JP3056242B2 - 縦型熱処理装置のプロセスチューブ用搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、縦型熱処理装置のプロセスチューブ用搬送
装置に関する。

（従来の技術） 近年、半導体デバイスの製造工程における熱拡散工程
や成膜工程で使用される熱処理装置として、無塵化およ
び省スペース化等を図ることのできる縦型熱処理装置が
用いられるようになってきた。

すなわち、このような縦型熱処理装置では、耐熱製材
料例えば石英等からなり、円筒状に形成されたプロセス
チューブは、筐体内にほぼ垂直に設けられており、この
プロセスチューブの周囲には、プロセスチューブを囲繞
する如くヒータ、均熱管、断熱材等が設けられている。
また、筐体内のプロセスチューブの下方にはウエハボー
トを上下動させるためのボートエレベータが設けられて
いる。

そして、被処理物例えば半導体ウエハを、ウエハボー
ド上に多数配列し、このウエハボートを、ボートエレベ
ータによってプロセスチューブ内にロード・アンロード
するように構成されている。

上記構成の縦型熱処理装置では、メンテナンス等のた
めプロセスチューブの着脱を行う必要がある。このた
め、筐体内のプロセスチューブの下方には、プロセスチ
ューブを支持して水平にスライドさせるためのチューブ
スライド機構が設けられている。そして、例えばプロセ
スチューブを取り外す場合は、まず、ボートエレベータ
によって支持した状態でプロセスチューブを基台に固定
しているねじ等を取り外し、この後、ボートエレベータ
によってプロセスチューブを下降させてチューブスライ
ド機構上に載置し、しかる後、チューブスライド機構に
よってプロセスチューブをスライドさせて筐体内から引
き出し、このプロセスチューブを作業員が持って運ぶこ
とによりプロセスチューブの取り外しを行っている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述した従来の縦型熱処理装置におい
ても、さらに製造コストの低減を図ることおよびメンテ
ナンスを容易に実施できるようにすること等が当然要求
される。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもの
で、プロセスチューブの搬送を容易に実施可能とすると
ともに、従来に較べて縦型熱処理装置の製造コストの低
減を図ることのできる縦型熱処理装置のプロセスチュー
ブ用搬送装置を提供しようとするものである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） すなわち本発明の縦型熱処理装置のプロセスチュ−ブ
用搬送装置は、ボ−トエレベ−タによって上昇、下降可
能とされたプロセスチュ−ブを、縦型熱処理装置の内外
へ搬出入させる縦型熱処理装置のプロセスチュ−ブ用搬
送装置において、 車輪を具備し、移動自在に構成された基台と、 この基台上に設けられ、チュ−ブスライドのプロセス
チュ−ブ支持部の上に前記プロセスチュ−ブをほぼ垂直
に支持して水平にスライド可能とされたスライド機構で
あって、縦型熱処理装置のプロセスチュ−ブ配置部の下
方に前記プロセスチュ−ブ支持部を挿入した状態で、前
記ボ−トエレベ−タによって前記プロセスチュ−ブを上
昇、下降させることにより当該ボ−トエレベ−タとの間
で前記プロセスチュ−ブを受け渡し可能に構成されたス
ライド機構と を備えたことを特徴とする。

また、請求項２は、請求項１記載の縦型熱処理装置の
プロセスチュ−ブ用搬送装置において、前記プロセスチ
ュ−ブ支持部が略Ｃ字状に形成されていることを特徴と
する。

また、請求項３は、請求項１記載の縦型熱処理装置の
プロセスチュ−ブ用搬送装置において、前記スライド機
構が、前記チュ−ブスライドを所望位置に固定可能に構
成されていることを特徴とする。

また、請求項４は、請求項１記載の縦型熱処理装置の
プロセスチュ−ブ用搬送装置において、水準器を具備し
ていることを特徴とする。

（作 用） 上記構成の本発明の縦型熱処理装置のプロセスチュー
ブ用搬送装置では、スライド機構によってプロセスチュ
ーブをスライドさせることにより、縦型熱処理装置の筐
体内にプロセスチューブを挿入あるいは引き出すことが
でき、このスライド機構上にプロセスチューブを支持し
た状態で基台に設けられた車輪により容易に搬送するこ
とができる。

また、従来各装置に設けていたチューブスライド機構
が不要となり、従来に較べて縦型熱処理装置の製造コス
トの低減を図ることができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図に示すように、プロセスチューブ用搬送装置１
は、材質例えば金属あるいは樹脂等からほぼ短形状に形
成された基台２を備えており、この基台２の下面には、
複数例えば４つの車輪３（キャスタ）が四隅に設けられ
ている。

また、基台２の上面には、例えば金属製パイプをほぼ
コ字状に形成してなるハンドル４が、その両側端部を基
台２の端部に設けられたハンドル固定部５に固定されて
おり、基台２は、このハンドル４および車輪３によって
容易に移動できるよう構成されている。なお、ハンドル
固定部５は基台２の両側に設けられており、所望側にハ
ンドル４を取り付け可能な如く構成されている。

さらに、基台２の上面には、熱処理装置のプロセスチ
ューブをほぼ垂直に支持して水平にスライドさせるスラ
イド機構が設けられている。すなわち、基台２の上面に
は、板状に形成されたスライドベース６が基台２の先端
側に突出する如く設けられており、このスライドベース
６上に設けられたレール７上をスライド可能な如く、プ
ロセスチューブを支持するためのチューブスライド８が
設けられている。なお、チューブスライド８のプロセス
チューブ支持部8aは、プロセスチューブの径に合わせて
Ｃ字状に形成されており、ボートエレベータのアームが
Ｃ字状の解放部を通過できるように構成されている。

上記チューブスライド８には固定用ピン９が設けられ
ており、この固定用ピン９に対応してレール７には、複
数のピン穴10が設けられている。そして、固定用ピン９
を所望のピン穴10に挿入することにより、チューブスラ
イド８を所望位置に固定可能な如く構成されている。な
お、ピン穴10は、第１図に示すようにチューブスライド
８を突出させ、縦型熱処理装置20の筐体21内に挿入した
位置で固定するためのものと、プロセスチューブを引き
出して搬送する位置で固定するためのものと少なくとも
２つ設けられている。また、このチューブスライド８に
は、ほぼ水平にセットするための水準器11が設けられて
いる。

一方、スライドベース６には、縦型熱処理装置20の筐
体21内に設けられたガイド22にスライドベース６を固定
するための機構として例えば蝶ねじ12と、高さ位置を設
定するためのセンターボルト13が設けられており、さら
に、水平にセットするためのレベリングねじ14が設けら
れている。

上記構成のこの実施例のプロセスチューブ用搬送装置
１を使用する場合、まず、縦型熱処理装置20の筐体21の
後部等に設けられたメンテナンス用開口23の前まで、プ
ロセスチューブ用搬送装置１を移動させる。なお、この
時は、チューブスライド８がハンドル４側に位置するよ
う固定用ピン９をピン穴10に挿入して固定しておく。

次に、スライドベース６の先端がガイド22に当たるま
でプロセスチューブ用搬送装置１を前進させる。

しかる後、センターボルト13が筐体21の床面に当たる
までねじ込み、高さ位置を調節し、この後、蝶ねじ12に
よってスライドベース６とガイド22とを固定する。

次に、固定用ピン９を持ち上げてチューブスライド８
をスライドさせ、筐体21内に挿入し、所定位置で固定用
ピン９により固定する。

そして、水準器11を目視しながらレベリングねじ14を
回転させ、チューブスライド８をほぼ水平に設定してセ
ットを終了する。

この後、第２図（Ａ）に示すように、筐体21内に設け
られたボートエレベータ24によって筐体21内上方に固定
されていたプロセスチューブ25を下降させ、チューブス
ライド８上に載置する。

次に、第２図（Ｂ）に示すように、チューブスライド
８をハンドル４側にスライドさせることによってプロセ
スチューブ25を筐体21外に引き出し、基台２上に位置さ
せる。

そして、蝶ねじ12を取り外すとともにセンターボルト
13を緩め、プロセスチューブ25を基台２上に載置した状
態で所望位置まで搬送する。なお、プロセスチューブ25
を筐体21内に取り付ける際には、上記手順とは逆の手順
で操作を行う。

このように、本実施例のプロセスチューブ用搬送装置
１を用いれば、プロセスチューブ25の取り付け、取り外
し時に、プロセスチューブ25の搬送を容易に行うことが
できる。また、従来のように各縦型熱処理装置20の筐体
21内にチューブスライド機構を設ける必要がなくなるの
で、従来に較べて縦型熱処理装置20の製造コストの低減
を図ることができる。

なお、例えばスライド機構の構成および筐体21への固
定機構等は、種々の変形が可能であることはもちろんで
ある。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の縦型熱処理装置のプロ
セスチューブ用搬送装置によれば、プロセスチューブの
搬送、取り付けおよび取り外しを容易に実施することが
できるとともに、従来に較べて縦型熱処理装置の製造コ
ストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のプロセスチューブ用搬送装
置の構成を示す図、第２図は第１図に示すプロセスチュ
ーブ用搬送装置の使用方法を説明するための図である。 １……プロセスチューブ用搬送装置、２……基台、３…
…車輪、４……ハンドル、５……ハンドル固定部、６…
…スライドベース、７……レール、８……チューブスラ
イド、8a……プロセスチューブ支持部、９……固定用ピ
ン、10……ピン穴、11……水準器、12……蝶ねじ、13…
…センターボルト、14……レベリングねじ、20……縦型
熱処理装置、21……筐体、22……ガイド、23……メンテ
ナンス用開口。

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ボ−トエレベ−タによって上昇、下降可能
   とされたプロセスチュ−ブを、縦型熱処理装置の内外へ
   搬出入させる縦型熱処理装置のプロセスチュ−ブ用搬送
   装置において、 車輪を具備し、移動自在に構成された基台と、 この基台上に設けられ、チュ−ブスライドのプロセスチ
   ュ−ブ支持部の上に前記プロセスチュ−ブをほぼ垂直に
   支持して水平にスライド可能とされたスライド機構であ
   って、縦型熱処理装置のプロセスチュ−ブ配置部の下方
   に前記プロセスチュ−ブ支持部を挿入した状態で、前記
   ボ−トエレベ−タによって前記プロセスチュ−ブを上
   昇、下降させることにより当該ボ−トエレベ−タとの間
   で前記プロセスチュ−ブを受け渡し可能に構成されたス
   ライド機構と を備えたことを特徴とする縦型熱処理装置のプロセスチ
   ュ−ブ用搬送装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の縦型熱処理装置のプロセス
   チュ−ブ用搬送装置において、 前記プロセスチュ−ブ支持部が略Ｃ字状に形成されてい
   ることを特徴とする縦型熱処理装置のプロセスチュ−ブ
   用搬送装置。
3. 【請求項３】請求項１記載の縦型熱処理装置のプロセス
   チュ−ブ用搬送装置において、 前記スライド機構が、前記チュ−ブスライドを所望位置
   に固定可能に構成されていることを特徴とする縦型熱処
   理装置のプロセスチュ−ブ用搬送装置。
4. 【請求項４】請求項１記載の縦型熱処理装置のプロセス
   チュ−ブ用搬送装置において、 水準器を具備していることを特徴とする縦型熱処理装置
   のプロセスチュ−ブ用搬送装置。