JP2569024Y2 - ウェーハ処理装置の下側電極着脱装置 - Google Patents
ウェーハ処理装置の下側電極着脱装置Info
- Publication number
- JP2569024Y2 JP2569024Y2 JP532291U JP532291U JP2569024Y2 JP 2569024 Y2 JP2569024 Y2 JP 2569024Y2 JP 532291 U JP532291 U JP 532291U JP 532291 U JP532291 U JP 532291U JP 2569024 Y2 JP2569024 Y2 JP 2569024Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lower electrode
- wafer processing
- processing chamber
- lift
- attached
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- Expired - Lifetime
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案はウェーハ処理装置、特に
プラズマによりウェーハの各種処理を行うウェーハ処理
装置に於ける下側電極の着脱装置に関するものである。
プラズマによりウェーハの各種処理を行うウェーハ処理
装置に於ける下側電極の着脱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造設備の１つに、減圧反応ガス
雰囲気下に於いて、プラズマを発生させウェーハのドラ
イエッチング等、各種表面処理を行うウェーハ処理装置
がある。
雰囲気下に於いて、プラズマを発生させウェーハのドラ
イエッチング等、各種表面処理を行うウェーハ処理装置
がある。
【０００３】従来のこの種のウェーハ処理装置を図４よ
り説明する。
り説明する。
【０００４】図中、１はウェーハ処理室、２はマイクロ
波発生ユニットを示している。
波発生ユニットを示している。
【０００５】前記ウェーハ処理室１及び付属する各種ユ
ニット（図示せず）は、架台３内に収納され、該架台３
の上側に枠体４が設けられている。該枠体４の上ビーム
５に吊ロッド６を介してベースプレート７が設けられ、
該ベースプレート７上に前記マイクロ波発生ユニット２
が載設されている。
ニット（図示せず）は、架台３内に収納され、該架台３
の上側に枠体４が設けられている。該枠体４の上ビーム
５に吊ロッド６を介してベースプレート７が設けられ、
該ベースプレート７上に前記マイクロ波発生ユニット２
が載設されている。
【０００６】該マイクロ波発生ユニット２と前記ウェー
ハ処理室１とは導波管ユニット８によって接続されてい
る。該導波管ユニット８はエルボウ管９、整合器１０、
中継管１１、短管１２、終端導波管１３等から構成され
ている。
ハ処理室１とは導波管ユニット８によって接続されてい
る。該導波管ユニット８はエルボウ管９、整合器１０、
中継管１１、短管１２、終端導波管１３等から構成され
ている。
【０００７】又、ウェーハ処理室１には、ウェーハ処理
室１下方より取付けられた下側電極１４を有している。
室１下方より取付けられた下側電極１４を有している。
【０００８】上記ウェーハ処理装置に於いて、マイクロ
波発生ユニット２で発生されたマイクロ波は、導波管ユ
ニット８によりウェーハ処理室１へ導かれ、ウェーハ処
理室１に供給される反応ガスを励起させプラズマを発生
させる。該プラズマにより、ウェーハの表面処理がなさ
れる。
波発生ユニット２で発生されたマイクロ波は、導波管ユ
ニット８によりウェーハ処理室１へ導かれ、ウェーハ処
理室１に供給される反応ガスを励起させプラズマを発生
させる。該プラズマにより、ウェーハの表面処理がなさ
れる。
【０００９】前記したウェーハ処理室１は、前記架台３
の支持ビーム１５にボルトにより固定され、前記下側電
極１４はウェーハ処理室１の下側から挿入した状態でフ
ランジ部をボルトによりウェーハ処理室１の下面に固着
して固定している。
の支持ビーム１５にボルトにより固定され、前記下側電
極１４はウェーハ処理室１の下側から挿入した状態でフ
ランジ部をボルトによりウェーハ処理室１の下面に固着
して固定している。
【００１０】
【考案が解決しようとする課題】上記したウェーハ処理
装置では、処理室１内部の清浄、下側電極１４の清浄等
を適宜行わなければならない。斯かる保守作業を行う
為、下側電極１４を着脱するが、従来のウェーハ処理装
置で下側電極１４を取外すには、下側電極を取付けてい
るボルトを抜脱し、下側電極を下方へ降して取外してい
た。
装置では、処理室１内部の清浄、下側電極１４の清浄等
を適宜行わなければならない。斯かる保守作業を行う
為、下側電極１４を着脱するが、従来のウェーハ処理装
置で下側電極１４を取外すには、下側電極を取付けてい
るボルトを抜脱し、下側電極を下方へ降して取外してい
た。
【００１１】この下側電極１４着脱の一連の作業で、ボ
ルトを抜脱した際に下電極１４を支持するのは作業者自
体であり、一方の手で下側電極１４を支持しつつ、ボル
トの抜脱を行うこととなる。従って、作業性が悪く、又
落下等の危険を伴う。又、複数の作業者が協同して下側
電極１４の取付け、取外し作業を行うとしても、ウェー
ハ処理室１の下方には、種々の機器が取付けられてお
り、充分な作業スペースとは言えず、狭小な場所での作
業となり、協同作業が難しく、又行えたとしてもやはり
作業性は悪いという問題がある。
ルトを抜脱した際に下電極１４を支持するのは作業者自
体であり、一方の手で下側電極１４を支持しつつ、ボル
トの抜脱を行うこととなる。従って、作業性が悪く、又
落下等の危険を伴う。又、複数の作業者が協同して下側
電極１４の取付け、取外し作業を行うとしても、ウェー
ハ処理室１の下方には、種々の機器が取付けられてお
り、充分な作業スペースとは言えず、狭小な場所での作
業となり、協同作業が難しく、又行えたとしてもやはり
作業性は悪いという問題がある。
【００１２】本考案は、斯かる実情に鑑み、保守作業の
作業性の向上、安全性の向上を図ることを目的とするも
のである。
作業性の向上、安全性の向上を図ることを目的とするも
のである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本考案は、下側電極がウ
ェーハ処理室に対し、下方より着脱する様になっている
ウェーハ処理装置に於いて、ウェーハ処理室の下方にリ
フトを設け、該リフトの昇降部に昇降プレートを取付
け、該昇降プレートにスライド手段を介して下側電極を
載置可能な下側電極受座を取付けたことを特徴とするも
のである。
ェーハ処理室に対し、下方より着脱する様になっている
ウェーハ処理装置に於いて、ウェーハ処理室の下方にリ
フトを設け、該リフトの昇降部に昇降プレートを取付
け、該昇降プレートにスライド手段を介して下側電極を
載置可能な下側電極受座を取付けたことを特徴とするも
のである。
【００１４】
【作用】リフトの上昇位置、下側電極を載置した状態で
下側電極のウェーハ処理室への着脱を行い、リフトの下
降状態で下側電極を側方へ移動させ、保守作業位置とす
る。
下側電極のウェーハ処理室への着脱を行い、リフトの下
降状態で下側電極を側方へ移動させ、保守作業位置とす
る。
【００１５】
【実施例】以下、図面に基づき本考案の一実施例を説明
する。
する。
【００１６】尚、図１〜図３中、図４中で示したものと
同一のものには、同符号を付してある。
同一のものには、同符号を付してある。
【００１７】下側電極１４の下方にペダル１６足踏式の
油圧リフト１７を立設し、該油圧リフト１７の昇降部で
ある昇降ロッド１８の上端にコ字状に形成した昇降プレ
ート１９を固着する。該昇降プレート１９の両幅端にサ
イドフレーム２０，２０を固着する。
油圧リフト１７を立設し、該油圧リフト１７の昇降部で
ある昇降ロッド１８の上端にコ字状に形成した昇降プレ
ート１９を固着する。該昇降プレート１９の両幅端にサ
イドフレーム２０，２０を固着する。
【００１８】該サイドフレーム２０，２０は、平板の上
下を内側に直角に曲げ、前後端の下半部を内側に直角に
曲げて成形してあり、各サイドフレーム２０，２０の内
側上部にスライド手段であるスライドレール２１，２１
を取付ける。各スライドレール２１，２１にスライダ２
２，２２を固着し、該左右のスライダ２２，２２には着
脱可能な連結ビーム２７を掛渡して取付ける。両スライ
ダ２２，２２の上面に下側電極受座２３，２３を固着
し、該下側電極受座２３には位置合せ用のピン２４を突
設する。
下を内側に直角に曲げ、前後端の下半部を内側に直角に
曲げて成形してあり、各サイドフレーム２０，２０の内
側上部にスライド手段であるスライドレール２１，２１
を取付ける。各スライドレール２１，２１にスライダ２
２，２２を固着し、該左右のスライダ２２，２２には着
脱可能な連結ビーム２７を掛渡して取付ける。両スライ
ダ２２，２２の上面に下側電極受座２３，２３を固着
し、該下側電極受座２３には位置合せ用のピン２４を突
設する。
【００１９】前記サイドフレーム２０の１端側にそれぞ
れ、扇状のストッパプレート２５をその中心位置に於い
て、ボルト２６により取付ける。該ストッパプレート２
５を図２の様に、円弧が中心側に位置する様な姿勢とす
ると、該ストッパプレート２５の上端部が前記スライダ
２２と干渉して、スライダ２２の動きを規制する様にな
っている。
れ、扇状のストッパプレート２５をその中心位置に於い
て、ボルト２６により取付ける。該ストッパプレート２
５を図２の様に、円弧が中心側に位置する様な姿勢とす
ると、該ストッパプレート２５の上端部が前記スライダ
２２と干渉して、スライダ２２の動きを規制する様にな
っている。
【００２０】以下、作動について説明する。
【００２１】先ず、下側電極１４の取外し作業について
説明する。
説明する。
【００２２】図１、図２中、実線で示す状態でペダル１
６を踏み昇降ロッド１８を上昇させる。昇降ロッド１８
が上昇し、前記下側電極受座２３が下側電極１４の下面
に当接し、又前記ピン２４が下側電極１４下面の穴に嵌
合すると油圧リフト１７の昇降動をロックする。
６を踏み昇降ロッド１８を上昇させる。昇降ロッド１８
が上昇し、前記下側電極受座２３が下側電極１４の下面
に当接し、又前記ピン２４が下側電極１４下面の穴に嵌
合すると油圧リフト１７の昇降動をロックする。
【００２３】下側電極１４をウェーハ処理室１に固着し
ているボルトを全て抜脱し、該下側電極１４を前記下側
電極受座２３に載置させる。油圧リフト１７のリリーフ
弁（図示せず）を開き、昇降ロッド１８を徐々に下降さ
せる。昇降ロッド１８が完全に下降した状態では、下側
電極１４がウェーハ処理室１から取外された状態とな
る。
ているボルトを全て抜脱し、該下側電極１４を前記下側
電極受座２３に載置させる。油圧リフト１７のリリーフ
弁（図示せず）を開き、昇降ロッド１８を徐々に下降さ
せる。昇降ロッド１８が完全に下降した状態では、下側
電極１４がウェーハ処理室１から取外された状態とな
る。
【００２４】前記ストッパプレート２５，２５を、それ
ぞれ外側方向に回転させる。該ストッパプレート２５と
サイドフレーム２０との干渉が解除され、スライダ２２
が自在に動き得る様になる。
ぞれ外側方向に回転させる。該ストッパプレート２５と
サイドフレーム２０との干渉が解除され、スライダ２２
が自在に動き得る様になる。
【００２５】スライダ２２を介して下側電極１４を引出
すと、該下側電極１４は作業するに充分な空間的余裕の
ある位置迄移動する。下側電極１４を引出した状態で、
下側電極１４の清浄等を行うことができ、或は下側電極
１４を下側電極受座２３から取外し、他の場所へ移動す
ることが可能となる。下側電極１４を下側電極受座２３
から取外す場合は、前記連結ビーム２７を外して行う。
すと、該下側電極１４は作業するに充分な空間的余裕の
ある位置迄移動する。下側電極１４を引出した状態で、
下側電極１４の清浄等を行うことができ、或は下側電極
１４を下側電極受座２３から取外し、他の場所へ移動す
ることが可能となる。下側電極１４を下側電極受座２３
から取外す場合は、前記連結ビーム２７を外して行う。
【００２６】下側電極１４の組込みは、前述した下側電
極１４の取外し作業の逆を行えばよい。
極１４の取外し作業の逆を行えばよい。
【００２７】尚、前記下側電極１４の下部には電極の端
子、ケーブル、冷却用の配管等が取付けられているが、
これら付属機器と前記昇降プレート１９とが干渉しない
様、該昇降プレート１９はコ字状に形成されている。
子、ケーブル、冷却用の配管等が取付けられているが、
これら付属機器と前記昇降プレート１９とが干渉しない
様、該昇降プレート１９はコ字状に形成されている。
【００２８】又、上記実施例ではリフトとして足踏式の
油圧リフトを用いたが、電動式のリフト等に代えてもよ
いことは勿論である。
油圧リフトを用いたが、電動式のリフト等に代えてもよ
いことは勿論である。
【００２９】
【考案の効果】以上述べた如く本考案によれば、下側電
極を人手で支えることなく着脱できるので、作業性が向
上すると共に安全性が向上する。
極を人手で支えることなく着脱できるので、作業性が向
上すると共に安全性が向上する。
【図１】本考案の一実施例を示す側面図である。
【図２】同前正面図である。
【図３】同前平面図である。
【図４】ウェーハ処理装置の全体図である。
１ ウェーハ処理室 １７ 油圧リフト １８ 昇降ロッド １９ 昇降プレート ２３ 下側電極受座
Claims (1)
- 【請求項１】 下側電極がウェーハ処理室に対し、下方
より着脱する様になっているウェーハ処理装置に於い
て、ウェーハ処理室の下方にリフトを設け、該リフトの
昇降部に昇降プレートを取付け、該昇降プレートにスラ
イド手段を介して下側電極を載置可能な下側電極受座を
取付けたことを特徴とするウェーハ処理装置の下側電極
着脱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP532291U JP2569024Y2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | ウェーハ処理装置の下側電極着脱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP532291U JP2569024Y2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | ウェーハ処理装置の下側電極着脱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497853U JPH0497853U (ja) | 1992-08-25 |
| JP2569024Y2 true JP2569024Y2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=31735747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP532291U Expired - Lifetime JP2569024Y2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | ウェーハ処理装置の下側電極着脱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569024Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP532291U patent/JP2569024Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0497853U (ja) | 1992-08-25 |
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