JP6134174B2 - 磁気アニール装置 - Google Patents
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- 238000000137 annealing Methods 0.000 title claims description 64
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 212
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 82
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 64
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- Heat Treatment Of Articles (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
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Description
前記被処理体を保持可能な被処理体保持具と、
前記被処理体を収納する収納容器と、前記被処理体保持具と、の間で前記被処理体を搬送する被処理体搬送機構と、
前記被処理体保持具に接続部を介して接続され、前記被処理体を前記被処理体搬送機構で搬送する際の第1の位置と、前記被処理体を磁気アニール処理する際の第2の位置との間で、前記被処理体保持具を移載可能な移載機構と、
を有し、
前記被処理体保持具は、磁界の方向に垂直な方向に前記被処理体を複数枚積層した積層体を、前記磁界の方向に平行な方向に複数並列に配置して保持し、
前記接続部は、前記被処理体保持具の傾斜角を調節可能な角度調節部を有する、
磁気アニール装置。
図1に、ウエハWのキャリアCの一例の概略斜視図を示す。なお、本実施形態においては、ウエハWを収容するキャリアCとして、密閉型のFOUP(Front Opening Unified Pod)を使用する場合について説明するが、本発明はこの点において限定されない。
次に、本実施形態の磁気アニール装置について説明する。図2に、磁気アニール装置の一例の概略平面図を示す。なお、後述するウエハボート128、断熱部134、キャップ136及び角度調節機構137及び移載機構138に関して、実線は、ウエハWをウエハボート128に搬送する際の位置を示し、破線は、ウエハWを磁気アニール処理する際の位置を示している。
キャリア搬送領域S1について、より詳細に説明する。図3に、磁気アニール装置のキャリア搬送領域近傍の概略縦断面図を示す。
キャリア搬送領域S1からウエハ搬送領域S2へのウエハWの搬送について、説明する。先ず、前述の搬送アーム118cによって、キャリアCは、第1の載置台110、第1のキャリア保管部116a、116b又は第2のキャリア保管部116cから、第2の載置台114へと移載される。キャリアCは、その位置決め凹部とピン112とが係合するように載置される。第2の載置台114にキャリアCが載置されると、第2の載置台114が隔壁104側に移動され、キャリアCが隔壁104に当接する。キャリアCの当接状態は、図示しない固定機構により保持される。
図4に、磁気アニール装置100のウエハ搬送領域S2近傍の概略平面図を示す。図4に示すように、ウエハ搬送領域S2には、主として、ウエハ搬送機構124、アライナー装置126、ウエハボート128及び磁界発生手段130(図2参照)が設置される。
前述した通り、本実施形態の磁気アニール装置は、角度調節部137により、キャップ136と断熱部134との為す角度を調節することで、ウエハボート128の傾斜角を調節することができる。これにより、ウエハWをウエハボート128へ搬送する際と、ウエハWを収納したウエハボート128を磁界発生手段130へとロードする際とで、各々独立して、キャップ136と断熱部134とが為す角度を最適に調節することができる。
12 開閉蓋
14 ロック機構
100 磁気アニール装置
102 筐体
104 隔壁
106 第1の搬送領域
108 第2の搬送領域
110 第1の載置台
112 ピン
114 第2の載置台
116 キャリア保管部
118 キャリア搬送機構
120 搬送口
122 開閉ドア
124 ウエハ搬送機構
126 アライナー装置
128 ウエハボート
130 磁界発生手段
132 加熱手段
134 断熱部
136 キャップ
137 角度調節機構
138 移載機構
139 押上機構
140 制御部
150 保持台
S1 キャリア搬送領域
S2 ウエハ搬送領域
C キャリア
W ウエハ
Claims (7)
- 磁界発生手段として均磁場領域の長さが被処理体の直径の2倍より大きい横型の超伝導磁石を用いて、前記被処理体を磁気アニール処理する磁気アニール装置であって、
前記被処理体を保持可能な被処理体保持具と、
前記被処理体を収納する収納容器と、前記被処理体保持具と、の間で前記被処理体を搬送する被処理体搬送機構と、
前記被処理体保持具に接続部を介して接続され、前記被処理体を前記被処理体搬送機構で搬送する際の第1の位置と、前記被処理体を磁気アニール処理する際の第2の位置との間で、前記被処理体保持具を移載可能な移載機構と、
を有し、
前記被処理体保持具は、磁界の方向に垂直な方向に前記被処理体を複数枚積層した積層体を、前記磁界の方向に平行な方向に複数並列に配置して保持し、
前記接続部は、前記被処理体保持具の傾斜角を調節可能な角度調節部を有する、
磁気アニール装置。 - 前記角度調節部は、前記第1の位置において、前記被処理体保持具を水平に調節し、且つ、前記第2の位置において、前記被処理体保持具の軸と前記横型の超伝導磁石内の磁力線とが為す角度が所定の角度となるように、前記被処理体保持具の傾斜角を調節する、
請求項1に記載の磁気アニール装置。 - 前記角度調節部は、前記第2の位置において、前記被処理体保持具の軸と前記横型の超伝導磁石内の磁力線とが為す角度が平行又は垂直となるように、前記被処理体保持具の傾斜角を調節する、
請求項2に記載の磁気アニール装置。 - 前記第1の位置において、前記被処理体保持具の軸が水平になるよう、前記被処理体保持具の底面を下側から押し上げる押上機構を更に有する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気アニール装置。 - 前記被処理体はウエハであり、前記収納容器はFOUPであり、
前記FOUPは25枚の前記ウエハを収納可能であり、
前記被処理体保持具は、100枚の前記ウエハを保持可能である、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気アニール装置。 - 前記被処理体保持具は、50枚の前記ウエハを、前記被処理体保持具の軸に垂直な方向を積載方向として、所定の間隔で積載した積載体を、前記被処理体保持具の軸の方向に2つ並列に保持可能である、
請求項5に記載の磁気アニール装置。 - 被処理体を収納した収納容器を搬送する収納容器搬送領域と、前記被処理体を搬送する被処理体搬送領域とが開閉ドアを介して形成された磁気アニール装置であって、
前記収納容器搬送領域には、
当該磁気アニール装置に搬入される収納容器を載置する第1の載置台と、
前記開閉ドアを介して、前記収納容器搬送領域から前記被処理体搬送領域へと気密に前記被処理体を搬送するために、前記収納容器を載置する複数の第2の載置台と、
複数の前記収納容器を保管する保管部と、
前記第1の載置台、前記第2の載置台及び前記保管部の間で前記収納容器を搬出入する収納容器搬送機構と、
が配置され、
前記被処理体搬送領域には、
前記被処理体の位置合わせを行うアライナーと、
前記位置合わせが行われた前記被処理体を保持可能な被処理体保持具と、
前記第2の載置台に載置された収納容器、前記アライナー及び前記被処理体保持具の間で前記被処理体を搬送する被処理体搬送機構と、
前記被処理体を加熱する加熱手段と、
前記被処理体に磁界を印加する、均磁場領域の長さが前記被処理体の直径の2倍より大きい横型の超伝導磁石を有する磁界発生手段と、
前記被処理体保持具に接続部を介して接続され、前記被処理体を前記被処理体搬送機構で搬送する際の第1の位置と、前記被処理体を磁気アニール処理する際の第2の位置との間で、前記被処理体保持具を移載可能な移載機構と、
が配置され、
前記被処理体保持具は、前記磁界の方向に垂直な方向に前記被処理体を複数枚積層した積層体を、前記磁界の方向に平行な方向に複数並列に配置して保持し、
前記接続部は、前記被処理体保持具の傾斜角を調節可能な角度調節部を有する、
磁気アニール装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013058326A JP6134174B2 (ja) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | 磁気アニール装置 |
US14/211,619 US9508914B2 (en) | 2013-03-21 | 2014-03-14 | Magnetic annealing apparatus |
KR20140030881A KR20140115991A (ko) | 2013-03-21 | 2014-03-17 | 자기 어닐링 장치 |
TW103110221A TWI559431B (zh) | 2013-03-21 | 2014-03-19 | 磁性退火裝置(二) |
CN201410108086.XA CN104060073B (zh) | 2013-03-21 | 2014-03-21 | 磁性退火装置 |
KR1020160107688A KR20160104601A (ko) | 2013-03-21 | 2016-08-24 | 자기 어닐링 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013058326A JP6134174B2 (ja) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | 磁気アニール装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014183281A JP2014183281A (ja) | 2014-09-29 |
JP6134174B2 true JP6134174B2 (ja) | 2017-05-24 |
Family
ID=51701676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013058326A Active JP6134174B2 (ja) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | 磁気アニール装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6134174B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6366515B2 (ja) * | 2015-01-23 | 2018-08-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 連結構造及びこれを用いた磁気アニール装置、並びに連結方法 |
JP6504974B2 (ja) * | 2015-09-11 | 2019-04-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 磁化処理装置及び磁化処理方法 |
TWI767971B (zh) * | 2017-01-03 | 2022-06-21 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 工作件磁化系統及其操作方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2931924B2 (ja) * | 1990-09-04 | 1999-08-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
JP2000183128A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-30 | Komatsu Ltd | ワーク搬送装置の制御装置 |
JP2002175998A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2004263206A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-09-24 | Fuyuutec Furness:Kk | 熱処理装置 |
JP2006120861A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Rorze Corp | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット |
JP5476006B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2014-04-23 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 基板処理装置、基板処理装置の基板保持具の固定部及び半導体装置の製造方法 |
DE102010025483A1 (de) * | 2010-06-29 | 2011-12-29 | Centrotherm Thermal Solutions Gmbh + Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Wafertransportroboters |
-
2013
- 2013-03-21 JP JP2013058326A patent/JP6134174B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014183281A (ja) | 2014-09-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160711 |
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