KR20160043488A - 히터 레벨링 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 히터 레벨링 장치는 내부에 샤워헤드가 장착된 챔버; 샤웨헤드의 하부에 위치되고 기판이 안착되는 히터블럭과, 히터블럭에 연결된 샤프트가 마련된 히터부; 및 챔버의 외부에서, 챔버와 샤프트에 연결되어, 샤워헤드에서 분사된 반응가스가 기판에 고르게 증착되도록 히터블럭의 수평도를 조절하는 레벨링부를 포함하는 것이 바람직하다.

Description

히터 레벨링 장치{APPARATUS FOR LEVELING A HEATER}
본 발명은 히터 레벨링 장치에 관한 것이며, 상세하게는 히터의 수평도를 조절하는 히터 레벨링 장치에 관한 것이다.
일반적으로 화학기상증착장치를 사용하여 기판상에 박막을 형성할 때, 화학기상증착장치의 반응 챔버 내에서 증착 공정을 진행한 기판의 누적 매수가 증가함에 따라 기판 뿐만 아니라 반응 챔버 내부의 히터 블록 위에도 박막이 증착될 수 있다.
이는 박막 증착 공정 중에 반응 챔버 내에서 반응 가스가 기판 에지 부분을 통해 히터 블록 가장자리 쪽으로 침투하여 이 부분에서 박막 퇴적층이 형성되기 때문이다. 히터블럭 위에 박막 퇴적층이 형성되면, 기판이 히터블럭 상에 안착될 때 비스듬하게 놓여지게 되어 박막의 증착 특성이 불량하게 되어 증착 공정의 재현성을 확보할 수 없게 된다.
이와 같은 현상이 발생 되면, 화학기상증착장치의 가동을 중단시키고 히터블럭 위에 증착된 박막 퇴적층 및 반응 챔버 내부의 이물질을 제거하고 다시 장치를 복구시킨 후, 히터블록 승강장치에 의해 히터블럭의 위치를 조정한다.
예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같은 화학기상증착장치에서, 챔버(10) 하부에 위치한 히터블럭승강유닛(30)을 사용하여 챔버(10) 내부의 히터블럭(20)의 위치를 조정한다. 그런 다음, 히터블럭 레벨링 장치(40)를 이용하여 히터블럭의 수평도를 조정한다.
한편, 증착 공정을 수행해서 얻은 박막의 3차원 맵(3D map)이 불균일한 경우가 발생하는데, 균일한 박막 두께를 얻기 위해서는, 히터블럭과 샤워헤드의 간격을 조정하기 위하여 히터블럭 레벨링장치(40)에 의해 히터블럭의 기울기를 조정하는 레벨링(leveling) 작업을 실시하여야 한다.
상기 히터블럭 레벨링장치(40)를 이용하여 히터블럭(20)의 기울기를 조절하는 방법은, 레벨링스크류(42)에 체결된 레벨링 플레이트(41)의 기울기를 조절한다. 그런 다음, 레벨링스크류(42)에 연결된 상부너트(43)와 하부너트(44)를 서로 반대방향으로 조여주면서 레벨링 플레이트(41)를 레벨링 스크류(42)에 고정한다. 그러나, 이 과정에서 레벨링스크류(42)에는 상부너트(43) 및 하부너트(44)와 맞닿은 부분에서 도 1 및 도 2b에 도시된 바와 같이 레벨링 플레이트(41)의 기울어진 각도(θ)만큼 휨이 발생하게 된다.
이로 인하여 상부너트(43) 및 하부너트(44)가 레벨링스크류(42)와의 조임시 나사산의 손실되어 그 역할을 제대로 수행하지 못하고, 또한, 레벨링스크류(42)의 휨으로 인해, 레벨링플레이트(41)의 위치조작이 용이하게 행하여지지 못하는 문제점이 발생한다. 또한, 이로 인해 파손된 히터블럭 레벨링장치(40)을 교체하기 위하여 챔버(10)에서 분리하여야 하는 상황이 발생하고, 교체하는데 많은 시간이 소요된다.
히터블럭 레벨링장치(40)를 교체하기 위해서는 챔버(10)의 온도를 하강하고 챔버내의 진공상태를 해제하여 대기상태의 챔버(10)를 만든 후에 히터블럭(20)를 분리하고 히터블럭 레벨링장치(40)에서 휘어진 레벨링스크류(42)를 절단기를 이용하여 분리하게 된다.
만약, 레벨링플레이트(41)상단에서 레벨링스크류(42)가 휜다면 절단이 필요없지만, 상부너트(43)와 하부너트(44)를 조일 때 아래부분에 먼저 힘이 가해진다면 레벨링스크류(42) 하부가 휘게 된다. 이 때, 하부너트(44)가 레벨링스크류(42)와 분리되지 않아 절단까지 이르게 되는 상황이 발생하기도 한다.
상기와 같은 과정을 거쳐, 히터블럭 레벨링장치(40)를 교체한 후, 상술한 순서의 역순으로 재조립한다.
이때, 히터블럭(20)을 챔버(10) 내에 재장착하는 과정에서 히터블럭(20)의 센터링 및 위치 교정이 수행되며, 이후, 챔버(10)를 진공상태로 만든 후 온도를 상승하여 공정을 진행한다. 이때, 챔버(10) 내의 상태가 교체전의 상태 그대로 재현되는지 여부가 불완전하고, 교체 과정에서 이물질 검출등의 문제가 발생한다면 해당 챔버(10)를 장시간 사용하지 못하게 되는 문제점이 발생하게 된다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 히터의 기울기를 용이하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 히터의 기울기 조절시에 레벨링 부재의 손상을 방지할 수 있는 히터 레벨링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 화학기상증착공정시 기판에 성장하는 막질이 균일하도록, 히터의 기울기를 조절하는 히터 레벨링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 히터 레벨링 장치는, 챔버;
기판이 안착되는 히터블럭과, 상기 히터블럭에 연결된 샤프트가 마련된 히터부; 및 상기 챔버의 외부에서, 상기 챔버와 상기 샤프트에 연결되어, 상기 히터블럭의 기울기를 조절하는 레벨링부를 포함하며, 상기 레벨링부는, 상기 히터부에 연결되는 레벨링 플레이트; 상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트를 연결하는 고정부재; 및 상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트에 연결되어, 상기 레벨링 플레이트의 높이를 조절하는 복수의 레벨링부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정부재는 일단이 상기 챔버의 저면에 나사결합되고, 타단이 구형 헤드를 가지며, 상기 고정부재의 구형헤드는 상기 레벨링 플레이트에 마련된 고정오목홈에 안착되고, 상기 고정오목홈과의 접촉면에서 미끄럼 회동하는 것을 특징으로 한다.
상기 레벨링 플레이트에는 상기 복수의 레벨링부재가 각각 관통되는 복수의 레벨링관통홀이 마련되고, 상기 복수의 레벨링관통홀의 내주면에는 상기 레벨링관통홀의 원주방향을 따라 고리형 오목홈이 마련된 것을 특징으로 한다.
상기 레벨링부재는 일단이 상기 챔버의 저면에 결합되는 레벨링 샤프트; 상기 레벨링 샤프트의 외주면을 둘러싸고 상기 고리형 오목홈에 안착되며 상기 고리형 오목홈과의 접촉면에서 미끄럼 회동하는 구형 와셔를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 레벨링부재는 일단이 구형 헤드를 가지며 상기 챔버의 저면에 마련된 챔버오목홈에 설치되고, 타단이 상기 레벨링 플레이트를 관통하여 상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트를 연결하는 레벨링 샤프트; 상기 레벨링 샤프트의 일단을 둘러싸도록 상기 챔버오목홈에 안착되는 고정블럭을 포함하고, 상기 레벨링 샤프트의 구형 헤드는 상기 챔버안착홈 및 상기 고정블럭과의 접촉면에서 미끄럼 회동하는 것을 특징으로 한다.
상기 레벨링부재는 상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트를 연결하는 레벨링축부재; 상부볼록와셔와, 상기 상부볼록와셔의 볼록면과 맞닿는 오목면이 마련된 상부오목와셔가 구비된 상부와셔부; 및 하부볼록와셔와, 상기 하부볼록와셔의 볼록면과 맞닿는 오목면이 마련된 하부오목와셔가 구비된 하부와셔부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 상부볼록와셔와 상기 하부볼록와셔는 각각 상기 상부오목와셔와 상기 하부오목와셔에 대하여 상대적으로 미끄럼 이동가능한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 상술한 바와 같은 레벨링 축부재와 레벨링 플레이트의 구성에 의해, 레벨링 플레이트의 기울기를 조절하여 레벨링 축부재가 수직방향에 대하여 경사각을 갖더라도 레벨링 축부재의 휨을 방지할 수 있어, 레벨링 장치의 부품이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 레벨링 플레이트의 기울기를 조절하더라도 상기 레벨링 축부재는 수직방향에 대하여 경사각을 갖지 않도록 유지하면서 레벨링 축부재에 휨응력이 발생하는 것을 방지할 수 있어 레벨링 장치의 부품이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 레벨링 축부재에 연결된 레벨링 플레이트의 위치를 미세하게 조정함으로써, 샤워헤드에서 분사된 반응가스가 히터블럭상에 안착된 기판으로 균일하게 증착되도록 함으로써, 기판의 막질 성장을 균일하게 유도하여, 기판의 불량율을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명은 레벨링 부재의 손상을 방지하여 레벨링 장치의 손상으로 인해 레벨링 장치의 부품을 교체하기 위해 챔버에서 분리한 후 다시 조립하는 과정을 생략할 수 있어, 레벨링부재의 교체에 소요되는 시간 및 비용을 절감시킬 수 있고, 부품을 교체하는 동안에 공정수행을 하지 못함에 의한 비용적 손실을 예방할 수 있어 경제적이다.
아울러, 본 발명은 레벨링 샤프트의 휨을 방지하여, 종래기술에서 발생된 레벨링 샤프트의 손상으로 인한 레벨링부의 교체 및 재조립공정을 화학기상증착공정동안에 수행하지 않아도 되고, 이로 인해, 레벨링부를 챔버에서 분리 및 재조립하는 동안에 발생가능한 공정미스(예컨데, 이전 공정과 동일한 조건에서의 공정환경 재현 불가, 또는 재조립공정시 챔버로의 이물질 유입 등과 같은 문제점)를 방지할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 히터 레벨링 장치의 구성도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2a는 종래기술에서, 정상상태에서의 레벨링스크류와 레벨링플레이트의 연결상태도를 개략적으로 도시한 것이며, 도 2b는 레벨링스크류의 휨상태에서의 레벨링플레이트에 대한 연결상태도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 레벨링 장치의 구성도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅레벨링부의 배치상태에 대한 평면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5a는 정상상태에서의 도 3의 A-A단면을 개략적으로 도시한 것이고, 도 5b는 휨상태에서의 도 3의 A-A단면을 개략적으로 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일예에 따른 히팅레벨링부의 구성도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 예에 따른 히팅레벨링부의 구성도를 개략적으로 도시한 것이다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히터 레벨링 장치에 대해 설명하기로 한다.
<제 1 실시예>
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 히터 레벨링 장치(100)는 챔버(110), 히터부(120), 승강구동부(130)와, 레벨링부(140)를 포함한다.
상기 챔버(110)에는 기판(1)으로 반응가스를 분사하기 위한 샤워헤드(115)가 설치된다.
상기 샤워헤드(115)의 하부에는 기판이 안착되고 가열되는 히터부(120)가 설치된다. 상기 히터부(120)는 히터블럭(121)과 상기 히터블럭을 지지하는 샤프트(122)를 포함한다. 상기 샤프트(122)는 상기 챔버(110)의 외부에 위치된 승강구동부(130)에 연결된다.
상기 승강구동부(130)는 상기 샤프트(122)를 승강구동시켜서 상기 히터블럭(121)의 높이를 조정한다. 상기 승강구동부(130)는 승강플레이트(131), 승강샤프트(132), 가이드레일(133), 리프팅부재(134)와 구동모터(135)로 이루어진다.
상기 승강샤프트(132)는 챔버(110)의 외부에 위치되고, 상기 승강샤프트(132)의 상면에는 레벨링 플레이트(141)가 연결된다. 상기 승강샤프트(132)의 측면에는 가이드레일(133)이 설치되고, 상기 가이드레일(133)에는 상기 리프팅부재(134)를 통해 상기 승강플레이트(131)가 연결된다.
상기 승강플레이트(131)에는 상기 샤프트(122)가 연결된다. 상기 구동모터(135)의 구동에 의해 상기 리프팅부재(134)는 상기 가이드레일(133)을 따라 승강구동된다. 이에 따라 상기 리프팅부재(134)에 연결된 상기 승강플레이트(131)와 상기 승강플레이트(131)가 지지하는 상기 샤프트(122) 및 상기 히터블럭(121)이 승강구동된다.
상기 레벨링부(140)는 상기 챔버(110)와 상기 승강구동부(130) 사이에 설치된다. 상기 레벨링부(140)는 레벨링 플레이트(141)와, 고정부재(143)와, 복수의 레벨링부재(145)를 포함한다.
상기 레벨링 플레이트(141)는 상기 샤프트(122)가 관통되는 샤프트홀(141a)이 마련된 평판형 구조를 가진다. 상기 레벨링 플레이트(141)는 상기 승강샤프트(132)에 고정설치되어, 상기 레벨링 플레이트(141)의 기울기를 조절함으로써, 상기 승강샤프트(132)와 상기 승강샤프트(132)에 연결된 상기 샤프트(122) 및 상기 히터블럭(121)의 기울기를 조절할 수 있다.
상기 레벨링 플레이트(141)는 고정부재(143)와 복수의 레벨링부재(145)에 의해 상기 챔버(110)에 연결된다. 상기 레벨링 플레이트(141)에는 상기 고정부재(143)의 구형 헤드부분이 안착되며 상기 구형 헤드부분에 대응하는 형상으로 오목하게 형성된 고정오목홈(141b)이 마련되고, 복수의 레벨링부재(145)가 각각 관통되는 복수의 레벨링관통홀(141c)이 마련된다.
상기 고정부재(143)는 상기 레벨링 플레이트(141)와의 체결높이가 고정되어 있고 상기 레벨링 플레이트(141)와 미끄럼회동이 가능하게 설치되어, 상기 레벨링 플레이트(141)와 상기 챔버(110)의 연결한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 고정부재(143)의 일단(143a)에는 나사산이 마련되고, 타단(143b)은 구형구조를 가진다. 상기 고정부재(143)는 일단(143a)이 챔버(110)의 저면에 나사결합되고, 타단(143b)이 상기 고정오목홈(141b)에 안착되고 상기 고정오목홈(141b)을 덮는 고정오목와셔(142)에 의해 레벨링 플레이트(141)에 결합된다.
상기 복수의 레벨링부재(145)는 상기 레벨링 플레이트(141)와의 체결높이를조절할 수 있고, 상기 챔버(110)의 저면과 미끄럼회동이 가능하게 설치되어, 상기 레벨링 플레이트(141)와 상기 챔버(110)의 연결한다. 상기 레벨링부재(145)와 상기 레벨링 플레이트(141)와의 체결높이를 조절함으로써 상기 레벨링 플레이트(141)의 기울기를 조절한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 복수의 레벨링부재(145)는 상기 고정부재(143)와 대략 삼각형으로 이격된 위치에서 상기 챔버(110)와 상기 레벨링 플레이트(141)에 연결된다.
도 3 내지 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 레벨링부재(145)는 레벨링 샤프트(146), 고정블럭(146d), 제 1 너트부재(147)와 제 2 너트부재(148)로 이루어진다.
상기 레벨링 샤프트(146)는 일끝단이 구형(spherical) 구조를 가지며, 상기 챔버(110)의 저면에 마련된 챔버오목홈(116)에 미끄럼 가능하게 안착되고, 상기 고정블럭(146d)에 의해 챔버(110)에 고정된다.
상기 고정블럭(146d)은 상기 레벨링 샤프트(146)의 일단을 둘러싸도록 챔버오목홈(116)에 설치되고, 상기 레벨링 샤프트가 안착되는 부분은 상기 레벨링 샤프트(146)의 일끝단의 구형에 상응하는 형상으로 오목하게 형성된다. 상기 고정블럭(146d)은 결합볼트에 의해 챔버(110)에 결합된다.
상기 레벨링 샤프트(146)의 타단은 레벨링관통홀(141c)을 관통하여 상기 레벨링 플레이트(141)에 연결된다. 상기 레벨링 샤프트(146)는 제 1 너트부재(147)와 제 2 너트부재(148)에 의해 상기 레벨링 플레이트(141)에 결합된다.
본 실시예에 따른 히터 레벨링 장치(100)는 상기 레벨링 플레이트(141)을 보호하기 위해, 제 1 너트부재(147)와 레벨링 플레이트(141)의 상면 사이에, 그리고, 레벨링 플레이트(141)의 하면과 제 2 너트부재(148) 사이에 평와셔(149)를 더 구비할 수 있다.
상기 레벨링 샤프트(146)와 상기 레벨링 플레이트(141)의 체결높이를 조절하여, 상기 레벨링 플레이트(141)의 기울기를 조절할 수 있다. 이 때, 상기 레벨링 샤프트(146)는 구형 헤드부분이 상기 챔버오목홈(116) 및 상기 고정블럭(146d)과의 접촉면에서 매끄럽게 회동되어, 상기 레벨링 샤프트(146)와 상기 레벨링 플레이트(141)는 기울기 조절 이전과 마찬가지로 직각을 이룰 수 있다.
이로써, 상기 레벨링 샤프트(146)에 휨이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 종래기술에서와 같이 휘어진 레벨링 샤프트에 의해 너트부재를 조임고정할 때에 상기 너트부재(147, 148)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 히터 레벨링 장치(100)는 상기 레벨링 샤프트(146)의 휨을 방지하는 구조에 의해, 상기 제 1 너트부재(147) 및 제 2 너트부재(148)의 조임 또는 풀림 조작을 원할하게 수행할 수 있어, 레벨링을 용이하게 할 수 있다.
또한, 상기 레벨링 샤프트(146)의 휨을 방지하여, 상기 레벨링부(140)의 교체 및 재조립공정을 화학기상증착공정동안에 수행하지 않아도 되고, 이로 인해, 레벨링부(140)를 챔버(110)에서 탈착 및 재조립하는 동안에 발생가능한 공정미스(예컨데, 이전 공정과 동일한 조건에서의 공정환경 재현 불가, 또는 재조립공정시 챔버(110)로의 이물질 유입 등과 같은 문제점)를 방지할 수 있다.
아울러, 상기 레벨링 플레이트(141)의 위치를 미세하게 조정함으로써, 샤워헤드(115)에서 분사된 반응가스가 상기 히터블럭(121)상에 안착된 기판(1)으로 균일하게 증착되도록 함으로써, 기판(1)의 불량율을 줄일 수 있다.
<제 2 실시예>
이하에서는 도 6을 참조하여, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 히터 레벨링 장치에 대해 설명한다.
본 실시예에 따른 히터 레벨링 장치는 복수의 레벨링부재의 구성이 상기 제 1 실시예와 상이하므로 상기 제 1 실시예와 동일한 구조에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다
도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 의한 레벨링부재(245)는 레벨링 샤프트(246), 구형와셔(246c), 제 1 너트부재(247)와 제 2 너트부재(248)를 포함한다. 레벨링 플레이트(241)에는 상술한 제 1 실시예에서와 같이 고정부재(도시하지 않음)가 안착되는 고정오목홈이 마련되고, 복수의 레벨링부재(245)가 각각 관통되는 복수의 레벨링관통홀(241c)이 마련된다.
상기 복수의 레벨링관통홀(241c)의 내주면에는 원주방향을 따라 고리형 오목홈부(241e)가 마련된다. 여기서, 상기 고리형 오목홈부(241e)는 레벨링 플레이트(241)의 레벨링관통홀(241c)에 볼팅조립가능한 구조를 가지는 것이 바람직하다.
상기 레벨링 샤프트(246)의 일단(246a)에는 나사산이 마련되어, 상기 챔버(110)의 저면에 나사결합된다.
본 실시예에 따른 상기 레벨링 샤프트(246)의 외주면에는 구형 와셔(spherical washer, 246c)가 설치된다. 여기서, 상기 구형 와셔(246c)는 상기 레벨링 샤프트(246)의 외주면을 둘러싸고, 상기 고리형 오목홈부(241e)에 회전가능하게 안착되는 구조를 갖는다.
상기 레벨링 샤프트(246)는 제 1 너트부재(247)와 제 2 너트부재(248)에 의해 상기 레벨링 플레이트(241)에 결합된다.
또한, 상기 레벨링 플레이트(241)를 보호하기 위해, 제 1 너트부재(247)와 레벨링 플레이트(241) 사이 및 제 2 너트부재(248)와 레벨링 플레이트(241) 사이에 평와셔(249)를 설치할 수도 있다.
상기 레벨링 샤프트(246)와 상기 레벨링 플레이트(241)의 체결높이를 조절하여, 상기 레벨링 플레이트(241)의 기울기를 조절할 수 있다. 이 때, 상기 레벨링 플레이트(241)는 상기 구형 와셔(246c)와의 접촉면에서 매끄럽게 회동된다.
이로써, 상기 레벨링 샤프트(246)는 상기 챔버(110)의 저면에 대하여 수직인 상태를 유지하지만, 상기 레벨링 플레이트(241)와의 사이에서 휨이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 종래기술에서와 같이 휘어진 레벨링 샤프트에 의해 너트부재를 조임고정할 때에 상기 너트부재(247, 248)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
<제 3 실시예>
이하에서는 도 7a 및 도 7b를 참조하여 본 발명의 제 3 실시예에 따른 히터 레벨링 장치에 대해 설명한다.
본 실시예에 따른 히터 레벨링 장치는 복수의 레벨링부재의 구성이 상기 제 1 및 제 2 실시예와 상이하므로 상기 제 1 및 제 2 실시예와 동일한 구조에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다
본 실시예의 레벨링부는 레벨링 플레이트(341), 고정부재(도시하지 않음)와 복수의 레벨링부재(345)를 포함한다.
도 7a에 도시된 바와 같이, 상기 레벨링부재(345)는 레벨링 샤프트(346), 제 1 너트부재(347), 제 2 너트부재(348), 상부와셔부(347a)와 하부와셔부(348a)로 이루어진다. 여기서, 상기 레벨링 플레이트(341)에는 상기 고정부재(도시하지 않음)가 안착되는 고정오목홈(도시하지 않음)이 마련되고, 복수의 레벨링부재(345)가 각각 관통되는 복수의 레벨링관통홀(341c)이 마련된다.
상기 레벨링 샤프트(346)는 일단이 상기 챔버(110)의 저면에 나사결합된다. 상기 레벨링 샤프트(346)는 제 1 너트부재(347)와 제 2 너트부재(348)에 의해 상기 레벨링 플레이트(341)에 결합된다
상기 레벨링부재(345)는 상기 제 1 너트부재(347)와 상기 레벨링 플레이트(341) 사이에 설치되는 상부와셔부(347a)와, 상기 레벨링 플레이트(341)과 상기 제 2 너트부재(348) 사이에 설치되는 하부와셔부(348a)를 포함한다.
상기 상부와셔부(347a)는 상부볼록와셔(347b)와 상부오목와셔(347c)로 이루어진다. 상기 상부볼록와셔(347b)는 평평한 면이 상기 제 1 너트부재(347)와 접촉되도록 위치되고, 볼록한 면이 상기 상부오목와셔(347c)의 오목한 면과 접촉되도록 위치된다. 상기 상부오목와셔(347c)는 평평한 면이 상기 레벨링 플레이트(341)과 접촉되고, 오목한 면이 상기 상부볼록와셔(347b)의 볼록한 면과 접촉되도록 위치된다.
상기 하부와셔부(348a)는 하부볼록와셔(348b)와 하부오목와셔(348c)로 이루어진다. 상기 하부볼록와셔(348b)와 상기 하부오목와셔(348c)의 구성은 상기 상부볼록와셔(347b)와 상기 상부오목와셔(347c)의 구성과 동일하므로 중복된 설명은 생략한다.
상기 레벨링 샤프트(346)와 상기 레벨링 플레이트(341)의 체결높이를 조절하여, 상기 레벨링 플레이트(341)의 기울기를 조절할 수 있다. 이 때, 상기 레벨링 플레이트(341)의 상하부에 배치된 상기 상부볼록와셔(347b)와 상기 하부볼록와셔(348b)는 각각 상기 상부오목와셔(347c)와 상기 하부오목와셔(348c)에 대하여 접촉면에서 매끄럽게 미끄러져 이동된다.
이로써, 상기 레벨링 샤프트(346)는 상기 챔버(110)의 저면에 대하여 수직인 상태를 유지하지만, 상기 레벨링 플레이트(341)와의 사이에서 휨이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 종래기술에서와 같이 휘어진 레벨링 샤프트에 의해 너트부재를 조임고정할 때에 상기 너트부재(347, 348)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
100: 히터 레벨링 장치
110: 챔버 120: 히터부
121: 히터블럭 122: 샤프트
130: 승강구동부 131: 승강플레이트
132; 승강샤프트 133: 가이드레일
134: 리프팅부재 135: 구동모터
140: 레벨링부 141: 레벨링 플레이트
143: 고정부재 145, 245, 345: 레벨링부재
146, 246, 346: 레벨링 샤프트 146d: 고정블럭
147, 247, 347: 제 1 너트부재 148, 248, 348: 제 2 너트부재
347a: 상부와셔부 347b:상부볼록와셔
347c: 상부오목와셔 348a: 하부와셔부
348b: 하부볼록와셔 348c: 하부오목와셔

Claims (7)

  1. 챔버;
    기판이 안착되는 히터블럭과, 상기 히터블럭에 연결된 샤프트가 마련된 히터부; 및
    상기 챔버의 외부에서, 상기 챔버와 상기 샤프트에 연결되어, 상기 히터블럭의 기울기를 조절하는 레벨링부를 포함하며,
    상기 레벨링부는,
    상기 히터부에 연결되는 레벨링 플레이트;
    상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트를 연결하는 고정부재; 및
    상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트에 연결되어, 상기 레벨링 플레이트의 높이를 조절하는 복수의 레벨링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 레벨링 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부재는 일단이 상기 챔버의 저면에 나사결합되고, 타단이 구형 헤드를 가지며,
    상기 고정부재의 구형헤드는 상기 레벨링 플레이트에 마련된 고정오목홈에 안착되고, 상기 고정오목홈과의 접촉면에서 미끄럼 회동하는 것을 특징으로 하는 히터 레벨링 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 레벨링 플레이트에는 상기 복수의 레벨링부재가 각각 관통되는 복수의 레벨링관통홀이 마련되고,
    상기 복수의 레벨링관통홀의 내주면에는 상기 레벨링관통홀의 원주방향을 따라 고리형 오목홈이 마련된 것을 특징으로 하는 히터 레벨링 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 레벨링부재는
    일단이 상기 챔버의 저면에 결합되는 레벨링 샤프트;
    상기 레벨링 샤프트의 외주면을 둘러싸고 상기 고리형 오목홈에 안착되며 상기 고리형 오목홈과의 접촉면에서 미끄럼 회동하는 구형 와셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 레벨링 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 레벨링부재는
    일단이 구형 헤드를 가지며 상기 챔버의 저면에 마련된 챔버오목홈에 설치되고, 타단이 상기 레벨링 플레이트를 관통하여 상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트를 연결하는 레벨링 샤프트;
    상기 레벨링 샤프트의 일단을 둘러싸도록 상기 챔버오목홈에 안착되는 고정블럭을 포함하고,
    상기 레벨링 샤프트의 구형 헤드는 상기 챔버안착홈 및 상기 고정블럭과의 접촉면에서 미끄럼 회동하는 것을 특징으로 하는 히터 레벨링 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 레벨링부재는
    상기 챔버와 상기 레벨링 플레이트를 연결하는 레벨링축부재;
    상부볼록와셔와, 상기 상부볼록와셔의 볼록면과 맞닿는 오목면이 마련된 상부오목와셔가 구비된 상부와셔부; 및
    하부볼록와셔와, 상기 하부볼록와셔의 볼록면과 맞닿는 오목면이 마련된 하부오목와셔가 구비된 하부와셔부를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 레벨링 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 상부볼록와셔와 상기 하부볼록와셔는 각각 상기 상부오목와셔와 상기 하부오목와셔에 대하여 상대적으로 미끄럼 이동가능한 것을 특징으로 하는 히터 레벨링 장치.
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