JPH09235093A - 重量物の着脱装置 - Google Patents
重量物の着脱装置Info
- Publication number
- JPH09235093A JPH09235093A JP8293589A JP29358996A JPH09235093A JP H09235093 A JPH09235093 A JP H09235093A JP 8293589 A JP8293589 A JP 8293589A JP 29358996 A JP29358996 A JP 29358996A JP H09235093 A JPH09235093 A JP H09235093A
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- JP
- Japan
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- frame
- heavy
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- heavy weighted
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- Pending
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F19/00—Hoisting, lifting, hauling or pushing, not otherwise provided for
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空ポンプのような重量物を迅速かつ容易に
装着することを可能にする重量物の着脱装置を提供す
る。 【解決手段】 一側に重量物を導入するための開口部１
２を有するフレーム１０と、フレームの開口部の反対側
に設置されてフレーム内に導入される重量物と当接する
ストッパ部材２０と、フレーム内に導入された重量物を
昇降させる昇降手段３０と、フレームに重量物を移動さ
せる移動手段４０とから構成される。
装着することを可能にする重量物の着脱装置を提供す
る。 【解決手段】 一側に重量物を導入するための開口部１
２を有するフレーム１０と、フレームの開口部の反対側
に設置されてフレーム内に導入される重量物と当接する
ストッパ部材２０と、フレーム内に導入された重量物を
昇降させる昇降手段３０と、フレームに重量物を移動さ
せる移動手段４０とから構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空ポンプのような
重量物を装着および分離するための重量物の着脱装置に
関し、特に、フレーム内に床面から所定の高さ位置に吊
り下げた状態で装着される重量物を容易に昇降可能にす
ることによって、重量物の着脱作業を容易にする重量物
の着脱装置に関する。
重量物を装着および分離するための重量物の着脱装置に
関し、特に、フレーム内に床面から所定の高さ位置に吊
り下げた状態で装着される重量物を容易に昇降可能にす
ることによって、重量物の着脱作業を容易にする重量物
の着脱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体の製造装置等において高
い真空状態を得るために用いられる真空ポンプのような
重量物は床面から間隔をあけて所定の高さ位置に設けら
れたプロセスチャンバの下端に直接取り付けられてい
た。しかしながら、このような真空ポンプは、最近の工
程やプロセスチャンバの容積に応じて大型化し、その重
量もかなりの重さとなっている（例えば、２００リット
ル／分、１５０ｋｇ以上）。
い真空状態を得るために用いられる真空ポンプのような
重量物は床面から間隔をあけて所定の高さ位置に設けら
れたプロセスチャンバの下端に直接取り付けられてい
た。しかしながら、このような真空ポンプは、最近の工
程やプロセスチャンバの容積に応じて大型化し、その重
量もかなりの重さとなっている（例えば、２００リット
ル／分、１５０ｋｇ以上）。
【０００３】図４は高真空ポンプのような重量物を装着
する従来のフレームを概略的に示した斜視図であり、図
５は従来のフレーム内に高真空ポンプを装着した状態を
概略的に示す側面図である。図４及び図５において、フ
レーム２はその上側にプロセスチャンバ１を設置するよ
うになっている。フレーム２の一側には真空ポンプのよ
うな重量物４を出し入れするための開口部３が形成され
ており、プロセスチャンバ１の底面に真空ポンプのよう
な重量物４が装着される。
する従来のフレームを概略的に示した斜視図であり、図
５は従来のフレーム内に高真空ポンプを装着した状態を
概略的に示す側面図である。図４及び図５において、フ
レーム２はその上側にプロセスチャンバ１を設置するよ
うになっている。フレーム２の一側には真空ポンプのよ
うな重量物４を出し入れするための開口部３が形成され
ており、プロセスチャンバ１の底面に真空ポンプのよう
な重量物４が装着される。
【０００４】従来においては、このような重量物４を装
着するためには数人の作業者が重量物４を直接に持ち上
げて開口部３を通じてフレーム２の内側に導入した後、
重量物４を所定の高さ位置まで持ち上げた状態でその高
さ位置を調整しながら重量物４をプロセスチャンバ１の
底面に位置決めしボルトのような締結手段によって締結
するようにしていた。
着するためには数人の作業者が重量物４を直接に持ち上
げて開口部３を通じてフレーム２の内側に導入した後、
重量物４を所定の高さ位置まで持ち上げた状態でその高
さ位置を調整しながら重量物４をプロセスチャンバ１の
底面に位置決めしボルトのような締結手段によって締結
するようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の装着作業では、数人の作業者が直接重量物を
持ち上げた状態でその高さ位置を調整しながら位置決め
するようにしているので、装着作業のために長い時間を
要するばかりでなく、重量物の取付け中に不注意により
大きな事故が発生する恐れがあった。
うな従来の装着作業では、数人の作業者が直接重量物を
持ち上げた状態でその高さ位置を調整しながら位置決め
するようにしているので、装着作業のために長い時間を
要するばかりでなく、重量物の取付け中に不注意により
大きな事故が発生する恐れがあった。
【０００６】また、重量物を取り外す際にも、締結手段
を解除する間に重量物を持ち上げて支えていなければな
らないという問題もあった。
を解除する間に重量物を持ち上げて支えていなければな
らないという問題もあった。
【０００７】そこで、本発明は上述の問題点を解決する
ためになされたものであって、その目的は、高真空ポン
プのような重量物を迅速かつ容易に装着しまた取り外す
ことができる重量物の着脱装置を提供することにある。
ためになされたものであって、その目的は、高真空ポン
プのような重量物を迅速かつ容易に装着しまた取り外す
ことができる重量物の着脱装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明による重量物の着脱装置は、一側に重
量物を導入するための開口部を有するフレームと、前記
フレームの前記開口部の反対側に設置されてフレーム内
に導入される前記重量物と当接するストッパ部材と、前
記フレーム内に導入された前記重量物を昇降させる昇降
手段と、前記フレーム内に前記重量物を移動させる移動
手段とからなることを特徴とする。
るために、本発明による重量物の着脱装置は、一側に重
量物を導入するための開口部を有するフレームと、前記
フレームの前記開口部の反対側に設置されてフレーム内
に導入される前記重量物と当接するストッパ部材と、前
記フレーム内に導入された前記重量物を昇降させる昇降
手段と、前記フレーム内に前記重量物を移動させる移動
手段とからなることを特徴とする。
【０００９】前記ストッパ部材の内面には前記重量物と
当接するときの衝撃力を緩和させるための緩衝部を形成
することが好ましい。また、前記昇降手段は、空気また
は油圧の作用によって昇降するロッドを備えた昇降部材
と、前記ロッドの先端に装着されて前記重量物を支持す
る支持アームとから構成するとよい。さらに、前記移動
手段は、前記重量物を載置する載置板と、前記載置板の
底面に結合された複数のキャスタとから構成することが
できる。
当接するときの衝撃力を緩和させるための緩衝部を形成
することが好ましい。また、前記昇降手段は、空気また
は油圧の作用によって昇降するロッドを備えた昇降部材
と、前記ロッドの先端に装着されて前記重量物を支持す
る支持アームとから構成するとよい。さらに、前記移動
手段は、前記重量物を載置する載置板と、前記載置板の
底面に結合された複数のキャスタとから構成することが
できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付の図１乃至図３を参照
しながら本発明の実施の形態を詳細に説明する。
しながら本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１１】図１は本発明による重量物の着脱装置を示
す斜視図であって、参照符号１０はフレームを示してい
る。フレーム１０の一側には重量物４を出し入れできる
ように開口部１２が形成されており、フレーム１０の下
端には横方向に横フレーム１４が延設されている。ま
た、フレーム１０の上端には、重量物４をボルト等の締
結手段によって固定するために、複数の固定ブラケット
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが内側に突設されてい
る。さらに、フレーム１０の上側には重量物４が高真空
ポンプの場合には高真空ポンプの作動により惹起される
真空状態において加工作業を行うプロセスチャンバ１８
が載置される。
す斜視図であって、参照符号１０はフレームを示してい
る。フレーム１０の一側には重量物４を出し入れできる
ように開口部１２が形成されており、フレーム１０の下
端には横方向に横フレーム１４が延設されている。ま
た、フレーム１０の上端には、重量物４をボルト等の締
結手段によって固定するために、複数の固定ブラケット
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが内側に突設されてい
る。さらに、フレーム１０の上側には重量物４が高真空
ポンプの場合には高真空ポンプの作動により惹起される
真空状態において加工作業を行うプロセスチャンバ１８
が載置される。
【００１２】横フレーム１４の開口部１２に対向する側
には、開口部１２を通じてフレーム１０内に導入された
重量物４がさらに奥に押し込まれることを制限するスト
ッパ部材２０が固設されている。このストッパ部材２０
の内側には、重量物４の外周面とほぼ一致する曲率を有
する湾曲面を備えた緩衝部２２が形成されている。緩衝
部２２は、開口部１２から導入された重量物４と衝突す
る際の衝撃力を最小にして重量物４の損傷を防ぐため
に、合成樹脂材から形成することが好ましい。
には、開口部１２を通じてフレーム１０内に導入された
重量物４がさらに奥に押し込まれることを制限するスト
ッパ部材２０が固設されている。このストッパ部材２０
の内側には、重量物４の外周面とほぼ一致する曲率を有
する湾曲面を備えた緩衝部２２が形成されている。緩衝
部２２は、開口部１２から導入された重量物４と衝突す
る際の衝撃力を最小にして重量物４の損傷を防ぐため
に、合成樹脂材から形成することが好ましい。
【００１３】フレーム１０の両側には、開口部１２を通
じてフレーム１０内に導入された重量物４を上昇または
下降させるための一対の昇降手段３０が設置されてい
る。この昇降手段３０は横フレーム１４に立設された固
定ブロック３２と、固定ブロック３２の一側に装着され
た昇降部材３４とからなる。
じてフレーム１０内に導入された重量物４を上昇または
下降させるための一対の昇降手段３０が設置されてい
る。この昇降手段３０は横フレーム１４に立設された固
定ブロック３２と、固定ブロック３２の一側に装着され
た昇降部材３４とからなる。
【００１４】昇降部材３４は、空気または油圧の作用に
より昇降するロッド３６と、このロッド３６の下端に装
着されて重量物４を支持する支持アーム３８とから構成
される。ロッド３６および支持アーム３８はフレーム１
０の内側に位置し、支持アーム３８はフレーム１０内に
導入された重量物４の下端に位置してロッド３６の昇降
動作に従って昇降する。
より昇降するロッド３６と、このロッド３６の下端に装
着されて重量物４を支持する支持アーム３８とから構成
される。ロッド３６および支持アーム３８はフレーム１
０の内側に位置し、支持アーム３８はフレーム１０内に
導入された重量物４の下端に位置してロッド３６の昇降
動作に従って昇降する。
【００１５】さらに、図２（Ａ）および（Ｂ）は、フレ
ーム１０内に重量物４を導入するための移動手段４０を
示している。移動手段４０は、上側に重量物４を載置す
る載置板４２と、載置板４２を移動させるための複数の
キャスタ４４とから構成される。
ーム１０内に重量物４を導入するための移動手段４０を
示している。移動手段４０は、上側に重量物４を載置す
る載置板４２と、載置板４２を移動させるための複数の
キャスタ４４とから構成される。
【００１６】次に、このように構成された本発明による
重量物の着脱装置の作用について説明する。
重量物の着脱装置の作用について説明する。
【００１７】まず、載置板４２上に重量物４を載置した
キャスタ４４付きの移動手段４０を押して開口部１２を
通じてフレーム１０内に導入する。そして、フレーム１
０内に導入された重量物４は導入方向と反対側に位置す
るストッパ部材２０と当接して支持される。このとき、
昇降手段３０のロッド３６および支持アーム３８は下降
した状態に維持されている。
キャスタ４４付きの移動手段４０を押して開口部１２を
通じてフレーム１０内に導入する。そして、フレーム１
０内に導入された重量物４は導入方向と反対側に位置す
るストッパ部材２０と当接して支持される。このとき、
昇降手段３０のロッド３６および支持アーム３８は下降
した状態に維持されている。
【００１８】次に、移動手段４０のキャスタ４４を調整
して重量物４のフランジ部とフレーム１０の上端の複数
の固定ブラケット１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄとの
位置をほぼ一致させてから、昇降手段３０を作動させる
ことにより、重量物４が上昇する。昇降手段３０は空気
圧または油圧による昇降部材３４の作動にしたがってロ
ッド３６が上昇することによって、重量物４の下側を支
持する支持アーム３８が上昇して重量物４を上昇させる
ようになっている。なお、図３に示すように、支持アー
ム３８が移動手段４０の下側を支持するようにして、移
動手段４０に載せたままの状態で重量物４を上昇させる
ようにしてもよい。
して重量物４のフランジ部とフレーム１０の上端の複数
の固定ブラケット１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄとの
位置をほぼ一致させてから、昇降手段３０を作動させる
ことにより、重量物４が上昇する。昇降手段３０は空気
圧または油圧による昇降部材３４の作動にしたがってロ
ッド３６が上昇することによって、重量物４の下側を支
持する支持アーム３８が上昇して重量物４を上昇させる
ようになっている。なお、図３に示すように、支持アー
ム３８が移動手段４０の下側を支持するようにして、移
動手段４０に載せたままの状態で重量物４を上昇させる
ようにしてもよい。
【００１９】昇降手段３０の作動により重量物４が所定
の位置まで上昇すると、ロッド３６の昇降動作を停止さ
せ、その後ボルト等の締結手段によって締結することに
よって重量物４の装着作業が完了する。
の位置まで上昇すると、ロッド３６の昇降動作を停止さ
せ、その後ボルト等の締結手段によって締結することに
よって重量物４の装着作業が完了する。
【００２０】また、重量物４を取り外す時には上述の装
着作業と反対の手順で昇降手段３０を作動させることに
より、重量物４の取り外し作業が行われる。
着作業と反対の手順で昇降手段３０を作動させることに
より、重量物４の取り外し作業が行われる。
【００２１】なお、上記の説明では、真空ポンプを重量
物の例として説明しているが、これに限定されるもので
はなく、床面から所定の高さ位置に装着される如何なる
重量物にも適用することができる。
物の例として説明しているが、これに限定されるもので
はなく、床面から所定の高さ位置に装着される如何なる
重量物にも適用することができる。
【００２２】
【発明の効果】上述のように構成された本発明によれ
ば、重量物をフレーム内に位置させた後、昇降手段を作
動させて所定の高さ位置に上昇または下降させるように
なっているので、重量物の装着および取り外しが容易と
なる。また、重量物の装着および取り外し作業に要する
時間を短縮することができ、重量物の落下等のような事
故を未然に防止することができる。
ば、重量物をフレーム内に位置させた後、昇降手段を作
動させて所定の高さ位置に上昇または下降させるように
なっているので、重量物の装着および取り外しが容易と
なる。また、重量物の装着および取り外し作業に要する
時間を短縮することができ、重量物の落下等のような事
故を未然に防止することができる。
【図１】本発明による重量物の着脱装置を示した斜視図
である。
である。
【図２】本発明による重量物の着脱装置における重量物
の移動手段を示した図であって、図２（Ａ）は移動手段
の一側面図であり、図２（Ｂ）は移動手段に重量物を載
置した状態を示している。
の移動手段を示した図であって、図２（Ａ）は移動手段
の一側面図であり、図２（Ｂ）は移動手段に重量物を載
置した状態を示している。
【図３】本発明の作動状態を示した一側面図である。
【図４】重量物を装着する従来のフレームを概略的に示
した斜視図である。
した斜視図である。
【図５】従来技術により重量物をフレームに装着した状
態を概略的に示す一側面図である。
態を概略的に示す一側面図である。
１０ フレーム １２ 開口部 ２０ ストッパ部材 ２２ 緩衝部 ３０ 昇降手段 ３４ 昇降部材 ３６ ロッド ３８ 支持アーム ４０ 移動手段 ４２ 載置板 ４４ キャスタ
Claims (4)
- 【請求項１】 一側に重量物を導入するための開口部を
有するフレームと、前記フレームの前記開口部の反対側
に設置されてフレーム内に導入される前記重量物と当接
するストッパ部材と、 前記フレーム内に導入された前記重量物を昇降させる昇
降手段と、 前記フレーム内に前記重量物を移動させる移動手段と、
からなることを特徴とする重量物の着脱装置。 - 【請求項２】 前記ストッパ部材の内面には前記重量物
と当接するときの衝撃力を緩和させるための緩衝部が形
成されたことを特徴とする請求項１記載の重量物の着脱
装置。 - 【請求項３】 前記昇降手段は、空気または油圧の作用
によって昇降するロッドを備えた昇降部材と、前記ロッ
ドの先端に装着されて前記重量物を支持する支持アーム
とからなることを特徴とする請求項１記載の重量物の着
脱装置。 - 【請求項４】 前記移動手段は、前記重量物を載置する
載置板と、前記載置板の底面に結合された複数のキャス
タとからなることを特徴とする請求項１記載の重量物の
着脱装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1996-4977 | 1996-02-28 | ||
| KR1019960004977A KR0177999B1 (ko) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 고 진공 펌프의 장착 장치 및 그 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09235093A true JPH09235093A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=19451993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8293589A Pending JPH09235093A (ja) | 1996-02-28 | 1996-11-06 | 重量物の着脱装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5803700A (ja) |
| JP (1) | JPH09235093A (ja) |
| KR (1) | KR0177999B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103964353A (zh) * | 2014-05-20 | 2014-08-06 | 中国海洋石油总公司 | 大型立式容器的翻转装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104948535B (zh) * | 2015-04-24 | 2017-06-16 | 中国海洋石油总公司 | 大型立式容器翻转机的电气控制装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1142775B (it) * | 1981-05-22 | 1986-10-15 | Alitalia Spa | Posizionatore idro-pneumatico per il cambio di motori alari di velivoli a simili |
| US5249905A (en) * | 1992-07-22 | 1993-10-05 | Kelley Company, Inc. | Automatic wheel chocking apparatus having an improved drive mechanism |
-
1996
- 1996-02-28 KR KR1019960004977A patent/KR0177999B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-11-06 JP JP8293589A patent/JPH09235093A/ja active Pending
-
1997
- 1997-02-24 US US08/804,829 patent/US5803700A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103964353A (zh) * | 2014-05-20 | 2014-08-06 | 中国海洋石油总公司 | 大型立式容器的翻转装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970061461A (ko) | 1997-09-12 |
| KR0177999B1 (ko) | 1999-04-15 |
| US5803700A (en) | 1998-09-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041124 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050524 |