KR20150114888A

KR20150114888A - 진공밸브

Info

Publication number: KR20150114888A
Application number: KR1020150032993A
Authority: KR
Inventors: 마르틴 킨라이히; 베른하르트 뒬리
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2014-04-02
Filing date: 2015-03-10
Publication date: 2015-10-13
Also published as: CN104976350B; CN104976350A; JP2015197222A; US20150285396A1; KR102259116B1; JP6594007B2; US9695948B2

Abstract

진공밸브는 밸브 시트 (4) 를 구비하는 밸브 하우징 (1) 과 폐쇄 부재 (9) 와 수동 드라이브를 포함하며, 상기 폐쇄 부재는 폐쇄위치에 있어서 상기 밸브 시트 (4) 에 내리눌려져 있고, 개방위치에 있어서 상기 밸브 시트로부터 들어올려져 있으며, 상기 수동 드라이브를 이용해 상기 폐쇄 부재 (9) 는 직선으로 이동 가능하고, 상기 수동 드라이브는, 회전 피스 (11) 와 연결된 제 1 드라이브 부품 (13, 13') 과 상기 폐쇄 부재 (9) 와 연결된 제 2 드라이브 부품 (14, 14') 을 가지며 상기 회전 피스 (11) 에 의해 작동 가능한 나사 메커니즘을 구비하며, 이때 상기 제 1 및 제 2 드라이브 부품들 (13, 13', 14, 14') 중 하나는 수나사를 구비하고 다른 것은 암나사를 구비하며, 상기 제 1 및 제 2 드라이브 부품들은 나사 맞물림된다. 폐쇄 스프링 (16) 은 상기 밸브 하우징 (1) 과 상기 폐쇄 부재 (9) 사이에 작용한다. 상기 제 1 드라이브 부품 (13, 13') 은 폐쇄 방향 (10) 에 대해 평행으로 상기 밸브 하우징 (1) 에 대해 이동 가능하고, 이때 상기 폐쇄 부재 (9) 의 상기 개방위치에 있어서 상기 폐쇄 부재 (9) 는 상기 회전 피스 (11) 의 또는 상기 제 1 드라이브 부품 (13, 13') 의 스톱면 (19) 이 밀착되어 있는 지지 스톱 (17) 을 이용해 상기 폐쇄 방향 (10) 으로의 이동에 대항하여 유지된다.

Description

진공밸브{VACUUM VALVE}

본 발명은 밸브 시트 (valve seat) 를 구비하는 밸브 하우징 (valve housing) 과 폐쇄 부재와 수동 드라이브 (manual drive) 를 포함하는 진공밸브에 관한 것이며, 상기 폐쇄 부재는 상기 진공밸브의 폐쇄된 상태에서의 폐쇄위치에 있어서 상기 밸브 시트에 내리눌려져 있고, 상기 진공밸브의 개방된 상태에서의 개방위치에 있어서 상기 밸브 시트로부터 들어올려져 있으며, 상기 수동 드라이브를 이용해 상기 폐쇄 부재는 폐쇄 방향으로 상기 개방위치로부터 상기 폐쇄위치로 직선으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄 방향과 반대로 상기 폐쇄위치로부터 상기 개방위치로 직선으로 이동 가능하며, 상기 수동 드라이브는, 회전 피스 (rotary piece) 와 연결된 제 1 드라이브 부품과 상기 폐쇄 부재와 연결된 제 2 드라이브 부품을 가지며 상기 회전 피스에 의해 작동 가능한 나사 메커니즘을 구비하고, 이때 상기 제 1 및 제 2 드라이브 부품들 중 하나는 수나사 (external thread) 를 구비하고 다른 것은 암나사 (internal thread) 를 구비하며, 상기 제 1 및 제 2 드라이브 부품들은 나사 맞물림되고, 폐쇄 회전방향으로의 상기 회전 피스의 회전을 통해, 상기 개방위치에 있는 상기 폐쇄 부재는 상기 폐쇄 방향으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄 회전방향과 반대로 향한 개방 회전방향으로의 상기 회전 피스의 회전을 통해, 상기 폐쇄위치에 있는 상기 폐쇄 부재는 상기 폐쇄 방향과 반대로 이동 가능하며, 이때 상기 폐쇄 부재를 상기 폐쇄 부재의 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 폐쇄 방향으로 가압하는 폐쇄 스프링이 존재한다.

상기 폐쇄 부재가 수동 드라이브를 통해 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 직선으로 이동되는 진공밸브들은 특히 앵글 밸브들 (angle valves) 의 형태로 공지되어 있다. 앵글 밸브들에 있어서, 밸브 하우징의 밸브 개구부들의 축들은 서로 각을 이루며 있고, 특히 서로 직각이며, 상기 밸브 개구부들은 상기 진공밸브의 개방된 상태에서는 서로 연통하고, 상기 진공밸브의 폐쇄된 상태에서는 서로 밀봉된다. 이때, 밸브 시트는 일반적으로 상기 밸브 개구부들 중 하나와 동축적으로 놓여 있다. 이러한 사전 공지된 진공밸브들의 다른 실시형태에 있어서, 제 1 및 제 2 밸브 개구부들은 서로 동축적으로 놓여 있고, 상기 밸브 시트는 이에 대해 경사진 평면에 놓여 있으며, 이때 상기 폐쇄 부재의 직선 이동은 상기 밸브 개구부들의 축들에 대해 각을 이루며 있는 방향으로 수행된다.

수동 드라이브를 갖는 앵글 밸브들은 예컨대 DE 31 25 034 A1 및 DE 10 2008 003 725 A1 에 공개되어 있다. 회전 단추 또는 수동휠의 형태로 형성된, 손으로 작동 가능한 회전 피스와 나사 스핀들 (threaded spindle) 이 연결되고, 상기 나사 스핀들은 암나사를 구비하는 그리고 이로써 (고정된) 스핀들 너트를 형성하는 밸브 하우징의 섹션과 나사 맞물림된다. 폐쇄 부재는 로드 (rod) 를 통해 상기 나사 스핀들과 연결된다.

수동 드라이브를 갖는, 사전 공지된, 시중에서 구입 가능한 그 밖의 앵글 밸브에 있어서, 회전 피스와 연결된 나사 스핀들은 제 1 및 제 2 나사 섹션들 (threaded sections) 을 구비한다. 상기 제 1 나사 섹션은 폐쇄 부재의 암나사에 나사결합된다. 상기 제 2 나사 섹션은 폐쇄 부재와 연결된 밸브 로드 (valve rod) 의 암나사에 나사결합된다. 이때, 상기 폐쇄 부재와 상기 밸브 로드는 상기 폐쇄 부재와 밸브 하우징 사이에 연장되는 벨로스 (bellows) 를 통해 비틀리지 않도록 되어 있다. 상기 두 나사 섹션은 서로 다른 회전방향을 갖는 나사들, 즉 오른 나사 (right-hand thread) 와 왼 나사 (left-hand thread) 를 구비한다. 상기 회전 피스의 회전에 있어서, 이를 통해 한편으로는 상기 나사 스핀들과 상기 밸브 하우징 사이의 행정이 발생되고, 다른 한편으로는 상기 나사 스핀들과 상기 밸브 로드 사이의, 동일한 방향으로의 행정이 발생된다. 이를 통해, 상기 진공밸브를 개방 및 폐쇄하기 위한 상기 회전 피스의 필요한 회전의 수가 절반으로 줄어든다.

도입부에 언급된 유형의 진공밸브는 US 2006/0169940 A1 에 공개되어 있다. 앵글 밸브의 형태로 형성된 실시예가 나타나 있으며, 상기 실시예에서 나사 스핀들은 회전 가능하게, 하지만 축방향으로 이동 불가능하게 밸브 하우징 안에 설치된다. 상기 나사 스핀들 위에는, 회전 방지된 나사 너트 (threaded nut) 가 배치되고, 상기 나사 너트와 폐쇄 부재 사이에 스프링이 배치된다. 이로써, 스핀들 너트는 상기 스프링을 통하여 폐쇄 부재에 작용한다. 이로써, 상기 폐쇄 부재가 밸브 시트에 기댄 후, 상기 스프링의 상응하는 압축을 통해 원하는 가압력이 달성될 수 있다. 이 밸브는 특히 고진공 밸브이며, 이때 상기 폐쇄 부재는 적어도 상기 밸브 시트에 인접하는 섹션들에서 완전히 금속으로 구성된다.

손에 의해 작동되는 앵글 밸브들을 제외하곤, 보통은 공압식으로 작용하는 피스톤-실린더 유닛들에 의해 구동되는 앵글 밸브들이 이용된다. 이러한 유형의 진공밸브들은 예컨대 US 2009/0194728 A1, DE 40 23 845 C1 및 US 6,289,932 B1 에 공개되어 있다. 압력매체의 고장시 진공밸브의 폐쇄된 상태를 안전하게 하기 위해 폐쇄 스프링들이 제공되고, 상기 폐쇄 스프링들은 밸브 하우징과 폐쇄 부재 사이에 작용한다.

직선으로 이동 가능한 폐쇄 부재들을 갖는 진공밸브들의 다른 유형들은 예컨대 US 7,011,294, DE 37 17 724 A1 및 DE 38 31 249 A1 에 공개되어 있다. US 7,011,294 에 공지된 진공밸브에 있어서, 폐쇄 부재는 쐐기 모양으로 형성된다. DE 37 17 724 A1 및 DE 38 31 249 A1 은 시일들 (seals) 을 갖는, 그리고 상기 시일들과 함께 작용하는 밀봉면들을 갖는 진공밸브들을 나타내며, 상기 밀봉면들은 다른 삼차원적 형태들을 갖는다.

US 6,669,170 B2 에는 수동 드라이브를 구비하는, 앵글 밸브의 형태로 형성된 진공밸브가 공개되어 있다. 회전 피스에 만곡면이 제공되고, 상기 만곡면은 밸브 하우징에 배치된 만곡면과 함께 작용한다. 상기 함께 작용하는 만곡면들은 일종의 링크 가이드이며, 따라서 회전 피스는 그의 비틀림에 있어서 축방향으로 이동된다. 폐쇄 부재에 배치된 밸브 로드에 플랜지 (flange) 가 제공된다. 상기 밸브 하우징과 상기 폐쇄 부재 사이에 폐쇄 스프링이 작용한다. 상기 폐쇄 스프링은 상기 폐쇄 부재의 개방위치에 있어서 상기 밸브 로드에 설치된 플랜지를 상기 회전 피스의 스톱면 (stop surface) 에 대해 잡아당긴다. 상기 플랜지와 상기 회전 피스 사이에 록킹 요소들이 작용하며, 따라서 상기 회전 피스는 여러 가지 회전위치에서 록킹될 수 있다. 상기 폐쇄 부재의 폐쇄위치에 있어서 상기 플랜지는 상기 스톱면으로부터 들어올려질 수 있다. 이 진공밸브의 상기 수동 드라이브의 형성은 제조비용이 높고, 특히 이 수동 드라이브의 상기 함께 작용하는 만곡면들의 형성 및 함께 작용하는 그 밖의 부품들의 형성으로 인해 제조비용이 높다.

본 발명의 목적은 도입부에 언급된 유형의, 조작이 안전한 그리고 비용절감적으로 형성 가능한 진공밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 제 1 항의 특징들을 갖는 진공밸브를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 진공밸브에 있어서, 폐쇄 스프링은 밸브 하우징과 폐쇄 부재 사이에 작용하며, 상기 폐쇄 부재를 상기 폐쇄 부재의 개방위치에 있어서도 폐쇄 방향으로 가압한다. 이 이외에, 제 1 드라이브 부품은 상기 폐쇄 방향에 대해 평행으로 상기 밸브 하우징에 대해 이동 가능하며, 이때 상기 폐쇄 부재의 상기 개방위치에 있어서 상기 폐쇄 부재는 회전 피스의 또는 상기 제 1 드라이브 부품의 스톱면이 밀착되어 있는 지지 스톱 (support stop) 을 이용해, 상기 폐쇄 스프링의 힘을 통해 초래된 상기 폐쇄 방향으로의 이동에 대항하여 유지된다. 상기 폐쇄 부재의 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 지지 스톱은 상기 회전 피스의 또는 상기 제 1 드라이브 부품의 스톱면으로부터 들어올려져 있고 (= 간격을 두고 있고), 즉 상기 제 1 드라이브 부품은 상기 폐쇄 부재의 상기 개방위치에서 차지한 위치에 대해 상기 폐쇄 방향과 반대로 이동된다. 이로써, 상기 폐쇄 스프링 혼자에 의해 충분한 폐쇄력이 가해질 수 있고, 상기 폐쇄력을 이용해 상기 폐쇄 부재는 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 밸브 시트에 내리눌려지고, 따라서 상기 진공밸브가 밀봉된다. 이때, 상기 제 1 드라이브 부품에 힘이 없을 수 있다. 상기 폐쇄 스프링에 의해 가해진 상기 폐쇄력은 상기 폐쇄 스프링으로부터 직접 상기 밸브 하우징 안으로 도입된다.

이러한 방식으로, 보다 적은 수의 별도의 부품들을 갖는 상기 진공밸브의 매우 간단한 형성이 달성될 수 있다. 본 발명에 따른 진공밸브에 있어서 비용이 매우 낮게 유지될 수 있으며, 이때 이러한 대량 제품에 있어서는 작은 비용절약이 이미 매우 중요하다.

동시에, 본 발명에 따른 진공밸브는 특히 조작이 안전하도록 형성될 수 있다. 특히, 상기 회전 피스의 너무 강한 조임으로 인해 상기 폐쇄 부재의 상기 폐쇄위치에서 상기 진공밸브를 밀봉하는 탄성 밀봉링의 과도한 스트레스 부하가 가해지는 것이 저지될 수 있다. 필요한 압축력은 상기 폐쇄 스프링 혼자에 의해 가해질 수 있고, 이를 통해 매우 잘 정의된 밀봉력이 달성될 수 있다.

상기 진공밸브의 완전히 폐쇄된 상태를 촉각적으로도 사용자에게 표시하기 위해 (따라서, 실수로 상기 두 드라이브 부품을 회전시켜 상기 두 드라이브 부품이 완전히 서로 갈라져 분리된 상태가 되는 것을 저지하기 위해), 바람직하게는 제한 스톱 (limiting stop) 이 존재하고, 상기 제한 스톱은 폐쇄 회전방향으로의 상기 회전 피스의 회전을 제한한다. 이때, 상기 폐쇄 방향으로 작용하는 너무 큰 추가적인 힘이 상기 폐쇄 부재에 가해지는 것을 (상기 힘으로 인해, 특히 상기 진공밸브를 그의 폐쇄된 상태에서 밀봉하는 탄성 밀봉링이 손상될 수 있다) 저지하기 위해, 바람직하게는, 상기 폐쇄 회전방향으로 상기 회전 피스에 작용하는 토크의 한계값을 초과할시 상기 제한 스톱을, 특히 파괴하지 않고, 지나갈 수 있는 것이 제공된다. 즉, 상기 제한 스톱은 상기 회전 피스에 작용하는 토크의 한계값까지만 작용한다. 유리하게는, 상기 제한 스톱이 개방할 때의 (= 상기 제한 스톱을 지나갈 때의) 힘은, 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 폐쇄 스프링에 의해 상기 폐쇄 부재에 가해진 힘보다 작다.

본 발명의 가능한 실시형태에 있어서, 상기 제한 스톱은 스프링 암 (spring arm) 에 배치된 적어도 하나의 돌출부에 의해 형성되고, 상기 돌출부는 상기 회전 피스에서의 또는 상기 제 1 드라이브 부품에서의 스톱면과 함께 작용한다.

다른 가능한 실시형태에 있어서, 상기 제한 스톱을 형성하기 위해, 상기 두 드라이브 부품 중 하나에 배치된 돌출부는 상기 두 드라이브 부품 중 다른 것의 스톱면에 밀착할 수 있다.

본 발명에 따른 진공밸브는 앵글 밸브로서 형성될 수 있다. 상기 폐쇄 부재가 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 직선으로 이동되는 다른 구현형태들도 가능하다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용들은 첨부된 도면을 근거로 설명된다.

도 1 은 본 발명에 따른 진공밸브의 실시예의 사투상도;
도 2 는 측면도, 도 3 은 평면도;
도 4 는 폐쇄 부재의 개방위치에서 도 2 의 선 AA 를 따른 단면;
도 5 는 진공밸브를 폐쇄할 때 폐쇄 부재가 밸브 시트에 기대는 위치에서 도 2 의 선 AA 를 따른 단면;
도 6 은 폐쇄 부재의 폐쇄위치에서 도 2 의 선 AA 를 따른 단면;
도 7 은 도 5 에서와 동일한 위치에서의 폐쇄 부재를 나타내는, 도 3 의 선 BB 를 따른 단면;
도 8 은 폐쇄 부재의 폐쇄위치에서 도 3 의 선 BB 를 따른 단면;
도 9 는 회전 피스가 제한 스톱을 지나간, 폐쇄 부재의 폐쇄위치에서 도 3 의 선 BB 를 따른 단면;
도 10 은 밸브 시트의 영역에 배치된 밀봉 유닛의 사투상도;
도 11 과 도 12 는 여러 가지 시선방향에서의 진공밸브의 분해도들;
도 13 은 본 발명의 그 밖의 실시형태의 개략적인 도면을 나타낸다.

본 발명의 실시예는 도 1 내지 도 12 에 도시된다.

진공밸브는 밸브 하우징 (1) 을 구비한다. 상기 밸브 하우징은 실시예에서 상기 밸브 하우징의 기본 몸체 (1a) 와 나사결합된 하우징 뚜껑 (1b) 을 포함한다. 기본 몸체 (1a) 에 밸브 접합관 (1c) 이 제공된다. 밸브 하우징 (1) 의 그 밖의 밸브 접합관 (1d) 은 나사들 (2) 의 머리들 (2a) 을 통하여 그리고/또는 그 아래에 배치된 와셔들을 통하여 밸브 하우징 (1) 과 연결된다. 이때, 밸브 접합관 (1d) 은 탄성 시일 (3b) 을 이용해 기본 몸체 (1a) 에 대해 밀봉된다. 시일 (3b) 은 지지체 (3a) 에 배치되고, 상기 지지체에 또한 탄성 시일 (3c) 이 배치되고, 상기 탄성 시일은 밸브 접합관 (1d) 에 배치된 밀봉면 위에 놓여 있다. 시일 (3c) 은 폐쇄된 상태에서 상기 진공밸브를 밀봉하기 위한 상기 진공밸브의 동적 시일을 형성한다.

밸브 접합관 (1d) 은 기본 몸체 (1a) 와 일체로 형성될 수도 있고 또는 상기 기본 몸체에 용접될 수 있고, 이로써 시일 (3b) 이 생략된다. 밸브 접합관 (1c) 은 마찬가지로 별도의 부품에 의해 형성될 수 있고, 예컨대 나사결합을 통하여 기본 몸체 (1a) 와 연결될 수 있고, 그 밖의 시일이 이 두 부품 사이에 배치된다.

그 밖의 진공부품, 예컨대 진공챔버 또는 라인과 연결하기 위한 플랜지들이 밸브 접합관들 (1c, 1d) 에 제공된다.

밸브 접합관들 (1c 와 1d) 은 상기 진공밸브의 제 1 및 제 2 밸브 개구부들 (5, 6) 을 형성한다. 밸브 접합관들 (1c, 1d) 은 생략될 수도 있고, 밸브 개구부들 (5, 6) 은 직접 기본 몸체 (1a) 에 배치되거나, 또는 직접 상기 기본 몸체에 배치된 플랜지들 안에 배치될 수 있다.

상기 진공밸브의 도시된 실시예는 앵글 밸브의 형태로 형성된다. 이로써, 제 1 및 제 2 밸브 개구부들 (5, 6) 의 축들 (7, 8) 은 서로 각을 이루며 있고, 특히 서로 직각이다.

밸브 하우징 (1) 안에는, 특히 판 모양으로 형성된, 폐쇄 부재 (9) 가 배치된다. 상기 진공밸브의 폐쇄된 (= 밀봉된) 상태에서 폐쇄 부재 (9) 는 그의 폐쇄위치를 차지하며, 밸브 시트 (4) 에 내리눌려진다. 밸브 시트 (4) 는 실시예에서 밸브 접합관 (1d) 에 배치된, 바람직하게는 평탄한, 밀봉면에 의해, 그리고 그 위에 놓여 있는 시일 (3c) 에 의해 형성된다. 시일 (3c) 이 놓여 있는 상기 밀봉면은 상기 밸브 하우징의 다른 부품에, 특히 기본 몸체 (1a) 에 배치될 수도 있다. 다른 가능한 실시형태들에 있어서, 폐쇄 부재 (9) 에도 탄성 시일이 배치될 수 있고, 상기 밸브 시트는 밸브 하우징 (1) 의 밀봉면에 의해서만 형성될 수 있다.

폐쇄 부재 (9) 가 그의 개방위치에 있는 그리고 밸브 시트 (4) 로부터 들어올려져 있는 상기 진공밸브의 완전히 개방된 상태로부터 출발하여 (도 4 참조), 폐쇄 부재 (9) 는 상기 진공밸브를 폐쇄하기 위해 폐쇄 방향 (10) 으로 직선 모양으로 (직선으로) 이동된다. 폐쇄 부재 (9) 가 밸브 시트 (4) 에 내리눌려져 있는 상기 진공밸브의 폐쇄된 상태로부터 출발하여 (도 6 참조), 상기 폐쇄 부재는 폐쇄 방향 (10) 과 반대로 직선으로 이동된다.

실시예에서, 상기 폐쇄 방향은 제 1 밸브 개구부 (5) 의 축 (7) 에 대해 평행으로 있다. 다른 실시예들에서, 폐쇄 방향 (10) 은 축 (7) 에 대해 경사져 있을 수도 있다. 그러면, 밸브 시트 (4) 는 상응하여 경사진 위치에서 밸브 하우징 (1) 에 배치되어야 한다.

상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 폐쇄 부재 (9) 를 직선으로 이동시키기 위해 수동 드라이브가 사용된다. 상기 수동 드라이브는 손으로 작동 가능한 회전 피스 (11) 를 포함한다. 상기 회전 피스는 회전 버튼 또는 수동휠이라고도 불리울 수 있다. 회전 피스 (11) 는 폐쇄 방향 (10) 에 대해 평행으로 있는, 특히 폐쇄 방향 (10) 과 서로 같은 회전축 (12) 둘레로 회전 가능하다.

회전 피스 (11) 의 회전을 통해 나사 메커니즘이 작동된다. 상기 나사 메커니즘은 회전 피스 (11) 와 회전 불가능하게, 예컨대 움직일 수 없게 연결된 제 1 드라이브 부품 (13) 과, 폐쇄 부재 (9) 와 회전축 (12) 의 축방향에 있어서 이동 불가능하게, 예컨대 움직일 수 없게 연결된 제 2 드라이브 부품 (14) 을 포함한다. 상기 드라이브 부품들 (13, 14) 중 하나, 실시예에서 제 1 드라이브 부품 (13) 에 수나사가 제공되고, 상기 두 드라이브 부품 중 다른 것, 실시예에서 제 2 드라이브 부품 (14) 에 암나사가 제공된다. 이 수나사와 암나사를 통하여 두 드라이브 부품 (13, 14) 은 나사 맞물림된다. 상기 수나사를 갖춘 상기 드라이브 부품은 나사 스핀들이라고도 불리울 수 있고, 상기 암나사를 갖춘 상기 드라이브 부품은 스핀들 너트라고도 불리울 수 있다.

회전 피스 (11) 와 연결된 상기 제 1 드라이브 부품에 암나사가 제공되고, 폐쇄 부재 (9) 와 연결된 상기 제 2 드라이브 부품에 수나사가 제공되는 실시형태들도 고려될 수 있고 가능하다.

제 2 드라이브 부품 (14) 은 실시예에서 회전축 (12) 에 대해 평행으로 놓여 있는 밸브 로드의 형태로 형성되고, 상기 밸브 로드에 폐쇄 부재 (9) 가 유지된다. 폐쇄 부재 (9) 로부터 멀리 향하는 단부에서, 상기 밸브 로드에 블라인드 보어 (blind bore) 가 제공되고, 상기 블라인드 보어는 암나사를 구비한다. 예컨대, 상기 밸브 로드는 연속적으로 중공으로 형성될 수도 있다.

제 2 드라이브 부품 (14) 은 밸브 하우징 (1) 에 의해 하우징 뚜껑 (1b) 의 영역에서 이동 가능하게 안내된다. 이때, 하우징 뚜껑 (1b) 은 유리하게는 도시된 바와 같이 가이드 슬리브 (guide sleeve, 15) 형태의 섹션을 구비할 수 있다.

하우징 뚜껑 (1b) 과 폐쇄 부재 (9) 사이에 폐쇄 스프링 (16) 이 작용한다. 상기 폐쇄 스프링은 하우징 뚜껑 (1b) 의 일 단부에 지지되고, 폐쇄 부재 (9) 에서의 다른 단부에 지지된다. 폐쇄 부재 (9) 에서의 상기 폐쇄 스프링의 지지부 대신에, 상기 폐쇄 스프링은 제 2 드라이브 부품 (14) 의 돌출부에 지지될 수도 있다.

회전 피스 (11) 와, 상기 회전 피스와 연결된 제 1 드라이브 부품 (13) 은 폐쇄 방향 (10) 으로 그리고 상기 폐쇄 방향과 반대로 밸브 하우징 (1) 에 대해 제한적으로 이동 가능하다. 폐쇄 방향 (10) 으로의 이동 가능성은 지지 스톱 (17) 을 통해 제한된다. 폐쇄 방향 (10) 과 반대로의 이동 가능성은 제한 스톱 (18) 을 통해 제한되고, 적어도 제한 스톱 (18) 에 작용하는 힘의 한계값까지 제한된다.

제한 스톱 (18) 은 밸브 하우징 (1) 에 설치된 적어도 하나의 부품에 배치되고, 하기에서 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 도 1 내지 도 12 에 도시된 실시예에서는 밸브 하우징 (1) 에 설치된 스프링 암들 (22) 에 배치된다.

지지 스톱 (17) 은 상기 밸브 하우징에 대해 폐쇄 방향 (10) 으로 이동 불가능하며, 바람직하게는 폐쇄 방향 (10) 과 반대로도 이동 불가능하다. 특히, 지지 스톱 (17) 은 밸브 하우징 (1) 의 부품에 의해 형성되며, 예컨대 도시된 바와 같이 하우징 뚜껑 (1b) 으로부터 밖에 떨어져 있는 환형 피스 (annular piece) 에 의해 형성된다. 지지 스톱 (17) 은, 움직일 수 없게 또는 회전 불가능하게 밸브 하우징 (1) 과 연결된 부품에 의해서도 형성될 수 있다.

상기 진공밸브가 완전히 개방되면 상기 폐쇄 부재 (9) 의 개방위치에 있어서, 마찬가지로 폐쇄 부재 (9) 가 밸브 시트 (4) 로부터 간격을 두고 있는 동안, 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이의 폐쇄 부재 (9) 의 중간위치들에 있어서, 회전 피스 (11) 는 스톱면 (19) 과 함께 지지 스톱 (17) 에 밀착하고, 따라서 회전 피스 (11) 그리고 이로써 제 1 드라이브 부품 (13) 과, 드라이브 부품들 (13, 14) 사이의 나사 맞물림을 통하여 또한 제 2 드라이브 부품 (14) 과, 제 2 드라이브 부품 (14) 과 연결된 폐쇄 부재 (9) 는, 폐쇄 스프링 (16) 의 힘을 통해 폐쇄 방향 (10) 으로 수행되는 이동에 대항하여 지지된다. 스톱면 (19) 은 제 1 드라이브 부품 (13) 의 돌출부에 배치될 수도 있다.

폐쇄 부재 (9) 의 상기 개방위치로부터 출발하여 상기 진공밸브를 폐쇄하기 위해, 회전 피스 (11) 는 폐쇄 회전방향 (20) 으로 회전된다. 이를 통해, 폐쇄 부재 (9) 는 상기 폐쇄 부재가 밸브 시트 (4) 에 닿을 때까지 상기 밸브 시트에 접근하며, 이때 시일 (3c) 은 우선 (폐쇄 부재 (9) 를 통한 제 1 접촉 시에) 아직 압축되어 있지 않다. 이 상태는 도 5 와 도 7 에 도시된다. 제한 스톱 (18) 과 함께 작용하는 폐쇄 부재 (9) 의 스톱면 (21) 은 폐쇄 부재 (9) 의 이 위치에 있어서 제한 스톱 (18) 으로부터 아직 간격을 두고 있다. 폐쇄 회전방향 (20) 으로의 회전 피스 (11) 의 계속되는 비틀림에 있어서, 시일 (3c) 은 폐쇄 스프링 (16) 을 통해 압축되고, 이때 스톱면 (19) 은 지지 스톱 (17) 으로부터 들어올려지고, 보다 정확히 말하면 밸브 하우징 (1) 에 대해 폐쇄 방향 (10) 과 반대로의 제 1 드라이브 부품 (13) 그리고 그와 함께 회전 피스 (11) 의 이동을 통해 들어올려진다. 스톱면 (19) 이 지지 스톱 (17) 으로부터 들어올려지자마자 폐쇄 부재 (9) 의 상기 폐쇄위치에 도달한다. 이는 스톱면 (21) 이 이미 제한 스톱 (18) 으로부터 간격을 두는 경우에 발생된다. 이로써, 폐쇄 부재 (9) 를 밸브 시트 (4) 에 대해 내리누르는 밀봉력은 이 상태에서 폐쇄 스프링 (16) 에 의해서만 인가된다.

폐쇄 부재 (9) 가 계속 폐쇄 회전방향 (20) 으로 회전되면, 제 1 드라이브 부품 (13) 그리고 그와 함께 폐쇄 부재 (9) 는 폐쇄 방향 (10) 과 반대로 밸브 하우징 (1) 에 대해 이동되고, 스톱면 (21) 은 상기 스톱면 (21) 이 제한 스톱 (18) 에 밀착할 때까지 계속 상기 제한 스톱 (18) 에 접근한다. 이로써, 상기 진공밸브가 완전히 폐쇄되어 있고 폐쇄 부재 (9) 가 그의 폐쇄위치에 있다는 것이 사용자에게 촉각적인 신호로 알려진다. 이 상태는 도 6 과 도 8 에 도시된다.

상기 진공밸브가 완전히 폐쇄되어 있고 폐쇄 부재 (9) 가 그의 폐쇄위치에 있다는 것을 사용자에게 시각적으로도 신호로 알리기 위해, 바람직하게는, 특히 색이 있는, 마킹 링 (marking ring, 27) 이 제공되며, 상기 마킹 링은 회전 피스 (11) 에 배치되고, 스톱면 (21) 이 제한 스톱 (18) 에 밀착할 때, 지지 스톱 (17) 을 형성하는 상기 환형 피스 밖으로 빼내진다 (도 6 참조).

그 후 상기 회전 피스가 계속 폐쇄 회전방향 (20) 으로 회전되면, 폐쇄 부재 (9) 에 의해 시일 (3c) 에 가해진 힘이 증가된다. 하지만, 폐쇄 회전방향 (20) 으로 회전 피스 (11) 에 작용하는 토크의 한계값을 초과할시, 제한 스톱 (18) 이 항복되고, 스톱면 (21) 은 제한 스톱 (18) 옆으로 지나갈 수 있다. 제한 스톱 (18) 옆으로 지나간 상태는 도 9 에 도시된다. 이로써, 상기 수동 드라이브에 의해 시일 (3c) 에 최대로 가해진 힘이 제한된다.

스톱면 (21) 이 유지되는, 최대로 제한 스톱 (18) 에 의해 수용 가능한 힘은 바람직하게는, 폐쇄 부재 (9) 의 상기 폐쇄위치에 있어서 폐쇄 스프링 (16) 에 의해 폐쇄 부재 (9) 에 가해진 힘보다 작다.

상기 힘으로 폐쇄 부재 (9) 가 밸브 시트 (4) 에 내리눌려지는 (= 밀봉력) 폐쇄 스프링 (16) 에 의해 인가된 힘은 바람직하게는 밀봉길이 당 0.5 내지 10 N/mm 의 범위에 있고, 이때 밀봉길이 당 1 내지 4 N/mm 의 값이 특히 바람직하다.

제한 스톱 (18) 은 실시예에서 다수의 돌출부들에 의해 형성되며, 상기 돌출부들은 각각의 스프링 암들 (22) 에 배치된다. 스프링 암들 (22) 은 원주 방향으로 회전축 (12) 둘레로 서로 간격을 두고 있고, 회전 피스 (11) 의 환형 칼라 (annular collar, 23) 와 함께 작용하며, 상기 환형 칼라는 스톱면 (21) 을 구비한다. 환형 칼라 (23) 가 증가하는 힘과 함께 상기 돌출부들에 대해 스프링 암들 (22) 에 내리눌려지면, 스프링 암들 (22) 은 상기 스프링 암들 (22) 의 돌출부들이 결국 환형 칼라 (23) 로부터 미끄러질 때까지 변형된다.

밸브 하우징 (1) 이 기본 몸체 (1a) 와 하우징 뚜껑 (1b) 을 구비하고, 이때 회전 피스 (11) 와 상기 폐쇄 부재 사이의 연결 부품들이 상기 하우징 뚜껑 (1b) 안의 개구부를 통해 연장되는 실시예에서, 스프링 암들 (22) 은 하우징 뚜껑 (1b) 외부에 설치되고, 회전 피스 (11) 방향으로 하우징 뚜껑 (1b) 으로부터 떨어져 있다.

상기 제한 스톱의 다른 구현형태들이 가능하다.

드라이브 부품들 (13, 14) 의 상기 함께 작용하는 나사들은 바람직하게는 왼 나사들로서 형성된다. 이를 통해, 폐쇄 회전방향 (20) 은 직관적인 방식으로 시계 바늘 방향으로 정렬된다.

상기 진공밸브를 개방하기 위해, 회전 피스 (11) 는 폐쇄 회전방향 (20) 과 반대로 향한 개방 회전방향 (24) 으로 회전된다. 개방 회전방향 (24) 으로의 비틀림 가능성은 예컨대 폐쇄 부재 (9) 로부터 떨어져 있는 제 2 드라이브 부품 (14) 의 단부가 제 1 드라이브 부품 (13) 에 부딪침으로써 제한될 수 있고, 이로써 폐쇄 부재 (9) 의 상기 개방위치에 도달한다.

밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 안에는, 외부 공간에 대해 밀봉된 진공영역이 형성된다. 상기 진공영역을 밀봉하기 위해, 도시된 실시예에서 벨로스 (25) 가 제공된다. 상기 벨로스는 일 단부에서 폐쇄 부재 (9) 와 진공 밀봉적으로 연결되고, 예컨대 용접을 통해 연결되고, 다른 단부에서는 진공 밀봉적으로 밸브 하우징 (1) 과 연결된다. 예컨대, 이를 위해 벨로스 (25) 에 플랜지 디스크가 용접될 수 있고, 상기 플랜지 디스크는 밀봉링 (26) 을 통하여 밸브 하우징 (1) 의 기본 몸체 (1a) 에 대해 밀봉된다. 이로써, 하우징 뚜껑 (1b) 과 기본 몸체 (1a) 사이에 시일이 필요하지 않다.

실시예에서 물결 모양의 벨로스로서 형성된 벨로스 (25) 는 도면들에서는 개략적으로만 도시된다 (가운데 영역에서는, 물결 모양이 도시 생략됨). 벨로스 (25) 는 폴딩 벨로스 또는 멤브레인 벨로스로서도 형성될 수 있다.

벨로스 (25) 를 통해, 실시예에서 페쇄 부재 (9) 그리고 이로써 제 2 드라이브 부품 (14) 도 회전축 (12) 둘레로 비틀림에 대해 안전하게 된다. 이때, 폐쇄 부재 (9) 는 회전 불가능하게 제 2 드라이브 부품 (14) 과 연결된다.

밸브 하우징 (1) 을 통해 상기 수동 드라이브에 의해 관통된 통과부에 대한 밸브 하우징 (1) 의 상기 진공영역의 밀봉은 다른 방식으로도 수행될 수 있다. 예컨대, 가이드 슬리브 (15) 와 막대 모양의 제 2 드라이브 부품 (14) 사이에 시일이 배치될 수 있다. 그러면, 제 2 드라이브 부품 (14) 을 위한 별도의 비틀림 방지가 제공되고, 예컨대 폐쇄 부재 (9) 로부터 떨어져 있는 제 2 드라이브 부품 (14) 의 단부의 영역에서 밖에 돌출해 있는 노즈 (nose) 통해 비틀림 방지가 제공되고, 상기 노즈는 하우징 뚜껑 (1b) 안의 또는 가이드 슬리브 (15) 안의 축방향 홈으로 진행한다.

본 발명의 변경된 실시형태에 있어서, 도면들에 도시된 지지 스톱 (17) 대신에 이러한 지지 스톱은 예컨대 회전 피스 (11) 를 향한, 가이드 슬리브 (15) 의 단부면 (17') 에 의해 형성될 수 있고, 이때 가이드 슬리브 (15) 는 이 단부의 영역에서 하우징 뚜껑 (1b) 의 이웃한 영역들 위로 돌출해 있다 (특히 도 4 참조). 그러면, 단부면 (17') 에 의해 형성된 이 지지 스톱과 함께 작용하는 스톱면은 하우징 뚜껑 (1b) 을 향한, 회전 피스 (11) 의 섹션의 표면 (19') 에 의해 형성될 수 있고, 상기 회전 피스에 환형 칼라 (23) 가 배치된다 (도 4 및 도 7 참조). 그러면 표면들 (17', 19') 은 상기 진공밸브의 개방된 상태에서 서로 밀착하며, 그러면 표면들 (17, 19) 사이에 상기 진공밸브의 개방된 상태에서 간격이 존재하거나 또는 하우징 뚜껑 (1b) 에서 표면 (19) 을 구비하는, 상기 환형 피스가 생략될 수도 있다.

상기 진공밸브의 본 발명에 따른 형성을 통해 간단한 방식으로 모듈식 시스템이 제공될 수 있고, 상기 모듈식 시스템으로, 수동 드라이브들 갖는 진공밸브 뿐만 아니라 자동적인 (기계적인) 드라이브, 특히 공압식 또는 전기식 드라이브들을 갖는 진공밸브도 형성될 수 있다. 예컨대, 도 1 내지 도 12 에 도시된 밸브에 있어서 공압식 드라이브를 형성하기 위해, 그에 설치된 제 1 드라이브 부품 (13) 을 갖는 회전 피스 (11) 는 생략될 수 있고, 하우징 뚜껑 (1b) 도 생략될 수 있다. 도시된 하우징 뚜껑 (1b) 대신에 공압식 피스톤-실린더 유닛의 실린더가 기본 몸체 (1a) 와 연결될 수 있다. 그러면, 상기 실린더 안에 배치된 상기 피스톤은 수나사를 갖는 피스톤 로드를 구비할 수 있고, 상기 수나사는 제 2 드라이브 부품 (14) 의 암나사에 나사결합된다. 상기 공압식 피스톤-실린더 유닛을 통해 폐쇄 부재 (9) 를 작동시킬 시에, 이 경우에는 상기 나사결합의 비틀림이 수행되지 않는다.

본 발명의 변경된 실시예는 도 13 에 개략적으로 도시된다. 여기에서는 수동 드라이브와, 밸브 하우징 (1) 의 섹션만 도시된다. 이 구현형태는 하기에서 기술되는 차이들을 제외하곤 상기 기술된 실시예에 상응한다.

회전 피스 (11) 와 연결된 제 1 드라이브 부품 (13') 은 또한 수나사를 구비하며, 상기 수나사를 이용하여, 암나사가 제공된 제 2 드라이브 부품 (14') 에 나사결합된다. 폐쇄 부재 (9) 와 연결된 제 2 드라이브 부품 (14') 은 여기에서는 포트 모양으로 형성된다.

제한 스톱 (18') 은 여기에서는 회전 피스 (11) 로부터 떨어져 있는 제 1 드라이브 부품 (13') 의 단부에서의 고리 모양의 돌출부에 의해 형성된다. 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄위치에 있어서 폐쇄 회전방향 (20) 으로의 회전 피스 (11) 의 회전을 제한하기 위해, 제한 스톱 (18') 은 제 2 드라이브 부품 (14') 에서의 스톱면 (21') 에 부딪친다. 이를 통해, 폐쇄 회전방향 (20) 으로의 회전 피스 (11) 의 그 밖의 회전이 정지된다. 이 실시예에서, 폐쇄 회전방향 (20) 으로 회전 피스 (11) 에 가해진 토크를 통해, 스톱면 (21') 이 제 2 드라이브 부품 (14') 에 부딪칠 때, 폐쇄 부재 (9) 를 밸브 하우징 (1) 에 대해 밀봉하는 시일 (26) 의 추가적인 가압이 발생하지 않는다. 이로써, 지나갈 수 있는 제한 스톱 (18') 의 형성이 이 실시예에서는 필요하지 않다.

도 13 에 도시된 실시예에서, 시일 (26) 은 폐쇄 부재 (9) 에 배치된다. 하지만, 그 대신에 또한 상기 밸브 시트는 시일을 구비할 수 있고, 예컨대 밀봉 유닛 (3) 의 시일 (3c) 에 상응하는 시일을 구비할 수 있다.

본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서, 도시된 실시예들의 여러 가지 변경이 가능하다. 예컨대, 밸브 개구부들 (5, 6) 은 밸브 하우징 (1) 의 마주하고 있는 측들에 배치될 수도 있고, 따라서 밸브 개구부들 (5, 6) 의 축들 (7, 8) 은 서로 평행으로 있다. 그러면, 밸브 시트 (4) 는 축들 (7, 8) 에 대해 경사져 상기 밸브 하우징 안에 배치될 수 있고, 회전축 (12) 은 상응하여 축들 (7, 8) 에 대해 경사져 있을 수 있다.

본 발명에 따른 진공밸브에 있어서, 상기 폐쇄 부재와 상기 밸브 시트는 상기 도시된 형태와 다른 형태를 구비할 수도 있다. 즉, 상기 폐쇄 부재는 예컨대 쐐기 모양으로 형성될 수 있고, 상응하여 형성된 밸브 시트와 함께 작용할 수 있다. 또한, 공지되어 있는 바와 같이, 상기 폐쇄 부재에 또는 상기 밸브 시트에 배치된 시일, 그리고 상기 시일과 함께 작용하며 이 두 부품 중 다른 것에 배치된 밀봉면은 다른 삼차원적 형태를 가질 수 있다.

1 : 밸브 하우징 1a : 기본 몸체
1b : 하우징 뚜껑 1c : 밸브 접합관
1d : 밸브 접합관 2 : 나사
2a : 머리 3 : 밀봉 유닛
3a : 지지체 3b : 시일
3c : 시일 4 : 밸브 시트
5 : 제 1 밸브 개구부 6 : 제 2 밸브 개구부
7 : 축 8 : 축
9 : 폐쇄 부재 10 : 폐쇄 방향
11 : 회전 피스 12 : 회전축
13, 13' : 제 1 드라이브 부품 14, 14' : 제 2 드라이브 부품
15 : 가이드 슬리브 16 : 폐쇄 스프링
17 : 지지 스톱 18, 18' : 제한 스톱
19 : 스톱면 20 : 폐쇄 회전방향
21, 21' : 스톱면 22 : 스프링 암
23 : 환형 칼라 24 : 개방 회전방향
25 : 벨로스 26 : 시일
27 : 마킹 링

Claims

진공밸브로서,
상기 진공밸브는 밸브 시트 (4) 를 구비하는 밸브 하우징 (1) 과 폐쇄 부재 (9) 와 수동 드라이브를 포함하며, 상기 폐쇄 부재는 상기 진공밸브의 폐쇄된 상태에서의 폐쇄위치에 있어서 상기 밸브 시트 (4) 에 내리눌려져 있고, 상기 진공밸브의 개방된 상태에서의 개방위치에 있어서 상기 밸브 시트로부터 들어올려져 있으며, 상기 수동 드라이브를 이용해 상기 폐쇄 부재 (9) 는 폐쇄 방향 (10) 으로 상기 개방위치로부터 상기 폐쇄위치로 직선으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄 방향 (10) 과 반대로 상기 폐쇄위치로부터 상기 개방위치로 직선으로 이동 가능하며, 상기 수동 드라이브는, 회전 피스 (rotary piece, 11) 와 연결된 제 1 드라이브 부품 (13, 13') 과 상기 폐쇄 부재 (9) 와 연결된 제 2 드라이브 부품 (14, 14') 을 가지며 상기 회전 피스 (11) 에 의해 작동 가능한 나사 메커니즘을 구비하고, 상기 제 1 및 제 2 드라이브 부품들 (13, 13', 14, 14') 중 하나는 수나사를 구비하고 다른 것은 암나사를 구비하며, 상기 제 1 및 제 2 드라이브 부품들은 나사 맞물림되고, 폐쇄 회전방향 (20) 으로의 상기 회전 피스 (11) 의 회전을 통해, 상기 개방위치에 있는 상기 폐쇄 부재 (9) 는 상기 폐쇄 방향 (10) 으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄 회전방향 (20) 과 반대로 향한 개방 회전방향 (24) 으로의 상기 회전 피스 (11) 의 회전을 통해, 상기 폐쇄위치에 있는 상기 폐쇄 부재 (9) 는 상기 폐쇄 방향 (10) 과 반대로 이동 가능하며, 이때 상기 폐쇄 부재 (9) 를 상기 폐쇄 부재 (9) 의 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 폐쇄 방향 (10) 으로 가압하는 폐쇄 스프링 (16) 이 존재하고,
상기 폐쇄 스프링 (16) 은 상기 밸브 하우징 (1) 과 상기 폐쇄 부재 (9) 사이에 작용하며, 상기 폐쇄 부재 (9) 를 상기 폐쇄 부재 (9) 의 상기 개방위치에 있어서도 상기 폐쇄 방향 (10) 으로 가압하고, 상기 제 1 드라이브 부품 (13, 13') 은 상기 폐쇄 방향 (10) 에 대해 평행으로 상기 밸브 하우징 (1) 에 대해 이동 가능하며, 상기 폐쇄 부재 (9) 의 상기 개방위치에 있어서 상기 폐쇄 부재 (9) 는 상기 회전 피스 (11) 의 또는 상기 제 1 드라이브 부품 (13, 13') 의 스톱면 (stop surface, 19) 이 밀착되어 있는 지지 스톱 (support stop, 17) 을 이용해 상기 폐쇄 방향 (10) 으로의 이동에 대항하여 유지되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 폐쇄 부재 (9) 의 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 폐쇄 회전방향 (20) 으로의 상기 회전 피스 (11) 의 회전은 제한 스톱 (limiting stop, 18, 18') 을 통해 제한되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 2 항에 있어서,
상기 폐쇄 회전방향 (20) 으로 수행되는 상기 회전 피스 (11) 의 회전을 상기 제한 스톱 (18) 을 통해 제한할 시에, 상기 회전 피스 (11) 또는 상기 제 1 드라이브 부품 (13) 은 상기 제한 스톱 (18) 에 밀착하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 3 항에 있어서,
상기 제한 스톱 (18) 에 밀착하는 상기 회전 피스 (11) 또는 상기 제 1 드라이브 부품 (13) 은, 상기 폐쇄 회전방향 (20) 으로 상기 회전 피스 (11) 에 작용하는 토크의 한계값을 초과할시 상기 제한 스톱을 파괴하지 않고 지나갈 수 있고, 상기 제한 스톱 (18) 이 지나감에 대항하는 힘은 바람직하게는, 상기 폐쇄 부재 (9) 의 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 폐쇄 스프링 (16) 에 의해 상기 폐쇄 부재 (9) 에 가해진 힘보다 작은 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 4 항에 있어서,
상기 제한 스톱 (18) 은 스프링 암 (spring arm, 22) 에 배치된 적어도 하나의 돌출부에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 5 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 스프링 암 (22) 은 상기 밸브 하우징 (1) 에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 폐쇄 회전방향 (20) 으로 수행되는 상기 회전 피스 (11) 의 회전을 제한 스톱 (18') 을 통해 제한할 시에, 상기 수나사를 구비하는 제 1 또는 제 2 드라이브 부품 (13', 14') 의 돌출부는 이 두 드라이브 부품 (13', 14') 중 다른 것에 밀착하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회전 피스 (11) 와 연결된 제 1 드라이브 부품 (13, 13') 은 상기 수나사를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 8 항에 있어서,
상기 제 2 드라이브 부품 (14) 은 상기 폐쇄 부재 (9) 와 연결된 밸브 로드 (valve rod) 에 의해 형성되고, 상기 밸브 로드는 암나사를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 드라이브 부품 (13, 13', 14. 14') 의 상기 서로 맞물리는 나사들 (threads) 은 왼 나사들 (left-hand threads) 인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 드라이브 부품 (14, 14') 은 상기 밸브 하우징 (1) 에 의해 이동 가능하게 안내되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.