CH695247A5 - Vakuumventil - Google Patents

Vakuumventil Download PDF

Info

Publication number
CH695247A5
CH695247A5 CH01196/00A CH11962000A CH695247A5 CH 695247 A5 CH695247 A5 CH 695247A5 CH 01196/00 A CH01196/00 A CH 01196/00A CH 11962000 A CH11962000 A CH 11962000A CH 695247 A5 CH695247 A5 CH 695247A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
valve body
vacuum valve
valve according
conductance
actuator
Prior art date
Application number
CH01196/00A
Other languages
English (en)
Inventor
Heinz-Hermann Kersken
Willy Maurer
Original Assignee
Balzers Hochvakuum
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Hochvakuum filed Critical Balzers Hochvakuum
Priority to CH01196/00A priority Critical patent/CH695247A5/de
Priority to DE20017298U priority patent/DE20017298U1/de
Priority to US09/863,488 priority patent/US6669170B2/en
Priority to DE10127384A priority patent/DE10127384A1/de
Priority to GB0114567A priority patent/GB2364112B/en
Publication of CH695247A5 publication Critical patent/CH695247A5/de

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K35/00Means to prevent accidental or unauthorised actuation
    • F16K35/04Means to prevent accidental or unauthorised actuation yieldingly resisting the actuation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K41/00Spindle sealings
    • F16K41/10Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
    • F16K41/103Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube the diaphragm and the closure member being integrated in one member
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)

Description


  [0001] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vakuumventil mit einem Ventilgehäuse, im Ventilgehäuse einer durchgehenden, Leitwert-zu-stellenden Leitung, weiter einen in die Leitung eingreifenden, beweglich gelagerten Ventilkörper, der, in Funktion seiner Position, den Leitwert der Leitung dominierend festlegt sowie einer mit dem Ventilkörper verbunden Stellereinrichtung. 

[0002] Vakuumventile unterscheiden sich baulich grundsätzlich von Ventilen für andere Einsatzzwecke dadurch, dass, nebst anderen Eigenheiten, die Stellereinrichtung, welche den Ventilkörper bzw. Ventilteller stellt, als eine bezüglich des Ventilgehäuses bewegliche Einheit, von der Leitung abgekapselt ist. Dies, um eine Bewegungsabrieb-bedingte Kontamination der in der Leitung herrschenden Vakuumatmosphäre zu vermeiden.

   Oft erfolgt diese Abkapselung mit Hilfe eines Metallbalges, welcher zwischen Ventilkörper einerseits und gehäuseseitiger Wandung der erwähnten Leitung eingebaut ist. In diesem Balg sind die auf den Ventilkörper wirkenden beweglichen Teile der Stellereinrichtung eingebaut. 

[0003] Bekannte Vakuumventile sind in verschiedenen Bauformen bekannt, insbesondere, was im vorliegenden Zusammenhang interessiert, was ihre Stelleigenschaften anbelangt. Es sind Vakuumventile bekannt, welche in zwei vorgegebenen Positionen gestellt werden können, nämlich entsprechend der Erstellung eines minimalen Leitungsleitwertes in ihrer geschlossenen Position, und einer maximalen, in ihrer geöffneten Position. Solche "binär" wirkenden Vakuumventile werden beispielsweise als Auf-/Zu-Ventile zum Fluten bzw.

   Evakuieren von Vakuumanlagen eingesetzt oder als Schleusenventile. 

[0004] Andere Bauformen von Vakuumventilen erlauben eine stufenlose Verstellung von minimalem Leitwert (geschlossene Position) zu maximalem Leitwert (geöffnete Position), wobei die Leitwerteinstellung in Zwischenpositionen nicht reproduzierbar und nur grob abschätzbar möglich ist. 

[0005] Bei den letzterwähnten Bauformen ist ein schnelles Öffnen bzw. Schliessen der Ventile nicht möglich, weil zum Umstellen von der einen in die andere Extremposition ein relativ langer Einstellungsweg zu durchlaufen ist.

   Weist ein solches Ventil zwischen Stellereinrichtung einerseits und Gehäuse anderseits z.B. eine Gewindeführung auf, so ist leicht ersichtlich, dass je nach Steigung des gewählten Gewindes etliche Umdrehungen an der Stellereinrichtung notwendig sind, um den Ventilkörper von der einen in die andere Extremposition zu treiben. 

[0006] Derartige Spindelventile benötigen üblicherweise 5 bis 15 Betätigungsumdrehungen, damit der Ventilkörper seinen vollständigen Stellhub durchläuft. 

[0007] Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Vakuumventil vorzuschlagen, mittels welchem exakt vorgegebene Leitwerte der ventilkörpergestellten Leitung reproduzierbar und schnell einstellbar sind.

   

[0008] Dies wird an einem Vakuumventil eingangs genannter Art dadurch erreicht, dass entlang des Hubes der Stelleinrichtung örtlich versetzte Einrasteinrichtungen wirksam sind, in die die Stelleinrichtung für vorgegebene Stellhubpositionen einrastet, wobei das Einrasten an den jeweiligen Einrasteinrichtungen durch Erhöhung einer auf die Stelleinrichtung wirkenden Antriebskraft wieder lösbar ist. 

[0009] Durch erfindungsgemässes Vorsehen der erwähnten Einrasteinrichtungen wird es möglich, die Stelleinrichtung rasch in eine Einrastposition zu bewegen, welche einer exakt vorgegebenen Ventilkörperposition und damit einem exakt vorgegebenen, resultierenden Leitwert an der erwähnten Leitung entspricht.

   

[0010] In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemässen Vakuumventils ist die Hubbewegung des Ventilkörpers mittels einer Führungskurve an der Stellereinrichtung bezüglich des Gehäuses geführt. Damit kann durch Wahl der Führungskurve die Bewegungsübertragung von eingangsseitigem, antreibendem Stelleingriff zu ausgangsseitigem Ventilkörperhub gewählt werden.

   In einer weit aus bevorzugten Ausführungsform wird am erfindungsgemässen Vakuumventil ein nicht-linearer Wandler vorgesehen, welcher die bezüglich der Stelleinrichtung eingangsseitige Antriebsbewegung - wie erwähnt nicht linear - an die Hubbewegung für den Ventilkörper überträgt. 

[0011] Damit ist es beispielsweise möglich, zwischen eingangsseitiger Antriebsbewegung auf die Stelleinrichtung und resultierender Hubbewegung eine Abhängigkeit zu wählen, welche einer erwünschten Leitwertveränderung, beispielsweise einer linearen oder erwünscht progressiven, entspricht. 

[0012] Obwohl das erfindungsgemässe Vakuumventil durchaus in Kombination mit einer ausschliesslich linear beweglichen Stelleinrichtung eingesetzt werden kann, wird es weitaus bevorzugt mit einer Stelleinrichtung konzipiert, die drehgetrieben ist und über eine Führungskurve auf den Ventilkörper wirkt.

   

[0013] Weil beim Abheben des Ventilkörpers von seinem in geschlossener Ventilposition beispielsweise dichtendem Sitz die Leitwertzunahme pro zurückgelegter Hubwegeinheit erst schnell, dann zunehmend langsamer erfolgt, wird in einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemässen Vakuumventils vorgeschlagen, dass - betrachtet von einer Stellereinrichtungsposition für minimalen Leitwert (geschlossene Position) hin zu einer Stellereinrichtungsposition für maximalen Leitwert (offene Position) - gleiche Stelleinrichtungs-Antriebswege über einen nicht linearen Bewegungswandler in zunehmende, vorzugsweise progressiv zunehmende Ventilkörperwegstrecken gewandelt werden.

   Damit wird erreicht, dass äusserst fein mit gleichen Antriebsbewegungswegen erst nur geringfügige Hubbewegungen, dann zunehmend grössere realisiert werden, womit sich der erwähnte Leitwert auch im nur wenig geöffneten Ventilkörper-Hubbereich fein abgestuft, beispielsweise linear abgestuft, einstellen lässt. 

[0014] Dies wird bevorzugterweise dadurch realisiert, dass die Stelleinrichtung eingangsseitig drehgetrieben ist und über eine Führungskurve mit drehwinkelabhängig variierender Steigung auf den Ventilkörper wirkt. 

[0015] Insbesondere beim bevorzugten Einsatz des erwähnten nicht linearen Bewegungswandlers wird es nun möglich, nur kurze eingangsseitige Antriebswege einzusetzen, um den Ventilkörper von der einen in die andere Extremposition zu treiben.

   Bei einer linearen Bewegungsübertragung zwischen eingangsseitiger Antriebsbewegung und Ventilkörper-Hubbewegung kann eine Feinstellung des Leitwertes nur durch entsprechend flache Übertragung realisiert werden, bei der ein geringer Ventilkörperhub durch relativ lange eingangsseitige Antriebswege gestellt wird. Bei Einsatz der erfindungsgemäss vorgesehenen nichtlinearen Übertragung kann dies über einen nur geringen eingangsseitigen Antriebsweg für die Stellereinrichtung realisiert werden. Damit wird aber gleichzeitig mit der exakten Einstellbarkeit des Leitwertes ermöglicht, das erfindungsgemässe Ventil mit einer kurzen antriebsseitigen Bewegung voll zu öffnen bzw. voll zu schliessen.

   Dies wird in bevorzugter Ausführungsform des erfindungsgemässen Vakuumventils ausgenützt, bei der die Stelleinrichtung eingangsseitig drehgetrieben ist und der ganze Stellhub des Ventilkörpers bei einer Antriebsdrehbewegung von höchstens 270  , vorzugsweise von höchstens 135 deg. durchlaufen wird. 

[0016] In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform werden, bei Realisation der Stelleinrichtung als eingangsseitig drehgetrieben, die Einrasteinrichtungen als Drehwinkel-Einrasteinrichtungen in mindestens einer Ebene senkrecht zur Drehachse des eingangsseitigen Stelleinrichtungsantriebes eingebaut, dabei bevorzugterweise in Form von Feder-Kugel-/Einnehmungs-Einrasteinrichtungen.

   

[0017] Um im Weiteren am erfindungsgemässen Vakuumventil auch im Hubbereich des Ventilkörpers, unmittelbar nach seinem Abheben von der geschlossenen Position, exakte und relativ fein gestaffelte Leitwerteinstellung vornehmen zu können, wird vorgeschlagen, dass, betrachtet von einer Stellereinrichtungsposition für minimalen Leitwert (geschlossene Position) hin zu einer Stellereinrichtungsposition für maximalen Leitwert, der bezüglich Ventilkörperhub örtliche Versatz der Einrasteinrichtungen erst klein, dann zunehmend grösser gewählt ist. 

[0018] In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform können die Einrasteinrichtungen, baulich zu einer Einrasteinheit kombiniert, einfach ausgetauscht werden. Dies dadurch, dass die Einrasteinrichtungen getrennt von Bewegungsführungen für die Hubbewegung des Ventilkörpers an der Stellereinrichtung eingebaut sind.

   In einer besonders bevorzugten Ausführungsform des Vakuumventils ist die Stellereinrichtung eingangsseitig drehgetrieben und mit einem manuell betätigbaren Drehknopf wirkverbunden. Damit wird dem Umstand Rechnung getragen, dass insbesondere bei manuell stellbaren Vakuumventilen die erwünschte reproduzierbare Leitwerteinstellung ein Problem stellt. 

[0019] Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand von Figuren erläutert.

   Diese zeigen: 
Fig. 1 :  Aus Übersichtsgründen vereinfacht, einen Längsschnitt durch ein erfindungsgemässes, als Eckventil ausgebildetes Vakuumventil in bevorzugter Ausführungsform, 
Fig. 2 :  eine Aufsicht auf die Einrasteinheit am Ventil nach Fig. 1, und 
Fig. 3 :  in Funktion des Antriebsdrehwinkels am Ventil nach Fig. 1, den Ventilkörperhub und die bevorzugte Drehwinkel-zugeordnete Positionierung der erfindungsgemäss vorgesehenen Einrasteinrichtungen. 

[0020] In Fig. 1 ist ein erfindungsgemässes Vakuumventil als handbetätigtes Eckventil dargestellt. In einem Gehäuse 1 mit der Leitwert-zu-stellenden Leitung 3 ist ein Ventilkörper 5, als Ventilteller ausgebildet, eingebaut. Er steht über ein Dichtungselement 7 mit einer Dichtfläche 9 an der Wandung der Leitung 3 in Wirkverbindung.

   Eine Stellereinrichtung 11 umfasst eine Ventilstange 13, welche mit dem Ventilkörper 5 verbunden ist. Am dem Ventilkörper 5 entgegengesetzten Ende der Ventilstange 13 ist, mit ihr fix verbunden über eine Spannzange 17, ein Flansch 15 einer Einrasteinheit eingebaut. Ein manuell betätigbarer Drehknopf 19 der Stellereinrichtung 11 ist bezüglich Ventilstange 13 und damit bezüglich Flansch 15 der Einrasteinheit um die Achse A drehbeweglich. Er liegt mit einem Führungsfortsatz 21 an einer Führungskurve 23 an, die in die Innenwand der Gehäusepartie 1a eingearbeitet ist. Diese Führungskurve 23 weist - wie im Zusammenhang mit Fig. 3 noch zu erläutern sein wird - mit dem Drehwinkel    um Achse A variable Steigung auf. 

[0021] Der Ventilkörper 5 ist mittels einer Druckfeder 25 bezüglich des Gehäuses 1 vorgespannt.

   Ein Metallbalg 27 kapselt Stellereinheit 11 mit Ventilstange 13 von der Leitung 3 ab. 

[0022] Der Drehknopf 19, wie erwähnt bezüglich der Ventilstange 13 und dem Flansch 15 drehbeweglich, weist einen unmittelbar am Flansch 15 anliegenden Gegenflansch 16 auf. Wie schematisch bei 22 dargestellt, sind am Flansch 15 (oder am Flansch 16) eine, vorzugsweise zwei in Richtung der Achse A federnd vorgespannte Rastkugeln eingebaut, an der Fläche des Gegenflansches, also entsprechend 16 oder 15, kugelschalenförmige bzw. kreissektorförmige Einrasteinnehmungen 29, 30, wie sich aus Fig. 2 ergibt. 

[0023] Wie sich aus Fig. 2 ergibt, sind vorzugsweise symmetrisch zur Achse A zwei gleichwirkende Einrast-Sätze je mit einer Federkugel und den Einnehmungen vorgesehen.

   Aus Fig. 1 ergibt sich weiter, dass die Einrasteinheit durch Demontage eines Abschlussdeckes 19a am Drehknopf 19 auswechselbar ist, z.B. um unterschiedliche Zuordnungen von Leitwert und Drehposition des Drehknopfes 19 zu wählen. 

[0024] Das dargestellte Ventil arbeitet wie folgt: 
Die Druckfeder 25 spannt via Ventilkörper 5 und Ventilstange 13 Flansch 15 gegen Flansch 16 und verspannt damit die durch die gefederten Kugeln und Einrasteinnehmungen gebildete Einrasteinheit. Gleichzeitig wird der Führungsfortsatz 21 in Eingriff mit der Führungskurve 23 gezogen. Wird der Drehknopf 19 um die Achse A gedreht, so folgt er, weiterhin federgespannt in Richtung der Achse A, der Führungskurve 23. Er bleibt dabei federgespannt in Eingriff mit dem nicht mitdrehendem Flansch 15 der Einrasteinrichtung.

   Damit läuft die Ventilstange 13 und damit der Ventilkörper 5 nach unten, gesteuert durch den nichtlinearen Bewegungswandler aus Führungskurve 23 und Führungsfortsatz 21. Der sich mit dem Drehknopf 19 bezüglich des Flansches 15 drehende Flansch 16 bewirkt, entsprechend der ausgeführten Drehbewegung   , ein Ausrasten und Wiedereinrasten der Kugeln an den entsprechend vorgesehenen Einnehmungen 29 bzw. 30 gemäss Fig. 2. 

[0025] Über dem Drehwinkel    des Drehknopfes 19 ist in Fig. 3 mit Kurve (a) der Hub H des Ventilkörpers 5 nach Fig. 1 dargestellt.

   Wenn    gleich Null in vollständig geschlossener Position des Vakuumventils definiert ist, d.h. wenn Dichtungselement 7 auf Dichtfläche 9 aufliegt, so ergibt sich mit linear zunehmendem Drehwinkel   , aufgrund der mit dem Führungsfortsatz 21 in Eingriff stehenden Führungskurve 23, der mit Kurve (a) von Fig. 3 dargestellte Ventilkörperhub: Für gleiche Drehwinkelschritte delta    führt der Ventilkörper 5 progressiv grössere Hubbewegungen delta H aus.

   Wie mit der mechanischen Verbindung 32 in Fig. 3 schematisiert, ist der eine Teil der Einrasteinrichtung, also beispielsweise die federnden Kugeln 22, mit Ventilkörper und Ventilstange drehfest verbunden, wohingegen die Einrasteinnehmungen, in den Fig. 2 und 3 mit Nr. 0 bis Nr. 5 nummeriert, und wie ebenfalls schematisch dargestellt mit dem Drehknopf 19 drehfest sind. 

[0026] Wie erwähnt, ändert sich der Leitungs-Leitwert unmittelbar nach Abheben des Ventilkörpers 5 pro durchlaufener Hubbewegung delta H wesentlich stärker als er sich ändert für gleiche Hubschritte, wenn der Ventilkörper 5 bereits weiter abgehoben ist.

   Für ein Aufschalten von Leitwerten, relativ fein abgestuft ab unmittelbarem Öffnen des Ventilkörpers 5, sind deshalb, wie in den Fig. 2 und 3 ersichtlich, die Einrastpositionen für den Drehknopf 19 ausgehend von einer relativ dichten Abfolge zunehmend weiter auseinander gestaffelt. 

[0027] Mit Auslegung, wie sie erläutert wurde, ergibt sich am erfindungsgemässen Vakuumventil z.B. eine Leitwerteinstellbarkeit, entsprechend den Einrastpositionen, von 
<tb>0%:<sep>Position 0


  <tb>5%:<sep>Position 1


  <tb>15%:<sep>Position 2


  <tb>25%:<sep>Position 3


  <tb>40%:<sep>Position 4


  <tb>100:<sep>Endanschlag 5 

[0028] Im Weiteren ist ersichtlich, dass mit einer Drehbewegung des Drehknopfes 19 von höchstens 180 deg. das Ventil zwischen seinen beiden Extrempositionen umgeschaltet werden kann. Trotz dieses kurzen Stellweges ist in Zwischenpositionen eine exakt reproduzierbare Leitwerteinstellung realisiert, und zwar auch für exakte Einstellung geringer Leitwerte.

Claims (12)

1. Vakuumventil mit einem Ventilgehäuse (1), im Ventilgehäuse (1) einer durchgehenden Leitwert-zu stellenden Leitung (3), einem in die Leitung (3) eingreifenden, beweglich gelagerten Ventilkörper (5), der, in Funktion seines Hubes (H), den Leitwert der Leitung (3) dominierend festlegt, einer mit dem Ventilkörper (5) verbundenen Stellereinrichtung (11), dadurch gekennzeichnet, dass entlang des Hubes der Stellereinrichtung (11) örtlich versetzte Einrasteinrichtungen (22; 29, 30) wirksam sind, in die die Stelleinrichtung (11) für vorgegebene Stellhubpositionen einrastet, wobei das Einrasten an den jeweiligen Einrasteinrichtungen (22; 29, 30) durch Erhöhung einer auf die Stelleinrichtung (11) wirkenden Antriebskraft wieder lösbar ist.
2. Vakuumventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hubbewegung (delta H) des Ventilkörpers (5) mittels einer Führungskurve (23) an der Stelleinrichtung (11) bezüglich des Gehäuses (1) geführt ist.
3. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellereinrichtung (11) eine eingangsseitige Antriebsbewegung ( ) über einen nichtlinearen Übertrager (21, 23) an die Hubbewegung delta H für den Ventilkörper (5) überträgt.
4. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Stelleinrichtung eingangsseitig drehgetrieben ( ) ist und über eine Führungskurve (23) auf den Ventilkörper (25) wirkt.
5. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass, betrachtet von einer Stelleinrichtungsposition für minimalen Leitwert (Pos 0) hin zu einer Stelleinrichtungsposition (Pos 5) für maximalen Leitwert, gleiche eingangsseitige Stelleinrichtungsantriebswege (delta ), über einen nicht linearen Bewegungswandler (23, 21), zunehmende, vorzugsweise progressiv zunehmende Hubbewegungen (delta H) erzeugen.
6. Vakuumventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Stelleinrichtung eingangsseitig drehgetrieben ( ) ist und über eine Führungskurve (23) mit variierender Steigung auf den Ventilkörper (5) wirkt.
7. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch ge kennzeichnet, dass die Stelleinrichtung eingangsseitig drehgetrieben ( ) ist und der ganze Stellhub des Ventilkörpers (5) bei einer Drehbewegung von höchstens 270 , vorzugsweise von höchstens 135 , durchlaufen wird.
8. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Stelleinrichtung eingangsseitig drehgetrieben ( ) ist und die Einrasteinrichtungen (22, 30, 29) als Drehwinkel-Einrasteinrichtungen in mindestens einer Ebene senkrecht zur Drehachse (A) des eingangsseitigen Stelleinrichtungsantriebes (19) eingebaut sind, vorzugsweise in Form von Federkugel-/Einnehmungs-Einrasteinrichtungen.
9. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass, betrachtet von einer Stellereinrichtungsposition für minimalen Leitwert (Pos 0) hin zu einer Stellereinrichtungsposition für maximalen Leitwert (Pos 5), der bezüglich Hub (H) örtliche Versatz der Einrasteinrichtungen (22, 29, 30) zunehmend grösser gewählt ist.
10. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrasteinrichtungen (22, 29, 30) aus wechselbar sind.
11. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellereinrichtung eingangsseitig drehgetrieben ( ) ist und mit einem manuell betätigbaren Drehknopf (19) wirkverbunden ist.
12. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellereinrichtung (11) zwischen Ventilkörper (5) und Leitungsinnenwandung (3) balggekapselt (27) ist.
CH01196/00A 2000-06-16 2000-06-16 Vakuumventil CH695247A5 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH01196/00A CH695247A5 (de) 2000-06-16 2000-06-16 Vakuumventil
DE20017298U DE20017298U1 (de) 2000-06-16 2000-10-09 Vakuumventil
US09/863,488 US6669170B2 (en) 2000-06-16 2001-05-23 Vacuum valve
DE10127384A DE10127384A1 (de) 2000-06-16 2001-06-06 Vakuumventil
GB0114567A GB2364112B (en) 2000-06-16 2001-06-15 Vacuum valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH01196/00A CH695247A5 (de) 2000-06-16 2000-06-16 Vakuumventil

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH695247A5 true CH695247A5 (de) 2006-02-15

Family

ID=4562428

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH01196/00A CH695247A5 (de) 2000-06-16 2000-06-16 Vakuumventil

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6669170B2 (de)
CH (1) CH695247A5 (de)
DE (2) DE20017298U1 (de)
GB (1) GB2364112B (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070007475A1 (en) * 2005-07-07 2007-01-11 Peter Zvokelj Vacuum valve
CN100432506C (zh) * 2005-10-10 2008-11-12 旺宏电子股份有限公司 气体阀门
US20090194728A1 (en) * 2008-02-05 2009-08-06 Evan Pickett Wide-Body Pneumatic Valve having Internalized Valve Actuator
DE102009023002B4 (de) * 2009-05-28 2012-02-09 G.S. Anderson Gmbh Membranventil-Antrieb
KR101118271B1 (ko) * 2009-09-03 2012-03-20 국민대학교산학협력단 벨로우즈 글로브 밸브
US8469333B2 (en) * 2010-03-13 2013-06-25 Synapse Engineering, Inc. Counter-biased valve and actuator assembly
JP5296811B2 (ja) * 2011-01-17 2013-09-25 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ及び真空バルブ装置
KR102270597B1 (ko) 2014-04-02 2021-06-29 배트 홀딩 아게 진공밸브
KR102259116B1 (ko) 2014-04-02 2021-06-01 배트 홀딩 아게 진공밸브
EP3171063A1 (de) 2015-11-20 2017-05-24 VAT Holding AG Vakuumeckventil mit kulissenantrieb
DE102016206473A1 (de) * 2016-04-18 2017-10-19 Robert Bosch Gmbh Steuerventil zur Steuerung eines Mediums, insbesondere eines Kraftstoffs
CN105919396B (zh) * 2016-07-14 2018-03-06 广东辉骏科技集团有限公司 一种真空果汁机
DE102019130157A1 (de) * 2019-11-08 2021-05-12 Vat Holding Ag Vakuumventil

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB222302A (en) * 1923-09-11 1924-10-02 Albert Taylor Improvements relating to valves
DE516207C (de) * 1928-07-12 1931-01-20 Rusbol Soc Mehrwegverteiler
US3617026A (en) * 1969-02-20 1971-11-02 Georgy Filippovich Polyakov Valve for vacuum installation
GB1289237A (de) * 1970-01-21 1972-09-13
US3713460A (en) * 1971-02-16 1973-01-30 Univ Sherbrooke Single control valve for vacuum system
FR2535436A1 (fr) * 1982-10-29 1984-05-04 Petrolieres Sa Et Dispositif de manoeuvre des robinets industriels
EP0952377A1 (de) * 1998-04-21 1999-10-27 Hans-Holger Körner Absperrhahn für Flüssigkeitszähler

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2784934A (en) * 1952-12-11 1957-03-12 Crane Co Valve actuating mechanism or the like
US3098508A (en) * 1959-05-08 1963-07-23 Gerdes Claus-Holmer Mixing valve
US3128635A (en) 1960-08-09 1964-04-14 Westinghouse Air Brake Co Multi-characteristic valve device
US4235258A (en) * 1978-01-03 1980-11-25 Tomoe Technical Research Company Driving device for opening and closing a valve
US4293118A (en) 1979-11-26 1981-10-06 American Standard Inc. Multi-function operator for control valve device
DE8425038U1 (de) 1984-08-24 1984-11-22 Festo KG, 7300 Esslingen Quetschventil
US4616805A (en) * 1985-06-03 1986-10-14 Walbro Corporation Fuel shut-off valve
JPH0792164B2 (ja) 1986-04-18 1995-10-09 山田 満江 流動制御機器
US4742848A (en) * 1987-03-06 1988-05-10 Black Warren L Indexing control for fluid flow regulating valves
FR2621094B3 (fr) * 1987-09-30 1989-12-29 Beauvir Jacques Vanne a commande manuelle
US5244182A (en) * 1992-08-20 1993-09-14 Butterworth Jetting Systems, Inc. Fluid flow control valve
DE19545587A1 (de) * 1995-12-07 1997-06-12 Grohe Armaturen Friedrich Stellgriff
US5836333A (en) * 1996-09-27 1998-11-17 Haynes; Kenneth B. Clicker faucet

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB222302A (en) * 1923-09-11 1924-10-02 Albert Taylor Improvements relating to valves
DE516207C (de) * 1928-07-12 1931-01-20 Rusbol Soc Mehrwegverteiler
US3617026A (en) * 1969-02-20 1971-11-02 Georgy Filippovich Polyakov Valve for vacuum installation
GB1289237A (de) * 1970-01-21 1972-09-13
US3713460A (en) * 1971-02-16 1973-01-30 Univ Sherbrooke Single control valve for vacuum system
FR2535436A1 (fr) * 1982-10-29 1984-05-04 Petrolieres Sa Et Dispositif de manoeuvre des robinets industriels
EP0952377A1 (de) * 1998-04-21 1999-10-27 Hans-Holger Körner Absperrhahn für Flüssigkeitszähler

Also Published As

Publication number Publication date
US20020011582A1 (en) 2002-01-31
GB2364112A (en) 2002-01-16
GB2364112B (en) 2004-06-30
US6669170B2 (en) 2003-12-30
GB0114567D0 (en) 2001-08-08
DE20017298U1 (de) 2001-04-12
DE10127384A1 (de) 2001-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2318625B1 (de) Türöffner mit sperrventil
CH695247A5 (de) Vakuumventil
EP1943441A2 (de) Stellantrieb mit einem reduktionsgetriebe für ein stellglied zur regelung eines gas- oder flüssigkeitsstroms
DE102017208181A1 (de) Ventil zur Steuerung eines Fluidstroms
DE202016001106U1 (de) Ventilbetätigungsvorrichtung
DE102016001975A1 (de) Ventilbetätigungsvorrichtung
CH708995B1 (de) Reduktionsgetriebe eines elektrisch betriebenen Stellglieds.
DE102013012158A1 (de) Quetschventil
DE4416154A1 (de) Durchflußregelventil
EP1809822A1 (de) Sanitäre unterputzarmatur
EP2501921B1 (de) Stellvorrichtung zur umwandlung einer rotatorischen bewegung in eine lineare bewegung
DE202014100217U1 (de) Gargerät
EP0124477B1 (de) Stellantrieb für Absperr- und Regulierarmaturen
EP1310388B1 (de) Niveauregelventil zum selbsttägigen Konstanthalten der Fahrzeughöhe eines Nutzfahrzeuges mit Luftfederung
DE19635614C1 (de) Wasserhahn
DE2527573A1 (de) Drehschieberventil
DE4334387A1 (de) Umschaltventil
EP3171063A1 (de) Vakuumeckventil mit kulissenantrieb
DE102009040443A1 (de) Elektropneumatisches Druckregelventil
EP1739264A2 (de) Ventil für einen Antrieb eines Flügels einer Tür oder eines Fensters
EP4327006A1 (de) Servoventil
WO2013004228A1 (de) Betätigungsvorrichtung
DE3833177C2 (de)
WO2022112040A1 (de) Ventilantrieb und ventil
WO2022089922A1 (de) Luftdüse für einen luftauslass in einem innenraum eines kraftwagens

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased