선반형으로 적재한 적재체를, 웨이퍼 보트(128)에 1개 배치한다. 한편, 웨이퍼(W)를 면내 자화 방식에 의해서 자기 어닐링 처리하는 경우, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 50장의 웨이퍼(W)를 소정의 간격을 두고 적재한 적재체를, 전술한 전후 방향으로 2개 병렬로 나란하게 웨이퍼 보트(128)에 배치할 수 있다.
도 6에, 웨이퍼 보트(128)의, 자계 발생 수단(130)에 대한 반입 또는 반출을 설명하기 위한 개략도를 도시한다. 한편, 도 6에서는, 웨이퍼(W)를 연직 방향으로 50장 소정의 간격으로 적재한 적재체를, 전술한 전후 방향으로 2개 병렬로 나란하게 웨이퍼 보트(128)에 배치한 경우에 관해서 설명하지만, 본 발명은 이 실시형태에 한정되지 않는다.
보다 구체적으로는, 도 6의 (a)는 자계 발생 수단(130)이 수평으로 배치된 경우의 개략도이고, 도 6의 (b)는 자계 발생 수단(130)이 수평으로부터 α의 각도(단, α>0)를 가지고서 배치된 경우의 개략도이다. 한편, 도 6의 (a) 및 (b)에서는, 웨이퍼(W)가 웨이퍼 보트(128)로 반송될 때의, 웨이퍼 보트(128), 단열부(134) 및 캡(136)의 배치 위치를 실선으로 나타내고, 웨이퍼(W)가 자계 발생 수단(130)으로 반송되었을 때의, 이들의 배치 위치를 파선으로 나타낸다.
도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 설치된 자계 발생 수단(130)이 수평인 경우, 트랜스퍼 기구(138)의 안내 레일(138b)도 마찬가지로 수평이 된다. 또한, 이 경우, 코일형의 자계 발생 수단(130) 중의 자력선의 방향은 수평 방향이 된다.
한편, 캡(136)의 주표면의 면 방향은 연직 방향으로 되고, 단열부(134)의 축 방향 및 웨이퍼 보트(128)의 축 방향은 대략 수평으로 된다. 이에 따라, 웨이퍼 보트(128)의 축을 경사지게 하는 일 없이, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 안정적으로 반송할 수 있다.
일반적으로는, 웨이퍼 보트(128)의 도시하지 않는 웨이퍼 유지부에는, 웨이퍼 보트(128)가 수평이 아닌 경우라도 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해 웨이퍼(W)가 반송되도록, 충분한 클리어런스가 형성된다. 그러나, 본 실시형태와 같은, 예컨대 100장의 φ 300 ㎜의 웨이퍼(W)를 한 번에 처리할 수 있는 자기 어닐링 장치의 경우, 코일형의 자계 발생 수단(130)의 축 방향 길이가 길어진다. 전술한 바와 같이, 코일 상태의 자계 발생 수단(130)의 축 방향 길이에 대하여, 균일 자장 영역은 20% 정도이기 때문에, 필요하게 되는 단열부(134)의 축 방향 길이도 길어져, 웨이퍼 보트(128)[및 이것에 수납되는 웨이퍼(W)]의 무게에 의해, 단열부(134)가 휘는 경우가 있다. 이러한 휨 등에 의해 웨이퍼 보트(128)의 축이 경사지고, 이 경사진 정도가 전술한 클리어런스보다 큰 경우, 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송할 수 없는 경우가 있다.
그러나, 본 실시형태의 자기 어닐링 장치(100)는, 웨이퍼 보트(128)의 경사각을 조절할 수 있는 각도 조절 기구(137)를 구비한다. 이 때문에, 각도 조절 기구(137)에 의해 캡(136)과 단열부(134)의 각도를 조절하고, 웨이퍼 보트(128)의 축을 수평으로 한 상태에서, 웨이퍼(W)의 웨이퍼 보트(128)로의 반송을 실시할 수 있게 된다.
한편, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송한 후에 있어서도, 반송한 웨이퍼(W)의 매수에 따라서는, 단열부(134)가 휘는 경우가 있다. 단열부(134)가 휘면, 웨이퍼 보트(128)의 축이 수평으로부터 기울기 때문에, 자력선의 방향과 웨이퍼면이 이루는 각도가, 원하는 각도에서 틀어지는 경우가 있다. 이 경우, 웨이퍼(W)에 원하는 자기 어닐링 처리를 실시할 수 없다. 또한, 최근의 웨이퍼(W)의 대형화에 따라, 웨이퍼 보트(128)의 축이 수평으로부터 기울어진 경우, 자기 어닐링 처리시에 자중(自重)에 의해 웨이퍼(W) 자체에 휨이 생기고, 응력 집중에 의한 슬립 전위(轉位)가 생기는 등의 문제점이 일어나기 쉽다.
그러나, 본 실시형태의 자기 어닐링 장치(100)는, 웨이퍼 보트(128)의 경사각을 조절할 수 있는 각도 조절 기구(137)를 구비한다. 이 때문에, 캡(136)과 단열부(134)가 이루는 각도를 변경하여, 웨이퍼 보트(128)의 경사각을 조절함으로써, 웨이퍼 보트(128)의 축(즉, 웨이퍼면)과 자력선이 원하는 각도를 이루게 된다.
그리고, 웨이퍼 보트(128)는 트랜스퍼 기구(138)에 의해 자계 발생 수단(130)에 로드된다.
한편, 각도 조절 기구(137)에 의한 캡(136)과 단열부(134)가 이루는 각도의 조절은, 웨이퍼 보트(128)가 자계 발생 수단(130)에 로드된 후라도 좋다.
한편, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이 자계 발생 수단(130)이 수평으로부터 예컨대 α의 각도로 경사져 설치된 경우, 트랜스퍼 기구(138)의 안내 레일(138b)도 마찬가지로, 수평으로부터 α의 각도로 경사져 설치된다. 이 경우, 코일형의 자계 발생 수단(130) 중의 자력선의 방향은 수평 방향으로부터 α의 각도로 경사진다.
또한, 캡(136)의 주표면의 면 방향은, 연직 방향으로부터 α의 각도로 경사지고, 단열부(134)의 축 방향 및 웨이퍼 보트(128)의 축은, 수평으로부터 α의 각도로 경사진다.
전술한 바와 같이, 웨이퍼 보트(128)에 웨이퍼(W)를 반송하는 경우, 웨이퍼 보트(128)는 수평인 것이 바람직하다. 이 때문에, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송하는 경우에는, 각도 조절 기구(137)에 의해, 캡(136)과 단열부(134)가 이루는 각도를 변경하고, 단열부(134) 및 웨이퍼 보트(128)의 축을 수평으로 한다.
웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송한 후에는, 반송한 웨이퍼(W)의 매수에 따라서는 단열부(134)가 휜다. 이 때문에, 웨이퍼 보트(128)를 자계 발생 수단(130)에 로드하는 경우에는, 이러한 휨도 고려하여, 각도 조절 기구(137)에 의해, 코일형의 자계 발생 수단(130) 중의 자력선의 방향과 웨이퍼면이 이루는 각도가, 원하는 각도가 되도록 조절된다. 그리고, 이 상태에서, 웨이퍼 보트(128)는 트랜스퍼 기구(138)에 의해 자계 발생 수단(130)에 로드된다.
즉, 본 실시형태의 자기 어닐링 장치(100)는, 각도 조절 기구(137)를 구비함으로써, 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송할 때와, 웨이퍼 보트(128)에 반송된 웨이퍼(W)를 자계 발생 수단(130)으로 반송할 때에, 각각 독립적으로 웨이퍼 보트(128)의 경사각[웨이퍼 보트(128)의 축의 수평]을 조절할 수 있다. 이 때문에, 효율적이면서 정밀도 좋게 웨이퍼를 자기 어닐링 장치로 반입할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 자기 어닐링 장치(100)는, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 보트(128)의 바닥면 측에 설치되어, 웨이퍼 보트(128)를 밀어 올릴 수 있는 푸시업 기구(139)를 구비하더라도 좋다.
푸시업 기구(139)는, 승강 가능한 가이드부(139a)와, 가이드부(139a)에 의해 가이드되면서 상하로 이동하는 이동부(139b)와, 밀어올릴 때에 웨이퍼 보트(128)의 바닥면과 접촉하는 푸시업 부재(139c)로 형성된다.
푸시업 기구(139)를 구비함으로써, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)로 반송할 때에, 보다 확실하게 웨이퍼 보트(128)의 축을 수평으로 유지할 수 있다. 이 때문에, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 보트(128)에 안정적으로 반송할 수 있다.
웨이퍼 보트(128)가 트랜스퍼 기구(138)에 의해 자계 발생 수단(130)에 로드된 후, 웨이퍼(W)는 소정의 자기 어닐링 처리가 실시된다. 처리 종료 후의 웨이퍼(W)의 반출은, 우선 자계 발생 수단(130)으로부터 웨이퍼 보트(128)를 언로드하고, 전술한 반입과는 역으로, 웨이퍼 반송 기구(124)를 이용하여, 제2 배치대(114a 또는 114b)에 위치하는 개폐창으로부터 캐리어(C)로 트랜스퍼함으로써 실행된다. 이 경우도, 웨이퍼 보트(128)의 바닥면이 수평이 되도록 각도 조절 기구(137)에 의해 조절된다. 웨이퍼(W)가 웨이퍼 반송 기구(124)에 의해 캐리어(C)로 반송된 후, 도시하지 않는 개폐 기구로 개폐 덮개를 캐리어(C)에 부착하고, 캐리어(C)를 캐리어 반송 기구(118)에 의해 반출하여, 다음 공정으로 진행된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 관해서 상세히 설명했지만, 본 발명은 전술한 실시예에 제한되지 않으며, 본 발명의 범위를 일탈하지 않고서 전술한 실시예에 여러 변형 및 치환을 가할 수 있다.
10 : 손잡이 12 : 개폐 덮개
14 : 로크 기구 100 : 자기 어닐링 장치
102 : 케이스 104 : 격벽
106 : 제1 반송 영역 108 : 제2 반송 영역
110 : 제1 배치대 112 : 핀
114 : 제2 배치대 116 : 캐리어 보관부
118 : 캐리어 반송 기구 120 : 반송구
122 : 개폐 도어 124 : 웨이퍼 반송 기구
126 : 얼라이너 장치 128 : 웨이퍼 보트
130 : 자계 발생 수단 132 : 가열 수단
134 : 단열부 136 : 캡
137 : 각도 조절 기구 138 : 트랜스퍼 기구
139 : 푸시업 기구 140 : 제어부
150 : 유지대 S1 : 캐리어 반송 영역
S2 : 웨이퍼 반송 영역 C : 캐리어
W : 웨이퍼

Claims (7)

  1. 자계 발생 수단으로서 횡형의 초전도 자석을 이용하여, 피처리체를 자기 어닐링 처리하는 자기 어닐링 장치로서,
    상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와,
    상기 피처리체를 수납하는 수납 용기와, 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와,
    상기 피처리체 유지구에 접속부를 통해 접속되고, 상기 피처리체를 상기 피처리체 반송 기구로 반송할 때의 제1 위치와, 상기 피처리체를 자기 어닐링 처리할 때의 제2 위치의 사이에서, 상기 피처리체 유지구를 트랜스퍼할 수 있는 트랜스퍼 기구
    를 포함하고,
    상기 접속부는, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절할 수 있는 각도 조절부를 갖고,
    상기 각도 조절부는, 상기 제1 위치에 있어서, 상기 피처리체 유지구를 수평으로 조절하고, 상기 제2 위치에 있어서, 상기 피처리체 유지구의 축과 상기 횡형의 초전도 자석 내의 자력선이 이루는 각도가 정해진 각도가 되도록, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절하는 것인 자기 어닐링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각도 조절부는, 상기 제2 위치에 있어서, 상기 피처리체 유지구의 축과 상기 횡형의 초전도 자석 내의 자력선이 이루는 각도가 평행 또는 수직이 되도록, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절하는 것인 자기 어닐링 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 위치에 있어서, 상기 피처리체 유지구의 축이 수평으로 되도록, 상기 피처리체 유지구의 바닥면을 아래쪽으로부터 밀어올리는 푸시업 기구를 더 포함하는 자기 어닐링 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 피처리체는 웨이퍼이며, 상기 수납 용기는 FOUP이고,
    상기 FOUP는 25장의 상기 웨이퍼를 수납할 수 있으며,
    상기 피처리체 유지구는 100장의 상기 웨이퍼를 유지할 수 있는 것인 자기 어닐링 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 피처리체 유지구는, 100장의 상기 웨이퍼를, 상기 피처리체 유지구의 축의 방향을 적재 방향으로 하여, 정해진 간격을 두고 유지할 수 있는 것인 자기 어닐링 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 피처리체 유지구는, 50장의 상기 웨이퍼를, 상기 피처리체 유지구의 축에 수직한 방향을 적재 방향으로 하여, 정해진 간격을 두고 적재한 적재체를, 상기 피처리체 유지구의 축의 방향으로 2개 병렬로 유지할 수 있는 것인 자기 어닐링 장치.
  7. 피처리체를 수납한 수납 용기를 반송하는 수납 용기 반송 영역과, 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 영역이 개폐 도어를 사이에 두고 형성된 자기 어닐링 장치로서,
    상기 수납 용기 반송 영역에는,
    상기 자기 어닐링 장치에 반입되는 수납 용기를 배치하는 제1 배치대와,
    상기 개폐 도어를 통해, 상기 수납 용기 반송 영역으로부터 상기 피처리체 반송 영역으로 기밀하게 상기 피처리체를 반송하기 위해, 상기 수납 용기를 배치하는 복수의 제2 배치대와,
    복수의 상기 수납 용기를 보관하는 보관부와,
    상기 제1 배치대, 상기 제2 배치대 및 상기 보관부의 사이에서 상기 수납 용기를 반출입하는 수납 용기 반송 기구가 배치되고,
    상기 피처리체 반송 영역에는,
    상기 피처리체의 위치 맞춤을 행하는 얼라이너와,
    상기 위치 맞춤이 행해진 상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와,
    상기 제2 배치대에 배치된 수납 용기, 상기 얼라이너 및 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와,
    상기 피처리체를 가열하는 가열 수단과,
    상기 피처리체에 자계를 인가하는 횡형의 초전도 자석을 갖는 자계 발생 수단과,
    상기 피처리체 유지구에 접속부를 통해 접속되고, 상기 피처리체를 상기 피처리체 반송 기구로 반송할 때의 제1 위치와, 상기 피처리체를 자기 어닐링 처리할 때의 제2 위치와의 사이에서, 상기 피처리체 유지구를 트랜스퍼할 수 있는 트랜스퍼 기구가 배치되며,
    상기 접속부는, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절할 수 있는 각도 조절부를 갖고,
    상기 각도 조절부는, 상기 제1 위치에 있어서, 상기 피처리체 유지구를 수평으로 조절하고, 상기 제2 위치에 있어서, 상기 피처리체 유지구의 축과 상기 횡형의 초전도 자석 내의 자력선이 이루는 각도가 정해진 각도가 되도록, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절하는 것인 자기 어닐링 장치.
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