KR20160022244A - 에지 클램프 반송 기구 - Google Patents

에지 클램프 반송 기구 Download PDF

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Abstract

본 발명은 에지 클램프 반송 기구의 직경 방향의 크기를 변경하지 않고, 하나의 에지 클램프 반송 기구로 2종류의 외경(外徑)의 웨이퍼를 반송하며, 웨이퍼 제조 공정의 흐름을 변경하지 않는 것을 목적으로 한다.
3개의 유지 클로(claw; 2)로 원판형 워크(W)의 외주를 클램프하는 에지 클램프 반송 기구(1)로서, 유지 클로로부터 수직으로 기립하며 유지 클로의 회전 중심이 되는 샤프트(20)와, 샤프트를 중심으로 3개의 유지 클로를 동일 각도로 회전시키는 유지 클로 회전 수단(5)을 구비하고, 유지 클로는, 2종류의 외경이 상이한 원판형 워크 중 큰 직경의 수지 시트(10)의 외주에 접촉하는 수직면(24)과, 수지 시트의 하면에 접촉하는 판형부(22)의 상면(23)과, 수지 시트보다 작은 직경의 웨이퍼(11)의 외주에 접촉하는 수직면(25)과, 웨이퍼의 하면에 접촉하는 경사면(26)을 구비하는 구성으로 하였다.

Description

에지 클램프 반송 기구{EDGE CLAMP TRANSFER MECHANISM}
본 발명은 원판형 워크의 외주를 유지하여 반송하는 에지 클램프 반송 기구에 관한 것으로, 특히 외경(外徑)이 상이한 2종류의 원판형 워크를 반송하는 에지 클램프 반송 기구에 관한 것이다.
통상, 원판형 워크를 반송하는 경우, 원판형 워크의 표면 또는 이면에 흡착 패드를 접촉시켜 흡인 유지하는 방법이 채용된다. 그러나, 원판형 워크의 표면 또는 이면에 흡착 패드가 접촉함으로써, 원판형 워크에 흠집이 생기는 것이 상정된다. 그래서, 원판형 워크에 대한 흠집의 방지를 목적으로 하여, 원판형 워크의 외주 부분(에지)을 클램프하여 원판형 워크를 반송하는 에지 클램프 반송 기구가 제안되어 있다(특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 에지 클램프 반송 기구에서는, 원판형 워크의 둘레 방향으로 등간격으로 설치된 3개의 유지 클로(claw)를 직경 방향으로 이동시켜, 유지 클로를 원판형 워크의 에지에 접촉시킴으로써 원판형 워크를 유지한다. 이에 의해, 원판형 워크의 표면 또는 이면에 대한 흠집의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 반도체 웨이퍼의 제조 공정에서는, 와이어 소오(wire saw)로 원기둥형의 잉곳을 얇게 슬라이스함으로써 원판형의 애즈 슬라이스 웨이퍼(이하, 간단히 웨이퍼라고 기재함)가 형성된다. 이 웨이퍼의 양면은, 슬라이스 가공에 의해 요철로 형성되어 있다. 이 요철을 제거하기 위해서, 슬라이스 후의 웨이퍼의 요철을 연삭하는 방법이 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 2 및 특허문헌 3 참조). 특허문헌 2 및 특허문헌 3에 기재된 연삭 방법에서는, 웨이퍼의 전면을 척 테이블로 흡착 가능하게 하기 위해서, 웨이퍼보다 큰 원판형의 수지 시트의 상면에 수지가 도포되고, 수지 위에 웨이퍼가 배치된다. 수지를 통해 웨이퍼의 한쪽 면의 요철에 수지 시트가 접착됨으로써, 평면이 형성되고, 수지 시트가 척 테이블에 전면 흡착된 상태에서, 웨이퍼의 다른쪽 면의 요철을 연삭할 수 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 제4634950호 공보 [특허문헌 2] 일본 특허 제5541681호 공보 [특허문헌 3] 일본 특허 제4663362호 공보
그런데, 특허문헌 2 및 특허문헌 3에 기재된 웨이퍼를 에지 클램프 반송 기구로 반송하는 경우, 웨이퍼의 다른쪽 면의 요철을 연삭할 때에는 한쪽 면에 접착되는 수지 시트를 유지하고, 다른쪽 면의 요철이 연삭된 웨이퍼의 한쪽 면을 연삭할 때에는, 웨이퍼를 직접 유지한다. 이와 같이, 일련의 웨이퍼 제조 공정에 있어서, 반송 대상이 되는 웨이퍼에 접착하는 수지 시트의 외경과 웨이퍼의 외경이 상이하기 때문에, 각각의 외경에 대응한 에지 클램프 반송 기구가 필요해진다. 이 경우, 장치의 비용이 오르고, 웨이퍼 제조 공정의 흐름을 변경하지 않으면 안 된다고 하는 문제가 있었다.
또한, 외경 사이즈가 상이한 원판형 워크를 하나의 에지 클램프 반송 기구로 반송하는 경우, 2종류의 외경 사이즈에 대응할 필요가 있었다. 특허문헌 1에 기재된 에지 클램프 반송 기구에서는, 1종류의 외경 사이즈의 원판형 워크를 유지할 수 있으나, 외경이 상이한 원판형 워크를 하나의 에지 클램프 반송 기구로 반송하기 위해서는, 유지 클로의 직경 방향의 이동량을 변경하는 등, 설계 변경을 하지 않으면 안 되었다. 이 경우, 에지 클램프 반송 기구가 원판형 워크의 직경 방향으로 커져 버린다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 에지 클램프 반송 기구의 직경 방향의 크기를 변경하지 않고, 하나의 에지 클램프 반송 기구로 2종류의 외경 사이즈의 원판형 워크를 반송할 수 있으며, 웨이퍼 제조 공정의 흐름을 변경하는 일이 없는 에지 클램프 반송 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 에지 클램프 반송 기구는, 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크의 외주에 접촉하여 유지하는 에지 클램프 반송 기구로서, 중심으로부터 수직으로 샤프트를 세워 설치하는 유지 플레이트와, 원판형 워크의 중심을 둘러싸며 외주에 접촉하는 적어도 3개의 유지 클로와, 유지 클로로부터 유지 플레이트를 향해 기립하며 유지 클로의 회전 중심이 되는 유지 클로 회전축과, 유지 클로 회전축을 축으로 적어도 3개의 유지 클로를 동일 각도로 회전시키는 유지 클로 회전 수단을 구비하고, 유지 클로는, 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크 중 큰 직경의 제1 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제1 접촉 측면과, 제1 원판형 워크의 하면에 접촉하는 제1 지지면과, 제1 원판형 워크보다 작은 직경의 제2 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제2 접촉 측면과, 제2 원판형 워크의 하면에 접촉하는 제2 지지면을 구비하며, 유지 클로 회전 수단을 이용하여 유지 클로 회전축을 축으로 유지 클로를 회전시켜, 제2 접촉 측면과 제2 지지면을 접촉시켜 제2 원판형 워크를 유지하는 상태와, 제1 접촉 측면과 제1 지지면을 접촉시켜 제1 원판형 워크를 유지하는 상태를 전환 가능하게 한 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 제1 원판형 워크를 유지하는 경우에는, 유지 클로 회전 수단에 의해 3개의 유지 클로가 동일 각도 회전됨으로써, 제1 원판형 워크의 외주가 제1 접촉 측면에 접촉하고, 제1 원판형 워크의 하면이 제1 지지면에 접촉한다. 이에 의해, 제1 원판형 워크가 에지 클램프된다. 한편, 제1 원판형 워크보다 작은 직경의 제2 원판형 워크를 유지하는 경우에는, 3개의 유지 클로가 동일 각도 회전됨으로써, 제2 원판형 워크의 외주가 제2 접촉 측면에 접촉하고, 제2 원판형 워크의 하면이 제2 지지면에 접촉한다. 이에 의해, 제2 원판형 워크가 에지 클램프된다. 이와 같이, 유지 클로를 회전시킴으로써 원판형 워크의 외주를 클램프함으로써, 유지 클로를 직경 방향으로 이동시키는 구성에 비해, 직경 방향의 크기를 변경하지 않고 에지 클램프 반송 기구를 실현할 수 있다. 또한, 유지 클로의 회전 각도를 변경하여, 원판형 워크에 대한 유지 클로의 접촉 위치를 변경함으로써, 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크를 하나의 에지 클램프 반송 기구로 반송할 수 있다. 따라서, 복수의 에지 클램프 반송 기구를 구비하는 구성에 비해 장치 비용을 삭감할 수 있고, 웨이퍼 제조 공정의 흐름을 변경할 필요도 없다.
또한, 본 발명의 상기 에지 클램프 반송 기구에 있어서, 유지 클로 회전 수단은, 유지 클로의 제1 접촉 측면이 제1 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제1 회동 각도와, 유지 클로의 제2 접촉 측면이 제2 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제2 회동 각도에서 유지 클로의 회전을 정지시킨다.
본 발명에 의하면, 유지 클로의 회전 각도를 변경하여, 원판형 워크의 외경에 대한 유지 클로의 접촉 위치를 변경함으로써, 에지 클램프 반송 기구의 직경 방향의 크기를 변경하지 않고, 하나의 에지 클램프 반송 기구로 2종류의 외경의 원판형 워크를 반송할 수 있으며, 웨이퍼 제조 공정의 흐름을 변경하는 일이 없다.
도 1은 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구의 분해 사시도.
도 2는 본 실시형태에 따른 유지 클로의 일례를 도시한 사시도.
도 3은 본 실시형태에 따른 유지 클로로 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크를 유지했을 때의 사시도.
도 4는 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구의 동작 설명도.
도 5는 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구의 동작 설명도.
이하, 도 1을 참조하여, 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구의 개략 구성에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구의 분해 사시도이다. 한편, 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구는, 이하에 나타내는 구성에 한정되지 않고, 적절하게 변경이 가능하다. 또한, 도 1에서는, 설명의 편의상, 3개의 유지 클로 중 하나만을 도시하고 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구(1)는, 복수(본 실시형태에서는 3개)의 유지 클로(2)로 원판형 워크(W)(도 3 참조)의 외주를 클램프함으로써 원판형 워크(W)를 유지하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 유지 클로(2)가 원판형 워크(W)의 외주에 접촉하는 위치까지 유지 클로(2)를 회전시킴으로써 원판형 워크(W)를 유지할 수 있다. 또한, 유지 클로(2)의 회전 각도를 원판형 워크(W)의 외경에 맞춰 변화시킴으로써 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크의 유지가 가능하게 되어 있다. 한편, 유지 클로(2)의 회전 각도 및 원판형 워크(W)에 대해서는 후술한다.
에지 클램프 반송 기구(1)는, 원판형의 유지 플레이트(3) 하면의 외주측에 3개의 유지 클로(2)를 둘레 방향으로 등간격으로 부착하고, 유지 플레이트(3)의 면 방향에 수평인 방향으로 연장되는 지지 아암(4)으로 유지 플레이트(3)의 중심을 지지하여 구성된다. 유지 클로(2)는, 측면에서 보아 대략 L자형의 블록으로 형성되어 있고, 상면으로부터 유지 플레이트(3)를 향해 원기둥형의 샤프트(20)가 기립하고 있다. 샤프트(20)의 외주에는 나사부(20a)가 형성되어 있다. 이 샤프트(20)는, 유지 클로(2)의 회전 중심이 되는 유지 클로 회전축을 구성한다. 한편, 유지 클로(2)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.
유지 플레이트(3)의 외주측에는, 둘레 방향으로 등간격으로 3개의 관통 구멍(3a)(도 1에서는 2개만 도시)이 형성되어 있다. 각 관통 구멍(3a)에는 유지 클로(2)의 샤프트(20)가 삽입 관통된다. 이에 의해, 유지 클로(2)는, 샤프트(20)를 중심으로 회전 가능하게 구성된다. 또한, 유지 플레이트(3)의 상면 중심에는, 상방이 개구된 원기둥형의 샤프트(31)가 수직으로 돌출되어 있고, 샤프트(31)의 축 중심이 되는 개구 부분에는, 나사 구멍(31a)이 형성되어 있다.
유지 플레이트(3)의 상면측에는, 유지 클로(2)를 회전 가능하게 하기 위한 유지 클로 회전 수단(5)이 설치된다. 유지 클로 회전 수단(5)은, 구동원이 되는 에어 실린더(50)와, 복수의 부재로 이루어지는 링크 기구로 구성된다. 에어 실린더(50)는, 원통형의 본체 내부에서 에어에 의해 수평 방향으로 진퇴 가능한 피스톤 로드(51)를 갖고 있다. 피스톤 로드(51)의 선단[에어 실린더(50)의 일단]에는, 나사 구멍(51a)이 형성되어 있다. 에어 실린더(50)의 타단은, 나사(52)에 의해 유지 플레이트(3)의 외주측에 형성되는 나사 구멍(3b)에 부착되고, 에어 실린더(50)는 나사(52)를 중심으로 유지 플레이트(3)의 면 방향으로 요동 가능하게 되어 있다. 한편, 피스톤 로드(51)의 선단이 링크 기구에 연결된다.
또한, 에어 실린더(50)는, 유지 플레이트(3)의 반경 방향에 대해 피스톤 로드(51)의 진퇴 방향이 교차하도록 설치된다. 본 실시형태에서는, 에어 실린더(50)에 의한 피스톤 로드(51)의 진퇴 운동이, 링크 기구를 통해 유지 클로(2)의 회전 운동으로 변환된다. 상세한 것은 후술하지만, 에어 실린더(50)는, 제1 원판형 워크의 외주에 유지 클로(2)가 접촉할 때까지 유지 클로(2)를 회전시킬 수 있고, 그때의 유지 클로(2)의 회전 각도(제1 회전 각도)에서 피스톤 로드(51)를 정지시킬 수 있다. 또한, 에어 실린더(50)는, 제1 원판형 워크보다 소직경의 제2 원판형 워크의 외주에 유지 클로(2)가 접촉할 때까지 유지 클로(2)를 회전시킬 수 있고, 그때의 유지 클로(2)의 회전 각도(제2 회전 각도)에서 피스톤 로드(51)를 정지시킬 수 있다.
링크 기구는, 유지 플레이트(3)의 샤프트(31)에 삽입 관통되는 환형의 회동 플레이트(6)와, 회동 플레이트(6)에 연결되는 3개의 링크 아암(7)과, 링크 아암(7) 및 유지 클로(2)를 유지 플레이트(3)를 통해 연결하는 3개의 연결 부재(8)를 구비하고 있다. 회동 플레이트(6)는, 환형의 스페이서(62)를 통해 유지 플레이트(3)의 샤프트(31)에 삽입 관통된다. 또한, 회동 플레이트(6)는, 환형으로 형성되는 환형부(60)의 외주의 소정 개소로부터 직경 방향으로 돌출하는 돌출부(61)를 구비하고 있다. 돌출부(61)의 선단에는, 피스톤 로드(51)에 연결하기 위한 관통 구멍(61a)이 형성되어 있다. 관통 구멍(61a)에는 나사(63)가 삽입 관통되고, 나사(63)는 와셔(64)를 통해 피스톤 로드(51)의 나사 구멍(51a)에 비틀어 넣어진다. 이에 의해, 에어 실린더(50)와 회동 플레이트(6)가 요동 가능하게 연결된다. 또한, 회동 플레이트(6)의 상면에는, 둘레 방향으로 등간격으로 3개의 링크 아암(7)이 핀(71)에 의해 요동 가능하게 연결되어 있다.
링크 아암(7)은, 수평 방향으로 연장되는 장척체(長尺體)로 구성되고, 일단이 회동 플레이트(6)에 연결되는 한편, 타단은 연결 부재(8)에 연결된다. 링크 아암(7)의 타단에는, 연결 부재(8)를 연결하기 위한 관통 구멍(7a)이 형성되어 있다. 연결 부재(8)는, 상면에서 보아 장원(長圓)(타원) 형상의 플레이트로 형성되고, 양단에 나사 구멍(8a, 8b)이 형성되어 있다. 링크 아암(7)의 관통 구멍(7a)에는 나사(72)가 삽입 관통되고, 나사(72)는 와셔(73)를 통해 연결 부재(8)의 한쪽의 나사 구멍(8a)에 비틀어 넣어진다. 이에 의해, 링크 아암(7)과 연결 부재(8)가 요동 가능하게 연결된다. 또한, 연결 부재(8)의 다른쪽 나사 구멍(8b)에는, 와셔(81)를 통해 유지 플레이트(3)의 관통 구멍(3a)에 삽입 관통되는 유지 클로(2)의 샤프트(20)가 비틀어 넣어진다. 이에 의해, 유지 클로(2)와 연결 부재(8)가 일체 고정된다. 한편, 상세한 것은 후술하지만, 연결 부재(8)의 긴변부와 유지 클로(2)의 긴변부가 상면에서 보아 직각을 이루도록, 연결 부재(8)와 유지 클로(2)가 연결된다.
또한, 유지 클로 회전 수단(5) 위에는, 수평 방향으로 연장되는 지지 아암(4)이 설치되어 있다. 지지 아암(4)의 선단측에는, 유지 플레이트(3) 및 유지 클로 회전 수단(5)을 부착하기 위한 나사(41)를 삽입 관통시키는 관통 구멍(4a)이 형성되어 있다. 나사(41)는, 관통 구멍(4a)에 삽입 관통되고, 유지 플레이트(3)의 샤프트(31)에 형성된 나사 구멍(31a)에 비틀어 넣어진다. 이에 의해, 지지 아암(4)과 유지 플레이트(3)가 일체 고정된다. 이상과 같이 하여, 에지 클램프 반송 기구(1)가 구성된다.
이와 같이 구성된 에지 클램프 반송 기구(1)에서는, 에어 실린더(50)에 의해 피스톤 로드(51)가 진퇴됨으로써, 회동 플레이트(6)가 회전된다. 회동 플레이트(6)의 회전에 의해 링크 아암(7)이 길이 방향으로 이동되어, 연결 부재(8)가 회전된다. 이에 의해, 연결 부재(8)에 일체 고정된 유지 클로(2)는, 샤프트(20)를 중심으로 회전된다. 이와 같이, 에어 실린더(50)에 의한 피스톤 로드(51)의 진퇴 운동이, 링크 기구를 통해 유지 클로(2)의 회전 운동으로 변환된다. 유지 클로(2)가 회전됨으로써, 원판형 워크(W)에 대해 유지 클로(2)를 접촉 및 이격시킬 수 있다. 이 결과, 원판형 워크(W)의 유지 상태 및 비유지 상태를 전환할 수 있다.
다음으로, 도 2를 참조하여, 유지 클로의 상세한 구성에 대해 설명한다. 도 2는 본 실시형태에 따른 유지 클로의 일례를 도시한 사시도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 유지 클로(2)는, 외경이 상이한 원판형 워크(W)(도 3 참조)를 1종류의 유지 클로(2)로 에지 클램프할 수 있도록 구성되어 있다. 상세한 것은 후술하지만, 유지 클로(2)는, 비교적 큰 외경을 갖는 제1 원판형 워크[도 3에서 도시한 수지 시트(10)가 접착된 웨이퍼(11)]와, 비교적 작은 외경을 갖는 제2 원판형 워크[도 3에서 도시한 웨이퍼(11)]를 유지하도록 구성된다.
유지 클로(2)는, 대략 직육면체형의 본체부(21)와, 본체부(21)의 하단으로부터 수평 방향으로 연장되는(돌출되는) 판형부(22)를 구비한 측면에서 보아 대략 L자형으로 형성되어 있다. 본체부(21)의 상면에 있어서, 판형부(22)가 돌출하는 방향의 후단측으로부터, 원기둥형의 샤프트(20)가 수직으로 기립하고 있다. 이 샤프트(20)는, 유지 클로(2)의 회전 중심이 되는 유지 클로 회전축을 구성한다. 또한, 판형부(22)의 선단에 있어서, 한쪽 모서리부(도 1에 도시한 직경 방향 내측의 모서리부)에는, 모따기(22a)가 형성되어 있다. 이 모따기(22a)는, 유지 클로(2)가 회전하여 판형부(22)의 선단이 원판형 워크(W)의 하면으로 들어갈 때에, 원판형 워크(W)의 하면이 판형부(22)의 에지 부분에 의해 손상되는 것을 방지하는 역할을 수행한다.
본체부(21)의 판형부(22)측에는, 판형부(22)의 상면(23)에 대해 수직인 수직면(25)이 형성되어 있다. 수직면(25)은, 판형부(22)가 돌출하는 방향에 대해 상면에서 보아 직각을 이루고 있다. 판형부(22)의 상면(23)과 수직면(25) 사이에는, 상면(23)측으로부터 수직면(25)측을 향해 경사지는 경사면(26)이 형성되어 있다. 경사면(26)은, 판형부(22)측을 향해 경사면(26)이 작아지도록 형성되어 있다.
또한, 상면(23)의 면적에 대해, 경사면(26)의 면적은 작게 설정되어 있다. 상세한 것은 후술하지만, 경사면(26)에서는, 제2 원판형 워크의 하면이 접촉하는 부분을 가능한 한 적게 하기 위해서, 경사면(26)의 면적을 작게 하며 경사지는 구성으로 하고 있다. 이에 의해, 제2 원판형 워크의 에지 부분만으로 경사면(26)에 접촉할 수 있다. 경사면(26)에 접촉하는 부분을 적게 함으로써, 제2 원판형 워크의 하면에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다. 한편, 경사면(26)은 웨이퍼에 접촉하는 접촉 부분을 가능한 한 적게 하기 위해서 경사시키고 있으나, 제2 원판형 워크의 유지를 확실하게 하기 위해서 판형부(22)의 상면(23)에 평행한 면을 형성해도 좋다.
본체부(21)의 판형부(22)측의 한쪽 모서리부는 모따기가 실시되어 있고, 수직면(25)에 대해 경사(도 2에서는, 상면에서 보아 45도)지며, 판형부(22)의 상면(23)에 대해 수직인 수직면(24)이 형성된다. 이와 같이, 유지 클로(2)에서는, 판형부(22)측의 본체부(21)의 한쪽 모서리부측에, 경사면(26)을 통해 판형부(22)의 상면(23)에 연속해 있는 수직면(25)이 형성되고, 다른쪽 모서리부측에, 수직면(25)과 상면(23)에 연속해 있는 수직면(24)이 형성되어 있다.
이상과 같이 구성되는 유지 클로(2)에 있어서, 수직면(24)은, 제1 원판형 워크의 측면에 접촉하는 제1 접촉 측면을 구성하고, 판형부(22)의 상면(23)은, 제1 원판형 워크의 하면에 접촉하는 제1 지지면을 구성한다. 또한, 수직면(25)은, 제1 원판형 워크보다 소직경의 제2 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제2 접촉 측면을 구성하고, 경사면(26)은, 제2 원판형 워크의 하면에 접촉하는 제2 지지면을 구성한다.
또한, 샤프트(20)의 중심축으로부터 수직면(24)까지의 거리(L1)에 대해, 샤프트(20)의 중심축으로부터 수직면(25)까지의 거리(L2)가 크게 설정되어 있다. 또한, 샤프트(20)에 대한 수직면(24)의 각도와, 샤프트(20)에 대한 수직면(25)의 각도가 상이하다. 즉, 샤프트(20)에 대한 제1 접촉 측면[수직면(24)]의 거리(L1) 및 각도와, 샤프트(31)에 대한 제2 접촉 측면[수직면(25)]의 거리(L2) 및 각도가 상이하도록, 유지 클로(2)의 수직면(24) 및 수직면(25)이 형성되어 있다.
이와 같이, 유지 클로 회전축으로부터 원판형 워크(W)의 외주에 접촉하는 면까지의 거리를 상이하게 함으로써, 유지 클로(2)의 접촉 각도(회전 각도)를 변경하는 것만으로, 원판형 워크(W)에 대한 유지 클로(2)의 접촉 위치를 변경할 수 있다. 따라서, 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크(W)의 유지 상태를 전환할 수 있다.
다음으로, 도 3을 참조하여, 본 실시형태에 따른 원판형 워크와, 외경 사이즈가 상이한 2종류의 원판형 워크를 유지할 때의 원판형 워크 및 유지 클로(2)의 접촉 위치의 관계에 대해 설명한다. 도 3은 본 실시형태에 따른 유지 클로(2)로 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크를 유지했을 때의 사시도이다. 도 3a는 제1 원판형 워크를 유지한 상태를 도시하고, 도 3b는 제2 원판형 워크를 유지한 상태를 도시한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 원판형 워크(W)는, 원판형의 수지 시트(10)의 상면에 수지(12)(도 4 참조)가 도포되고, 수지(12) 위에 원판형의 웨이퍼(11)가 배치된다. 수지 시트(10)의 외경은, 웨이퍼(11)의 외경보다 크게 형성되어 있다. 이 때문에, 수지(12) 위에 웨이퍼(11)가 배치되면, 웨이퍼(11)의 외주로부터 수지(12)가 비어져 나와, 수지 시트(10)의 외주측의 상면에 수지가 노출된 상태로 되어 있다(도 4 참조). 이와 같이, 본 실시형태에서는, 수지 시트(10)[보다 구체적으로는, 웨이퍼(11)에 접착한 수지 시트(10)]가 제1 원판형 워크를 구성하고, 웨이퍼(11)[보다 구체적으로는 수지 시트(10)를 박리시킨 웨이퍼(11)]가 제2 원판형 워크를 구성한다.
웨이퍼(11)는, 와이어 소오로 잉곳을 얇게 슬라이스하여 형성되며, 예컨대 실리콘, 갈륨비소, 세라믹, 유리, 사파이어로 구성된다. 수지(12)는, 자외선 경화형의 수지나 열경화형의 수지 등으로 구성된다. 수지 시트(10)는, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트) 등의 플라스틱 재료로 구성된다. 슬라이스 후의 웨이퍼(11)의 양면은 요철로 형성되어 있고, 수지(12)를 통해 웨이퍼(11)에 수지 시트(10)가 접착됨으로써, 웨이퍼(11)의 한쪽 면측이 평면으로 형성된다. 이에 의해, 수지 시트(10)를 척 테이블(9)(도 4 참조)이 전면 흡착한 상태에서, 웨이퍼(11)의 다른쪽 면의 요철을 연삭할 수 있다.
이와 같이 구성되는 원판형 워크(W)를 에지 클램프 반송 기구(1)(도 1 참조)로 반송하는 경우, 도 3a에 도시한 바와 같이, 수지 시트(10)를 유지할 때에는, 3개의 유지 클로(2)가 각각 동일 각도로 회전된다. 이에 의해, 수지 시트(10)의 외주가 제1 접촉 측면[수직면(24)]에 접촉하고, 수지 시트(10)의 하면이 제1 지지면[판형부(22)의 상면(23)]에 접촉한다. 이에 의해, 수지 시트(10)가 센터링된 상태로 에지 클램프된다. 한편, 수지 시트(10)를 유지할 때에는, 반드시 센터링되지 않아도 좋다.
한편, 수지 시트(10)보다 작은 외경을 갖는 웨이퍼(11)를 유지할 때에는, 도 3b에 도시한 바와 같이, 3개의 유지 클로(2)가 각각 동일 각도로 수지 시트(10)를 유지할 때에 비해 더욱 회전된다. 이에 의해, 웨이퍼(11)의 외주가 제2 접촉 측면[수직면(25)]에 접촉하고, 웨이퍼(11)의 하면이 제2 지지면[경사면(26)]에 접촉한다. 이에 의해, 웨이퍼(11)가 센터링된 상태로 에지 클램프된다. 웨이퍼(11)를 에지 클램프하는 경우에는, 웨이퍼(11)를 카세트(도시하지 않음)에 수납할 때까지 에지 클램프로 반송하고 싶기 때문에, 이와 같이 에지 클램프로 센터링함으로써, 웨이퍼(11)를 소정의 위치로 반송하는 것을 가능하게 하고 있다.
이와 같이, 유지 클로(2)를 회전시켜 원판형 워크(W)의 외주를 클램프함으로써, 유지 클로(2)를 직경 방향으로 이동시키는 구성에 비해, 직경 방향의 크기를 변경하지 않고 에지 클램프 반송 기구(1)를 실현할 수 있다. 또한, 유지 클로(2)의 회전 각도를 변경하여 외주에 대한 유지 클로(2)의 접촉 위치를 변경함으로써, 제1 원판형 워크의 유지 상태와, 제2 원판형 워크의 유지 상태를 전환할 수 있다. 따라서, 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크(W)를 하나의 에지 클램프 반송 기구(1)로 반송할 수 있다. 따라서, 복수의 에지 클램프 반송 기구를 구비하는 구성에 비해 장치 비용을 삭감할 수 있고, 웨이퍼 제조 공정의 흐름을 변경할 필요도 없다.
다음으로 도 4 및 도 5를 참조하여, 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구(1)의 동작에 대해 설명한다. 도 4 및 도 5는 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구(1)의 동작 설명도이다. 도 4a 및 도 5a는 원판형 워크를 유지하기 전의 상태를 도시하고, 도 4b 및 도 5b는 수지 시트가 접착된 웨이퍼를 유지했을 때의 상태를 도시하며, 도 4c 및 도 5c는 웨이퍼를 단체(單體)로 유지했을 때의 상태를 도시하고 있다. 또한, 도 4a 내지 도 4c의 우측의 도면은, 에지 클램프 반송 기구(1)를 측면에서 보았을 때의 상태를 도시하고, 도 4a 내지 도 4c의 좌측의 도면은, 그때의 유지 클로의 각도와 원판형 워크와의 관계를 나타내는 상면도를 도시하고 있다.
한편, 도 4에서는, 연삭 장치의 척 테이블에 대해 원판형 워크를 반입 및 반출하는 경우에 대해 설명하지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구(1)는, 원판형 워크를 반입 및 반출할 수 있으면 되고, 어떠한 장치에도 적용 가능하다. 도 5는 에지 클램프 반송 기구(1)를 상면에서 보았을 때의 상태를 도시하고 있고, 설명의 편의상, 지지 아암을 생략하고 있다.
먼저, 도 4를 참조하여, 측면에서 보았을 때의 에지 클램프 반송 기구(1)의 유지 동작에 대해 설명한다. 도 4에 도시한 바와 같이, 연삭 장치(도시하지 않음)의 척 테이블(9)은, 원판 형상을 갖고 있고, 상면에 원판형 워크(W)를 흡착 유지하는 유지면(90)이 형성되어 있다. 척 테이블(9)은, 도시하지 않은 흡인원에 접속되어 있고, 유지면(90)에 발생하는 부압에 의해 원판형 워크(W)를 흡착 유지한다. 또한, 척 테이블(9)은 도시하지 않은 에어 공급원에 접속되어 있고, 유지면(90)으로부터 상방을 향해 에어를 뿜어 올림으로써 유지면(90) 상에 배치된 원판형 워크(W)를 유지면(90)으로부터 부상시키는 것이 가능하게 되어 있다.
도 4a에 도시한 바와 같이, 척 테이블(9)의 상방에는, 본 실시형태에 따른 에지 클램프 반송 기구(1)가 위치되어 있다. 이때, 유지 클로(2)의 최하단이 척 테이블(9)의 유지면(90)보다 약간 높은 위치에 위치되어 있다. 또한, 유지 클로(2)의 각도는, 판형부(22)가 돌출하는 방향이 웨이퍼(11)의 접선 방향으로 향해져 있다. 또한, 유지 플레이트(3)의 하면에는, 웨이퍼(11)와 대략 동일 직경이며 환형으로 형성되는 쿠션 부재(32)가 설치되어 있다. 쿠션 부재(32)는, 예컨대 고무나 수지 등의 탄성체로 구성된다. 이 쿠션 부재(32)는, 원판형 워크(W)가 부상되었을 때에, 웨이퍼(11)의 상면이 유지 플레이트(3)의 하면에 접촉하여 웨이퍼(11)가 파손되는 것을 방지하는 부상 제한 패드로서 기능한다.
도 4a에 도시한 상태에서는, 웨이퍼(11)의 상면이 연삭 장치에 의해 연삭되어, 웨이퍼(11)의 한쪽 면의 요철이 제거된 결과, 표면이 평탄하게 형성되어 있다. 이러한 원판형 워크(W)를 척 테이블(9)로부터 반출할 때에는, 먼저 유지면(90)으로부터 상방을 향해 에어가 뿜어 올려진다. 에어가 뿜어 올려지면, 원판형 워크(W)는, 에어의 힘에 의해 유지면(90)으로부터 부상한다. 이때, 에어의 힘이 지나치게 강해도, 웨이퍼의 상면이 쿠션 부재(32)에 접촉함으로써 원판형 워크(W)의 부상 높이가 제한되어, 웨이퍼(11)의 상면이 손상되는 일은 없다. 한편, 원판형 워크(W)의 부상 높이는, 유지 클로(2)가 회전할 때에, 판형부(22)가, 수지 시트(10)의 하면과 유지면(90)과의 간극에 들어갈 수 있는 높이인 것이 바람직하다.
원판형 워크(W)가 부상된 상태에서, 에어 실린더(50)(도 1 참조)가 구동되면, 에어 실린더(50)의 진퇴 운동이 링크 기구에 의해 유지 클로(2)의 회전 운동으로 변환되어, 도 4b에 도시한 바와 같이, 유지 클로(2)가 화살표 방향으로 회전된다. 이때, 부상된 원판형 워크(W)와 유지면(90)과의 간극에 유지 클로(2)의 판형부(22)가 들어간다. 그리고, 3개의 유지 클로(2)의 수직면(24)(제1 접촉 측면)이 수지 시트(10)(제1 원판형 워크)의 외주에 접촉한 위치(제1 회전 각도)에서, 유지 클로(2)의 회전이 정지된다.
이 경우, 만일 원판형 워크(W)가 부상했을 때에 에지 클램프 반송 기구(1)에 대한 원판형 워크(W)의 중심 위치가 어긋났다고 해도(도 4a 참조), 3개의 유지 클로(2)의 수직면(24)이 수지 시트(10)의 외주에 접촉함으로써, 에지 클램프 반송 기구(1)에 대한 원판형 워크(W)의 중심을 위치 맞춤시킬 수 있다. 또한, 유지 클로(2)의 회전이 정지됨으로써, 유지 클로(2)가 수지 시트(10)를 직경 방향 내측으로 지나치게 밀어붙이는 일이 없다. 따라서, 유지 클로(2)에 의해 수지 시트(10)가 휘어져 웨이퍼(11)로부터 박리하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 유지면(90)에 대한 에어의 공급이 해제되고, 원판형 워크(W)는 자중(自重)에 의해 낙하하여, 수지 시트(10)의 하면이 판형부(22)의 상면(23)(제1 지지면)에 접촉한다. 전술한 바와 같이, 유지 클로(2)의 회전이 정지됨으로써, 유지 클로(2)가 수지 시트(10)를 직경 방향 내측으로 지나치게 밀어붙이는 일이 없기 때문에, 원판형 워크(W)의 자중 낙하가 방해되는 일은 없다. 또한, 이때, 판형부(22)는, 수지 시트(10)의 하방으로만 들어가는 것이 아니라, 판형부(22)[상면(23)]의 선단이 웨이퍼(11)의 하방으로도 들어간다. 이 때문에, 수지 시트(10)가 원판형 워크(W)의 무게에 의해 휘어지지 않고, 안정적으로 원판형 워크(W)를 지지할 수 있다.
이상과 같이, 3개의 유지 클로(2)의 수직면(24)과 수지 시트(10)의 측면을 접촉시키고, 판형부(22)의 상면(23)과 수지 시트(10)의 하면을 접촉시킴으로써, 원판형 워크(W)를 유지하여 척 테이블(9)로부터 반출할 수 있다.
척 테이블(9)로부터 원판형 워크(W)를 반출한 후, 원판형 워크(W)로부터 수지(12) 및 수지 시트(10)가 박리된다. 수지(12) 및 수지 시트(10)가 박리된 결과, 웨이퍼(11)만으로 된 원판형 워크(W)[이하, 웨이퍼(11)라고 기재함]는, 웨이퍼(11)의 다른쪽 면의 요철을 상방으로 향하게 해서 다시 연삭 장치에 반입되어, 척 테이블(9)의 유지면(90)에 배치된다. 그리고, 웨이퍼(11)가 재차 연삭되어, 웨이퍼(11)의 다른쪽 면의 요철도 제거된 결과, 웨이퍼(11)의 양면이 평탄하게 형성된다. 이하, 도 4c에서는, 양면의 요철이 제거된 후의 웨이퍼(11)를, 척 테이블(9)로부터 반출할 때의 동작에 대해 설명한다.
도 4c에 도시한 바와 같이, 척 테이블(9)의 유지면(90)으로부터 에어가 뿜어 올려져, 웨이퍼(11)는 에어에 의해 부상된다. 이때의 웨이퍼(11)의 부상 높이는, 유지 클로(2)의 수직면(25)과 경사면(26)의 연접 부분보다 웨이퍼(11)의 하면이 높은 위치인 것이 바람직하다. 이 상태에서, 에어 실린더(50)(도 1 참조)가 구동되면, 유지 클로(2)가 화살표 방향으로 회전된다. 이때, 부상된 웨이퍼(11)와 유지면(90)과의 간극에 유지 클로(2)의 판형부(22)가 들어간다. 그리고, 3개의 유지 클로(2)의 수직면(25)(제2 접촉 측면)이 웨이퍼(11)[제2 원판형 워크(11)]의 외주에 접촉하는 위치(제2 회전 각도)에서, 유지 클로(2)의 회전이 정지된다.
이 경우, 만일 웨이퍼(11)가 부상했을 때에 에지 클램프 반송 기구(1)에 대한 웨이퍼(11)의 중심 위치가 어긋났다고 해도, 3개의 유지 클로(2)의 수직면(25)이 웨이퍼(11)의 외주에 접촉함으로써, 에지 클램프 반송 기구(1)에 대한 웨이퍼(11)의 중심을 위치 맞춤시킬 수 있다. 또한, 유지 클로(2)의 회전이 정지됨으로써, 유지 클로(2)가 웨이퍼(11)를 직경 방향 내측으로 지나치게 밀어붙이는 일이 없다. 따라서, 웨이퍼(11)의 파손을 방지할 수 있다.
그리고, 유지면(90)에 대한 에어의 공급이 해제되고, 웨이퍼(11)는 자중에 의해 낙하하여, 웨이퍼(11)의 하면이 유지 클로(2)의 경사면(26)(제2 지지면)에 접촉한다. 전술한 바와 같이, 유지 클로(2)의 회전이 정지됨으로써, 유지 클로(2)가 웨이퍼(11)를 직경 방향 내측으로 지나치게 밀어붙이는 일이 없기 때문에, 웨이퍼(11)의 자중 낙하가 방해되는 일은 없다. 또한, 이때, 웨이퍼(11) 하면의 에지 부분과 유지 클로(2)의 경사면(26)이 선접촉한다. 이 때문에, 웨이퍼(11)의 하면과 경사면(26)의 접촉 부분을 최소한으로 억제할 수 있어, 웨이퍼(11)의 하면에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다.
이상과 같이, 3개의 유지 클로(2)의 수직면(25)과 웨이퍼(11)의 측면을 접촉시키고, 3개의 유지 클로(2)의 경사면(26)과 웨이퍼(11)의 하면을 접촉시킴으로써, 웨이퍼(11)를 유지하여 척 테이블(9)로부터 반출할 수 있다.
다음으로, 도 5를 참조하여, 상면에서 보았을 때의 에지 클램프 반송 기구의 유지 동작, 구체적으로는, 유지 클로 회전 수단의 동작에 대해 설명한다. 도 5a에 도시한 바와 같이, 원판형 워크(W)를 유지하기 전의 상태에서는, 유지 클로(2)의 판형부(22)의 돌출 방향이 원판형 워크(W)의 접선 방향으로 향하고 있다. 먼저, 수지 시트(10)가 접착된 웨이퍼(11)를 반송할 때의 유지 동작에 대해 설명한다.
도 5b에 도시한 바와 같이, 유지 클로 회전 수단(5)의 일부를 구성하는 에어 실린더(50)가 구동되어, 피스톤 로드(51)가 후퇴되면(줄어들면)(화살표 참조), 회동 플레이트(6)는 샤프트(31)를 중심으로 피스톤 로드(51)의 후퇴에 따라 회전한다. 회동 플레이트(6)가 회전하면, 3개의 링크 아암(7)은, 길이 방향을 따라 직경 방향 외측으로 압출된다. 이에 의해, 연결 부재(8) 및 연결 부재(8)와 일체 고정되는 유지 클로(2)는, 서로가 이루는 각도(직각)를 유지하면서, 샤프트(20)(유지 클로 회전축)를 중심으로 화살표 방향으로 회전한다. 여기서, 연결 부재(8)와 유지 클로(2)가 이루는 각도란, 연결 부재(8)의 길이 방향과, 유지 클로(2)의 판형부(22)의 돌출 방향이 이루는 각도를 나타내고 있다. 본 실시형태에서는, 상면에서 보아, 연결 부재(8)의 길이 방향과 유지 클로(2)의 판형부(22)의 돌출 방향이 이루는 각도가 직각이 되도록, 연결 부재(8)와 유지 클로(2)가 연결(일체 고정)되어 있다.
이때, 유지 클로(2)는, 판형부(22)의 선단이 원판형 워크(W)의 직경 방향 내측으로 들어가도록 회전한다. 그리고, 유지 클로(2)의 수직면(24)(제1 접촉 측면)이 수지 시트(10)의 외주에 접촉하는 위치(제1 회전 각도)까지 유지 클로(2)가 회전했을 때, 에어 실린더(50)의 구동이 정지된다. 이 결과, 에지 클램프 기구에 대한 원판형 워크(W)[수지 시트(10)]의 중심 위치가 위치 맞춤(센터링)되어, 원판형 워크(W)가 에지 클램프된다.
도 5c에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(11)로부터 수지(12)(도 4 참조) 및 수지 시트(10)가 박리되어, 웨이퍼(11)(제2 원판형 워크)를 단체로 반송하는 경우, 유지 클로(2)는, 전술한 제1 회전 각도보다 더욱 회전된다. 그리고, 유지 클로(2)의 수직면(25)(제2 접촉 측면)이 웨이퍼(11)의 외주에 접촉하는 위치(제2 회전 각도)까지 유지 클로(2)가 회전했을 때, 에어 실린더(50)의 구동이 정지된다. 이 결과, 에지 클램프 기구에 대한 웨이퍼(11)의 중심 위치가 위치 맞춤(센터링)되어, 웨이퍼가 에지 클램프된다.
이상과 같이, 3개의 유지 클로(2)를 회전시켜, 원판형 워크(W)의 외주에 유지 클로(2)를 접촉시킴으로써, 원판형 워크(W)를 에지 클램프할 수 있다. 이에 의해, 유지 클로(2)를 직경 방향으로 이동시키는 구성에 비해, 직경 방향의 크기를 변경하지 않고 에지 클램프 반송 기구(1)를 실현할 수 있다. 또한, 제1 회전 각도보다 제2 회전 각도를 크게 함으로써, 제1 회전 각도에서는, 비교적 큰 외경의 제1 원판형 워크[수지 시트(10)]를 에지 클램프할 수 있다. 한편, 제2 회전 각도에서는, 비교적 작은 외경의 제2 원판형 워크[웨이퍼(11)]를 에지 클램프할 수 있다. 이와 같이, 유지 클로(2)의 회전 각도에 따라, 원판형 워크(W)에 대한 유지 클로(2)의 접촉 위치를 상이하게 함으로써, 복수 종류의 외경의 원판형 워크(W)를 에지 클램프할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지로 변경하여 실시하는 것이 가능하다. 상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 크기나 형상 등에 대해서는, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절하게 변경하는 것이 가능하다. 그 외에, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절하게 변경하여 실시하는 것이 가능하다.
예컨대, 본 실시형태에서는, 샤프트(20)(유지 클로 회전축)가 수직으로 기립하는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 샤프트(20)는 비스듬히 기립해도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 유지 클로(2)가 3개 설치되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 유지 클로(2)는, 적어도 3개 있으면 되고, 4개 이상 설치되어도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 에어 실린더(50)의 진퇴 운동을 링크 기구에 의해 유지 클로(2)의 회전 운동으로 변환하는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 링크 기구를 이용하지 않고, 3개의 유지 클로(2)를 각각 다른 구동원으로 직접 회전시켜도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 척 테이블(9)로부터 원판형 워크(W)를 반출하는 경우에 대해 설명하였으나, 이것에 한정되지 않는다. 척 테이블(9)의 상방에 에지 클램프 반송 기구(1)를 위치시킨 후, 에어 실린더(50)의 피스톤 로드(51)를 전진시킴(신장시킴)으로써, 유지 클로(2)가 원판형 워크(W)의 외주로부터 퇴피하는 방향으로 회전한다. 이에 의해, 에지 클램프 반송 기구(1)를, 원판형 워크(W)의 유지 상태가 해제된 비유지 상태로 전환할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크를 에지 클램프하는 구성에 대해 설명하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 유지 클로(2)의 회전 각도에 맞춰 원판형 워크에 대한 유지 클로(2)의 접촉 위치를 상이하게 함으로써, 외경이 상이한 3종류 이상의 원판형 워크를 에지 클램프하는 구성으로 해도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 에어 실린더(50)에 의해 진퇴 운동을 실현하는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 진퇴하는 기구이면 전동으로 진퇴하는 전동 실린더를 이용해도 좋다. 또한, 회동 플레이트(6)를 회동시킴으로써 유지 클로(2)를 회전시키고 있기 때문에, 회동 플레이트(6)를 모터로 회동시키는 구성으로 해도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 에지 클램프 반송 기구의 직경 방향의 크기를 변경하지 않고, 하나의 에지 클램프 반송 기구로 2종류의 외경의 웨이퍼를 반송할 수 있으며, 웨이퍼 제조 공정의 흐름을 변경하는 일이 없다고 하는 효과를 갖고, 특히 외경이 상이한 2종류의 원판형 워크를 반송하는 에지 클램프 반송 기구에 유용하다.
W: 원판형 워크 1: 에지 클램프 반송 기구
10: 수지 시트(제1 원판형 워크의 일부)
11: 웨이퍼(제2 원판형 워크) 2: 유지 클로
20: 샤프트(유지 클로 회전축) 23: 판형부의 상면(제1 지지면)
24: 수직면(제1 접촉 측면) 25: 수직면(제2 접촉 측면)
26: 경사면(제2 지지면) 3: 유지 플레이트
5: 유지 클로 회전 수단

Claims (2)

  1. 외경(外徑)이 상이한 2종류의 원판형 워크의 외주에 접촉하여 유지하는 에지 클램프 반송 기구로서,
    중심으로부터 수직으로 샤프트를 세워 설치하는 유지 플레이트와,
    원판형 워크의 중심을 둘러싸며 외주에 접촉하는 적어도 3개의 유지 클로(claw)와,
    상기 유지 클로로부터 상기 유지 플레이트를 향해 기립하며 상기 유지 클로의 회전 중심이 되는 유지 클로 회전축과,
    상기 유지 클로 회전축을 축으로 상기 적어도 3개의 상기 유지 클로를 동일 각도로 회전시키는 유지 클로 회전 수단을 구비하고,
    상기 유지 클로는,
    외경이 상이한 2종류의 원판형 워크 중 큰 직경의 제1 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제1 접촉 측면과,
    상기 제1 원판형 워크의 하면에 접촉하는 제1 지지면과,
    상기 제1 원판형 워크보다 작은 직경의 제2 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제2 접촉 측면과,
    상기 제2 원판형 워크의 하면에 접촉하는 제2 지지면을 구비하며,
    상기 유지 클로 회전 수단을 이용하여 상기 유지 클로 회전축을 축으로 상기 유지 클로를 회전시켜, 상기 제2 접촉 측면과 상기 제2 지지면을 접촉시켜 상기 제2 원판형 워크를 유지하는 상태와, 상기 제1 접촉 측면과 상기 제1 지지면을 접촉시켜 상기 제1 원판형 워크를 유지하는 상태를 전환 가능하게 한 것인 에지 클램프 반송 기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유지 클로 회전 수단은, 상기 유지 클로의 상기 제1 접촉 측면이 상기 제1 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제1 회동 각도와, 상기 유지 클로의 상기 제2 접촉 측면이 상기 제2 원판형 워크의 외주에 접촉하는 제2 회동 각도에서 상기 유지 클로의 회전을 정지시키는 것을 특징으로 하는 에지 클램프 반송 기구.
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