JPS63252423A - ボ−ト搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、被処理体を複数枚所定間隔を於いて配列支持
するボートを、少なくとも２箇所の位置に搬送する、半
導体製造装置等で使用されるボート搬送装置に関する。

（従来の技術） 例えば、半導体製造装置に於いては、ウエハ上に各種の
膜を形成するために、カセット内のウェハをボートに載
せ換え、このボート内に例えば１００〜１５０枚程度所
定間隔をおいて前記ウェハを配列支持し、このボートを
炉内に配置して上記処理を行っている。また、この処理
終了後は、前記ボートを炉より取り出し、ボート内のウ
ェハを再度カセット内に収納して次の工程に移送するよ
うになっている。

ここで、ボート搬送装置とは、前記ボートとカセットと
の間でウェハを移し換える位置（以下、第１の位置又は
移し換え位置という）と、炉に搬入出するために例えば
エレベータ等との間でボートを受け渡す位置く以下、第
２の位置又は受け渡し位置という〉とに、ボートを搬送
するものである。

このボート搬送装置を第２図を参照して説明する。

第２図において、１はボートであり、耐熱性を考慮して
石英ガラスで構成され、その長手方向に沿って図示しな
い溝を所定間隔をおいて形成することで、同図に示すよ
うにウェハ２を複数枚配列支持できるようになっている
。このボート１を搬送するボート搬送装置１０は、可動
板１１の上部に例えば２つのボート取り付け台１２．１
２を有し、このボート取り付け台１２上に前記ボートを
載置固定してレール１３上を移動可能とすることで、同
図に示す移し換え位置と受け渡し位置との間を搬送する
ようになっている。

ここで、前記ボート取り付け台１２は、その最上面に前
記ボード１を載置する石英ガラス板１２Ａを具備して耐
熱性及びゴミの不着を担保している。

一方、この種のボート搬送装置では、前記ボート１に設
けられた溝部に正確にウェハ２を載せ換えなければなら
ないため、第２図には図示していないが、ボート１の長
手方向両端側よりボート１を押圧して、ボート取り付け
台１２に対するボート１の載置位置を正確に設定するよ
うになっている。

（発明が解決しようとする問題点） この種のボート搬送装置では、上述した位置決めを行う
と、ボート１側の石英ガラスとボート取り付け台１２側
の石英ガラス板１２Ａとの間ですべりが生じ、石英ガラ
スが削りとられることにより、これが半導体製造での少
留まりの悪化に起因するゴミとなってクリーンルーム内
に拡散し、製造効率を著しく阻害する原因となっていた
。また、ボート及び石英ガラスの損傷及び寿命に悪影響
を与えていた。

そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
問題点を解決し、ボートとボート取り付け台との間のず
ベリを防止することにより、半導体等の歩留まりを大幅
に向上することができ、さらに、装置の寿命を長くする
ことのできるボート搬送装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は、被処理体を複数枚配列支持するボートを、ボ
ート取り付け台上に載置し、かつ、位置決め手段によっ
て前記ボート取り付け台上で被処理体の配列方向にボー
トを位置決めした状態で、前記被処理体を収納するカセ
ットとの間で被処理体を移し換える第１の位置と、ボー
トを炉内に搬入出する為にボートを受け渡しする第２の
位置と°に亘って、前記ボートを搬送するボート搬送装
置において、前記ボート取り付け台を被処理体の配列方
向に沿ってスライド可能に構成している。

（作用） 本発明では、ボート取り付け台が被処理体の配列方向に
沿ってスライド可能であるので、ボートを位置決め固定
するためにボートに前記配列方向の力を加えたとしても
、ボート取り付け台のスライド可動部によって前記スラ
イド方向の力が吸収されるため、ボートとボート取り付
け台との当接面ですべり現象は生じず、前記当接面が共
に石英ガラスで構成されているとしても、この間にずベ
リが生じないので、被処理体の歩留まりを悪化するよう
なゴミの発生を防止することができる。

（実施例） 以下、本発明を図示の実施例を参照して具体的に説明す
る。

第１図は本実施例装置のボート搬送装置の主要部の概略
説明図である。尚、ボート搬送装置の全体構成について
は前述した通りであるので、ここではその主要部である
ボート取り付け台２０と位置決め手段３０とについて詳
述する。尚、第１図は可動板］１より上側の構成部材を
左半分のみ示しており、右半分はこれと対称であるので
省略している。

同図において、前記ボート］は例えば石英ガラスで構成
され、前述したように１００〜１５０枚程度のウェハ２
を図示配列方向Ａに沿って所定間隔をおいて配列支持し
ている。

前記ボート取り付け台２０は、前記ボート１の底面と当
接してこのボート１を載置する石英ガラス板２１と、石
英ガラス板２１を挾持用金具２２ｂによって挾持するこ
とにより載置固定する第１の取り付けベース２２と、前
記レール１３（第２図参照）に沿って可動する前記可動
板１１に固定された第２の取り付けベース２３と、前記
第１゜第２の取り付けベース２２．２３の間に配置され
た例えばリニアベアリング等のスライド可動部２４とを
有している。

前記スライド可動部２４内には、図示していないが、第
１の取り付けベース２２側に固定された第１のスライド
可動片と、第２の取り付けベース２３側に固定された第
２のスライド可動片とから成り、第１のスライド可動片
は第２のスライド可動片に対して同図のウェハ配列方向
Ａに沿ってスライド可能となっている。

また、前記第１．第２の取り付けベース２２゜２３の間
には、付勢部材の一例である引っ張りコイルスプリング
２５（スライドシリンダー等でも可）がフック２２ａ、
２３ａに係止されて張設され、第１の取り付けベース２
２を前記ウェハ配列方向Ａの一端側に常時付勢している
。

尚、このボート取り付け台２０は、前記可動板１１上に
所定間隔をおいて２つ設けられている。

前記位置決め手段３０は、前記ボート１の長手方向の一
端を押圧して、前記ボート取り付け台２Ｏ上でボートを
位置決めする押圧部３１と、この押圧部３１をスライド
駆動する押圧駆動部３２と、前記押圧部３１と共に一体
的に移動するカムフォロア３３と、このカムフォロア３
３を従動させるカム３４とから構成されている。

前記カム３４は、同図に示すように前記押圧部３１の非
押圧時にあってはカムフォロア３３を同図の１点鎖線で
示す最下端に位置さぜ、押圧部３１のスライド移動と共
にカムフォロア３３を斜め上方に押し上げ、押圧時には
図示θの角度に沿って斜め下方に従動させるようになっ
ている。尚、このカムフォロア３３．カム３４の当接を
確保するために、前記押圧部３１は図示しない付勢部材
によって常時鉛直下方に付勢されている。

以上のように構成されたボート搬送装置の作用について
説明する。

先ず、第２図においてボート１が炉より搬出され、第２
の位置においてこのボート１．を前記ボート搬送装置に
受け渡す場合について説明する。

この場合、ボート取り付け台２０はレール１３に沿って
可動する可動板１１によって第２図の第２の位置（受け
渡し位置）に設定される。

そして、ボート１が図示しないエレベータによって下降
され、この位置でボート１がボート取り付け台２０上に
載置されることになる。

ここで、この受け渡し時には、前記位置決め手段３０は
作動されておらず、従って、第１の取り付けベース２２
は引っ張りコイルスプリング２５の自由長によって配列
方向の一端側に付勢された状態となっている。このため
、レール１３の所定位置に前記可動板１１が停止制御さ
れていれば、ボート取り付け台２０のボート載置部は前
記スプリングの付勢力によって一義的に定まり、常に同
じ位置でボート１を受けとることができる。

ボート１が、ボート取り付け台２０上に載置されたこと
が図示しないセンサによって検知されると、前記抑圧駆
動部３２が作動され、押圧部３１がボート１の長手方向
一端に当接するように移動される。そして、押圧部３１
による押圧時には、前記カムフォロア３３がθの角度で
斜め下方に傾斜したカム３４に従動するため、抑圧部３
１の押圧力としては、単に図示六方向の押圧力のみでな
く、その合力が斜め下方に向かうように作用するので、
鉛直下方に向かう分力を生ずることになる。

ここで、前記ボート１と石英ガラス板２１との間に作用
する摩擦力を考察すると、この摩擦力は摩擦面に垂直に
作用する垂直応力と摩擦係数との積であるので、前記分
力が鉛直下方に作用することにより摩擦力が増大するこ
とが分かる。

前述したようにして位置決めの力がボート１に作用する
と、ボート１がその方向に移動することになるが、この
際前記ボート１と石英ガラス板２１との間には相当の摩
擦力が生じているので、この間にすべりは生ずることが
なく、前記スライド可動部２４が引っ張りコイルスプリ
ング２５の付勢力に抗してスライド移動することによっ
てボート１の位置決めが行われることになる。

このように、本実施例装置にあっては、ボート１の位置
決め時に石英ガラス同志の間ですべりが生じないので、
ウェハ２の歩留まりを悪化するようなゴミの発生を防止
することができると同時に、ポート１１石英ガラス２１
の損傷を防止できる。

この後、可動板１１がレール１３に沿って移動してボー
ト取り付け台２０を第２図に示す第１の位置（移し換え
位置〉に設定する。そして、この位置で、ボート１内の
ウェハ２を図示しないカセットに移し換えることになる
。この際、可動板１２の停止位置が正確に制御されてい
れば、ボート１はボート取り付け台２０上で位置決めさ
れているので、ボート１内のウェハ２を自動機によって
確実に移し換えることができる。

以上の動作が終了したら、次に新たなウェハ２を収納し
たカセットを前記第１の位置に設定し、同様にしてこの
ウェハ２をボート１に移し換え、その後にこのボート１
を前記第２の位置に移動して位置決めのための押圧力を
解除した後にエレベータにボート１を受け渡し、ボート
１を前記炉内に搬入させる動作を実行することになる。

以後はこれを繰り返し実行することになる。

以上本実施例装置について説明したが、本発明は上記実
施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内
で種々の変形実施が可能である。

例えば、前記実施例では付勢部材２５によってボート取
り付け台２０の石英ガラス板２１を配列方向Ａの一端側
に付勢する構成としたが、これは位置決めのための押圧
力を解除した際に、第２の位置において常時同じ位置で
ボート１の受け渡しを行うためである。従って、他の手
段例えば機械的に上記の受け渡しのための位置決めを行
う機構を追加すれば、前記付勢部材２５は必ずしも必要
とはならない。

また、位置決め手段３０で摩擦力を高める作動力を作用
させれば、特に付勢部材２５を採用した場合に前記スラ
イド可動部２４で位置決めの押圧力を吸収する作用を確
実に行える点で好ましいが、ボート１及び石英ガラス２
１に相当する物の間に生ずる摩擦係数が大きいものであ
れば、前述した作動力を必ずしも作用させなくても良い
。尚、この作動力を作用させた場合には、ボート取り付
け台２０を急激に停止又は駆動させた時の慣性力が作用
する場合にあっても、前記石英ガラス間でのずベリを確
実に防止できる効果もある。

さらに、ボート１とボート取り付け台２０との当接部は
、−ｆｆｉ的に石英ガラスを採用しているが、゛本発明
はこれに限定されるものでもなく、この当接面での滑り
によりゴミが生ずるような他の素材に対しても本発明の
効果を奏することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によればボートとボート取
り付け台との間のずベリを確実に防止することにより、
このすべりに起因するゴミの発生を防止し、半導体等の
歩留まりを大幅に向上することのでき、かつ、ボート及
びボート取り付け台の損傷を防止することができるボー
ト搬送装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例装置の主要部の概略説明図、
第２図はボート移し換え位置、ボート受け渡し位置を示
す概略説明図である。 １・・・ボート、２・・・被処理体、２０・・・ボート
取り付け台、２４・・・スライド可動部、２５・・・付
勢部材、３０・・・位置決め手段、３１・・・押圧部、
３３・・・カムフォロア、３４・・・カム。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被処理体を複数枚配列支持するボートを、ボート
   取り付け台上に載置し、かつ、位置決め手段によつて前
   記ボート取り付け台上で被処理体の配列方向にボートを
   位置決めした状態で、前記被処理体を収納するカセット
   との間で被処理体を移し換える第１の位置と、ボートを
   炉内に搬入出する為にボートを受け渡しする第２の位置
   とに亘って、前記ボートを搬送するボート搬送装置にお
   いて、前記ボート取り付け台を被処理体の配列方向に沿
   つてスライド可能に構成したことを特徴とするボート搬
   送装置。
2. （２）ボート取り付け台は、スライド可動部の一方を他
   方に対して前記配列方向に常時スライド付勢する付勢部
   材を具備した特許請求の範囲第１項記載のボート搬送装
   置。
3. （３）位置決め手段は、前記配列方向にボートを位置決
   めする作動力と共に、前記ボートとボート取り付け台と
   の当接面での摩擦力を増大させる作動力を作用させるも
   のである特許請求の範囲第２項記載のボート搬送装置。
4. （４）位置決め手段は、前記配列方向である水平方向に
   移動してボートの長手方向端部を押圧する押圧部と、こ
   の押圧部と共に移動するカムフォロアと、前記押圧部に
   よるボート押圧時に前記カムフォロアを鉛直斜め下方に
   従動させるカムとで構成した特許請求の範囲第３項記載
   のボート搬送装置。