KR102325102B1 - 히터 척 오토 레벨링 장치 - Google Patents

히터 척 오토 레벨링 장치 Download PDF

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heater chuck
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곽재찬
오상영
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Abstract

본 발명 히터 척 오토 레벨링 장치는, 일정 높이의 고정 브라켓 상단에 안착 및 고정된 상태로 내부로 투입된 기판이 처리되는 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되어 기판을 지지하며 기판의 처리를 위해 선택적으로 가열되는 히터 척; 상기 히터 척의 중심부 저면에 일체로 결합된 상태로 챔버의 하부를 관통하여 연장되는 봉상의 샤프트; 상기 샤프트 둘레에 끼워진 상태로 챔버의 하단에 밀폐 고정되는 벨로우즈 어셈블리; 상기 벨로우즈 어셈블리의 하단에 결합되어 벨로우즈 어셈블리를 통과한 샤프트의 하단을 밀폐 지지하는 얼라인 스테이지 링; 및 상기 고정 브라켓에 설치되어 샤프트의 평탄도 보정을 위해 얼라인 스테이지 링의 외주면 중 복수의 지점을 푸시할 수 있도록 접촉하는 푸시 바 어셈블리;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

히터 척 오토 레벨링 장치{Auto-leveling apparatus for heater chuck}
본 발명은 기판 처리장치의 히터 척 오토 레벨링 장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 종래 대비 훨씬 컴팩트해진 구성 및 무빙 메카니즘을 가지면서도 레벨빙 동작 시 동적 부하가 감소되고, 아울러 기판이 안착되는 히터 척의 평탄도 측정에 대한 신뢰도를 높임과 동시에 레벨링 장치의 내구성까지도 향상된 기판 처리장치의 히터 척 오토 레벨링 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 처리하는 장치는 크게 박막을 형성하는 박막 증착장치와, 상기 기판 상에 형성된 박막을 미세하게 깎아내어 회로를 구성하기 위한 식각장치로 구분될 수 있다.
이 중에서 박막 증착장치는, 기체 원료로부터 화학 반응을 거쳐 박막이나 입자 등이 고체재료를 합성하는 화학적 방법과, 증착하고자 하는 입자를 여러가지 물리적인 방법에 의해 기판 위에 증착시키는 물리적인 방법으로 다시 구분된다.
상기 화학적 방법의 하나인 화학적 기상증착(Cemical Vapor Deposition)은 외부와 차단된 반응실 안에 기판을 넣어 놓고 가스공급부를 통해 가스원료를 주입하면서 가열부에서 공급된 열에 의해 열분해를 일으켜 기판의 성질을 변화시키지 않고 박막을 형성시키는 장치로서 반도체 웨이퍼 뿐만 아니라, 평판 디스플레이의 TFT(박막 트랜지스터) 형성을 위한 기판 처리장치에도 널리 사용되고 있다.
여기서, 상기한 기판 처리장치의 반응챔버 안에서 기판이 안착되며, 처리 공정간 기판을 가열하기 위해 히터를 내장한 구성품을 통상 히터 척(susceptor)라고 지칭하는데, 이러한 종래 히터 척의 한가지 예가 첨부된 도 1에 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 종래 히터 척 어셈블리의 구성은, 본 실시예에 따른 히터 레벨링 장치(100)는 챔버(110), 히터부(120), 승강구동부(130)와, 레벨링부(140)를 포함한다.
상기 챔버(110)에는 기판(1)으로 반응가스를 분사하기 위한 샤워헤드(115)가 설치된다. 상기 샤워헤드(115)의 하부에는 기판이 안착되고 가열되는 히터부(120)가 설치된다. 상기 히터부(120)는 히터블럭(121)과 상기 히터블럭을 지지하는 샤프트(122)를 포함한다. 상기 샤프트(122)는 상기 챔버(110)의 외부에 위치된 승강구동부(130)에 연결된다.
상기 승강구동부(130)는 상기 샤프트(122)를 승강구동시켜서 상기 히터블럭(121)의 높이를 조정한다. 상기 승강구동부(130)는 승강플레이트(131), 승강샤프트(132), 가이드레일(133), 리프팅부재(134)와 구동모터(135)로 이루어진다.
상기 승강샤프트(132)는 챔버(110)의 외부에 위치되고, 상기 승강샤프트(132)의 상면에는 레벨링 플레이트(141)가 연결된다. 상기 승강샤프트(132)의 측면에는 가이드레일(133)이 설치되고, 상기 가이드레일(133)에는 상기 리프팅부재(134)를 통해 상기 승강플레이트(131)가 연결된다.
상기 승강플레이트(131)에는 상기 샤프트(122)가 연결된다. 상기 구동모터(135)의 구동에 의해 상기 리프팅부재(134)는 상기 가이드레일(133)을 따라 승강구동된다. 이에 따라 상기 리프팅부재(134)에 연결된 상기 승강플레이트(131)와 상기 승강플레이트(131)가 지지하는 상기 샤프트(122) 및 상기 히터블럭(121)이 승강구동된다.
상기 레벨링부(140)는 상기 챔버(110)와 상기 승강구동부(130) 사이에 설치된다. 상기 레벨링부(140)는 레벨링 플레이트(141)와, 고정부재(143)와, 복수의 레벨링부재(145)를 포함한다.
상기 레벨링 플레이트(141)는 상기 샤프트(122)가 관통되는 샤프트홀(141a)이 마련된 평판형 구조를 가진다. 상기 레벨링 플레이트(141)는 상기 승강샤프트(132)에 고정설치되어, 상기 레벨링 플레이트(141)의 기울기를 조절함으로써, 상기 승강샤프트(132)와 상기 승강샤프트(132)에 연결된 상기 샤프트(122) 및 상기 히터블럭(121)의 기울기를 조절할 수 있다.
상기 레벨링 플레이트(141)는 고정부재(143)와 복수의 레벨링부재(145)에 의해 [0039] 상기 챔버(110)에 연결된다. 상기 레벨링 플레이트(141)에는 상기 고정부재(143)의 구형 헤드부분이 안착되며 상기 구형 헤드부분에 대응하는 형상으로 오목하게 형성된 고정오목홈(141b)이 마련되고, 복수의 레벨링부재(145)가 각각 관통되는 복수의 레벨링관통홀(141c)이 마련된다.
상기 고정부재(143)는 상기 레벨링 플레이트(141)와의 체결높이가 고정되어 있고 상기 레벨링 플레이트(141)와 미끄럼회동이 가능하게 설치되어, 상기 레벨링 플레이트(141)와 상기 챔버(110)의 연결한다. 상기 고정부재(143)의 일단(143a)에는 나사산이 마련되고, 타단(143b)은 구형구조를 가진다. 상기 고정부재(143)는 일단(143a)이 챔버(110)의 저면에 나사결합되고, 타단(143b)이 상기 고정오목홈(141b)에 안착되고 상기 고정오목홈(141b)을 덮는 고정오목와셔(142)에 의해 레벨링 플레이트(141)에 결합된다.
상기 복수의 레벨링부재(145)는 상기 레벨링 플레이트(141)와의 체결높이를 조절할 수 있고, 상기 챔버(110)의 저면과 미끄럼회동이 가능하게 설치되어, 상기 레벨링 플레이트(141)와 상기 챔버(110)의 연결한다. 상기 레벨링부재(145)와 상기 레벨링 플레이트(141)와의 체결높이를 조절함으로써 상기 레벨링 플레이트(141)의 기울기를 조절한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 복수의 레벨링부재(145)는 상기 고정부재(143)와 대략 삼각형으로 이격된 위치에서 상기 챔버(110)와 상기 레벨링 플레이트(141)에 연결된다.
그러나, 상술한 바와 같은 종래 레벨링 장치는 아래와 같은 문제점이 있었다.
첫째, 선행문헌을 포함한 종래 레벨링 장치는 기본적으로 레벨링 플레이트 또는 브라켓을 포함한 레벨링 장치 전체가 무빙되면서 샤프트의 기울기를 보정하는 방식이므로 기본적으로 레벨링 동작을 위해 매우 큰 힘이 필요하며, 이에 따라 상술한 구성의 종래 레벨링 장치를 디스플레이 기판 처리장치 등의 큰 설비에 적용하는 데에는 한계가 있었다.
둘째, 선행문헌을 포함한 종래 레벨링 장치는 레벨링 장치의 레벨링 플레이트 또는 브라켓과 기판의 처리가 이루어지는 반응챔버와의 거리 또는 간격을 측정하여 기울기를 조절하는 방식이나, 박막 증착과 같은 고온의 챔버에서는 챔버의 형상이나 체적의 변형이 발생되는 경우가 있으므로 평탄도 측정에 오차가 발생되는 경우가 많았다.
셋째, 상술한 바와 같이 선행문헌을 포함한 종래 레벨링 장치는 기본적으로 레벨링 플레이트 또는 브라켓을 포함한 레벨링 장치 전체가 무빙되면서 샤프트의 기울기를 보정하는 방식이므로 무거운 무빙 유닛들을 계속적으로 작동시켜야만 하기 때문에 장기간 사용 시 내구성이 취약한 문제점이 있었다.
한국 등록특허 제10-1651879호 (2016.08.23. 등록) 한국 공개특허 제2017-0023603호 (2017.03.06. 공개) 한국 공개특허 제2019-0049950호 (2019.05.09. 공개)
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소할 수 있도록 안출된 것으로, 종래 대비 훨씬 컴팩트해진 구성 및 무빙 메카니즘을 가지면서도 레벨빙 동작 시 동적 부하가 감소되고, 아울러 기판이 안착되는 히터 척의 평탄도 측정에 대한 신뢰도를 높임과 동시에 레벨링 장치의 내구성까지도 향상된 기판 처리장치의 히터 척 오토 레벨링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 일 실시예에 따라, 일정 높이의 고정 브라켓 상단에 안착 및 고정된 상태로 내부로 투입된 기판이 처리되는 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되어 기판을 지지하며 기판의 처리를 위해 선택적으로 가열되는 히터 척; 상기 히터 척의 중심부 저면에 일체로 결합된 상태로 챔버의 하부를 관통하여 연장되는 봉상의 샤프트; 상기 샤프트 둘레에 끼워진 상태로 챔버의 하단에 밀폐 고정되는 벨로우즈 어셈블리; 상기 벨로우즈 어셈블리의 하단에 결합되어 벨로우즈 어셈블리를 통과한 샤프트의 하단을 밀폐 지지하는 얼라인 스테이지 링; 및 상기 고정 브라켓에 설치되어 샤프트의 평탄도 보정을 위해 얼라인 스테이지 링의 외주면 중 복수의 지점을 푸시할 수 있도록 접촉하는 푸시 바 어셈블리;를 포함하여 구성된다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 푸시 바 어셈블리가 배치되는 고정 브라켓의 내측면에는 비접촉 센서가 각각 구비되며, 상기 비접촉 센서는 얼라인 스테이지 링의 외주면까지의 거리를 측정함으로써 샤프트의 평탄도를 판단한다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 벨로우즈 어셈블리는, 샤프트 둘레에 끼워진 상태로 챔버의 하단에 밀폐 고정되는 상부 고정 링; 상기 상부 고정 링의 하방에 이격된 상태로 위치되며 그 하단에 얼라인 스테이지 링이 밀폐 고정되는 하부 고정 링; 및 상기 상부 고정 링 및 하부 고정 링의 사이에 구비되는 벨로우즈;를 포함한다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 푸시 바 어셈블리는, 고정 브라켓을 관통하여 얼라인 스테이지 링의 외주면에 접촉되는 3개 이상의 푸시 바; 및 상기 고정 브라켓에 설치되어 푸시 바가 얼라인 스테이지 링 쪽으로 푸시되도록 동력을 제공하는 구동체;를 포함한다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 상부 고정 링의 내주면과 샤프트의 외주면 사이에는, 평탄도 보정을 위해 푸시 바 어셈블리가 샤프트의 하단을 밀어 상기 샤프트의 기울기를 조정할 때 지렛점 역할을 하는 구심볼이 복수개로 더 구비된다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 구동체는 푸시 바의 일단에 윔기어 결합됨으로써 상기 푸시 바를 얼라인 스테이지 링 쪽으로 밀거나 그 반대쪽으로 당기는 모터이다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 구동체는 푸시 바의 일단에 직접 결합됨으로써 상기 푸시 바를 얼라인 스테이지 링 쪽으로 밀거나 그 반대쪽으로 당기는 실린더 유닛이다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 얼라인 스테이지 링의 중앙에는 상단이 넓고 하부가 좁은 깔때기 모양의 통공이 형성된 상태로 상기 통공의 좁은 하부에는 샤프트가 밀접하게 끼워짐과 함께 통공의 상단에는 오링이 끼워짐으로써 챔버가 외부로부터 밀폐된다.
또한 일 실시예에 따라, 상기 푸시 바의 끝단과 접촉되는 얼라인 스테이지 링의 외주면에는 삽입홈이 더 형성된 상태로 상기 삽입홈에 푸시 바의 끝단이 삽입됨으로써 얼라인 스테이지 링의 외주면에서 푸시 바의 미끄러짐이 방지된다.
상술한 바와 같은 본 발명은, 종래 대비 훨씬 컴팩트해진 구성 및 무빙 메카니즘을 가지면서도 레벨빙 동작 시 동적 부하가 감소되고, 아울러 기판이 안착되는 히터 척의 평탄도 측정에 대한 신뢰도를 높임과 동시에 레벨링 장치의 내구성까지도 향상되는 매우 유익한 효과가 있다.
도 1은 종래 기판 처리장치의 전체 구성을 일 실시예에 따라 보인 종단면도
도 2는 본 발명 히터 척 오토 레벨링 장치를 일 실시예에 따라 도시한 종단면도
도 3은 도 2의 ‘A-A’선 횡단면도
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 내지 "구비하다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않아야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명 히터 척 오토 레벨링 장치의 구성 및 작동 관계에 대해 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 본 발명 히터 척 오토 레벨링 장치를 일 실시예에 따라 도시한 종단면도이고, 도 3은 도 2의 ‘A-A’선 횡단면도이다.
상기 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 척 오토 레벨링 장치는, 먼저 일정 높이의 고정 브라켓(230) 상단에 안착 및 고정된 상태로 내부로 투입된 기판(도면 미도시)이 처리되는 챔버(200)가 구비된다.
또한, 상기 챔버(200) 내부에 배치되어 기판을 지지하며 기판의 처리를 위해 선택적으로 가열되는 히터 척(210)이 구비되며, 상기 히터 척(210)의 중심부 저면에는 봉상의 샤프트(220)가 일체로 결합된 상태로 챔버(200)의 하부를 관통하여 챔버(200) 외부로 연장 형성된다.
한편, 상기 샤프트(220) 둘레에 끼워진 상태로 챔버(200)의 하단에 밀폐 고정되는 벨로우즈 어셈블리(240)가 구비되는데, 상기 벨로우즈 어셈블리(240)는, 샤프트(220) 둘레에 끼워진 상태로 챔버(200)의 하단에 밀폐 고정되는 상부 고정 링(241)과, 상기 상부 고정 링(241)의 하방에 이격된 상태로 위치되며 그 하단에 후술하는 얼라인 스테이지 링(250)이 밀폐 고정되는 하부 고정 링(243)과, 상기 상부 고정 링(241) 및 하부 고정 링(243)의 사이에 구비되는 신축 재질의 벨로우즈(242)로 구성될 수 있다. 예컨대, 상기 벨로우즈(242)는 통상적으로 이용되는 형태로 금속 박판을 주름 관 형태로 접어 가공하여 상하로 길이가 신축될 수 있도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 벨로우즈 어셈블리(240)의 하단에는 벨로우즈 어셈블리(240)를 통과한 샤프트(220)의 하단을 밀폐 지지하는 얼라인 스테이지 링(250)이 결합된다.
또한, 상기 고정 브라켓(230)에 설치되어 샤프트(220)의 평탄도 보정을 위해 얼라인 스테이지 링(250)의 외주면 중 복수의 지점을 푸시할 수 있도록 접촉하는 푸시 바 어셈블리(260)가 구비된다.
예컨대, 상기 푸시 바 어셈블리(260)는, 고정 브라켓(230)을 수평하게 관통하여 얼라인 스테이지 링(250)의 외주면에 접촉되는 3개의 푸시 바(262)와, 마찬가지로 상기 고정 브라켓(230)에 설치되어 푸시 바(262)를 얼라인 스테이지 링(250) 쪽으로 밀어 푸시되도록 동력을 제공하는 구동체(261)로 구성될 수 있다.
이 때, 상기 푸시 바(262)의 끝단에 접촉되는 얼라인 스테이지 링(250)의 외주면에는 일정 깊이로 오목한 삽입홈(250b이 더 형성될 수 있는데, 상기 삽입홈(250b에 푸시 바(262)의 끝단이 일정 깊이로 삽입됨으로써 푸시 바(262)가 동작 시 얼라인 스테이지 링(250)의 외주면에서 미끄러지지 않고 삽입홈(250b에 의해 안정적으로 지지된 상태로 푸시 동작을 수행할 수 있게 된다.
상기 구동체(261)는 일 실시예로 푸시 바(262)의 얼라인 스테이지 링(250) 반대쪽 일단에 윔기어로 수직하게 결합된 모터일 수 있으며, 상기 모터의 회전축이 회전됨에 따라 모터의 회전축에 웜기어에 의해 결합된 푸시 바(262)가 얼라인 스테이지 링(250) 쪽으로 푸시되거나 그 반대쪽으로 당겨질 수 있게 된다.
한편, 다른 실시예에 따라 상기 구동체(261)는 푸시 바(262)의 일단에 직접 결합되는 실린더 유닛(도면 미도시)일 수 있으며, 상기 실린더 유닛의 구동에 따라 모터와 마찬가지로 상기 푸시 바(262)를 얼라인 스테이지 링(250) 쪽으로 밀거나 그 반대쪽으로 당기는 동작의 수행이 가능하다.
한편, 상기 상부 고정 링(241)의 내주면과 샤프트(220)의 외주면 사이에는, 평탄도 보정을 위해 푸시 바 어셈블리(260)가 샤프트(220)의 하단을 밀어 상기 샤프트(220)의 기울기를 조정할 때 샤프트(220)의 중간 지렛점 역할을 하기 위한 구심볼(244)이 복수개로 더 구비될 수 있다.
이 때, 상기 구심볼(244)은 내마모성을 갖는 금속재의 볼일 수 있으며, 도 2 및 도 3의 일 실시예에 따라, 푸시 바 어셈블리(260)의 개수와 동일하게 3개가 구비된 것으로 도시되었는데, 지렛점으로서의 구심볼(244)은 3개 이상 구비될 수 있으며 이러한 구심볼의 개수가 많을수록 샤프트(220)가 보다 안정적으로 지지 및 기울기 조정 시 외력에 더 잘 견딜 수 있음은 이해 가능하다.
또한, 상기 얼라인 스테이지 링(250)의 중앙에 형성된 통공(250a)은 상단의 내경이 넓고 하부의 내경이 좁은 깔때기 모양으로 형성될 수 있으며, 상기 통공(250a)의 좁은 하부에는 샤프트(220)가 밀접하게 끼워질 수 있으며, 한편 내경이 상대적으로 넓은 통공(250a)의 상단에는 오링이 끼워짐으로써 챔버(200)가 외부로부터 완전히 밀폐되어진다.
한편, 상기 푸시 바 어셈블리(260)가 배치되는 고정 브라켓(230)의 내측면에는 비접촉 센서(270)가 각각 구비될 수 있다. 여기서, 상기 비접촉 센서(270)는 푸시 바(262)의 직하방에 설치될 수 있으며, 각 센서(270)는 얼라인 스테이지 링(250)의 외주면까지의 거리를 각각 측정함으로써 즉, 샤프트(220)의 평탄도(샤프트의 기울기)를 측정하게 된다. 예컨대, 상기 3개의 비접촉 센서(270)가 각기 얼라인 스테이지 링(250)의 외주면까지의 거리를 항시 측정하며, 상기 측정값에 변화가 관찰되는 경우 제어부(도면 미도시)에서 상기 히터 척(210) 및 샤프트(220)의 평탄도가 틀어진 것으로 판단하게 되며, 상기 각 비접촉 센서(270)의 직상방에 구비된 푸시 핀(262)만을 푸시 구동함으로써 평탄도가 틀어지기 전의 초기 평탄도 값으로 샤프트(220)의 기울기를 다시 보정할 수 있게 되는 것이다. 이 때, 상기 거리 측정에 이용되는 비접촉 센서(270)의 종류로는 프로브 센서, 광 센서, 자기 센서, 음향 센서 등 비접촉 방식의 다양한 센서 중 하나가 이용될 수 있다.
그러므로, 본 발명의 오토 레벨링 장치는 디스플레이 기판을 처리하는 대형 기판 처리장치의 고하중이나 반도체 증착장치와 같이 고온에서 기판을 처리하는 장치에서 고온에 의해 챔버에 변형이 오더라도 종래 레벨링 장치처럼 챔버와의 거리를 측정하여 평탄도를 판단하지 않기 때문에 측정 오차의 발생이 원천적으로 방지된다.
즉, 고정 브라켓(230)에 안정적으로 고정된 복수개의 비접촉 센서(270)에 의해 히터 척(210) 하단의 샤프트(220) 기울기를 직접적으로 측정하기 때문에 종래 챔버의 변형에 의해 측정 오차가 수시로 발생되던 문제점이 해소됨에 따라 평탄도 측정의 신뢰성이 대폭 향상된다.
또한, 본 발명은 3개의 푸시 핀(262)이 얼라인 스테이지 링(250)의 3지점을 서로 밀어 샤프트(220)의 평탄도를 조절하기 때문에 레벨링 장치의 구성이 컴팩트해 지며, 뿐만 아니라 푸시 핀(262)과 지렛점으로서의 구심볼(244)을 이용한 최소한의 구동 메카니즘을 통해 종래 대비 매우 작은 힘만으로도 고하중의 히터 척(210) 및 샤프트(220)의 평탄도를 용이하게 보정할 수 있으므로 레벨링 장치의 내구성이 장기간 유지될 수 있다.
아울러 본 발명은 단지 앞서 기술된 일 실시예에 의해서만 한정된 것은 아니며, 장치의 세부 구성이나 개수 및 배치 구조를 변경할 때에도 동일한 효과를 창출할 수 있는 것이므로 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상의 범주 내에서 다양한 구성의 부가 및 삭제, 변형이 가능한 것임을 명시하는 바이다.
200 : 챔버 210 : 히터 척
220 : 샤프트 230 : 고정 브라켓
240 : 벨로우즈 어셈블리 250 : 얼라인 스테이지 링
250b: 삽입홈 260 : 푸시 바 어셈블리
261 : 구동체 262 : 푸시 바
270 : 비접촉 센서

Claims (9)

  1. 일정 높이의 고정 브라켓 상단에 안착 및 고정된 상태로 내부로 투입된 기판이 처리되는 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되어 기판을 지지하며 기판의 처리를 위해 선택적으로 가열되는 히터 척;
    상기 히터 척의 중심부 저면에 일체로 결합된 상태로 챔버의 하부를 관통하여 연장되는 봉상의 샤프트;
    상기 샤프트 둘레에 끼워진 상태로 챔버의 하단에 밀폐 고정되는 벨로우즈 어셈블리;
    상기 벨로우즈 어셈블리의 하단에 결합되어 벨로우즈 어셈블리를 통과한 샤프트의 하단을 밀폐 지지하는 얼라인 스테이지 링; 및
    상기 고정 브라켓에 설치되어 샤프트의 평탄도 보정을 위해 얼라인 스테이지 링의 외주면 중 복수의 지점을 푸시할 수 있도록 접촉하는 푸시 바 어셈블리;를 포함하고,
    상기 얼라인 스테이지 링의 중앙에는 상단이 넓고 하부가 좁은 깔때기 모양의 통공이 형성된 상태로 상기 통공의 좁은 하부에는 샤프트가 밀접하게 끼워짐과 함께 통공의 상단에는 오링이 끼워짐으로써 챔버가 외부로부터 밀폐되는,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 푸시 바 어셈블리가 배치되는 고정 브라켓의 내측면에는 비접촉 센서가 각각 구비되며, 상기 비접촉 센서는 얼라인 스테이지 링의 외주면까지의 거리를 측정함으로써 샤프트의 평탄도를 판단하는,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 벨로우즈 어셈블리는,
    샤프트 둘레에 끼워진 상태로 챔버의 하단에 밀폐 고정되는 상부 고정 링;
    상기 상부 고정 링의 하방에 이격된 상태로 위치되며 그 하단에 얼라인 스테이지 링이 밀폐 고정되는 하부 고정 링; 및
    상기 상부 고정 링 및 하부 고정 링의 사이에 구비되는 벨로우즈;를 포함하는,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 푸시 바 어셈블리는,
    고정 브라켓을 관통하여 얼라인 스테이지 링의 외주면에 접촉되는 3개 이상의 푸시 바; 및
    상기 고정 브라켓에 설치되어 푸시 바가 얼라인 스테이지 링 쪽으로 푸시되도록 동력을 제공하는 구동체;를 포함하는,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 상부 고정 링의 내주면과 샤프트의 외주면 사이에는, 평탄도 보정을 위해 푸시 바 어셈블리가 샤프트의 하단을 밀어 상기 샤프트의 기울기를 조정할 때 지렛점 역할을 하는 구심볼이 복수개로 더 구비되는,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 구동체는 푸시 바의 일단에 윔기어 결합됨으로써 상기 푸시 바를 얼라인 스테이지 링 쪽으로 밀거나 그 반대쪽으로 당기는 모터인,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 구동체는 푸시 바의 일단에 직접 결합됨으로써 상기 푸시 바를 얼라인 스테이지 링 쪽으로 밀거나 그 반대쪽으로 당기는 실린더 유닛인,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
  8. 삭제
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 푸시 바의 끝단과 접촉되는 얼라인 스테이지 링의 외주면에는 삽입홈이 더 형성된 상태로 상기 삽입홈에 푸시 바의 끝단이 삽입됨으로써 얼라인 스테이지 링의 외주면에서 푸시 바의 미끄러짐이 방지되는,
    히터 척 오토 레벨링 장치.
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