CN104976350A - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种真空阀，其包括：具有阀座的阀壳体；封闭元件，其在关闭位置中被压紧到阀座处而在打开位置中被从阀座取下；和手动驱动器，借助于其可线性移动封闭元件且其具有可由旋转件操纵的螺旋传动装置，螺旋传动装置带有与旋转件相连接的第一驱动件和与封闭元件相连接的第二驱动件，其中，第一和第二驱动件处于螺纹接合中，驱动件中的一个具有外螺纹而另一个具有内螺纹。闭合弹簧在阀壳体与封闭元件之间起作用。第一驱动件可平行于关闭方向相对阀壳体移动，其中，在封闭元件的打开位置中封闭元件借助于支撑-止挡被保持以防在关闭方向上移动，旋转件或第一驱动件的止挡面贴靠在支撑-止挡处。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种一种真空阀，其包括：具有阀座的阀壳体；封闭元件(Verschlussglied)，其在关闭位置中在真空阀的关闭的状态中被压紧到阀座处而在打开位置中在真空阀的打开的状态中被从阀座抬起；和手动驱动器(Handantrieb)，封闭元件借助于手动驱动器能够在关闭方向上从打开位置线性移动到关闭位置中和逆着关闭方向从关闭位置线性移动到打开位置中并且手动驱动器具有能够由旋转件操纵的螺旋传动装置(Schraubengetriebe)，其带有与旋转件相连接的第一驱动件和与封闭元件相连接的第二驱动件，其中，第一和第二驱动件处于螺纹接合中，驱动件中的一个具有外螺纹而另一个具有内螺纹，并且通过旋转件在关闭旋转方向(Schliessdrehsinn)上的旋转位于打开位置中的封闭元件能够在关闭方向上移动而通过旋转件在与关闭旋转方向相反的打开旋转方向上的旋转位于关闭位置中的封闭元件能够逆着关闭方向移动，且其中，存在在封闭元件的关闭位置中在关闭方向上加载封闭元件的闭合弹簧。
背景技术
真空阀(在其中封闭元件通过手动驱动器在打开位置与关闭位置之间被线性调节)尤其以角阀的形式已知。在角阀中，阀壳体的阀开口(其在真空阀的打开的状态中相互连通而在真空阀的关闭的状态中相对彼此密封)的轴线彼此成角度、尤其成直角。在此，阀座通常与阀开口中的一个同轴。在这样的预先已知的真空阀的另一构造形式中，第一和第二阀开口彼此同轴而阀座处在倾斜于此的平面中，其中，封闭元件的线性调节在与阀开口的轴线成角度的方向上实现。
带有手动驱动器的角阀例如由文件DE 31 25 034 A1和DE 10 2008 003 725 A1得悉。与可手动被操纵的旋转件(其以旋钮或手轮的形式来构造)连接有螺纹轴(Gewindespindel)，其与阀壳体的具有内螺纹且因此形成(固定的)轴螺母的截段处于螺纹接合中。封闭元件与螺纹轴通过杆相连接。
在另一预先已知的市场上可获得的带有手动驱动器的角阀中，与旋转件相连接的螺纹轴具有第一和第二螺纹截段。第一螺纹截段被拧入封闭元件的内螺纹中。第二螺纹截段被拧入与封闭元件相连接的阀杆的内螺纹中。在此，封闭元件和阀杆通过在封闭元件与阀壳体之间延伸的盒管(Balg)来防止扭转。这两个螺纹截段具有带有不同旋转方向的螺纹，即右旋的和左旋的螺纹。在旋转件旋转时，由此一方面产生在螺纹轴与阀壳体之间的行程而另一方面产生在相同方向上在螺纹轴与阀杆之间的行程。对于打开和关闭真空阀必需的旋转件的转数由此被减半。
一种开头所提及的类型的真空阀由文件US 2006/0169940 A1得悉。示出一个以角阀的形式构造的实施例，在其中螺纹轴可旋转地、但是在轴向上不可移动地被支承在阀壳体中。在螺纹轴上布置有抗扭的螺纹螺母且在螺纹螺母与封闭元件之间布置有弹簧。因此，轴螺母经由弹簧作用到封闭元件上。在封闭元件安放在阀座处之后，因此可通过弹簧的相应压缩来实现期望的压紧力。该阀尤其是高真空阀，其中，封闭元件至少在邻接到阀座处的截段中完全由金属构成。
除了手动运行的角阀之外，经常使用由气动地作用的活塞缸体单元驱动的角阀。这样的真空阀例如由文件US 2009/0194728 A1、DE 40 23 845 C1和US 6,289,932 B1得悉。为了在压力介质失效的情况下保证真空阀的关闭状态设置有闭合弹簧，其在阀壳体与封闭元件之间起作用。
其它类型的带有可线性调节的封闭元件的真空阀例如由文件US 7,011,294、DE 37 17 724 A1和DE 38 31 249 A1得悉。在由文件US 7,011,294已知的真空阀中，封闭元件楔形地来构造。文件DE 37 17 724 A1和DE 38 31 249 A1示出了带有密封件和与其共同起作用的密封面的真空阀，其具有其它三维形状。
由文件US 6,669,170 B2得悉一种以角阀的形式构造的具有手动驱动器的真空阀。旋转件设有曲面(Kurvenflaeche)，其与布置在阀壳体处的曲面共同作用。共同作用的曲面是一种滑块引导(Kulissenfuehrung)，使得旋转件在其扭转时轴向移动。被安装在封闭元件处的阀杆设有法兰。在阀壳体与封闭元件之间作用有闭合弹簧。其在封闭元件的打开位置中将被安装在阀杆处的法兰拉向旋转件的止挡面。在法兰与旋转件之间作用有卡入元件，使得旋转件可在不同的旋转位置中卡入。在封闭元件的关闭位置中，法兰可从止挡面抬起。该真空阀的手动驱动器的构造与提高的制造成本相联系，尤其由于共同作用的曲面和该手动驱动器的另外的共同作用的部件的构造。
发明内容
本发明的目的是提供一种开头所提及的类型的操作可靠的且成本有利地构造的真空阀。根据本发明，这通过一种带有权利要求1的特征的真空阀来实现。
在根据本发明的真空阀中，闭合弹簧在阀壳体与封闭元件之间起作用且还在封闭元件的打开位置中在关闭方向上加载封闭元件。另外，第一驱动件可平行于关闭方向相对阀壳体移动，其中，在封闭元件的打开位置中封闭元件借助于支撑止挡(旋转件的或第一驱动件的止挡面贴靠在其处)被保持以防由闭合弹簧的力引起的在关闭方向上的移动。在封闭元件的关闭位置中，支撑-止挡被从旋转件的或第一驱动件的止挡面抬起(=相间隔)，也就是说第一驱动件相对在封闭元件的打开位置中所占据的位置逆着关闭方向被移动。因此，可由闭合弹簧单独地来施加足够的闭合力，以该力将封闭元件在关闭位置中压紧到阀座处，使得真空阀被密封。在此，第一驱动件可以是没有力的。由闭合弹簧所施加的闭合力由闭合弹簧直接引入阀壳体中。
以该方式可实现带有较少数量单独部件的真空阀的非常简单的构造。在根据本发明的真空阀中，成本可被保持得非常低，其中，在这样的批量生产中较小的成本节省已相当重要。
同时，根据本发明的真空阀可特别操作可靠地来构造。尤其可避免由于旋转件的太强的拉紧施加在封闭元件的关闭位置中密封真空阀的弹性密封圈的过度的应力负荷。必需的密封力可由闭合弹簧单独来施加且由此可实现非常良好地限定的密封力。
为了还在触觉上告知用户真空阀的完全关闭的状态，从而避免这两个驱动件无意地彼此完全旋开到分离的状态中，有利地存在限制-止挡，其限制旋转件在关闭旋转方向上的旋转。为了在此防止施加太大的附加的在关闭方向上作用的力(通过其尤其可能损坏在其关闭的状态中密封真空阀的弹性密封圈)到封闭元件上，优选地设置成，限制-止挡在超过在关闭旋转方向上作用到旋转件上的转矩的极限值的情况下可驶越、尤其无破坏地。限制-止挡即仅直至作用到旋转件上的转矩的极限值起作用。有利地，该力(在该力的情况下限制-止挡打开(被驶越))小于由闭合弹簧在关闭位置中施加到封闭元件上的力。
在本发明的一可能的实施形式中，限制-止挡由至少一个凸起(其布置在弹簧臂处且其与在旋转件处或在第一驱动件处的止挡面共同作用)形成。
在另一可能的实施形式中，为了构造限制-止挡，布置在这两个驱动件中的一个处的凸起可贴靠在这两个驱动件中的另一个的止挡面处。
根据本发明的真空阀可构造为角阀。其它构造(在其中封闭元件在打开位置与关闭位置之间被线性移动)也是可考虑的且可能的。
附图说明
接下来根据附图来阐述本发明的另外的优点和细节。其中：
图1显示了根据本发明的真空阀的一实施例的斜视图；
图2和3显示了侧视图和俯视图；
图4显示了在封闭元件的打开位置中沿着图2的线AA的剖面；
图5显示了沿着图2的线AA的剖面，但是在封闭元件在真空阀关闭时贴靠到阀座处的位置中；
图6显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图2的线AA的剖面；
图7显示了沿着图3的线BB的剖面，封闭元件在与在图5中相同的位置中；
图8显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图3的线BB的剖面；
图9显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图3的线BB的剖面，其中，限制-止挡被旋转件驶越；
图10显示了布置在阀座的区域中的密封单元的斜视图；
图11和12显示了真空阀在不同观察方向上的分解图示；
图13显示了本发明的另一实施形式的示意性图示。
附图标记清单
1 阀壳体
1a 基体
1b 壳体盖
1c 阀接管
1d 阀接管
2 螺栓
2a 头部
3 密封单元
3a 支架
3b 密封件
3c 密封件
4 阀座
5 第一阀开口
6 第二阀开口
7 轴线
8 轴线
9 封闭元件
10 关闭方向
11 旋转件
12 旋转轴线
13,13' 第一驱动件
14,14' 第二驱动件
15 导向套
16 闭合弹簧
17 支撑-止挡
18,18' 限制-止挡
19 止挡面
20 关闭旋转方向
21,21' 止挡面
22 弹簧臂
23 环形凸缘
24 打开旋转方向
25 盒管
26 密封件
27 标记环。
具体实施方式
本发明的一实施例在图1至12中示出。
真空阀具有阀壳体1。在该实施例中，其包括与阀壳体的基体1a旋拧的壳体盖1b。基体1a设有阀接管1c。阀壳体1的另一阀接管1d经由螺栓2的头部2a和/或布置在其之下的垫圈与阀壳体1相连接。在此，阀接管1d借助于弹性的密封件3b相对基体1a密封。密封件3b布置在支架3a处，在支架处此外布置弹性的密封件3c，其置于布置在阀接管1d处的密封面上。密封件3c形成真空阀的动态密封用于在关闭的状态中密封真空阀。
阀接管1d也可与基体1a一件式地来构造或焊接在其处，以此将取消密封件3b。阀接管1c同样可由单独的部件形成且与基体1a例如经由螺栓连接相连接，其中，另外密封件将被布置在这两个部件之间。
阀接管1c、1d设有用于与另外的真空构件、例如真空腔或管路连接的法兰。
阀接管1c和1d形成真空阀的第一和第二阀开口5、6。阀接管1c、1d也可取消而阀开口5、6直接布置在基体1a中或在直接布置在基体处的法兰中。
真空阀的所示的实施例以角阀的形式来构造。因此，第一和第二阀开口5、6的轴线7、8彼此成角度、尤其成直角。
在阀壳体1中布置有尤其板状构造的封闭元件9。在真空阀的关闭的(密封的)状态中，封闭元件9占据其关闭位置且被压紧到阀座4处。在该实施例中，阀座4由布置在阀接管1d处的、优选地平的密封面和置于其上的密封件3c形成。密封面(密封件3c置于其上)也可布置在阀壳体的另一部件处、尤其在基体1a处。在其它可能的构造形式中，在封闭元件9处也可布置有弹性的密封件而阀座可仅由阀壳体1的密封面形成。
从真空阀的完全打开的状态(在该状态中封闭元件9位于其打开位置中且被从阀座4抬起(参见图4))出发，封闭元件9为了关闭真空阀在关闭方向10上被线性(直线)移动。从真空阀的关闭的状态(在该状态中封闭元件9被压紧到阀座4处(参见图6))出发，封闭元件逆着关闭方向10被线性移动。
在该实施例中，关闭方向平行于第一阀开口5的轴线7。在其它实施例中，关闭方向10也可倾斜于轴线7。阀座4那么将在相应倾斜的位置中被布置在阀壳体1处。
使用手动驱动器用于封闭元件9在打开与关闭位置之间的线性调节。其包括可手动操纵的旋转件11。旋转件也可被称为旋钮或手轮。旋转件11可围绕平行于关闭方向10、尤其与关闭方向10重合的旋转轴线12旋转。
通过旋转件11的旋转来操纵螺旋传动装置。其包括与旋转件11抗扭地、例如刚性地相连接的第一驱动件13和与封闭元件9在旋转轴线12的轴向上不可移动地、例如刚性地相连接的第二驱动件14。驱动件13、14中的一个(在该实施例中第一驱动件13)设有外螺纹而这两个驱动件的另一个(在实施例中第二个驱动件14)设有内螺纹。经由该外螺纹和内螺纹，这两个驱动件13、14处于螺纹接合中。设有外螺纹的驱动件也可被称为螺纹轴而设有内螺纹的驱动件被称为轴螺母。
与旋转件11相连接的第一驱动件设有内螺纹而与封闭元件9相连接的第二驱动件设有外螺纹的实施形式也是可考虑的且可能的。
在该实施例中，第二驱动件14以平行于旋转轴线12的阀杆的形式来构造，封闭元件9被保持在阀杆处。在与封闭元件9背对的端部处，阀杆设有具有内螺纹的盲孔。例如，阀杆也可贯穿空心地来构造。
第二驱动件14由阀壳体1在壳体盖1b的区域中可移动地来引导。在此，壳体盖1b可有利地如所示出的那样具有以导向套15的形式的截段。
在壳体盖1b与封闭元件9之间作用有闭合弹簧16。其在一端处支撑在壳体盖1b处而在另一端处支撑在封闭元件9处。代替其支撑在封闭元件9处，其也可支撑在第二驱动件14的凸起处。
旋转件11和与其相连接的第一驱动件13可在关闭方向10上和逆着关闭方向10相对阀壳体1受限制地移动。在关闭方向10上的可移动性通过支撑-止挡17来限制。逆着关闭方向10的可移动性通过限制-止挡18来限制，至少直至作用到限制-止挡18上的力的极限值。
限制-止挡18布置在被安装在阀壳体1处的至少一个部件处，在图1至12中示出的实施例中布置在被安装在阀壳体1处的弹簧臂22处，如下面另外更详细地来阐述的那样。
支撑-止挡17相对阀壳体在关闭方向10上不可移动，优选地逆着关闭方向10也不可移动。支撑-止挡17尤其由阀壳体1的部件来形成，例如如所示出的那样由从壳体盖1b向外伸出的环形件形成。支撑-止挡17也可由刚性地或可旋转地与阀壳体1相连接的部件来形成。
在封闭元件9的打开位置中，当真空阀被完全打开时，同样在封闭元件9在打开位置与关闭位置之间的中间位置中，只要封闭元件9与阀座4相间隔，旋转件11以止挡面19贴靠在支撑-止挡17处，使得旋转件11和因此第一驱动件13经由在驱动件13、14之间的螺纹接合而另外第二驱动件14和与第二驱动件14相连接的封闭元件9逆着通过闭合弹簧16的力在关闭方向10上实现的移动来支撑。止挡面19也可布置在第一驱动件13的凸起处。
为了从封闭元件9的打开位置出发关闭真空阀，使旋转件11在关闭旋转方向20上旋转。封闭元件9由此接近阀座4，直到其贴靠到该阀座处，其中，密封件3c首先(在通过封闭元件9第一次接触的情况下)还未被压缩。该状态在图5和7中示出。封闭元件9的与限制-止挡18共同作用的止挡面21在封闭元件9的该位置中还与限制-止挡18相间隔。在旋转件11在关闭旋转方向20上进一步旋转的情况下，密封件3c被闭合弹簧16压缩，其中，止挡面19从支撑-止挡17抬起，亦即通过第一驱动件13和旋转件11与其逆着关闭方向10相对阀壳体1的移动。一旦止挡面19被从支撑-止挡17抬起，达到封闭元件9的关闭位置。当止挡面21与限制-止挡18相间隔时，已是这种情况。因此，在该状态中仅由闭合弹簧16来施加将封闭元件9压向阀座4的密封力。
当使封闭元件9继续在关闭旋转方向20上旋转时，第一驱动件13和封闭元件9与其逆着关闭方向10相对阀壳体1移动且止挡面21进一步靠近限制-止挡18，直到止挡面21贴靠在限制-止挡18处。由此在触觉上告知用户，真空阀被完全关闭且封闭元件9位于其关闭位置中。该状态在图6和8中示出。
为了还在视觉上告知用户真空阀被完全关闭且封闭元件9位于其关闭位置中，优选地设置有尤其彩色的标记环27，其布置在旋转件11处且在止挡面21贴靠在限制-止挡18处时被从环形件(其形成支撑-止挡17)中移出，参见图6。
当随后使旋转件继续在关闭旋转方向20上旋转时，由封闭元件9施加到密封件3c上的力被提高。但是在超过在关闭旋转方向20上作用到旋转件11上的转矩的极限值的情况下限制-止挡18屈服且止挡面21可在限制-止挡18处驶过。在限制-止挡18处驶过的状态在图9中示出。以此来限制由手动驱动器最大施加到密封件3c上的力。
最大可由限制-止挡18吸收的力(以其来保持止挡面21)优选地小于由闭合弹簧16在封闭元件9的关闭位置中施加到封闭元件9上的力。
由闭合弹簧16施加的力(以其将封闭元件9压紧到阀座4处)(=密封力)优选地处在0.5至10N/mm密封长度的范围中，其中，1至4N/mm密封长度的值是特别优选的。
在该实施例中，限制-止挡18由多个凸起来形成，其布置在相应的弹簧臂22处。弹簧臂22在围绕旋转轴线12的周向上彼此相间隔且与旋转件11的环形凸缘23(其具有止挡面21)共同作用。当以增加的力将环形凸缘23压向在弹簧臂22处的凸起时，弹簧臂22变形，直到弹簧臂22的凸起最后从环形凸缘23滑下。
在阀壳体1具有基体1a和壳体盖1b的实施例中，其中，在旋转件11与封闭元件之间的连接件延伸通过壳体盖1b中的开口，弹簧臂22在外面安装在壳体盖1b处且从壳体盖1b在向旋转件11的方向上伸出。
限制-止挡的其它构造方案是可考虑的且可能的。
驱动件13、14的共同作用的螺纹优选地构造为左旋螺纹。由此，关闭旋转方向20以直观的方式顺时针取向。
为了打开真空阀，使旋转件11在与关闭旋转方向20相反的打开旋转方向24上旋转。在打开旋转方向24上的可旋转性例如可通过第二驱动件14的由封闭元件9放置的端部在第一驱动件13处的止挡来限制，以此达到封闭元件9的打开位置。
在阀壳体1的内腔中构造有相对外腔密封的真空区域。为了密封该真空区域，在所示出的实施例中设置有盒管25。其在一端处与封闭元件9真空密封地相连接(例如通过焊接)而在另一端处真空密封地与阀壳体1相连接。例如对此在盒管25处可焊接有法兰盘，其经由密封圈26相对阀壳体1的基体1a密封。因此，在壳体盖1b与基体1a之间不需要密封件。
在该实施例中构造为波纹盒管的盒管25在附图中仅示意性地示出(在中间的区域中波纹未示出)。盒管25也可构造为折叠盒管或膜片盒管。
在该实施例中，通过盒管25还来防止封闭元件9和因此第二驱动件14围绕旋转轴线12扭转。在此，封闭元件9抗扭地与第二驱动件14相连接。
阀壳体1的真空区域相对被手动驱动器贯穿的通过阀壳体1的穿引部的密封也可以以其它方式实现。例如，在导向套15与杆状的第二驱动件14之间可布置有密封圈。那么将对于第二驱动件14设置单独的防扭转部，例如通过在第二驱动件14的由封闭元件9放置的端部的区域中向外伸出的鼻部，其进到在壳体盖1b或导向套15中的轴向槽中。
在本发明的一修改的实施形式中，代替在附图中示出的支撑-止挡17，这样的支撑-止挡例如可由导向套15的面向旋转件11的端面17'来形成，其中，导向套15在该端部的区域中伸出超过壳体盖1b的相邻的区域，尤其参见图4。与该由端面17'形成的支撑-止挡共同作用的止挡面那么可由旋转件11的截段(在其处布置环形凸缘23(参见图4和7))的面向壳体盖1b的面19'来形成。面17'和19'那么将在真空阀的打开的状态中彼此贴靠而在面17与19之间那么将在真空阀的打开的状态中存在间距或者也可取消在壳体盖1b处的具有面19的环形件。
通过根据本发明的真空阀的构造可以以简单的方式提供一种模块化的系统，利用其不仅可构造带有手动驱动器的真空阀而且可构造自动的(机械的)驱动器、尤其气动的或电气的驱动器的真空阀。例如，为了构造气动的驱动器可在图1至12中示出的阀中去掉带有安装在其处的第一驱动件13的旋转件11以及壳体盖1b。代替所示出的壳体盖1b，气动的活塞缸体单元的缸体可被与基体1a相连接。布置在缸体中的活塞那么可具有带有外螺纹的活塞杆，其被拧入第二驱动件14的内螺纹中。在通过气动的活塞缸体单元操纵封闭元件9时，在该情况中不实现螺纹连接的扭转。
本发明的一修改的实施例示意性地在图13中示出。此处仅示出手动驱动器和阀壳体1的截段。该构造除了接下来所说明的区别相应于前述实施例。
与旋转件11相连接的驱动件13'又具有外螺纹且以其拧入设有内螺纹的第二驱动件14'中。与封闭元件9相连接的第二驱动件14'此处罐状地来构造。
限制-止挡18'此处由在第一驱动件13'的由旋转件11放置的端部处的环状的凸起来构造。为了限制在封闭元件9的关闭位置中旋转件11在关闭旋转方向20上的旋转，限制-止挡18'抵靠到在第二驱动件14'处的止挡面21'处。由此锁止旋转件11在关闭旋转方向20上的进一步旋转。在该实施例中，在第二驱动件14'处的止挡面21'贴靠的情况下不由于在关闭旋转方向20上施加到旋转件11上的转矩而产生密封件26(其相对阀壳体1密封封闭元件9)的附加的压紧。限制-止挡18'的可驶越的构造因此在该实施例中是不必要的。
在图13中示出的实施例中，密封件26布置在封闭元件9处。但是取而代之，阀座又可具有密封件，例如相应于密封单元3的密封件3c。
所示出的实施例的不同的变型是可考虑的且可能的，而不离开本发明的范围。例如，阀开口5、6也可布置在阀壳体1的相对的侧面上，使得阀开口5、6的轴线7、8彼此平行。阀座4那么可在阀壳体中倾斜于轴线7、8来布置且旋转轴线12相应地倾斜于轴线7、8。
在根据本发明的真空阀中，封闭元件和阀座也可具有与所示出的形状不同的形状。由此，封闭元件例如可楔形地来构造且与相应地构造的阀座共同作用。布置在封闭元件处或在阀座处的密封件和与此共同作用的布置在这两个部件中的另一个处的密封面也可具有其它三维形状，如这已知的那样。

Claims (11)

1. 一种真空阀，其包括：具有阀座(4)的阀壳体(1)；封闭元件(9)，其在关闭位置中在所述真空阀的关闭的状态中被压紧到所述阀座(4)处而在打开位置中在所述真空阀的打开的状态中被从所述阀座抬起；和手动驱动器，所述封闭元件(9)借助于所述手动驱动器能够在关闭方向(10)上从所述打开位置线性移动到所述关闭位置中和逆着所述关闭方向(10)从所述关闭位置线性移动到所述打开位置中并且所述手动驱动器具有能够由旋转件(11)操纵的螺旋传动装置，其带有与所述旋转件(11)相连接的第一驱动件(13,13')和与所述封闭元件(9)相连接的第二驱动件(14,14')，其中，第一和第二驱动件(13,13',14,14')处于螺纹接合中，所述驱动件中的一个具有外螺纹而另一个具有内螺纹，并且通过所述旋转件(11)在关闭旋转方向(20)上的旋转位于所述打开位置中的所述封闭元件(9)能够在所述关闭方向(10)上移动而通过所述旋转件(11)在与所述关闭旋转方向(20)相反的打开旋转方向(24)上的旋转位于所述关闭位置中的所述封闭元件(9)能够逆着所述关闭方向(10)移动，且其中，存在在所述封闭元件(9)的关闭位置中在所述关闭方向(10)上加载所述封闭元件(9)的闭合弹簧(16)，其特征在于，所述闭合弹簧(16)在所述阀壳体(1)与所述封闭元件(9)之间起作用且也在所述封闭元件(9)的打开位置中在所述关闭方向(10)上加载所述封闭元件(9)，并且所述第一驱动件(13,13')能够平行于所述关闭方向(10)相对所述阀壳体(1)移动，其中，在所述封闭元件(9)的打开位置中所述封闭元件(9)借助于支撑-止挡(17)被保持以防在所述关闭方向(10)上移动，所述旋转件(11)的或所述第一驱动件(13,13')的止挡面(19)贴靠在所述支撑-止挡(17)处。
2. 根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，在所述封闭元件(9)的关闭位置中所述旋转件(11)在所述关闭旋转方向(20)上的旋转通过限制-止挡(18,18')来限制。
3. 根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于，在通过所述限制-止挡(18)限制所述旋转件(11)的在所述关闭旋转方向(20)上实现的旋转的情况下所述旋转件(11)或所述第一驱动件(13)贴靠在所述限制-止挡(18)处。
4. 根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于，所述限制-止挡(18)能够由贴靠在其处的旋转件(11)或第一驱动件(13)在超过在所述关闭旋转方向(20)上作用到所述旋转件(11)上的转矩的极限值的情况下无破坏地驶越，其中，由所述限制-止挡(18)相反于该驶越的力优选地小于由所述闭合弹簧(16)在所述封闭元件(9)的关闭位置中施加到所述封闭元件(9)上的力。
5. 根据权利要求4所述的真空阀，其特征在于，所述限制-止挡(18)由布置在弹簧臂(22)处的至少一个凸起形成。
6. 根据权利要求5所述的真空阀，其特征在于，至少一个所述弹簧臂(22)被安装在所述阀壳体(1)处。
7. 根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，在通过所述限制-止挡(18')限制所述旋转件(11)的在所述关闭旋转方向(20)上实现的旋转的情况下具有外螺纹的第一或第二驱动件(13',14')的凸起贴靠在这两个驱动件(13',14')中的另一个处。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的真空阀，其特征在于，与所述旋转件(11)相连接的第一驱动件(13,13')具有外螺纹。
9. 根据权利要求8所述的真空阀，其特征在于，所述第二驱动件(14)由与所述封闭元件(9)相连接的具有内螺纹的阀杆形成。
10. 根据权利要求1至9中任一项所述的真空阀，其特征在于，第一和第二驱动件(13,13',14,14')的相互处于接合中的螺纹是左旋螺纹。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述第二驱动件(14,14')由所述阀壳体(1)可移动地来引导。
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