KR0177999B1 - 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법 - Google Patents
고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 대용량의 고 진공 펌프를 간편하게 장착할 수 있는 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그방법을 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 고 진공 펌프의 장착 장치는 프로세스 챔버 하부에 장착되어 고 진공 펌프가 내부에 안착되는 안착 프레임과, 상기 안착 프레임내에서 고 진공 펌프의 수평 이동을 용이하게 할 수 있도록 고 진공 펌프의 하단면에 장착되어 있는 수평 이동 부재와, 상기 수평 이동 부재에 의해 수평 이동되는 고 진공 펌프를 저지하여 그 장착 위치를 맞출 수 있도록 하는 지지 부재와, 상기지지 부재에 위치한 고 진공 펌프를 들어올려 프로세서 챔버 하단의 결합 부위에 위치시키는 수직 이동 부재로 구성됨을 특징으로 한다.
한편, 고 진공 펌프의 장착 방법은 수평 이동 부재가 장착된 고 진공 펌프를 수평 이동시켜 지지 부재에 밀착시키는 제 1 스텝과, 프로세스 챔버 하단의 프랜지와 고 진공 펌프 상단의 프랜지를 일치시키는 제 2 스텝과, 수직 이동 부재를 작동시켜 고 진공 펌프를 프로세스 챔버 하단면까지 들어 올려 체결하는 제 3 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.
Description
제1도는 선행 기술에 의한 고 진공 펌프의 안착 프레임을 개략적으로 도시한 사시도.
제2도는 선행 기술에 의한 고 진공 펌프의 안착 프레임에 고 진공펌프가 안착되어 있는 상태를 개략적으로 도시한 측 단면도.
제3도는 본 발명에 의한 고 진공 펌프의 안착 프레임을 개략적으로 도시 한 사시도.
제4도(a)는 본 발명에 의한 수평 이동 부재를 도시한 측 단면도.
(b)는 수평 이동 부재가 고 진공 펌프에 장착되어 있는 상태를 도시한 후 단면도.
제5도는 본 발명에 의한 안착 프레임에 고 진공 펌프가 장착되어 있는 상태를 개략적으로 도시한 측 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 프로세스 챔버 20 : 안착 프레임
30 : 수평 이동 부재 32 : 캐스터 블록
34 ; 캐스터 40 : 고 진공 펌프
50 : 지지 부재 60 : 수직 이동 부재
62 : 몸체 64 : 아암
70 : 보조 블록 100 : 고 진공 펌프의 장착 장치
본 발명은 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대용량의 고 진공 펌프를 간편하게 장착할 수 있는 고 진공펌프의 장착 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 고 진공 펌프는 반도체 제조 장치 등에서 고 진공 상태를 얻기 위해서 사용되는 펌프로써 진행 챔버 하단에 직접 장착되어 사용되는데, 최근에는 공정 및 챔버의 크기나 구조가 대형화됨에 따라 그 용량도 대형화() 되는 추세에 있다.
제1도는 선행 기술에 의한 고 진공 펌프의 안착 프레임을 개략적으로 도시한 사시도이고, 제2도는 선행 기술에 의한 고 진공 펄프의 안착프레임에 고 진공 펌프가 안착되어 있는 상태를 개략적으로 도시한 측 단면도이다.
제1도 및 제2도를 참조하면, 고 진공 펌프(4)는 프로세스 챔버(1)하부에 장착된 안착 프레임(2)에 수 명의 작업자가 고 진공 펌프(4)를 직접 들고 들어가 프로세스 챔버(1) 하단의 플랜지와 고 진공 펌프(4) 상단 의 플랜지를 일치시키기 위해 수회 업/다운 동작을 한 후 장착하였다.
그러나 수 명의 작업자가 직접 들고 업/다운의 동작을 반복한 후 장착 하여야 하므로 작업 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었고, 또한 그 중량이 상당히 무겁기 때문에 안전 사고가 발생할 수 있는 문제점도 있었다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 대용량의 고 진공 펌프를 간된하게 장착할 수 있는 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법을 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 고 진공 펌프의 장착 장치는 프로세스 챔버 하부에 장착되어 고 진공 펌프가 내부에 안착되는 안착 프레임과, 상기 안착 프레임내에서 고 진공 펌프의 수평 이동을 용이하게 할 수 있도록 고 진공 펌프의 하단면에 장착되어 있는 수평 이동 부재와, 상기 수평 이동 부재에 의해 수평 이동되는 고 진공 펌프를 저지하여 그 장착 위치를 맞출수 있도록 하는 지지 부재와, 상기 지지 부재에 위치한 고 진공 펌프를 들어올려 프로세서 챔버 하단의 결합 부위에 위치시키 는 수직 이동 부재로 구성됨을 특징으로 한다.
한편, 고 진공 펌프의 장착 방법은 수평 이동 부재가 장착된 고 진공펌프를 수평 이동시켜 지지 부재에 밀착시키는 제 1 스텝과, 프로세스 챔버 하단의 플랜지와 고 진공 펌프 상단의 플랜지를 일치시키는 제 2 스텝 과, 수직 이동 부재를 작동지켜 고 진공 펌프를 프로세스 챔버 하단면까지 들어 올려 체결하는 제 3 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 예시된 도면 제3도 내지 제5도를 참조하여 본 발명에 의한 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법을 상세히 설명한다.
본 발명에 의한 고 진공 펌프의 장착 장치(100)는, 안착 프레임(20)이 네 개의 다리에 의해 사면이 개방되어 있는 형태로 형성되어 프로세스 챔버(10)의 하단면에 장착되어 있고, 수평 이동 부재(30)는 고 진공 펌프(40)의 하단에 장착되는 캐스터 블록(32)과, 상기 캐스터 블록(32)에 장착되어 있는 복수 개의 캐스터(34)로 구성되어 안착 프레임 (20)내에서 고 진공 펌프(40)가 용이하게 수평 이동을 할 수 있도록 하며, 지지 부재(50)는 안착 프레임(20)의 후방에 장착되어 수평 이동하는 고 진공 펌프(40)를 저지하여 고 진공 펌프(40) 상단의 플랜지와 프로세스 챔버 (10) 하단의 플랜지의 장착 위치를 용이하게 맞출 수 있도록 한다. 또한 수직 이동 부재(60)는 안착 프레임(20)의 양측에 결합되어 있는 보조 블록(70)에 장착되어 있는 몸체(62)와, 상기 몸체(62) 하단부에 결합되어 상하 이동하면서 고정 펌프를 떠받치는 아암(64)으로 구성되어 고 진공 펌프(40)를 아암(64)이 들어올려 고 진공 펌프(40)의 플랜지를 프로세스 챔버(10)의 플랜지에 위치하도록 한다.
상기와 같은 실시예를 가진 본 발명에 의한 고 진공 펌프의 장착 장치(100) 및 그 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 수평 이동 부재(30)가 장착된 고 진공 펌프(40)를 수평 이동 시켜 지지 부재(50)에 밀착을 시킨다. 이 후 프로세스 챔버(10) 하단의 플랜지와 고 진공 펌프(40) 상단의 플랜지를 일치시킨다. 이 후 수직 이동 부재(60)를 작동시키면 수직 이동 부재(60)의 아암(64)이 안쪽으로 회전하면서 고 진공 펌프(40)를'프로세스 챔버(10) 하단면까지 들어 올려 고 진공펌프(40)와 프로세스 챔버(10)가 체결될 수 있는 상태를 유지한다. 이 후 프로세스 챔버(10)에 고 진공 펌프(40)를 체결함으로써 고 진공 펌프(40)가 작동될 수 있는 상태가 된다. 즉, 고 진공 펌프(40)를 수평 이동 부재(30)와 수직 이동 부재(60)를 이용하여 프로세스 챔버(10)에 간편하게 장착할 수 있는 이점이 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 수평 이동 부재와 수직 이동 부재를 이용하여 고 진공 펌프를 프로세스 챔버에 간편하게 장착함으로써 장착 시간의 단축 및 안전 사고를 예방할 수 있는 효과가 있다.
Claims (5)
- 프로세스 챔버 하부에 장착되어 고 진공 펌프가 내부에 안착되는 안착 프레임과, 상기 안착 프레임내에서 고 진공 펌프의 수평 이동을 용이하게 할 수 있도록 고진공 펌프의 하단면에 장착되어 있는 수평 이동 부재와, 상기 수평 이동 부재에 의해 수평 이동되는 고 진공 펌프를 저지하여 그 장착 위치를 맞출수 있도록 하는 지지 부재와, 상기 지지 부재에 위치한 고 진공 펌프를 들어올려 프로세서 챔버 하단의 결합 부위에 위치시키는 수직 이동 부재로 구성됨을 특징으로 하는 고 진공 펌프의 장착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 수평 이동 부재는 고 진공 펌프의 하단면에 부착되는 캐스터 블록과, 상기 블록에 장착되어 있는 복수 개의 캐스터를 포함함을 특징으로 하는 고 진공 펌프의 장착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 지지 부재는 그 형상이 고 진공 펌프가 밀착될 수 있도록 형성되어 있음을 특징으로 하는 고 진공 펌프의 장착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 수직 이동 부재는 그 하단에 고 진공 펌프를 들어 올릴 수 있도록 아암을 구비함을 특징으로 하는 고 진공 펌프의 장착 장치.
- 수평 이동 부재가 장착된 고 진공 펌프를 수평 이동시켜 지지 부재에 밀착시키는 제 1 스탭과, 프로세스 챔버 하단의 플랜지와 고 진공 펌프 상단의 플랜지를 일치 시키는 제 2 스탭과, 수직 이동 부재를 작동시켜 고 진공 펌프를 프로세스 챔버 하단면까지 들어 올려 체결하는 제 스탭으로 구성됨을 특징으로 하는 고 진공 펌프의 장착 방법.
Priority Applications (3)
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| KR1019960004977A KR0177999B1 (ko) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법 |
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