JPH04113617A - ボート搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、ボート搬送装置に関する。

【従来の技術】

半導体製造工程において、例えば拡散処理は熱処理室で
ある筒状の反応管内に、複数枚の例えば１００枚の半導
体ウェーハを、互いの主面が対向する状態で並列に並べ
て搭載するボートと呼ばれる治具を挿入して行う。 反応管内にボートを挿入搬送する方法としては、ソフト
ランディングと呼ばれる方法か、熱処理室内に塵埃を生
しさせない等の理由により用いられている。すなわち、
例えば石英又はＳｉＣで構成されるフォークと呼ばれる
ボート支持用棒状部材の一端側を例えばアルミニウム等
の金属で構成される保持部に取り付けて、この一端側に
おいてフォークを支持する。そして、このフォークを昇
降機構によって昇降移動可能とし、そのフォークの他端
側に前記ウェーハを複数枚搭載したボートを載置し、こ
の状態でフォークをその長手方向に前進させて、他端側
に載置されたボートを反応管内に搬入する。その後、フ
ォークを下げてボートの脚部を反応管内のボート載置部
に接触させることにより、フォークとボートとが離間す
る状態になるので、フォークのみを反応管から取り出し
、反応管内へのボートの搬入設置を行うものである（例
えば特公昭６２−３５２６１号公報、特公昭６２−３５
７１号公報参照）。 このソフトランディング法によれば、ボートやフォーク
か反応管の壁を擦ることがないので、塵埃を発生するこ
と無く、ボートの搬入、取り出しができる。

【発明が解決しようとする課題】

ところで、石英又はＳｉＣからなり不純物のないフォー
クの一端側を保持するための保持部は、前述したように
アルミニウム等の金属で構成されている。このため、フ
ォークの一端側の保持部では、フォークと金属の保持部
とか直接的に接触する部分が生し、フォークに金属が付
着する。このフォークに付着した金属は不純物であり、
しかもフォーク中をこの金属不純物が拡散する。そして
、熱処理室内に挿入される等してフォークの温度が上昇
すると、付着した金属不純物の拡散係数か大きくなり、
被処理体としてのウェーハにも影響を与え、このウェー
ハの性能を劣化させる恐れがあった。 この発明は、以上のようなフォークに付着する不純物金
属の拡散によるウェーハ等の被処理体の汚染を防止でき
るボート搬送装置を提供しようとするものである。

【課題を解決するための手段】

この発明は、一端側か保持部に取り付けられ、他端側か
遊端とされ、この他端側に複数の被処理体が搭載される
ボートか載置されるボート支持用棒状部材を備え、前記
ボートを熱処理室内に搬送するようにしたボート搬送装
置において、前記ボート支持用棒状部材は石英又はＳｉ
Ｃからなり、このボート支持用棒状部材及び前記保持部
間の少なくとも接触部位には、前記ボート支持用棒状部
材の汚染防止用のシート状部材を介挿したことを特徴と
する。

【作用】

この発明では、ボート支持用棒状部材と保持部との接触
部位には、シート状部材が介挿され、このシート状部材
により保持部とボート支持用棒状部材とが直接接触しな
い。このため、ボート支持用棒状部材が金属の保持部材
によって汚染されることかない。

【実施例】

以下、この発明によるボート搬送装置の一実施例を図を
参照しながら説明する。 ボート支持用棒状部材としてのフォーク１は、この例で
はＳｉＣて構成され、第１図及び第２図に示すように、
フォーク１の一端側ＩＡは断面が四角形の角柱状とされ
、この部分がフォーク保持部２に取り付けられて、この
一端側において、フォーク１は支持されている。また、
フォーク１の他端側ＩＢは、第３図に示すように湾曲し
た板状に構成され、この他端側ＩＢ上に、ウニ　／’Ｗ
を搭載したボート３が載置される。そして、フォーク１
の他端側ＩＢは、ボート３の両側の脚部３Ａ間に挿入さ
れる状態となる。ボート３の脚部３Ａの長さは、フォー
ク１の他端側１Ｂの厚みよりも長い。したがって、後述
するように、フォーク１にボート３を載置して、反応管
４内に挿入してフォーク１を降下させて、ボート３の脚
部３Ａが反応管４の載置部に到達すると、フォーク１と
ボート３とは離間するので、フォーク１のみを引き抜い
てボート３のみを反応管４内にロードすることかできる
。また、逆に、ボート３を反応管４から取り出すときは
、フォーク１の他端側ＩＢをホト３の両側の脚部３Ａ間
に、フォーク１か反応管４壁及びボート３に接触しない
ようにして差し入れ、その後、フォーク１を上昇させる
と、フォーク１の他端側ＩＢ上にボート３か載り、さら
に上昇させると、ボート３を反応管４の載置部から離間
させることができるので、フォーク１を後退させること
によって、ボート３を反応管４から引き出すことができ
る。 フォーク保持部２は、上下方向回動機構５に取り付けら
れており、この回動機構５によってフォツ１が保持部２
の部分を回動支点として、上下方向に回動するように構
成されている。すなわち、保持部２は、そのほぼ中央部
においてフォーク１の長手方向に直交する水平方向に設
けられる軸（図示せず）に枢支され、この軸を支点とし
て保持部２がンーソー運動可能に取り付けられている。 そして、上下方向回動機構５は、保持部２のフォーク１
とは反対側の端部を上下動させるもので、これによりフ
ォーク１の他端側ＩＢか上下方向に回動させられるもの
である。この場合、上下方向回動機構５は、その上下方
向の回動の運動量を調節できるように構成されている。 また、保持部２及び上下方向回動機構５は、取付台６上
に取り付けられており、その側方に設けられた昇降機構
７によって、取付台６が昇降ガイド９，１０に案内され
なから昇降され、これによりフォーク１が上下方向に昇
降するように構成されている。 また、取付台６の下方には、スライダ８が設けられる。 このスライダ８は、昇降機構７に連結されている。 このスライダ８は、フォーク１の長手方向に沿って設け
られているボールスクリュー１１に取す付けられている
と共に、ガイドレール１２．１３に対して摺動移動可能
に取り付けられており、ポルスクリユー１１は、ベルト
１４を介してモータ１により回転駆動される。そして、
ボールスクリュー１１が回転することにより、スライダ
８がガイドレール１２．１３に案内されて、フォーク１
の長手方向に摺動移動し、このスライダ８の移動により
取付台６、したかってフォーク１か前後移動方向に摺動
移動する。 また、ボート３を載置する前のフォーク１の後退位置（
ホームポジション）において、フォーク１の他端側ＩＢ
のボート３の載置部の下方は、第２図に示されるように
、フォーク置き台１７の取付部材１６に取り付けられた
置き台１７によって支えられている。また、この取付部
材１６は、ボールスクリュー１１より大なる径の貫通孔
１６Ａを中央に有しており、この貫通孔１６Ａ内をボー
ルスクリュー１１が挿通される。また、この置き台１７
の取付部材１６は、ガイドレール１２，１３に対し摺動
移動可能に取り付けられている。したがって、フォーク
１の長手方向のへ力を、この取付部材１６に加えると、
この取付部材１６がガイドレール１２．１３に案内され
て摺動移動するように構成されている。 なお、置き台１７の取付部材１６は、ハネ２１により図
の位置にあるように常時偏倚されている。 置き台１７の取付部材１６を摺動移動可能にしたのは、
スライダ８を前進させて、フォーク１上に載置したボー
ト３を反応管４内にローディングあるいはアンローディ
ングするのに必要な摺動移動距離の途中に取付部材１６
か存在するためである。 フォーク保持部２は、この例では、第４図に示すように
、フォーク１の上方及び下方から金属例えばアルミニウ
ムからなる保持板３１．３２によってフォーク１を挟持
して保持するように構成される。図の例では、フォーク
１を弾性的に押さえるための介挿板３３が下側の保持板
３２とフォーク１との間に設けられる。そして、保持板
３１とフォーク１との間、及び介挿板３３とフォーク１
との間には、フォーク１の汚染を防止するためにシート
状部材、例えばこの例ではテフロンシート３４及び３５
かそれぞれ介挿される。 そして、保持板３１．３２間は、図示しないがボルト及
びナツトによって締め付は固定され、その際にフォーク
１はフォーク・ストッパ３６．３７によって圧着挟持さ
れて固定される。 こうして、フォーク１は、テフロンシート３４及び３５
により金属の保持板３１．３２とは直接には接触しない
ようにされるので、フォーク１が保持部２において、汚
染されることはない。 次に、このボート搬送装置の動作について、第５図を参
照しながら説明する。 まず、当初、フォーク１は、第５図Ａに示すように、そ
の他端側ＩＢのボート載置部と置き台１７の接触部材１
８とが離れた状態にある。そこで、オペレータは、上下
方向回動機構５を調節して、第５図Ｂに示すようにフォ
ーク１の他端側ＩＢのボート載置部が置き台１７の例え
ば水晶からなる接触部材１８に接触するように調節する
。なお、接触部材１８の水晶は、不純物が全く無いよう
にクリーニングされている。 次に、複数枚のウェーハＷが搭載されたボート３が、図
示しないエレベータ機構によりフォーク１の他端側ＩＢ
に、第５図Ｃに示すように載置される。このとき、第２
図及び第３図にも示すようにして、フォーク１は、接触
部材１８と接触しているので、置き台１７により支えら
れており、ボート３を載せてもフォーク１は撓まない。 この状態から、上下方向回動機構５を駆動させ、フォー
ク１の他端側ＩＢか置き台１７の接触部材１８から僅か
に離れる程度の状態にして、ボート３の重量針に応した
撓み補正を行う。この状態は、第５図りのようになり、
フォーク１は撓んでいるが、その他端側ＩＢと一端側Ｉ
Ａとは、同し高さ位置になっている。 次に、昇降機構７を駆動して、第５図Ｅに示すように、
フォーク１を上昇させ、反応管４内にボート３を挿入す
るときに反応管４の内壁を擦らない高さ位置にする。す
ると、フォーク１の他端側ＩＢと置き台１７の接触部材
１８とは、第５図Ｅに示すように離れた状態となる。こ
の場合、接触部材１８は水晶で構成されているので、フ
ォーク１の接触部材１８との接触部位にも金属等の不純
物は付着していない。 次に、モータ１５を駆動して、ホールスクリュー１１を
回転させ、ボート３を前進させるようにスライダ８を摺
動移動させる。ボート３か反応管４内に挿入される前に
、スライダ８は置き台取付部材１６にぶつかり、その後
は、置き台取付部材１６はスライダ８と共に摺動移動す
る。そして、ボート３が反応管４内の所定位置まで挿入
されると、昇降機構７によりフォーク１が降下されると
共に、上下方向回動機構５による撓み量の補正分が解除
されて、フォーク１が水平状態に戻される。 すると、ボート３の脚部３Ａが反応管４内のボート載置
部に接触し、さらにフォーク１を降下するとフォーク１
とボート３とが離れる状態となる。 この状態からスライダ８か後退させられ、元の位置まで
フォーク１は戻される。 このとき、置き台取付部材１６は、バネ２１の偏倚力に
より元の位置まで戻される。 ボート３の反応管４からの取り出しは、前記と逆の動作
となる。 この場合、フォーク１の保持部２ては、フォーク１はテ
フロンシート３４．３５により、保持板３１．３２によ
り金属不純物によって汚染されるのが防止されるので、
フォーク１か反応管４内に挿入されて、温度か上昇した
としても、金属不純物の拡散の心配は無い。 すなわち、第６図に示すように、ＳｉＣに対する金属不
純物の拡散率は、温度に依存して、温度が高くなるにし
たがって拡散係数りが非常に大きくなるが、この発明で
はＳｉＣのフォーク１には金属不純物がシート３４．３
５によって付着しないようにされるので、金属不純物に
よる汚染の心配はほとんど無い。 なお、以上の例では、フォーク１はＳｉＣで構成したが
、水晶からなるフォークを用いることも勿論できる。 また、汚染を防止する非金属シート状部材は、テフロン
シートに限られるものではなく、薄い板の水晶板やＳｉ
Ｃ板を用いるようにしてもよい。 また、以上の例はボートに搭載する被処理体か半導体ウ
ェーハの場合であるが、被処理体としては、ウェーハに
限らず、その他の被処理体例えばＬＣＤ基板を搭載する
ボートの搬送に、この発明が適用できることはいうまで
もない。

【発明の効果】

以上説明したように、この発明においては、ボート支持
用棒状部材の保持部及びボート支持用棒状部材間の少な
くとも接触部を水晶又はＳｉＣなとの非金属シート状部
材を介して構成するので、ボート支持用棒状部材の前記
接触部に金属等の不純物が付着することかない。したが
って、従来のような被処理体への金属不純物の拡散は生
じないので、被処理体の性能を悪化させること無く、良
好な熱処理を行うことかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるボート搬送装置の一実施例の
斜視図、第２図はその一部側面図、第３図はその正面図
、第４図はフォーク保持部の−実施例の要部の分解図、
第５図はホード搬送動作を説明するための図、第６図は
金属不純物の拡散率を説明するための図である。 １；ボート支持用棒状部材としてのフォーク２；フォー
ク保持部 ３；ボート ４；反応管 ５；上下方向回動機構 ７、昇降機構 ８；スライダ １７；置き台 ３１．３２．保持板 ３４．３５；テフロンシート 代理人　弁理士　佐　藤　正　美 第 図 ＳｉＣ＋−文４￥る不純物力拡散め説明図第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 一端側が保持部に取り付けられ、他端側が遊端とされ、
   この他端側に複数の被処理体が搭載されるボートが載置
   されるボート支持用棒状部材を備え、前記ボートを熱処
   理室内に搬送するようにしたボート搬送装置において、 前記ボート支持用棒状部材は石英又はＳｉＣからなり、
   このボート支持用棒状部材及び前記保持部間の少なくと
   も接触部位には、前記ボート支持用棒状部材の汚染防止
   用のシート状部材を介挿したことを特徴とするボート搬
   送装置。