JP2931924B2 - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
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- JP2931924B2 JP2931924B2 JP23418390A JP23418390A JP2931924B2 JP 2931924 B2 JP2931924 B2 JP 2931924B2 JP 23418390 A JP23418390 A JP 23418390A JP 23418390 A JP23418390 A JP 23418390A JP 2931924 B2 JP2931924 B2 JP 2931924B2
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Description
この発明は、熱処理装置に関する。
半導体製造工程において、例えば拡散処理は熱処理室
である筒状の反応管内に、複数枚の例えば100枚の半導
体ウェーハを、互いの主面が対向する状態で並列に並べ
て搭載するボートと呼ばれる治具を挿入して行う。 反応管にボートを挿入搬送する方法としては、ソフト
ランディングと呼ばれる方法が、熱処理室内に塵埃を生
じさせない等の理由により用いられている。すなわち、
例えば石英又はSiCで構成されるフォークと呼ばれるボ
ート支持用棒状部材の一端側を例えばアルミニウム等の
金属で構成される保持部に取り付けて、この一端側にお
いてフォークを支持する。そして、このフォークを昇降
機構によって昇降移動可能とし、そのフォークの他端側
に前記ウェーハを複数枚搭載したボートを載置し、この
状態でフォークをその長手方向に前進させて、他端側に
載置されたボートを反応管内に搬入する。その後、フォ
ークを下げてボートの脚部を反応管内のボート載置部に
接触させることにより、フォークとボートとが離間する
状態になるので、フォークのみを反応管から取り出し、
反応管内へのボートの搬入設置を行うものである（例え
ば特公昭62−35261号公報、特公昭62−3571号公報参
照）。 このソフトランディング法によれば、ボートやフォー
クが反応管の壁を擦ることがないので、塵埃を発生する
こと無く、ボートの搬入、取り出しができる。 ところで、熱処理装置において、このボート搬送装置
を熱処理室である反応管に対して設置する際、フォーク
の長手方向の中心線方向を反応管の中心線方向に合わせ
ると共に、フォークの昇降時にフォークの中心線が反応
管の中心線位置を丁度通るように位置合わせする必要が
ある。従来は、設置者がボート搬送装置を取り付けなが
ら上記のような位置関係となるように調整していた。
である筒状の反応管内に、複数枚の例えば100枚の半導
体ウェーハを、互いの主面が対向する状態で並列に並べ
て搭載するボートと呼ばれる治具を挿入して行う。 反応管にボートを挿入搬送する方法としては、ソフト
ランディングと呼ばれる方法が、熱処理室内に塵埃を生
じさせない等の理由により用いられている。すなわち、
例えば石英又はSiCで構成されるフォークと呼ばれるボ
ート支持用棒状部材の一端側を例えばアルミニウム等の
金属で構成される保持部に取り付けて、この一端側にお
いてフォークを支持する。そして、このフォークを昇降
機構によって昇降移動可能とし、そのフォークの他端側
に前記ウェーハを複数枚搭載したボートを載置し、この
状態でフォークをその長手方向に前進させて、他端側に
載置されたボートを反応管内に搬入する。その後、フォ
ークを下げてボートの脚部を反応管内のボート載置部に
接触させることにより、フォークとボートとが離間する
状態になるので、フォークのみを反応管から取り出し、
反応管内へのボートの搬入設置を行うものである（例え
ば特公昭62−35261号公報、特公昭62−3571号公報参
照）。 このソフトランディング法によれば、ボートやフォー
クが反応管の壁を擦ることがないので、塵埃を発生する
こと無く、ボートの搬入、取り出しができる。 ところで、熱処理装置において、このボート搬送装置
を熱処理室である反応管に対して設置する際、フォーク
の長手方向の中心線方向を反応管の中心線方向に合わせ
ると共に、フォークの昇降時にフォークの中心線が反応
管の中心線位置を丁度通るように位置合わせする必要が
ある。従来は、設置者がボート搬送装置を取り付けなが
ら上記のような位置関係となるように調整していた。
しかしながら、ボートは搬送装置を取り付けながら反
応管に対する前記のような位置調整を行うのは、調整が
非常に難しく、厄介であり、取り付けに長時間を要する
欠点があった。 この発明は、以上の点にかんがみ、取付設置後に、熱
処理室に対する位置の微調整を行えるようにして、ボー
ト搬送装置の取付を簡単化し、かつ、熱処理室に対して
正確な位置調整を容易に行えるようにした熱処理装置を
提供することを目的とする。
応管に対する前記のような位置調整を行うのは、調整が
非常に難しく、厄介であり、取り付けに長時間を要する
欠点があった。 この発明は、以上の点にかんがみ、取付設置後に、熱
処理室に対する位置の微調整を行えるようにして、ボー
ト搬送装置の取付を簡単化し、かつ、熱処理室に対して
正確な位置調整を容易に行えるようにした熱処理装置を
提供することを目的とする。
この発明は、水平方向に配置されるボート支持用棒状
部材の一端側が保持部に取り付けられ、他端側が遊端と
され、この遊端側に複数の被処理体が搭載されるボート
が載置され、前記ボート支持用棒状部材が位置調整され
た後、前記ボート支持用棒状部材がその長手方向に移動
することにより、前記遊端側のボートが熱処理室内に搬
送されるようにされる熱処理装置において、 前記保持部が載置される取付板と、 前記取付板の前記ボート支持用棒状部材の一端側にお
いて、前記保持部を前記取付板に点支持して、前記保持
部が前記支持点を中心として前記取付板上で回動可能な
状態とすることにより、前記ボート支持用棒状部材の前
記他端部が左右方向に首振り運動可能な状態となるよう
にする保持部点支持手段と、 前記取付板の前記ボート支持用棒状部材の他端側に設
けられるものであって、前記保持部と前記取付板との一
方側において、前記ボード支持用棒状部材の長手方向に
設けられる長孔と、この長孔に嵌合するように前記保持
部と前記取付板との他方側に設けられる突起と、前記長
孔と突起との嵌合位置を変えることにより、前記保持部
の前記取付板上の回動位置を調整するようにする回動調
整つまみとからなる首振り位置調整手段と、 前記ボート支持用棒状部材を昇降機構に取り付けるた
めのものであって、前記取付板が、前記ボート支持用棒
状部材の長手方向に直交する左右方向に移動可能に取り
付けられる取付台と、 前記取付板上の前記保持部の前記支持点位置の、前記
取付台上での前記左右方向の位置を調整するための左右
位置調整手段と、 を備えることを特徴とする。
部材の一端側が保持部に取り付けられ、他端側が遊端と
され、この遊端側に複数の被処理体が搭載されるボート
が載置され、前記ボート支持用棒状部材が位置調整され
た後、前記ボート支持用棒状部材がその長手方向に移動
することにより、前記遊端側のボートが熱処理室内に搬
送されるようにされる熱処理装置において、 前記保持部が載置される取付板と、 前記取付板の前記ボート支持用棒状部材の一端側にお
いて、前記保持部を前記取付板に点支持して、前記保持
部が前記支持点を中心として前記取付板上で回動可能な
状態とすることにより、前記ボート支持用棒状部材の前
記他端部が左右方向に首振り運動可能な状態となるよう
にする保持部点支持手段と、 前記取付板の前記ボート支持用棒状部材の他端側に設
けられるものであって、前記保持部と前記取付板との一
方側において、前記ボード支持用棒状部材の長手方向に
設けられる長孔と、この長孔に嵌合するように前記保持
部と前記取付板との他方側に設けられる突起と、前記長
孔と突起との嵌合位置を変えることにより、前記保持部
の前記取付板上の回動位置を調整するようにする回動調
整つまみとからなる首振り位置調整手段と、 前記ボート支持用棒状部材を昇降機構に取り付けるた
めのものであって、前記取付板が、前記ボート支持用棒
状部材の長手方向に直交する左右方向に移動可能に取り
付けられる取付台と、 前記取付板上の前記保持部の前記支持点位置の、前記
取付台上での前記左右方向の位置を調整するための左右
位置調整手段と、 を備えることを特徴とする。
この発明による熱処理装置では、熱処理室に対する大
まかな設置位置が定められてボート搬送装置が設置され
る。 そして、この設置後、保持部の点支持位置が熱処理室
である反応管の中心線の延長上に来るように、保持部の
取付板を取付台に対して左右方向に移動させて位置調整
して、取付台に対して、取付板をその位置に固定する。 次に、保持部を点支持位置を中心として取付板上で回
動させる。すると、ボート支持用棒状部材の他端側が、
水平面上を首振り運動をする。そして、ボート支持用棒
状部材の中心線方向が正しく反応管の中心線方向を向く
ように回動位置を調整する。
まかな設置位置が定められてボート搬送装置が設置され
る。 そして、この設置後、保持部の点支持位置が熱処理室
である反応管の中心線の延長上に来るように、保持部の
取付板を取付台に対して左右方向に移動させて位置調整
して、取付台に対して、取付板をその位置に固定する。 次に、保持部を点支持位置を中心として取付板上で回
動させる。すると、ボート支持用棒状部材の他端側が、
水平面上を首振り運動をする。そして、ボート支持用棒
状部材の中心線方向が正しく反応管の中心線方向を向く
ように回動位置を調整する。
以下、この発明による熱処理装置の一実施例を図を参
照しながら説明する。 図の例は、この発明による熱処理装置のボート搬送装
置部の構成の一例で、ボート支持用棒状部材としてのフ
ォーク１は、この例ではSiCで構成され、第１図及び第
２図に示すように、フォーク１の一端側1Aは断面が四角
形の角柱状とされ、この部分がフォーク保持部２に取り
付けられており、この一端側において、フォーク１は保
持されている。 また、フォーク１の他端側1Bは、第３図に示すように
湾曲した板状に構成され、この他端側1B上に、ウェーハ
Ｗを搭載したボート３が載置される。この場合、フォー
ク１の他端側1Bは、ボート３の両側の脚部3A間に挿入さ
れる状態となる。ボート３の脚部3Aの長さは、フォーク
１の他端側1Bの厚みよりも長い。したがって、後述する
ように、フォーク１にボート３を載置して反応管４内に
挿入し、その後、フォーク１を降下させて、ボート３の
脚部3Aが反応管４の載置部に到達する状態となると、フ
ォーク１とボート３とは離間するので、フォーク１のみ
を引き抜いてボート３のみを反応管４内にロードするこ
とができる。また、逆に、ボート３を反応管４から取り
出すときは、フォーク１の他端側1Bをボート３の両側の
脚部3A間に、フォーク１が反応管４壁及びボート３に接
触しないようにして差し入れ、その後、フォーク１を上
昇させると、フォーク１の他端側1B上にボート３が載
り、さらに上昇させると、ボート３を反応管４の載置部
から離間させることができるので、フォーク１を後退さ
せることによって、ボート３を反応管４から引き出すこ
とができる。 フォーク１は、上下方向回動機構５によってその全体
が上下方向に回動するように構成されている。上下方向
回動機構５は第１図、第４図及び第５図に示すように構
成されている。 すなわち、フォーク保持部２は、その取付板としての
シーソー台51上に取り付けられている。このシーソー台
51は、そのほぼ中央部においてフォーク１の長手方向に
直交する水平方向に設けられる軸52に軸支され、この軸
52を支点としてシーソー台51がシーソー運動可能に取り
付けられている。そして、シーソー台51の、フォーク１
の他端側1Bとは反対側の端部には、２個のローラー53,5
4が設けられる。また、シーソー台51の、この端部の上
方には、軸52に平行な方向に回転軸55が設けられると共
に、この回転軸55に２個の偏心カム56,57が、第５図の
拡大図にも示すように、ローラー53,54と圧接するよう
な状態で取り付けられる。 そして、回転軸55が、図示しない例えばパルスモータ
により回転駆動されると、偏心カム56,57が同時にロー
ラー53,54を回転させながら、例えば第５図で矢印で示
すように回転する。シーソー台51は、フォーク１の他端
側の重さにより、常に上昇方向に移動しようとするが、
偏心カム56,57によりその上昇位置が規制されている。
そして、回転軸55の位置は固定されているので、偏心カ
ム56,57の回動により、この偏心カム56,57の形状に応じ
て、ローラー53,54側は、上下動することになる。した
がって、偏心カム56,57の回動に応じて、シーソー台51
は軸52を支軸としてシーソー運動をし、この結果、フォ
ーク１の他端側1Bが上下方向に回動させられるものであ
る。この場合、回転軸55を回転駆動するパルスモータに
供給するパルス数を調整することにより、回転軸55の回
動角を調節し、フォーク１の他端側1Bの上下方向の回転
の移動量を調節できる。 また、第４図に示すように、シーソー台51は、取付台
６上に設けられた左右方向スライド板58上に取付られて
いる。このスライド板58は、取付台６上にフォーク１の
長手方向に直交する方向（左右方向）に設けられている
１対のレール59に摺動移動可能に取り付けられている。
そして、スライド板58は、取付台６の側壁6Aに対して、
雄ねじ（ボルト）61と雌ねじ（ナット）62によって取り
付けられ、両ねじを調節することにより、スライド板58
の取付台６上での左右方向の位置が、したがって保持部
２の左右方向の位置が調整可能である。すなわち、雄ね
じ61は、その先端によってスライド板58の側壁を押すよ
うに作用し、一方、雌ねじ62は、スライド板58を取付台
６の側壁6A側に引っ張るように作用する。したがって、
両ねじを緩めたり、締めたりすることによってスライド
板58の取付台６の側壁6Aに対する左右方向の位置を調整
して固定することができる。 取付台６は、その側方に設けられた昇降機構７によっ
て、昇降ガイド9,10に案内されながら昇降され、これに
よりフォーク１が上下方向に昇降するように構成されて
いる。 また、取付台６の下方には、スライダ８が設けられ
る。このスライダ８は、昇降機構７に連結されている。 このスライダ８は、フォーク１の長手方向に沿って設
けられているボールスクリュー11に取り付けられている
と共に、ガイドレール12,13に対して摺動移動可能に取
り付けられており、ボールスクリュー11は、ベルト14を
介してモータ15により回転駆動される。そして、ボール
スクリュー11が回転することにより、スライダ８がガイ
ドレール12,13に案内されて、フォーク１の長手方向に
摺動移動し、このスライダ８の移動により取付台６、し
たがってフォーク１が反応管４内に向けて、その長手方
向すなわち前後移動方向に摺動移動する。 また、ボート３を載置する前のフォーク１の位置（ホ
ームポジション）において，フォーク１の他端側1Bのボ
ート３の載置部は、第２図に示されるように、フォーク
置き台17の取付部材16に取り付けられた置き台17によっ
て支えられている。また、この取付部材16は、ボールス
クリュー11より大なる径の貫通孔16Aを中央に有してお
り、この貫通孔16A内をボールスクリュー11が挿通され
る。また、この置き台17の取付部材16は、ガイドレール
12,13に対し摺動移動可能に取り付けられている。した
がって、フォーク１の長手方向の力を、この取付部材16
に加えると、この取付部材16がガイドレール12,13に案
内されて摺動移動するように構成されている。 なお、置き台17の取付部材16は、バネ21により図の位
置にあるように常時偏倚されている。 置き台17の取付部材16を摺動移動可能にしたのは、ス
ライダ８を前進させて、フォーク１上に載置したボート
３を反応管４内にローディングあるいはアンローディン
グするのに必要な摺動移動距離の途中に取付部材16が存
在するためである。 フォーク保持部２は、この例では、第６図に示すよう
に、フォーク１の上方及び下方から金属例えばアルミニ
ウムからなる保持板31,32によってフォーク１を挟持し
て保持するように構成される。図の例では、フォーク１
を弾性的に押さえるための介挿板33が下側の保持板32と
フォーク１との間に設けられる。そして、保持板31とフ
ォーク１との間、及び介挿板33とフォーク１との間に
は、フォーク１の汚染を防止するためにシート状部材、
例えばこの例ではテフロンシート34及び35がそれぞれ介
挿される。 そして、保持板31,32間は、図示しないがボルト及び
ナットによって締め付け固定され、その際にフォーク１
はフォーク・ストッパ36,37によって圧着挟持されて固
定される。 こうして、フォーク１は、テフロンシート34及び35に
より金属の保持板31,32とは直接には接触しないように
されるので、フォーク１が保持部２において、汚染され
ることはない。 下側の保持板32の前記上下方向回動用の偏心カム56,5
7側の端部には貫通孔38が穿かれ、この貫通孔38にはス
ペーサ39が挿入される。このスペーサ39にも貫通孔39A
が穿かれており、ねじ40がこのスペーサ39の貫通孔39A
を介して挿入されてシーソー台51のねじ孔51Aに捩じ込
まれる。これにより、下側の保持板32がシーソー台51に
対してねじ40により１点支持される。したがって、下側
の保持板32は、ねじ40による点支持位置を中心としてシ
ーソー台51上で回動可能である。 また、下側の保持板32のフォーク１の他端側の端部に
は、長孔41が設けられている。一方、シーソー台51の前
記長孔41と対応する位置には、シーソー台51の下方から
操作可能な摘み42を回動させることにより回動する円板
43が設けられている。そして、この円板43の回転中心か
らずれた偏心位置には、保持板32の方向に突出する突起
44が設けられており、この突起44が前記下側の保持板32
の長孔41内に嵌合されている。 したがって、第７図に示すように、摘み42を回動する
と、長孔41内の突起44が円板43の中心を回転中心として
回動移動し、その回動移動に伴って保持板32が、ねじ40
による点支持位置を中心としてシーソー台51上で左右方
向に首振り移動をする。このとき、摘み42の回動量を調
整することにより保持板32の、すなわちフォーク１の左
右方向の首振り位置が調節される。 以上のように構成した熱処理装置のボート搬送装置の
設置方法を以下に説明する。 まず、熱処理室である反応管４に対する大まかな設置
位置が定められてボート搬送装置が設置される。 そして、この設置後、保持部２のねじ40による点支持
位置が反応管４の中心線の延長上に来るように、ねじ6
1,62によりシーソー台51をスライド板上で左右方向に移
動させて位置調整し、シーソー台51の取付台６に対する
左右方向の位置を固定する。 次に、摘み42を回して保持部２を、ねじ40による点支
持位置を中心としてシーソー台51上で回動させ、これに
よりフォーク１の他端側1Bを左右方向に首振り移動させ
る。そして、フォーク１の中心線方向が正しく反応管４
の中心線方向を向くように、摘み42の回動量により位置
調整する。 以上により、この発明による熱処理装置の設置が終了
する。 次に、この装置のボート搬送動作について、第８図を
参照しながら説明する。 まず、当初、フォーク１は、第８図Ａに示すように、
その他端側1Bのボート載置部と置き台17の接触部材18と
が離れた状態にある。そこで、オペレータは、上下方向
回動機構５を調節して、第８図Ｂに示すようにフォーク
１の他端側1Bのボート載置部が置き台17の例えば水晶か
らなる接触部材18に接触するように調節する。なお、接
触部材18の水晶は、不純物が全く無いようにクリーニン
グされている。 次に、複数枚のウェーハＷが搭載されたボート３が、
図示しないエレベータ機構によりフォーク１の他端側1B
に、第８図Ｃに示すように載置される。このとき、第２
図及び第３図にも示すようにして、フォーク１は、接触
部材18と接触しているので、置き台17により支えられて
おり、ボート３を載せてもフォーク１は撓まない。 この状態から、上下方向回動機構５を駆動させ、フォ
ーク１の他端側1Bが置き台17の接触部材18から僅かに離
れる程度の状態にして、ボート３の重量分に応じた撓み
補正を行う。この状態は、第８図Ｄのようになり、フォ
ーク１は撓んでいるが、その他端側1Bと一端側1Aとは、
同じ高さ位置になっている。 次に、昇降機構７を駆動して、第８図Ｅに示すよう
に、フォーク１を上昇させ、反応管４内にボート３を挿
入するときに反応管４の内壁を擦らない高さ位置にす
る。すると、フォーク１の他端側1Bと置き台17の接触部
材18とは、第８図Ｅに示すように離れた状態となる。こ
の場合、接触部材18は水晶で構成されているので、フォ
ーク１の接触部材18との接触部位にも金属等の不純物は
付着していない。 次に、モータ15を駆動して、ボールスクリュー11を回
転させ、ボート３を前進させるようにスライダ８を摺動
移動させる。ボート３が反応管４内に挿入される前に、
スライダ８は置き台取付部材16にぶつかり、その後は、
置き台取付部材16はスライダ８と共に摺動移動する。す
ると、フォーク１の方向は正しく反応管４に対して位置
合わせされているので、反応管４内に、全く接触するこ
と無く、ボート３を載置したフォーク１が反応管４内に
挿入される。そして、ボート３が反応管４内の所定位置
まで挿入されると、昇降機構７によりフォーク１が降下
されると共に、上下方向回動機構５による撓み量の補正
分が解除されて、フォーク１が水平状態に戻される。す
ると、ボート３の脚部3Aが反応管４内のボート載置部に
接触し、さらにフォーク１を降下するとフォーク１とボ
ート３とが離れる状態となる。この状態からスライダ８
が後退させられ、元の位置までフォーク１は戻される。 このとき、置き台取付部材16は、バネ21の偏倚力によ
り元の位置まで戻される。 ボート３の反応管４からの取り出しは、前記と逆の動
作となる。 この場合、フォーク１の保持部２では、フォーク１は
テフロンシート34,35により、保持板31,32により金属不
純物によって汚染されるのが防止されるので、フォーク
１が反応管４内に挿入されて、温度が上昇したとして
も、金属不純物の拡散の心配は無い。 なお、以上の例では、フォーク１はSiCで構成した
が、水晶からなるフォークを用いることも勿論できる。 また、以上の例はボートに搭載する被処理体が半導体
ウェーハの場合であるが、被処理体としては、ウェーハ
に限らず、その他の被処理体例えばLCD基板を搭載する
ボートの搬送に、この発明が適用できることはいうまで
もない。
照しながら説明する。 図の例は、この発明による熱処理装置のボート搬送装
置部の構成の一例で、ボート支持用棒状部材としてのフ
ォーク１は、この例ではSiCで構成され、第１図及び第
２図に示すように、フォーク１の一端側1Aは断面が四角
形の角柱状とされ、この部分がフォーク保持部２に取り
付けられており、この一端側において、フォーク１は保
持されている。 また、フォーク１の他端側1Bは、第３図に示すように
湾曲した板状に構成され、この他端側1B上に、ウェーハ
Ｗを搭載したボート３が載置される。この場合、フォー
ク１の他端側1Bは、ボート３の両側の脚部3A間に挿入さ
れる状態となる。ボート３の脚部3Aの長さは、フォーク
１の他端側1Bの厚みよりも長い。したがって、後述する
ように、フォーク１にボート３を載置して反応管４内に
挿入し、その後、フォーク１を降下させて、ボート３の
脚部3Aが反応管４の載置部に到達する状態となると、フ
ォーク１とボート３とは離間するので、フォーク１のみ
を引き抜いてボート３のみを反応管４内にロードするこ
とができる。また、逆に、ボート３を反応管４から取り
出すときは、フォーク１の他端側1Bをボート３の両側の
脚部3A間に、フォーク１が反応管４壁及びボート３に接
触しないようにして差し入れ、その後、フォーク１を上
昇させると、フォーク１の他端側1B上にボート３が載
り、さらに上昇させると、ボート３を反応管４の載置部
から離間させることができるので、フォーク１を後退さ
せることによって、ボート３を反応管４から引き出すこ
とができる。 フォーク１は、上下方向回動機構５によってその全体
が上下方向に回動するように構成されている。上下方向
回動機構５は第１図、第４図及び第５図に示すように構
成されている。 すなわち、フォーク保持部２は、その取付板としての
シーソー台51上に取り付けられている。このシーソー台
51は、そのほぼ中央部においてフォーク１の長手方向に
直交する水平方向に設けられる軸52に軸支され、この軸
52を支点としてシーソー台51がシーソー運動可能に取り
付けられている。そして、シーソー台51の、フォーク１
の他端側1Bとは反対側の端部には、２個のローラー53,5
4が設けられる。また、シーソー台51の、この端部の上
方には、軸52に平行な方向に回転軸55が設けられると共
に、この回転軸55に２個の偏心カム56,57が、第５図の
拡大図にも示すように、ローラー53,54と圧接するよう
な状態で取り付けられる。 そして、回転軸55が、図示しない例えばパルスモータ
により回転駆動されると、偏心カム56,57が同時にロー
ラー53,54を回転させながら、例えば第５図で矢印で示
すように回転する。シーソー台51は、フォーク１の他端
側の重さにより、常に上昇方向に移動しようとするが、
偏心カム56,57によりその上昇位置が規制されている。
そして、回転軸55の位置は固定されているので、偏心カ
ム56,57の回動により、この偏心カム56,57の形状に応じ
て、ローラー53,54側は、上下動することになる。した
がって、偏心カム56,57の回動に応じて、シーソー台51
は軸52を支軸としてシーソー運動をし、この結果、フォ
ーク１の他端側1Bが上下方向に回動させられるものであ
る。この場合、回転軸55を回転駆動するパルスモータに
供給するパルス数を調整することにより、回転軸55の回
動角を調節し、フォーク１の他端側1Bの上下方向の回転
の移動量を調節できる。 また、第４図に示すように、シーソー台51は、取付台
６上に設けられた左右方向スライド板58上に取付られて
いる。このスライド板58は、取付台６上にフォーク１の
長手方向に直交する方向（左右方向）に設けられている
１対のレール59に摺動移動可能に取り付けられている。
そして、スライド板58は、取付台６の側壁6Aに対して、
雄ねじ（ボルト）61と雌ねじ（ナット）62によって取り
付けられ、両ねじを調節することにより、スライド板58
の取付台６上での左右方向の位置が、したがって保持部
２の左右方向の位置が調整可能である。すなわち、雄ね
じ61は、その先端によってスライド板58の側壁を押すよ
うに作用し、一方、雌ねじ62は、スライド板58を取付台
６の側壁6A側に引っ張るように作用する。したがって、
両ねじを緩めたり、締めたりすることによってスライド
板58の取付台６の側壁6Aに対する左右方向の位置を調整
して固定することができる。 取付台６は、その側方に設けられた昇降機構７によっ
て、昇降ガイド9,10に案内されながら昇降され、これに
よりフォーク１が上下方向に昇降するように構成されて
いる。 また、取付台６の下方には、スライダ８が設けられ
る。このスライダ８は、昇降機構７に連結されている。 このスライダ８は、フォーク１の長手方向に沿って設
けられているボールスクリュー11に取り付けられている
と共に、ガイドレール12,13に対して摺動移動可能に取
り付けられており、ボールスクリュー11は、ベルト14を
介してモータ15により回転駆動される。そして、ボール
スクリュー11が回転することにより、スライダ８がガイ
ドレール12,13に案内されて、フォーク１の長手方向に
摺動移動し、このスライダ８の移動により取付台６、し
たがってフォーク１が反応管４内に向けて、その長手方
向すなわち前後移動方向に摺動移動する。 また、ボート３を載置する前のフォーク１の位置（ホ
ームポジション）において，フォーク１の他端側1Bのボ
ート３の載置部は、第２図に示されるように、フォーク
置き台17の取付部材16に取り付けられた置き台17によっ
て支えられている。また、この取付部材16は、ボールス
クリュー11より大なる径の貫通孔16Aを中央に有してお
り、この貫通孔16A内をボールスクリュー11が挿通され
る。また、この置き台17の取付部材16は、ガイドレール
12,13に対し摺動移動可能に取り付けられている。した
がって、フォーク１の長手方向の力を、この取付部材16
に加えると、この取付部材16がガイドレール12,13に案
内されて摺動移動するように構成されている。 なお、置き台17の取付部材16は、バネ21により図の位
置にあるように常時偏倚されている。 置き台17の取付部材16を摺動移動可能にしたのは、ス
ライダ８を前進させて、フォーク１上に載置したボート
３を反応管４内にローディングあるいはアンローディン
グするのに必要な摺動移動距離の途中に取付部材16が存
在するためである。 フォーク保持部２は、この例では、第６図に示すよう
に、フォーク１の上方及び下方から金属例えばアルミニ
ウムからなる保持板31,32によってフォーク１を挟持し
て保持するように構成される。図の例では、フォーク１
を弾性的に押さえるための介挿板33が下側の保持板32と
フォーク１との間に設けられる。そして、保持板31とフ
ォーク１との間、及び介挿板33とフォーク１との間に
は、フォーク１の汚染を防止するためにシート状部材、
例えばこの例ではテフロンシート34及び35がそれぞれ介
挿される。 そして、保持板31,32間は、図示しないがボルト及び
ナットによって締め付け固定され、その際にフォーク１
はフォーク・ストッパ36,37によって圧着挟持されて固
定される。 こうして、フォーク１は、テフロンシート34及び35に
より金属の保持板31,32とは直接には接触しないように
されるので、フォーク１が保持部２において、汚染され
ることはない。 下側の保持板32の前記上下方向回動用の偏心カム56,5
7側の端部には貫通孔38が穿かれ、この貫通孔38にはス
ペーサ39が挿入される。このスペーサ39にも貫通孔39A
が穿かれており、ねじ40がこのスペーサ39の貫通孔39A
を介して挿入されてシーソー台51のねじ孔51Aに捩じ込
まれる。これにより、下側の保持板32がシーソー台51に
対してねじ40により１点支持される。したがって、下側
の保持板32は、ねじ40による点支持位置を中心としてシ
ーソー台51上で回動可能である。 また、下側の保持板32のフォーク１の他端側の端部に
は、長孔41が設けられている。一方、シーソー台51の前
記長孔41と対応する位置には、シーソー台51の下方から
操作可能な摘み42を回動させることにより回動する円板
43が設けられている。そして、この円板43の回転中心か
らずれた偏心位置には、保持板32の方向に突出する突起
44が設けられており、この突起44が前記下側の保持板32
の長孔41内に嵌合されている。 したがって、第７図に示すように、摘み42を回動する
と、長孔41内の突起44が円板43の中心を回転中心として
回動移動し、その回動移動に伴って保持板32が、ねじ40
による点支持位置を中心としてシーソー台51上で左右方
向に首振り移動をする。このとき、摘み42の回動量を調
整することにより保持板32の、すなわちフォーク１の左
右方向の首振り位置が調節される。 以上のように構成した熱処理装置のボート搬送装置の
設置方法を以下に説明する。 まず、熱処理室である反応管４に対する大まかな設置
位置が定められてボート搬送装置が設置される。 そして、この設置後、保持部２のねじ40による点支持
位置が反応管４の中心線の延長上に来るように、ねじ6
1,62によりシーソー台51をスライド板上で左右方向に移
動させて位置調整し、シーソー台51の取付台６に対する
左右方向の位置を固定する。 次に、摘み42を回して保持部２を、ねじ40による点支
持位置を中心としてシーソー台51上で回動させ、これに
よりフォーク１の他端側1Bを左右方向に首振り移動させ
る。そして、フォーク１の中心線方向が正しく反応管４
の中心線方向を向くように、摘み42の回動量により位置
調整する。 以上により、この発明による熱処理装置の設置が終了
する。 次に、この装置のボート搬送動作について、第８図を
参照しながら説明する。 まず、当初、フォーク１は、第８図Ａに示すように、
その他端側1Bのボート載置部と置き台17の接触部材18と
が離れた状態にある。そこで、オペレータは、上下方向
回動機構５を調節して、第８図Ｂに示すようにフォーク
１の他端側1Bのボート載置部が置き台17の例えば水晶か
らなる接触部材18に接触するように調節する。なお、接
触部材18の水晶は、不純物が全く無いようにクリーニン
グされている。 次に、複数枚のウェーハＷが搭載されたボート３が、
図示しないエレベータ機構によりフォーク１の他端側1B
に、第８図Ｃに示すように載置される。このとき、第２
図及び第３図にも示すようにして、フォーク１は、接触
部材18と接触しているので、置き台17により支えられて
おり、ボート３を載せてもフォーク１は撓まない。 この状態から、上下方向回動機構５を駆動させ、フォ
ーク１の他端側1Bが置き台17の接触部材18から僅かに離
れる程度の状態にして、ボート３の重量分に応じた撓み
補正を行う。この状態は、第８図Ｄのようになり、フォ
ーク１は撓んでいるが、その他端側1Bと一端側1Aとは、
同じ高さ位置になっている。 次に、昇降機構７を駆動して、第８図Ｅに示すよう
に、フォーク１を上昇させ、反応管４内にボート３を挿
入するときに反応管４の内壁を擦らない高さ位置にす
る。すると、フォーク１の他端側1Bと置き台17の接触部
材18とは、第８図Ｅに示すように離れた状態となる。こ
の場合、接触部材18は水晶で構成されているので、フォ
ーク１の接触部材18との接触部位にも金属等の不純物は
付着していない。 次に、モータ15を駆動して、ボールスクリュー11を回
転させ、ボート３を前進させるようにスライダ８を摺動
移動させる。ボート３が反応管４内に挿入される前に、
スライダ８は置き台取付部材16にぶつかり、その後は、
置き台取付部材16はスライダ８と共に摺動移動する。す
ると、フォーク１の方向は正しく反応管４に対して位置
合わせされているので、反応管４内に、全く接触するこ
と無く、ボート３を載置したフォーク１が反応管４内に
挿入される。そして、ボート３が反応管４内の所定位置
まで挿入されると、昇降機構７によりフォーク１が降下
されると共に、上下方向回動機構５による撓み量の補正
分が解除されて、フォーク１が水平状態に戻される。す
ると、ボート３の脚部3Aが反応管４内のボート載置部に
接触し、さらにフォーク１を降下するとフォーク１とボ
ート３とが離れる状態となる。この状態からスライダ８
が後退させられ、元の位置までフォーク１は戻される。 このとき、置き台取付部材16は、バネ21の偏倚力によ
り元の位置まで戻される。 ボート３の反応管４からの取り出しは、前記と逆の動
作となる。 この場合、フォーク１の保持部２では、フォーク１は
テフロンシート34,35により、保持板31,32により金属不
純物によって汚染されるのが防止されるので、フォーク
１が反応管４内に挿入されて、温度が上昇したとして
も、金属不純物の拡散の心配は無い。 なお、以上の例では、フォーク１はSiCで構成した
が、水晶からなるフォークを用いることも勿論できる。 また、以上の例はボートに搭載する被処理体が半導体
ウェーハの場合であるが、被処理体としては、ウェーハ
に限らず、その他の被処理体例えばLCD基板を搭載する
ボートの搬送に、この発明が適用できることはいうまで
もない。
以上説明したように、この発明においては、ボート支
持用棒状部材の保持部を、取付台に対して水平方向にス
ライド移動させて左右方向位置を微調させる機構と、ボ
ート支持用棒状部材の一端側を支点として、このボート
支持用棒状部材の他端側を首振り移動させて、フォーク
の中心線方向と熱処理室の中心線方向とを合わせる微調
機構を設けたので、この発明のボート搬送装置の取付設
置は大まかにして、設置後に、前記微調機構により正確
に位置調整できる。また、使用により、または外的要因
により取付位置が動いても、装置を設置し直すこと無
く、調整可能である。
持用棒状部材の保持部を、取付台に対して水平方向にス
ライド移動させて左右方向位置を微調させる機構と、ボ
ート支持用棒状部材の一端側を支点として、このボート
支持用棒状部材の他端側を首振り移動させて、フォーク
の中心線方向と熱処理室の中心線方向とを合わせる微調
機構を設けたので、この発明のボート搬送装置の取付設
置は大まかにして、設置後に、前記微調機構により正確
に位置調整できる。また、使用により、または外的要因
により取付位置が動いても、装置を設置し直すこと無
く、調整可能である。
第１図は、この発明による熱処理装置の要部の一実施例
の斜視図、第２図はその一部側面図、第３図はその正面
図、第４図は上下方向位置調整機構を説明するための
図、第５図は上下方向位置調整機構の要部の拡大図、第
６図はフォーク保持部及びフォーク首振り移動機構の構
成の分解図、第７図はフォーク首振り移動の説明図、第
８図はボート搬送動作を説明するための図である。 1;ボート支持用棒状部材としてのフォーク 2;フォーク保持部 3;ボート 4;反応管 5;上下方向回動機構 6;取付台 7;昇降機構 8;スライダ 17;置き台 31,32;保持板 40;点支持用ねじ 41;長孔 42;摘み 44;突起 51;シーソー台 58;左右方向スライド板 59;レール 61;雄ねじ 62;雌ねじ
の斜視図、第２図はその一部側面図、第３図はその正面
図、第４図は上下方向位置調整機構を説明するための
図、第５図は上下方向位置調整機構の要部の拡大図、第
６図はフォーク保持部及びフォーク首振り移動機構の構
成の分解図、第７図はフォーク首振り移動の説明図、第
８図はボート搬送動作を説明するための図である。 1;ボート支持用棒状部材としてのフォーク 2;フォーク保持部 3;ボート 4;反応管 5;上下方向回動機構 6;取付台 7;昇降機構 8;スライダ 17;置き台 31,32;保持板 40;点支持用ねじ 41;長孔 42;摘み 44;突起 51;シーソー台 58;左右方向スライド板 59;レール 61;雄ねじ 62;雌ねじ
Claims (1)
- 【請求項１】水平方向に配置されるボート支持用棒状部
材の一端側が保持部に取り付けられ、他端側が遊端とさ
れ、この遊端側に複数の被処理体が搭載されるボートが
載置され、前記ボート支持用棒状部材が位置調整された
後、前記ボート支持用棒状部材がその長手方向に移動す
ることにより、前記遊端側のボートが熱処理室内に搬送
されるようにされる熱処理装置において、 前記保持部が載置される取付板と、 前記取付板の前記ボート支持用棒状部材の一端側におい
て、前記保持部を前記取付板に点支持して、前記保持部
が前記支持点を中心として前記取付板上で回動可能な状
態とすることにより、前記ボート支持用棒状部材の前記
他端部が左右方向に首振り運動可能な状態となるように
する保持部点支持手段と、 前記取付板の前記ボート支持用棒状部材の他端側に設け
られるものであって、前記保持部と前記取付板との一方
側において、前記ボード支持用棒状部材の長手方向に設
けられる長孔と、この長孔に嵌合するように前記保持部
と前記取付板との他方側に設けられる突起と、前記長孔
と突起との嵌合位置を変えることにより、前記保持部の
前記取付板上の回動位置を調整するようにする回動調整
つまみとからなる首振り位置調整手段と、 前記ボート支持用棒状部材を昇降機構に取り付けるため
のものであって、前記取付板が、前記ボート支持用棒状
部材の長手方向に直交する左右方向に移動可能に取り付
けられる取付台と、 前記取付板上の前記保持部の前記支持点位置の、前記取
付台上での前記左右方向の位置を調整するための左右位
置調整手段と、 を備えることを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23418390A JP2931924B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23418390A JP2931924B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114424A JPH04114424A (ja) | 1992-04-15 |
| JP2931924B2 true JP2931924B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=16966979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23418390A Expired - Fee Related JP2931924B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2931924B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9508914B2 (en) | 2013-03-21 | 2016-11-29 | Tokyo Electron Limited | Magnetic annealing apparatus |
| JP6134174B2 (ja) * | 2013-03-21 | 2017-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 磁気アニール装置 |
-
1990
- 1990-09-04 JP JP23418390A patent/JP2931924B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04114424A (ja) | 1992-04-15 |
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